JP2018180006A - Cover member and mechanical timepiece - Google Patents

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Katsumi Suzuki
克己 鈴木
鈴木 慶一
Keiichi Suzuki
慶一 鈴木
関 浩幸
Hiroyuki Seki
浩幸 関
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cover member which comprises an antireflection function and has a sufficiently high hardness to secure scratch resistance, and a mobile phone comprising the cover member.SOLUTION: A cover member 2 of the present invention comprises a base material 11 having translucency. A laminate as an antireflection layer 12 including layers 12A and 12C containing silicon nitride and layers 12B and 12D containing silicon oxide is provided on at least a part of a surface of the base material 11. In the laminate, the content of silicon nitride in a range from the outermost surface thereof to a depth of 150 nm is 30-50 vol.%. An antifouling layer 13 containing a fluorine-containing organosilicon compound is provided on a surface of the laminate. The cover member 2 is provided on an information display part of equipment.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、カバー部材、および機械式時計に関する。   The present invention relates to a cover member and a mechanical watch.

従来、時刻表示などの視認性を高めるため、カバーガラス(風防)と呼ばれる透光性部材に反射防止層を形成することが知られている。この反射防止層は、屈折率の異なる無機物層が数層〜数十層積層されて構成されることが一般的であり、カバーガラスの表面に高い硬度や耐傷性が求められる場合には、光透過率が高いうえ低屈折率でかつ比較的硬度が高いSiOが反射防止層の最表層に成膜されることが多い。例えば、時計用カバーガラスの表面に、SiOを最表層および最下層とし、SiO膜とSi膜とが交互に積層された反射防止層を形成する技術が開示されている(特許文献1参照)。また、酸化シリコン(SiO)を最表層とし、窒化シリコン膜を時計用カバーガラスの表面に形成してなる時計用風防ガラスも開示されている(特許文献2参照)。 Conventionally, it is known to form an anti-reflection layer on a light-transmissive member called a cover glass (windshield) in order to enhance visibility such as time display. The antireflective layer is generally formed by laminating several layers to several tens of inorganic layers having different refractive indices, and when high hardness and scratch resistance are required on the surface of the cover glass, light is used. In many cases, SiO 2 having a high transmittance, a low refractive index, and a relatively high hardness is formed as the outermost layer of the antireflective layer. For example, the surface of the cover glass for watches, SiO 2 and the outermost layer and the lowermost layer, a technique for forming an antireflection layer and the SiO 2 film and the Si 3 N 4 film are laminated alternately is disclosed (Patent Reference 1). In addition, there is also disclosed a watch windshield, which has silicon oxide (SiO 2 ) as the outermost layer and a silicon nitride film is formed on the surface of a watch cover glass (see Patent Document 2).

特開2004−271480号公報Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-271480 特開2006−275526号公報JP, 2006-275526, A

ところで、SiO膜とSi膜が交互に積層された反射防止層を設けてなる従来の腕時計は、日常生活程度の使用でカバーガラス表面に深い傷が付くことが多かった。しかしながら、その理由は必ずしも明確ではなく、SiO膜とSi膜のように硬さの違う膜の積層が、どのようにカバーガラス表面の硬度や耐傷性に影響するのかは不明であった。そのため、カバーガラスにおける反射防止光学シミュレーションは、SiO膜とSi膜の厚さの比率を考慮することなく行われていた。 By the way, in a conventional wristwatch provided with an antireflective layer in which SiO 2 films and Si 3 N 4 films are alternately stacked, the surface of the cover glass is often deeply scratched by daily use. However, the reason is not always clear, and it is unclear how the lamination of films with different hardness such as SiO 2 film and Si 3 N 4 film affects the hardness and scratch resistance of the cover glass surface. The Therefore, the anti-reflection optical simulation in the cover glass has been performed without considering the ratio of the thickness of the SiO 2 film to the thickness of the Si 3 N 4 film.

そこで、本発明の目的は、反射防止機能を備え、かつ硬度が十分に高く耐傷性が確保されたカバー部材、および、このカバー部材を備える携帯電話を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a cover member having an anti-reflection function and having a sufficiently high hardness and ensured scratch resistance, and a mobile phone provided with the cover member.

我々は、反射防止層の耐傷性について研究した結果、最表面から150nmの範囲の平均の硬さが耐傷性に大きく影響することを突き止めた。具体的には、比較的軟らかいSiO膜と、硬いSi膜の厚みを種々変えながら、硬度、耐傷性および光学特性の評価を繰り返し行った。その結果、反射防止層の最表面から150nmまでは、硬度が大きいほど耐傷性は高まるが、150nmより深い位置の硬度の増大は耐傷性にあまり影響しないことがわかった。また、反射防止層の最表面から150nmの範囲でSi膜の割合が30〜50vol%の時に、高耐傷性と低反射率を両立できる条件があることを見出した。 As a result of research on the scratch resistance of the antireflective layer, we have found that the average hardness in the range of 150 nm from the outermost surface greatly affects the scratch resistance. Specifically, evaluations of hardness, scratch resistance and optical properties were repeated while changing the thicknesses of the relatively soft SiO 2 film and the hard Si 3 N 4 film variously. As a result, it was found that the greater the hardness from the outermost surface of the antireflective layer to 150 nm, the higher the scratch resistance, but the increase in hardness at positions deeper than 150 nm has little effect on the scratch resistance. In addition, it has been found that when the ratio of the Si 3 N 4 film is 30 to 50 vol% in the range of 150 nm from the outermost surface of the antireflective layer, there are conditions under which high scratch resistance and low reflectance can be compatible.

本発明は、透光性を有する基材を備える透光性部材であって、前記基材の表面の少なくとも一部には、窒化ケイ素からなる高屈折率層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層とが交互に積層してなる反射防止層が形成され、前記反射防止層は、その最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30〜50vol%であることを特徴とする。
ここで、透光性部材としては、例えば、時計用カバー部材や計器用カバー部材あるいは眼鏡レンズ等の硬質で透明な部材が挙げられる。透光性部材の基材としては、サファイアガラス、石英ガラス、およびソーダガラス等が挙げられる。
The present invention is a light transmitting member comprising a light transmitting base material, wherein at least a part of the surface of the base material has a high refractive index layer made of silicon nitride and a low refractive index made of silicon oxide. An antireflective layer is formed by alternately laminating layers and the antireflective layer is characterized in that the content of silicon nitride in the range from the outermost surface to the depth of 150 nm is 30 to 50 vol%. .
Here, as the light-transmissive member, for example, a hard and transparent member such as a watch cover member, an instrument cover member, or a spectacle lens may be mentioned. As a base material of a translucent member, sapphire glass, quartz glass, soda glass etc. are mentioned.

本発明によれば、所定の反射防止層が基材上に形成され、反射防止層の最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30vol%以上であるので、非常に硬度の高い反射防止層を基材上に形成できる。この所定の深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30vol%未満であると、反射防止層の耐傷性が不十分なものとなり、例えば、時計用のカバーガラスとしての実用性に乏しくなる。また、本発明においては、最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が50vol%以下であるので、反射防止効果にも優れている。この所定の深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が50vol%を超えると、反射防止効果が劣り、例えば、時計用のカバーガラスとしての実用性に乏しくなる。
前記反射防止層の最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が40〜50vol%であると、反射防止効果を維持したまま、反射防止層の耐傷性をさらに向上させることが可能となるので好ましい。
また、酸化ケイ素からなる最表層の層厚は70〜110nmであることが好ましく、さらに好ましくは75〜105nmである。また、最表層に隣接する窒化ケイ素層の層厚は50〜115nmであることが好ましく、より好ましくは55〜110nmである。これらの各層の層厚が前記した範囲をはずれると反射防止層の反射率が高くなる傾向にある。
According to the present invention, the predetermined antireflective layer is formed on the base material, and the content of silicon nitride in the range from the outermost surface of the antireflective layer to the depth of 150 nm is 30 vol% or more. A high antireflective layer can be formed on the substrate. When the content of silicon nitride in the range up to the predetermined depth is less than 30 vol%, the scratch resistance of the antireflective layer becomes insufficient, and for example, the practicability as a cover glass for a watch becomes poor. Further, in the present invention, since the content of silicon nitride in the range from the outermost surface to the depth of 150 nm is 50 vol% or less, the antireflection effect is also excellent. When the content of silicon nitride in the range up to the predetermined depth exceeds 50 vol%, the antireflective effect is inferior, and for example, the practicability as a cover glass for a watch becomes poor.
When the content of silicon nitride in the range from the outermost surface of the antireflective layer to the depth of 150 nm is 40 to 50 vol%, the scratch resistance of the antireflective layer can be further improved while maintaining the antireflective effect It is preferable because
Moreover, it is preferable that the layer thickness of the outermost layer which consists of silicon oxides is 70-110 nm, More preferably, it is 75-105 nm. The thickness of the silicon nitride layer adjacent to the outermost layer is preferably 50 to 115 nm, more preferably 55 to 110 nm. When the layer thickness of each of these layers deviates from the above range, the reflectance of the antireflective layer tends to be high.

本発明では、該透光性部材の表面硬度が、24000N/mm以上であることが好ましい。ここで、試験荷重は1.225mNである。
この発明によれば、該透光性部材の表面硬度が、24000N/mm以上であるので、十分な耐傷性を発揮することができ、例えば、時計用のカバーガラスとして優れている。また、該透光性部材の表面硬度が、30000N/mm以上であるとさらに優れた耐傷性を発揮することができる。
In the present invention, the surface hardness of the light-transmissive member is preferably 24000 N / mm 2 or more. Here, the test load is 1.225 mN.
According to the present invention, since the surface hardness of the light-transmissive member is 24000 N / mm 2 or more, sufficient scratch resistance can be exhibited, and for example, it is excellent as a cover glass for a watch. In addition, when the surface hardness of the light-transmissive member is 30,000 N / mm 2 or more, the scratch resistance can be further enhanced.

