JP2018510497A - 窒化鉄磁石の歪みの保持 - Google Patents
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Abstract
永久磁石は、Fe16N2相を歪んだ状態で含み得る。いくつかの実施例において、Fe16N2を含む窒化鉄含有ワークピースをエッチングしてテクスチャを導入すること、ワークピースを歪ませること、及びワークピースをアニーリングすることを含む技術によって、歪みを永久磁石内に保持し得る。いくつかの実施例において、第1の温度でFe16N2を含む窒化鉄含有ワークピースに材料の層を適用すること、並びに材料の層及び窒化鉄含有ワークピースを第2の温度にすることを含む技術であって、前記材料が、窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有する前記技術によって、歪みを永久磁石内に保存し得る。歪みが保持されたFe16N2相を含む永久磁石も開示する。【選択図】図14
Description
関連出願の相互参照
本出願は、2015年1月26日に出願された米国仮特許出願第62/107,733号の利益を主張し、あらゆる目的において、その内容全体を参照により本明細書に援用する。
本出願は、2015年1月26日に出願された米国仮特許出願第62/107,733号の利益を主張し、あらゆる目的において、その内容全体を参照により本明細書に援用する。
本発明における政府利益
本発明は、エネルギー省によって付与されたARPA−Eプロジェクト、DE−AR0000199に基づく政府助成を受けてなされた。政府は本発明の一定の権利を有する。
本発明は、エネルギー省によって付与されたARPA−Eプロジェクト、DE−AR0000199に基づく政府助成を受けてなされた。政府は本発明の一定の権利を有する。
本開示は、永久磁石及び永久磁石を作成するための技術に関する。
永久磁石は、代替エネルギーシステムなどを含む多くの電気機械システムで役割を果たす。例えば、永久磁石は、乗物で使用され得る電気モーター又は発電機、風力タービン、及びその他の代替的なエネルギー機構に使用される。現在使用されている多くの永久磁石は、ネオジムなどの希土類元素を含む。これらの希土類元素は、供給が比較的に少なく、将来において、価格の高騰及び/又は供給不足に直面する可能性がある。また、希土類元素を含む一部の永久磁石は、製造するのに費用がかかる。例えば、NdFeB磁石の製造は、概して、材料の粉砕、材料の圧縮、及び1000℃を超える温度での焼結を含む。
概して、本開示は、Fe16N2を含むバルク永久磁石、及びFe16N2を含むバルク永久磁石を作成するための技術を対象とする。バルクFe16N2永久磁石は、希土類元素を含む永久磁石の代替品を与え得る。鉄及び窒素は、豊富な元素であり、そのため、比較的費用がかからず、調達が容易である。また、薄膜Fe16N2永久磁石から集められた実験的証拠は、バルクFe16N2永久磁石が、NdFeBのエネルギー生成量(約60MGOe(約476kJ/m3))の約2倍である約134メガガウスエルステッド(MGOe)(約1063kJ/m3)程度と高いエネルギー積を含む所望の磁気特性を有し得ることを示す。Fe16N2磁石の高エネルギー生成は、他の用途の中で、電気モーター、発電機、及び磁気共鳴映像(MRI)磁石の用途で高い効率性を与え得る。
いくつかの態様において、本開示は、バルクFe16N2永久磁石を作成するための技術を記載する。本技術は、概して、1つ以上の体心立方(bcc)鉄結晶を含む鉄線又はシートを、1つ以上のbcc鉄結晶の<001>結晶軸に実質的に平行な方向に沿って歪ませることを含み得る。いくつかの実施例において、1つ以上の鉄線又はシートの<001>結晶軸は、鉄線又はシートの主軸に実質的に平行に位置し得る。次に、本技術は、鉄線又はシートを窒素環境に晒して、鉄線又はシートに窒素を導入することを含む。本技術は、窒化鉄線又はシートをアニーリングして、鉄及び窒素原子の配置を整え、鉄線又はシートの少なくとも一部にFe16N2相構造を形成することをさらに含む。いくつかの実施例において、複数のFe16N2線又はシートを、実質的に平行な<001>軸で集めることができ、複数のFe16N2線又はシートを共にプレスして、Fe16N2相構造を含む永久磁石を作成できる。
いくつかの態様において、本開示は、単結晶窒化鉄線及びシートを形成するための技術を記載する。いくつかの実施例において、本明細書に記載されている技術などのるつぼ技術を使用して、単結晶窒化鉄線及びシートを作成し得る。このようなるつぼ技術に加えて、このような単結晶窒化鉄線及びシートを、マイクロシェーパーからのマイクロ溶融帯浮遊又は引上げによって形成し得る。さらに、(例えば、線及びシートの特定の方向に沿った所望の結晶配向で)結晶テクスチャ加工された窒化鉄線及びシートを形成するための技術も記載する。
一実施例において、本開示は、1つ以上の鉄結晶を含む鉄線又はシートを、鉄結晶の<001>結晶軸に実質的に平行な方向に歪ませること、その鉄線又はシートを窒化して窒化鉄線又はシートを作成すること、及び窒化鉄線又はシートをアニーリングして窒化鉄線又はシートの少なくとも一部にFe16N2相構造を作成することを含む方法を対象とする。
別の実施例において、本開示は、1つの以上の体心立方(bcc)鉄結晶を含む鉄線又はシートを、bcc鉄結晶の<001>軸に実質的に平行な方向に歪ませるための手段、歪んだ鉄線又はシートを加熱するための手段、歪んだ鉄線又はシートを原子状窒素前駆体に晒して窒化鉄線又はシートを形成するための手段、及び窒化鉄線又はシートをアニーリングして窒化鉄線又はシートの少なくとも一部にFe16N2相構造を形成するための手段を含むシステムを対象とする。
別の態様において、本開示は、有効な原子状窒素源として尿素、アミン、又は硝酸アンモニウムを含む、窒素原子を鉄中に拡散させて窒化鉄線又はシート又はバルクを作成する方法を対象とする。
別の態様において、本開示は、Fe16N2相構造を含む線を含む永久磁石を対象とする。
別の態様において、本開示は、Fe16N2相構造を含むシートを含む永久磁石を対象とする。
別の態様において、本開示は、Fe16N2相構造を含む永久磁石を対象とする。本開示のこの態様によると、永久磁石は、少なくとも1つのディメンションのサイズが0.1mm以上である。
別の実施例において、本開示は、窒化鉄含有ワークピースをエッチングして前記窒化鉄含有ワークピースに結晶テクスチャを形成すること、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませること、及び前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部にFe16N2相を形成することを含む技術であって、前記テクスチャが、前記Fe16N2相を含む前記アニーリングされた窒化鉄含有ワークピース内に歪みを実質的に保持する、前記技術を対象とする。
別の態様において、本開示は、第1の温度で1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースに材料の層を適用して、前記層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間に界面を形成することであって、前記材料が、前記窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有すること、並びに前記窒化鉄含有ワークピース及び前記材料の層を前記第1の温度から前記第1の温度とは異なる第2の温度にして、前記窒化鉄含有ワークピースに圧縮力又は張力の少なくとも一方を及ぼすことであって、前記圧縮力又は張力の少なくとも一方が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部に歪みを保持することを対象とする。
別の態様において、本開示は、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピース、及び前記窒化鉄含有ワークピースの外面の少なくとも一部を覆う材料の層を含む物品であって、前記材料が、前記窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有し、前記材料の層が、前記窒化鉄含有ワークピースに対して、少なくとも前記材料の層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間の界面に平行な方向で、張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼす、前記物品を対象とする。
本開示の1つ以上の実施例の詳細を、添付の図面及び以下の明細書で説明する。本開示の他の特徴、対象、及び利点は、本明細書及び図面から、ならびに特許請求の範囲から明らかであろう。
概して、本開示は、Fe16N2相構造を含む永久磁石、及びFe16N2相構造を含む永久磁石を作成するための技術を対象とする。特に、本明細書に記載の技術を使用して、バルク相Fe16N2永久磁石を形成する。
Fe16N2永久磁石は、Fe16N2永久磁石が異方性である場合に、比較的高いエネルギー積、例えば、約134MGOe(約1063kJ/m3)程度の高さのエネルギー積を与え得る。Fe16N2磁石が等方性である実施例において、エネルギー積は、約33.5MGOe(約266kJ/m3)程度の高さであり得る。永久磁石のエネルギー積は、残留保磁力と残留磁気の積に比例する。比較のために、Nd2Fe14B永久磁石のエネルギー積は、約60MGOe(約476kJ/m3)程度の高さであり得る。より高いエネルギー積は、モーター、発電機、又は同種のものなどに使用される場合に、永久磁石の効率の上昇をもたらし得る。
図1は、バルクFe16N2永久磁石を作成するための技術例を示すフローダイアグラムである。図1の技術を、図2〜5を同時に参照しながら、説明することにする。図2は、鉄線又はシートを歪ませ、窒素に晒すことができる装置の概念図を示す。図3は、図2に示したるつぼ加熱ステージの一例のさらなる詳細を示す。
図2の装置例は、第1ローラー22、第2ローラー24、及びるつぼ加熱ステージ26を含む。第1ローラー22及び第2ローラー24は、鉄線又はシート28の第1端38及び第2端40をそれぞれ受けるように構成されている。鉄線又はシート28は、第1端38と第2端40との間の主軸を規定する。図3で最も良く分かるように、鉄線又はシート28は、るつぼ加熱ステージ26により規定される開口30を貫通する。るつぼ加熱ステージ26は、るつぼ加熱ステージ26により規定される開口30の少なくとも一部を取り囲むインダクタ32を含む。
図1の技術例は、鉄線又はシート28中の1つ以上の鉄結晶の<001>軸に実質的に平行(例えば平行又はほぼ平行)な方向に沿って、鉄線又はシート28を歪ませること(12)を含む。いくつかの実施例において、鉄線又はシート28は、体心立方(bcc)結晶構造を有する鉄から形成される。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28は、単一bcc結晶構造から形成される。他の実施例において、鉄線又はシート28は、複数のbcc鉄結晶から形成され得る。これらの実施例のいくつかにおいて、複数の鉄結晶は、それぞれの単位格子及び/又は結晶の<001>軸の少なくとも一部、例えば大部分又は実質的に全部が、鉄線又はシート28に歪みが加えられた方向に実質的に平行であるように、配向している。例えば、鉄が鉄線又はシート28として形成される場合に、<001>軸の少なくとも一部は、図2及び3に示されているように、鉄線又はシート28の主軸と実質的に平行であり得る。上述したように、いくつかの実施例において、単結晶窒化鉄線及びシートは、るつぼ技術を使用して形成され得る。このようなるつぼ技術に加えて、単結晶鉄線及びシートを、マイクロシェーパーからのマイクロ溶融帯浮遊又は引上げによって鉄線又はシート28を形成することによって形成し得る。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28は、結晶テクスチャ構造を有し得る。(例えば、線及びシートの特定の方向に沿った所望の結晶配向で)結晶テクスチャ加工された鉄線又はシート28を形成する技術を使用し得る。図13は、鉄線又はシート例、例えば鉄線又はシート28をテクスチャ加工する高速ベルト鋳造用装置の一例70を示す概念図である。示されているように、高速ベルト鋳造装置70は、溶融鉄インゴット72を含むインゴットチャンバ76を含み、溶融鉄インゴット72は、加熱コイルの形態などの加熱源74により加熱され得る。インゴット72は、ノズルヘッド78を通ってチャンバ76から流れ出て、鉄ストリップ80を形成する。鉄ストリップ80は、反対の方向に回転されるピンチローラー82A及び82Bの表面間の間隙領域に送り込まれる。いくつかの実施例において、ローラー82A及び82Bの回転数は、約10〜1000回転毎分で変わり得る。鉄ストリップは、ピンチローラー82A及び82B上で冷却し、ピンチローラー82Aと82Bとの間にプレスされた後、テクスチャ加工された鉄ストリップ84A及び84Bを形成する。いくつかの実施例において、テクスチャ加工された鉄ストリップ84A及び84Bは、(それぞれ又は複数の鉄ストリップの圧縮後)例えば約1マイクロメートル〜約1ミリメートルの厚さのテクスチャ加工された鉄リボンを形成し得る。
歪んでいない鉄bcc結晶格子において、結晶単位格子の<100>、<010>、及び<001>軸は、実質的に等しい長さを有し得る。しかしながら、力、例えば張力を、結晶軸の1つ、例えば<001>結晶軸に実質的に平行な方向で結晶単位格子に加える場合、単位格子は歪み得、鉄結晶構造は、体心正方晶系(bct)と呼ばれ得る。例えば、図4は、鉄原子間の間隙に埋め込まれた窒素原子を有する歪んだ状態の八(8)個の鉄単位格子を示す概念図である。図4における例は、第1層42に4つの鉄単位格子を含み、第2層44に4つの鉄単位格子を含む。第2層44は、第1層42の上に載り、第2層44の単位格子は、第1層42の単位格子と実質的に整列している(例えば、単位格子の<001>結晶軸は、層間で実質的に揃っている)。図4に示されているように、鉄単位格子は歪んでおり、<001>軸に沿った単位格子の長さが、約3.14オングストローム(Å)(3.14×10-10m)であり、一方で、<010>及び<100>軸に沿った単位格子の長さが約2.86Å(2.86×10-10m)である。鉄単位格子は、歪んだ状態の場合、bct単位格子と呼ばれ得る。鉄単位格子が歪んだ状態の場合、<001>軸は、単位格子のc軸と呼ばれ得る。
様々な歪み誘起装置を使用して、鉄線又はシート28に歪みを及ぼし得る。例えば、図2に示されているように、鉄線又はシート28の第1端38及び第2端40を、それぞれ、第1ローラー22及び第2ローラー24が受ける(例えば巻かれる)ことができ、ローラー22、24は、(図2で矢印34及び35により示されている)反対方向に回転されて、鉄線又はシート28に張力を及ぼし得る。
