JP2018204987A - 抵抗値測定冶具および抵抗値測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】樹脂製のフィルム上に形成された導電体膜等の平面状試料について、その抵抗値をより正確に測定する技術を提供する。【解決手段】抵抗値測定冶具１０は、離間して配置され、試料Ｆに接触可能に構成された２つの電極１２，１３を有している。これら２つの電極１２，１３は、それぞれ、試料Ｆ側の端である先端部に向かって離間方向の幅が狭くなるように形成されたテーパー部１２ａ，１３ａを有している。かかる抵抗値測定冶具１０によれば、２つの電極１２，１３と試料Ｆとの接触部分の間隔を略一定に保つことができるので、接触部分の位置ずれによる抵抗値の測定精度の低下を抑制することができる上、試料Ｆに過度な応力集中が生じることが抑制されるため、試料Ｆの損傷を抑制することができる。【選択図】図１

Description

本発明は、抵抗値を測定するための冶具および装置に関し、特に平面状試料の抵抗値を測定するための冶具および装置に関するものである。

樹脂等のフィルムの表面に金属や半導体の薄膜を成膜した導電性フィルムは、その導電性を利用してタッチパネル用の透明電極等の電子機器の部材に使用される。従来、このような導電性フィルムの表面抵抗の測定は、２探針法や４探針法等により行われてきた（たとえば、特許文献１参照）。これらの方法では、測定のための電流が探針から供給されるため、電流分布が均一とならない。そのため、正確な表面抵抗は、金属薄膜等の厚さ等に基づいて算出される抵抗補正係数（ＲＣＦ）を用いて、抵抗の測定値を補正することにより算出される。したがって、金属薄膜等の厚さが正確に評価されていない場合には、算出された表面抵抗の値も不正確となる。

そこで、表面抵抗をより高い精度で測定することが試みられてきた。たとえば、特許文献２では、離間した２つの電極を導電膜に対向させるとともに、当該２つの電極に交流電圧を印加することで導電膜に電流を流し、導電膜に流れる電流から導電膜の表面抵抗を測定することが提案されている。

特許第２８３３６２３号公報 特開２０００−２３０９４９号公報

しかしながら、上記特許文献２の如き表面抵抗の測定方法では、導電膜に対向して配置された２つの電極間のインピーダンスを測定し、測定されたインピーダンスから表面抵抗が算出される。そのため、表面抵抗の測定装置が複雑になるとともに、表面抵抗の測定精度を高くすることが容易ではない。また、導電性フィルム（平面状試料）が絶縁膜により分離された複数の導電膜を有している場合、測定対象となる最表面の導電膜以外にも電流が流れるため、表面抵抗を測定することが困難となる。

本発明の目的は、上記測定方法の問題点を解消し、樹脂製のフィルム上に形成された導電体膜等の平面状試料について、その抵抗値をより正確に測定する技術を提供することにある。また、樹脂製のフィルム上に形成された導電体膜等の平面状試料のみならず、金属箔の抵抗値も測定することができる抵抗測定冶具を提供することにある。

本発明の内、請求項１に記載された発明は、平面状試料の抵抗値を測定するための抵抗値測定冶具であって、離間して配置されており測定対象の試料に接触可能な２つの電極を備えており、それらの２つの電極が、それぞれ、離間方向と直交する方向に延びる一定幅の帯状のものであり、基端から先端に向かって離間方向における幅が狭くなるように形成されたテーパー部を有していることを特徴とするものである。

請求項２に記載された発明は、請求項１に記載された発明において、テーパー部の鉛直断面（２つの電極の離間方向に沿った鉛直断面）の内側（２つの電極が互いに対向する方向における内側）の端縁が直線状になっており、かつ、外側（２つの電極が互いに対向する方向における外側）の端縁が外向きに凸な曲線状になっていることを特徴とするものである。

請求項３に記載された発明は、請求項１または２に記載された発明において、前記２つの電極のそれぞれの先端が、丸みを設けたものであることを特徴とするものである。

請求項４に記載された発明は、請求項１〜３のいずれかに記載された発明において、さらに、弾力性を有する材料で形成されたベースを備えており、測定対象の試料が、前記ベースと前記２つの電極との間に配置されることを特徴とするものである。

