JP2018150573A - 金属弾性素子およびそれを用いたダイヤフラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の金属弾性素子は、γ相とα相を有する二相ステンレス鋼からなり、前記γ相が面積比率で40%以下であり、二相組織がマーブル状の金属組織であることを特徴とする。本発明において、厚さ方向と平行に<111>γと<110>αが優先配向した繊維集合組織を有することが好ましい。
【選択図】図1
Description
そのため本発明者らは、当該弾性素子の品質を向上するには、耐食性の向上が必須と考え、素材として耐食性が優れる二相ステンレス鋼を適用することで金属弾性素子の耐食性の課題を解決してきている。(特許文献1、2参照)
すなわち、センサー用金属弾性素子の課題解決のシナリオとして、「材料の耐力あるいは強度を高めるならば、弾性変形能が向上して0点への復元性が改善する。」ということが材料科学の知見から導かれる。しかし、これまでのところ上述の問題は解決に至っておらず、マクロな素材強度と金属弾性素子の復元性とに明瞭な関係性が見出されていないのが実情である。
(1)圧力負荷時の金属弾性素子に発生する最大応力のシミュレーション値に対し、十分な耐力を有する二相ステンレス鋼を素材とした金属弾性素子を用いたとしても、当該金属弾性素子は期待された復元性を示さない。
(2)金属弾性素子において、材料強度の偏差は引張試験機の精度と同等レベルで再現性が認められるが、材料強度の増大に伴い、復元性の偏差が大きくなる傾向にある。
本発明において、耐力に対し52〜80%の試験荷重を負荷した後、除荷後の残留変位が1.3μm以下とされたことが好ましい。
本発明において、前記二相ステンレス鋼が、Cr:24〜26質量%、Mo:2.5〜3.5質量%、Ni:5.5〜7.5質量%、C≦0.03質量%、N:0.08〜0.3質量%残部Feおよび不可避不純物の組成を有することが好ましい。
本発明のダイヤフラムは、先のいずれかに記載の金属弾性素子からなる。
本実施形態のダイヤフラム1は、中央部が上部側へ膨出された曲率半径を有する部分球殻形状(ドーム形状)のドーム部2と、このドーム部2の周縁に境界部3を介し連続的に形成された鍔部4を備えてなる構造を1つの形態として採用できる。この形態のダイヤフラム1は、図示略のケーシング等に収容されて配管などに取り付けられ、配管の内部を流れる流体の圧力を受けて変形し、流体圧の計測などに使用される。このようなダイヤフラムを圧力センサーに適用した一例を図2に示す。
ダイヤフラムの適用例はこれらに限らず種々の形態を考えられるが、いずれにおいてもこれらのダイヤフラムは後に詳述する二相ステンレス鋼からなり、高強度化を達成でき、耐食性に優れ、平滑な表面状態(鏡面)を得ることができる特徴を有している。
なお、本実施形態において説明する成分含有量の範囲について、特に注釈しない限りは上限と下限を含むものとする。よって、Cr:24〜26質量%は、Crを24質量%以上、26質量%以下含有することを意味する。
Cr(クロム):Crは大気腐食からの保護に必要な安定した不動態皮膜を形成するために必要であり、二相ステンレス鋼として20質量%以上が必要であるが、本実施形態のダイヤフラム1において必要な耐食性と強度などを達成するためには24〜26質量%程度必要である。
Mo(モリブデン):MoはCrが二相ステンレス鋼に耐孔食性を付与することを補助する。上述の範囲のCrを含有する二相ステンレス鋼に対しMoを2.5〜3.5質量%程度含有させることで孔食や隙間腐食への耐性をCrのみ含有する場合よりも向上させることができる。
C(炭素):炭素は脆さの原因となるカーバイドの生成を抑制するため低い含有量であることが好ましい。このため、C含有量を0.03質量%以下とする。また、CはCrと結合した状態で組織内に存在すると粒界から腐食される原因となるため、C量は低いことが好ましい。
前記二相ステンレス鋼には、他の添加元素として、Si≦1.0質量%、Mn≦2.0質量%が含まれていても良い。また、その他の不可避不純物は0.5質量%程度含んでいても良い。不可避不純物として、P、S、Alなどを例示することができる。