本発明では、前記反射防止層の上には、フッ素含有有機ケイ素化合物からなる防汚層が形成されていることが好ましい。
この発明によれば、反射防止層の上には、フッ素含有有機ケイ素化合物からなる防汚層が形成されている。この防汚層は、フッ素含有有機ケイ素化合物からなるため、撥水・撥油作用を発揮するだけでなく、表面の滑り性にも非常に優れる。それ故、透光性部材に外部からの衝撃が加わっても、防汚層表面の滑り性によりその衝撃をやわらげることができるので耐擦傷性に優れる。すなわち、反射防止層の剥離を効果的に防ぐことが可能となる。なお、フッ素含有有機ケイ素化合物としては、撥水性や撥油性があり防汚性を発現できる化合物であればよい。
In the present invention, it is preferable that an antifouling layer composed of a fluorine-containing organic silicon compound is formed on the antireflective layer.
According to this invention, the antifouling layer comprising the fluorine-containing organic silicon compound is formed on the antireflective layer. Since the antifouling layer is made of a fluorine-containing organic silicon compound, it not only exerts a water and oil repellent effect, but is also very excellent in the surface slipperiness. Therefore, even if an impact from the outside is applied to the light-transmissive member, the impact can be softened by the slipperiness of the surface of the antifouling layer, so the scratch resistance is excellent. That is, it is possible to effectively prevent the peeling of the antireflective layer. In addition, as a fluorine-containing organic silicon compound, what is necessary is just a compound which has water repellency and oil repellency, and can express antifouling property.

本発明では、前記フッ素含有有機ケイ素化合物が、アルコキシシラン化合物であることが好ましい。
この発明によれば、フッ素含有有機ケイ素化合物として、アルコキシシラン化合物が用いられるので、撥水性・撥油性が高く、優れた防汚性を発揮する。
アルコキシシラン化合物としては、メトキシシリル基やトリエトキシシリル基のようなアルコキシシリル基と、パーフルオロ基とを有するような有機ケイ素化合物が好ましく用いられる。
In the present invention, the fluorine-containing organosilicon compound is preferably an alkoxysilane compound.
According to this invention, since the alkoxysilane compound is used as the fluorine-containing organic silicon compound, the water repellency and oil repellency are high, and the excellent antifouling property is exhibited.
As the alkoxysilane compound, an organosilicon compound having an alkoxysilyl group such as a methoxysilyl group or a triethoxysilyl group and a perfluoro group is preferably used.

本発明では、前記フッ素含有有機ケイ素化合物が、下記式(1)および(2)の少なくともいずれかで示されるパーフルオロエーテル化合物であることが好ましい。   In the present invention, the fluorine-containing organic silicon compound is preferably a perfluoroether compound represented by at least one of the following formulas (1) and (2).

Figure 2018180006
(式中、R 1はパーフルオロアルキル基を示す。Xは臭素、ヨウ素または水素を示す。
Yは水素または低級アルキル基を示し、Zはフッ素またはトリフルオロメチル基を示す。R1は加水分解可能な基を示し、R2は水素または不活性な1価の炭化水素基を示す。a、b、c、d、eは0または1以上の整数で、且つa+b+c+d+eは少なくとも1以上であり、a、b、c、d、eで括られた各繰り返し単位の存在順序は、式中において限定されない。fは0、1または2である。gは1、2または3である。hは1以上の整数である。)
Figure 2018180006
(Wherein, R f 1 represents a perfluoroalkyl group, and X represents bromine, iodine or hydrogen).
Y represents hydrogen or a lower alkyl group, and Z represents a fluorine or trifluoromethyl group. R 1 represents a hydrolyzable group, and R 2 represents hydrogen or an inert monovalent hydrocarbon group. a, b, c, d, e are integers of 0 or 1, and a + b + c + d + e is at least 1 or more, and the order of existence of each repeating unit enclosed by a, b, c, d, e is There is no limitation on f is 0, 1 or 2; g is 1, 2 or 3; h is an integer of 1 or more. )

Figure 2018180006
(式中、R 2は式:「−(Ck2k)O−」で示される単位を含み、分岐を有しない直鎖状のパーフルオロポリアルキレンエーテル構造を有する2価の基を示す。なお、式:「−(Ck2k)O−」におけるkは1〜6の整数である。R3は炭素原子数1〜8の1価炭化水素基であり、Wは加水分解性基またはハロゲン原子を示す。pは0、1または2であり、nは1〜5の整数である。mおよびrは、2または3である。)
Figure 2018180006
(Wherein, R f 2 represents a divalent group having a linear perfluoropolyalkylene ether structure having no branch, containing a unit represented by the formula: “— (C k F 2 k ) O—” Note that k in the formula “— (C k F 2 k ) O—” is an integer of 1 to 6. R 3 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, and W is hydrolyzable. Group represents a halogen atom, p is 0, 1 or 2, n is an integer of 1 to 5. m and r are 2 or 3.)

この発明によれば、前記した式(1)および(2)の少なくともいずれかで示されるフッ素含有有機ケイ素化合物を、前記した反射防止層の上に形成することで、優れた防汚性を有する透光性部材を得ることができる。これらのフッ素含有有機ケイ素化合物は、単独で用いてもよいが混合して用いてもよい。   According to the present invention, by forming the fluorine-containing organosilicon compound represented by at least one of the above-mentioned formulas (1) and (2) on the above-mentioned antireflection layer, it has excellent antifouling properties. A translucent member can be obtained. These fluorine-containing organosilicon compounds may be used alone or in combination.

本発明では、前記防汚層の厚みが0.001〜0.05μmであることが好ましく、0.001〜0.03μmであることがより好ましく、0.001〜0.02μmであることがさらに好ましい。
防汚層の厚みが0.001μm以上であると、十分な撥水・撥油性能を発揮できるとともに、耐擦傷性やさらに耐薬品性にも優れるようになる。また、防汚層の厚みが0.05μm以下であると、透光性部材の表面硬度を低下させてしまうおそれも少ない。さらに、防汚層による表面光散乱もあまり生じないため、基材の透明性も阻害しない。
In the present invention, the thickness of the antifouling layer is preferably 0.001 to 0.05 μm, more preferably 0.001 to 0.03 μm, and still more preferably 0.001 to 0.02 μm. preferable.
When the thickness of the antifouling layer is 0.001 μm or more, sufficient water and oil repellency can be exhibited, and the abrasion resistance and further the chemical resistance can be improved. In addition, when the thickness of the antifouling layer is 0.05 μm or less, there is little possibility that the surface hardness of the light transmitting member is reduced. Furthermore, since the surface light scattering by the antifouling layer does not occur so much, the transparency of the substrate is not impaired.

本発明では、前記透光性部材は、カバー部材とされ、前記反射防止層は、前記カバー部材の内側の部分および外側の部分のうち、少なくとも外側の部分に形成されることが好ましい。
この発明によれば、カバー部材の外側から入射する光の反射を入射側で防止できるため、カバー部材の内側である射出側の部分に反射防止層が形成された場合よりも良好な反射防止効果が得られる。
In the present invention, preferably, the light transmitting member is a cover member, and the antireflective layer is formed on at least an outer portion of an inner portion and an outer portion of the cover member.
According to the present invention, since reflection of light incident from the outside of the cover member can be prevented on the incident side, an antireflection effect is better than when the antireflection layer is formed on the part on the emission side which is the inner side of the cover member. Is obtained.

本発明の時計は、前記透光性部材を備え、前記透光性部材は、時計体を収容するケースに設けられることを特徴とする。
本発明の時計は、前述の透光性部材を備えることにより、前述と同様な作用および効果を享受できる。なお、透光性部材は、例えばカバーガラス(風防)としてケースに設けられる。
A timepiece according to the present invention includes the above-mentioned translucent member, and the above-mentioned translucent member is provided in a case for housing a timepiece.
The timepiece of the present invention can enjoy the same operation and effect as those described above by including the above-described translucent member. In addition, a translucent member is provided in a case as a cover glass (windshield), for example.

本発明の透光性部材の製造方法は、前記反射防止層を構成する高屈折率層および低屈折率層をスパッタリングにより形成するスパッタリング工程を備えることを特徴とする。
この発明によれば、反射防止層をスパッタリングにより形成するので、単なる蒸着により高屈折率層および低屈折率層を形成する場合にくらべて、反射防止層全体の硬度を向上させることができるだけでなく、反射防止層と基材との密着性や、反射防止層内における層間密着性にも優れている。従って、結果として、耐擦傷性の向上に寄与できる。
The manufacturing method of the translucent member of this invention is characterized by including the sputtering process which forms the high refractive index layer and low refractive index layer which comprise the said reflection prevention layer by sputtering.
According to the present invention, since the antireflective layer is formed by sputtering, it is possible not only to improve the hardness of the entire antireflective layer, as compared to the case of forming the high refractive index layer and the low refractive index layer by simple vapor deposition. Also, the adhesion between the antireflective layer and the base material and the interlayer adhesion in the antireflective layer are excellent. Therefore, as a result, it can contribute to the improvement of abrasion resistance.

ここで、前記したスパッタリングを行う際には、基材を100℃以上に加熱しながらスパッタリングを行う加熱工程を備えることが、上述の硬度や密着性の観点より好ましい。
また、反射防止層をスパッタリングにより形成する前に、基材に対して表面の付着物を除去する逆スパッタリング工程を備えると、基材表面を清浄にすることができるので、基材と反射防止層との密着性向上の観点より好ましい。
Here, when performing the above-mentioned sputtering, it is more preferable than the viewpoint of the above-mentioned hardness and adhesiveness to provide the heating process which performs sputtering, heating a base material to 100 degreeC or more.
In addition, if the reverse sputtering step of removing the deposit on the surface of the substrate is provided before the antireflective layer is formed by sputtering, the substrate surface can be cleaned, so the substrate and the antireflective layer are formed. It is more preferable than the viewpoint of the adhesion improvement with these.

