JP2018133384A - 圧電素子 - Google Patents
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- 支持基板に周囲が固定された圧電膜と、該圧電膜を挟んで配置された一対の電極とを備えた横圧電効果を利用した圧電素子において、
前記圧電膜は、少なくとも第1の圧電膜と第2の圧電膜を含む積層構造からなり、前記第1の圧電膜と前記第2の圧電膜のそれぞれの圧電性を示す結晶配向方向が、一方が上向きのとき、他方は下向きであることと、
前記積層構造の圧電膜を挟んで配置する前記一対の電極を複数組備え、少なくとも第1の圧電素子および第2の圧電素子が形成されていることと、
前記支持基板に周囲が固定された圧電膜の固定部側に前記第1の圧電素子を配置し、前記圧電膜の中心側に前記第2の圧電素子を配置していることと、
前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子は、前記圧電素子の電極から連続する延長部により直列接続されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1記載の圧電素子において、前記第1の圧電膜と前記第2の圧電膜の間に、圧電効果を有しない誘電体膜が積層されていることを特徴とする圧電素子。
- 請求項1または2いずれか記載の圧電素子において、前記圧電膜は、音響圧力によって振動する膜であることを特徴とする圧電素子。
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