本実施形態の目的を達成するために、冷間加工、例えば、冷間スウェージ加工により、減面率50%以上、あるいは、減面率80%以上の加工を施し、その後、必要に応じて焼鈍したものを用いることができる。
このため、熱処理温度は300〜500℃の範囲が好ましく、350〜500℃の範囲がより好ましい。上述の時効熱処理が有効に作用することで、1500MPa以上の二相ステンレス鋼となる。
マーブル状組織であって厚さ方向に平行に<111>γ+<110>αの繊維集合組織が配向している二相ステンレス鋼からなるダイヤフラム1であるならば、上述の優れた耐力と優れた耐食性を示すと同時に、耐力より低い低応力範囲で発生する可能性のあるγ相内の微小なすべり変形を抑制できる。
このことから、ダイヤフラム1において加圧後の残留変位を小さくすることができ、バラツキの少ないダイヤフラム1を提供できる。
なお、上述のマーブル状組織を有する二相ステンレス鋼であるならば、例えば、得られる耐力範囲1400〜1750MPaとして、耐力に対し52〜80%の試験荷重を負荷した後、除荷後の残留変位を1.3μm以下とすることができる。試験荷重については、前述の範囲内であっても、耐力1400MPaの二相ステンレス鋼であれば、65〜80%の範囲が望ましく、耐力1500MPaの二相ステンレス鋼であれば、61〜74%の範囲が望ましく、耐力1750MPaの二相ステンレス鋼であれば、52〜64%の範囲が望ましい。即ち、マーブル状組織を有する二相ステンレス鋼に対する試験荷重として、耐力が1400〜1750MPaの二相ステンレス鋼の場合に52〜80%の範囲を選択できる。
これらの範囲において、試験荷重を負荷した場合、除荷後の残留変位を1.3μm以下とした二相ステンレス鋼を提供できる。
図2に示す圧力センサー10は、圧力測定の対象流体を導入する導入路を備えたキャップ部材5とキャップ部材5の内部に一体化されたダイヤフラム6を備えている。このダイヤフラム6は、薄肉の受圧部6Aとその外周縁を囲むように延設された筒部6Bと該筒部6Bの外周に形成された鍔部6Cとからなり、筒部6Bの内部空間が圧力室6Dとされている。
キャップ部材5は、開口部5aを有したカップ状で、開口部5aの外周側にフランジ部5bを有し、開口部5aの内周がダイヤフラム6の鍔部6Cと接合されている。キャップ部材5は、例えば、金属あるいは金属と樹脂との複合材などから構成されている。キャップ部材5の内部にはキャップ部材5とダイヤフラム6とで仕切られるように基準圧力室8が形成されている。キャップ部材5には基準ガスを導入する導入口(図示略)が形成され、この導入口から基準ガスが導入され、基準圧力室8の内圧が制御される。
ダイヤフラム6の受圧部6Aにおいて基準圧力室8側は平滑面、例えば鏡面に加工され、シリコン酸化膜などの絶縁膜13とブリッジ回路15が形成されている。ブリッジ回路15は図示略の4つの歪ゲージにより構成され、各歪ゲージにはコネクタ用配線16a、16b、16c、16dなどの配線16が接続されている。
このように電位差が生じると、配管12そのものをカソード防食することはできるものの、条件によってはダイヤフラム6がアノード側に分極される結果、ダイヤフラム6の薄肉の受圧部6Aが優先的に腐食される傾向となる。以上のような場合においてもダイヤフラム6の受圧部6Aは良好な耐食性を示す必要がある。
このダイヤフラム26はドーム部26Aの膨出側を上にして本体23の上面23bとの間に圧力室26aを構成するように本体23と蓋体25の間に挟持されている。
また、蓋体25の上面中央部にステム24を挿通するための貫通孔25aが形成され、ステム24がダイヤフラム26の上面中央部に接するように配置されている。
ダイヤフラムバルブ20はステム24の上下移動に応じて第1流路21と第2流路22の連通と遮断を切り替えできるバルブとして使用できる。
また、上述のように強度に優れ、耐食性が良好であり、0点復帰性を良好とした二相ステンレス鋼からなる金属弾性素子は、センサー用途以外の薄板材一般に広く適用できることは勿論、細線などに適用することも可能である。
また、図1〜図4に示す実施形態では図面を見易くするためにダイヤフラム各部の縮尺や形状を適宜調整して描いているので、本発明に係るダイヤフラムが図示した形状に拘束されないのは勿論である。
この水冷後の鍛造材に冷間加工を施し、φ14mmの丸棒サンプルを得た。