請求項５に記載された発明は、請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記２つの電極が、抵抗値の測定に際して、予め設定された荷重で測定対象の試料に押し付けられることを特徴とするものである。

請求項６に記載された発明は、平面状試料の抵抗値を測定するための抵抗値測定装置であって、請求項１〜５のいずれかに記載の抵抗値測定冶具と、前記抵抗値測定冶具の前記２つの電極のそれぞれに接続され、前記２つの電極間の抵抗値の測定が可能なテスターとを備えていることを特徴とするものである。

請求項１に係る抵抗値測定冶具は、測定対象の試料に接触可能な一定幅の帯状の２つの電極が、互いに平行になるように配置されている。このように２つの電極を配置することにより、試料には、抵抗値を測定するための電流が、２つの電極の離間方向にほぼ平行に流れる。これにより、試料の抵抗が２つの電極間の抵抗として直接測定されるので、抵抗値をより正確に測定することが可能となる。さらに、請求項１に係る抵抗値測定冶具において、２つの電極は、それぞれ、基端から先端（試料側の端）に向かって離間方向の幅が狭くなるように形成されたテーパー部を有している。そのため、試料と電極とが接触した際に、試料の電極との接触部分に応力が集中する。このように、電極との接触部分に応力が集中することで、電極と試料とが安定的に接触するため、試料の抵抗値をより正確に測定することが可能となる。

請求項２に係る抵抗値測定冶具によれば、テーパー部の長手方向（すなわち、離間方向に垂直な方向、あるいは、奥行き方向）に直交する鉛直断面の内側の端縁が、基端から先端にかけて鉛直な直線状をなしている。そのため、請求項２に係る抵抗値測定冶具によれば、２つの電極と試料との接触部分の間隔をほぼ一定に保つことができるので、接触部分の位置ずれによる抵抗値の測定精度の低下を抑制することができる。さらに、請求項２に係る抵抗値測定冶具では、テーパー部の長手方向（すなわち、離間方向に垂直な方向、あるいは、奥行き方向）に直交する鉛直断面の外側の端縁が、外向きに凸な曲線状をなしている。そのため、電極との接触部分における試料への過度の応力集中が抑制されるので、試料の損傷を抑制することができる。

請求項３に係る抵抗値測定冶具によれば、テーパー部の試料側の先端部に丸みが付けられているので、試料への過度の応力集中をさらに抑制することができる。そのため、より確実に試料の損傷を抑制することができる。

請求項４に係る抵抗値測定冶具によれば、試料が、弾力性を有する材料で形成されたベースと２つの電極との間に配置されるので、試料とベースの上面とが変形し、テーパー部が試料にめり込んだ状態とすることができる。そのため、テーパー部と試料とをより良好に接触させることができるので、抵抗値の測定をより正確に行うことができる。

請求項５に係る抵抗値測定冶具によれば、抵抗値の測定に際して、２つの電極が、予め設定された荷重で試料に押し付けられるので、抵抗値測定の再現性をより高くすることができる。

請求項６に係る抵抗値測定装置によれば、２つの電極間の抵抗値の測定が可能な一般的なテスターにより試料の抵抗値を測定することができるので、平面状試料の抵抗値をより簡便に測定することができる。

本発明を適用した抵抗値測定装置の構成を示す説明図であり、電極形状は電極の実施形態１を用いたものである。 電極と平面状試料との接触状態を示す説明図である。 電極形状の変形例として電極の実施形態２、電極の実施形態３、電極の実施形態４をそれぞれ示す説明図である。

