JP2018126886A - Method for producing multilayered polyimide film - Google Patents

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立石 和幸
Kazuyuki Tateishi
和幸 立石
雅義 清水
Masayoshi Shimizu
雅義 清水
富美弥 河野
Fumiya Kono
富美弥 河野
翔人 番家
Shoto Banya
翔人 番家
多和田 誠
Makoto Tawada
誠 多和田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for producing a multilayered polyimide film which can be suitably used for a high frequency circuit board capable of reducing transmission loss.SOLUTION: There is provided a method for producing a multilayered polyimide film 4 in which two or more non-thermoplastic polyimide layers 2 having a dielectric tangent of 0.001 to 0.009 at 10 GHz are laminated on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide film 1 and a thermoplastic polyimide layer 3 is further laminated, followed by subjecting the resulting prefilm to heat treatment, wherein the generation of curling is suppressed by controlling the coating thickness on the front and back surfaces in the roll film preparation step and the width in the TD direction perpendicular to the film flow direction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、高周波回路基板に好適に使用することができる、多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film that can be suitably used for a high-frequency circuit board.

ポリイミドは、機械強度、耐熱性、電気絶縁性、耐薬品性に優れているため、電子基板材料用途で多く利用されている。例えば、ポリイミドフィルムを基板材料とし、少なくとも片面に銅箔を積層したフレキシブル銅張積層板(以下、FCCLともいう)や、さらに回路を作成したフレキシブルプリント基板(以下、FPCともいう)などが製造され、各種電子機器に使用されている。近年の電子機器の高速信号伝送に伴う回路を伝達する電気信号の高周波化において、基板材料であるポリイミドの低誘電率、低誘電正接化の要求が高まっている。例えば、高周波(1GHz以上)領域において誘電率、誘電正接の低い材料が求められている。さらに、電子回路における信号の伝播速度は基板材料の誘電率が増加すると低下する。また誘電率と誘電正接が増加すれば信号の伝送損失も増大する。したがって、基板材料であるポリイミドの低誘電率化、低誘電正接化、さらには、FPCとした状態での伝送損失が小さいことなどが、電子機器の高性能化に不可欠となっている。   Polyimide is excellent in mechanical strength, heat resistance, electrical insulation, and chemical resistance, and is therefore widely used for electronic substrate materials. For example, a flexible copper-clad laminate (hereinafter also referred to as FCCL) in which polyimide film is used as a substrate material and copper foil is laminated on at least one surface, and a flexible printed circuit board (hereinafter also referred to as FPC) in which a circuit is further produced are manufactured. Used in various electronic devices. In recent years, there has been an increasing demand for low dielectric constant and low dielectric loss tangent of polyimide, which is a substrate material, in order to increase the frequency of electrical signals transmitted through circuits associated with high-speed signal transmission of electronic devices. For example, a material having a low dielectric constant and dielectric loss tangent in a high frequency (1 GHz or higher) region is required. Furthermore, the propagation speed of signals in electronic circuits decreases as the dielectric constant of the substrate material increases. If the dielectric constant and dielectric loss tangent increase, the signal transmission loss also increases. Therefore, low dielectric constant and low dielectric loss tangent of polyimide, which is a substrate material, and low transmission loss in an FPC state are essential for improving the performance of electronic devices.

高周波に適応可能なFCCLやそれに用いるフィルムの検討としては、低誘電率、低誘電正接を持つポリイミド樹脂の開発が主流であり、特許文献1にはポリイミド系の耐熱樹脂を絶縁樹脂層に用いたプリント回路用基板が開示されている。一方、特許文献2には積層する各フィルムの幅をコントロールすることで、積層フィルムのカール発生を防止する技術が開示されている。   Development of polyimide resin with low dielectric constant and low dielectric loss tangent is the mainstream for the study of FCCL applicable to high frequency and the film used for it. Patent Document 1 uses polyimide heat resistant resin for insulating resin layer. A printed circuit board is disclosed. On the other hand, Patent Document 2 discloses a technique for preventing the occurrence of curling of a laminated film by controlling the width of each laminated film.

特開2005−026542JP-A-2005-026542 特開2013−202824JP2013-202824

高周波に対応可能なフィルム材料は、コア層と接着層より構成され、高周波特性と引き剥がし特性、寸法安定性の両立を目指し、両層の検討が行われてきた。しかしながら、市場の要求特性の高まりに伴い、コア層と接着層の検討では両特性の両立が難しく、材料設計が困難となりつつある。   A film material capable of supporting high frequency is composed of a core layer and an adhesive layer, and both layers have been studied with the aim of achieving both high frequency characteristics, peel-off characteristics, and dimensional stability. However, along with the increasing demand characteristics of the market, it is difficult to achieve both properties in the examination of the core layer and the adhesive layer, and material design is becoming difficult.

本発明者らは、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミドフィルムを設けた多層フィルムを設計し検討を行っているが、ロールフィルムの作製において、非熱可塑性ポリイミドフィルムの塗工時のカール抑制が難しく歩留まりが低い状況であった。   The present inventors have designed and studied a multilayer film provided with a non-thermoplastic polyimide film having a low dielectric loss tangent, but in the production of a roll film, curling suppression during the application of the non-thermoplastic polyimide film is performed. It was difficult and the yield was low.

特許文献1は多層ポリイミドフィルムを用いる取組みではあるものの、ロールフィルムの作製に関する記載はなく、カール抑制にも触れられていない。   Although patent document 1 is an approach which uses a multilayer polyimide film, there is no description regarding preparation of a roll film, and it does not touch curl suppression.

特許文献2は積層フィルムのカール抑制技術に関する取組みではあるものの、ポリイミド樹脂を使用しておらず、高周波に対応可能なフィルムを意図した取組みではない。   Although Patent Document 2 is an approach related to a curl suppressing technique for a laminated film, it does not use a polyimide resin and is not an approach intended for a film capable of handling high frequencies.

したがって低誘電率、誘電正接を有した高周波に対応可能な多層フィルムにおいて、ロールフィルム作製時のカール発生を抑制する製法の開発が必要となっている。   Therefore, it is necessary to develop a production method for suppressing curling at the time of producing a roll film in a multilayer film capable of handling a high frequency having a low dielectric constant and a dielectric loss tangent.

本発明の目的は、高周波回路基板に好適に使用することができる低伝送損失の多層ポリイミドフィルムの製造方法を提供することである。   The objective of this invention is providing the manufacturing method of the multilayer polyimide film of the low transmission loss which can be used conveniently for a high frequency circuit board.

本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を積層し、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層する多層ポリイミドフィルムの製造において、ロールフィルム作製工程の表裏面の塗工厚み及びフィルム流れ方向と垂直なTD方向の幅の制御により、カール発生を抑制できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors laminated a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film. In addition, in the production of multilayer polyimide films in which a thermoplastic polyimide layer is laminated, it has been found that curling can be suppressed by controlling the coating thickness on the front and back surfaces of the roll film production process and the width in the TD direction perpendicular to the film flow direction. The present invention has been completed.

すなわち、本発明は、
<1>
非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を積層し、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層することを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、
(1)非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を少なくとも2層以上形成する工程、
(2)工程(1)で得られた非熱可塑性ポリイミド層を介して、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層して、加熱処理を行い、プレフィルムを得る工程、
(3)工程(2)で得られたプレフィルムにさらに加熱処理を行い、多層ポリイミドフィルムを得る工程、
を含むことを特徴とする、多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
That is, the present invention
<1>
A multilayer polyimide film characterized by laminating a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film, and further laminating a thermoplastic polyimide layer. A manufacturing method comprising:
(1) forming at least two or more non-thermoplastic polyimide layers having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film;
(2) A step of further laminating a thermoplastic polyimide layer through the non-thermoplastic polyimide layer obtained in step (1) and performing a heat treatment to obtain a prefilm,
(3) A step of further heat-treating the prefilm obtained in step (2) to obtain a multilayer polyimide film,
It is related with the manufacturing method of the multilayer polyimide film characterized by including.

