JP2018136986A - 圧力式流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 流体入口
3 流体出口
4 流体通路
4a 第1通路部
4b 圧力検知室
4c 第2通路部
4f 第3通路部
5 本体
5d 凹部
CV 圧力制御用コントロール弁
CVa 金属製ダイヤフラム弁体
OL オリフィス
P1 圧力センサ
P1a 圧力検知面
16 リングガスケット
Claims (11)
- 流体入口と流体出口との間を連通する流体通路を設けた本体と、
該本体に固定されて前記流体通路を開閉する圧力制御用コントロール弁と、
前記圧力制御用コントロール弁の下流側の前記流体通路に介在させたオリフィスと、
前記本体に固定されて前記圧力制御用コントロール弁と前記オリフィスとの間の前記流体通路の内圧を検出する圧力センサと、を備え、
前記流体通路は、前記圧力制御用コントロール弁と前記圧力センサの圧力検知面上の圧力検知室とを接続する第1通路部と、該第1通路部と離間して前記圧力検知室と前記オリフィスとを接続する第2通路部とを備えることにより、前記圧力検知室を経由するように構成されていることを特徴とする圧力式流量制御装置。 - 前記圧力制御用コントロール弁の下方に前記圧力センサが配設され、前記第1通路部は、前記圧力制御用コントロール弁から前記圧力検知室に垂下するように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記圧力制御用コントロール弁が金属製ダイヤフラム弁体を備え、前記第1通路部は、前記圧力制御用コントロール弁の前記金属製ダイヤフラム弁体の中心部から垂下するように構成されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記第1通路部が、前記圧力検知室の端部に接続されていることを特徴とする請求項2に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記第2通路部が、前記圧力検知室の端部に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力式流量制御装置。
- 前記第2通路部が、前記圧力検知室の前記第1通路部とは反対側の端部に接続されていることを特徴とする請求項4に記載の圧力式流量制御装置。
- 流体入口と流体出口間を連通する流体通路を設けた本体と、
該本体に固定されて前記流体通路を開閉する圧力制御用コントロール弁と、
前記圧力制御用コントロール弁の下流側の前記流体通路に介在させたオリフィスと、
前記本体に固定されて前記圧力制御用コントロール弁と前記オリフィスとの間の前記流体通路の内圧を検出する圧力センサと、を備え、
前記圧力制御用コントロール弁の下方に前記圧力センサが配設され、
前記流体通路は、前記圧力制御用コントロール弁から前記圧力センサの圧力検知面上の圧力検知室に垂下する第1通路部と、該第1通路部と前記オリフィスとを接続する第3通路部とを備えることを特徴とする圧力式流量制御装置。 - 前記圧力センサは、前記本体の底面に形成された凹部にリングガスケットを介して挿着され、前記圧力検知室は、前記凹部の内底面と前記リングガスケットと前記圧力センサの圧力検知面とで囲まれており、前記リングガスケットは、両側のシール面が内周面側に偏って形成されていることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載の圧力式流量制御装置。
- 前記リングガスケットは、両側のシール面、内周面、外周面、前記内周面と両側のシール面との間の内側テーパー面、及び、前記外周面と両側のシール面との間の外側テーパー面を備え、前記内側テーパー面が前記外側テーパー面より小さいことを特徴する請求項8に記載の圧力式流量制御装置。
- 流体入口と流体出口間を連通する流体通路を設けた本体と、該本体に固定されて前記流体通路を開閉する圧力制御用コントロール弁と、前記本体に固定されて該圧力制御用コントロール弁の下流側の前記流体通路の内圧を検出する圧力センサと、前記圧力センサの下流側の前記流体通路に介在させたオリフィスと、を備え、
前記圧力センサは、前記本体底面に形成された凹部にリングガスケットを介して挿着され、前記圧力検知室は、前記凹部の内底面と前記リングガスケットと前記圧力センサの圧力検知面とで囲まれており、前記リングガスケットは、両側のシール面が内周面側に偏って形成されていることを特徴とする圧力式流量制御装置。 - 前記圧力検知室の前記凹部の内底面と前記圧力検知面との距離が0.13〜0.30mmとなる、請求項8〜10の何れかに記載の圧力式流量制御装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11345027A (ja) * | 1998-05-29 | 1999-12-14 | Tadahiro Omi | 圧力式流量制御装置を備えたガス供給設備 |
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-
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