他の実施例において、鉄線又はシート28の両端は、機械的グリップ、例えばクランプでグリップされ得、機械的グリップは、互いから離れるように動かされて、鉄線又はシート28に張力を及ぼし得る。図6は、本明細書に記載されているように、鉄線又はシート28を歪ませることができる、別の装置例を示す概念図である。示されているように、装置54は、スクリュー60a〜dを締めることにより鉄線又はシート28の両端を固定し得るクランプ56及び58を含む。鉄線又はシートを装置19に固定したら、ボルト62を回して、ボルト62のねじ体を回転させて、クランプ56及び58の間の距離を増加させ、鉄線又はシート28に張力を及ぼし得る。ボルト62の回転により生じる伸び又は応力の値を、任意の適当なゲージ、例えば歪みゲージなどにより測定し得る。いくつかの実施例において、装置54を、炉(例えば管状炉)又はその他の加熱環境に置き、鉄線又はシート28を装置54によって引き伸ばす間及び/又は引き伸ばした後に、鉄線又はシート28を加熱し得る。
歪み誘起装置は、鉄線又はシート28を特定の伸びに歪ませ得る。例えば、鉄線又はシート28の歪みは、約0.3%〜約7%であり得る。他の実施例において、鉄線又はシート28の歪みは、約0.3%未満であるか、又は約7%を超え得る。いくつかの実施例において、鉄線又はシート28に特定の歪みを及ぼすことは、鉄の個々の単位格子に実質的に同様な歪みをもたらし、単位格子は、<001>軸に沿って、約0.3%〜約7%伸び得る。
鉄線又はシート28は、任意の好適な直径及び/又は厚さを有し得る。いくつかの実施例において、好適な直径及び/又は厚さは、およそマイクロメートル(μm)又はミリメートル(mm)の桁であり得る。例えば、鉄線は、約10μm(0.01mm)を超える直径を有し得る。いくつかの実施例において、鉄線は、約0.01mm〜約1mmの直径、例えば約0.1mmの直径を有する。同様に、鉄シートは、任意の好適な厚さ及び/又幅を有し得る。いくつかの実施例において、鉄シートは、約0.01mmを超える厚さ、例えば、約0.01mm〜約1mm、又は約0.1mmの厚さを有し得る。いくつかの実施例において、鉄シートの幅は、鉄シートの厚さを超え得る。
鉄線の直径又は(鉄シートを引き伸ばす/歪ませる方向に実質的に直交する平面における)鉄シートの断面積は、所与の歪みをもたらすために鉄線又はシート28に加えなければならない力の量に影響し得る。例えば、約144Nの力を約0.1mmの直径を有する鉄線に加えることは、約7%の歪みをもたらし得る。別の例として、約576Nの力を約0.2mmの直径を有する鉄線に加えることは、約7%の歪みをもたらし得る。別の例として、約1296Nの力を約0.3mmの直径を有する鉄線に加えることは、約7%の歪みをもたらし得る。別の例として、約2304Nの力を約0.4mmの直径を有する鉄線に加えることは、約7%の歪みをもたらし得る。別の例として、約3600Nの力を約0.5mmの直径を有する鉄線に加えることは、約7%の歪みをもたらし得る。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28は、Fe16N2相構造が形成されたら、Fe16N2相構造を安定化するのに役立つドーパント元素を含み得る。例えば、相安定化ドーパント元素には、コバルト(Co)、チタン(Ti)、クロム(Cr)、銅(Cu)、亜鉛(Zn)、又は同種のものが含まれ得る。
歪み誘起装置が鉄線又はシート28に歪みを及ぼすときに、及び/又は歪み誘起装置が鉄線又はシート28に実質的に一定の歪みを及ぼした後で、鉄線又はシート28を窒化し得る(14)。いくつかの実施例において、窒化プロセスの間、鉄線又はシート28を、加熱装置を使用して加熱し得る。鉄線又はシート28を加熱するために使用し得る加熱装置の一例は、図2及び3に示されている、るつぼ加熱ステージ26である。
るつぼ加熱ステージ26は、鉄線又はシート28が貫通する(例えば鉄線又はシート28の一部が配置している)開口30を規定する。いくつかの実施例において、鉄線又はシート28の加熱中に、鉄線又はシート28と接触するるつぼ加熱ステージ26の部分はない。いくつかの実施例において、このことは、望ましくない元素又は化学種が鉄線又はシート28と接触し、鉄線又はシート28に拡散するリスクを低くするので、有利である。望ましくない元素又は化学種は、鉄線又はシート28の特性に影響し得、そのため、鉄線又はシート28と他の材料との接触を低減又は制限することが、望ましい。
るつぼ加熱ステージ26は、るつぼ加熱ステージ26により規定される開口30の少なくとも一部を取り囲むインダクタ32も含む。インダクタ32は、電流が流れ得る導電性材料、例えば、アルミニウム、銀、又は銅を含む。電流は、鉄線又はシート28に渦電流を誘導し鉄線又はシート28を加熱し得る、交流(AC)であり得る。他の実施例において、鉄線又はシート28を加熱するのにるつぼ加熱ステージ26を使用する代わりに、他の非接触加熱源を使用し得る。例えば、赤外線加熱ランプなどの輻射加熱源を使用して鉄線又はシート28を加熱し得る。別の例として、プラズマアークランプを使用して鉄線又はシート28を加熱し得る。
窒化プロセス中に鉄線又はシート28を加熱するために使用する加熱装置にかかわらず、加熱装置は、窒素を鉄線又はシート28の厚さ又は直径の実質的に全体に亘って所定の濃度に拡散させるのに充分な温度に、ある期間、鉄線又はシート28を加熱し得る。この方法において、加熱時間及び温度は、関連しており、鉄線又はシート28の組成及び/又は幾何学的形状によっても影響を受け得る。例えば、鉄線又はシート28を、約2時間〜約9時間で約125℃〜約600℃の温度に加熱し得る。いくつかの実施例において、鉄線又はシート28を、約2時間〜約4時間で約500℃〜約600℃の温度に加熱し得る。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28は、直径が約0.1mmの鉄線を含む。これらの実施例のいくつかにおいて、鉄線又はシート28を、約125℃の温度に約8.85時間、又は約600℃の温度に約2.4時間加熱し得る。通常、所与の温度で、窒化プロセス時間は、鉄線の直径又は鉄シートの厚さなどの鉄線又はシート28の特性寸法の二乗に反比例し得る。
鉄線又はシート28を加熱することに加えて、鉄線又はシート28の窒化(14)は、鉄線又はシート28を原子状窒素物質に晒し、原子状窒素物質が鉄線又はシート28に拡散することを含む。いくつかの実施例において、原子状窒素物質を、二原子窒素(N2)として供給し得、その後、二原子窒素は、個々の窒素原子に分離(分解)する。他の実施例において、原子状窒素を、別の原子状窒素前駆体、例えばアンモニア(NH3)、アミン、又は硝酸アンモニウム(NH4NO3)から供給し得る。他の実施例において、原子状窒素を、尿素(CO(NH2)2)から供給し得る。
窒素を、ガス相単独(例えば、実質的に純粋なアンモニア若しくは二原子窒素ガス)で、又はキャリヤーガスとの混合物として供給し得る。いくつかの実施例において、キャリヤーガスはアルゴン(Ar)である。ガス又はガス混合物を、任意の好適な圧力で、例えば、約0.001トル(約0.133パスカル(Pa))〜約10トル(約1333Pa)、例えば約0.01トル(約1.33Pa)〜約0.1トル(約13.33トル)で供給し得る。いくつかの実施例において、窒素をキャリヤーガスとの混合物の一部として送達する場合、窒素又は窒素前駆体(例えばNH3)の分圧は、約0.02〜約0.1であり得る。
様々な技術を用いて、窒素前駆体(例えばN2又はNH3)を、分解して、原子状窒素物質を形成し得る。例えば、窒素前駆体を輻射を使用して加熱して、窒素前駆体を分解して、原子状窒素物質を形成し得る、及び/又は窒素前駆体と鉄線又はシート28との反応を促進し得る。別の例として、プラズマアークランプを使用して、窒素前駆体を分裂させて、原子状窒素物質を形成し得る、及び/又は窒素前駆体と鉄線又はシート28との反応を促進し得る。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28を、(例えば二原子窒素又はアンモニアではなく)尿素を窒素源として利用する尿素拡散プロセスを介して窒化(14)し得る。(カルバミドとも呼ばれる)尿素は、時として窒素放出肥料として用いられ得る化学式CO(NH2)2を有する有機化合物である。鉄線又はシート28を窒化する(14)ために、例えば鉄線又はシート28を含む炉内で、尿素を加熱して、鉄線又はシート28に拡散し得る分解した窒素原子を生じさせ得る。さらに以下で説明するように、得られる窒化鉄材料の構成を、拡散プロセスの温度、及びプロセスで使用する鉄対尿素の比(例えば重量比)により、ある程度制御し得る。他の実施例において、鉄線又はシート28を、ドーピング剤を導入するために半導体のプロセスで使用するプロセスと同様の注入プロセスにより窒化し得る。
図7は、尿素拡散プロセスにより鉄線又はシート28を窒化するために使用し得る装置例64を示す模式図である。例えば、鉄線又はシート28が単結晶鉄、複数の結晶構造、又はテクスチャ構造を有する場合に、このような尿素拡散プロセスを使用して、鉄線又はシート28を窒化し得る。さらに、線、シート、又はバルクなどの様々な形状を有する鉄材料も、このようなプロセスを使用して拡散され得る。線材料では、線の直径は、例えば数マイクロメートル〜数ミリメートルで変わり得る。シート材料では、シートの厚さは、例えば数ナノメートル〜数ミリメートルであり得る。バルク材料では、材料の重量は、例えば約1ミリグラム〜数キログラムであり得る。
示されているように、装置64は、真空炉68内にるつぼ66を含む。鉄線又はシート28は、るつぼ66内に尿素の窒素源72に沿って位置する。図7に示されているように、Ar及び水素を含むキャリヤーガスを、尿素拡散プロセスの間、るつぼ66に送り込む。他の実施例において、異なるキャリヤーガスを使用し得るか、又はキャリヤーガスを全く使用しないことがあり得る。いくつかの実施例において、尿素拡散プロセス中の真空炉68内のガス流速は、約5標準立方センチメートル毎分(sccm)〜約50sccm、例えば20標準立方センチメートル毎分(sccm)〜約50sccm、又は5標準立方センチメートル毎分(sccm)〜約20sccmであり得る。
加熱コイル70は、尿素拡散プロセスの間、任意の好適な技術、例えば渦電流、誘導電流、高周波、及び同種のものなど使用して、鉄線又はシート28及び尿素72を加熱し得る。るつぼ66は、尿素拡散プロセスの間使用される温度に耐えるように構成され得る。いくつかの実施例において、るつぼ66は、最高約1600℃の温度まで耐えることが可能であり得る。
尿素72を、鉄線又はシート28と加熱して、鉄線又はシート28に拡散し得る窒素を生じさせて、窒化鉄材料を形成し得る。いくつかの実施例において、尿素72及び鉄線又はシート28をるつぼ66内で約650℃以上に加熱し、次いで、鉄及び窒素の混合物を冷却して急冷して、鉄線又はシート28の厚さ又は直径の実質的に全体に亘ってFe16N2相構造を有する窒化鉄材料を形成し得る。いくつかの実施例において、尿素72及び鉄線又はシート28を、るつぼ66内で、約650℃以上に約5分〜約1時間加熱し得る。いくつかの実施例において、尿素72及び鉄線又はシート28を、約1000℃〜約1500℃に数分〜約1時間加熱し得る。加熱時間は、様々な温度での鉄中での窒素の拡散係数に依存し得る。例えば、鉄線又はシートが約1マイクロメートルの厚さである場合に、拡散プロセスは、約1200℃では約5分、1100℃では約12分などで終了され得る。
加熱した材料を急冷プロセスの間冷却するために、冷水をるつぼの外側で循環させて、内容物を急速に冷却し得る。いくつかの実施例において、温度は、約20秒で、650℃から室温へと低下され得る。
以下で説明するように、いくつかの実施例において、鉄及び窒素の混合物をアニーリングして、鉄線又はシート28の厚さ又は直径の実質的に全体に亘ってFe16N2相構造を有する窒化鉄材料を形成するために、尿素72及び鉄線又はシート28の温度は、例えば約200℃〜約150℃であり得る。尿素72及び鉄線又はシート28は、例えば約1時間〜約40時間、アニーリング温度であり得る。例えば鉄材料が単結晶鉄線及びシート、又は厚さがマイクロメートルレベルのテクスチャ加工された鉄線及びシートである場合に、このようなアニーリングプロセスは、他の窒素拡散技術に追加的又は代替的に、使用され得る。アニーリング及び急冷のそれぞれにおいて、窒素は、炉68内の窒素ガス又はArと水素のキャリヤーガスを含むガス混合物から鉄線又はシート28に拡散し得る。いくつかの実施例において、ガス混合物は、約86%Ar+4%H2+10%N2の組成を有し得る。他の実施例において、ガス混合物は、10%N2+90%Ar又は100%N2又は100%Arの組成を有し得る。
さらに以下で説明するように、尿素拡散プロセスを介して形成される窒化鉄材料の構成は、使用される尿素対鉄の重量比に依存し得る。したがって、いくつかの実施例において、尿素対鉄の重量比は、Fe16N2相構造を有する窒化鉄材料を作成するように選択され得る。しかしながら、このような尿素拡散プロセスは、Fe16N2相構造を有する窒化鉄材料以外の窒化鉄材料、例えばFe2N、Fe3N、Fe4N、Fe8N、及び同種のものなどを作成するように使用され得る。さらに、尿素拡散プロセスは、鉄以外の材料に窒素を拡散するために、使用され得る。例えば、このような尿素拡散プロセスは、インジウム、FeCo、FePt,CoPt、コバルト、Zn、Mn、及び同種のものに窒素を拡散させるために、使用され得る。
鉄線又はシート28を窒化する(14)ために使用する技術にかかわらず、窒素は、鉄線又はシート28に、約8原子百分率(at.%)〜約14at.%、例えば約11at.%の濃度に拡散し得る。鉄中の窒素の濃度は、平均濃度であり得、鉄線又はシート28の体積全体を通して変わり得る。いくつかの実施例において、窒化鉄線又はシート28の少なくとも一部の(線又はシート28の窒化(14)後に)得られる相構造は、α’相Fe8Nであり得る。Fe8N相構造は、化学的に規則的なFe16N2相の、化学的に不規則にされた対応物である。Fe8N相構造は、bct結晶格子も有し、比較的高い磁気結晶異方性を生じさせ得る。
いくつかの実施例において、窒化鉄線又はシート28は、α”相Fe16N2であり得る。図8は、鉄窒素相ダイアグラムである。図8で示されているように、原子百分率が約11at.%のNで、α”相Fe16N2は、好適な時間、約650℃を超える温度で、Fe−N混合物を急冷することにより、形成され得る。また、原子百分率が約11at.%のNで、α”相Fe16N2は、好適な時間、約200℃未満の温度で、Fe−N混合物をアニーリングすることにより、作成され得る。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28を窒化(14)したら、鉄線又はシート28を、ある期間、ある温度でアニーリングして、窒素原子が鉄格子内の適当な間隙に拡散することを促進して、Fe16N2を形成し得る(16)。図4は、窒素原子が配置される、鉄結晶格子の適当な間隙の例を示す。いくつかの実施例において、窒化鉄線又はシート28を、約100℃〜約300℃の温度でアニーリングし得る。他の実施例において、アニーリング温度は、約126.85℃(約400ケルビン)であり得る。窒化鉄線又はシート28を、るつぼ加熱ステージ26、プラズマアークランプ、赤外線加熱ランプなどの輻射加熱源、オーブン、又は密閉レトルトを使用して、アニーリングし得る。