<2>
前記工程(1)の10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層の幅と、工程(2)の10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層の幅が異なることを特徴とする、<1>に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
<2>
The width of the non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz in the step (1) of 0.001 to 0.009 and the non-heat in which the dielectric loss tangent at 10 GHz of the step (2) is 0.001 to 0.009. The present invention relates to the method for producing a multilayer polyimide film according to <1>, wherein the widths of the plastic polyimide layers are different.

<3>
前記10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層が、芳香族酸二無水物として、少なくとも2,2’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジアミン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンのいずれか一種、芳香族ジアミンとして、少なくとも3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物のいずれか一種を有するポリイミドを含むことを特徴とする、<1>または<2>に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
<3>
The non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent of 0.001 to 0.009 at 10 GHz is at least 2,2′-dimethylbiphenyl-4,4′-diamine as an aromatic dianhydride, 1,3- Any one of bis (4-aminophenoxy) benzene, as an aromatic diamine, at least 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic The present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film according to <1> or <2>, comprising a polyimide having any one of acid dianhydride and pyromellitic dianhydride.

本発明における多層ポリイミドフィルムの製造方法によれば、低伝送損失のロールフィルムの歩留まりを高くすることができるという効果を奏する。そのため、エレクトロニクス製品の高周波化に対応でき、例えば、1GHz以上という高周波回路用基板等を開発する場合に有用である。   According to the method for producing a multilayer polyimide film in the present invention, there is an effect that the yield of a roll film having a low transmission loss can be increased. Therefore, it is possible to cope with the higher frequency of electronic products, and is useful, for example, when developing a substrate for a high frequency circuit of 1 GHz or higher.

本発明の係る多層ポリイミドフィルムの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the multilayer polyimide film which concerns on this invention. 従来の多層ポリイミドフィルムの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of the conventional multilayer polyimide film. 実施例1で得られた、非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the non-thermoplastic polyimide film which has the low dielectric loss tangent property with the non-thermoplastic polyimide film obtained in Example 1. 実施例2で得られた、非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the non-thermoplastic polyimide layer which has the low dielectric loss tangent property with the non-thermoplastic polyimide film obtained in Example 2. 実施例3で得られた、非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the non-thermoplastic polyimide film which has the low-dielectric-tangent property and the non-thermoplastic polyimide film obtained in Example 3. 比較例1で得られた、非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the non-thermoplastic polyimide film which was obtained in the comparative example 1, and has a low dielectric loss tangent property. 比較例2で得られた、非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the non-thermoplastic polyimide layer which has the low-dielectric-tangent property and the non-thermoplastic polyimide film obtained in the comparative example 2. 比較例3で得られた、非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the non-thermoplastic polyimide layer which has the non-thermoplastic polyimide film and low dielectric loss tangent obtained by the comparative example 3.

本発明の実施の形態について、以下に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、記述した範囲内で種々の変形を加えた態様で実施できる。   Embodiments of the present invention will be described below. However, this invention is not limited to this, It can implement in the aspect which added the various deformation | transformation within the described range.

なお、本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「A〜B」は、「A以上(Aを含みかつAより大きい)、B以下(Bを含みかつBより小さい)」を意味する。   Unless otherwise specified in the present specification, “A to B” representing a numerical range means “A or more (including A and greater than A)” and “B or less (including B and less than B)”.

(低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層)
従来のFCCLに用いられる絶縁樹脂フィルムは、基板材料(以下、コア層ともいう)と、コア層と金属箔と接着させる接着層とから構成される多層ポリイミドフィルムであることが一般的である。従来から必要とされる寸法安定性、引き剥がし強度などの一般特性を満足するために、コア層は主に耐熱性や寸法安定化に必要な物性を確保し、接着層は主に金属箔との引き剥がし強度に必要な物性を確保する役割を担う。さらに、コア層と接着層を含む多層フィルムと金属箔を、熱ラミネート法などにより積層する場合に容易に製造できることも必要である。
(Non-thermoplastic polyimide layer with low dielectric loss tangent)
The insulating resin film used for conventional FCCL is generally a multilayer polyimide film composed of a substrate material (hereinafter also referred to as a core layer) and an adhesive layer to be bonded to the core layer and the metal foil. In order to satisfy general characteristics such as dimensional stability and peel strength that have been required in the past, the core layer mainly ensures the heat resistance and physical properties necessary for dimensional stabilization, and the adhesive layer mainly consists of metal foil. It plays the role of ensuring the physical properties necessary for the peel strength of the steel. Furthermore, it is necessary that the multilayer film including the core layer and the adhesive layer and the metal foil can be easily manufactured when they are laminated by a thermal laminating method or the like.

本発明の多層ポリイミドフィルムは、非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層(以下、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層、または中間層ともいう)を積層し、さらに熱可塑性ポリイミド層を有する。   The multilayer polyimide film of the present invention is a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 (hereinafter, non-thermoplastic polyimide having low dielectric loss tangent) on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film. A layer or an intermediate layer) and a thermoplastic polyimide layer.

本発明における低誘電正接性とは、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009であることをいう。すなわち、本発明における低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層とは、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を意味する。   The low dielectric loss tangent in the present invention means that the dielectric loss tangent at 10 GHz is 0.001 to 0.009. That is, the non-thermoplastic polyimide layer having low dielectric loss tangent in the present invention means a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009.

低伝送損失特性を付与させるためには、絶縁樹脂フィルムの低誘電率化、低誘電正接化、低吸湿率化が必要となり、これらの特性をコア層と接着層で分担する必要がある。   In order to impart low transmission loss characteristics, it is necessary to reduce the dielectric constant, dielectric tangent, and moisture absorption of the insulating resin film, and it is necessary to share these characteristics between the core layer and the adhesive layer.

しかしながら、上記一般特性に必要な物性と低伝送損失化に必要な特性はトレードオフの関係にあるものもあり、コア層と接着層で、従来から必要とされる高耐熱性、寸法安定化、引き剥がし強度及び低伝送損失特性を両立させることは難しかった。本発明者らは種々検討した結果、ポリイミドフィルムを用いた絶縁樹脂フィルムの誘電率、誘電正接に概ね加成性が成り立つことを見出し、低伝送損失特性の向上に優れる低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層を有する多層ポリイミドフィルムにより、一般特性と低伝送損失特性の両立を実現した。   However, the physical properties required for the above general properties and the properties required for low transmission loss are in a trade-off relationship, with the core layer and adhesive layer having high heat resistance, dimensional stabilization, It has been difficult to achieve both peel strength and low transmission loss characteristics. As a result of various studies, the present inventors have found that an additivity is substantially established in the dielectric constant and dielectric loss tangent of an insulating resin film using a polyimide film, and have a low dielectric loss tangent that is excellent in improving low transmission loss characteristics. A multilayer polyimide film with a thermoplastic polyimide layer achieves both general characteristics and low transmission loss characteristics.

具体的には、コア層と接着層で、従来から必要とされる耐熱性、寸法安定化、金属箔との引き剥がし強度に必要な物性を確保し、中間層で低伝送損失に必要とされる低誘電率化、低誘電正接化、低吸湿率化の物性を確保する方法である。   Specifically, the core layer and adhesive layer ensure the physical properties necessary for conventional heat resistance, dimensional stabilization, and peel strength from the metal foil, and the intermediate layer is required for low transmission loss. This is a method of ensuring the physical properties of low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low moisture absorption.

