JP2018165671A - パーティクル計数装置 - Google Patents

Abstract

【課題】算出時点の異なる複数の測定データにおけるデータの変化を容易に確認できるパーティクル計数装置を提供する。【解決手段】パーティクル計数装置において、演算部３１１は、受光部２７からの信号に基づいて、パーティクルの総個数と時間との関係、及び、各サイズのパーティクルの個数と時間との関係のそれぞれを測定データ３２１として算出する。表示処理部４１２は、表示画面において、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１との比較画面を表示する処理を行う。そのため、ユーザは、表示処理部４１２によって表示される比較画面を確認することにより、パーティクルの総個数と時間との関係、及び、各サイズのパーティクルの個数と時間との関係について、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１とを同時に確認できる。その結果、算出時点の異なる複数の測定データ３２１におけるデータの変化を容易に確認できる。【選択図】 図４

Description

本発明は、測定空間に存在するパーティクルを計数するためのパーティクル計数装置に関するものである。

例えば、エッチング装置、イオン注入装置、有機ＥＬ用成膜装置などの半導体製造装置には、製造プロセス中に発生するパーティクル（微細粒子）を測定するためのパーティクル計数装置が適用される場合がある（例えば、下記特許文献１参照）。パーティクル計数装置を用いて、数十ナノメートル程度の微細なパーティクルを測定することにより、パーティクルが最終製品の品質や性能、歩留まりなどに与える影響を観察することができる。

このようなパーティクル計数装置は、通常、パーティクルの個数や大きさをリアルタイムで測定している。そして、ユーザは、そのリアルタイムの測定結果に基づいて、生産品の品質の判定などを行っている。

実用新案登録第３２０４４８６号公報

上記した従来のパーティクル計数装置では、その装置を用いて半導体などを製造する場合に、生産品の品質にばらつきが生じることがあった。具体的には、上記した従来のパーティクル計数装置を用いる場合には、リアルタイムで製造環境（パーティクルの状態）を確認できる一方で、過去の製造環境（パーティクルの状態）に対して現在の製造環境（パーティクルの状態）がどの程度変化しているかを確認することはできなかった。そのため、過去の生産品を製造した際のパーティクルの状態と、現在のパーティクルの状態とが大きく異なるまま製造を行う可能性があり、その結果、生産品の品質にばらつきが生じる可能性があった。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、算出時点の異なる複数の測定データにおけるデータの変化を容易に確認できるパーティクル計数装置を提供することを目的とする。

（１）本発明に係るパーティクル計数装置は、測定空間に存在するパーティクルを計数するためのパーティクル計数装置である。前記パーティクル計数装置は、光源と、受光部と、演算部と、記憶部と、表示処理部とを備える。前記光源は、前記測定空間に測定光を照射する。前記受光部は、前記光源から照射された測定光が前記測定空間に存在するパーティクルで散乱することにより発生する散乱光を受光する。前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、前記測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係の少なくとも一方を測定データとして算出する。前記記憶部は、前記演算部により算出された測定データを蓄積する。前記表示処理部は、前記演算部により算出された最新の測定データと前記記憶部に蓄積されている過去の測定データとの比較画面を表示する処理を行う。

このような構成によれば、ユーザは、表示処理部によって表示される比較画面を確認することにより、測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係の少なくとも一方について、最新の測定データと過去の測定データとを同時に確認できる。
そのため、比較画面を確認することで、算出時点の異なる複数の測定データにおけるデータの変化を容易に確認できる。

（２）また、前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係を測定データとして算出してもよい。前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間におけるパーティクルの総個数の比較画面を表示する処理を行ってもよい。

このような構成によれば、ユーザは、表示処理部によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データと過去の測定データとについて、任意の時間におけるパーティクルの総個数を比較して、その測定データにおける変化を容易に確認できる。

（３）また、前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係を測定データとして算出してもよい。前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間間隔におけるパーティクルの総個数の増加数の比較画面を表示する処理を行ってもよい。

このような構成によれば、ユーザは、表示処理部によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データと過去の測定データとについて、任意の時間間隔におけるパーティクルの総個数の増加数を比較して、その測定データにおける変化を容易に確認できる。

（４）また、前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係を測定データとして算出してもよい。前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間における各サイズのパーティクルの個数の比較画面を表示する処理を行ってもよい。

このような構成によれば、ユーザは、表示処理部によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データと過去の測定データとについて、任意の時間における各サイズのパーティクルの個数を比較して、その測定データにおける変化を容易に確認できる。