このような本発明によれば、反射防止機能と耐傷性とを併せ持つ透光性部材、これを備えた時計、および透光性部材の製造方法を提供できる。   According to the present invention as described above, it is possible to provide a translucent member having both an antireflective function and scratch resistance, a timepiece provided with the same, and a method of manufacturing the translucent member.

本発明の第1実施形態に係るカバーガラスの断面を示す模式図。The schematic diagram which shows the cross section of the cover glass which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態に係るカバーガラスの断面を示す模式図。The schematic diagram which shows the cross section of the cover glass which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。
[第1実施形態]
第1実施形態に係る透光性部材(カバー部材)は、例えば時計用カバーガラス(以下、単に「カバーガラス」ともいう。)であり、図1には、本実施形態のカバーガラス1の断面図が示されている。カバーガラス1は、透明な基材11と、その上に形成された反射防止層12とを備えている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
First Embodiment
The translucent member (cover member) according to the first embodiment is, for example, a cover glass for a watch (hereinafter, also simply referred to as a "cover glass"), and FIG. 1 shows a cross section of the cover glass 1 of the present embodiment. A diagram is shown. The cover glass 1 is provided with a transparent substrate 11 and an antireflective layer 12 formed thereon.

〔基材11の材質〕
基材11の材質は無機酸化物であり、例えばサファイアガラス、石英ガラス、ソーダガラス等が挙げられる。時計用カバーガラスの材質としては、硬度や透明性の観点より特にサファイアガラスが好ましい。
[Material of Base Material 11]
The material of the substrate 11 is an inorganic oxide, and examples thereof include sapphire glass, quartz glass, soda glass and the like. Sapphire glass is particularly preferable as the material of the watch cover glass from the viewpoint of hardness and transparency.

〔反射防止層12の構成〕
反射防止層12は、基材11の上に形成され、屈折率の異なる無機薄膜を交互に積層して得られる多層膜である。図1に示すカバーガラス1では、反射防止層12は、12A(高屈折率層)、12B(低屈折率層)、12C(高屈折率層)、12D(低屈折率層)の4層から構成されている。
ここで、高屈折率層12A、12Cは、窒化ケイ素(SiNx)により形成され、低屈折率層12B、12Dは酸化ケイ素(SiO)により形成されている。また、反射防止層
12の最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30〜50vol%となっている。
[Configuration of Antireflection Layer 12]
The antireflective layer 12 is a multilayer film formed on the base material 11 and obtained by alternately laminating inorganic thin films having different refractive indexes. In the cover glass 1 shown in FIG. 1, the antireflective layer 12 is formed of four layers 12A (high refractive index layer), 12B (low refractive index layer), 12C (high refractive index layer), and 12D (low refractive index layer). It is configured.
Here, the high refractive index layers 12A and 12C are formed of silicon nitride (SiN x), and the low refractive index layers 12B and 12D are formed of silicon oxide (SiO 2 ). Further, the content of silicon nitride in the range from the outermost surface of the antireflective layer 12 to the depth of 150 nm is 30 to 50 vol%.

なお、反射防止層12は、4層である必要はなく、5層以上でもよい。反射防止効果を高める観点からは積層数が多い方が好ましい。ただし、あまり積層数が多くなると、生産性の観点より問題が生ずるおそれもあるので、好ましくは9層までの範囲である。
また、酸化ケイ素からなる最表層(低屈折率層12D)の層厚は70〜110nmであることが好ましく、さらに好ましくは75〜105nmである。また、最表層に隣接する窒化ケイ素層(高屈折率層12C)の層厚は50〜115nmであることが好ましく、より好ましくは55〜110nmである。前記した層厚の範囲をはずれると反射防止層12の反射率が高くなる傾向にある。
ここで、図1に示すカバーガラス1の表面硬度は、ナノインデンターを使用したISO14577準拠の測定値で24000N/mm以上である(試験荷重1.225mN)
The antireflection layer 12 does not have to have four layers, and may have five or more layers. From the viewpoint of enhancing the reflection preventing effect, it is preferable that the number of laminations is large. However, if the number of layers is too large, problems may occur from the viewpoint of productivity, so the range is preferably up to 9 layers.
The layer thickness of the outermost layer (low refractive index layer 12D) made of silicon oxide is preferably 70 to 110 nm, more preferably 75 to 105 nm. The layer thickness of the silicon nitride layer (high refractive index layer 12C) adjacent to the outermost layer is preferably 50 to 115 nm, more preferably 55 to 110 nm. If the thickness range is deviated, the reflectance of the antireflective layer 12 tends to be high.
Here, the surface hardness of the cover glass 1 shown in FIG. 1 is 24000 N / mm 2 or more in a measured value in accordance with ISO 14577 using a nano indenter (test load 1.225 mN)
.

〔反射防止層12の形成工程〕
基材11の表面に上述した反射防止層12を形成する際には、スパッタリング法が好適に用いられる。なお、真空蒸着法も適用可能であり、真空蒸着法ではイオンビームアシストなどの手法も適宜併用することができる。ただし、硬度に優れた反射防止層12を得るためにはスパッタリング法が最も好ましい。スパッタリング法や真空蒸着法は、無機薄膜形成の際に用いられる通常の方法が適用できる。
また、前記したスパッタリングを行う際には、基材11を100℃以上に加熱する加熱工程を備えることが、上述の硬度や密着性の観点より好ましい。
また、反射防止層12をスパッタリングにより形成する前に、基材11に対して表面の付着物を除去する逆スパッタリング工程を備えると、基材11の表面を清浄にすることができるので、基材11と反射防止層12との密着性向上の観点より好ましい。
[Step of Forming Antireflection Layer 12]
When forming the above-mentioned antireflection layer 12 on the surface of the substrate 11, a sputtering method is suitably used. In addition, a vacuum evaporation method is also applicable, and methods, such as ion beam assistance, can also be used together suitably by a vacuum evaporation method. However, in order to obtain the antireflective layer 12 excellent in hardness, the sputtering method is most preferable. As the sputtering method or the vacuum evaporation method, a usual method used for forming an inorganic thin film can be applied.
Moreover, when performing above-described sputtering, it is more preferable than the viewpoint of the above-mentioned hardness and adhesiveness to provide the heating process which heats the base material 11 to 100 degreeC or more.
In addition, if the reverse sputtering process is performed to remove the deposits on the surface of the substrate 11 before the antireflective layer 12 is formed by sputtering, the surface of the substrate 11 can be cleaned. It is more preferable than the viewpoint of the adhesion improvement with 11 and the anti-reflective layer 12.

以上の実施形態によれば、次のような効果が得られる。
カバーガラス1は、透明な基材11と、反射防止層12とを含んで構成されている。そして、反射防止層12は、高屈折率層12A、12Cと低屈折率層12B、12Dとが交互に積層されて形成されており、反射防止層12の最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30〜50vol%となっている。従って、反射防止層12の表面が非常に硬度の高い層となる。この所定の深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30vol%未満であると、反射防止層12の耐傷性が不十分なものとなり、例えば、時計用のカバーガラスとしての実用性に乏しくなる。また、反射防止層12の最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が50vol%以下であるので、反射防止効果にも優れている。この所定の深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が50vol%を超えると、反射防止効果が劣り、時計用のカバーガラスとしての実用性に乏しくなる。反射防止層12の最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が40vol%以上であると、反射防止効果を維持したまま、反射防止層の耐傷性をさらに向上させることが可能となる。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
The cover glass 1 is configured to include a transparent substrate 11 and an antireflective layer 12. The antireflective layer 12 is formed by alternately laminating the high refractive index layers 12A and 12C and the low refractive index layers 12B and 12D, and in the range from the outermost surface of the antireflective layer 12 to a depth of 150 nm. The content of silicon nitride is 30 to 50 vol%. Therefore, the surface of the antireflective layer 12 becomes a very hard layer. When the content of silicon nitride in the range up to the predetermined depth is less than 30 vol%, the scratch resistance of the antireflective layer 12 becomes insufficient, and for example, the practicability as a cover glass for a watch becomes poor. In addition, since the content of silicon nitride in the range from the outermost surface of the antireflective layer 12 to the depth of 150 nm is 50 vol% or less, the antireflective effect is also excellent. When the content of silicon nitride in the range up to the predetermined depth exceeds 50 vol%, the antireflective effect is inferior and the practicability as a cover glass for a watch becomes poor. When the content of silicon nitride in the range from the outermost surface of the antireflective layer 12 to the depth of 150 nm is 40 vol% or more, it is possible to further improve the scratch resistance of the antireflective layer while maintaining the antireflective effect Become.

カバーガラス1の表面硬度は、24000N/mm以上であるので、十分な耐傷性を発揮することができ、腕時計や携帯情報機器などに適用した場合に十分な耐擦傷性が得られる。また、表面硬度が、30000N/mm以上であるとさらに優れた耐傷性を発揮することができる。 Since the surface hardness of the cover glass 1 is 24000 N / mm 2 or more, sufficient scratch resistance can be exhibited, and sufficient scratch resistance can be obtained when applied to a watch or a portable information device. In addition, when the surface hardness is 30000 N / mm 2 or more, it is possible to exhibit further excellent scratch resistance.