以下、本発明に係る抵抗値測定冶具および抵抗値測定装置の実施形態について図面に基づいて詳細に説明する。

＜抵抗値の測定対象＞
本発明を適用することにより好適に抵抗値が測定される平面状試料としては、樹脂製のフィルム上に形成された導電体膜、導電性材料で形成されたフィルムや金属箔を挙げることができる。ここで、フィルムとは、可撓性を有する平面状の部材をいう。フィルム上の導電体膜は、たとえば、アルミニウム、銀、銅等の金属、あるいは、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）等の半導体を蒸着等の方法で成膜することにより形成される。フィルムとして形成される導電性材料としては、たとえば、ポリアセチレン等の導電性ポリマーや、樹脂に導電性微粒子を分散した複合材料が挙げられる。また、導電体膜が形成されたフィルムや導電性材料で形成されたフィルム（以下、併せて「導電性フィルム」とも呼ぶ）の他、絶縁体基板上に形成された導電体膜についても、本発明を適用することにより好適に抵抗値を測定することができる。また、金属箔として、アルミニウム箔、ステンレス箔、銅箔等の測定を行うことができる。さらに、絶縁性材料で形成されたフィルム（絶縁性フィルム）や膜についても、本発明を適用することにより好適に抵抗値を測定し、あるいは、絶縁性を確認することができる。但し、本発明は、導電性フィルムや絶縁性フィルム等のフィルム状試料の抵抗値の測定により好適であり、特に、導電性フィルムの抵抗値に好適である。

＜抵抗値測定装置＞
図１は、本発明の一実施形態としての抵抗値測定装置１の構成を示す説明図である。抵抗値測定装置１は、平面状試料（導電性フィルム）Ｆの抵抗値を測定するための装置であって、抵抗値測定冶具１０、抵抗値測定器２０、および、抵抗値測定冶具１０と抵抗値測定器２０とを接続する４本の接続線ＷＩ１，ＷＶ１，ＷＩ２，ＷＶ２を有している。

抵抗値測定冶具１０は、ベース１１と、２つの電極１２，１３と、固定具１４と、錘１５とを有しており、鉛直下方から上方に向かって、この順に配置されている。ベース１１は、シリコーンゴムで形成された平面状試料Ｆを配置するための板状の絶縁体である。なお、ベース１１は、シリコーンゴムに限らず、絶縁性と弾力性とを有する材料で形成すれば良く、ウレタンゴム等の種々のゴムで形成することも可能である。また、ここで、弾力性とは、ゴムのように比較的容易に弾性変形が生じる特性をいい、たとえば、ＪＩＳ Ｋ６２５３に規定されたタイプＡデュロメータで測定される硬さが概ね９０以下であることに相当する。

電極１２，１３は、長さが平面状試料Ｆの幅と同程度の棒状の導電体であり、水平方向に離間して配置されている。電極１２，１３は、たとえば、銅からなる母材に金等の貴金属のメッキを施すことにより形成される。電極１２，１３には、平面状試料Ｆ側の先端部に向かって幅が狭くなるように形成されたテーパー部１２ａ，１３ａが設けられている。テーパー部１２ａ，１３ａは、長手方向、すなわち、離間方向に垂直な方向（奥行き方向）の断面の縁端が、内側（電極１２，１３同士が対向する方向における内側）において先端から上方（すなわち、離間方向と直交する方向）に向かって延びる直線状をなしており、外側（電極１２，１３同士が対向する方向における外側）において、先端部から延び外向きに凸な曲線状をなしている。当該先端は、先鋭な形状とすることも可能であるが、電界強度の集中を低下させ、また平面状試料Ｆの表面の傷つきを防止するために、丸みを設けることが好ましい。

なお、図１に示す抵抗値測定冶具１０では、電極１２，１３が全体として棒状に形成されているが、一般的には、電極は、上述したテーパー部が設けられていれば良く、テーパー部以外の形状は、種々変更することができる。たとえば、電極を、テーパー部と、テーパー部の長手方向における長さがテーパー部よりも短い部分を有するものとして構成することも可能である。

固定具１４は、電極１２，１３を固定するための部材であり、たとえば、ポリオキシメチレン（ＰＯＭ：polyoxymethylene）等の形状安定性が高い絶縁性の樹脂で形成される。図１の例では、固定具１４の外側の両端に、内側に凹んだ凹部１４ａが設けられている。電極１２，１３は、凹部１４ａに嵌め込まれた状態で、図示しないねじ等を用いて固定具１４に固定される。これにより、電極１２，１３の内側は、所定の距離（電極間距離）で離間させられる。なお、固定具１４は、２つの電極１２，１３を所定の距離で離間させた状態で固定できれば良く、種々形状を変更することができる。たとえば、固定具は、凹部を形成しない直方体状としても良く、また、ベース１１側（平面状試料Ｆ側）とは反対側に平板状の蓋を設けるものとしても良い。