（５）また、前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係を測定データとして算出してもよい。前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間間隔における各サイズのパーティクルの個数の増加数の比較画面を表示する処理を行ってもよい。

このような構成によれば、ユーザは、表示処理部によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データと過去の測定データとについて、任意の時間間隔における各サイズのパーティクルの個数の増加数を比較して、その測定データにおける変化を容易に確認できる。

（６）また、前記パーティクル計数装置は、比較処理部をさらに備えてもよい。前記比較処理部は、前記最新の測定データから得られる数値、又は、前記最新の測定データと前記過去の測定データから得られる数値を閾値と比較する。前記表示処理部は、前記比較処理部による比較結果を表示する処理を行ってもよい。

このような構成によれば、ユーザは、表示処理部による比較結果の表示を確認することで、最新の測定データから得られる数値、又は、最新の測定データと過去の測定データから得られる数値が、閾値以上であるか否かを容易に確認できる。

本発明によれば、測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係の少なくとも一方について、最新の測定データと過去の測定データとを同時に確認できる。そのため、算出時点の異なる複数の測定データにおけるデータの変化を容易に確認できる。

本発明の一実施形態に係るパーティクル計数装置の構成例を示した概略断面図である。 図１における測定ヘッドのＡ−Ａ断面図である。 カバーを取り外した状態の測定ヘッド本体を示した平面図である。 パーソナルコンピュータの構成例を示したブロック図である。 表示画面の表示態様の一例であって、標準画面の表示例を示した概略図である。 表示画面の表示態様の一例であって、設定画面において第１設定内容で設定が行われる際の表示例を示した概略図である。 表示画面の表示態様の一例であって、第１設定内容で測定データを比較する際の比較画面の表示例を示した概略図である。 表示画面の表示態様の一例であって、設定画面において第２設定内容で設定が行われる際の表示例を示した概略図である。 表示画面の表示態様の一例であって、第２設定内容で測定データを比較する際の比較画面の表示例を示した概略図である。

１．パーティクル計数装置の構成
図１は、本発明の一実施形態に係るパーティクル計数装置１の構成例を示した概略断面図である。このパーティクル計数装置１は、測定ヘッド２、制御ユニット３及びパーソナルコンピュータ（ＰＣ）４などを備えている。

パーティクル計数装置１は、例えば、エッチング装置、イオン注入装置、有機ＥＬ用成膜装置などの半導体製造装置に適用され、半導体製造装置のプロセスチャンバ５に測定ヘッド２が取り付けられる。プロセスチャンバ５は、中空状の筐体であり、内部で半導体製造プロセスなどの製造プロセスが行われる。製造プロセス中は、プロセスチャンバ５内が、例えば、真空状態又は減圧状態とされる。

本実施形態では、プロセスチャンバ５内が測定対象領域Ｆであり、この測定対象領域Ｆに測定ヘッド２が設置されることにより、製造プロセス中に測定対象領域Ｆで発生する数十ナノメートル程度の粒子径からなるパーティクル（微細粒子）を測定ヘッド２で検出することができる。測定ヘッド２の内部には、測定対象領域Ｆに存在するパーティクルが流入可能な測定空間Ｓが形成されている。

測定ヘッド２は、測定ヘッド本体２１の端部にカバー２２が被せられることにより構成されている。測定ヘッド本体２１は、測定光としてのレーザ光を照射するレーザモジュール２３と、測定ヘッド本体２１をプロセスチャンバ５に密閉状態で取り付けるためのフランジ状の取付部２４と、プロセスチャンバ５内に挿入される挿入部２５とを備えている。カバー２２は、測定ヘッド本体２１における挿入部２５に被せられており、当該挿入部２５とともにプロセスチャンバ５内に配置される。

２．測定ヘッドの具体的構成
図２は、図１における測定ヘッド２のＡ−Ａ断面図である。図３は、カバー２２を取り外した状態の測定ヘッド本体２１を示した平面図である。以下では、図１〜図３を参照して、測定ヘッド２の具体的構成について説明する。

レーザモジュール２３には、光源２６が設けられている。光源２６は、測定光としてのレーザ光を光軸Ｌに沿って一直線上に照射する（図２参照）。測定ヘッド本体２１は、光軸Ｌに沿って中空状に形成されており、レーザモジュール２３の光源２６から照射された測定光が、測定ヘッド本体２１内を通って測定空間Ｓに到達する。