アニーリングプロセスは、窒素原子を上記の適当な間隙に拡散させるのに充分な所定の時間、続き得る。いくつかの実施例において、アニーリングプロセスは、約20時間〜約100時間、例えば約40時間〜約60時間続く。いくつかの実施例において、アニーリングプロセスは、不活性雰囲気、例えばAr下で起こり、鉄の酸化を低減又は実質的に防止し得る。いくつかの実施例において、鉄線又はシート28をアニーリングする(16)間、温度は、実質的に一定に維持される。
アニーリングプロセスが完了したとき、鉄線又はシート28は、Fe16N2相構造を含み得る。いくつかの実施例において、鉄線又はシート28の少なくとも一部は、Fe16N2相構造から本質的になる。本明細書で使用される場合、「から本質的になる」は、鉄線又はシート28がFe16N2とFe16N2相の基本及び新規の特性に実質的に影響を与えない他の材料とを含むことを意味する。他の実施例において、鉄線又はシート28は、例えば鉄線又はシート28の異なる部分で、Fe16N2相構造、及びFe8N相構造を含み得る。線及びシート並びにその後線及びシートをプレスしたアセンブル中のFe8N相構造及びFe16N2相構造は、量子力学の作用原則により磁気的に共に交換結合し得る。このことは、いわゆる交換スプリング磁石を形成し得、それはごく一部のFe16N2でも磁気エネルギー積を増加させ得る。
いくつかの実施例において、以下でさらに詳細に説明するように、鉄線又はシート28は、鉄線又はシート28の飽和保磁力(保磁力)を増加させ得る、磁壁ピンサイトとして働くドーパント元素又は欠陥を含み得る。本明細書で使用される場合、Fe16N2相構造から本質的になる鉄線又はシート28は、磁壁ピンサイトとして働くドーパント又は欠陥を含み得る。他の実施例において、以下でさらに詳細に説明するように、鉄線又はシート28は、鉄線又はシートの飽和保磁力を増加させ得る、粒界として働く非磁性ドーパント元素を含み得る。本明細書で使用される場合、Fe16N2相構造からなる鉄線又はシート28は、粒界として働く非磁性元素を含み得る。
アニーリングプロセスが完了したら、鉄線又はシート28を、アルゴンなどの不活性雰囲気下で冷却して、酸化を低減又は防止し得る。
いくつかの実施例において、鉄線又はシート28は、所望の用途に充分なサイズではないことがあり得る。このような実施例において、(それぞれが、Fe16N2相構造、を含む、又は、から本質的になる)複数の鉄線又はシート28を形成し得、複数の鉄線又はシート28を、共にプレスして、Fe16N2相構造、を含む、又は、から本質的になるより大きな永久磁石を形成し得る(18)。
図5A及び5Bは、圧縮プロセスの一例を示す概念図である。図5Aに示されているように、複数の鉄線又はシート28は、それぞれの鉄線又はシート28の<001>軸が実質的に整列しているように配置されている。それぞれの鉄線又はシート28の<001>軸が鉄線又はシート28の長軸に実質的に平行である実施例において、鉄線又はシート28を実質的に整列させることは、1つの鉄線又はシート28を別の鉄線又はシート28の上に載せることを含み得る。それぞれの鉄線又はシート28の<001>軸を整列させることは、永久磁石52に一軸磁気異方性を与え得る。
複数の鉄線又はシート28を、例えば冷間圧縮又は熱間圧縮を使用して、圧縮し得る。いくつかの実施例において、Fe16N2が約300℃を超えると劣化し始め得るので、圧縮を実施する温度は、約300℃未満であり得る。図5Bに示されているように、複数の鉄線又はシート28を、実質的に単一の永久磁石52へと結合するのに充分な圧力及び時間で、圧縮を実施し得る。
任意の数の鉄線又はシート28を、共にプレスして、永久磁石52を形成し得る。いくつかの実施例において、永久磁石52は、少なくとも1つのディメンションのサイズが0.1mm以上である。いくつかの実施例において、永久磁石52は、少なくとも1つのディメンションのサイズが1mm以上である。いくつかの実施例において、永久磁石52は、少なくとも1つのディメンションのサイズが1cm以上である。
いくつかの実施例において、所望の高い飽和保磁力を与えるために、鉄線若しくはシート28及び/又は永久磁石52内の磁区移動を制御することが望ましい。磁区移動を制御し得る1つの方法は、磁壁ピンサイトを鉄線若しくはシート28及び/又は永久磁石52に導入することによる。いくつかの実施例において、磁壁ピンサイトを、鉄結晶格子に欠陥を導入することにより、形成し得る。欠陥は、鉄結晶格子にドーパント元素を注入することにより、又は鉄結晶格子の機械的応力により、導入し得る。いくつかの実施例において、窒素の導入及びFe16N2相構造の形成の前に、欠陥を鉄結晶格子に導入し得る。他の実施例において、鉄線又はシート28をアニーリングしてFe16N2を形成した(16)後に、欠陥を導入し得る。磁壁ピンサイトとして働く欠陥を鉄線又はシート28に導入し得る一例は、鉄結晶格子へのホウ素(B)、銅(Cu)、炭素(C)、ケイ素(Si)、又は同種のもののイオン衝撃であり得る。他の実施例において、非磁性元素又は化合物(例えば、Cu、Ti、Zr、Cr、Ta、SiO2、Al2O3など)からなる粉末を、Fe16N2相を含む鉄線及びシートと共にプレスし得る。数ナノメートルから数百ナノメートルに及ぶサイズを有するこれらの非磁性粉末は、プレスプロセスの後にFe16N2相に対する粒界として機能する。これらの粒界は、永久磁石の飽和保磁力を高め得る。
窒化鉄に関して記載したが、本明細書に記載の1つ以上のプロセス例は、FeCo合金にも適用されて、単結晶又は高度にテクスチャ加工されたFeCo線及びシートを形成し得る。Co原子は、Fe格子中のFe原子の一部と置き換わって、磁気結晶異方性を高め得る。また、本明細書に記載の1つ以上の歪んだ拡散プロセス例も、これらのFeCo線及びシートに適用され得る。さらに、1つ以上のプロセス例は、炭素(C)、ホウ素(B)、若しくはリン(P)原子をFe若しくはFeCo線及びシートに拡散させるか、又はC、P、BをN原子と共にFe若しくはFeCo線及びシートに部分的に拡散させるためにも適用され得る。したがって、本明細書に記載の方法は、FeCo合金にも適用されて、単結晶又は高度にテクスチャ加工されたFeCo線及びシートを形成し得る。また、Co原子は、Fe格子中のFe原子の一部と置き換わって、例えば磁気結晶異方性を高め得る。さらに、本明細書に記載の方法は、炭素(C)、ホウ素(B)、若しくはリン(P)原子をFe若しくはFeCo線及びシートに拡散させるか、又はC、P、BをN原子と共にFe若しくはFeCo線及びシートに部分的に拡散させるためにも適用され得る。さらに、本明細書に記載のプロセスのために使用される鉄は、線、シート、又はバルクの形状をとり得る。さらに、いくつかの実施例において、プロセスのために使用される鉄は、多くの形状、例えば、線、ロッド、バー、導管、中空導管、フィルム、薄膜、シート、繊維、リボン、バルク材料、インゴット、又は同種のものなどのうちいずれか1つをとるワークピースとして記載され得る。ワークピースを含む鉄の形状の例は、様々な断面形状及びサイズを有し、本明細書に記載の形状の種類の任意の組み合わせを含み得る。
上記に記載したように、本開示は、α”−Fe16N2相構造を含む磁性材料、並びに磁性材料にα”−Fe16N2相構造を形成し保持するための技術を記載する。いくつかの実施例において、本明細書に記載の技術を使用して、薄膜、ナノ粒子、ワークピース、又はバルク磁性材料中の脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2相に歪みを保持する。開示される歪み保持技術は、α”−Fe16N2相を含む磁性材料の飽和保磁力、磁化、帯磁方向、又はエネルギー積のうち1つ以上などを保持し得る、又は高め得るα”−Fe16N2相の安定性を保持又は高め得る。
いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースに歪みを保持するための技術は、材料中に所定の結晶テクスチャを形成することを含む。結晶学的テクスチャは、材料中の複数の結晶が、実質的に共通の結晶方位を共有する現象である。結晶学的テクスチャは、窒化鉄含有ワークピース内のα”−Fe16N2相領域を保持し得る、窒化鉄含有ワークピース中の歪みを保持するのに役立ち得る。代替的に、又は追加的に、結晶学的テクスチャは、変形した(又は脱双晶)α”−Fe16N2の形成を促進し得る。
結晶学的テクスチャを、1つ以上の選択した技術により形成し得る。例えば、窒化鉄含有ワークピースを1つ以上の軸線に沿って歪ませることは、結晶学的テクスチャの形成を促進し得る。いくつかの実施例において、張力をワークピースの第1軸線に沿って加え得、圧縮力を、ワークピースの第1軸線に実質的に直交するワークピースの少なくとも第2軸線に沿って加え得る。結晶学的テクスチャを導入するための他の技術は、鉄と窒素の混合の間に、溶融窒化鉄混合物を磁力で撹拌すること、窒化鉄材料のエッチング、又は同種のことを含む。
本明細書に記載されているように、窒化鉄含有ワークピースは、ワークピースの材料内の窒化鉄相の種類に応じて、異なる磁気特性を呈し得る。例えば、α”−Fe16N2、α’−Fe8N、γ−Fe4N、及びその他の種類の窒化鉄相は、異なる磁気特性を有し得、これらの各相の領域は、これらの窒化鉄相のうち1種以上を含むワークピースに、異なる特性を与え得る。図14は脱双晶マルテンサイトFe16N2の形成を示す相変態概念図である。通常、図14に示されているように、本開示の技術は、例えばオーステナイトγ−Fe4N相86を含む窒化鉄含有ワークピースを急冷して、双晶マルテンサイトα’−Fe8N相88を含む窒化鉄含有ワークピースを形成することにより、α”−Fe16N2相(脱双晶マルテンサイトFe16N2)を形成することを含み得る。技術例は、さらに、双晶マルテンサイトα’−Fe8N相88を含む窒化鉄含有ワークピースを応力アシストアニーリングして、脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2相90を含む窒化鉄含有ワークピースを形成することを含み得る。また、本開示の技術例は、図14に示されているように、脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N290を含む窒化鉄含有ワークピースが応力の除荷時に歪んだ状態のままであるように、アニーリングの前及び/又は間に窒化鉄含有ワークピースに加えられたあらゆる応力を除荷することを含み得る。以下でさらに詳細に論じるように、本開示は、(本明細書でα”−Fe16N2又はFe16N2とも呼ばれる)脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2に歪みを保持するための様々な技術を記載する。
理論に拘束されることを望むものではないが、3種類の異方性が、α”−Fe16N2又はその他の鉄系磁性材料の磁気異方性エネルギー又は異方性磁界に寄与し得る。これらの3種類の異方性は、磁気結晶異方性、形状異方性、及び歪み異方性を含む。磁気結晶異方性は、図4に示されている、bcc鉄結晶格子をbct窒化鉄結晶格子に歪ませることに関連し得る。形状異方性は、窒化鉄結晶若しくは粒子の形状、又は窒化鉄ワークピースの形状に関連し得る。例えば、図15に示されているように、α”−Fe16N2結晶又は粒子87は、(直交するx−y−z軸が説明を簡単にするためだけに示されている図15のz軸に実質的に平行な)最長のディメンションを規定し得る。α”−Fe16N2結晶又は粒子87は、(例えば図15のx軸又はy軸に実質的に平行な)最短のディメンションも規定し得る。最短のディメンションを、α”−Fe16N2結晶又は粒子87の最長の軸線に直交する方向で測定し得る。
いくつかの実施例において、α”−Fe16N2結晶又は粒子87は、約1.1と約50の間、例えば約1.4と約50の間、又は2.2と約50の間、又は約5と約50の間の縦横比を規定し得る。いくつかの実施例において、α”−Fe16N2結晶又は粒子87の最短のディメンションは、約5nmと約300nmの間である。
歪み異方性は、α”−Fe16N2又はその他の鉄系磁性材料に及ぼされる歪みに関連し得る。いくつかの実施例において、α”−Fe16N2粒子は、鉄又はその他の種類の窒化鉄(例えばFe4N)の粒子を含むマトリックス内に配置、又は内蔵されている。α”−Fe16N2粒子は、鉄又はその他の種類の窒化鉄の粒子とは異なる熱膨張係数を有し得る。この違いは、α”−Fe16N2粒子、及び鉄又はその他の種類の窒化鉄の粒子における熱処理中の寸法の変化に差があることにより、α”−Fe16N2粒子に歪みを導入し得る。代替的に、又は追加的に、材料又はワークピースを、(本明細書全体に亘って記載されている)機械的歪み又は加工中に印加磁気に晒すことによる歪みに晒してα”−Fe16N2粒子を形成し、その歪みの少なくとも一部が処理後に材料又はワークピースに留まり得る。アニーリングは、応力がかかった状態での磁気弾性エネルギーを低減するために、サンプルの内部応力及び局所微細構造の再分配をもたらし得る。歪み異方性の下での磁区構造は、磁気弾性エネルギー、静磁気エネルギー、及び交換エネルギーに依存する。
図16は、他の材料のマトリックス91中に複数のα”−Fe16N2結晶又は粒子87を含むワークピース例89を示す概念図である。図16に示されているように、各α”−Fe16N2結晶又は粒子87は、異方性形状を規定する。さらに、α”−Fe16N2結晶又は粒子87の各α”−Fe16N2結晶又は粒子の磁化容易軸は、各α”−Fe16N2結晶又は粒子のそれぞれの最長のディメンションに実質的に平行(例えば平行又はほぼ平行)である。いくつかの実施例において、各α”−Fe16N2結晶又は粒子の磁化容易軸は、他のそれぞれの磁化容易軸に実質的に平行(例えば平行又はほぼ平行)であり(それにより、他のそれぞれの最長のディメンションに実質的に平行(例えば平行又はほぼ平行)であり)得る。いくつかの実施例において、このことを、上記で説明したように、使用される材料を歪ませて、ワークピース89を形成することにより、達成し得る。このように、ワークピース89は、磁気結晶異方性、形状異方性、及び歪み異方性をもたらす構造的特徴を有し得、磁気結晶異方性、形状異方性、及び歪み異方性は全てワークピース89の異方性磁界に寄与する。
図17は、ワークピース89に関するヒステリシス曲線例を示すダイアグラムである。図17に示されているヒステリシス曲線は、磁場を図16のc軸方向に平行に印加する場合のワークピース89の飽和保磁力(x軸切片)が、磁場を図16のa軸及びb軸に平行に印加する場合のワークピース89の飽和保磁力(x軸切片)とは異なるので、ワークピース89が磁気異方性を有することを示す。