上記の通り、本発明の中間層は、伝送損失に影響を及ぼす低誘電率、低誘電正接、低吸湿率に優れる材料であり、コア層に用いる非熱可塑性ポリイミドと異なり、低吸湿率に特化した材料の組合せを選択する必要がある。   As described above, the intermediate layer of the present invention is a material excellent in low dielectric constant, low dielectric loss tangent, and low moisture absorption that affects transmission loss. Unlike the non-thermoplastic polyimide used for the core layer, the intermediate layer is characterized by low moisture absorption. It is necessary to select a combination of materials.

本発明における中間層は誘電正接が低いことが必要である。本発明における中間層とは10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層のことをいう。誘電正接が0.001〜0.007であることがより好ましい。誘電正接がこの範囲にある場合、FPCの伝送損失が小さくなり、好適である。   The intermediate layer in the present invention needs to have a low dielectric loss tangent. The intermediate layer in the present invention refers to a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009. The dielectric loss tangent is more preferably 0.001 to 0.007. When the dielectric loss tangent is within this range, the transmission loss of the FPC is reduced, which is preferable.

本発明における中間層は比誘電率も低い方が好ましい。2.7〜3.5であることがより好ましく、2.7〜3.3であることが特に好ましい。比誘電率がこの範囲にある場合、FPCの伝送損失が小さくなり、好適である。   The intermediate layer in the present invention preferably has a low relative dielectric constant. It is more preferably 2.7 to 3.5, and particularly preferably 2.7 to 3.3. When the relative permittivity is within this range, the transmission loss of the FPC is reduced, which is preferable.

吸湿率も伝送損失へ影響を及ぼすため、本発明の中間層の吸湿率は低い方が好ましい。0.1%〜1.0%であることがより好ましく、0.1%〜0.8%であることが特に好ましい。吸湿率がこの範囲にある場合、FPCの伝送損失が小さくなり、好適である。   Since the moisture absorption rate also affects transmission loss, the moisture absorption rate of the intermediate layer of the present invention is preferably low. It is more preferably 0.1% to 1.0%, and particularly preferably 0.1% to 0.8%. When the moisture absorption rate is in this range, the transmission loss of the FPC is reduced, which is preferable.

本発明の中間層は、誘電正接が0.001〜0.009の範囲であれば特に限定はなく、種々のポリアミド酸を用いることができる。   The intermediate layer of the present invention is not particularly limited as long as the dielectric loss tangent is in the range of 0.001 to 0.009, and various polyamic acids can be used.

ポリアミド酸は、芳香族ジアミンと芳香族酸二無水物とを反応させて得られる。より具体的には、通常、芳香族ジアミンと芳香族酸二無水物とを、実質的に等モル量となるように有機溶媒中に溶解させて、得られた溶液を、制御された温度条件下で、上記芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンとの重合が完了するまで攪拌することによって製造される。このようにして得られたポリアミド酸を含む溶液は、通常5重量%〜35重量%、より好ましくは10重量%〜30重量%の濃度で得られる。この範囲の濃度である場合に適当な分子量と溶液粘度を得る。重合方法も特に限定されず、添加の順序、モノマーの組み合わせ、および組成(添加量)は特に限定されるものではない。例えば、ランダム重合であってもよく、ブロック成分を製造できるシーケンス重合などであってもよい。   The polyamic acid is obtained by reacting an aromatic diamine and an aromatic dianhydride. More specifically, usually, the aromatic diamine and the aromatic dianhydride are dissolved in an organic solvent so as to have a substantially equimolar amount, and the resulting solution is subjected to controlled temperature conditions. Below, it manufactures by stirring until superposition | polymerization with the said aromatic dianhydride and aromatic diamine is completed. The solution containing the polyamic acid thus obtained is usually obtained at a concentration of 5 wt% to 35 wt%, more preferably 10 wt% to 30 wt%. When the concentration is in this range, an appropriate molecular weight and solution viscosity are obtained. The polymerization method is not particularly limited, and the order of addition, the combination of monomers, and the composition (addition amount) are not particularly limited. For example, it may be random polymerization or may be sequence polymerization that can produce a block component.

芳香族ジアミンとしては、特に限定されるものではないが、例えば、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、2,2’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジアミン、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパン、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}ヘキサフルオロプロパン、ビス{4−(3−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}スルホン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、3,3’−ジアミノベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン、3,3’−ジクロロベンジジン、3,3’−ジメチルベンジジン、2,2’−ジメチルベンジジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、2,2’−ジメトキシベンジジン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン(m−フェニレンジアミン)、4、4’−ジアミノジフェニルスルホン、3、3’−ジアミノジフェニルスルホン、9、9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、4、4’−(1,4−フェニレンビス(1−メチルエチリデン))ビスアニリン、4、4’−(1,3−フェニレンビス(1−メチルエチリデン))ビスアニリン、4、4’−ジアミノベンズアニリド等のいずれか一種、またはこれらの二種類以上の組み合わせを挙げることができる。   The aromatic diamine is not particularly limited, and examples thereof include 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, and 2,2′-dimethylbiphenyl-4. , 4′-diamine, 2,2-bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} propane, 2,2-bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} hexafluoropropane, bis {4- (3 -Aminophenoxy) phenyl} sulfone, bis {4- (4-aminophenoxy) phenyl} sulfone, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1, 4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 3,3′-diaminobenzophenone, 4,4′-diaminoben Phenone, 3,3′-dichlorobenzidine, 3,3′-dimethylbenzidine, 2,2′-dimethylbenzidine, 3,3′-dimethoxybenzidine, 2,2′-dimethoxybenzidine, 1,4-diaminobenzene (p -Phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene (m-phenylenediamine), 4,4′-diaminodiphenylsulfone, 3,3′-diaminodiphenylsulfone, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene, 4 4 ′-(1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)) bisaniline, 4,4 ′-(1,3-phenylenebis (1-methylethylidene)) bisaniline, 4,4′-diaminobenzanilide, etc. Any one of these or a combination of two or more of these may be mentioned.

上記芳香族酸二無水物としては、特に限定されるものではないが、例えば、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、3,4’−オキシフタル酸二無水物、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、4,4’−ヘキサフルオロイソプロピリデンジフタル酸無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル無水物)、p−フェニレンジフタル酸無水物等の芳香族テトラカルボン酸二無水物等のいずれか一種、またはこれらの二種類以上の組み合わせを挙げることができる。   The aromatic acid dianhydride is not particularly limited. For example, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenone Tetracarboxylic dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic dianhydride, 3,4'-oxyphthalic dianhydride, ethylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid mono Ester anhydride), pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-dimethyldiphenylsilanetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-tetraphenyl Lantetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4′-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 4,4′- Hexafluoroisopropylidenediphthalic anhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, p-phenylenebis (Trimellitic acid monoester anhydride), aromatic tetracarboxylic dianhydrides such as p-phenylenediphthalic anhydride, or a combination of two or more of these.

低誘電正接性や低吸水率性を発現させるための芳香族ジアミンの好ましい例としては、2,2’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジアミン、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、パラフェニレンジアミン、4,4'−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ビフェニルのようなフッ素系モノマーを単独又は複数併用すること挙げられる。低誘電正接性や低吸水率性を発現させるための芳香族酸二無水物の好ましい例としては、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を単独又は複数併用することが挙げられる。   Preferred examples of the aromatic diamine for exhibiting low dielectric loss tangent and low water absorption are 2,2′-dimethylbiphenyl-4,4′-diamine, 2,2-bis {4- (4-amino). Phenoxy) phenyl} propane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, paraphenylenediamine, 4,4′-diamino-2,2′-bis ( Fluoromeric monomers such as (trifluoromethyl) biphenyl may be used alone or in combination. Preferred examples of aromatic dianhydrides for developing low dielectric loss tangent and low water absorption are 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, pyromellitic dianhydride 4,4′-oxydiphthalic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride may be used alone or in combination.