この丸棒サンプルを厚さ5mmに輪切りした後、断面に鏡面研磨、電解エッチングを行って金属組織を現出させた。電解エッチングは、3MKOH水溶液を用い、電解条件として、1〜3Vの定圧で2〜10秒間処理した。
得られた試料の組織を光学顕微鏡により100倍で観察した結果を図5に示す。図5(A)はγ相が45.5%の試料(比較例1)の金属組織写真、図5(B)はγ相が40.7%の試料(実施例2)の金属組織写真、図5(C)はγ相が30.4%の試料(実施例1)の金属組織写真を示す。
また、図5(A)は粒状組織と称することのできる組織であり、この粒状組織は明るい灰色のγ相からなる不定形の粒子の粒界を黒色のα相で埋めた金属組織を呈している。
図6に示す結果から、顕微鏡の組織観察によるγ相比率とXRD解析によるγ相比率はほぼ1:1対応し、γ相とα相の比率の解析が妥当であることがわかる。
極点図は上述の組成の実施例1、2の棒状サンプルと比較例1の棒状サンプルを用い、これらのサンプルから平底の皿形のダイヤフラム(全体外径13mm、薄肉部内径5mm、薄肉部厚さ0.16〜0.18mm)を切削加工により切り出し、皿形ダイヤフラムの底面を研磨して観察面とした。皿形ダイヤフラムの底面は棒状サンプルの中心軸と直交する面であり、この面を観察面とした。
図7に示す各極点図から、いずれの試料もγ相(オーステナイト相)は棒状試料長手方向と平行に<111>が配向していることがわかった。また、いずれの試料もα相(フェライト相)が棒状試料の長手方向に平行に<110>が配向していることがわかった。
このことから、皿形ダイヤフラムの底面の厚さ方向と平行に<111>γ+<110>αを配向させた繊維集合組織が形成されていることが明らかとなった。
なお、残留変位を計測した試料は図10の鎖線に示すように輪切りとした円柱状試料から後述するようにz軸方向を中心軸方向と合わせた四角柱状の試験片として切り出し、z軸方向を圧縮軸方向として負荷を印加し、変形挙動を調査した。
また、これら実施例試料の耐力は1500MPa以上であるが、粗研磨後の各サンプルの応力集中部に発生する応力は有限要素法により計算すると919〜1120MPa相当となる。なお、このように応力範囲が生じるのは、試料作成時のバラツキにより試料のサイズが多少バラツキを生じるとして、そのバラツキを製造時の寸法規格の最大値と最小値の範囲に納まると仮定したために生じる範囲である。従って、各例の試料には耐力の61%〜75%に相当する負荷が作用していることとなる。
なお、本発明で用いる組成の二相ステンレス鋼は、γ相の比率に応じて1400〜1750MPaの範囲の耐力を示す。上述の有限要素法による計算とバラツキを加味した寸法規格の最大値と最小値を耐力1400MPaの二相ステンレス鋼で見積もると、試料には耐力の65〜80%に相当する負荷が作用していることとなる。また、上述の有限要素法による計算とバラツキを加味した寸法規格の最大値と最小値を耐力1750MPaの二相ステンレス鋼で見積もると、試料には耐力の52〜64%に相当する負荷が作用していることとなる。
このため、1400〜1750MPaの範囲の耐力を示す二相ステンレス鋼の試料においては、52〜80%の範囲の負荷が作用することとなる。
この正極点図により得られた配向度(X線の強度差/面法線との角度)と残留変位ごとにグラフ化した結果を図8の右下に示す。
図8右上のサンプル対応表に表示した例において、(a)は比較例1(サンプル数14のみ表示)を示し、(b)は実施例2(サンプル数9のみ表示)を示し、(c)は実施例1(サンプル数10のみ表示)を示す。試験については比較例1を60個、実施例1と実施例2をそれぞれ20個実施している。
この試験結果では、基準となる角度と中心でのX線の回折強度を比較することで配向度としている。具体的には中心±30°の角度範囲でのX線強度の最大変化率で配向度を示した。
図8の右下に示すグラフに表示されているように、配向度が高いサンプルほど残留変位が少なくなることがわかった。即ち、配向度が高いサンプルほど除荷後の復元性に優れていることがわかった。
このことから、二相ステンレス鋼からなる金属弾性素子において結晶配向性は金属弾性素子の復元性に大きな影響を及ぼすことがわかった。
図9に示す残留変位の結果からわかるように、比較例1のサンプルでは残留変位が0.3〜3.5μmの範囲の大きなバラツキを生じるのに対し、実施例1、2のサンプルでは残留変位の値が0.3〜1.3μmの小さい範囲に収まり、バラツキが少ないことが判明した。