錘１５は、電極１２，１３が取り付けられた固定具１４上に配置される。固定具１４上に錘１５を配置することにより、固定具１４に取り付けられた電極１２，１３は、錘１５の質量で決定される荷重でベース１１上に配置された平面状試料Ｆに押し付けられる。固定具１４上に錘１５を配置することにより、電極１２，１３と平面状試料Ｆの接触を確実にすることができ、さらに、電極１２，１３を平面状試料Ｆに押し付ける荷重（押付荷重）をほぼ一定にすることができるので、抵抗値測定の再現性をより高くすることができる。

なお、図１の例では、錘１５を直方体状としているが、錘の形状はこの限りでない。また、図１の例では、錘１５を固定具１４上に配置しているのみであるが、固定具に鉛直上方に延びる棒材を設けるとともに、当該棒材が挿入される貫通穴を錘に設けることにより、錘の落下を抑制するものとしても良い。さらに、錘１５に替えて、ばね等の弾性部材を用い、電極１２，１３を平面状試料Ｆに押し付けるものとしても良い。この場合、ベース１１から固定具１４までは、必ずしも、下方から上方に向かって配置する必要はない。

抵抗値測定器２０は、４端子法による抵抗値の測定が可能なテスターであり、２つの電流供給端子および２つの電圧測定端子（いずれも図示しない）を有している。接続線ＷＩ１，ＷＩ２は、２つの電流供給端子のそれぞれに接続され、接続線ＷＶ１，ＷＶ２は、２つの電圧測定端子のそれぞれに接続される。そして、一方の電流供給端子と電圧測定端子の組に接続された接続線ＷＩ１，ＷＶ１は、近接した位置において、一方の電極１２に接続される。同様に、他方の電流供給端子と電圧測定端子の組に接続された接続線ＷＩ２，ＷＶ２は、近接した位置において、他方の電極１３に接続される。これにより、接続線ＷＩ１，ＷＶ１，ＷＩ２，ＷＶ２の電気抵抗の影響を受けることなく、試料の抵抗値をより正確に測定することが可能となっている。なお、抵抗値の測定は、２端子法で行うものとしても良い。但し、試料の抵抗値をより正確に測定することができる点で、抵抗値の測定は、４端子法で行うのが好ましい。

＜電極と試料との接触状態＞
図１に示す電極は基端から先端に向かって離間方向における幅が狭くなるように形成されたテーパー部を有しており、テーパー部の長手方向（すなわち、離間方向に垂直な方向、あるいは、奥行き方向）に直交する鉛直断面の内側の端縁が、基端から先端にかけて鉛直な直線状をなしている。以下、図１に示す電極の実施形態を「電極の実施形態１」と呼ぶ。図２は、電極の実施形態１において電極１２と平面状試料Ｆとの接触状態を示す説明図である。図２（ａ）は、電極１２を平面状試料Ｆに押し付ける荷重（押付荷重）を電極１２に加えていない状態を示し、図２（ｂ）は、矢印で示すように、押付荷重を電極１２に加えた状態を示している。なお、図２では、平面状試料Ｆと一方の電極１２との接触状態を示しているが、他方の電極１３においても同様である。

図２（ａ）に示すように、押付荷重を電極１２に加えない状態で、電極１２の先端部は平面状試料Ｆに接触する。この状態で、錘１５を固定具１４に載せることにより（図１参照）、電極１２に押付荷重が加わる（図２（ｂ））。電極１２に押付荷重が加わり、電極１２が平面状試料Ｆに押し付けられると、平面状試料Ｆの電極１２との接触部分には応力が集中する。これにより、平面状試料Ｆと、平面状試料Ｆが配置されたベース１１の上面とが変形し、電極１２が平面状試料Ｆにめり込んだ状態となる。このように、電極１２が平面状試料Ｆにめり込むことにより、電極１２と平面状試料Ｆとが良好に接触するので、抵抗値の測定をより正確に行うことができる。

上述の通り、電極１２に設けられたテーパー部１２ａは、その長手方向の断面の縁端が、外側において、外向きに凸な曲線をなしている。そのため、図２（ｂ）に示すように、電極１２を平面状試料Ｆに押し付け、電極１２が平面状試料Ｆにめり込んだ状態において、電極１２に加えられた押付荷重は、分散して平面状試料Ｆに伝わる。このように押付荷重が分散されることにより、過度な応力集中が生じて平面状試料Ｆが損傷することが抑制される。さらに、電極１２の先端部に丸みを設けることにより、過度な応力の集中をさらに抑制することができるので、より確実に平面状試料Ｆの損傷を抑制することができる。