ポリアミド酸を製造するための重合用溶媒として用いられる有機溶媒は、芳香族ジアミン、芳香族酸二無水物、および得られるポリアミド酸を溶解するものであれば、特に限定されるものではない。重合用溶媒として、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド等を用いれば、得られるポリアミド酸の溶液をそのまま用いて、ポリイミドフィルムとすることができる。   The organic solvent used as the polymerization solvent for producing the polyamic acid is not particularly limited as long as it dissolves the aromatic diamine, the aromatic dianhydride, and the obtained polyamic acid. If, for example, N, N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide or the like is used as a polymerization solvent, the resulting polyamic acid solution can be used as it is. And a polyimide film.

ポリアミド酸を製造するための反応温度は、−10℃〜50℃であることが好ましい。かかる範囲内であることにより、良好な反応速度で反応が進み、生産性に優れるため好ましい。また、反応時間も特に限定されるものではないが、通常数分〜数時間である。   The reaction temperature for producing the polyamic acid is preferably −10 ° C. to 50 ° C. Within such a range, the reaction proceeds at a good reaction rate and is excellent in productivity, which is preferable. The reaction time is not particularly limited, but is usually from several minutes to several hours.

ポリイミドは、上記ポリアミド酸を熱キュアまたは化学キュアなどを代表とする方法により製造される。熱キュアは加熱処理のみよりイミド化を進行させるものである。化学キュアは硬化剤と混合して、加熱処理することによりイミド化させる方法である。硬化剤とは、脱水剤および触媒を含む。ここで脱水剤とは、ポリアミド酸に対する脱水閉環剤であれば特に限定されるものではない。例えば、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物、N,N’−ジアルキルカルボジイミド、低級脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪族酸無水物、アリールスルホン酸ジハロゲン化物、チオニルハロゲン化物等を挙げることができる。これらは単独で用いてもよいし、2種類以上を適宜組み合わせて用いてもよい。これらの中でも、脂肪族酸無水物や芳香族酸無水物を好適に用いることができ、無水酢酸が特に好ましい。触媒としては、ポリアミド酸に対する脱水剤の脱水閉環作用を促進する効果を有する成分であれば特に限定されるものではない。例えば、脂肪族3級アミン、芳香族3級アミン、複素環式3級アミン等を挙げることができる。これらの中でも、例えば、イミダゾール、ベンズイミダゾール、イソキノリン、キノリン、ジエチルピリジンまたはβ−ピコリン等の含窒素複素環化合物が特に好ましく用いられる。   The polyimide is produced by a method in which the polyamic acid is typified by thermal cure or chemical cure. Thermal curing is to advance imidization only by heat treatment. Chemical curing is a method of imidizing by mixing with a curing agent and heat-treating. The curing agent includes a dehydrating agent and a catalyst. Here, the dehydrating agent is not particularly limited as long as it is a dehydrating ring-closing agent for polyamic acid. For example, aliphatic acid anhydride, aromatic acid anhydride, N, N′-dialkylcarbodiimide, lower aliphatic halide, halogenated lower aliphatic acid anhydride, arylsulfonic acid dihalide, thionyl halide, etc. Can do. These may be used alone or in appropriate combination of two or more. Among these, aliphatic acid anhydrides and aromatic acid anhydrides can be suitably used, and acetic anhydride is particularly preferable. The catalyst is not particularly limited as long as it is a component having an effect of promoting the dehydration ring-closing action of the dehydrating agent on the polyamic acid. For example, an aliphatic tertiary amine, an aromatic tertiary amine, a heterocyclic tertiary amine, and the like can be given. Among these, for example, nitrogen-containing heterocyclic compounds such as imidazole, benzimidazole, isoquinoline, quinoline, diethylpyridine, and β-picoline are particularly preferably used.

本発明における非熱可塑性とは、原料モノマーを組み合わせて溶液重合し、得られたポリアミド酸溶液を乾燥し、少なくとも熱イミド化、または化学イミド化の少なくとも一方の方法により得られる成形体(主にフィルムである)を450℃で1分間加熱した際にシワや伸びなどの変形を起こさず形状を保持しているものを表す。   Non-thermoplasticity in the present invention means solution polymerization by combining raw material monomers, drying the obtained polyamic acid solution, and molding obtained mainly by at least one method of thermal imidization or chemical imidization (mainly When the film is heated at 450 ° C. for 1 minute, the film retains its shape without causing deformation such as wrinkles and elongation.

(非熱可塑性ポリイミドフィルム)
非熱可塑性ポリイミドフィルムをコア層とすることにより、本発明の多層ポリイミドフィルムを構成することができる。
(Non-thermoplastic polyimide film)
By making a non-thermoplastic polyimide film into a core layer, the multilayer polyimide film of this invention can be comprised.

非熱可塑性ポリイミドフィルムは非熱可塑性ポリイミドフィルムとしての特性を損なわない範囲で、非熱可塑性ポリイミドとともに他の樹脂を含有していてもよい。   The non-thermoplastic polyimide film may contain other resins together with the non-thermoplastic polyimide as long as the properties as the non-thermoplastic polyimide film are not impaired.

本発明の非熱可塑性ポリイミドフィルム(コア層)の誘電正接は低い方が好ましい。具体的には0.001〜0.012であることがより好ましく、0.001〜0.010であることが特に好ましい。誘電正接が上記範囲である場合、中間層で多層ポリイミドフィルムの誘電正接を0.009以下に制御できる。   The non-thermoplastic polyimide film (core layer) of the present invention preferably has a low dielectric loss tangent. Specifically, 0.001 to 0.012 is more preferable, and 0.001 to 0.010 is particularly preferable. When the dielectric loss tangent is in the above range, the dielectric loss tangent of the multilayer polyimide film can be controlled to 0.009 or less in the intermediate layer.

本発明の非熱可塑性ポリイミドフィルム層(コア層)の吸湿率も低い方が好ましい。具体的には0.1%〜1.7%であることがより好ましく、0.1%〜1.4%であることが特に好ましい。   It is preferable that the non-thermoplastic polyimide film layer (core layer) of the present invention also has a low moisture absorption rate. Specifically, it is more preferably 0.1% to 1.7%, and particularly preferably 0.1% to 1.4%.

フレキシブル金属張積層板のエッチング前後の寸法変化率を抑制するため、コア層の熱線膨張係数(CTE)は1ppm〜15ppmであることが好ましく、2〜12ppmであることがより好ましい。CTEが上記範囲である場合、中間層で多層ポリイミドフィルムの寸法変化率を適正範囲に制御できる。   In order to suppress the dimensional change rate before and after the etching of the flexible metal-clad laminate, the thermal expansion coefficient (CTE) of the core layer is preferably 1 ppm to 15 ppm, and more preferably 2 to 12 ppm. When CTE is the said range, the dimensional change rate of a multilayer polyimide film can be controlled by the intermediate | middle layer to an appropriate range.

(非熱可塑性ポリイミド)
非熱可塑性ポリイミドフィルム(コア層)に含有される非熱可塑性ポリイミドは、ポリアミド酸を前駆体として用いてイミド化することにより製造される。
(Non-thermoplastic polyimide)
The non-thermoplastic polyimide contained in the non-thermoplastic polyimide film (core layer) is produced by imidization using polyamic acid as a precursor.

イミド化することにより非熱可塑性ポリイミドとなるポリアミド酸を構成するモノマーとしては、非熱可塑性を示すことができれば、特に限定はない。例えば、中間層を構成するモノマーと同様のものを例示することができる。   The monomer constituting the polyamic acid that becomes a non-thermoplastic polyimide by imidization is not particularly limited as long as it can exhibit non-thermoplasticity. For example, the thing similar to the monomer which comprises an intermediate | middle layer can be illustrated.

