JP2018188334A - オゾン発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】容器と第1金属電極13と、誘電体電極14とヒートパイプ15と、ヒートシンク16と電源部Cを備える。第1金属電極は、第1方向d1を軸方向の円筒状の電極で、外周面に冷却媒体が供給される。誘電体電極は、第1金属電極の内周面に対向し設けられかつ第1金属電極と同軸の円筒状の電極。ヒートパイプは、誘電体電極の内周面に対向し設けられかつ導電性を有する。ヒートシンクは、第1金属電極とヒートパイプの間の空間の外方の空間の外部に設けられかつヒートパイプに接続され、電源部は、ヒートパイプに電圧を印加し、第1金属電極と誘電体電極との間、及び誘電体電極とヒートパイプの間の少なくとも一方の放電ギャップI1で放電させてオゾンを発生させる。原料ガスD1によりヒートシンクを冷却できるので放電ギャップの冷却効率を高めることができるオゾン発生装置。
【選択図】図2
Description
図1は、第1の実施形態にかかるオゾン発生装置の概略構成の一例を示す図である。図2は、第1の実施形態にかかるオゾン発生装置におけるオゾンの生成処理の一例を説明するための図である。本実施形態にかかるオゾン発生装置は、誘電体バリア放電式のオゾン発生装置である。図1に示すように、オゾン発生装置は、オゾン発生装置本体11と、当該オゾン発生装置本体11を気密状態で収納しかつ原料ガスが流入される収納容器12(容器の一例)と、を有する。本実施形態では、収納容器12は、第1方向d1を軸方向とする円筒状の容器である。また、収納容器12には、金属電極13と、誘電体電極14と、ヒートパイプ15と、ヒートシンク16と、を有し、これらがそれぞれ複数配置される。
本実施形態は、誘電体電極とヒートパイプとの間で原料ガスが流入される第2放電ギャップ内の原料ガス中で誘電体バリア放電を発生させる例である。以下の説明では、第1の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本実施形態は、金属電極と誘電体電極との間で原料ガスが流入される第1放電ギャップ内、および誘電体電極とヒートパイプとの間で原料ガスが流入される第2放電ギャップ内の両方の原料ガス中で誘電体バリア放電を発生させる例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本実施形態は、第1放電ギャップおよび第2放電ギャップの両方の原料ガス中で誘電体バリア放電を発生させるものであり、原料ガスが、第2放電ギャップを通過した後、第1放電ギャップを通過する流路を有する例である。以下の説明では、第3の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本実施形態は、1つの誘電体電極の内周面に対向して、複数のヒートパイプが第1方向に並設されている例である。以下の説明では、第3の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、ヒートシンクが、原料ガスの流入方向において、金属電極よりも上流側に設けられ、ガス流入口の直径が、オゾンガス排出口の直径よりも小さい例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
本変形例は、収納容器内の複数の誘電体電極のうち一部の誘電体電極の内周面に対向して、誘電体電極と同軸の円筒状の金属電極(以下、通常の金属電極と言う)が、ヒートパイプに代えて設けられ、第1放電ギャップおよび第2放電ギャップ内への原料ガスの流速が、通常の金属電極と、誘電体電極または金属電極との間で原料ガスが流入される第3放電ギャップ内への原料ガスの流速よりも速い例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の構成については説明を省略する。
本変形例では、収納容器内への原料ガスのガス流入口が、収納容器の内周面に沿って原料ガスが周方向に旋回するように設けられる例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例では、ヒートシンクを囲むように設けられ、かつヒートシンクに向かって原料ガスを排出する排出孔を有する原料ガス管を備える例である。以下の説明では、第1〜4の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、ヒートシンクと原料ガス管の間に、ヒートシンクを囲むように設けられ、かつ内部に冷却媒体が供給される冷却用管を有する例である。以下の説明では、変形例4と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、金属電極と誘電体電極とヒートパイプとが設けられる放電空間と、ヒートシンクが設けられる非放電空間との間を仕切る壁を有する例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、ヒートシンクの外径をヒートパイプの外径以下とし、かつヒートシンクの断面を多角形とする例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、ガス入口側空間に設けられた壁は、その一端に、放電空間と非放電空間とを接続する接続孔を有し、非放電空間において当該接続孔が設けられた端とは反対側の端に、ガス流入口を有する例である。以下の説明では、変形例6と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、金属電極は、その内周面側に、誘電体電極およびヒートパイプが設けられていない金属電極(以下、非放電電極と言う)を含み、当該非放電電極の管内を介して、非放電空間に原料ガスを導入する例である。以下の説明では、変形例8と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、複数のヒートパイプが1つのヒートシンクに接続される例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、隣接するヒートパイプに接続するヒートシンクを、原料ガスの流入方向において、ヒートパイプの上流側と下流側とに互い違いに接続する例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
本変形例は、ヒートパイプを接地電極として用いる例である。以下の説明では、上述の実施形態と同様の箇所については説明を省略する。
13 金属電極