測定ヘッド本体２１の挿入部２５は、互いに対向する１対の保持板２５１を有している。１対の保持板２５１は、光軸Ｌに対して平行に延びており、これらの１対の保持板２５１間に測定空間Ｓが形成されている。１対の保持板２５１には、それぞれ受光部２７が保持されている。すなわち、１対の受光部２７が、光源２６から照射される測定光の光路を挟んで設けられている。各受光部２７は、例えば、光電センサが実装された基板を備えており、それぞれ測定空間Ｓ側を向いた受光面２７１を有している。

各保持板２５１には、保持している受光部２７の受光面２７１（光電センサの受光面）に対向する位置に、開口２５２が形成されている（図２参照）。これにより、各受光部２７の受光面２７１は、各保持板２５１の開口２５２を介して測定空間Ｓに臨んでいる。各受光部２７の受光面２７１は、測定空間Ｓを挟んで互いに対向した状態となっている。各受光部２７の受光面２７１は、光源２６から照射される測定光の光軸Ｌ上にはなく、測定光が受光面２７１に直接入射しないようになっている。なお、各保持板２５１の開口２５２は、各保持板２５１に接着固定された保護ガラス２８により閉塞されている。

カバー２２は、例えば筒状に形成されており、内部に測定ヘッド本体の挿入部２５が挿入される。このカバー２２の外周面の一部に開口２２１が形成されることにより、当該開口２２１を介して、測定対象領域Ｆとカバー２２の内部に形成された測定空間Ｓとが連通している。

開口２２１は、例えば互いに対向するように１対設けられている。より具体的には、１対の開口２２１は、１対の受光部２７が並ぶ方向に対して直交する方向に並んでいる。これにより、測定対象領域Ｆに存在するパーティクルが、一方の開口２２１から測定空間Ｓに流入し、１対の受光部２７間の測定空間Ｓを通過して、他方の開口２２１から流出することができるようになっている。測定対象領域Ｆに存在するパーティクルは、強制的に測定空間Ｓに導かれてもよいし、自然に流入してもよい。

このパーティクル計数装置１による測定中は、光源２６から測定空間Ｓに測定光が照射されることにより、測定空間Ｓに存在するパーティクルで測定光が散乱する。このとき発生する散乱光が、光軸Ｌ方向とは異なる方向（光軸Ｌに対して交差する方向）に進み、各保持板２５１の開口２２１を介して各受光部２７の受光面２７１で受光される。測定空間Ｓから各受光部２７の受光面２７１に入射する散乱光の光量は、測定空間Ｓに存在するパーティクルの粒子径やパーティクルの光軸上の通過位置に応じて変動するため、各受光部２７により受光される散乱光の受光強度に基づいて、測定空間Ｓ内におけるパーティクルの数を測定することができる。

制御ユニット３は、光源２６から照射される測定光の光量を制御したり、測定ヘッド２の周囲環境（温度など）を監視したりすることができる。制御ユニット３には、パーソナルコンピュータ４が接続されており、このパーソナルコンピュータ４により測定ヘッド２や制御ユニット３の状態を監視することができる。

３．制御ユニット及びパーソナルコンピュータの具体的構成
図４は、制御ユニット３及びパーソナルコンピュータ４の構成例を示したブロック図である。制御ユニット３は、制御部３１及び記憶部３２などを備えている。制御ユニット３の制御部３１は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含む構成であり、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、演算部３１１、通信部３１２及び比較処理部３１３などとして機能する。

記憶部３２は、例えば、ＲＡＭ（Random Access Memory）又はハードディスクなどにより構成され、制御部３１によって処理されたデータを記憶している。本実施形態では、パーティクル計数装置１で測定されたデータに基づく複数の測定データ３２１が記憶部３２に記憶（蓄積）されている。
パーソナルコンピュータ４は、制御部４１及び表示部４２の他、図示しない記憶部や操作部を備えている。

パーソナルコンピュータ４の制御部４１は、例えば、ＣＰＵを含む構成であり、ＣＰＵがプログラムを実行することにより、通信部４１１及び表示処理部４１２などとして機能する。表示部４２は、例えば、液晶表示器などにより構成されており、パーティクル計数装置１によるパーティクルの測定結果などの各種情報が表示される。

制御部３１において、演算部３１１は、受光部２７により受光される散乱光の受光強度に基づいて、測定空間Ｓ内におけるパーティクルを測定する。具体的には、演算部３１１は、受光部２７により受光される散乱光の受光強度に基づいて、測定空間Ｓ内におけるパーティクルの総個数と時間との関係、及び、各サイズのパーティクルの個数と時間との関係のそれぞれを測定データとして算出する。演算部３１１で算出されたデータは、測定データ３２１として、記憶部３２に格納される。なお、パーティクルの総個数とは、あらゆるサイズのパーティクルの個数の総和であり、各サイズのパーティクルの個数とは、複数のサイズ範囲のそれぞれにおいて、そのサイズ範囲に含まれるサイズのパーティクルの個数である。