非熱可塑性ポリイミドフィルム(コア層)に含有される非熱可塑性ポリイミドに好適に用いられる芳香族ジアミンの例としては、2,2’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジアミン、2,2−ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、パラフェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4'−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン、3,3’−ジヒドロキシ−4,4’−ジアミノ−1,1’−ビフェニル、などが挙げられ、これらを単独又は複数併用することができる。非熱可塑性ポリイミドフィルム(コア層)に含有される非熱可塑性ポリイミドを設計するために好適に用いられる芳香族酸二無水物の例としては、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン酸二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、などが挙げられ、これらを単独又は複数併用することができる。   Examples of aromatic diamines suitably used for the non-thermoplastic polyimide contained in the non-thermoplastic polyimide film (core layer) include 2,2′-dimethylbiphenyl-4,4′-diamine and 2,2-bis. {4- (4-aminophenoxy) phenyl} propane, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, paraphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenyl Propane, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 2, 2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane, 3,3′-dihydroxy-4,4′-diamino-1,1′-biphe Nil, and the like, and these can be used alone or in combination. Examples of aromatic dianhydrides suitably used for designing non-thermoplastic polyimides contained in non-thermoplastic polyimide films (core layers) include pyromellitic dianhydride, 2, 3, 6, 7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2- And bis (3,4-dicarboxyphenyl) propanoic acid dianhydride, p-phenylenebis (trimellitic acid monoester acid anhydride), 4,4′-oxydiphthalic acid dianhydride, and the like. Or it can be used in combination.

非熱可塑性ポリイミドフィルム(コア層)に含有される非熱可塑性ポリイミドの重合方法、重合用溶媒、反応温度や反応時間は特に限定されるのもではない。   The polymerization method, polymerization solvent, reaction temperature and reaction time of the non-thermoplastic polyimide contained in the non-thermoplastic polyimide film (core layer) are not particularly limited.

ポリアミド酸をポリイミドとする際の硬化剤や硬化条件等も特に限定されない。例えば、中間層を製造する際に用いるものと同様にものを使用することができる。   There are no particular limitations on the curing agent, curing conditions, and the like when polyamic acid is used as polyimide. For example, the thing similar to what is used when manufacturing an intermediate | middle layer can be used.

(熱可塑性ポリイミド層)
本発明に係る熱可塑性ポリイミド層(接着層ともいう)は、銅箔などの金属箔との接着力や好適な線膨張係数など、所望の特性を発現できれば、接着層に含まれる熱可塑性ポリイミドの含有量、分子構造、厚みは特に限定されない。しかしながら、有為な接着力や好適な線膨張係数などの所望の特性の発現のためには、熱可塑性ポリイミドを50wt%以上含有することが好ましい。
(Thermoplastic polyimide layer)
If the thermoplastic polyimide layer (also referred to as an adhesive layer) according to the present invention can exhibit desired properties such as adhesive strength with a metal foil such as a copper foil and a suitable linear expansion coefficient, the thermoplastic polyimide layer contained in the adhesive layer The content, molecular structure, and thickness are not particularly limited. However, it is preferable to contain 50% by weight or more of thermoplastic polyimide in order to exhibit desired properties such as a significant adhesive force and a suitable linear expansion coefficient.

本発明の熱可塑性ポリイミド層(接着層)の誘電正接も低いほうが好ましい。具体的には0.001〜0.012であることがより好ましく、0.001〜0.010であることが特に好ましい。誘電正接が上記範囲を上回る場合、中間層での多層ポリイミドフィルムの低誘電正接化が困難となる。   It is preferable that the dielectric loss tangent of the thermoplastic polyimide layer (adhesive layer) of the present invention is also low. Specifically, 0.001 to 0.012 is more preferable, and 0.001 to 0.010 is particularly preferable. When the dielectric loss tangent exceeds the above range, it is difficult to reduce the dielectric loss tangent of the multilayer polyimide film in the intermediate layer.

吸湿率も低いほうが好ましい。具体的には0.1%〜1.3%であることがより好ましく、0.1%〜0.9%であることが特に好ましい。   A lower moisture absorption rate is preferred. Specifically, it is more preferably 0.1% to 1.3%, and particularly preferably 0.1% to 0.9%.

金属箔との接着力を発現し、かつ得られる金属張積層板の耐熱性を損なわないという点から考えると、本発明における熱可塑性ポリイミドは、150℃〜300℃の範囲にガラス転移温度(Tg)を有していることが好ましい。なお、Tgは動的粘弾性測定装置(DMA)により測定した貯蔵弾性率の変曲点の値により求めることができる。   Considering that the adhesive strength with the metal foil is exhibited and the heat resistance of the obtained metal-clad laminate is not impaired, the thermoplastic polyimide in the present invention has a glass transition temperature (Tg) in the range of 150 ° C to 300 ° C. ) Is preferable. In addition, Tg can be calculated | required from the value of the inflexion point of the storage elastic modulus measured with the dynamic viscoelasticity measuring apparatus (DMA).

本発明に係る熱可塑性ポリイミド層に含有される熱可塑性ポリイミドは、その前駆体のポリアミド酸からの転化反応により得られる。該ポリアミド酸の製造方法としては、非熱可塑性ポリイミドの前駆体、すなわち高耐熱性ポリイミド層の前駆体と同様、公知のあらゆる方法を用いることができる。   The thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic polyimide layer according to the present invention is obtained by a conversion reaction from the precursor polyamic acid. As the method for producing the polyamic acid, any known method can be used as in the case of the precursor of the non-thermoplastic polyimide, that is, the precursor of the high heat resistant polyimide layer.

本発明に係る熱可塑性ポリイミド層の特性を制御する目的で、必要に応じて無機あるいは有機物のフィラー、さらにはその他樹脂を添加しても良い。   For the purpose of controlling the properties of the thermoplastic polyimide layer according to the present invention, inorganic or organic fillers and other resins may be added as necessary.

(熱可塑性ポリイミド)
熱可塑性ポリイミド層に含有される熱可塑性ポリイミドとしては、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ポリアミドイミド、熱可塑性ポリエーテルイミド、熱可塑性ポリエステルイミド等を好適に用いることができる。中でも、寸法安定性、密着性の点から、熱可塑性ポリイミドが特に好適に用いられる。
(Thermoplastic polyimide)
As the thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic polyimide layer, thermoplastic polyimide, thermoplastic polyamideimide, thermoplastic polyetherimide, thermoplastic polyesterimide and the like can be suitably used. Among these, thermoplastic polyimide is particularly preferably used from the viewpoint of dimensional stability and adhesion.

本発明に用いられる熱可塑性ポリイミドの前駆体のポリアミド酸についても、特に限定されず、公知のあらゆるポリアミド酸を用いることができる。ポリアミド酸溶液の製造に関しても、非熱可塑性ポリイミドの前駆体の製造に用いられる芳香族酸二無水物および芳香族ジアミンなどの原料、溶媒、および前記製造条件等を全く同様に用いることができる。   The polyamic acid that is a precursor of the thermoplastic polyimide used in the present invention is not particularly limited, and any known polyamic acid can be used. Regarding the production of the polyamic acid solution, the raw materials such as aromatic dianhydride and aromatic diamine used for the production of the precursor of the non-thermoplastic polyimide, the solvent, and the production conditions can be used in exactly the same manner.

なお、熱可塑性ポリイミドは、使用する原料を種々組み合わせることにより諸特性を調節することができるが、一般に剛直構造の芳香族ジアミン使用比率が大きくなるとガラス転移温度が高くなったり、熱時の貯蔵弾性率が大きくなって、接着性・加工性が低くなるため好ましくない。剛直構造の芳香族ジアミン比率は好ましくは40mol%以下、さらに好ましくは30mol%以下、特に好ましくは20mol%以下である。   The properties of thermoplastic polyimide can be adjusted by combining various raw materials to be used, but generally the glass transition temperature increases and the storage elasticity during heat increases as the proportion of rigid aromatic diamine increases. This is not preferable because the rate increases and the adhesiveness and workability decrease. The ratio of the aromatic diamine having a rigid structure is preferably 40 mol% or less, more preferably 30 mol% or less, and particularly preferably 20 mol% or less.