なお、図9に鎖線で示す3つのピーク曲線は、残留変位が正規分布に従うと仮定し、それぞれの残留変位について平均値と標準偏差から算出した結果で想定されるバラツキの様子を示す。図9の各試料の残留変位の標準偏差をとると、比較例1の試料の残留変位の標準偏差は1.3±0.8μm、実施例1の試料の残留変位の標準偏差は0.8±0.3μm、実施例2の試料の残留変位の標準偏差は0.5±0.2μmであった。
このことから、金属弾性素子を構成する二相ステンレス鋼の金属組織の違いが残留変位の平均値とバラツキに影響を及ぼしていることがわかる。実施例1、2の結果では残留変位の標準偏差値を0.8±0.3μmの範囲に収めることができた。
角柱状のサンプルの長さ方向(図10の上下方向)は角柱状の試験片の厚さ方向(Z軸方向:ND方向)であり、角柱状の試験片に対し図10に示す如くx軸とy軸を設定できる。試験片のサイズは、2mm×2mm×4mmの角柱状とし、相を特定できるように各面を電解研磨によって組織出しし、圧縮試験後にSEM(走査型電子顕微鏡)にて各面のすべり線を観察した。また、先に説明した繊維状組織は冷間加工により試験片の長さ方向に延在される。
図11に示すSSカーブから言及できることは、700MPaを超える範囲でSSカーブは直線的に描かれるが、700MPa以下の低応力領域ではSS曲線が直線的にならずにカーブするということである。
このことは耐力を遙かに下回る低応力下において試料にわずかながら変位を生じることを意味している。
これらのすべり線の解析と集合組織の方位から大凡予想される方位があるので、その方位について逆極点図をリプロットしたところ、図13に示すグラフを描くことができた。
より詳細には、x面、y面にて観察できたすべり線を結晶解析ステレオ投影用のウルフネットに表し、すべり面を推定する。荷重軸の角柱方向の結晶配位は先の正極点図から明らかなので、荷重軸//<111>γ+<110>αとする。上述の推定されたすべり面の法線方向と上述の荷重軸の結晶方位をウルフネットから求めることができる。γ相において活動するすべり系{111}<110>の組み合わせからシュミット因子を求めて逆極点図に表したものが図13のグラフである。
なお、シュミットの法則とは、複数存在するすべり系において、最初に活動するのはシュミット因子が最大の主すべり系であると規定する法則であり、シュミット因子(=cosφ・cosλ)はすべり変形のし易さの指標として広く知られている因子である。
ここで、φは荷重方向とすべり面法線の角度、λは荷重方向とすべり方向の角度を意味し、0.3〜0.5の範囲の値となり、最大値(0.5)はφ=λ=45゜の場合と規定される。
α相とγ相からなる二相ステンレス鋼の場合、高応力が負荷されるとγ相が加工硬化してゆくので、耐力よりかなり低いレベルの1000MPaの負荷レベルで少しだけ塑性変形していたと推定できる。これが上述の残留変位の原因と考えられる。
Claims (5)
- γ相とα相を有する二相ステンレス鋼からなり、前記γ相が面積比率で40%以下であり、二相組織がマーブル状の金属組織であることを特徴とする金属弾性素子。
- 厚さ方向と平行に<111>γと<110>αが優先配向した繊維集合組織を有することを特徴とする請求項1に記載の金属弾性素子。
- 耐力に対し52〜80%の試験荷重を負荷した後、除荷後の残留変位が1.3μm以下とされたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の金属弾性素子。
- 前記二相ステンレス鋼が、Cr:24〜26質量%、Mo:2.5〜3.5質量%、Ni:5.5〜7.5質量%、C≦0.03質量%、N:0.08〜0.3質量%残部Feおよび不可避不純物の組成を有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の金属弾性素子。
- 請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載の金属弾性素子からなるダイヤフラム。
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