演算部３１１による算出結果（測定結果）、及び、記憶部３２に記憶されている測定データ３２１は、制御ユニット３及びパーソナルコンピュータ４の各通信部３１２，４１１を介してパーソナルコンピュータ４の制御部４１に入力される。そして、表示処理部４１２は、制御部４１に入力されたデータに基づいて、測定空間Ｓ内でのパーティクルに関する情報を表示部４２に表示させる。詳しくは後述するが、このとき、表示処理部４１２は、リアルタイムで測定されるパーティクルに関する情報を表示させるとともに、必要に応じて（ユーザからの入力操作に基づいて）、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較して表示する。

比較処理部３１３は、記憶部３２に記憶されている最新の測定データ３２１及び過去の測定データ３２１から得られる数値を、所定の閾値と比較する。比較処理部３１３による比較結果（後述する）は、制御ユニット３及びパーソナルコンピュータ４の各通信部３１２，４１１を介してパーソナルコンピュータ４の制御部４１に入力される。そして、表示処理部４１２は、制御部４１に入力されたデータに基づいて、その比較結果を表示部４２に表示させる。

４．制御動作及び表示部の表示態様
（１）リアルタイムでの表示部の表示態様
半導体製造装置における製造が開始されて、パーティクル計数装置１による測定が開始されると、受光部２７から演算部３１１に受光強度に基づく信号が入力される。
演算部３１１は、受光部２７からの信号に基づいて、経過時間に対応するパーティクルの総個数（パーティクルの総個数と時間との関係）を算出し、そのデータを測定データ３２１として記憶部３２に格納する。また、演算部３１１は、受光部２７からの信号に基づいて、複数のサイズ範囲のそれぞれにおいて、そのサイズ範囲に含まれるサイズのパーティクルの個数（各サイズのパーティクルの個数）を算出し、そのデータを測定データ３２１として記憶部３２に格納する。例えば、演算部３１１は、その直径が０〜１９０ｎｍの範囲に含まれるサイズのパーティクルの個数、その直径が１９１〜３００ｎｍに含まれるサイズのパーティクルの個数、及び、その直径が３０１〜５００ｎｍに含まれるサイズのパーティクルの個数のそれぞれを算出し、そのデータを測定データ３２１として記憶部３２に格納する。

また、演算部３１１で算出されるデータは、制御ユニット３及びパーソナルコンピュータ４の各通信部３１２，４１１を介してパーソナルコンピュータ４の制御部４１に入力される。そして、表示処理部４１２によって、制御部４１に入力されたデータに基づいて、パーティクルに関する情報がリアルタイムで表示部４２に表示される。
図５は、表示画面４２１の表示態様の一例であって、標準画面の表示例を示した概略図である。

表示部４２には、表示画面４２１が含まれる。パーティクル計数装置１による測定中においては、通常、表示処理部４１２によって、図５に示す標準画面が表示画面４２１に表示される。

標準画面は、パーティクルに関する情報をリアルタイムで表示するための画面である。標準画面の状態の表示画面４２１では、サイズ別表示領域４２２、総個数表示領域４２３、設定ボタン４２４及び比較ボタン４２５などが表示される。

サイズ別表示領域４２２には、演算部３１１で算出される各サイズのパーティクルの個数がリアルタイムで表示される。サイズ別表示領域４２２では、横軸がパーティクルのサイズを示し、縦軸がパーティクルの個数を示している。この例では、サイズ別表示領域４２２では、直径が０〜１９０ｎｍの範囲に含まれるサイズのパーティクルの個数がＡとして、直径が１９１〜３００ｎｍに含まれるサイズのパーティクルの個数がＢとして、直径が３０１〜５００ｎｍに含まれるサイズのパーティクルの個数がＣとして、それぞれ棒グラフで表示される。

なお、サイズ別表示領域４２２では、各サイズのパーティクルの個数がリアルタイムで表示されるため、グラフの形状（高さ）、及び、パーティクルの個数を示す数値（グラフの縦軸の数値）は、リアルタイムで変化する。