本発明に特に好ましく用いられる芳香族ジアミンの例として、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジアミン、4,4'−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス〔4−(4−アミノフェノキシ)フェニル〕プロパンなどが挙げられ、これらを単独又は複数併用することができる。   Examples of aromatic diamines particularly preferably used in the present invention include 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 2,2′-dimethylbiphenyl-4,4′-diamine, 4,4′-bis (4 -Aminophenoxy) biphenyl, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane and the like can be mentioned, and these can be used alone or in combination.

本発明に特に好ましく用いられる芳香族酸二無水物の例として、4,4’−オキシジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物など挙げられ、これらを単独又は複数併用することができる。   Examples of aromatic dianhydrides particularly preferably used in the present invention include 4,4′-oxydiphthalic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, pyromellitic acid 2 An anhydride etc. are mentioned, These can be used individually or in combination.

熱可塑性ポリイミドの重合方法、重合用溶媒、反応温度や反応時間は特に限定されるのもではない。   The polymerization method of the thermoplastic polyimide, the polymerization solvent, the reaction temperature and the reaction time are not particularly limited.

ポリアミド酸をポリイミドとする際の硬化剤も特に限定されないが、例えば、中間層を製造する際に用いるものと同様のものを使用することができる。   The curing agent used when the polyamic acid is made of polyimide is not particularly limited, but for example, the same one as used when the intermediate layer is produced can be used.

(多層ポリイミドフィルム)
本発明の多層ポリイミドフィルムは、非熱可塑性ポリイミドフィルム(コア層)の少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層(中間層)を介して熱可塑性ポリイミド層(接着層)が設けられる構造を有することを特徴とする。
(Multilayer polyimide film)
The multilayer polyimide film of the present invention is thermoplastic on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide film (core layer) via a non-thermoplastic polyimide layer (intermediate layer) having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009. It has a structure in which a polyimide layer (adhesive layer) is provided.

本発明の多層ポリイミドフィルムは高周波回路用基板等に用いられるため、吸湿率が低い方が好ましい。具体的には0.1%〜1.3%であることがより好ましく、0.1%〜1.0%であることが特に好ましい。本発明の多層ポリイミドフィルムの比誘電率も低いほうが好ましい。具体的には、2.8〜3.6であることがより好ましく、2.8〜3.5であることが特に好ましい。   Since the multilayer polyimide film of the present invention is used for a high-frequency circuit substrate or the like, it is preferable that the moisture absorption rate is low. Specifically, it is more preferably 0.1% to 1.3%, and particularly preferably 0.1% to 1.0%. It is preferable that the dielectric constant of the multilayer polyimide film of the present invention is also low. Specifically, it is more preferably 2.8 to 3.6, and particularly preferably 2.8 to 3.5.

本発明の多層ポリイミドフィルムの誘電正接も低いほうが好ましい。具体的には0.001〜0.011であることがより好ましく、0.001〜0.009であることが特に好ましい。   The dielectric loss tangent of the multilayer polyimide film of the present invention is preferably low. Specifically, it is more preferably 0.001 to 0.011, and particularly preferably 0.001 to 0.009.

本発明の多層ポリイミドフィルムの全厚みは、特に限定されない。例えば、12μm〜54μmが好ましく、16.5μm〜48μmがより好ましい。全厚みがこの範囲内の場合は、フレキシブル配線板としては、適切な硬さと折り曲げ性を有することになり、またハンドリング性も良好であり、搬送中に裂けて製造工程を通らなくなるようなトラブルも発生しにくくなる。   The total thickness of the multilayer polyimide film of the present invention is not particularly limited. For example, 12 μm to 54 μm are preferable, and 16.5 μm to 48 μm are more preferable. If the total thickness is within this range, the flexible wiring board will have appropriate hardness and bendability, and it will have good handling properties, and will not break through the manufacturing process. Less likely to occur.

本発明のコア層、中間層の合計厚みは、特に限定されない。例えば、8μm〜50μmが好ましく、12.5μm〜44μmがより好ましい。コア層と中間層の厚みは上記合計厚みの好ましい範囲内で、任意に決めることができる。例えば、合計厚みの範囲において、中間層の厚みは3μm〜40μmがより好ましく、6μm〜35μmが特に好ましい。また、中間層の厚みの合計厚みに対する構成比率は30%〜80%がより好ましく、40%〜70%が特に好ましい。中間層の厚みがこの範囲内の場合は、中間層で多層ポリイミドフィルムの誘電正接を0.009以下に制御できる。   The total thickness of the core layer and the intermediate layer of the present invention is not particularly limited. For example, 8 μm to 50 μm is preferable, and 12.5 μm to 44 μm is more preferable. The thicknesses of the core layer and the intermediate layer can be arbitrarily determined within the preferable range of the total thickness. For example, in the total thickness range, the thickness of the intermediate layer is more preferably 3 μm to 40 μm, and particularly preferably 6 μm to 35 μm. Further, the composition ratio of the thickness of the intermediate layer to the total thickness is more preferably 30% to 80%, and particularly preferably 40% to 70%. When the thickness of the intermediate layer is within this range, the dielectric loss tangent of the multilayer polyimide film can be controlled to 0.009 or less in the intermediate layer.

接着層の厚み(片面)は、特に限定されない。例えば、1.7μm〜16μmが好ましく、1.7μm〜6μmがより好ましく、1.7μm〜4μmがさらに好ましい。接着層の厚み(片面)がこの範囲内の場合は金属箔表面の粗度にもよるが金属箔との密着性が良く、またエッチングした後の寸法変化率も良好となる傾向にある。また接着層が厚く、多層ポリイミドフィルムの全厚みに占める接着層の厚み構成比率が50%以下の場合はフレキシブル金属張積層板に加工した場合の寸法変化率が良好となる。多層ポリイミドフィルムの全厚みに占める接着層の厚み構成比率が8%〜32%となることがより好ましく、12%〜24%となることが特に好ましい。多層ポリイミドフィルムの全厚みに占める接着層の厚み構成比率がこの範囲内の場合は引き剥がし強度及び寸法安定性が良好となり、好ましい。   The thickness (one side) of the adhesive layer is not particularly limited. For example, 1.7 μm to 16 μm are preferable, 1.7 μm to 6 μm are more preferable, and 1.7 μm to 4 μm are even more preferable. When the thickness (single side) of the adhesive layer is within this range, although it depends on the roughness of the surface of the metal foil, the adhesion with the metal foil is good and the dimensional change rate after etching tends to be good. Moreover, when the adhesive layer is thick and the thickness component ratio of the adhesive layer occupying the total thickness of the multilayer polyimide film is 50% or less, the dimensional change rate when processed into a flexible metal-clad laminate is good. The thickness composition ratio of the adhesive layer in the total thickness of the multilayer polyimide film is more preferably 8% to 32%, and particularly preferably 12% to 24%. When the thickness composition ratio of the adhesive layer in the total thickness of the multilayer polyimide film is within this range, the peel strength and dimensional stability are favorable, which is preferable.

