JP2018503108A - フラットパネルディスプレイボトム側の静電気放散 - Google Patents

Abstract

本発明は、ＦＰＤ（１３）製造中にＦＰＤをリフトピン（１９）によってテーブル（１２）から持ち上げるときに、ＦＰＤのボトム側で静電気放散を行うべく、Ｘ線管（１１）からのＸ線を利用する、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造機（１０．２０．３０．４０）を含む。また、本発明は、ＦＰＤのボトム側で静電気放散を行う方法を含む。

Description

本出願は概して、ＦＰＤの製造中における、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のボトム側からの静電気放散のためのＸ線の使用に関する。

例えば電子部品など、一部の材料における静電気の電荷は、突然放電し得て、その結果、材料に損傷が生じ得る。例えば、静電気の電荷は、製造中にフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）上に蓄積し得る。ＦＰＤのボトム側にある静電荷は、ＦＰＤがテーブルから持ち上げられるとき、支持テーブルに放電し得て、ＦＰＤのボトム側に損傷を生じさせ得る。そのような電荷を徐々に放散させるべく、適切な抵抗値を有する導電路を提供することは有益であり得る。これらの静電荷を徐々に放散させることで、敏感なコンポーネントの損傷が回避され得る。

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のボトム側を含む様々な材料において、静電荷を徐々に放散させるべく、適切な抵抗値を有する導電路を提供することは有益であることが知られている。本発明は、これらの需要を満たすべく、ＦＰＤの製造中にＦＰＤのボトム側から静電気放散させる方法およびＦＰＤ製造機の様々な実施形態に関する。各実施形態は、これらの需要の１つ、いくつか、または全部を満たし得る。

ＦＰＤ製造機はテーブル、リフトピン、および、アクチュエータを備え得る。テーブルは孔部を有し得る。リフトピンは、孔部内で移動可能に配置され得る。アクチュエータは、リフトピンに力を及ぼすことで、少なくとも、リフトピンを補助してＦＰＤをテーブルから持ち上げさせ得る。テーブルは、ＦＰＤの製造中にＦＰＤのボトム側で静電気放散するためのＸ線管を取り付けるように構成され得る。

本方法は、ＦＰＤをテーブルから持ち上げることと、ＦＰＤがテーブルから持ち上げられるときにＦＰＤとテーブルとの間にＸ線を放射することで、ＦＰＤのボトム側の静電荷を静電気放散させるべく空気をイオン化することとを有し得る。