総個数表示領域４２３には、演算部３１１で算出される経過時間に対応するパーティクルの総個数（パーティクルの総個数と時間との関係）がリアルタイムで表示される。総個数表示領域４２３では、横軸が経過時間を示し、縦軸がパーティクルの総個数を示している。この例では、総個数表示領域４２３では、パーティクルの総個数と経過時間との関係がグラフで表示される。

なお、総個数表示領域４２３では、パーティクルの総個数がリアルタイムで表示されるため、グラフの形状、及び、パーティクルの総個数を示す数値（グラフの縦軸の数値）は、リアルタイムで変化する。

設定ボタン４２４は、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較する際の設定を行うためのボタンであって、ユーザによる入力操作（操作部の操作）によって選択される。

比較ボタン４２５は、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較して表示するためのボタンであって、ユーザによる入力操作（操作部の操作）によって選択される。

このように、パーティクル計数装置１による測定中は、サイズ別表示領域４２２において、各サイズのパーティクルの個数がリアルタイムで表示され、総個数表示領域４２３において、経過時間に対応するパーティクルの総個数がリアルタイムで表示される。そして、ユーザは、これらの表示内容を確認することにより、パーティクル計数装置１においてリアルタイムで測定されるパーティクルの総個数、及び、各サイズのパーティクルの個数を確認することができる。また、これらのリアルタイムで表示されるデータの内容は、測定データ３２１として記憶部３２に格納される。

（２）設定時における表示部の表示態様
パーティクル計数装置１では、表示画面４２１において、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較して表示することが可能である。
図６は、表示画面４２１の表示態様の一例であって、設定画面において第１設定内容で設定が行われる際の表示例を示した概略図である。

ユーザは、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較する場合には、図５に示す標準画面において、設定ボタン４２４を選択する。設定ボタン４２４が選択されると、表示処理部４１２は、図６に示す設定画面を表示画面４２１に表示させる。

設定画面は、データを比較する際の比較条件を設定するための画面であって、第１コマンド領域４２６、第２コマンド領域４２７、第３コマンド領域４２８及び完了ボタン４２９などが表示される。

第１コマンド領域４２６には、複数の比較対象データ（比較データ）が表示される。比較対象データは、記憶部３２に記憶される過去の測定データ３２１である。換言すれば、比較対象データは、記憶部３２に記憶される測定データ３２１のうち、最新の測定データ３２１以外のデータである。この例では、比較対象データとして、「データα」、「データβ」及び「データγ」が表示されている。そして、ユーザは、これらのデータのうちの１つのデータを選択すること可能である。

第２コマンド領域４２７には、データを比較する際の時間に関する情報などが表示される。具体的には、第２コマンド領域４２７では、設定条件として、「比較対象時間」、「比較対象時間間隔」、「増加率」及び「Ｗａｒｎｉｎｇ表示」が表示されている。

ユーザは、「比較対象時間」を選択した場合には、さらに、所望する時間の数値を入力することが可能である。この「比較対象時間」で指定される時間が、データを比較する際の基準の時間となる。

また、ユーザは、「比較対象時間間隔」を選択した場合には、さらに、所望する比較対象時間間隔の数値を入力することが可能である。この「比較対象時間間隔」で指定される時間間隔が、データを比較する際の基準の時間間隔となる。

また、ユーザは、「比較対象時間間隔」を選択した場合に、「増加率」を選択することが可能である。「増加率」は、「比較対象時間間隔」で指定された時間間隔において、過去の測定データ３２１で示されるパーティクルの総個数の増加数に対する、最新の測定データ３２１で示されるパーティクルの総個数の増加数の割合である。

また、ユーザは、「増加率」を選択した場合に、「Ｗａｒｎｉｎｇ表示」を選択することが可能である。「Ｗａｒｎｉｎｇ表示」は、「増加率」が所定の閾値以上である場合に、その旨を報知するための表示である。なお、この例では、１５０％を閾値としている。また、後述するように、この閾値との比較は、比較処理部３１３によって行われる。

第３コマンド領域４２８には、比較対象となるパーティクルに関する情報などが表示される。具体的には、第３コマンド領域４２８には、「パーティクル総個数」、「サイズ毎のパーティクルの個数」、「増加数（パーティクルの総個数）」及び「増加数（サイズ毎のパーティクルの個数）」が表示されている。ユーザは、これらの情報をそれぞれ選択することが可能である。

「パーティクル総個数」は、所定時間（「比較対象時間」で指定される時間）におけるパーティクルの総個数の情報である。「パーティクル総個数」は、上記した第２コマンド領域４２７における「比較対象時間」が選択されている場合に、選択することが可能である。