[第2実施形態]
前記した反射防止層12の上には、防汚層を形成することができる。図2には、前記した反射防止層12の上に、さらに防汚層13を形成してなるカバーガラス2を示す。以下、この防汚層13について説明する。
〔防汚層13の構成〕
防汚層13は、いわゆる撥水剤・撥油剤として知られる化合物から構成される。このような化合物としては、アルコキシシラン等のフッ素含有有機ケイ素化合物が好ましい。
例えば、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OCH、CF(CF10Si(OCH、CF(CF12Si(OCH、CF(CF14Si(OCH、CF(CF16Si(OCH、CF(CF18Si(OCH、CF(CFSi(OC、CF(CFSi(OC、CF(CFSiCl、CF(CFSiCl、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OC、CF(CFSi(OC、CF(CFSiCl、CF(CFSiCl、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OCH、CF(CFSi(OC、CF(CFSi(OC、CF(CFSi(CH)(OCH、CF(CFSi(CH)(OCH、CF(CFSi(CH)Cl、CF(CFSi(CH)Cl、CF(CFSi(C)(OC、およびCF(CFSi(C)(OCなどが挙げられる。
フッ素含有有機ケイ素化合物としては、アミノ基を含有する化合物も好適である。
例えば、C19CONH(CHSi(OC、C19CONH(CHSiCl、C19CONH(CHSi(CH)Cl、C19CONH(CH)NH(CH)Si(OC、C19CONH(CHCONH(CH)Si(OC、C17SONH(CHCONH(CH)Si(OC、CO(CF(CF)CFO)−CF(CF)−CONH(CH)Si(OC、およびCO(CF(CF)CFO)m’−CF(CF)−CONH(CH)Si(OCH[ここで、m’は1以上の整数]などが挙げられる。
また、フッ素含有有機ケイ素化合物としては、以下のような化合物も好適である。
例えば、Rf'(CHSiCl、Rf'(CHSi(CH)Cl、(Rf'CHCHSiCl、Rf'(CHSi(OCH、Rf'CO
NH(CHSi(OC、Rf'CONH(CHNH(CH
Si(OC、Rf'SON(CH)(CHCONH(CH
i(OC、Rf'(CHOCO(CHS(CHSi(OC
、Rf'(CHOCONH(CHSi(OC、Rf'COO−Cy(OH)−(CHSi(OCH、Rf'(CHNH(CH
Si(OCH、およびRf'(CHNH(CHNH(CH
Si(OCHCHOCHなどが挙げられる。上述の各式において、Cyはシクロヘキサン残基であり、Rf’は、炭素数4〜16のポリフルオロアルキル基である。
Second Embodiment
An antifouling layer can be formed on the above-mentioned antireflection layer 12. FIG. 2 shows a cover glass 2 in which an antifouling layer 13 is further formed on the above-described antireflective layer 12. Hereinafter, the antifouling layer 13 will be described.
[Configuration of antifouling layer 13]
The antifouling layer 13 is composed of a compound known as a so-called water repellent agent / oil repellent agent. As such a compound, a fluorine-containing organic silicon compound such as alkoxysilane is preferable.
For example, CF 3 (CF 2) 2 C 2 H 4 Si (OCH 3) 3, CF 3 (CF 2) 4 C 2 H 4 Si (OCH 3) 3, CF 3 (CF 2) 6 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 8 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 10 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 12 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 14 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 16 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 3 ) 2 ) 18 C 2 H 4 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 6 C 2 H 4 Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 8 C 2 H 4 Si (OC 2 H) 5) 3, CF 3 (CF 2) 6 C 2 H 4 iCl 3, CF 3 (CF 2 ) 8 C 2 H 4 SiCl 3, CF 3 (CF 2) 6 C 3 H 6 Si (OCH 3) 3, CF 3 (CF 2) 8 C 3 H 6 Si (OCH 3 3 ) CF 3 (CF 2 ) 6 C 3 H 6 Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 8 C 3 H 6 Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 6 C 3 H 6 SiCl 3 , CF 3 (CF 2 ) 8 C 3 H 6 SiCl 3 , CF 3 (CF 2 ) 6 C 4 H 8 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 8 C 4 H 8 Si (OCH 3 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 6 C 4 H 8 Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 2 ) 8 C 4 H 8 Si (OC 2 H 5 ) 3 , CF 3 (CF 3 (CF 3 ) CF 2) 6 C 2 H 4 Si (CH 3) (OCH 3 2, CF 3 (CF 2) 8 C 2 H 4 Si (CH 3) (OCH 3) 2, CF 3 (CF 2) 6 C 2 H 4 Si (CH 3) Cl 2, CF 3 (CF 2) 8 C 2 H 4 Si (CH 3 ) Cl 2, CF 3 (CF 2) 6 C 2 H 4 Si (C 2 H 5) (OC 2 H 5) 2, and CF 3 (CF 2) 8 C 2 H 4 Si (C 2 H 5) ( OC 2 H 5) 2 and the like.
As the fluorine-containing organosilicon compound, a compound containing an amino group is also suitable.
For example, C 9 F 19 CONH (CH 2) 3 Si (OC 2 H 5) 3, C 9 F 19 CONH (CH 2) 3 SiCl 3, C 9 F 19 CONH (CH 2) 3 Si (CH 3) Cl 2 , C 9 F 19 CONH (CH 2 ) NH (CH 2 ) Si (OC 2 H 5 ) 3 , C 9 F 19 CONH (CH 2 ) 5 CONH (CH 2 ) Si (OC 2 H 5 ) 3 , C 8 F 17 SO 2 NH (CH 2 ) 5 CONH (CH 2 ) Si (OC 2 H 5 ) 3 , C 3 F 7 O (CF (CF 3 ) CF 2 O) 2 —CF (CF 3 ) —CONH ( CH 2 ) Si (OC 2 H 5 ) 3 , and C 3 F 7 O (CF (CF 3 ) CF 2 O) m'-CF (CF 3 ) -CONH (CH 2 ) Si (OCH 3 ) 3 [herein Where m 'is an integer greater than or equal to 1] And the like.
Moreover, as a fluorine-containing organosilicon compound, the following compounds are also suitable.
For example, Rf '(CH 2) 2 SiCl 3, Rf' (CH 2) 2 Si (CH 3) Cl 2, (Rf'CH 2 CH 2) 2 SiCl 2, Rf '(CH 2) 2 Si (OCH 3 ) 3 , Rf'CO
NH (CH 2 ) 3 Si (OC 2 H 5 ) 3 , Rf'CONH (CH 2 ) 2 NH (CH 2 ) 3
Si (OC 2 H 5) 3 , Rf'SO 2 N (CH 3) (CH 2) 2 CONH (CH 2) 3 S
i (OC 2 H 5) 3 , Rf '(CH 2) 2 OCO (CH 2) 2 S (CH 2) 3 Si (OC
H 3) 3, Rf '( CH 2) 2 OCONH (CH 2) 2 Si (OC 2 H 5) 3, Rf'COO-Cy (OH) - (CH 2) 2 Si (OCH 3) 3, Rf' (CH 2) 2 NH (CH 2
) 2 Si (OCH 3 ) 3 , and Rf ′ (CH 2 ) 2 NH (CH 2 ) 2 NH (CH 2 ) 2
Such as Si (OCH 2 CH 2 OCH 3 ) 3 and the like. In each of the above-mentioned formulas, Cy is a cyclohexane residue, and Rf 'is a polyfluoroalkyl group having 4 to 16 carbon atoms.

本発明で用いられるフッ素含有有機ケイ素化合物としては、下記式(1)および(2)の少なくともいずれかで示される化合物が特に好ましい。   As the fluorine-containing organic silicon compound used in the present invention, a compound represented by at least one of the following formulas (1) and (2) is particularly preferable.

Figure 2018180006
Figure 2018180006

式中、R 1はパーフルオロアルキル基を示す。Xは臭素、ヨウ素または水素を示す。
Yは水素または低級アルキル基を示し、Zはフッ素またはトリフルオロメチル基を示す。R1は加水分解可能な基を示し、R2は水素または不活性な1価の炭化水素基を示す。a、b、c、d、eは0または1以上の整数で、且つa+b+c+d+eは少なくとも1以上であり、a、b、c、d、eで括られた各繰り返し単位の存在順序は、式中において限定されない。fは0、1または2である。gは1、2または3である。hは1以上の整数である。
In the formula, R f 1 represents a perfluoroalkyl group. X represents bromine, iodine or hydrogen.
Y represents hydrogen or a lower alkyl group, and Z represents a fluorine or trifluoromethyl group. R 1 represents a hydrolyzable group, and R 2 represents hydrogen or an inert monovalent hydrocarbon group. a, b, c, d, e are integers of 0 or 1, and a + b + c + d + e is at least 1 or more, and the order of existence of each repeating unit enclosed by a, b, c, d, e is There is no limitation on f is 0, 1 or 2; g is 1, 2 or 3; h is an integer of 1 or more.

Figure 2018180006
Figure 2018180006

式中、R 2は式:「−(Ck2k)O−」で示される単位を含み、分岐を有しない直鎖状のパーフルオロポリアルキレンエーテル構造を有する2価の基を示す。なお、式:「−(Ck2k)O−」におけるkは1〜6の整数である。R3は炭素原子数1〜8の1価炭化水素基であり、Wは加水分解性基またはハロゲン原子を示す。pは0、1または2であり、nは1〜5の整数である。m及びrは、2または3である。 Wherein, R f 2 is the formula: - wherein the "(C k F 2k) O-" units represented by a divalent group having a linear perfluoroalkyl polyalkylene ether structure having no branch. In addition, k in a formula: "-( CkF2k ) O-" is an integer of 1-6. R 3 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, and W is a hydrolyzable group or a halogen atom. p is 0, 1 or 2 and n is an integer of 1 to 5. m and r are 2 or 3;

前記したフッ素含有有機ケイ素化合物を、前記した反射防止層12の上に防汚層13として形成することで、優れた撥水・撥油効果を有し、耐擦傷性に優れたカバーガラスを得ることができる。これらのフッ素含有有機ケイ素化合物は、単独で用いてもよいが混合して用いてもよい。特に前記した式(1)と式(2)の化合物を混合して用いると防汚層の耐久性が向上するので好ましい。
前記したフッ素含有有機ケイ素化合物の具体例としては、GE東芝シリコーン株式会社製TSL8233、TSL8257、ダイキン工業株式会社製オプツールDSX、信越化学工業株式会社製KY−130、KP−801などが挙げられる。
By forming the above-mentioned fluorine-containing organosilicon compound as the anti-soiling layer 13 on the above-mentioned antireflection layer 12, a cover glass having excellent water and oil repellent effects and having excellent scratch resistance is obtained. be able to. These fluorine-containing organosilicon compounds may be used alone or in combination. In particular, the use of a mixture of the compounds of the formulas (1) and (2) is preferable because the durability of the antifouling layer is improved.
Specific examples of the fluorine-containing organic silicon compound include TSL8233 and TSL8257 manufactured by GE Toshiba Silicone Co., Ltd., Optool DSX manufactured by Daikin Industries, Ltd., KY-130 and KP-801 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and the like.