14 誘電体電極
15 ヒートパイプ
16 ヒートシンク
22 ガス入口側空間
23 ガス出口側空間
24 ガス流入口
25 オゾンガス排出口
900 通常の金属電極
1101 原料ガス管
1102 排出孔
1201 冷却用管
1401 放電空間
1402 非放電空間
1403 壁
1601 接続孔
1701 非放電電極
C 電源
d1 第1方向
D1 原料ガスの流入方向
I1 第1放電ギャップ
I2 第2放電ギャップ
I3 第3放電ギャップ
I4 第4放電ギャップ
Claims (18)
- 原料ガスが流入される容器と、
前記容器内に設けられ、第1方向を軸方向とする円筒状の電極であり、かつ外周面に冷却媒体が供給される第1金属電極と、
前記第1金属電極の内周面に対向して設けられかつ前記第1金属電極と同軸の円筒状の誘電体電極と、
前記誘電体電極の内周面に対向して設けられかつ導電性を有するヒートパイプと、
前記第1金属電極と前記ヒートパイプとの間の空間の外方の空間である外部に設けられかつ前記ヒートパイプに接続されるヒートシンクと、
前記ヒートパイプに電圧を印加して、前記第1金属電極と前記誘電体電極との間で原料ガスが流入される第1ギャップ、および前記誘電体電極と前記ヒートパイプとの間で原料ガスが流入される第2ギャップの少なくとも一方の原料ガス中で放電させ、当該放電によりオゾンを発生させる電源部と、
を備えるオゾン発生装置。 - 前記第1ギャップおよび前記第2ギャップの両方の原料ガス中で放電を発生させるものであり、
前記原料ガスが、前記第2ギャップを通過した後、前記第1ギャップを通過する流路を有する請求項1に記載のオゾン発生装置。 - 1つの前記誘電体電極の内周面に対向して、複数の前記ヒートパイプが前記第1方向に並設される請求項1または2に記載のオゾン発生装置。
- 前記ヒートシンクは、前記容器内に設けられ、かつ原料ガスの流入方向において、前記第1ギャップより上流側に位置する請求項1または2に記載のオゾン発生装置。
- 前記容器内において、原料ガスの流入口近傍に、前記容器内の原料ガスを撹拌する撹拌部をさらに備える請求項4に記載のオゾン発生装置。
- 前記ヒートパイプは、その外周面に、前記第1方向に延びる螺旋状の溝を有する請求項1から5のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 前記容器内への原料ガスの流入口の直径が、前記容器内からオゾンを排出する排出口の直径よりも小さい請求項4に記載のオゾン発生装置。
- 前記容器内の複数の前記誘電体電極のうち一部の前記誘電体電極の内周面に対向して、前記誘電体電極と同軸の円筒状の第2金属電極が、前記ヒートパイプに代えて設けられ、前記第1ギャップおよび前記第2ギャップ内への原料ガスの流速が、前記第2金属電極と、前記誘電体電極または前記第1金属電極との間で原料ガスが流入される第3ギャップ内への原料ガスの流速よりも速い請求項1から7のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 前記容器は、前記第1方向を軸方向とする円筒状の容器であり、
前記容器内への原料ガスの流入口は、前記容器の内周面に沿って原料ガスが周方向に旋回するように設けられている請求項1から8のいずれか一に記載のオゾン発生装置。 - 前記ヒートシンクを囲むように設けられ、かつ前記ヒートシンクに向かって原料ガスを排出する排出孔を有する原料ガス管をさらに備える請求項1から9のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 前記ヒートシンクと前記原料ガス管の間に、前記ヒートシンクを囲むように設けられ、かつ内部に冷却媒体が供給される冷却用管をさらに備える請求項10に記載のオゾン発生装置。
- 前記第1金属電極と前記誘電体電極と前記ヒートパイプとが設けられる第1エリアと、前記ヒートシンクが設けられる第2エリアとの間を仕切る壁をさらに備える請求項1から11のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 前記壁は、その一端に、前記第1エリアと前記第2エリアとを接続する接続孔を有し、
前記容器は、前記壁において前記接続孔が設けられた端とは反対側の端側に、前記容器内への原料ガスの流入口を有する請求項12に記載のオゾン発生装置。 - 前記第1金属電極は、その内周面側に、前記誘電体電極および前記ヒートパイプが設けられていない第3金属電極を含み、
前記第2エリアは、前記第3金属電極の内部を通過した原料ガスが流入される請求項13に記載のオゾン発生装置。 - 複数の前記ヒートパイプが1つの前記ヒートシンクと接続される請求項1から14のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 隣接する前記ヒートパイプに接続される前記ヒートシンクを、原料ガスの流入方向において、前記ヒートパイプの上流側と下流側とに互い違いに接続する請求項1、2、および5から9のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 前記ヒートパイプは、鉄、アルミニウム、ニッケル、銅、モリブデン、チタン、クロム、タングステン、銀、金、白金のうち少なくとも一種類を含む金属または合金、若しくは、前記金属または前記合金によりコーティングされたものである請求項1から16のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
- 前記容器は、前記ヒートシンクが、前記第1ギャップよりも上方に位置する請求項1、2、4から15、および17のいずれか一に記載のオゾン発生装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017092379A JP2018188334A (ja) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | オゾン発生装置 |
CA3062782A CA3062782A1 (en) | 2017-05-08 | 2018-03-19 | Ozone generator |
PCT/JP2018/010837 WO2018207467A1 (ja) | 2017-05-08 | 2018-03-19 | オゾン発生装置 |
CN201880008738.9A CN110214124A (zh) | 2017-05-08 | 2018-03-19 | 臭氧产生装置 |