(多層ポリイミドフィルムの製造方法)
本発明の多層ポリイミドフィルムの製造方法において、非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層を介して熱可塑性ポリイミド層を設ける方法としては例えば以下の方法を挙げることができる。(i)コア層となる非熱可塑性ポリイミド層に中間層となる低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層を形成し、接着層となる熱可塑性ポリイミド層を形成する方法、(ii)コア層と中間層を多層押出し等で同時成形し、接着層となる熱可塑性ポリイミド層を形成する方法、(iii)コア層と中間層と接着層を多層押出し等で同時成形しする方法。
(Manufacturing method of multilayer polyimide film)
In the method for producing a multilayer polyimide film of the present invention, examples of a method for providing a thermoplastic polyimide layer on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide film through a non-thermoplastic polyimide layer having low dielectric loss tangent include the following methods. be able to. (I) A method of forming a thermoplastic polyimide layer as an adhesive layer by forming a non-thermoplastic polyimide layer having a low dielectric loss tangent property as an intermediate layer on a non-thermoplastic polyimide layer as a core layer, (ii) a core layer And a method of forming a thermoplastic polyimide layer as an adhesive layer by simultaneous molding of the intermediate layer and the intermediate layer by multilayer extrusion or the like, and (iii) a method of simultaneously molding the core layer, intermediate layer and adhesive layer by multilayer extrusion or the like.

前記(i)の手段で中間層を製造する場合、例えばコア層に中間層の前駆体溶液を塗工した後、まず中間層の前駆体溶液中の有機溶剤を大部分除去するため、比較的低い温度で加熱を行う。この段階での温度は50℃〜200℃の範囲が好ましい。次に、接着層の前駆体溶液を塗工し、接着層溶液中の有機溶剤の大部分を除去するため、比較的低い温度で加熱を行う。温度は50℃〜200℃の範囲が好ましい。   When the intermediate layer is produced by the means (i), for example, after applying the precursor solution of the intermediate layer to the core layer, first, most of the organic solvent in the precursor solution of the intermediate layer is removed. Heat at low temperature. The temperature at this stage is preferably in the range of 50 ° C to 200 ° C. Next, heating is performed at a relatively low temperature in order to apply the precursor solution of the adhesive layer and remove most of the organic solvent in the adhesive layer solution. The temperature is preferably in the range of 50 ° C to 200 ° C.

最後に、多層ポリイミドフィルム中における中間層、接着層中にわずかに残った溶剤の除去と、中間層、接着層のポリアミド酸のイミド化を行うため、多層ポリイミドフィルムを高い温度で加熱処理を行う。この段階での加熱処理温度は250℃以上が好ましい。250℃以上の温度で加熱処理を行う場合、寸法安定性、引き剥がし強度が良好となる。接着層中に溶剤が殆ど残っていない場合、この段階で熱可塑性ポリイミドの融点以上の温度をかけて加熱を行い、溶剤除去、接着層中の熱可塑性ポリイミドのイミド化、接着層の融解を一工程でまとめて行っても良い。熱可塑性ポリイミドの融点以上の温度は390℃程度と高温になることがあり、加熱後に急冷すると多層ポリイミドフィルムの急激な収縮が起こり、外観が悪化する可能性があるため、徐々に雰囲気温度を下げて徐冷する方が好ましい。   Finally, the multilayer polyimide film is heated at a high temperature in order to remove the solvent slightly remaining in the interlayer polyimide film and the adhesive layer and imidize the polyamic acid in the interlayer and adhesive layer. . The heat treatment temperature at this stage is preferably 250 ° C. or higher. When heat treatment is performed at a temperature of 250 ° C. or higher, dimensional stability and peel strength are good. If almost no solvent remains in the adhesive layer, heat is applied at a temperature equal to or higher than the melting point of the thermoplastic polyimide at this stage to remove the solvent, imidize the thermoplastic polyimide in the adhesive layer, and melt the adhesive layer. You may carry out collectively in a process. The temperature above the melting point of thermoplastic polyimide may be as high as about 390 ° C, and sudden cooling after heating may cause rapid shrinkage of the multilayer polyimide film, which may deteriorate the appearance. It is preferable to cool slowly.

前記(ii)の手段で多層ポリイミドフィルムを製造する場合、コア層と中間層を多層押出し等で同時成形した後、加熱して溶剤除去、コア層、中間層のイミド化、コア層、中間層の融解を行う。次に、接着層を形成し、加熱して溶剤除去、接着層のイミド化、融解を行う。ステップについては(i)と同様にして行えば良い。   When a multilayer polyimide film is produced by the means (ii) above, the core layer and the intermediate layer are simultaneously formed by multilayer extrusion or the like, and then heated to remove the solvent, the core layer, imidation of the intermediate layer, the core layer, the intermediate layer To melt. Next, an adhesive layer is formed and heated to remove the solvent, imidize and melt the adhesive layer. The steps may be performed in the same manner as (i).

前記(iii)の手段で多層ポリイミドフィルムを製造する場合、コア層と中間層と接着層を多層押出し等で同時成形した後、加熱して溶剤除去、イミド化、融解を行う。温度ステップについては(i)と同様にして行えば良い。   When the multilayer polyimide film is produced by the means (iii), the core layer, the intermediate layer, and the adhesive layer are simultaneously formed by multilayer extrusion or the like, and then heated to remove the solvent, imidize, and melt. The temperature step may be performed in the same manner as (i).

前記加熱手段としては特に限定されず、例えば、熱風方式、遠赤外線方式などをが挙げられ、これらを併用しても良い。また、加熱方法についても、バッチ処理、連続処理のどちらを用いても良いが、多層ポリイミドフィルムの生産性の観点からすると、連続処理が好ましい。   The heating means is not particularly limited, and examples thereof include a hot air system and a far infrared system, and these may be used in combination. As for the heating method, either batch processing or continuous processing may be used, but from the viewpoint of productivity of the multilayer polyimide film, continuous processing is preferable.

本発明に係る中間層、接着層及びコア層の製造方法では、熱キュア法、化学キュア法のいずれを採用しても構わないが、製造効率を考慮すると、コア層には化学キュア法を採用する方が特に好ましい。   In the manufacturing method of the intermediate layer, the adhesive layer, and the core layer according to the present invention, either a thermal curing method or a chemical curing method may be employed. However, in consideration of manufacturing efficiency, a chemical curing method is employed for the core layer. It is particularly preferable to do this.

本発明の製造方法は、前記(i)に関し、以下の(1)、(2)、(3)の工程を含むことが好ましい。   The production method of the present invention preferably includes the following steps (1), (2), and (3) with respect to (i).

つまり、非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を介して熱可塑性ポリイミド層が設けられる構造を有することを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、
(1)非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を少なくとも2層以上形成する工程、
(2)工程(1)で得られた非熱可塑性ポリイミド層を介して、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層して、加熱処理を行い、プレフィルムを得る工程、
(3)工程(2)で得られたプレフィルムにさらに加熱処理を行い、多層ポリイミドフィルムを得る工程、
を含むことを特徴とする、多層ポリイミドフィルムの製造方法、に関する。
That is, a multilayer having a structure in which a thermoplastic polyimide layer is provided on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide film via a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009. A method for producing a polyimide film,
(1) forming at least two or more non-thermoplastic polyimide layers having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film;
(2) A step of further laminating a thermoplastic polyimide layer through the non-thermoplastic polyimide layer obtained in step (1) and performing a heat treatment to obtain a prefilm,
(3) A step of further heat-treating the prefilm obtained in step (2) to obtain a multilayer polyimide film,
The manufacturing method of the multilayer polyimide film characterized by including.

(工程(1))
工程(1):非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を少なくとも2層以上形成する工程、について説明する。
(Process (1))
Step (1): A step of forming at least two non-thermoplastic polyimide layers having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film will be described.

非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を少なくとも2層以上形成する工程については特に限定されず、従来公知の方法が使用される。   The step of forming at least two non-thermoplastic polyimide layers having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film is not particularly limited, and a conventionally known method is used. Is done.

例えば、前記(i)、前記(ii)、前記(iii )の方法等が好適に例示される。   For example, the methods (i), (ii) and (iii) are preferably exemplified.