テーブル１２によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、第１孔部１８_ｆに移動可能に配置されている各リフトピン１９、ならびに、第２孔部１８_ｓ内部において、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられている各Ｘ線管１１を示す。 テーブル１２によって上昇し、リフトピン１９によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、第１孔部１８_ｆに移動可能に配置されている各リフトピン１９、ならびに、第２孔部１８_ｓ内部において、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられている各Ｘ線管１１を示す。 ＦＰＤ１３を含まない、ＦＰＤ製造機１０の上面図であり、第１孔部１８_ｆに移動可能に配置されている各リフトピン１９、ならびに、第２孔部１８_ｓ内部において、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられている各Ｘ線管１１を示す。 テーブル１２によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、Ｘ線管１１が、リフトピン１９ の少なくとも鉛直部分を成し得て、リフトピン１９に沿って移動可能であり得ることを示す。 テーブル１２によって上昇し、リフトピン１９によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、Ｘ線管１１が、リフトピン１９ の少なくとも鉛直部分を成し得て、リフトピン１９に沿って移動可能であり得ることを示す。 ＦＰＤ１３を含まない、ＦＰＤ製造機２０の上面図であり、Ｘ線管１１が、リフトピン１９ の少なくとも鉛直部分を成し得て、リフトピン１９に沿って移動可能であり得ることを示す。 テーブル１２によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、リフトピン１９が各々、中空コアを有するリフトシリンダ１９_ｃであり得ることを示す。各Ｘ線管１１は、リフトシリンダ１９_ｃの中空コア内部に配置され得て、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられ得る。 テーブル１２によって上昇し、リフトピン１９によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、リフトピン１９が各々、中空コアを有するリフトシリンダ１９_ｃであり得ることを示す。各Ｘ線管１１は、リフトシリンダ１９_ｃの中空コア内部に配置され得て、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられ得る。 ＦＰＤ１３を含まない、ＦＰＤ製造機３０の上面図であり、リフトピン１９が各々、中空コアを有するリフトシリンダ１９_ｃであり得ることを示す。各Ｘ線管１１は、リフトシリンダ１９_ｃの中空コア内部に配置され得て、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられ得る。 テーブル１２によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、Ｘ線管１１がテーブル１２の外縁の少なくとも一部の近くに配置され得て、テーブル１２とＦＰＤ１３との間にＸ線１７を放射するように位置決めされ得ることを示す。 テーブル１２によって上昇し、リフトピン１９によって支持されているＦＰＤ１３概略側断面図を示し、Ｘ線管１１がテーブル１２の外縁の少なくとも一部の近くに配置され得て、テーブル１２とＦＰＤ１３との間にＸ線１７を放射するように位置決めされ得ることを示す。 ＦＰＤ１３を含まない、ＦＰＤ製造機４０の上面図であり、Ｘ線管１１がテーブル１２の外縁の少なくとも一部の近くに配置され得て、テーブル１２とＦＰＤ１３との間にＸ線１７を放射するように位置決めされ得ることを示す。 Ｘ線管１１の周囲にＸ線の３６０度放射を提供し得て、電子エミッタ５１_ｅを含むカソード５１と、カソード２１または電子エミッタ５１_ｅに向かって延在する、半球形状などの突出部または凸面を含むアノード５２とを有するＸ線管１１の概略側断面図である。 ［定義］ 本明細書で使用される「静電気放電」という用語は、静電気が１つの物体から他の物体に急激に流れることを意味する。静電気放電の結果、電子部品に損傷が生じ得る。本明細書で使用される「静電気放散」という用語は、電気が１つの物体から他の物体へと比較的ゆっくりと流れることを意味する。静電気放散は通常、電子部品の損傷につながらない。本明細書で使用される「複合材料」という用語は、互いに大きく異なる特性を有する少なくとも２つの材料であって、組み合わされたときに得られる複合材料が個別の材料と異なる特性を有する、材料からできている材料を意味する。複合材料は通常、マトリックス状に埋め込まれた補強材を含む。複合材料の種類の１つは、マトリックス状に埋め込まれた炭素繊維を含む炭素繊維複合体である。通常のマトリックス材料は、ポリマー、ビスマレイミド、非晶質炭素、水素化非晶質炭素、セラミック、窒化ケイ素、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化アルミニウムを含む。

図１ａ−４ｃは、各々がテーブル１２、リフトピン１９、少なくとも１つのアクチュエータ１５、および、Ｘ線管１１を備える、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造機１０、２０、３０および４０を示す。図１ａ、２ａ、３ａおよび４ａは、テーブル１２によって支持されているＦＰＤ１３を示す。少なくとも１つのリフトピン１９は、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げることを少なくとも補助し得る。図１ｂ、２ｂ、３ｂおよび４ｂは、テーブル１２の上でリフトピン１９によって支持されているＦＰＤ１３を示す。図１ｃ、２ｃ、３ｃおよび４ｃは、ＦＰＤ１３を含まない、テーブル１２、リフトピン１９、および、Ｘ線管１１の上面図を示す。

静電荷は、ＦＰＤ１３の製造中にＦＰＤ１３に蓄積し得る。そのような静電荷の急激な静電気放電は、ＦＰＤ１３を損傷し得る。そのような静電荷を比較的ゆっくり静電気放散することで、この損傷が回避され得る。ＦＰＤ１３の上側１３_ｔ上の静電荷を静電気放散させるべく、様々な方法が使用されてきた。逆側、すなわちＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂでの静電気放散は、より困難であり得る。なぜなら、ＦＰＤ１３を支持するのに使用されるテーブル１２が、静電気放散装置を遮断し得るためである。静電気放電に起因する、ＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂの損傷は通常、ＦＰＤ１３がリフトピン１９によってテーブル１２から上昇するときに生じる。