「サイズ毎のパーティクルの個数」は、所定時間（「比較対象時間」で指定される時間）における各サイズのパーティクルの個数の情報である。「サイズ毎のパーティクルの個数」は、上記した第２コマンド領域４２７における「比較対象時間」が選択されている場合に、選択することが可能である。

「増加数（パーティクルの総個数）」は、所定の時間間隔（「比較対象時間間隔」で指定される時間間隔）におけるパーティクルの総個数の増加数の情報である。「増加数（パーティクルの総個数）」は、上記した第２コマンド領域４２７における「比較対象時間間隔」が選択されている場合に、選択することが可能である。

「増加数（サイズ毎のパーティクルの個数）」は、所定の時間間隔（「比較対象時間間隔」で指定される時間間隔）におけるサイズ毎のパーティクルの個数の増加数の情報である。「増加数（サイズ毎のパーティクルの個数）」は、上記した第２コマンド領域４２７における「比較対象時間間隔」が選択されている場合に、選択することが可能である。
完了ボタン４２９は、設定を完了させるためのボタンであって、ユーザの入力操作（操作部の操作）によって選択される。

この例では、ユーザの入力操作によって、第１コマンド領域４２６において、「データα」が選択されている。また、第２コマンド領域４２７において、「比較対象時間」、「比較対象時間間隔」、「増加率」及び「Ｗａｒｎｉｎｇ表示」が選択されている。さらに、「比較対象時間」として、「１０秒」が指定され、「比較対象時間間隔」として、「５秒〜１７秒」が指定されている。また、第３コマンド領域４２８において、「パーティクル総個数」及び「増加数（パーティクルの総個数）」が選択されている。なお、この設定内容が、第１設定内容である。

このような設定情報を選択した後、ユーザは、完了ボタン４２９を選択して、比較条件の設定を完了させる。完了ボタン４２９が選択されると、表示処理部４１２は、図５に示す標準画面を表示画面４２１に表示させる。

（３）比較時における表示部の表示態様
図７は、表示画面の表示態様の一例であって、上記した第１設定内容で測定データを比較する際の比較画面の表示例を示した概略図である。
ユーザは、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較する場合には、図５に示す表示画面４２１において、比較ボタン４２５を選択する。比較ボタン４２５が選択されると、表示処理部４１２は、図７に示す比較画面を表示画面４２１に表示させる。

比較画面は、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較した結果を表示するための画面であって、入力コマンド領域４３０及び結果領域４３１などが表示される。

入力コマンド領域４３０には、上記した設定内容（第１設定内容）が表示される。すなわち、ユーザは、入力コマンド領域４３０を確認することで、設定されている比較条件を確認することができる。

結果領域４３１には、上記した設定内容（第１設定内容）に基づいて、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較した結果が表示される。この例では、結果領域４３１には、「パーティクル総個数」として、過去の測定データ３２１（データα）における１０秒の時点でのパーティクルの総個数、及び、最新の測定データ３２１（今回データ）における１０秒の時点でのパーティクルの総個数が表示される。

また、結果領域４３１には、「増加数（パーティクルの総個数）」として、過去の測定データ３２１（データα）における５秒〜１７秒の時間間隔でのパーティクルの総個数の増加数、及び、最新の測定データ３２１（今回データ）における５秒〜１７秒の時間間隔でのパーティクルの総個数の増加数が表示される。

また、結果領域４３１には、「増加率」として、「増加数（パーティクルの総個数）」で示される過去の測定データ３２１（データα）の増加数に対する、最新の測定データ３２１（今回データ）の増加数を割合が表示される。

また、結果領域４３１には、「増加率」が所定の閾値以上である場合に、「Ｗａｒｎｉｎｇ」が表示される。具体的には、比較処理部３１３（図４参照）は、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１から得られる数値である「増加率」で表示される値が、閾値である１５０％以上であるか否かを判定する。そして、表示処理部４１２は、比較処理部３１３によって「増加率」の値が閾値以上と判定された場合に、結果領域４３１において、比較結果として「Ｗａｒｎｉｎｇ」を表示させる。この例では、「増加率」で表示される値が、１５０％以上であるため、結果領域４３１において「Ｗａｒｎｉｎｇ」が表示されている。

ユーザは、これらの比較結果を確認することにより、過去の生産品の製造時点でのパーティクルの状態と、最新の生産品の製造時点でのパーティクルの状態とを比較することができ、パーティクルの状態が大きく変化している場合などには、生産を中止することもできる。
ユーザは、このような比較画面を確認した後、戻るボタン４３２を選択して、比較画面の閲覧を終了させる。戻るボタン４３２が選択されると、表示処理部４１２は、図５に示す標準画面を表示画面４２１に表示させる。