なお、図２では、弾力性を有するベース１１にフィルム状の平面状試料Ｆを配置した場合を例に示しているが、ベースが硬質の樹脂等で形成されている場合、あるいは、絶縁体基板上に形成された導電体膜の抵抗値を測定する場合においても、電極１２に押付荷重を加えると、ベースや絶縁体基板も若干弾性変形する。そのため、図２の例と同様に、押付荷重が分散されるので、測定対象となる平面状試料の損傷を抑制することができる。

また、図２に示す通り、電極１２は、長手方向に直交する断面の縁端が、内側において、先端部から上方に延びる直線をなしているとともに、平面状試料Ｆ側の先端部に向かって幅が狭くなっている。そのため、電極１２が平面状試料Ｆに接触した状態（図２（ａ））、および、電極１２が平面状試料Ｆにめり込んだ状態（図２（ｂ））のいずれにおいても、電極１２と平面状試料Ｆとの接触部分の内側の端の位置はほぼ同一となる。本実施形態によれば、このようにして、２つの電極と平面状試料Ｆとの接触部分の間隔を、ほぼ一定の電極間距離に保つことができるので、接触部分の位置ずれによる抵抗値の測定精度の低下を抑制することができる。

さらに、接触部分の位置ずれによる抵抗値の測定精度の低下を抑制することができるため、電極間距離をより短くし、より狭い領域の抵抗値を評価することも可能となる。したがって、平面状試料に斑等の不均一性があっても、不均一部分を避けて抵抗値を評価することができる。

また、電極間距離は、必ずしも短くするのが好ましいとは限らない。一般的に、電極間距離（抵抗測定装置１（図１）の電極１２，１３の間隔）と、電極長（電極１２，１３の離間方向に垂直な方向における電極１２，１３の長さ）との比は、その目的に応じて、適宜設定される。

上述の通り、電極１２，１３において、平面状試料Ｆと接触するテーパー部１２ａ，１３ａは、長手方向が離間方向に垂直な方向（奥行き方向）となっている。そのため、電極１２と平面状試料Ｆとが接触する接触部分の両端部（奥行き方向の両端）の２点と、電極１３と平面状試料Ｆとが接触する接触部分の両端部の２点との４点は、仮想的な矩形をなす。電極間距離と電極長との比は、この仮想的な矩形を正方形状、あるいは、ほぼ正方形状とするものとしても良い。このようにすれば、抵抗値測定器２０により測定された抵抗値が、平面状試料Ｆの単位面積当たりの抵抗値と一致するので、換算等の処理を行うことなく単位面積当たりの抵抗値を評価することができる。

なお、本実施形態である電極の実施形態１においては、テーパー部１２ａ，１３ａは、その長手方向の断面の縁端が、内側において先端から上方に向かって延びる直線状をなしているため、電極間距離と、仮想的な矩形の電極１２，１３の離間方向における辺の長さが一致する。そのため、たとえば、電極間距離と電極長とをいずれも５ｃｍとし、あるいは、電極間距離と電極長とをいずれも１０ｃｍとすれば、平面状試料Ｆの単位面積あたりの抵抗値を評価することができる。

また、図１に示すように、測定対象の平面状試料Ｆが長方形（例えば、１５ｃｍ×１０ｃｍ）である場合、２つの電極１２，１３の間隔（電極間距離）を当該長方形の短辺の長さ（１０ｃｍ）以上とし、２つの電極１２，１３の離間方向を当該長方形の長辺方向に合わせるとともに、当該長方形の長手方向の両端が２つの電極１２，１３の外側に出るように、抵抗値測定治具１０を配置すればよい。このようにすれば、１０ｃｍ×１０ｃｍの範囲で平面状試料Ｆの抵抗値が測定される。そして、測定された抵抗値においては、平面状試料Ｆの形状である長方形の短辺の長さ（１０ｃｍ）と、電極間距離（１０ｃｍ）とが相殺されるので、測定された抵抗値により、平面状試料Ｆの単位面積あたりの抵抗値が表される。