図１ａ−４ｃで示されているように、１つまたは複数のＸ線管１１は、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げるとき、テーブル１２とＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂとの間にＸ線１７を放射するように配置され得る。Ｘ線１７は軟Ｘ線、または低エネルギーＸ線であり得る。これらのＸ線１７は、ＦＰＤ１３とテーブル１２との間の空気内にイオンを形成し得る。イオンは、ＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂ上で、静電荷を徐々に放散し得て、これにより、ＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂでの急激な静電気放電および損傷を回避する。これらの設計は、アクセスが難しい、ＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂの静電気放散を可能にし得る。また、ＦＰＤ製造機１０、２０、３０および４０は、リフトピン１９がＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げるときに、Ｘ線管１１に、ＦＰＤ１３とテーブル１２との間にＸ線１７を放射させるように構成されているコントローラ２２を備え得る。コントローラ２２は、電源、または、Ｘ線管１１のための電源を有し得る。

テーブル１２は、ＦＰＤ１３に面して接するように配置されている、電気絶縁性外層１２_ｉを有し得る。また、テーブル１２は、１つまたは複数の孔部１８を含み得る。各孔部１８は、テーブル１２を通って延在し得る。各リフトピン１９は、孔部１８内で移動可能に配置され得る。リフトピン１９が孔部１８内を自由に動くことを可能にする空隙が各リフトピン１９の周囲に存在し得る。アクチュエータ１５は、各リフトピン１９に力を及ぼすことで、リフトピン１９に、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げさせ得る。

テーブル１２は、以下の１つまたは複数の手段によって、ＦＰＤ１３の製造中に、ＦＰＤ１３のボトム側１３_ｂで静電気放散するためのＸ線管１１を取り付けるように構成され得る。
１．テーブル１２内の孔部１８は、１つまたは複数の第１孔部１８_ｆおよび１つまたは複数の第２孔部１８_ｓを含み得る。各リフトピン１９は、第１孔部１８_ｆの１つの中に配置され得る。各第２孔部１８_ｓには、ＦＰＤ１３を持ち上げることを少なくとも補助するように構成されたいかなるリフトピン１９も無いことがある。図１ａ−ｃに関連して後述されるように、第２孔部１８_ｓは、Ｘ線管１１のために確保され得る。
２．リフトピン１９は、Ｘ線管１１を追加するべく確保された部分を有し得る。図２ａ−ｃに関連して後述されるように、この部分は、リフトピン１９の鉛直部分、または、その全体であり得る。または、図３ａ−ｃに関連して後述されるように、これは中空コアであり得る。
３．図４ａ−ｃに関連して後述されるように、テーブル１２は、Ｘ線管１１を取り付けるためのフレーム４１を含み得る。

図１ａ−ｃで示されているように、孔部１８は、少なくとも１つの第１孔部１８_ｆおよび少なくとも１つの第２孔部１８_ｓを含み得る。リフトピン１９は、第１孔部１８_ｆ内で移動可能に配置され得るが、第２孔部１８_ｓ内には配置され得ない。Ｘ線管１１は、第２孔部１８_ｓの内部において、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられ得る。テーブル１２は、ＦＰＤ１３を保持するための支持面１２_ｓを含み得る。一態様において、Ｘ線管１１のＸ線放射端は、テーブル１２の支持面１２_ｓに対して同一平面上である位置と、当該表面から下に最大１０ミリメートルである距離ｄの位置との間に配置され得る。

図２ａ−ｃで示すように、Ｘ線管１１は、リフトピン１９の長さ部分Ｌ（すなわち鉛直部分）の一部を成す（図２ａ−ｂの左側にあるリフトピン１９およびＸ線管１１を参照）。Ｘ線管１１は、リフトピン全体１９であり得る（図２ａ−ｂの右側にあるリフトピン１９およびＸ線管１１を参照）。Ｘ線管１１は、リフトピン１９に沿って移動可能であり得る。したがって、Ｘ線管１１は、ＦＰＤ１３を持ち上げることを少なくとも補助するのに使用され得る。