なお、この例では、設定ボタン４２４が選択されることで設定画面が表示され、比較ボタン４２５が選択されることで比較画面が表示されるが、標準画面の表示画面４２１において設定ボタン４２４が表示されておらず、比較ボタン４２５が選択されることで、最初に設定画面が表示され、その後に比較画面が表示される画面構成であってもよい。

図８は、表示画面４２１の表示態様の一例であって、設定画面において第２設定内容で設定が行われる際の表示例を示した概略図である。
また、ユーザは、図８に示すように、設定画面において上記した設定内容（第１設定内容）とは異なる設定を行うこともできる。

図８では、第１コマンド領域４２６において、「データβ」が選択されている。また、第２コマンド領域４２７において、「比較対象時間」及び「比較対象時間間隔」が選択されている。さらに、「比較対象時間」として、「１０秒」が指定され、「比較対象時間間隔」として、「５秒〜１７秒」が指定されている。また、第３コマンド領域４２８において、「サイズ毎のパーティクルの個数」及び「増加数（サイズ毎のパーティクルの個数）」が選択されている。なお、この設定内容が、第２設定内容である。
このような設定情報が選択された後、完了ボタン４２９を選択されると、比較条件の設定が完了される。

このような比較条件が設定された状態で、ユーザによって、図５に示す表示画面４２１において、比較ボタン４２５が選択されると、表示処理部４１２は、図９に示す比較画面を表示画面４２１に表示させる。
図９は、表示画面４２１の表示態様の一例であって、第２設定内容で測定データを比較する際の比較画面の表示例を示した概略図である。
図９では、入力コマンド領域４３０において、上記した設定内容（第２設定内容）が表示される。

結果領域４３１には、上記した設定内容（第２設定内容）に基づいて、最新の測定データ３２１と、過去の測定データ３２１とを比較した結果が表示される。この例では、結果領域４３１には、「サイズ毎のパーティクルの個数」として、過去の測定データ３２１（データα）における１０秒の時点での各サイズのパーティクルの個数、及び、最新の測定データ３２１（今回データ）における１０秒の時点での各サイズのパーティクルの個数が表示される。

また、結果領域４３１には、「増加数（サイズ毎のパーティクルの個数）」として、過去の測定データ３２１（データα）における５秒〜１７秒の時間間隔でのパーティクルの個数の増加数、及び、最新の測定データ３２１（今回データ）における５秒〜１７秒の時間間隔でのパーティクルの個数の増加数が表示される。

ユーザは、このような比較画面を確認した後、戻るボタン４３２を選択して、比較画面の閲覧を終了させる。戻るボタン４３２が選択されると、表示処理部４１２は、図５に示す標準画面を表示画面４２１に表示させる。

５．作用効果
（１）本実施形態では、パーティクル計数装置１において、演算部３１１は、受光部２７により受光される散乱光の受光強度に基づいて、測定空間Ｓに存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、測定空間Ｓに存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係のそれぞれを測定データ３２１として算出する。表示処理部４１２は、図７及び図９に示すように、表示画面４２１において、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１との比較画面を表示する処理を行う。

そのため、ユーザは、表示処理部４１２によって表示される比較画面を確認することにより、測定空間Ｓに存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、測定空間Ｓに存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係について、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１とを同時に確認できる。
そのため、比較画面を確認することで、算出時点の異なる複数の測定データ３２１におけるデータの変化を容易に確認できる。

（２）また、本実施形態では、表示処理部４１２は、図７に示すように、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１との任意の時間におけるパーティクルの総個数の比較画面を表示する処理を行う。

そのため、ユーザは、表示処理部４１２によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１とについて、任意の時間におけるパーティクルの総個数を比較して、測定データ３２１における変化を容易に確認できる。

（３）また、本実施形態では、表示処理部４１２は、図７に示すように、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１との任意の時間間隔におけるパーティクルの総個数の増加数の比較画面を表示する処理を行う。

そのため、ユーザは、表示処理部４１２によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１とについて、任意の時間間隔におけるパーティクルの総個数の増加数を比較して、測定データ３２１における変化を容易に確認できる。

（４）また、本実施形態では、表示処理部４１２は、図９に示すように、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１との任意の時間における各サイズのパーティクルの個数の比較画面を表示する処理を行う。