〔防汚層13の形成工程〕
防汚層13を形成する方法として、乾式法と湿式法のいずれも用いることができる。以下に各々について説明する。
[Step of Forming Antifouling Layer 13]
As a method for forming the antifouling layer 13, either a dry method or a wet method can be used. Each will be described below.

(乾式法)
乾式法としては、前記フッ素含有有機ケイ素化合物を真空槽内で蒸発させて基材11(反射防止層12)の表面に付着させる真空蒸着法を採用することができる。例えば、特開平6−340966号公報や特開2005−301208号公報に記載された蒸着装置が好適に利用可能である。具体的には、以下のようにして防汚層13を形成することができる。
(Dry process)
As a dry method, it is possible to employ a vacuum evaporation method in which the fluorine-containing organosilicon compound is evaporated in a vacuum tank to adhere to the surface of the substrate 11 (antireflection layer 12). For example, the vapor deposition apparatus described in Unexamined-Japanese-Patent No. 6-340966 and Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-301208 can be utilized suitably. Specifically, the antifouling layer 13 can be formed as follows.

フッ素含有有機ケイ素化合物を適当なフッ素系溶剤に溶解して希釈して得た処理剤を繊維状あるいは多孔質の媒体に付着させ、それを真空槽内で、1〜0.0001Paの圧力下で加熱することにより、真空槽内に載置したカバーガラス2の反射防止層12の上に付着させて防汚層13を形成する。使用するフッ素系溶剤としては、後述する湿式法で用いるものと同じものを使用可能である。なお、溶剤の使用量はわずかであり、環境負荷はほとんどない。   A treatment agent obtained by dissolving and diluting a fluorine-containing organosilicon compound in a suitable fluorine-based solvent is attached to a fibrous or porous medium, and it is applied in a vacuum tank under a pressure of 1 to 0.0001 Pa. By heating, it adheres on the anti-reflective layer 12 of the cover glass 2 mounted in the inside of a vacuum tank, and the antifouling layer 13 is formed. As a fluorine-type solvent to be used, the same thing as what is used by the wet method mentioned later can be used. The amount of solvent used is small and there is almost no environmental impact.

このような媒体としては、熱伝導性および加熱効率の観点より導電性繊維や多孔性の焼結金属が好ましく、材料としては銅やステンレスが好適である。ここで、燒結金属のような多孔質の媒体としては、適度な蒸着速度を得るという観点より、その孔径が40〜200μmであることが好ましく、より好ましくは80〜120μmである。
防汚層13形成時に、上記媒体に付着させたフッ素含有有機ケイ素化合物を加熱する際の温度は、真空槽内の圧力によっても異なるが、該有機ケイ素化合物の分解温度を超えない範囲に設定することが好ましい。
As such a medium, conductive fibers and porous sintered metals are preferable from the viewpoint of thermal conductivity and heating efficiency, and copper and stainless steel are preferable as the material. Here, as a porous medium such as a sintered metal, the pore diameter is preferably 40 to 200 μm, more preferably 80 to 120 μm, from the viewpoint of obtaining an appropriate deposition rate.
The temperature at the time of heating the fluorine-containing organosilicon compound attached to the medium at the time of forming the antifouling layer 13 varies depending on the pressure in the vacuum tank, but is set within a range not exceeding the decomposition temperature of the organosilicon compound. Is preferred.

防汚層13形成時の圧力として好ましくは0.5〜0.005Paであり、より好ましくは0.1〜0.001Paである。防汚層13形成時の圧力が1Paより高いと、蒸発分子の平均自由工程が短く、防汚層13の形成速度が遅くなってしまう。一方、圧力が0.0001Paより低いと、防汚層13の形成速度は速くなるもののそのような真空状態を得るための時間がかかり過ぎるのでやはり好ましくない。   The pressure at the time of forming the antifouling layer 13 is preferably 0.5 to 0.005 Pa, and more preferably 0.1 to 0.001 Pa. When the pressure at the time of forming the antifouling layer 13 is higher than 1 Pa, the mean free path of the evaporation molecules is short, and the forming speed of the antifouling layer 13 is reduced. On the other hand, if the pressure is lower than 0.0001 Pa, although the formation rate of the antifouling layer 13 is increased, it takes too much time to obtain such a vacuum state, which is also not preferable.

防汚層13の形成速度(蒸着速度)は、0.05〜5.0Å/sが好ましく、0.1〜2.0Å/sがより好ましい。0.05Å/s未満では、生産性が低いため製造コストが過大となる。また、2.0Å/sを超えると防汚層13の層厚分布が不均一となり、表面の滑り性が悪化する。ここで、防汚層13の形成速度は、真空槽内の圧力と加熱温度を調節することにより制御可能である。
なお、真空蒸着法では、フッ素含有有機ケイ素化合物は高濃度、または希釈溶剤なしに使用することもできる。
The formation rate (deposition rate) of the antifouling layer 13 is preferably 0.05 to 5.0 Å / s, and more preferably 0.1 to 2.0 Å / s. If it is less than 0.05 Å / s, the production cost is too high because the productivity is low. When the thickness exceeds 2.0 Å / s, the layer thickness distribution of the antifouling layer 13 becomes uneven, and the surface slipperiness deteriorates. Here, the formation rate of the antifouling layer 13 can be controlled by adjusting the pressure in the vacuum chamber and the heating temperature.
In the vacuum evaporation method, the fluorine-containing organosilicon compound can be used at a high concentration or without a diluting solvent.

(湿式法)
<処理剤の調製>
湿式法により、防汚層13を、基材11(反射防止層12)の上に形成するには、前記したいずれかのフッ素含有有機ケイ素化合物を有機溶剤に溶解させ、所定の濃度となるように調整し、基材11表面に塗布する方法を採用することができる。有機溶剤としては、フッ素含有有機ケイ素化合物の溶解性に優れるパーフルオロ基を有し、炭素数が4以上の有機化合物が好ましく、例えば、パーフルオロヘキサン、パーフルオロシクロブタン、パーフルオロオクタン、パーフルオロデカン、パーフルオロメチルシクロヘキサン、パーフルオロ−1,3−ジメチルシクロヘキサン、パーフルオロ−4−メトキシブタン、パーフルオロ−4−エトキシブタン、メタキシレンヘキサフロライドを挙げることができる。また、パーフルオロエーテル油、クロロトリフルオロエチレンオリゴマー油を使用することができる。その他に、フロン225(CF3CF2CHCl2とCClF2CF2CHClF
の混合物)を例示することができる。これらの有機溶剤の1種を単独でまたは2種以上を混合して用いることができる。
(Wet method)
<Preparation of treatment agent>
In order to form the antifouling layer 13 on the substrate 11 (the antireflective layer 12) by a wet method, any of the above-mentioned fluorine-containing organic silicon compounds is dissolved in an organic solvent to obtain a predetermined concentration. It is possible to adopt a method of adjusting to and coating on the surface of the substrate 11. The organic solvent is preferably an organic compound having a perfluoro group excellent in the solubility of the fluorine-containing organic silicon compound and having 4 or more carbon atoms, for example, perfluorohexane, perfluorocyclobutane, perfluorooctane, perfluorodecane And perfluoromethylcyclohexane, perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane, perfluoro-4-methoxybutane, perfluoro-4-ethoxybutane and metaxylene hexafluoride. In addition, perfluoroether oil, chlorotrifluoroethylene oligomer oil can be used. In addition, fluorocarbon 225 (CF 3 CF 2 CHCl 2 and CClF 2 CF 2 CHClF
(A mixture of These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

有機溶剤で希釈するときの濃度は、0.03〜1質量%の範囲が好ましい。0.03質量%より低すぎると十分な厚さを有する防汚層13の形成が困難であり、十分な撥水・撥油効果さらには十分な滑り性が得られない場合がある。一方、1質量%より濃すぎると防汚層13が厚くなり過ぎるおそれがあり、塗布後に塗りむらをなくすためのリンス作業の負担が増すおそれがある。   The concentration when diluted with an organic solvent is preferably in the range of 0.03 to 1% by mass. If the amount is less than 0.03% by mass, it may be difficult to form the antifouling layer 13 having a sufficient thickness, and a sufficient water repellency / oil repellency effect and a sufficient slipperiness may not be obtained. On the other hand, if the concentration is more than 1% by mass, the antifouling layer 13 may be too thick, and the load of the rinse operation for eliminating coating unevenness after application may be increased.