US16/610,237 US20200148536A1 (en) | 2017-05-08 | 2018-03-19 | Ozone generator |
AU2018265846A AU2018265846A1 (en) | 2017-05-08 | 2018-03-19 | Ozone generator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017092379A JP2018188334A (ja) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018188334A true JP2018188334A (ja) | 2018-11-29 |
Family
ID=64105454
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017092379A Pending JP2018188334A (ja) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | オゾン発生装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200148536A1 (ja) |
JP (1) | JP2018188334A (ja) |
CN (1) | CN110214124A (ja) |
AU (1) | AU2018265846A1 (ja) |
CA (1) | CA3062782A1 (ja) |
WO (1) | WO2018207467A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114455547A (zh) * | 2022-03-03 | 2022-05-10 | 浙江大学 | 一种功率自适应的介质阻挡放电电极相变冷却装置和方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112374468A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-02-19 | 浙江金大万翔环保技术有限公司 | 一种板式空气源臭氧发生器 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5189892A (ja) * | 1975-02-05 | 1976-08-06 | Ozonhatsuseiki | |
JPS52143993A (en) * | 1976-05-25 | 1977-11-30 | Toshiba Corp | Ozonizer |
JPS52143994A (en) * | 1976-05-26 | 1977-11-30 | Toshiba Corp | Ozonizer |
JPS52151823A (en) * | 1976-06-11 | 1977-12-16 | Toshiba Machine Co Ltd | Electrode providing with cooling apparatus |
JPS539289A (en) * | 1976-07-13 | 1978-01-27 | Toshiba Corp | Ozonizer |
JPS5332853U (ja) * | 1976-08-27 | 1978-03-22 | ||
JPS54152690A (en) * | 1978-05-24 | 1979-12-01 | Toshiba Corp | Ozonizer |
JPH04362007A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-15 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | オゾン発生装置 |
JP2004059365A (ja) * | 2002-07-29 | 2004-02-26 | Kofurotsuku Kk | オゾン発生装置 |
-
2017
- 2017-05-08 JP JP2017092379A patent/JP2018188334A/ja active Pending
-
2018
- 2018-03-19 US US16/610,237 patent/US20200148536A1/en not_active Abandoned
- 2018-03-19 AU AU2018265846A patent/AU2018265846A1/en not_active Abandoned
- 2018-03-19 CN CN201880008738.9A patent/CN110214124A/zh not_active Withdrawn
- 2018-03-19 CA CA3062782A patent/CA3062782A1/en not_active Abandoned
- 2018-03-19 WO PCT/JP2018/010837 patent/WO2018207467A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114455547A (zh) * | 2022-03-03 | 2022-05-10 | 浙江大学 | 一种功率自适应的介质阻挡放电电极相变冷却装置和方法 |
CN114455547B (zh) * | 2022-03-03 | 2023-03-14 | 浙江大学 | 一种功率自适应的介质阻挡放电电极相变冷却装置和方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2018207467A1 (ja) | 2018-11-15 |
CA3062782A1 (en) | 2019-11-28 |
AU2018265846A1 (en) | 2019-11-28 |
US20200148536A1 (en) | 2020-05-14 |
CN110214124A (zh) | 2019-09-06 |
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Date | Code | Title | Description |
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A711 | Notification of change in applicant |
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