JP2018132514A - 長寸法測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
そのため、本発明は、複数のSEM画像を用いた長寸法測定方法において、長寸法測定対象の第1の場所に、被長寸法測定対象である試料を、移動する第1の移動ステップと、第1の移動ステップで移動した第1の場所で、試料の第1のSEM画像を取得する第1のSEM画像取得ステップと、長寸法測定対象の他の第2の場所に、被長寸法測定対象である試料を移動する第2の移動ステップと、第2の移動ステップで移動した第2の場所で試料の第2のSEM画像を取得する第2のSEM画像取得ステップと、第1のSEM画像上で第1の場所を精密測定、第2のSEM画像上で第2の場所を精密測定、および第1の移動ステップで移動した第1の場所から第2の移動ステップで移動した第2の場所との間の精密距離を算出し、これらに基づいて第1の場所と第2の場所との長寸法を精密測定する長寸法測定ステップとを有する。
図6の(a),(a−1),(b),(b−2)は、図5の(b),(b−1),(c)、(c−1)と同様であるので、説明を省略する。
2:xP、xQ,xR(グローバルアライメントポイント)
Claims (6)
- 複数のSEM画像を用いた長寸法測定方法において、
長寸法測定対象の第1の場所に、被長寸法測定対象である試料を、移動する第1の移動ステップと、
前記第1の移動ステップで移動した第1の場所で、前記試料の第1のSEM画像を取得する第1のSEM画像取得ステップと、
長寸法測定対象の他の第2の場所に、被長寸法測定対象である試料を、移動する第2の移動ステップと、
前記第2の移動ステップで移動した第2の場所で、前記試料の第2のSEM画像を取得する第2のSEM画像取得ステップと、
前記第1のSEM画像上で前記第1の場所を精密測定、第2のSEM画像上で前記第2の場所を精密測定、および前記第1の移動ステップで移動した第1の場所から前記第2の移動ステップで移動した第2の場所との間の精密距離を算出し、これらに基づいて前記第1の場所と第2の場所との長寸法を精密測定する長寸法測定ステップと
を有することを特徴と長寸法測定方法。 - 前記第1の移動ステップおよび前記第2の移動ステップは、前記長寸法測定対象あるいはこれを固定したホルダーの規定3箇所以上に付されたグローバルアライメントマークをもとに、該長寸法測定対象と、その設計データとの対応関係を実測した後に、設計データ上の第1の場所あるいは第2の場所に精密移動し、ステージ移動の傾きを自動補正したことを特徴とする請求項1記載の長寸法測定方法。
- 前記第1のSEM画像取得ステップおよび前記第2のSEM画像取得ステップで取得するSEM画像の1画素の間隔は、測定しようとする精度と同等あるいは小さくした倍率に設定したことを特徴とする請求項1から請求項2のいずれかに記載の長寸法測定方法。
- 前記長寸法測定対象は、パターンの両端の2点間の距離、パターンとパターンとの間だるスペース間の距離、パターンの左端と他のパターンの左端との距離、あるいはパターンの左端と他のパターンの右端との距離であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の長寸法測定方法。
- 前記長寸法測定値を複数回測定して平均化したことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の長寸法測定方法。
- 複数のSEM画像を用いた長寸法測定プログラムにおいて、
長寸法測定対象の第1の場所に、被長寸法測定対象である試料を、移動する第1の移動プログラムと、
前記第1の移動プログラムで移動した第1の場所で、前記試料の第1のSEM画像を取得する第1のSEM画像取得プログラムと、
長寸法測定対象の他の第2の場所に、被長寸法測定対象である試料を、移動する第2の移動プログラムと、
前記第2の移動プログラムで移動した第2の場所で、前記試料の第2のSEM画像を取得する第2のSEM画像取得プログラムと、
前記第1のSEM画像上で前記第1の場所を精密測定、第2のSEM画像上で前記第2の場所を精密測定、および前記第1の移動プログラムで移動した第1の場所から前記第2の移動プログラムで移動した第2の場所との間の精密距離を算出し、これらに基づいて前記第1の場所と第2の場所との長寸法を精密測定する長寸法測定プログラムプと
をコンピュータに動作させることを特徴と長寸法測定プログラム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020071209A (ja) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | 神津精機株式会社 | 寸法測定装置及び寸法測定方法 |
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2017
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