<塗布工程>
塗布方法としては、ディッピング(浸漬)法、スピンコート法、スプレー法、フロー法、ドクターブレード法、ロールコート塗装、グラビアコート塗装、カーテンフロー塗装、刷毛塗り等が用いられる。防汚層13の層厚は、特に限定されないが、0.001〜0.05μmが好ましく、0.001〜0.03μmであることがより好ましく、0.001〜0.02μmであることがさらに好ましい。
防汚層13の厚みが0.001μm未満であると、十分な撥水・撥油性能を発揮できず、滑り性にも劣るので、耐擦傷性や耐薬品性が低下するおそれがある。また、防汚層の厚みが0.05μmを超えると、カバーガラス2の表面硬度を低下させるおそれがあり、さらに防汚層13による表面光散乱が大きくなるため、基材11の透明性を阻害するおそれがある。
<Coating process>
As a coating method, a dipping method, a spin coating method, a spray method, a flow method, a doctor blade method, roll coating, gravure coating, curtain flow coating, brush coating, or the like is used. The layer thickness of the antifouling layer 13 is not particularly limited, but preferably 0.001 to 0.05 μm, more preferably 0.001 to 0.03 μm, and still more preferably 0.001 to 0.02 μm. preferable.
If the thickness of the antifouling layer 13 is less than 0.001 μm, sufficient water repellency and oil repellency can not be exhibited, and the slipperiness is also inferior, so that the abrasion resistance and the chemical resistance may be reduced. In addition, if the thickness of the antifouling layer exceeds 0.05 μm, the surface hardness of the cover glass 2 may be reduced, and the surface light scattering by the antifouling layer 13 becomes large, so the transparency of the substrate 11 is inhibited. There is a fear.

ディッピング法の場合、上記した有機溶剤を用いて所定濃度に調整した処理液中に基材11を浸漬し、一定時間経過後、一定速度で基材11を引き上げる。この際、浸漬時間としては0.5分から3分程度が望ましい。0.5分未満であると、基材11表面へのフッ素含有有機ケイ素化合物の吸着が充分でないため、所定の撥水・撥油性能や滑り性を得ることができない。3分を超える場合は、サイクルタイムの増加を招き好ましくない。引き上げ速度は、100mm/分〜300mm/分が望ましい。これは、処理液濃度との兼ね合いで決められるものであるが、100mm/分未満では、防汚層13が薄くなりすぎて所定の性能が得られず、300mm/分を超えると、防汚層13が厚くなりすぎ、塗布後塗りむらをなくすためのリンス作業の負担が増すおそれがある。   In the case of the dipping method, the substrate 11 is immersed in a treatment liquid adjusted to a predetermined concentration using the above-mentioned organic solvent, and after a certain time, the substrate 11 is pulled up at a constant speed. At this time, the immersion time is preferably about 0.5 minutes to 3 minutes. If the time is less than 0.5 minutes, the adsorption of the fluorine-containing organic silicon compound on the surface of the base material 11 is not sufficient, so that it is not possible to obtain predetermined water / oil repellent performance and slipperiness. If it exceeds 3 minutes, the cycle time is undesirably increased. The pulling speed is preferably 100 mm / min to 300 mm / min. This is determined in view of the concentration of the treatment liquid, but if it is less than 100 mm / min, the antifouling layer 13 becomes too thin to obtain predetermined performance, and if it exceeds 300 mm / min, the antifouling layer 13 may be too thick, which may increase the burden of the rinse operation to eliminate coating unevenness after application.

<熟成工程>
前記塗布工程の後に、温度10〜60℃および相対湿度10〜90%の雰囲気下で0.5時間以上放置する。温度は好ましくは20〜50℃であり、相対湿度は好ましくは、20〜80%である。放置時間(熟成時間)は、好ましくは1〜10時間である。雰囲気温度が低すぎると有機ケイ素化合物の反応性が低いため防汚層13の形成が不十分となる。逆に雰囲気温度が高すぎると防汚層13にクラックが入ってカバーガラス2の外観が不良となるおそれがある。また、雰囲気湿度が低すぎると温度の場合と同様に有機ケイ素化合物の反応性が低いため防汚層13の形成が不十分となる。雰囲気湿度が高すぎると反応が速すぎ防汚層13にクラックが入ってカバーガラス2の外観が不良となるおそれがある。また、熟成時間が短すぎると有機ケイ素化合物の反応が不十分となり、防汚層13の形成が不十分となる。熟成時間としては、0.5時間以上が必要であり、例えば、25℃、相対湿度40%なら24時間程度、60℃、相対湿度80%なら2時間程度が好ましい。
なお、上述の乾式法、湿式法のいずれにおいても、事前に反射防止層12表面に対してプラズマ処理(アルゴン、酸素等)を施しておくことが好ましい。プラズマ処理を、例えば、反射防止層12(低屈折率層12D、SiO層)に対して施しておくと、反射防止
層12と防汚層13との密着性(接着性)が非常に向上する。
Aging Process
After the application step, it is left for 0.5 hours or more in an atmosphere at a temperature of 10 to 60 ° C. and a relative humidity of 10 to 90%. The temperature is preferably 20 to 50 ° C., and the relative humidity is preferably 20 to 80%. The standing time (aging time) is preferably 1 to 10 hours. When the ambient temperature is too low, the reactivity of the organosilicon compound is low, so that the formation of the antifouling layer 13 is insufficient. On the contrary, if the ambient temperature is too high, the antifouling layer 13 may be cracked and the appearance of the cover glass 2 may be poor. When the atmospheric humidity is too low, the reactivity of the organosilicon compound is low as in the case of the temperature, so that the formation of the antifouling layer 13 is insufficient. If the atmospheric humidity is too high, the reaction is too fast, and the antifouling layer 13 may be cracked to cause the appearance of the cover glass 2 to be defective. When the aging time is too short, the reaction of the organosilicon compound becomes insufficient, and the formation of the antifouling layer 13 becomes insufficient. As the ripening time, 0.5 hours or more is required. For example, 25 ° C., relative humidity 40% about 24 hours, 60 ° C., relative humidity 80% about 2 hours is preferable.
In any of the above-described dry method and wet method, it is preferable to perform plasma treatment (argon, oxygen, etc.) on the surface of the antireflective layer 12 in advance. When the plasma treatment is performed on, for example, the antireflective layer 12 (low refractive index layer 12D, SiO 2 layer), the adhesion (adhesiveness) between the antireflective layer 12 and the antifouling layer 13 is greatly improved. Do.

最終的に防汚層13が形成されたカバーガラス2の表面硬度は、ナノインデンターを使用したISO14577準拠の測定値で24000N/mm以上である(試験荷重1.225mN)。 The surface hardness of the cover glass 2 on which the antifouling layer 13 is finally formed is 24000 N / mm 2 or more as measured according to ISO 14577 using a nano indenter (test load: 1.225 mN).

以上の本実施形態によれば、次のような効果が得られる。
反射防止層12の上には、フッ素含有有機ケイ素化合物からなる防汚層13が形成されている。従って、この防汚層は、撥水・撥油作用を発揮するだけでなく、表面の滑り性に非常に優れる。それ故、カバーガラス2に外部からの衝撃が加わっても、防汚層13表面の滑り性によりその衝撃をやわらげることができるので耐擦傷性に非常に優れる。それ故、カバーガラス2の視認性を長期に渡って維持できる。
防汚層13に用いられるフッ素含有有機ケイ素化合物として、アルコキシシラン化合物や前記した式(1)、(2)のようなパーフルオロエーテル化合物を用いることで、カバーガラス2に高い滑り性を付与することができ、結果として優れた耐擦傷性を発揮することができる。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
An antifouling layer 13 made of a fluorine-containing organic silicon compound is formed on the antireflective layer 12. Therefore, the antifouling layer not only exhibits the water and oil repellency but also is extremely excellent in surface slipperiness. Therefore, even if an external impact is applied to the cover glass 2, the impact can be softened by the slipperiness of the surface of the antifouling layer 13, so the scratch resistance is very excellent. Therefore, the visibility of the cover glass 2 can be maintained for a long time.
By using an alkoxysilane compound or a perfluoroether compound such as the formulas (1) and (2) described above as the fluorine-containing organic silicon compound used for the antifouling layer 13, the cover glass 2 is provided with high slip properties. As a result, excellent scratch resistance can be exhibited.

防汚層13の厚みを0.001〜0.05μmの範囲に設定することで、十分な撥水・撥油性能を発揮できるとともに、耐擦傷性やさらに耐薬品性にも優れたカバーガラス1を提供できる。
カバーガラス1の表面硬度が、24000N/mm以上であるので、腕時計や携帯情報機器などに適用した場合に十分な耐擦傷性が得られる。
By setting the thickness of the antifouling layer 13 in the range of 0.001 to 0.05 μm, a cover glass which can exhibit sufficient water and oil repellency and is excellent also in scratch resistance and chemical resistance Can provide
Since the surface hardness of the cover glass 1 is 24000 N / mm 2 or more, sufficient abrasion resistance can be obtained when applied to a watch, a portable information device, or the like.

防汚層13を上述した所定の湿式法により形成すると、優れた耐擦傷性を有するカバーガラス2を製造できるだけでなく、真空装置等の大型設備が不要となり、製造にかかるコストを低減させることも可能となる。
また、防汚層13を上述した所定の乾式法により形成すると、優れた耐擦傷性を有するカバーガラス2を製造できるだけでなく、溶剤を実質的に用いないので環境負荷が低い。また、防汚層13の形成工程における条件を変更することが容易なので防汚層の層厚制御も簡便である。さらに繊維状または多孔質の媒体を用いることでフッ素含有有機ケイ素化合物の加熱効率も高い。
When the antifouling layer 13 is formed by the above-described predetermined wet method, not only can the cover glass 2 having excellent scratch resistance be manufactured, but large equipment such as a vacuum device is not necessary, and the cost for manufacturing can be reduced. It becomes possible.
In addition, when the antifouling layer 13 is formed by the above-described predetermined dry method, not only can the cover glass 2 having excellent scratch resistance be manufactured, but also the solvent is not substantially used, so the environmental load is low. Moreover, since it is easy to change the conditions in the formation process of the antifouling layer 13, the layer thickness control of the antifouling layer is also simple. Furthermore, the heating efficiency of the fluorine-containing organosilicon compound is also high by using a fibrous or porous medium.