窒化鉄含有ワークピースは、本明細書に記載されているように、多数の形状のうちいずれか1つをとり得る。例えば、窒化鉄含有ワークピースは、リボン、フィルム、薄膜、粉末、線、ロッド、バー、導管、中空導管、繊維、シート、バルク材料、インゴット、又は同種のものの形状をとり得る。さらに、窒化鉄含有ワークピース例は、様々な断面形状及びサイズを有し、本明細書に記載の形状の種類の任意の組み合わせを含み得る。
図18は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースにテクスチャを形成し導入するための技術例を示すフローダイアグラムである。いくつかの実施例において、図8に関して上記で説明したように、本開示の技術例は、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成すること(94)を含み得る。例えば、鉄及び窒素を含む混合物は、図14に関して上記で論じたように、γ−Fe4N相86を含み得る。いくつかの実施例において、この技術は、650℃以上の温度で窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱することを含み得る。例えば、少なくとも鉄含有ワークピースを、650℃以上の温度に窒素源の存在下で加熱し得る。また、この技術で使用する窒素源は、本明細書に記載の窒素源のうちのいずれかを含み得る。例えば、鉄源は、(例えば、二原子窒素(N2)として供給され、その後個々の窒素原子に分離(分解)する)原子状窒素、アンモニア(NH3)、アミン、又は硝酸アンモニウム(NH4NO3)、アミド含有材料、ヒドラジン含有材料、又は尿素(CO(NH2)2)を含み得る。
いくつかの実施例において、鉄含有ワークピースを、窒化プロセス中に歪ませ得る。例えば、図18の技術は、図1並びに図2、3、6、及び7の技術に関連して上記で説明した歪み及び/又は加熱装置のうちいずれかを使用して、鉄含有ワークピースを歪ませながら、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱することを含む。
この技術で使用する鉄含有ワークピースは、例えば、鉄粉末、バルク鉄、FeCl3、Fe2O3、又はFe3O4を含み得る。いくつかの実施例において、これらの材料は、複数の鉄結晶を含む。鉄含有ワークピースは、リボン、フィルム、薄膜、粉末、線、ロッド、バー、導管、中空導管、繊維、シート、バルク材料、インゴット、又は同種のものなどの多数の形状のうちいずれか1つをとり得る。さらに、鉄含有ワークピース例は、様々な断面形状及びサイズを有し、本明細書に記載の形状の種類の任意の組み合わせを含み得る。
いくつかの実施例において、鉄含有ワークピースを窒素源の存在下で加熱することにより形成される鉄及び窒素を含む混合物は、γ−Fe4N相86に加えて他の相を含み得る。例えば、鉄及び窒素を含む混合物は、α”−Fe16N2相領域、Fe2N相領域、Fe3N相領域、γ−Fe4N相領域、α’−Fe8N相領域、又は同種のものを含み得る。鉄及び窒素を含む混合物は、複数の窒化鉄結晶も含み得る。そのうえ、鉄及び窒素を含む混合物は、リボン、フィルム、薄膜、粉末、線、ロッド、バー、導管、中空導管、繊維、シート、バルク材料、インゴット、又は同種のものなどの多数の形状のうちいずれか1つをとるワークピースであり得る。さらに、このようなワークピースは、様々な断面形状及びサイズを有し、本明細書に記載の形状の種類の任意の組み合わせを含み得る。
通常、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成すること(94)、並びに鉄及び窒素を含む混合物を急冷すること(96)を含む技術例は、本開示における上述の技術、例えば鉄結晶格子内で窒素原子を間隙に拡散させる又は埋め込ませて窒化鉄材料を形成する上述の窒化技術と類似、又は同一であり得る。例えば、歪んだ窒化鉄含有ワークピース(Fe16N2など)を形成するための技術に使用する材料、処理時間、及び温度は、上述の技術と同一又は類似であり得る。したがって、いくつかの実施例において、技術は、鉄含有ワークピースを窒化して、鉄及び窒素を含む混合物を形成し、その後テクスチャを窒化鉄含有ワークピースに導入することを含み得る。
本開示の技術例は、鉄及び窒素を含む混合物を急冷して、窒化鉄含有ワークピースを形成すること(96)も含み得る。いくつかの実施例において、鉄及び窒素を含む混合物を急冷することは、γ−Fe4N相を含み温度が約650℃以上の混合物を好適な時間、好適な媒質中で急冷して、鉄及び窒素を含む混合物の温度を下げ、α’−Fe8N相88を材料中に形成することを含む。α’−Fe8N相は、上記で説明したように、個々の結晶格子(crystal cell)がbct配置をとる双晶マルテンサイト結晶を含み得る。いくつかの実施例において、鉄及び窒素を含む混合物を急冷すること(96)は、材料がその内部で加熱された装置の周囲、例えばるつぼの外側周囲に冷水を循環させて内容物を急速に冷却することによって、加熱された鉄及び窒素を含む混合物を冷却することを含み得る。例えば、温度は、約20秒で、約650℃から室温へと低下され得る。
いくつかの実施例において、図14で示されているように、γ−Fe4Nサンプルを、応力のない条件下で約650℃以上の温度で低温へと急冷し得る。オーステナイト相を急冷するので、複数の異型を有するマルテンサイト相が形成し得、双晶欠陥が存在する。例えば、急冷すると、1つ以上のα’−Fe8N又はα”−Fe16N2相が、窒化鉄含有ワークピース内に存在し得る。マルテンサイト相のこのような異型の一部又は全部が結晶学的同価であり得るが、異型は、異なる晶癖面指数を有し得、例えば、結晶の双晶化が起こり得る結晶面が異なり得る。したがって、α’−Fe8N相構造は、化学的に規則的なα”−Fe16N2相の化学的に不規則にされた対応物として見なされ得る。
図18の技術は、テクスチャを窒化鉄含有ワークピースに導入すること(98)も含む。上記で説明したように、例えば、テクスチャ加工された窒化鉄含有ワークピースは、窒化鉄含有ワークピースの特定の方向に対して所望の配向を有する複数の窒化鉄結晶を含み得る。テクスチャは、いくつかの実施例において、隣接する鉄結晶の結晶軸が同様に配向している程度に応じて、弱いものとして、又は強いものとして記載され得る。いくつかの実施例において、鉄結晶格子内のテクスチャは、鉄結晶格子を歪んだ状態に実質的に保持(例えば保持又はほぼ保持)し得る。例えば、テクスチャ加工された鉄結晶格子の粒子間に境界面を含むテクスチャ加工された鉄結晶格子は、テクスチャのない鉄結晶格子と比較して、歪みをより容易に保持し得る。いくつかの実施例において、テクスチャを、急冷後であるがアニーリングの前に導入し得る。
例えば、テクスチャを窒化鉄含有ワークピースに導入すること(98)は、窒化鉄含有ワークピースをエッチングして結晶テクスチャを窒化鉄含有ワークピースに形成することを含み得る。いくつかの実施例において、エッチングは、窒化鉄含有ワークピースを、材料(例えば原子)を窒化鉄含有ワークピースの1つ以上の表面から除去するエッチング剤に晒すことを含み得る。さらに、いくつかの実施例において、異なる結晶面は、結晶面を交差する方向に原子密度が異なり得る。したがって、(例えば、窒化鉄含有ワークピースの表面に対する結晶面の配向に応じて)エッチングは、原子が異なる結晶面から除去されるので、異方的に進行して、窒化鉄含有ワークピースにテクスチャを導入し得る。
この技術に好適なエッチング剤は、例えば希硝酸(HNO3)を含み得る。いくつかの実施例において、HNO3は、希HNO3溶液中で約5%〜約20%の濃度を有し得る。さらに、いくつかの実施例において、エッチングは、室温(約23℃)で進行し得る。追加的に、又は代替的に、いくつかの実施例において、本開示の技術は、上述の鉄及び窒素を含む混合物の形成後であるが、混合物を急冷して窒化鉄含有ワークピースを形成する前に、鉄及び窒素を含む混合物をエッチングして鉄及び窒素を含む混合物に結晶テクスチャを形成することを含み得る。このような実施例における、鉄及び窒素を含む混合物のエッチングは、上述したような急冷後の窒化鉄含有ワークピースのエッチングと類似又は同一の様式で進行し得る。
別の例として、テクスチャを窒化鉄含有ワークピースに導入すること(98)は、上述のるつぼ加熱ステージ26などで材料の加熱中、又は、2014年2月6日に出願された、タイトルが“IRON NITRIDE PERMANENT MAGENT AND TECHNIQUE FOR FORMING IRON NITRIDE PERMANENT MAGNET”である国際特許出願第PCT/US14/15104号により詳細に記載されている、加熱して溶融混合物を形成する際に窒化鉄含有ワークピースを磁場に晒すことを含み得る。国際特許出願第PCT/US14/15104号は、その全体を参照により本明細書に援用される。したがって、いくつかの実施例において、テクスチャを窒化鉄含有ワークピースに導入すること(98)は、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、窒化鉄含有ワークピースを形成すること(94)と同時に、且/又は、窒化鉄含有ワークピースを急冷すること(96)と同時に起こり得る。いくつかの実施例において、テクスチャを付与するために窒化鉄含有ワークピースに印加した磁場は、約0.01テスラ(T)〜約10Tの強度を有し得る。
いくつかの実施例において、テクスチャを、急冷前に導入し得る。例えば、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、窒化鉄含有ワークピースを形成することの後又は間であるが、急冷の前に、より詳細に本明細書に記載されているように、所定の配向に沿って外力を加えること、ワークピースを磁場に晒すこと、材料を融解紡糸すること、及び/又はワークピースをエッチングすることにより、テクスチャをワークピースに導入し得る。他の実施例において、窒化鉄含有ワークピースの形成前に、テクスチャを導入し得る。例えば、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成すること(94)の前に、テクスチャを鉄含有ワークピースに導入し得る。これらの実施例のいくつかにおいて、テクスチャを室温(約23℃)で導入し得る。例えば、本明細書に記載されているように、所定の配向に沿って外力を加えること、ワークピースを磁場に晒すこと、材料を融解紡糸すること、及び/又はワークピースをエッチングすることにより、テクスチャを鉄含有ワークピースに導入し得る。これらの実施例のいくつかにおいて、鉄含有ワークピースに付与されたテクスチャは、少なくとも650℃の温度まで、材料に依然として存在し得る。
図18の技術は、窒化鉄含有ワークピースを歪ませること(100)をさらに含み得る。いくつかの実施例において、歪ませることは、窒化鉄含有ワークピースに応力を加えて、窒化鉄含有ワークピース内で塑性変形を誘起することを含み得る。例えば、窒化鉄含有ワークピースの窒化鉄結晶を、歪みを加えることによって、塑性変形させ得る。いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースを、約7%〜約10%の歪みを加えることによって、塑性変形させ得る。特に、本開示に記載の歪み装置のいずれかを利用して、このような歪みを加え得る。
いくつかの実施例において、歪ませることは、窒化鉄含有ワークピースの両端に好適な張力を加えることを含み得る。さらに、いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースを歪ませること(100)は、加えた張力の軸線に直交する少なくとも1つの軸線に沿って、窒化鉄含有ワークピースに圧縮力を加えることを含み得る。いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースを歪ませることは、ワークピース内の複数の窒化鉄結晶のそれぞれの<001>結晶軸に実質的に平行な方向に、窒化鉄含有ワークピースを歪ませることも含み得る。
窒化鉄含有ワークピースを歪ませることは、例えば窒化鉄含有ワークピースのアニーリングの前及び/又は間に、起こり得る。さらに、いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースの形成前に、鉄含有ワークピースを歪ませ得る。例えば、鉄含有ワークピースの加熱(94)前に、1つの技術例は、特に本開示に記載の歪み装置のいずれかを使用して、本明細書に記載の鉄含有ワークピースを歪ませることを含み得る。鉄含有ワークピースを歪ませることは、テクスチャ加工された鉄含有ワークピースを形成し得、次いで、これを窒化して、テクスチャ加工された窒化鉄含有ワークピースを形成し得る。例えば、テクスチャ加工されたワークピースの温度が、テクスチャが壊れ始める温度より低く維持されている場合に、テクスチャは、後続の処理の間テクスチャ加工された材料に留まり得る。例えば、テクスチャ加工されたワークピースを、約650℃の温度より低く維持して、テクスチャ加工されたワークピースのテクスチャを破壊することを回避し得る。
図18の技術は、歪んだ窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、歪んだ窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部にFe16N2相を形成すること(102)も含み得る。いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースを急冷したら、上記で説明したように、窒化鉄含有ワークピースを、ある期間、ある温度でアニーリングして、窒素原子が鉄格子内の適当な間隙に拡散することを促進して、α”−Fe16N2を形成し得る。いくつかの実施例において、図14に示されているように、窒化鉄含有ワークピースを歪ませることは、双晶マルテンサイトα’−Fe8N相88を含む窒化鉄含有ワークピースをアニーリング(所定の期間加熱)しながら歪ませて、窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部(又は全体)に脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2相90を形成することを含み得る。