スペーサ１４が、１つまたは複数のＸ線管１１のＸ線放射端に配置され得る。スペーサ１４は、リフトピン１９の鉛直部分であり得る。スペーサ１４は、ＦＰＤ１３を持ち上げるとき、Ｘ線管１１のＸ線放射端とＦＰＤ１３との間の予め定められた距離Ｄ（例えば、３‐１０ミリメートル）を維持し得て、これにより、Ｘ線１７のための空間を広げ、イオンを形成することを可能にする。

Ｘ線管１１からＦＰＤ１３への電流の流れを回避することは重要であり得る。スペーサ１４は、Ｘ線管１１をＦＰＤ１３から電気絶縁するべく、電気絶縁性であり得る。スペーサ１４は、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）などのポリマーであるか、または、それを含み得る。

スペーサ１４は、イオンの形成のための領域を形成するべく、中空であり得る。スペーサ１４は、スペーサ１４から外方へイオンおよびＸ線１７が通過することを可能にするべく、通気され得る。本明細書に参照によって組み込まれる、２０１５年１０月２２日に申請された米国特許出願第１４／９２０，６５９に記載されているように、スペーサ１４は、シェルの少なくとも一部か、Ｘ線管１１の放射端を超えて延在するシェルの中空領域か、キャップか、または、それらの組み合わせであり得る。

図３ａ−ｃで示されているように、リフトピン１９のうち１つまたは複数は各々、リフトシリンダ１９_ｃであり得て、各々が中空コアを有し得る。Ｘ線管１１は、リフトシリンダ１９_ｃの各々の中空コアの内部に配置され得て、マウント１６などによって、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられ得る。リフトシリンダ１９_ｃは、テーブル１２を持ち上げるのに十分な強度を有する材料であって、例えば炭素繊維複合体など、軟Ｘ線を実質的に透過し得るから構成され得る。リフトシリンダ１９_ｃは、イオンおよび／またはＸ線１７を、リフトシリンダ１９_ｃの中空コアの外部へ通過させることを容易にするための孔部または溝によって通気され得る。

図４ａ−ｃに示されているように、１つまたは複数のＸ線管１１は、テーブル１２の外縁の全部または一部の周囲に配置され得て、ＦＰＤが上昇するときにテーブル１２とＦＰＤ１３との間にＸ線１７を放射するように位置決めされ得る。Ｘ線管１１は、テーブル１２の周囲を囲み得る。Ｘ線管１１は、テーブル１２の支持面１２_ｓと実質的に平行に配向され得る。図４ｃに示されているように、Ｘ線管１１は、フレーム４１によって、テーブル１２に、または、他のいくつかのデバイスに取り付けられ得る。

各設計は、各々の状況またはＦＰＤ製造機について検討され得る利点および欠点を有する。図１ａ−３ｃの設計が有する、図４ａ−ｃの設計に対する利点は、ＦＰＤ１３の中央領域におけるＸ線１７の放射であり得る。図４ａ−ｃの設計が有する、図１ａ−３ｃの設計に対する利点は、Ｘ線管１１を容易に設置できる（すなわち、テーブル１２内の孔部１８、または、リフトピン１９を変更する必要が無い）という点である。図１ａ−ｃの設計が有する、図２ａ−３ｃの設計に対する利点は、可能なＸ線管の場所の柔軟性が増加し得て、したがって、おそらく静電気放散を改善できるという点である。図１ａ−ｃおよび図３ａ−ｃの設計が有する、図２ａ−ｃの設計に対する利点は、リフトピンが上昇するときにＸ線管１１が上昇しないので、テーブル１２に到達する前のＸ線放射の角度が大きくなり得るという点である。しかしながら、各Ｘ線管１１が、Ｘ線管１１の周囲にＸ線１７の３６０度放射を与える場合、図２ａ−ｃの設計が好ましいことがある。様々な設計の間で決定するとき、費用、Ｘ線１７の潜在的な遮断、およびリフトピン１９の強度が検討され得る。また、上の設計の組み合わせも使用され得る。