＜抵抗値測定冶具の効果＞
抵抗値測定冶具１０は、上記の如く、離間して配置されており測定対象の試料Ｆに接触可能な２つの電極１２，１３を備えており、それらの２つの電極１２，１３が、それぞれ、離間方向と直交する方向に延びる一定幅の帯状のものであり、基端から先端に向かって離間方向における幅が狭くなるように形成されたテーパー部１２ａ，１３ａを有しているとともに、それらのテーパー部１２ａ，１３ａの鉛直断面の内側の端縁が先端から基端に向かう直線状になっており、かつ、外側の端縁が外向きに凸な曲線状になっている。したがって、抵抗値測定冶具１０によれば、２つの電極１２，１３と試料Ｆとの接触部分の間隔を略一定に保つことができるので、接触部分の位置ずれによる抵抗値の測定精度の低下を抑制することができる上、試料Ｆに過度な応力集中が生じることが抑制されるため、試料Ｆの損傷を抑制することができる。

また、抵抗値測定冶具１０は、テーパー部１２ａ，１３ａの試料Ｆ側の先端に丸みが設けられているので、試料Ｆにおける過度な応力の集中をさらに抑制することができる。そのため、より確実に試料Ｆの損傷を抑制することができる。

さらに、抵抗値測定冶具１０は、弾力性を有する材料で形成されたベース１１を備えており、測定対象の試料Ｆが、ベース１１と２つの電極１２，１３との間に配置されており、試料Ｆとベースの１１上面とを変形させて、テーパー部１２ａ，１３ａを試料Ｆに（わずかに）めり込ませることができ、テーパー部１２ａ，１３ａと試料Ｆとをより良好に接触させることができるので、抵抗値の測定をより正確に行うことができる。

加えて、抵抗値測定冶具１０は、２つの電極１２，１３が抵抗値の測定に際して、予め設定された荷重で測定対象の試料Ｆに押し付けられるため、抵抗値測定の再現性をより高くすることができる。

一方、抵抗値測定装置１は、上記の如く、抵抗値測定冶具１０と、抵抗値測定冶具１０の２つの電極１２，１３のそれぞれに接続され、２つの電極１２，１３間の抵抗値の測定が可能なテスターである抵抗値測定器２０とを備えているので、平面状試料の抵抗値を簡便に測定することができる。

＜電極形状の変形例＞
（電極の実施形態１）
電極の実施形態１では、平面状試料Ｆの抵抗値の測定に使用する２つの電極として、平面状試料Ｆ側の先端部に向かって幅が狭くなるように形成されたテーパー部１２ａ，１３ａが設けられ、その長手方向の断面の端縁を、内側において先端から基端に向かう直線状とし、外側において外向きに凸な曲線状とした電極１２，１３を用いているが、これら２つの電極の形状は、種々変更することが可能である。

（電極の実施形態２）
図３は、電極形状の変形例を示す説明図である。図３（ａ）ないし図３（ｃ）は、電極の実施形態１における電極１２，１３に替えて、異なる形状の電極７２，７３、８２，８３および９２，９３を用いて平面状試料Ｆの抵抗値を測定している様子を示している。他の点は、電極の実施形態１と同じであるので、ここではその説明を省略する。

図３（ａ）に示す電極７２，７３にも、平面状試料Ｆ側の先端部に向かって幅が狭くなるように形成されたテーパー部７２ａ，７３ａが設けられている。これらのテーパー部７２ａ，７３ａは、その長手方向の断面の縁端が、内側と外側との双方において、先端から斜め上方に伸びる直線状をなし、平面状試料Ｆと接触するテーパー部７２ａ、７３ａの先端は、先鋭な形状となっている。

このように、図３（ａ）の例では、電極７２，７３に先端が先鋭なテーパー部７２ａ，７３ａを設けているので、電極７２，７３を平面状試料Ｆに接触させ、電極７２，７３に押付荷重を加えると、平面状試料Ｆの電極７２，７３との接触部分に荷重が集中する。このように荷重が集中することにより、電極７２，７３と、平面状試料Ｆとの接触が安定するため、平面状試料Ｆの抵抗値をより正確に測定することができる。なお、図３（ａ）の例では、電極７２，７３の先端を先鋭な形状としているが、電極の先端に丸みを設けるものとしても良い。この場合、平面状試料Ｆへの過度な応力集中が抑制されるので、平面状試料Ｆの損傷を抑制することができる。