本発明は、以上述べた実施形態には限定されず、本発明の目的を達成できる範囲で種々の改良および変形を行うことが可能である。
前記実施形態では、風防としてのカバーガラス1、2に本発明が適用された例を示したが、本発明の透光性部材は、風防としてのカバーガラスに限定されない。機械式時計などでは、裏蓋が設けられる位置にカバー部材としての透光性部材が設けられ、この透光性部材を介して時計体の内部の機構を視認可能なシースルーバック仕様とされていることがある。このような場合、この透光性部材に本発明を適用できる。
なお、透光性部材の基材としては、高硬度のサファイアガラスが好適であるが、このほか、石英ガラス、ソーダガラス等の使用も検討してよい。
The present invention is not limited to the embodiments described above, and various improvements and modifications can be made as long as the object of the present invention can be achieved.
In the said embodiment, although the example to which this invention was applied to the cover glass 1 and 2 as a windshield was shown, the translucent member of this invention is not limited to the cover glass as a windshield. In mechanical watches and the like, a translucent member as a cover member is provided at the position where the back cover is provided, and the see-through back specification allows the internal mechanism of the timepiece to be visually recognized through the translucent member. Sometimes. In such a case, the present invention can be applied to this translucent member.
In addition, although sapphire glass with high hardness is suitable as a base material of a translucent member, use of quartz glass, soda glass, etc. may be examined besides this.

本発明の透光性部材は、時計に使用されるカバー部材に限らず、携帯電話、携帯情報機器、計測機器、デジタルカメラ、プリンター、ダイビングコンピューター、脈拍計等の各種機器における情報表示部のカバー部材として好適に使用できる。
なお、本発明の透光性部材は、カバー部材には限定されない。本発明に係る反射防止層、防汚層は、透光性部材の基材において硬度確保、反射防止機能および耐擦傷性が要求される任意の箇所に形成される。
The translucent member of the present invention is not limited to the cover member used in a watch, and covers the information display unit in various devices such as mobile phones, portable information devices, measuring devices, digital cameras, printers, diving computers, and pulsimeters. It can be suitably used as a member.
In addition, the translucent member of this invention is not limited to a cover member. The antireflective layer and the antifouling layer according to the present invention are formed on the base material of the light transmitting member at any place where the hardness is secured, the antireflective function and the scratch resistance are required.

以下に、実施例および比較例により、本発明をより詳細に説明する。具体的には、図1、図2に示す時計用カバーガラス1、2の基材11として一般的なサファイアガラスを用い、その表面に所定の反射防止層、さらには防汚層を形成した後、各種の評価を行った。   Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of examples and comparative examples. Specifically, after using a common sapphire glass as the base material 11 of the watch cover glasses 1 and 2 shown in FIGS. 1 and 2, after forming a predetermined antireflective layer and further an antifouling layer on the surface thereof , Performed various evaluations.

〔実施例1〜16、比較例1〜12〕
(基材11の前処理)
サファイアガラスを120℃の熱濃硫酸に10分間浸漬した後、純水でよく洗浄し、120℃に設定されたオーブンで、大気中30分間乾燥した。次に、このサファイアガラスをスパッタ装置内部に載置した後、120℃に加熱しながら装置内部を10−6Torrの圧力とした。続いて、装置内にArガスを導入し、0.8mTorrで逆スパッタしてサファイアガラス表面をクリーニングした。
[Examples 1-16, Comparative Examples 1-12]
(Pretreatment of base material 11)
After immersing the sapphire glass in hot concentrated sulfuric acid at 120 ° C. for 10 minutes, the sapphire glass was thoroughly washed with pure water, and dried in the air for 30 minutes in the atmosphere set at 120 ° C. Next, the sapphire glass was placed inside a sputtering apparatus, and then the inside of the apparatus was brought to a pressure of 10 −6 Torr while heating to 120 ° C. Subsequently, Ar gas was introduced into the apparatus and reverse sputtering was performed at 0.8 mTorr to clean the sapphire glass surface.

(反射防止層12の形成)
シリコンをターゲットとし、以下の条件でスパッタリングを行い、高屈折率層と低屈折率層からなる反射防止層12(4層〜9層)を、サファイアガラス製基材11の表面に形成した。具体的な層構成を表1、2に示す。なお、反射防止層12の最表面から150nmの深さまでにおける窒化ケイ素(SiNx)の体積分率をSiNx占有率として示す。
高屈折率層:窒化ケイ素(SiNx)
ガス:10.0sccm
Arガス:10.0sccm
スパッタリングパワー:2.0KW
低屈折率層:酸化ケイ素(SiO
ガス:10.0sccm
Arガス:10.0sccm
スパッタリングパワー:1.5KW
(Formation of antireflective layer 12)
Using silicon as a target, sputtering was performed under the following conditions to form an antireflection layer 12 (four to nine layers) composed of a high refractive index layer and a low refractive index layer on the surface of the sapphire glass substrate 11. Specific layer configurations are shown in Tables 1 and 2. The volume fraction of silicon nitride (SiN x) from the outermost surface of the antireflective layer 12 to the depth of 150 nm is shown as the SiN x occupancy.
High refractive index layer: silicon nitride (SiN x)
N 2 gas: 10.0 sccm
Ar gas: 10.0 sccm
Sputtering power: 2.0 KW
Low refractive index layer: silicon oxide (SiO 2 )
0 2 gas: 10.0 sccm
Ar gas: 10.0 sccm
Sputtering power: 1.5 KW

〔評価項目および評価方法〕
前記で得られた基材11に対し、以下の評価を行い、結果を表1、2に示した。なお、サファイアガラス単体についても参考例として示した。
(1)反射率(%)
基材表面に対して90°の入射角で入射する標準光の反射率を求め、この反射率と、入射角90°の場合の視感感度とを可視光領域の各波長において掛け合わせた値の積算値に基づいて算出した。
[Evaluation items and evaluation method]
The following evaluation was performed with respect to the base material 11 obtained above, and the results are shown in Tables 1 and 2. The sapphire glass alone is also shown as a reference example.
(1) Reflectance (%)
The reflectance of standard light incident at an incident angle of 90 ° to the substrate surface is determined, and this reflectance and the luminous sensitivity at an incident angle of 90 ° are multiplied at each wavelength in the visible light region Calculated based on the integrated value of

(2)落砂試験前後の光線透過率差(ΔT%)
まず、次のような落砂試験を行う。水平面に対してカバーガラスを45°の傾斜角度で配置する。この際、反射防止層12が形成された側が上面側になるようにカバーガラスを配置する。そして、水平面から1mの高さより、防汚層に向かって砂を落下させる。この後、カバーガラスを洗浄し、試験前におけるカバーガラスの光線透過率と、試験後におけるカバーガラスの光線透過率との差ΔT%に基づいて、傷の付きづらさを評価した。
ここで、使用する砂の材質は、黒色炭化ケイ素インゴットおよび緑色炭化ケイ素インゴットを粉砕、分級して製造されたカーボランダムである。この試験では、中心粒径が600〜850μmのカーボランダム#24を800cm使用した。
(2) Light transmittance difference (ΔT%) before and after sand fall test
First, the following sand fall test is conducted. Position the cover glass at an inclination angle of 45 ° with respect to the horizontal plane. At this time, the cover glass is disposed such that the side on which the antireflective layer 12 is formed is on the top side. Then, sand is dropped toward the antifouling layer from a height of 1 m from the horizontal surface. After that, the cover glass was washed, and the scratch resistance was evaluated based on the difference ΔT% between the light transmittance of the cover glass before the test and the light transmittance of the cover glass after the test.
Here, the material of the sand to be used is carborundum produced by crushing and classifying a black silicon carbide ingot and a green silicon carbide ingot. In this test, 800 cm 3 of Carborundum # 24 having a central particle size of 600 to 850 μm was used.

(3)表面硬度(N/mm
ナノインデンターを使用して、試験荷重1.225mNにおける、基材11の反射防止層側の表面硬度を測定した(ISO14577に準拠)。
(3) Surface hardness (N / mm 2 )
The surface hardness of the antireflective layer side of the substrate 11 at a test load of 1.225 mN was measured using a nanoindenter (in accordance with ISO 14577).

Figure 2018180006
Figure 2018180006

Figure 2018180006
Figure 2018180006

〔評価結果〕
表1の結果より、反射防止層12の層数によらず、最表面から150nmの深さまでにおけるSiNx占有率を30〜50vol%とすることで、表面硬度を24000N/mm以上に維持することが可能となり、同時に落砂試験前後の透過率差(Δ%)を2%以下にできることがわかる。透過率差が2%以下であれば、時計用カバ−ガラスとして実用上の耐傷性は良好といえる。また、SiNx占有率を40vol%以上とすることで落砂試験前後の透過率差をさらに1.5%以下にできる。透過率差が1.5%以下であれば、実用上の耐傷性は極めて良好といえる。
一方、表2の結果からは、比較例1、3、5、7、9、11に示すように、SiNx占有率が50vol%を超えると、反射率が0.4%を超え、実用上使用困難なレベルとなることがわかる。また、比較例2、4、6、8、10、12に示すように、SiNx占有率が30vol%未満であると、表面硬度が非常に小さくなり、透過率差も大きくなる。すなわち、耐傷性に劣ったものとなる。
〔Evaluation results〕
From the results of Table 1, regardless of the number of layers of the antireflective layer 12, maintaining the surface hardness at 24000 N / mm 2 or more by setting the occupancy rate of SiN x to 30 to 50 vol% from the outermost surface to a depth of 150 nm. At the same time, it can be seen that the difference in transmittance (.DELTA.%) Before and after the sand fall test can be made 2% or less. When the difference in transmittance is 2% or less, it can be said that the practical scratch resistance as a watch cover glass is good. Moreover, the transmittance | permeability difference before and behind a sand falling test can be further made into 1.5% or less by making SiNx occupancy rate into 40 vol% or more. If the transmittance difference is 1.5% or less, it can be said that practical scratch resistance is extremely good.
On the other hand, according to the results in Table 2, as shown in Comparative Examples 1, 3, 5, 7, 9 and 11, when the SiNx occupancy exceeds 50 vol%, the reflectance exceeds 0.4% and it is practically used It turns out that it will be a difficult level. Further, as shown in Comparative Examples 2, 4, 6, 8, 10 and 12, when the SiNx occupancy rate is less than 30 vol%, the surface hardness becomes very small and the transmittance difference also becomes large. That is, it becomes inferior to scratch resistance.