図５は、Ｘ線管１１の周囲にＸ線の３６０度放射を提供し得るＸ線管１１の例を示す。Ｘ線管１１は、カソード５１およびアノード５２を含み得る。カソード５１は、熱に起因して、および／または、カソード５１とアノード５２との間の高い電圧差に起因して、アノード５２に向かって電子５８を放射するよう構成され得る電子エミッタ５１_ｅを含み得る。アノード５２は、電子エミッタ５１_ｅからの衝突電子５８に応答して、Ｘ線管１１から外方へＸ線１７を放射するよう構成され得る。例えば、電子５８は、アノード５２で標的材料内の原子を励起し、これらの原子にＸ線１７を放射させ得る。

アノード５２は、カソード２１または電子エミッタ５１_ｅに向かって延在する、半球形状などの突出部または凸面を有し得る。突出部は、電圧勾配を改善して、電子２８のアノード２２への放射を容易にし得て、Ｘ線１７の３６０度放射を可能にし得る。凸面は、例えばタングステンなどの標的材料を含み得る。アノード５２は、例えば、耐熱金属、タングステン、金属炭化物、金属ホウ化物、金属炭素窒化物、および／または、貴金属など、様々な材料からできているか、または、それらを含み得る。

Ｘ線管１１は、環状の形状であり得るエンクロージャ５３を含み得る。エンクロージャは、エンクロージャ５３がＦＰＤ１３の重量の少なくとも一部に耐えるべく、強度の高い材料（例えば、複合材料）からできていることがある。エンクロージャ５３は、電気伝導性、または、電気絶縁性であり得る。エンクロージャが電気伝導性である場合、電気絶縁性材料５５によって、カソード５１から絶縁され得る。

エンクロージャ５３は、アノード５２で発生するＸ線１７がＸ線管１１から外面の幅方向（ｌａｔｉｔｕｄｉｎａｌ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎ）に３６０度円弧状に外方へ放射することを可能にする環状形状のウィンドウ５６を含み得る。Ｘ線１７の３６０度放射は、ＦＰＤ１３とテーブル１２との間に大量のイオンを形成する上で効果的であり得るので、ＦＰＤ１３の効果的な静電気放散につながる。ウィンドウ５６は、エンクロージャ５３の一部であり得るか、エンクロージャ５３全体であり得る。

ウィンドウ５６は、例えば、炭素繊維複合体、グラファイト、プラスチック、ガラス、ベリリウム、および／または、炭化ホウ素など、様々な材料からできているか、または、それらを含み得る。炭素繊維複合体を使用する利点として、原子番号が小さいことと、構造強度が高いことと、電気伝導性が高いこととが含まれる。

ウィンドウ５６は、電気伝導性であり得るか、アノード５２と電気結合され得る。エンクロージャ５３は、電気伝導性であり得るか、ウィンドウ５６と電気結合され得る（または、ウィンドウ５６は、エンクロージャ５３全体を形成し得る）。電源５４は、カソード５１に電気結合し得るか、エンクロージャ５３に電気結合し得る。電源５４からエンクロージャへの電気結合は、グランドを介することがある。したがって、電子は、電源５４からカソード５１へ流れ得て、カソード５１からアノード５２へ流れ得て、アノード５２からエンクロージャ５３を通って再び電源５４へ流れ得る。

Ｘ線管１１がリフトピン１９全体である場合、Ｘ線管１１は、Ｘ線管１１をリフトピン１９に取り付けるための、または、Ｘ線管１１をアクチュエータ１５に直接取り付けるためのコネクタ５７を含み得る。コネクタ２７は、ネジ式か、スリーブコネクタか、ＢＮＣコネクタか、他の種類のコネクタであり得る。

フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のボトム側での静電気放散をＦＰＤ１３の製造中に行う方法は、以下の段階のいくつか、またはすべてを含み得て、それらの段階は、示されている順序、または、他の順序で実施され得る。テーブル１２、リフトピン１９、リフトシリンダ１９_ｃ、および、Ｘ線管１１など、方法に記載されているデバイスは、上述されている特性を有し得る。

当該方法は、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げ、その後、ＦＰＤ１３とテーブル１２との間にＸ線１７を放射することを含み得る。

図１ａ−ｂに示されているように、一実施形態において、テーブルは、１つまたは複数の第１孔部１８_ｆ、および、１つまたは複数の第２孔部１８_ｓを含む、複数の孔部１８を含み得る。第２孔部１８_ｓは、第１孔部１８_ｆと異なる。ＦＰＤ１３を持ち上げることは、１つまたは複数のリフトピン１９を使用して、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げることを少なくとも補助することを含み得る。それらのリフトピン１９の各々は、第１孔部１８_ｆ内に配置され得る（通常、各第１孔部１８_ｆにつき、リフトピン１９が１つ）。Ｘ線１７を放射することは、Ｘ線１７を、第２孔部１８_ｓ内に各々配置されている１つまたは複数のＸ線管１１（通常、各第２孔部１８_ｓにつき、Ｘ線管１１が１つ）から放射することを含み得る。第２孔部１８_ｓには、ＦＰＤ１３を持ち上げるように構成されているどのリフトピン１９も無いことがある。Ｘ線管１１は、ＦＰＤ１３を持ち上げる間、テーブル１２に対して固定および静止した状態で取り付けられ得る。一態様において、Ｘ線管１１のＸ線放射端は、テーブル１２の支持面１２_ｓに対して同一平面上である位置と、当該表面から下に最大１０ミリメートルの距離ｄである位置との間に配置され得る。

別の実施形態において、図２ａ−ｂに示されているように、ＦＰＤ１３を持ち上げることは、Ｘ線管１１を使用して、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げることを少なくとも補助することを含み得る。一態様において、Ｘ線管１１は、Ｘ線１７を半径方向外方に、テーブル１２の支持面１２_ｓに平行に、および／または、Ｘ線管１１の周囲に３６０度円弧状に放射するように構成され得る。

別の実施形態において、図３ａ−ｂに示されているように、ＦＰＤ１３を持ち上げることは、少なくとも１つのリフトシリンダ１９_ｃを使用して、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げることを少なくとも補助することを含み得る。リフトシリンダ１９_ｃは各々、テーブル１２内の孔部１８内に配置され得る（通常、１つの孔部１８につき、リフトシリンダ１９_ｃが１つ）。Ｘ線１７を放射することは、Ｘ線１７を、リフトシリンダ１９_ｃの１つの中空コア内部に各々配置される１つまたは複数のＸ線管１１から放射することを含み得る。Ｘ線管１１は、ＦＰＤ１３を持ち上げる間、テーブル１２に対して固定および静止した状態を維持し得る。

別の実施形態において、図４ａ−ｂに示されているように、ＦＰＤ１３を持ち上げることは、１つまたは複数のリフトピン１９を使用して、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げることを少なくとも補助することを含み得る。それらのリフトピン１９は各々、テーブル１２内の孔部１８内に配置される（通常、１つの孔部１８につき、リフトピン１９が１つ）。Ｘ線１７を放射することは、テーブル１２の外縁の少なくとも一部の周囲に配置されている１つまたは複数のＸ線管１１からＸ線１７を放射することを含み得る。Ｘ線管１１は、テーブル１２を囲み得る。Ｘ線管１１は、テーブル１２の支持面１２_ｓに実質的に平行に配向され得る。