いくつかの実施例において、上記でも説明したように、窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、Fe16N2相を形成することは、約100℃と約300℃の間の温度でアニーリングすることを含み得る。他の実施例において、アニーリング温度は、好適な時間で約200℃未満であり得る。例えば、アニーリング温度は、約126.85℃(約400ケルビン)であり得る。窒化鉄含有ワークピースを、るつぼ加熱ステージ26、プラズマアークランプ、赤外線加熱ランプなどの輻射加熱源、オーブン、又は密閉レトルトなどを使用して、アニーリングし得る。アニーリングプロセスは、窒素原子を適当な間隙に拡散させるのに充分な所定の時間、続き得る。いくつかの実施例において、アニーリングプロセスは、約20時間と約100時間の間、例えば約40時間と約60時間の間続く。いくつかの実施例において、アニーリングプロセスは、不活性雰囲気、例えばAr下で起こり、鉄の酸化を低減又は実質的に防止し得る。いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースをアニーリングする間、温度は、実質的に一定に維持される。
いくつかの実施例において、マルテンサイト窒化鉄含有ワークピースに応力を加えると、複数の種類のマルテンサイトが形成され得る。例えば、窒化鉄含有ワークピースに応力を加えると、マルテンサイトが塑性降伏の前又は後のどちらで形成するかによって、様々な異型のマルテンサイトが形成し得る。例えば、応力が誘起されたマルテンサイトが、塑性降伏の前に(例えば、窒化鉄含有ワークピースの弾性降伏の期間の間に)形成し得る。追加的に、又は代替的に、歪みが誘起されたマルテンサイトが、窒化鉄含有ワークピースに加えられた応力が塑性降伏点(例えば、ワークピースの永久歪み)に達する間又は後に、形成し得る。いくつかの実施例において、プレートマルテンサイトが歪みのないマルテンサイトから形成され得、一方、微細なラス様(lathlike)マルテンサイトが、歪みを誘起する負荷から窒化鉄含有ワークピースに形成され得る。ラス様(lathlike)マルテンサイトの形成は、窒化鉄含有ワークピースの母相オーステナイトで生じるすべりなどと関連し得る。
いくつかの実施例において、Fe8Nを含む窒化鉄含有ワークピースに加えた応力又は負荷が特定の限界応力(例えば、窒化鉄含有ワークピースの塑性降伏点)に達するときに、図14に示されているように、双晶マルテンサイト結晶が分離し、応力に適した(stress−preferred)双晶を形成し得る。このように、α’−Fe8N相に存在する複数のマルテンサイトの異型は、単一の異型に変換し始め、例えば負荷の軸線で晶癖面が整列することにより決まるα”−Fe16N2相に変換し始めることが好ましい。異方性形状の窒化鉄含有ワークピースに関するいくつかの実施例において、負荷の軸線は、異方性窒化鉄含有ワークピースの最長のディメンションと実質的に揃っていることがあり得る。
いくつかの実施例において、歪みを誘起する負荷を加えるとき、サンプル窒化鉄含有ワークピースに存在する複数のマルテンサイト相は、説明したように、単一のマルテンサイト相、例えば、その晶癖面が負荷の軸線で整列しているα”−Fe16N2マルテンサイト相に変換し得る。また、いくつかの実施例において、このような歪みを誘起する負荷を、窒化鉄含有ワークピースをアニーリングする間に加える。いくつかの実施例において、塑性変形の結果として形成するα”−Fe16N2相90を含む窒化鉄含有ワークピースは、応力を加えられていない、又は(塑性降伏点より低い負荷で)応力を加えられたマルテンサイトの機構とは異なる機構によって生じ得る。例えば、歪みが誘起されたFe16N2マルテンサイト相は、典型的な自発Fe16N2マルテンサイト又は応力アシストFe16N2マルテンサイトと同じ結晶構造(例えばbct)を有し得るが、歪みが誘起されたFe16N2マルテンサイト相の形態、相分布、温度依存性、及びその他の特徴は、その他のFe16N2マルテンサイトの異型とは異なり得る。例えば、歪みが誘起されたFe16N2マルテンサイト相は、その他のFe16N2マルテンサイトの異型と比べて、より高い飽和磁化、及びより高い分解温度を有し得る。いくつかの実施例において、歪みが誘起されたFe16N2マルテンサイト相は、1つ以上の窒化鉄結晶の(002)結晶面に沿って整列している窒素原子を有する超格子を形成し得る。
歪みを多数の技術を用いて保持し得る。いくつかの実施例において、説明したように、窒化鉄含有ワークピースに歪みを保持することは、Fe16N2を含むリボン又はバルク材料にテクスチャを導入することを含み得る。例えば、エッチング、磁気攪拌(磁場への暴露)、所定の方向に沿った外力の印加、又は融解紡糸技術のうちの1つ以上によって、テクスチャを導入し得る。いくつかの実施例において、Fe16N2相を含むアニーリングされた窒化鉄含有ワークピースに予め導入したテクスチャは、アニーリングされた窒化鉄含有ワークピース内に歪みを実質的に保持(例えば保持又はほぼ保持)し得る。Fe16N2を含む窒化鉄含有ワークピース(例えば永久磁石)に歪みを保持することは、ワークピースの磁気特性、例えば、ワークピースの飽和保磁力、磁化、帯磁方向、又はエネルギー積を保持又は向上し得る。
例えば、図14に示されているように、窒化鉄含有ワークピースを歪ませること(100)を誘起した応力を除去又は除荷すると、Fe16N2相を含むアニーリングされた窒化鉄含有ワークピースに予め導入したテクスチャは、α”−Fe16N2相92を含む窒化鉄含有ワークピース内に歪みを実質的に保持し得る。したがって、いくつかの実施例において、本開示の開示される技術は、窒化鉄含有ワークピースを歪ませること及び/又はアニーリングすることなどの後に、歪みを誘起する応力を除去又は除荷することを含み得る。いくつかの実施例において、開示される技術は、α”−Fe16N290を含むアニーリングされた窒化鉄含有ワークピースを冷却して、図14に示されているように、α”−Fe16N292を含む窒化鉄含有ワークピースを形成することも含む。いくつかの実施例において、α”−Fe16N292材料を形成するためのα”−Fe16N290材料の除荷及び冷却は、同時に起こり得る。
テクスチャを、その他の方法によっても、例えば、加熱前、急冷前、又は急冷後であるがアニーリング前のいずれかに、本明細書に記載の実施例に従って、鉄含有ワークピース又は窒化鉄含有ワークピースに導入し得る。いくつかの実施例において、外力を所定の配向に沿って窒化鉄含有ワークピースに加えて、窒化鉄含有ワークピースにテクスチャを導入し得る。上記に記載したように、例えば、単結晶鉄又は複数の鉄結晶単位格子に、例えば<001>結晶軸などの結晶軸の1つに実質的に平行な方向などで、張力を加える場合、(例えば窒化鉄結晶を含む)鉄結晶単位格子は、実質的に整列して、窒化鉄含有ワークピースにテクスチャを導入し得る。いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピース内のテクスチャは、少なくとも一部(又は実施的に全部)の窒化鉄結晶の少なくとも一部の共通の結晶軸が実質的に平行(平行又はほぼ平行)に配列している配置を含み得る。例として、テクスチャをワークピースに導入すると、<100>、<010>、及び<001>軸のうち1つ以上は、実質的に平行な配列であり得る。特に、本明細書に記載の歪み用装置を利用して、鉄含有又は窒化鉄含有ワークピースに外力を加えて、テクスチャを付与し得る。
追加的に、又は代替的に、融解紡糸技術を使用して、テクスチャを窒化鉄含有ワークピース又は鉄含有ワークピースに導入し得る。例えば、融解紡糸において、鉄含有ワークピースを炉で加熱して溶融鉄含有ワークピースを形成することなどにより、鉄前駆体又は鉄含有ワークピースを融解し得る。次に、溶融鉄含有ワークピースを低温のローラー表面に流して、溶融鉄含有ワークピースを急冷し、材料の脆性リボンを形成し得る。したがって、テクスチャは、低温のローラー表面で急冷する間に形成されるので、鉄結晶に導入され得る。
いくつかの実施例において、低温のローラー表面を、水などの冷却剤により室温より低い温度で冷却し得る。例えば、低温のローラー表面を、約10℃〜約25℃の温度で冷却し得る。材料の脆性リボンは、次に、加熱処理するステップを受けて、脆性の鉄含有ワークピースをプレアニーリングし得る。いくつかの実施例において、加熱処理を、約0.1時間と約10時間の間、大気圧で、約200℃と約600℃の間の温度で実施し得る。いくつかの実施例において、加熱処理を窒素又はアルゴン雰囲気で実施し得る。不活性ガス下で材料の脆性リボンを加熱処理後、材料の脆性リボンを粉砕し、(複数の鉄結晶が実質的に均一な好ましい配向で配置している)テクスチャを有する鉄含有粉末などを形成し得る。
テクスチャの導入に代えて、又は加えて、他の技術を使用しても、窒化鉄含有ワークピース内の歪みを保持し得る。例えば、以下でより詳細に説明するように、異なる熱膨張係数を有する材料の層又は被覆を、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜又はナノ粒子と共に利用し得る。このようなナノ粒子又は薄膜を、材料の層を適用する前に、本開示により記載される技術又はその他の好適な技術に従って歪ませ得る。図20は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む被覆窒化鉄含有ナノ粒子例の断面形状の概念図である。図20に示されているように、1つ以上のα”−Fe16N2相領域108を含む窒化鉄含有ナノ粒子を、材料の層110で被覆して、被覆永久磁性ナノ粒子107を形成する。材料の層110は、例えば、Fe3O4、Fe2O3、SiO2、TiO2、SO2、Al2O3、MgO、Si3N4、CaCO3、Au、Ag、又はRuのうち1種以上を含み得る。材料の層110は、Fe16N2108を含む窒化鉄含有ナノ粒子の外面を実質的に包み込み(包み込み、又はほぼ包み込み)得る。いくつかの実施例において、材料の層110は、約1ナノメートル(nm)と約50nmの間の厚さを規定し得る。
材料の層110は窒化鉄含有ナノ粒子108とは異なる組成を有するので、材料の層110は、窒化鉄含有ナノ粒子108とは異なる熱膨張係数(CTE)を有し得る。したがって、窒化鉄含有ナノ粒子108及び/又は材料の層110を加熱又は冷却する場合、窒化鉄含有ナノ粒子108及び/又は材料の層110は、少なくとも1つの方向におけるサイズが異なる量変化し得、それにより引張又は圧縮歪みのうち1つ以上が界面112で材料間に及ぼされる。
図19は、窒化鉄含有ワークピースに歪みを保持するための技術例を示すフローダイアグラムである。図19に示されているように、いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースに歪みを保持するための技術は、第1の温度で1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピース(例えばナノ粒子108)に材料の層(例えば材料の層110)を適用すること(104)を含み得る。材料の層110を塗布すると、界面112が材料の層110と窒化鉄含有ナノ粒子108との間に形成され得る(図20を参照)。1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースは、例えば(ナノ粒子108などの)ナノ粒子又は薄膜であり得る。ナノ粒子又は薄膜例は、少なくとも一部(又は全体)又はナノ粒子又は薄膜に亘って脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2相を含み得る。
材料の層110を、多数の好適な技術のうちのいずれか1つにより、適用し得る。例えば、化学的気相堆積法若しくは物理的気相堆積法などの堆積法、ゾルゲル法、又は材料の層110と窒化鉄含有ナノ粒子108との間の表面エネルギーの差を利用する自己集合法により、材料の層110を窒化鉄含有ナノ粒子108に適用し得る。
歪みを保持するための技術は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピース及び材料の層(例えば材料の層110)を第1の温度から第1の温度とは異なる第2の温度にして、窒化鉄含有ワークピース(例えばナノ粒子108)に圧縮力又は張力の少なくとも一方を及ぼすこと(106)をさらに含み得る。いくつかの実施例において、材料の層110への圧縮力又は張力の少なくとも一方は、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部に歪みを保持し得る。例えば、圧縮力又は張力の少なくとも一方は、ナノ粒子108の1つ以上の脱双晶マルテンサイトFe16N2結晶を歪んだ(例えば塑性変形した)状態で保持し得る。材料の層及び窒化鉄含有ワークピースを温めて、又は冷却して、材料の層及び窒化鉄含有ワークピースを第2の温度にすることは、任意の好適な技術によって達成され得る。
いくつかの実施例において、材料の層110の第1の温度は、第2の温度よりも高いことがあり得る。いくつかの実施例において、第1の温度は、約200℃と約800℃の間であり得、一方、第2の温度は、200℃未満であり得る。その他の実施例において、材料の層110の第1の温度は、第2の温度よりも低いことがあり得る。
少なくとも材料の層110を第2の温度にすると、材料の層110は、窒化鉄含有ナノ粒子108に対して、少なくとも材料の層110と窒化鉄含有ナノ粒子108との間の界面に平行な方向で、寸法が変化し得る。いくつかの実施例において、材料の層110が異方性又は等方性の熱膨張係数を有するかどうかなどによって、材料の層110は、1つより多くのディメンション又は全てのディメンションで寸法が減少し得る。
いくつかの実施例において、上述の第1の温度と第2の温度との間の温度範囲に亘って、材料の層110は、窒化鉄含有ナノ粒子108の平均熱膨張係数よりも高い平均熱膨張係数を有し得る。例えば、層110は、第1の温度と第2の温度との間の温度範囲に亘って、少なくとも界面112に平行な方向で、1つ以上のα”−Fe16N2相領域108を含む窒化鉄含有ナノ粒子よりも高い平均熱膨張係数を有し得る。いくつかの実施例において、層110は、少なくとも第1の温度と第2の温度との間の温度範囲に亘って、歪んだ窒化鉄含有ナノ粒子108の平均体積熱膨張係数よりも高い平均体積熱膨張係数を有し得る。
他の実施例において、上述の第1の温度と第2の温度との間の温度範囲に亘って、材料の層110は、窒化鉄含有ナノ粒子108の平均熱膨張係数よりも低い平均熱膨張係数を有し得る。例えば、層110は、第1の温度と第2の温度との間の温度範囲に亘って、少なくとも界面112に平行な方向で、1つ以上のα”−Fe16N2相領域108を含む窒化鉄含有ナノ粒子よりも低い平均熱膨張係数を有し得る。いくつかの実施例において、層110は、少なくとも第1の温度と第2の温度との間の温度範囲に亘って、歪んだ窒化鉄含有ナノ粒子108の平均体積熱膨張係数よりも低い平均体積熱膨張係数を有し得る。
したがって、このような実施例において、材料の層110及び窒化鉄含有ナノ粒子108を第2の温度にすると、材料の層110は、少なくとも界面112に平行な方向で、窒化鉄含有ナノ粒子108に張力又は圧縮力の少なくとも一方(界面112でせん断力)を及ぼし得る。いくつかの実施例において、材料の層110及び窒化鉄含有粒子108を第2の温度にすると、材料の層110は、追加的又は代替的に、界面112に直交する方向で、窒化鉄含有ナノ粒子108に張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼし得る。このように、材料の層110への張力又は圧縮力は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子108を歪んだ状態に実質的に保持する。いくつかの実施例において、本明細書に記載されているように、この性質の被覆又は層は、永久磁石ワークピースの磁気特性を保持又は向上し得る。