〔実施例17〜22〕
前記した実施例1、3、5、8、11、14について、反射防止層12の表面にさらに防汚層13を形成して同様に評価を行った。
(防汚層13の形成)
フッ素含有有機ケイ素化合物(信越化学工業製 KY−130(3))をフッ素系溶剤(信越化学工業製 FRシンナー)で希釈して固形分3質量%となるように調製したものを、スチールウール(日本スチールウール製 #0、線径0.025mm)0.5gが前もって充填された容器(上方が解放された円筒形の銅製容器、内径16mm×内高さ6mm)に、1.0g充填して、120℃で1時間乾燥した。次に、この銅製容器を、反射防止層が形成されたサファイアガラスとともに、真空蒸発装置内に載置し、装置内を0.01Paの圧力とした後、サファイアガラス表面に対して0.6Å/sの膜形成速度(蒸着速度)となるように銅製容器からフッ素含有有機ケイ素化合物を蒸発させた。加熱源としてはモリブデン製抵抗加熱ボートを用いた。
[Examples 17 to 22]
About the above-mentioned Example 1, 3, 5, 8, 11, 14, the antifouling layer 13 was further formed in the surface of the reflection prevention layer 12, and evaluation was performed similarly.
(Formation of antifouling layer 13)
A compound containing fluorine-containing organosilicon compound (KY-130 (3) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) diluted with a fluorine-based solvent (FR thinner manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) to give a solid content of 3 mass% is Japan Steel Wool # 0, wire diameter 0.025 mm) 1.0 g filled in a container (cylindrical copper container with an open top, inner diameter 16 mm x inner height 6 mm) pre-filled with 0.5 g And dried at 120 ° C. for 1 hour. Next, this copper container is placed in a vacuum evaporator together with sapphire glass on which an antireflective layer is formed, and the pressure in the apparatus is set to a pressure of 0.01 Pa. The fluorine-containing organosilicon compound was evaporated from the copper container so as to obtain a film formation rate (deposition rate) of s. A molybdenum resistive heating boat was used as a heating source.

(カバーガラス2の特性の評価)
上記の製造条件で製造されたカバーガラス2について、前記した各特性の評価を行った。その結果を表3に示す。
(Evaluation of characteristics of cover glass 2)
The characteristics described above were evaluated for the cover glass 2 manufactured under the above-described manufacturing conditions. The results are shown in Table 3.

Figure 2018180006
Figure 2018180006

〔評価結果〕
表3に示すように、実施例17〜22のカバーガラス2は、いずれも防汚層を有しているが、それらのベースとなるカバーガラス1(実施例1、3、5、8、11、14)と同様に、反射防止効果および耐擦傷性に優れていることがわかる。すなわち、防汚層を形成していても、SiNx占有率の効果が強く反映されていることがわかる。
〔Evaluation results〕
As shown in Table 3, the cover glasses 2 of Examples 17 to 22 all have an antifouling layer, but the cover glasses 1 serving as the bases thereof (Examples 1, 3, 5, 8, 11) And 14), it can be seen that the antireflective effect and the scratch resistance are excellent. That is, it can be seen that the effect of the SiNx occupancy ratio is strongly reflected even if the antifouling layer is formed.

1、2・・・カバーガラス(透光性部材、カバー部材)、11・・・基材、12・・・反射防止層、12A、12C・・・高屈折率層、12B、12D・・・低屈折率層、13・・・防汚層 1, 2 ... cover glass (light transmitting member, cover member), 11 ... substrate, 12 ... antireflective layer, 12A, 12C ... high refractive index layer, 12B, 12D ... Low refractive index layer, 13 ... antifouling layer

Claims (13)

透光性を有する基材を備えるカバー部材であって、
前記基材の表面の少なくとも一部には、
窒化ケイ素を含む層と、酸化ケイ素を含む層とを含む反射防止層としての積層を備え、
前記積層は、その最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が30〜50vol%であり、
前記積層の表面には、フッ素含有有機ケイ素化合物を含む防汚層を有し、
該カバー部材は、機械式時計に設けられる
ことを特徴とするカバー部材。
It is a cover member provided with the base material which has translucency,
At least a portion of the surface of the substrate
A laminate as an antireflective layer comprising a layer comprising silicon nitride and a layer comprising silicon oxide,
In the stack, the content of silicon nitride in the range from the outermost surface to a depth of 150 nm is 30 to 50 vol%,
The surface of the laminate has an antifouling layer containing a fluorine-containing organosilicon compound,
The cover member is provided on a mechanical watch.
請求項1に記載のカバー部材において、
該カバー部材は、シースルー構造の機械式時計に設けられる
ことを特徴とするカバー部材。
In the cover member according to claim 1,
The cover member is provided to a see-through mechanical watch.
請求項1または請求項2に記載のカバー部材において、
該カバー部材は、前記機械式時計の裏蓋に設けられる
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to claim 1 or 2
The cover member is provided on a back cover of the mechanical watch.
請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記積層は、その最表面から150nmの深さまでの範囲における窒化ケイ素の含有量が40〜50vol%である
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 3.
The cover is characterized in that the content of the silicon nitride in the range from the outermost surface to the depth of 150 nm is 40 to 50 vol%.
請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記防汚層の厚みは、0.001〜0.05μmである
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 4.
The thickness of the said antifouling layer is 0.001-0.05 micrometers. The cover member characterized by the above-mentioned.
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載のカバー部材において、
該カバー部材の表面硬度が、24000N/mm以上である
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 5.
The surface hardness of the cover member is 24000 N / mm 2 or more.
請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記積層は、前記窒化ケイ素を含む層と前記酸化ケイ素を含む層とを積層して、積層数が4層である
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 6.
The cover member is characterized in that the number of laminated layers is four by laminating the layer containing silicon nitride and the layer containing silicon oxide.
請求項1〜請求項7のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記基材がサファイアガラスである
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 7.
The cover member, wherein the base material is sapphire glass.
請求項1〜請求項8のいずれか一項に記載のカバー部材において、
該カバー部材の表面硬度が、30000N/mm以上である
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 8.
The surface hardness of the cover member is 30000 N / mm 2 or more.
請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記フッ素含有有機ケイ素化合物が、アルコキシシラン化合物である
ことを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 9.
The cover member, wherein the fluorine-containing organosilicon compound is an alkoxysilane compound.
請求項1〜請求項10のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記フッ素含有有機ケイ素化合物が、下記式(1)および(2)の少なくともいずれかで示されるパーフルオロエーテル化合物である
ことを特徴とするカバー部材。
Figure 2018180006

(式中、R はパーフルオロアルキル基を示す。Xは臭素、ヨウ素または水素を示す。Yは水素または低級アルキル基を示し、Zはフッ素またはトリフルオロメチル基を示す。Rは加水分解可能な基を示し、Rは水素または不活性な1価の炭化水素基を示す。a、b、c、d、eは0または1以上の整数で、且つa+b+c+d+eは少なくとも1以上であり、a、b、c、d、eで括られた各繰り返し単位の存在順序は、式中において限定されない。fは0、1または2である。gは1、2または3である。hは1以上の整数である。)
Figure 2018180006

(式中、R は式:「−(C2k)O−」で示される単位を含み、分岐を有しない直鎖状のパーフルオロポリアルキレンエーテル構造を有する2価の基を示す。なお、式:「−(C2k)O−」におけるkは1〜6の整数である。Rは炭素原子数1〜8の1価炭化水素基であり、Wは加水分解性基またはハロゲン原子を示す。pは0、1または2であり、nは1〜5の整数である。mおよびrは、2または3である。)
The cover member according to any one of claims 1 to 10.
The cover member wherein the fluorine-containing organic silicon compound is a perfluoroether compound represented by at least one of the following formulas (1) and (2).
Figure 2018180006

(Wherein R f 1 represents a perfluoroalkyl group, X represents bromine, iodine or hydrogen, Y represents hydrogen or a lower alkyl group, and Z represents a fluorine or trifluoromethyl group, R 1 represents water) R 2 represents hydrogen or an inactive monovalent hydrocarbon group, a, b, c, d and e each represent an integer of 0 or more, and a + b + c + d + e is at least 1 or more. The order in which each repeating unit enclosed by a, b, c, d and e is present is not limited in the formula, f is 0, 1 or 2, g is 1, 2 or 3. h is It is an integer of 1 or more.)
Figure 2018180006

(Wherein, R f 2 represents a divalent group having a linear perfluoropolyalkylene ether structure having no branch, containing a unit represented by the formula: “— (C k F 2 k ) O—” Note that k in the formula “— (C k F 2 k ) O—” is an integer of 1 to 6. R 3 is a monovalent hydrocarbon group having 1 to 8 carbon atoms, and W is hydrolyzable. Group represents a halogen atom, p is 0, 1 or 2, n is an integer of 1 to 5. m and r are 2 or 3.)
請求項1〜請求項11のいずれか一項に記載のカバー部材において、
前記積層は、当該カバー部材の内側の部分および外側の部分のうち、少なくとも外側の部分に形成されることを特徴とするカバー部材。
The cover member according to any one of claims 1 to 11.
The cover member is characterized in that the lamination is formed on at least an outer portion of an inner portion and an outer portion of the cover member.
請求項1〜請求項12のいずれか一項に記載のカバー部材を備える
ことを特徴とする機械式時計。
A mechanical timepiece comprising the cover member according to any one of claims 1 to 12.
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