電力の無駄を回避し、Ｘ線管１１の過熱を回避し、Ｘ線管１１の早期故障を回避するべく、ＦＰＤ１３がテーブル１２から持ち上げられている間のみ、および、また場合によっては、ＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げる前および／または後の短い時間の間のみ、Ｘ線管１１が稼働してＸ線１７を放射することが重要であり得る。例えば、コントローラ２２は一態様において、ＦＰＤ製造機１０、２０、３０または４０がＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げる３０秒前以降にＸ線管１１を作動するように構成され得る。他の態様においては、１分前以降、更に他の態様においては、３分前以降に作動することもあり得る。他の例として、コントローラ２２は一態様において、ＦＰＤ製造機がＦＰＤ１３をテーブル１２から持ち上げた１分後以内にＸ線１７の放射を終了するように構成され得る。他の態様においては、３分後以内、更に他の態様においては、１０分後以内に終了することもあり得る。

この業界で標準的な用語であるという理由から、「Ｘ線管」という用語が本明細書において使用されているが、Ｘ線管１１は、必ずしも円筒形または管状の形状であるとは限らない。

Claims (20)

1. テーブル、リフトピン、アクチュエータ、およびＸ線管を備える、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造機であって、
   ａ．前記テーブルは孔部を有し、
   ｂ．前記リフトピンは、前記孔部内で移動可能に配置され、
   ｃ．前記アクチュエータは、前記リフトピンに力を及ぼすことができ、それにより、前記リフトピンに前記ＦＰＤを前記テーブルから持ち上げさせることを少なくとも補助し、
   ｄ．前記Ｘ線管は、前記リフトピンの少なくとも鉛直部分を成し、前記リフトピンに沿って移動可能である、
   ＦＰＤ製造機。
2. 更にスペーサを備え、
   前記スペーサは、
   ａ．電気絶縁性であり、
   ｂ．前記Ｘ線管のＸ線放射端に配置され、
   ｃ．前記Ｘ線管を前記ＦＰＤから電気絶縁するように構成され、
   ｄ．前記ＦＰＤを持ち上げるとき、前記Ｘ線管の前記放射端と前記ＦＰＤの間の予め定められた距離を維持するように構成されている、
   請求項１に記載のＦＰＤ製造機。
3. テーブル、リフトピン、および、アクチュエータを備える、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）製造機であって、
   ａ．前記テーブルは、
   ｉ．前記ＦＰＤに面して接触するように構成されている絶縁性外層と、
   ｉｉ．孔部と
   を含み、
   ｂ．前記リフトピンは、前記孔部内で移動可能に配置され、
   ｃ．前記アクチュエータは、前記リフトピンに力を及ぼすことができ、それによって、前記リフトピンに前記ＦＰＤを前記テーブルから持ち上げさせることを少なくとも補助し、
   ｄ．前記テーブルは、前記ＦＰＤの製造中に前記ＦＰＤのボトム側で静電気放散するためのＸ線管を取り付けるように構成されている、
   ＦＰＤ製造機。
4. 更に前記Ｘ線管を備え、
   ａ．前記リフトピンは、中空コアを有するリフトシリンダであり、
   ｂ．前記Ｘ線管は、前記リフトシリンダの前記中空コア内部に配置され、前記テーブルに対して固定および静止した状態で取り付けられる、
   請求項３に記載のＦＰＤ製造機。
5. 前記リフトシリンダは炭素繊維複合体を含む、請求項４に記載のＦＰＤ製造機。
6. 更に前記Ｘ線管および第２孔部を含み、
   ａ．前記第２孔部内部において、前記テーブルに対して固定および静止した状態で取り付けられている前記Ｘ線管と、
   ｂ．前記ＦＰＤを持ち上げることを少なくとも補助するように構成されているリフトピンが前記第２孔部に配置されていない、
   請求項３に記載のＦＰＤ製造機。
7. ａ．前記テーブルは、前記ＦＰＤを保持するための支持面を有し、