なお、図３（ａ）に示す電極７２，７３では、テーパー部７２ａ，７３ａの長手方向の断面の縁端が直線状に伸びているので、電極７２，７３と平面状試料Ｆとの接触部分の内側の端の位置は、電極７２，７３が平面状試料Ｆに接触した状態と、電極７２，７３が平面状試料Ｆにめり込んだ状態（図２（ｂ）参照）とで、あまり変化しない。そのため、２つの電極７２，７３と平面状試料Ｆとの接触部分の間隔を、ほぼ一定の電極間距離に保ち、接触部分の位置ずれによる抵抗値の測定精度の低下を抑制することができる。但し、図３（ａ）の例では、テーパー部７２ａ，７３ａの長手方向の断面の縁端が、内側においても斜め上方に伸びている。そのため、接触部分の位置ずれは、電極の実施形態１よりも若干大きくなる。この点において、電極の実施形態１は、図３（ａ）に示す変形例よりも好ましい。一方、図３（ａ）に示す変形例は、電極７２，７３の形状がより単純であり、電極７２，７３をより簡単に形成できる点で、電極の実施形態１よりも好ましい。

（電極の実施形態３）
電極の実施形態１と同様に、図３（ｂ）に示す２つの電極８２，８３にも、平面状試料Ｆ側の先端部に向かって幅が狭くなるように形成されたテーパー部８２ａ，８３ａが設けられている。これらのテーパー部８２ａ，８３ａは、その長手方向の断面の縁端が、内側において内向きに凸な曲線状をなし、外側において外向きに凸な曲線状をなしている。

このように、図３（ｂ）に示す２つの電極８２，８３においても、先端部に向かって幅が狭くなるように形成されたテーパー部８２ａ，８３ａを設けているので、電極８２，８３を平面状試料Ｆに接触させ、電極８２，８３に押付荷重を加えると、平面状試料Ｆの電極８２，８３との接触部分に荷重が集中する。そのため、電極８２，８３と、平面状試料Ｆとの接触が安定するため、平面状試料Ｆの抵抗値をより正確に測定することができる。

また、図３（ｂ）の例では、テーパー部８２ａ，８３ａの長手方向の断面の縁端を、内側において内向きに凸な曲線状とし、外側において外向きに凸な曲線状としている。そのため、電極８２，８３を平面状試料Ｆに押し付け、電極８２，８３が平面状試料Ｆにめり込んだ状態（図２（ｂ）参照）において、電極８２，８３に加えられた押付荷重は、接触部分の内側と外側との双方に分散して平面状試料Ｆに伝わる。これにより、平面状試料Ｆの電極８２，８３との接触部分に過度に荷重が集中することがより確実に抑制されるので、より確実に平面状試料Ｆの損傷を抑制することができる。

このように、図３（ｂ）に示す電極８２，８３では、接触部分の内側と外側との双方に荷重が分散するので、電極の実施形態１よりも、接触部分における平面状試料Ｆへの荷重の集中をより効果的に抑制できる。この点において、図３（ｂ）に示す変形例は、電極の実施形態１よりも好ましい。一方、図３（ｂ）の例では、テーパー部８２ａ，８３ａの長手方向の断面の縁端が、内側においても内向きに凸な曲線状をなしている。そのため、電極８２，８３が平面状試料Ｆに接触した状態と、電極８２，８３が平面状試料Ｆにめり込んだ状態とにおける、電極８２，８３と平面状試料Ｆとの接触部分の内側の端の位置のずれは、電極の実施形態１よりも大きくなる。この点において、電極の実施形態１は、図３（ｂ）に示す変形例よりも好ましい。

（電極の実施形態４）
図３（ｃ）に示す変形例において、電極９２，９３は、平面状試料Ｆ側の先端部に向かって幅が狭くなるように形成されたテーパー部９２ａ，９３ａが設けられている。これらのテーパー部９２ａ，９３ａは、その長手方向の断面の縁端が、内側において内向きに凸な曲線状をなし、外側において上方に向かって伸びる直線状をなし、また、先端に丸みが付けられている。すなわち、電極９２，９３は、電極の実施形態１における電極１２，１３（図１）の内側と外側とを反転させた形状となっている。