例えば、図14に関連して、歪みを誘起する負荷をα”−Fe16N292を含む窒化鉄含有ワークピースから除荷すると、層(材料の層110など)により生じた圧縮力又は張力は、歪んだ状態と関連する磁気特性と共に、α”−Fe16N292を含む窒化鉄含有ワークピースを歪んだ状態に保持することに役立ち得る。いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピースは、例えば図4及び14に示されているように、歪んだ状態の1つ以上のFe16N2結晶を含み得る。
いくつかの実施例において、第1の温度で層を歪んだ窒化鉄含有ワークピースに適用する前に、技術は、窒化鉄含有ワークピースを歪ませながら窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部にα”−Fe16N2相を形成することをさらに含み得る。窒化鉄含有ワークピースを歪ませてアニーリングするための条件は、本開示の他で記載の条件と類似又は同一であり得る。
図21は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む被覆窒化鉄含有薄膜例の断面形状の概念図である。図21に示されているように、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む被覆窒化鉄含有薄膜116は、窒化鉄含有薄膜118の外面の少なくとも一部(全部)の上に重なり覆う材料の層120を含む。通常、材料の層120を薄膜118に適用して加工する材料、条件、及び技術は、図20の層110及びナノ粒子108に関して上記で説明した材料、条件、及び技術と類似又は同一であり得る。例えば、材料の層120は、Fe3O4、Fe2O3、SiO2、TiO2、SO2、Al2O3、MgO、Si3N4、CaCO3、Au、Ag、又はRuのうち1種以上を含み得る。材料の層120は、Fe16N2を含む窒化鉄含有薄膜118を実質的に被覆(被覆、又はほぼ被覆)し得る。いくつかの実施例において、材料の層120は、数ナノメートル〜数十ナノメートルの厚さを有し得る。例えば、材料の層120は、約5ナノメートル(nm)と約100ミクロン(μm)の間の厚さを有し得る。
さらに、図20の実施例と同様に、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118に歪みを保持するための技術は、第1の温度で薄膜118に層120を適用することを含み得る。材料の層120を、層110及びナノ粒子108に関して上記で説明した方法と類似又は同様の方法で、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118に適用し得る。図21に示されているように、材料の層120を適用すると、材料の層120と1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118との間に界面124が形成され得る。さらに、技術例は、少なくとも材料の層120を(いくつかの実施例においては、少なくとも1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118をも)第2の温度にすることを含み得る。例えば、材料の層120は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118の1つ以上の脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2相結晶を歪んだ(例えば塑性変形した)状態で保持し得る。少なくとも材料の層120を(いくつかの実施例において、少なくとも1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118をも)第2の温度にすることを、任意の好適な加熱又は冷却技術によって達成し得る。
少なくとも材料の層120を(いくつかの実施例において、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118及び/又は下位層をも)第2の温度にすると、材料の層120は、少なくとも材料の層120と1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118との間の界面124に実質的に平行な方向で、寸法が変化し得る。いくつかの実施例において、少なくとも材料の層120が第2の温度にされて幅及び/体積が変化するので、材料の層120は、少なくとも界面124に実質的に平行な方向で、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む下位の窒化鉄含有薄膜118に張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼし得る。
被覆薄膜116のいくつかの実施例において、1つ以上の下位層が、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118の下にあり得る。例えば、第1の下位層が1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118の下にあり得、第2の下位層が、第1の下位層と第2の下位層の下にある第3の下位層との間に配置され得る。いくつかの実施例において、図21に示されているように、第1の下位層は銀(Ag)を含み得、第2の下位層は鉄(Fe)を含み得、第3の下位層は酸化マグネシウム(MgO)を含み得る。さらに、いくつかの実施例において、1つ以上の下位層のそれぞれは、約1nmと約100nmの間の厚さを規定し得る。同様に、いくつかの実施例において、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜118は、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定し得る。
いくつかの実施例において、窒化鉄含有ワークピース内の歪みを、圧縮力及び張力を利用して窒化鉄含有ワークピースにテクスチャを形成することによっても保持し得る。例えば、このような力を、Fe16N2を含むリボン又はバルク材料に加え得る。いくつかの実施例において、圧縮力及び張力を、同時に、異なる方向で、窒化鉄含有ワークピースに加えて、窒化鉄含有ワークピースの脱双晶マルテンサイトα”−Fe16N2相に歪みを生じさせ、且/又は保持し得る。例えば、張力を1つの方向で、又は1つの軸線に沿って加え、同時に、加えた張力の方向又は軸線と直交する少なくとも1つの方向又は軸線で、圧縮力を加え得る。いくつかの実施例において、張力をFe16N2を含む窒化鉄含有ワークピースに1つの方向で(又は1つの軸線に沿って)加え、同時に、加えた張力の方向(又は軸線)と直交する2つの方向で(又は2つの軸線に沿って)、圧縮力を加え得る。これらの技術例を、急冷段階、アニーリング段階、又は両方の間に適用し得る。言及した急冷及びアニーリング段階は、本明細書で他で記載されている装置及び条件と類似又は同一の装置及び条件の適用を含み得る。
図22は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む歪んだ窒化鉄含有バーに張力及び圧縮力を加えることを示す概念図である。図22に示されているように、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有バー130内で歪みを保持するために、張力をバーのx軸に沿って加えながら、同時に圧縮力を直交するy及びz軸に沿って加える。この技術例は、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有バー130に結晶テクスチャを導入することによって、1つ以上のα”−Fe16N2相領域を含む窒化鉄含有バー130に導入された歪みを実質的に保持し得る。図23は、突出固定具を示す概念図である。突出固定具134は、図23で減少した厚みを規定するロッド132の部分によって示されているように、歪んだ窒化鉄含有ロッド132の一部に圧縮力を加え得る。さらに、加えられる力が、突出固定具134によりロッド132に加えられた圧縮力に直交するように、図23で矢印Vにより示された方向に、力を加え得る。
項1:窒化鉄含有ワークピースをエッチングして結晶テクスチャを前記窒化鉄含有ワークピースに形成すること、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませること、及び前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部にFe16N2相を形成することを含み、前記テクスチャが、前記Fe16N2相を含む前記アニーリングされた窒化鉄含有ワークピース内に歪みを実質的に保持する、前記方法。
項2:前記窒化鉄含有ワークピースをエッチングする前に、窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成すること、並びに前記鉄及び窒素を含む混合物を急冷して、前記窒化鉄含有ワークピースを形成することをさらに含む、項1に記載の方法。
項3:窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成することをさらに含み、前記窒化鉄含有ワークピースをエッチングして結晶テクスチャを前記窒化鉄含有ワークピースに形成することは、前記鉄及び窒素を含む混合物をエッチングして、前記鉄及び窒素を含む混合物に結晶テクスチャを形成することを含み;並びに、前記鉄及び窒素を含む混合物をエッチングした後、且前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませる前に、前記鉄及び窒素を含む混合物を急冷して、窒化鉄含有ワークピースを形成することをさらに含む、項1に記載の方法。
項4:前記窒素源の存在下で前記鉄含有ワークピースを加熱することが、前記窒素源の存在下で少なくとも前記鉄含有ワークピースを650℃以上に加熱することを含む、項2又は3に記載の方法。
項5:前記窒化鉄含有ワークピースをエッチングすることが、前記窒化鉄含有ワークピースを希HNO3に晒すことを含み、HNO3が、前記希HNO3中で約5%と約20%の間の濃度を有する、項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
項6:前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることが、前記窒化鉄含有ワークピースに張力を加えることを含む、項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
項7:前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることが、加えた前記張力の軸線に直交する少なくとも1つの軸線に沿って、前記窒化鉄含有ワークピースに圧縮力を加えることをさらに含む、項6に記載の方法。
項8:前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースをアニーリングすることが、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませながら、前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングすることを含む、項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
項9:前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースをアニーリングすることが、前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースを約100℃と約300℃の間で加熱することを含む、項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
項10:前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースを約20時間と約100時間の間加熱する、項9に記載の方法。
項11:前記窒化鉄含有ワークピースを不活性雰囲気中でアニーリングする、項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
項12:前記テクスチャが強い、項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
項13:前記窒化鉄含有ワークピースが複数の窒化鉄結晶を含む、項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
項14:前記テクスチャが、前記複数の窒化鉄結晶のうち少なくも一部の窒化鉄結晶の少なくとも一部の共通の結晶軸の実質的に平行な配列を含む、項13に記載の方法。
項15:前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることが、前記複数の窒化鉄結晶のそれぞれの<001>結晶軸に実質的に平行な方向に、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることを含む、項13又は14に記載の方法。
項16:前記窒化鉄含有ワークピースが、窒化鉄含有のリボン、薄膜、又はバルクのワークピースを含む、項1〜15のいずれか一項に記載の方法。
項17:第1の温度で1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースに材料の層を適用して、それにより、前記層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間に界面を形成することであって、前記材料が、前記窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有すること;並びに、前記窒化鉄含有ワークピース及び前記材料の層を前記第1の温度から前記第1の温度とは異なる第2の温度にして、前記窒化鉄含有ワークピースに圧縮力又は張力の少なくとも一方を及ぼすことであって、前記圧縮力又は張力の少なくとも一方が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部に歪みを保持することを含んでなる方法。
項18:前記第1の温度が、前記第2の温度よりも高い、項17に記載の方法。