   ｂ．前記Ｘ線管のＸ線放射端は、前記テーブルの前記支持面に対して同一平面の位置と、前記支持面から下に最大１０ミリメートルの距離にある位置との間に配置される、
   請求項６に記載のＦＰＤ製造機。
8. 前記テーブルの外縁に配置され、前記テーブルと前記ＦＰＤとの間にＸ線を放射するように位置決めされたＸ線管を更に備える、請求項３に記載のＦＰＤ製造機。
9. 前記ＦＰＤが前記テーブルから持ち上げられるとき、前記Ｘ線管に、前記ＦＰＤと前記テーブルとの間にＸ線を放射させるように構成されているコントローラを更に備える、請求項８に記載のＦＰＤ製造機。
10. フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）のボトム側で、前記ＦＰＤの製造中に静電気放散を行う方法であって、
    ａ．前記ＦＰＤをテーブルから持ち上げることと、
    ｂ．前記ＦＰＤが前記テーブルから持ち上げられるときに前記ＦＰＤと前記テーブルとの間にＸ線を放射することと
    を有する、方法。
11. ａ．前記ＦＰＤを持ち上げることは、リフトピンを使用して、前記ＦＰＤを前記テーブルから持ち上げることを少なくとも補助することであって、前記リフトピンは、前記テーブル内の孔部内に配置されている、ことを含み、
    ｂ．Ｘ線を放射することは、前記テーブルの外縁に配置されているＸ線管からＸ線を放射することを含む、
    請求項１０に記載の方法。
12. 前記テーブルは、前記ＦＰＤを保持するための支持面を有し、前記Ｘ線管は、前記支持面に対して実質的に平行に配向されている、請求項１１に記載の方法。
13. すべて前記テーブルの外縁に配置された複数のＸ線管を更に有し、前記複数のＸ線管は、前記テーブルを囲む、請求項１１に記載の方法。
14. ａ．前記ＦＰＤを持ち上げることは、リフトピンを使用して、前記ＦＰＤを前記テーブルから持ち上げることを少なくとも補助することであって、前記リフトピンは、前記テーブルの第１孔部内に配置されている、ことを含み、
    ｂ．Ｘ線を放射することは、前記テーブル内の第２孔部内に配置されているＸ線管からＸ線を放射することであって、前記第２孔部は、前記第１孔部と異なる、ことを含み、
    ｃ．前記ＦＰＤを持ち上げることを少なくとも補助するように構成されているリフトピンが前記第２孔部内に配置されず、
    ｄ．前記ＦＰＤを持ち上げている間、前記Ｘ線管は、前記テーブルに対して固定および静止した状態を維持する、
    請求項１０に記載の方法。
15. 前記Ｘ線管のＸ線放射端は、前記テーブルの前記支持面に対して同一平面の位置と、前記支持面から下に最大１０ミリメートルの距離にある位置との間に配置される、請求項１４に記載の方法。
16. ａ．前記ＦＰＤを持ち上げることは、リフトシリンダを使用して、前記ＦＰＤを前記テーブルから持ち上げることを少なくとも補助することであって、前記リフトシリンダは、前記テーブル内の孔部内に配置されている、ことを含み、
    ｂ．Ｘ線を放射することは、Ｘ線管からＸ線を放射することを含み、
    ｃ．前記Ｘ線管は、前記リフトシリンダの中空コア内部に配置され、
    ｄ．前記方法は更に、前記ＦＰＤを持ち上げている間に、前記Ｘ線管を前記テーブルに対して固定および静止した状態で維持することを含む、
    請求項１０に記載の方法。
17. 前記リフトシリンダは、炭素繊維複合体を含む、請求項１６に記載の方法。
18. 前記ＦＰＤを持ち上げることは、Ｘ線管を使用して、前記ＦＰＤを前記テーブルから持ち上げることを少なくとも補助することを含む、請求項１０に記載の方法。
19. ａ．前記テーブルは、前記ＦＰＤを保持するための支持面を含み、
    ｂ．前記Ｘ線管は、Ｘ線を半径方向外方に、前記支持面に対して平行に放射するように構成されている、
    請求項１８に記載の方法。
20. 前記Ｘ線管は、半径方向外方に、前記支持面に平行に、前記Ｘ線管の周囲の３６０度円弧状にＸ線を放射するように構成されている、請求項１９に記載の方法。

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