そのため、ユーザは、表示処理部４１２によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１とについて、任意の時間における各サイズのパーティクルの個数を比較して、測定データ３２１における変化を容易に確認できる。

（５）また、本実施形態では、表示処理部４１２は、図９に示すように、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１との任意の時間間隔における各サイズのパーティクルの個数の増加数の比較画面を表示する処理を行う。

そのため、ユーザは、表示処理部４１２によって表示される比較画面を確認することにより、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１とについて、任意の時間間隔における各サイズのパーティクルの個数の増加数を比較して、測定データ３２１における変化を容易に確認できる。

（６）また、本実施形態では、比較処理部３１３は、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１から得られる数値である「増加率」（図７参照）で表示される値が、所定の閾値以上であるか否かを判定する。表示処理部４１２は、比較処理部によって「増加率」の値が閾値以上と判定された場合に、結果領域４３１において、比較結果として「Ｗａｒｎｉｎｇ」を表示させる。

そのため、ユーザは、表示処理部４１２による比較結果の表示（Ｗａｒｎｉｎｇの表示）を確認することで、「増加率」の値が閾値以上か否かを容易に確認できる。

６．変形例
以上の実施形態では、１対の受光部２７により散乱光を受光するような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、受光部２７は、１つだけ設けられた構成であってもよいし、３つ以上設けられた構成であってもよい。

また、以上の実施形態では、パーティクル計数装置１が半導体製造装置に適用される場合について説明したが、本発明に係るパーティクル計数装置１は、半導体製造装置に限らず、パーティクルが発生しうる測定対象領域であれば、あらゆる測定対象領域に設置することが可能である。

また、以上の実施形態では、演算部３１１は、測定空間Ｓに存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、測定空間Ｓに存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係のそれぞれを算出するとして説明した。しかし、演算部３１１は、これらのうち、少なくとも一方を算出すればよい。この場合には、算出されたデータが測定データ３２１として記憶部３２に格納される。

また、以上の実施形態では、比較処理部３１３は、最新の測定データ３２１と過去の測定データ３２１から得られる数値である「増加率」で表示される値が、所定の閾値以上であるか否かを判定するとして説明した。しかし、比較処理部３１３は、最新の測定データ３２１から得られる数値（例えば、パーティクル総個数又はサイズ毎のパーティクルの個数）が、所定の閾値以上であるか否かを判定してもよい。この場合には、表示処理部４１２は、比較処理部３１３による比較結果を表示することが好ましい。

１ パーティクル計数装置
２６ 光源
２７ 受光部
３１ 制御部
３２ 記憶部
３１１ 演算部
３１３ 比較処理部
３２１ 測定データ
４１２ 表示処理部

Claims (6)

1. 測定空間に存在するパーティクルを計数するためのパーティクル計数装置であって、
   前記測定空間に測定光を照射する光源と、
   前記光源から照射された測定光が前記測定空間に存在するパーティクルで散乱することにより発生する散乱光を受光する受光部と、
   前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係、及び、前記測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係の少なくとも一方を測定データとして算出する演算部と、
   前記演算部により算出された測定データを蓄積する記憶部と、
   前記演算部により算出された最新の測定データと前記記憶部に蓄積されている過去の測定データとの比較画面を表示する処理を行う表示処理部とを備えることを特徴とするパーティクル計数装置。
2. 前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係を測定データとして算出し、
   前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間におけるパーティクルの総個数の比較画面を表示する処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のパーティクル計数装置。
3. 前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在するパーティクルの総個数と時間との関係を測定データとして算出し、
   前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間間隔におけるパーティクルの総個数の増加数の比較画面を表示する処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のパーティクル計数装置。
4. 前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係を測定データとして算出し、
   前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間における各サイズのパーティクルの個数の比較画面を表示する処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のパーティクル計数装置。
5. 前記演算部は、前記受光部により受光される散乱光の受光強度に基づいて、前記測定空間に存在する各サイズのパーティクルの個数と時間との関係を測定データとして算出し、
   前記表示処理部は、前記最新の測定データと前記過去の測定データとの任意の時間間隔における各サイズのパーティクルの個数の増加数の比較画面を表示する処理を行うことを特徴とする請求項１に記載のパーティクル計数装置。
6. 前記最新の測定データから得られる数値、又は、前記最新の測定データと前記過去の測定データから得られる数値を閾値と比較する比較処理部をさらに備え、
   前記表示処理部は、前記比較処理部による比較結果を表示する処理を行うことを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のパーティクル計数装置。

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