項19:前記窒化鉄含有ワークピース及び前記材料の層を前記第1の温度から前記第2の温度にすると、前記材料の層が、前記材料の層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間の前記界面に平行な少なくとも1つの方向の幅が変化して、それにより、前記材料の層が、前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースに対して、前記界面と平行な少なくとも1つの方向で、張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼす、項17又は18に記載の方法。
項20:前記第1の温度と前記第2の温度との間の温度範囲に亘って、前記材料の層が、前記層と窒化鉄含有ワークピースとの間の前記界面に平行な少なくとも1つの方向で、前記窒化鉄含有ワークピースの平均熱膨張係数よりも高い平均熱膨張係数を有する、項17〜19のいずれか一項に記載の方法。
項21:前記材料の層を適用する前に、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませながら前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部に1つ以上のFe16N2相領域を形成することをさらに含む、項17〜20のいずれか一項に記載の方法。
項22:前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子を含み、前記材料の層が、前記窒化鉄含有ナノ粒子を実質的に包み込む、項17〜21のいずれか一項に記載の方法。
項23:前記第1の温度と前記第2の温度との間の温度範囲に亘って、前記材料の層の材料が、前記歪んだ窒化鉄含有ナノ粒子の平均体積熱膨張係数よりも高い平均体積熱膨張係数を有する、項22に記載の方法。
項24:前記第2の温度に冷却したときに、前記層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ナノ粒子に対して、前記圧縮力又は前記張力の少なくとも一方を及ぼす、項22又は23に記載の方法。
項25:前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜を含み、前記材料の層が、前記窒化鉄含有薄膜を覆う、項17〜21のいずれか一項に記載の方法。
項26:前記第2の温度に冷却したときに、前記材料の層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有薄膜に対して、前記張力又は圧縮力の前記少なくとも一方を及ぼす、項25に記載の方法。
項27:1つ以上の下位層が、前記窒化鉄含有薄膜の下にあり、前記材料の層が、前記窒化鉄含有薄膜の外面を覆う、項25又は26に記載の方法。
項28:前記1つ以上の下位層が、第1の下位層、第2の下位層、及び第3の下位層を含み、前記第2の下位層が第1の下位層と前記第3の下位層との間に配置しており、前記第1の下位層が前記窒化鉄含有薄膜の直下にあり、前記第1の下位層が銀(Ag)を含み、前記第2の下位層が鉄(Fe)を含み、前記第3の下位層が酸化マグネシウム(MgO)を含む、項27に記載の方法。
項29:前記第1の下位層、前記第2の下位層、及び前記第3の下位層のそれぞれが、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、項28に記載の方法。
項30:前記窒化鉄含有薄膜が、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、項25〜29のいずれか一項に記載の方法。
項31:前記材料の層が、Fe3O4、Fe2O3、SiO2、TiO2、SO2、Al2O3、MgO、Si3N4、CaCO3、Au、Ag、又はRuのうち1種以上を含む、項17〜30のいずれか一項に記載の方法。
項32:前記材料の層が、約1nmと約100ミクロン(μm)の間の厚さを規定する、請求項17〜31のいずれか一項に記載の方法。
項33:1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピース、及び前記窒化鉄含有ワークピースの外面の少なくとも一部を覆う材料の層を含む物品であって、前記材料が、前記窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有し、前記材料の層が、前記窒化鉄含有ワークピースに対して、少なくとも前記材料の層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間の界面に平行な方向で、張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼす、前記物品。
項34:前記材料の層が、少なくとも前記材料の層と歪んだ窒化鉄含有ワークピースとの間の界面に平行な方向で、前記窒化鉄含有ワークピースの熱膨張係数よりも高い熱膨張係数を有する、項33に記載の物品。
項35:前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子を含み、前記層が、前記窒化鉄含有ナノ粒子の外面を実質的に包む、項33又は34に記載の物品。
項36:前記材料の層が、前記窒化鉄含有ナノ粒子の体積熱膨張係数よりも高い体積熱膨張係数を有する、項35に記載の物品。
項37:前記層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子に対して、前記圧縮力を及ぼす、項35又は36に記載の物品。
項38:前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜を含み、前記材料の層が、前記窒化鉄含有薄膜の外面の少なくとも一部を覆う、項33又は34に記載の物品。
項39:前記材料の層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜に対して、前記張力を及ぼす、項38に記載の物品。
項40:1つ以上の下位層が、前記窒化鉄含有薄膜の下にある、項38又は39に記載の物品。
項41:前記1つ以上の下位層が、第1の下位層、第2の下位層、及び第3の下位層を含み、前記第2の下位層が第1の下位層と前記第3の下位層との間に配置しており、前記第1の下位層が前記窒化鉄含有薄膜の直下にあり、前記第1の下位層が銀(Ag)を含み、前記第2の下位層が鉄(Fe)を含み、前記第3の下位層が酸化マグネシウム(MgO)を含む、項40に記載の物品。
項42:前記第1の下位層、前記第2の下位層、及び前記第3の下位層のそれぞれが、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、請求項41に記載の物品。
項43:前記窒化鉄含有薄膜が、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、項38〜42のいずれか一項に記載の物品。
項44:前記材料の層が、Fe3O4、Fe2O3、SiO2、TiO2、SO2、Al2O3、MgO、Si3N4、CaCO3、Au、Ag、又はRuのうち1種以上を含む、項33〜43のいずれか一項に記載の物品。
項45:前記層が、約1nmと約100ミクロン(μm)の間の厚さを規定する、項33〜44のいずれか一項に記載の物品。
項46:前記ワークピースが、線、ロッド、バー、導管、中空導管、フィルム、シート、又は繊維のうち1つ以上の形態である、項1〜45のいずれか一項に記載のもの。
本明細書に記載の窒化鉄ワークピース例の1つ以上の態様を評価するために、一連の実験を実施した。特に、様々な窒化鉄材料例を尿素拡散により形成し、次いで評価した。尿素対バルク鉄の重量比を変えて、窒化鉄材料の構造のこの比への依存度を求めた。図12に示されているように、約0.5(すなわち1:2)、1.0、1.2、1.6、及び2.0の尿素対鉄の重量比を用いて、5つの異なる例を形成した。
参考のため、約1573℃より高い温度で、記載の尿素拡散プロセスの主要な化学反応過程は、以下である。
CO(NH2)2→NH3+HNCO (1)
HNCO+H2O→2NH3+CO2 (2)
2NH3→2N+3H2 (3)
2N→N2 (4)
このような反応過程において、窒素原子に関しては、式(4)に示されているように、分子に再結合することが比較的容易であり得る。したがって、いくつかの実施例において、尿拡散プロセスの間尿素をバルク鉄材料の隣又は近位に置くことによって、窒素原子の再結合を減少させ得る。例えば、場合によっては、尿素は、バルク鉄材料の表面と直接接触しているか、又はバルク材料の約1センチメートル内にあり得る。
CO(NH2)2→NH3+HNCO (1)
HNCO+H2O→2NH3+CO2 (2)
2NH3→2N+3H2 (3)
2N→N2 (4)
このような反応過程において、窒素原子に関しては、式(4)に示されているように、分子に再結合することが比較的容易であり得る。したがって、いくつかの実施例において、尿拡散プロセスの間尿素をバルク鉄材料の隣又は近位に置くことによって、窒素原子の再結合を減少させ得る。例えば、場合によっては、尿素は、バルク鉄材料の表面と直接接触しているか、又はバルク材料の約1センチメートル内にあり得る。
窒化鉄サンプルを、本明細書に記載の尿素拡散プロセスに従って製造した。尿素拡散プロセスにより窒化鉄サンプルを製造した後、オージェ電子分光法を使用して、鉄材料例の表面の化学組成を求めた。図9は、実施例のうちの1つに関するオージェ測定結果のプロットであり、材料中に窒素が存在することを示す。
図12は、尿素拡散プロセスに使用した尿素対バルク鉄材料の重量比と最終窒化鉄材料の窒素濃度(at.%)のプロットである。上記のように、0.5(すなわち1:2)、1.0、1.2、1.6、及び2.0の尿素対バルク鉄材料の比を使用した。図12に示されているように、様々な尿素対鉄の重量比は、尿素拡散後の窒化鉄材料内に異なる窒素濃度をもたらし得る。特に、図12は、バルク鉄の量に対して使用する尿素の量が増加するにつれて、窒化鉄材料中の窒素の原子比率が増加することを示す。したがって、少なくとも一部の場合、尿素拡散により形成される所望の窒素濃度の窒化鉄材料は、所望の窒素濃度に対応する出発材料中の尿素対鉄の重量比を用いることによって、得られ得る。
図10は、約2.0の尿素対鉄の重量比で始まる尿素拡散により形成された窒化鉄材料に関する、窒化鉄材料の表面からの深さ対濃度(at.%)のプロットである。図10に示されているように、窒化鉄材料の表面から前記材料の表面の約1600オングストローム(160nm)下方までの窒素の濃度は、約6at.%であった。さらに、酸素及び炭素は微量も残らず、このことは、他のドーパント源が効果的に低減されたことを意味する。
図11は、約1.0の尿素対鉄の重量比で始まる尿素拡散により形成された窒化鉄材料に関する、窒化鉄材料の表面からの深さ対濃度(at.%)のプロットである。図11に示されているように、窒化鉄材料の表面から前記材料の表面の約800オングストローム(80nm)下方までの窒素の濃度は、約6〜12at.%であった。いくつかの実施例において、真空システムを改良することにより、例えばより大きい流れを生じるポンプシステムを使用することにより、濃度をさらに低減し得る。同様に示されているように、酸素は、約4at.%に低減された。10at.%を超える炭素があるが、炭素は窒素に代わる元素と見なされ得るので、製造される永久磁石に重大な悪影響は及ぼさない。
図24Aは、テクスチャを含む窒化鉄磁石例の磁化曲線を示すチャートである。窒化鉄磁石の製造において、イオン注入技術を単結晶鉄箔に適用した。こうして、Fe16N2を含むテクスチャ加工された窒化鉄磁石を、単結晶鉄箔にN+イオンを注入することによって形成した。窒化鉄磁石サンプルを、ポストアニーリング後に5×1017/cm2フルエンスで製造した。本実施例で利用するイオン注入技術に関するさらなる詳細は、その全体を参照により本明細書に援用される国際特許出願第PCT/US14/15104号で論じられている。
図24Aの磁化曲線は、4πMs(テスラ)の単位中の磁化対H(Oe)の単位中の飽和保磁力を示し、ここでMsは飽和磁化であり、Oeはエルステッドである。調べる窒化鉄磁石を含む磁性材料の飽和保磁力(Hc)は、以下の式に従って近似され得る。
この式において、要素
は、磁性材料内に存在するテクスチャを説明し得、ここでベータ(β)は幾何学的項であり、ガンマ(γ)は壁のエネルギーであり、Dは平均粒径である。いくつかの実施例において、βは、約1〜約5の値を有し得る。したがって、テクスチャの程度が大きいことは、Fe16N2磁性材料などの磁性材料の飽和保磁力が高いことと相関があり得る。式の残りの部分において、アルファ(α)は核形成に関するパラメータであり、ここでα=δ/πr0であり、デルタ(δ)は、
によって与えられる。
ここで、Aは交換定数であり、K1は第1結晶異方性定数であり、r0は核の直径である。飽和保磁力の式についてもう一度言及すると、Neffは、材料の平均消磁係数であり、HKは異方性磁界である。図24Aに示されているように、調べた窒化鉄箔サンプル例は、1910Oeの飽和保磁力(Hc)、245emu/g(245×4π×10-7Wb・m/kg)の飽和磁化(Ms)、及び216emu/g(216×4π×10-7Wb・m/kg)の残留磁気(Mr)を示した。ここでemuは電磁単位である。
ここで、Aは交換定数であり、K1は第1結晶異方性定数であり、r0は核の直径である。飽和保磁力の式についてもう一度言及すると、Neffは、材料の平均消磁係数であり、HKは異方性磁界である。図24Aに示されているように、調べた窒化鉄箔サンプル例は、1910Oeの飽和保磁力(Hc)、245emu/g(245×4π×10-7Wb・m/kg)の飽和磁化(Ms)、及び216emu/g(216×4π×10-7Wb・m/kg)の残留磁気(Mr)を示した。ここでemuは電磁単位である。
図24Bは、図24Aで分析したテクスチャを含む窒化鉄磁石例に関するHc/Msと(2K/Ms 2)との相関を示すチャートである。図24Bのチャートは、図21Aに関して論じたように製造した窒化鉄磁石例に関して、300K、200K、100K、50K、及び5Kの値でサンプリングしたデータ点を表す。ベータ(β)の直線フィッティングを示す、データに沿ってフィッティングされた直線も、図24Bに示されている。直線の傾きは0.8152であり、一方でy軸に対する直線の切片は、正である。焼結ネオジム(例えばNdFeB)磁石などのその他の永久磁石と比較すると、ここで調べた窒化鉄磁石は、ほとんどの焼結ネオジム磁石よりも大きい傾き(α)を示す。さらに、y軸の正の切片は、調べた窒化鉄材料と大半の焼結ネオジム磁石とで異なる。
図25Aは、ルテニウム(Ru)被覆層を有する窒化鉄薄膜の偏極中性子反射率測定(PNR)の結果を示すチャートである。チャート上の上側曲線136は、Ru被覆窒化鉄薄膜上のスピンアップ(R++)入射がある偏極中性子についてのフィッティングされた反射曲線を示し、一方、下側曲線138は、Ru被覆窒化鉄薄膜上のスピンダウン(R−−)入射がある偏極中性子についてのフィッティングされた反射曲線を示す。