したがって、電極の実施形態１と同様に、図３（ｃ）に示す変形例によれば、接触部分における平面状試料Ｆに荷重を集中させて、電極９２，９３と平面状試料Ｆとの接触を安定化するとともに、接触部分における平面状試料Ｆへの過度の荷重の集中を抑制し、平面状試料Ｆの損傷を抑制することができる。但し、図３（ｃ）に示す変形例では、電極９２，９３が平面状試料Ｆに接触した状態と、電極９２，９３が平面状試料Ｆにめり込んだ状態（図２（ｂ）参照）とにおける、電極９２，９３と平面状試料Ｆとの接触部分の内側の端の位置のずれが、電極の実施形態１よりも大きくなる。この点において、電極の実施形態１は、図３（ｃ）に示す変形例よりも好ましい。

＜その他の変形例＞
本発明に係る抵抗値測定冶具の構成は、上記した実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、ベース、電極、固定具、錘、テスター等の形状・構造・材質等の構成を、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、必要に応じて適宜変更することができる。たとえば、上記の実施形態では、電極１２，１３（テーパー部１２ａ，１３ａ）の長さを平面状試料Ｆの幅と同程度としているが、電極やテーパー部の長さを平面状試料Ｆの幅よりも長くしても良い。また、電極やテーパー部の長さを平面状試料の幅よりも短くすることも可能である。このように、電極やテーパー部の長さを平面状試料の幅よりも短くした場合においては、単位面積当たりの抵抗値は正確な値を得にくいが、電極間距離を十分に短くすることにより、平面状試料Ｆ内の測定部位における局所的な抵抗値の比較を行うことができる。

本発明の抵抗値測定冶具は、上述の通り優れた効果を奏するものであるから、平面状試料の抵抗値測定に好適に用いることができる。本発明の抵抗値測定装置は、本発明の抵抗値測定冶具を用いて実現されているので、平面状試料の抵抗値測定に好適に用いることができる。また、本発明の抵抗値測定冶具および抵抗値測定装置によれば、平面状試料に損傷を与えることが抑制されるので、本発明の抵抗値測定冶具および抵抗値測定装置は、平面状試料の開発段階における試験用のみならず、工場等における製造段階における試験用にも好適に用いることができる。

１，１０・・抵抗値測定装置
１１・・ベース
１２，１３・・電極
１２ａ，１３ａ・・テーパー部
１４・・固定具
１４ａ・・凹部
１５・・錘
２０・・抵抗値測定器
７２，７３・・電極
７２ａ，７３ａ・・テーパー部
８２，８３・・電極
８２ａ，８３ａ・・テーパー部
９２，９３・・電極
９２ａ，９３ａ・・テーパー部
Ｆ・・平面状試料
ＷＩ１，ＷＶ１，ＷＩ２，ＷＶ２・・接続線

Claims (6)

1. 平面状試料の抵抗値を測定するための抵抗値測定冶具であって、
   離間して配置されており測定対象の試料に接触可能な２つの電極を備えており、
   それらの２つの電極が、それぞれ、離間方向と直交する方向に延びる一定幅の帯状のものであり、基端から先端に向かって離間方向における幅が狭くなるように形成されたテーパー部を有していることを特徴とする抵抗値測定冶具。
2. 前記テーパー部の鉛直断面の内側の端縁が直線状になっており、かつ、外側の端縁が外向きに凸な曲線状になっていることを特徴とする請求項１に記載の抵抗値測定冶具。
3. 前記２つの電極のそれぞれの先端が、丸みを設けたものであることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の抵抗値測定冶具。
4. 弾力性を有する材料で形成されたベースを備えており、
   測定対象の試料が、前記ベースと前記２つの電極との間に配置されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の抵抗値測定冶具。
5. 前記２つの電極が、抵抗値の測定に際して、予め設定された荷重で測定対象の試料に押し付けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか記載の抵抗値測定冶具。
6. 平面状試料の抵抗値を測定するための抵抗値測定装置であって、
   請求項１〜５のいずれかに記載の抵抗値測定冶具と、
   前記抵抗値測定冶具の前記２つの電極のそれぞれに接続され、前記２つの電極間の抵抗値の測定が可能なテスターとを備えていることを特徴とする抵抗値測定装置。

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