図25Bは、図25AのRu被覆層を有する窒化鉄薄膜からの距離の関数として、核散乱長密度及び場依存性磁化深度のプロファイルを示すチャートである。チャート上の上側曲線140は、散乱長密度(SLD)値対(ナノメートルで測定した)Ru被覆窒化鉄薄膜からの深度を示す。チャート上の下側曲線142は、(テスラで測定した)Ru被覆窒化鉄薄膜の磁化対薄膜からの深度を示す。
図26Aは、銀(Ag)被覆層を有する窒化鉄薄膜のPNRの結果を示すチャートである。チャート上の上側曲線144は、Ag被覆窒化鉄薄膜上のスピンアップ(R++)入射がある偏極中性子についてのフィッティングされた反射曲線を示し、一方、下側曲線146は、Ag被覆窒化鉄薄膜上のスピンダウン(R−−)入射がある偏極中性子についてのフィッティングされた反射曲線を示す。
図26Bは、図26AのAg被覆層を有する窒化鉄薄膜からの距離の関数として、核散乱長密度及び場依存性磁化深度のプロファイルを示すチャートである。チャート上の上側曲線148は、散乱長密度(SLD)値対(ナノメートルで測定した)Ag被覆窒化鉄薄膜からの深度を示す。チャート上の下側曲線150は、(テスラで測定した)Ag被覆窒化鉄薄膜の磁化対薄膜からの深度を示す。
様々な実施例を記載してきた。これらの及びその他の実施例は、以下の特許請求の範囲の範囲に含まれる。
Claims (46)
- 1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピース、及び
前記窒化鉄含有ワークピースの外面の少なくとも一部を覆う材料の層を含む物品であって、
前記材料が、前記窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有し、前記材料の層が、前記窒化鉄含有ワークピースに対して、少なくとも前記材料の層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間の界面に平行な方向で、張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼす、
前記物品。 - 前記材料の層が、前記材料の層と歪んだ窒化鉄含有ワークピースとの間の界面に少なくとも平行な方向で、前記窒化鉄含有ワークピースの熱膨張係数よりも高い熱膨張係数を有する、請求項1に記載の物品。
- 前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子を含み、前記層が、前記窒化鉄含有ナノ粒子の外面を実質的に包む、請求項1又は2に記載の物品。
- 前記材料の層が、前記窒化鉄含有ナノ粒子の体積熱膨張係数よりも高い体積熱膨張係数を有する、請求項3に記載の物品。
- 前記層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子に対して、前記圧縮力を及ぼす、請求項3又は4に記載の物品。
- 前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜を含み、前記材料の層が、前記窒化鉄含有薄膜の外面の少なくとも一部を覆う、請求項1又は2に記載の物品。
- 前記材料の層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜に対して、前記張力を及ぼす、請求項6に記載の物品。
- 1つ以上の下位層が、前記窒化鉄含有薄膜の下にある、請求項6又は7に記載の物品。
- 前記1つ以上の下位層が、第1の下位層、第2の下位層、及び第3の下位層を含み、前記第2の下位層が、第1の下位層と前記第3の下位層との間に配置しており、前記第1の下位層が前記窒化鉄含有薄膜の直下にあり、前記第1の下位層が銀(Ag)を含み、前記第2の下位層が鉄(Fe)を含み、前記第3の下位層が酸化マグネシウム(MgO)を含む、請求項8に記載の物品。
- 前記第1の下位層、前記第2の下位層、及び前記第3の下位層の各々が、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、請求項9に記載の物品。
- 前記窒化鉄含有薄膜が、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、請求項6〜10のいずれか一項に記載の物品。
- 前記材料の層が、Fe3O4、Fe2O3、SiO2、TiO2、SO2、Al2O3、MgO、Si3N4、CaCO3、Au、Ag、又はRuのうち1種以上を含む、請求項1〜11のいずれか一項に記載の物品。
- 前記層が、約1nmと約100ミクロン(μm)の間の厚さを規定する、請求項1〜12のいずれか一項に記載の物品。
- 窒化鉄含有ワークピースをエッチングして結晶テクスチャを前記窒化鉄含有ワークピースに形成すること、
前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませること、及び
前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部にFe16N2相を形成することを含む方法であって、
前記テクスチャが、前記Fe16N2相を含む前記アニーリングされた窒化鉄含有ワークピース内に歪みを実質的に保持する、
前記方法。 - 前記窒化鉄含有ワークピースをエッチングする前に、
窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成すること、並びに
前記鉄及び窒素を含む混合物を急冷して、前記窒化鉄含有ワークピースを形成すること、
をさらに含む、請求項14に記載の方法。 - 窒素源の存在下で鉄含有ワークピースを加熱して、鉄及び窒素を含む混合物を形成すること、
をさらに含み、
前記窒化鉄含有ワークピースをエッチングして結晶テクスチャを前記窒化鉄含有ワークピースに形成することが、前記鉄及び窒素を含む混合物をエッチングして、前記鉄及び窒素を含む混合物に結晶テクスチャを形成することを含み、
前記鉄及び窒素を含む混合物をエッチングした後、且前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませる前に、前記鉄及び窒素を含む混合物を急冷して、前記窒化鉄含有ワークピースを形成する、
請求項14に記載の方法。 - 前記窒素源の存在下で前記鉄含有ワークピースを加熱することが、前記窒素源の存在下で少なくとも前記鉄含有ワークピースを650℃以上に加熱することを含む、請求項15又は16に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースをエッチングすることが、前記窒化鉄含有ワークピースを希HNO3に晒すことを含み、HNO3が、前記希HNO3中で約5%と約20%の間の濃度を有する、請求項14〜17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることが、前記窒化鉄含有ワークピースに張力を加えることを含む、請求項14〜18のいずれか一項に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることが、加えた前記張力の軸線に直交する少なくとも1つの軸線に沿って、前記窒化鉄含有ワークピースに圧縮力を加えることをさらに含む、請求項19に記載の方法。
- 前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースをアニーリングすることが、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませながら、前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングすることを含む、請求項14〜20のいずれか一項に記載の方法。
- 前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースをアニーリングすることが、前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースを約100℃と約300℃の間で加熱することを含む、請求項14〜21のいずれか一項に記載の方法。
- 前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースを約20時間と約100時間の間加熱する、請求項22に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースを不活性雰囲気中でアニーリングする、請求項14〜23のいずれか一項に記載の方法。
- 前記テクスチャが強い、請求項14〜24のいずれか一項に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースが複数の窒化鉄結晶を含む、請求項14〜25のいずれか一項に記載の方法。
- 前記テクスチャが、前記複数の窒化鉄結晶のうち少なくも一部の窒化鉄結晶の少なくとも一部の共通の結晶軸の実質的に平行な配列を含む、請求項26に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることが、前記複数の窒化鉄結晶のそれぞれの<001>結晶軸に実質的に平行な方向に、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませることを含む、請求項26又は27に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピースが、窒化鉄含有リボン、薄膜、又はバルクのワークピースを含む、請求項14〜28のいずれか一項に記載の方法。
- 第1の温度で1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースに材料の層を適用して、それにより、前記層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間に界面を形成することであって、前記材料が、前記窒化鉄含有ワークピースとは異なる熱膨張係数を有すること、並びに
前記窒化鉄含有ワークピース及び前記材料の層を前記第1の温度から前記第1の温度とは異なる第2の温度にして、前記窒化鉄含有ワークピースに圧縮力又は張力の少なくとも一方を及ぼすことであって、前記圧縮力又は張力の少なくとも一方が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部に歪みを保持すること
を含む方法。 - 前記第1の温度が前記第2の温度よりも高い、請求項30に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有ワークピース及び前記材料の層を前記第1の温度から前記第2の温度にすると、前記材料の層が、前記材料の層と前記窒化鉄含有ワークピースとの間の前記界面に平行な少なくとも1つの方向の幅が変化して、それにより、前記材料の層が、前記歪んだ窒化鉄含有ワークピースに対して、前記界面と平行な少なくとも1つの方向で、張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼす、請求項30又は31に記載の方法。
- 前記第1の温度と前記第2の温度との間の温度範囲に亘って、前記材料の層が、前記層と窒化鉄含有ワークピースとの間の前記界面に平行な少なくとも1つの方向で、前記窒化鉄含有ワークピースの平均熱膨張係数よりも高い平均熱膨張係数を有する、請求項30〜32のいずれか一項に記載の方法。
- 前記材料の層を適用する前に、前記窒化鉄含有ワークピースを歪ませながら前記窒化鉄含有ワークピースをアニーリングして、前記窒化鉄含有ワークピースの少なくとも一部に1つ以上のFe16N2相領域を形成することをさらに含む、請求項30〜33のいずれか一項に記載の方法。
- 前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有ナノ粒子を含み、前記材料の層が、前記窒化鉄含有ナノ粒子を実質的に包み込む、請求項30〜34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第1の温度と前記第2の温度との間の温度範囲に亘って、前記材料の層の材料が、前記歪んだ窒化鉄含有ナノ粒子の平均体積熱膨張係数よりも高い平均体積熱膨張係数を有する、請求項35に記載の方法。
- 前記第2の温度に冷却したときに、前記層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ナノ粒子に対して、前記圧縮力又は前記張力の少なくとも一方を及ぼす、請求項35又は36に記載の方法。
- 前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有ワークピースが、1つ以上のFe16N2相領域を含む窒化鉄含有薄膜を含み、前記材料の層が、前記窒化鉄含有薄膜を覆う、請求項30〜34のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第2の温度に冷却したときに、前記材料の層が、前記1つ以上のFe16N2相領域を含む前記窒化鉄含有薄膜に対して、前記張力又は圧縮力の少なくとも一方を及ぼす、請求項38に記載の方法。
- 1つ以上の下位層が、前記窒化鉄含有薄膜の下にあり、前記材料の層が、前記窒化鉄含有薄膜の外面を覆う、請求項38又は39に記載の方法。
- 前記1つ以上の下位層が、第1の下位層、第2の下位層、及び第3の下位層を含み、前記第2の下位層が、第1の下位層と前記第3の下位層との間に配置しており、前記第1の下位層が前記窒化鉄含有薄膜の直下にあり、前記第1の下位層が銀(Ag)を含み、前記第2の下位層が鉄(Fe)を含み、前記第3の下位層が酸化マグネシウム(MgO)を含む、請求項30に記載の方法。
- 前記第1の下位層、前記第2の下位層、及び前記第3の下位層の各々が、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、請求項41に記載の方法。
- 前記窒化鉄含有薄膜が、約1ナノメートル(nm)と約100nmの間の厚さを規定する、請求項38〜42のいずれか一項に記載の方法。
- 前記材料の層が、Fe3O4、Fe2O3、SiO2、TiO2、SO2、Al2O3、MgO、Si3N4、CaCO3、Au、Ag、又はRuのうち1種以上を含む、請求項30〜43のいずれか一項に記載の方法。
- 前記材料の層が、約1nmと約100ミクロン(μm)の間の厚さを規定する、請求項30〜44のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ワークピースが、線、ロッド、バー、導管、中空導管、フィルム、シート、又は繊維のうち1つ以上の形態である、請求項1〜45のいずれか一項に記載のもの。
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