前記(i)の手段で中間層を製造する場合、例えば(i−1)コア層に中間層の前駆体溶液を塗工した後、中間層溶液中の有機溶剤を大部分を除去するため、比較的低い温度で加熱を行う方法がある。この段階での温度は50℃〜200℃の範囲が好ましい。この操作を少なくとも表面または裏面に繰返し行うことで、中間層を形成することができる。   When the intermediate layer is produced by the means (i), for example, (i-1) in order to remove most of the organic solvent in the intermediate layer solution after coating the intermediate layer precursor solution on the core layer, There is a method of heating at a relatively low temperature. The temperature at this stage is preferably in the range of 50 ° C to 200 ° C. By repeating this operation at least on the front surface or the back surface, the intermediate layer can be formed.

別の方法としては、(i−2)コア層に中間層の前駆体溶液を塗工後、中間層溶液中の有機溶剤を除去し、中間層のポリアミド酸のイミド化を行うため、フィルムを高い温度で加熱処理を行う方法があり、この操作を少なくとも表面または裏面に繰返し行うことで、中間層を形成することも選択できる。   As another method, (i-2) after coating the intermediate layer precursor solution on the core layer, the organic solvent in the intermediate layer solution is removed, and the polyamic acid in the intermediate layer is imidized. There is a method of performing heat treatment at a high temperature, and it is also possible to select to form an intermediate layer by repeating this operation at least on the front surface or the back surface.

前記(ii)の手段で多層ポリイミドフィルムを製造する場合、コア層と中間層を多層押出し等で同時成形した後、加熱して溶剤除去、コア層、中間層のイミド化、コア層、中間層の融解を行う。押出し時の中間層の数を2種以上とすることで、目的のフィルムが取得できる。   When a multilayer polyimide film is produced by the means (ii) above, the core layer and the intermediate layer are simultaneously formed by multilayer extrusion or the like, and then heated to remove the solvent, the core layer, imidation of the intermediate layer, the core layer, the intermediate layer To melt. By setting the number of intermediate layers at the time of extrusion to 2 or more, the target film can be obtained.

(i−1)の製法で行う場合、本発明における中間層の厚みは、多層ポリイミドフィルムの誘電正接を0.009以下に制御するために、合計厚みに対して40%〜70%の構成比率であることが好ましい。目的の厚みの中間層を片面1回で塗工すると、加熱工程での塗工面側へのフィルム端部の反り(カール)が大きく、ロールフィルムを歩留まり高く巻き取ることが難しい。カールは中間層の塗工により両面で膜厚のバランスが崩れたことにより、中間層の塗工面側への収縮応力が発生したことが原因で発生する。カールを抑制するためには、中間層を片面2回以上に分割して塗工し、1塗工あたりのカール量を抑制する必要がある。   When performing by the manufacturing method of (i-1), in order to control the dielectric loss tangent of a multilayer polyimide film to 0.009 or less, the thickness of the intermediate | middle layer in this invention is 40%-70% of composition ratio with respect to total thickness It is preferable that When the intermediate layer having the target thickness is applied once on one side, the warp (curl) of the film end toward the coated surface in the heating step is large, and it is difficult to wind the roll film with a high yield. Curling occurs because the balance of film thickness is lost on both sides due to the application of the intermediate layer, resulting in the occurrence of shrinkage stress on the coated surface side of the intermediate layer. In order to suppress curling, it is necessary to divide and coat the intermediate layer twice or more on one side to suppress the curl amount per coating.

本発明での歩留まりとは、フィルムの投入量から期待される生産量に対する実際にロールに巻き取られたフィルムの生産量の割合のことを言う。   The yield in the present invention refers to the ratio of the production amount of the film actually wound on a roll to the production amount expected from the input amount of the film.

例えば、合計厚みに対する構成比率が60%の中間層を塗工する場合の、カールを抑制する塗工方法、片面(表面)に構成比率の15%を2回に分割して塗工し、他の片面(裏面)に構成比率の30%塗工する方法を一例として説明する。まず、表面に15%塗工、乾燥後は表面側に中間層15%分の収縮応力が働く。次に、裏面に30%塗工、乾燥後は裏面側の厚みが表面よりも15%分多くなるため、裏面側に概ね15%分の収縮応力が働く。最後に表面に15%塗工、乾燥後は、表面と裏面の中間層の体積が同じになるため、収縮応力は概ねキャンセルされる。   For example, when coating an intermediate layer with a composition ratio of 60% of the total thickness, a coating method that suppresses curling, 15% of the composition ratio is applied twice on one side (surface), etc. A method of coating 30% of the composition ratio on one side (back side) will be described as an example. First, 15% coating is applied to the surface, and after drying, a shrinkage stress corresponding to 15% of the intermediate layer acts on the surface side. Next, 30% coating is applied to the back surface, and after drying, the thickness on the back surface side is increased by 15% from the front surface, so that a contraction stress of approximately 15% acts on the back surface side. Finally, after 15% coating on the surface and drying, the volume of the intermediate layer on the front and back surfaces is the same, so the shrinkage stress is generally canceled.

塗工工程における中間層の厚みの合計厚みに対する表面と裏面の構成比率の差はカール量を考えた場合、20%以下が好ましく、巻き取りの歩留まりの観点で17%〜20%がさらに好ましく、塗工回数と歩留まりのバランスを考慮すると12%〜17%が最も好ましい。20%を超えると巻取りの歩留まりが悪くなり、12%以下であると、塗工回数が増えるため工程が煩雑となりコストアップに繋がる。
最終的には、各塗工工程の歩留まりを掛け合わせた総歩留まりと塗工回数のバランスを考え、条件を決定する必要がある。
The difference in the composition ratio between the front surface and the back surface with respect to the total thickness of the intermediate layer in the coating process is preferably 20% or less, more preferably 17% to 20% from the viewpoint of the winding yield when considering the curl amount. Considering the balance between the number of coatings and the yield, 12% to 17% is most preferable. If it exceeds 20%, the yield of winding will be poor, and if it is 12% or less, the number of times of coating will increase and the process will become complicated, leading to an increase in cost.
Ultimately, it is necessary to determine the conditions in consideration of the balance between the total yield multiplied by the yield of each coating process and the number of times of coating.

また本発明においては、積層した少なくとも一つ以上の中間層のTD方向の幅が異なることが好ましい。   Moreover, in this invention, it is preferable that the width | variety of the TD direction of at least 1 or more laminated | stacked intermediate | middle layers differs.

カールの抑制方法としては、上記で説明した表面と裏面での塗工厚みのコントロールによる方法と、表面と裏面でのTD方向の幅によっても調整することができる。   The curling suppression method can be adjusted by the above-described method of controlling the coating thickness on the front and back surfaces and the width in the TD direction on the front and back surfaces.

カール(フィルム端部の反り)は、塗工端部の表面と裏面の応力バランスが崩れることで発生するため、表面と裏面でTD方向の幅を変えることで、塗工、乾燥時のカールを抑制することができる。   Curling (curvature of the film edge) occurs when the stress balance between the front and back surfaces of the coating is broken, so changing the width in the TD direction on the front and back surfaces can reduce the curl during coating and drying. Can be suppressed.

カールが過度に発生すると歩留まりの低下とともに、中間層に熱可塑性ポリイミドを積層して得られる多層ポリイミドフィルムを用いるフレキシブル銅張積層板(FCCL)の製造が困難になる原因ともなりうる。   If curling occurs excessively, the yield may be lowered, and it may be difficult to produce a flexible copper clad laminate (FCCL) using a multilayer polyimide film obtained by laminating thermoplastic polyimide on the intermediate layer.

例えば、合計厚みに対する構成比率が60%の中間層を塗工する場合、片面(表面)に構成比率の15%、片面(裏面)に構成比率の30%塗工後、片面(表面)に構成比率の15%塗工する方法を一例として説明する。   For example, when an intermediate layer having a composition ratio of 60% with respect to the total thickness is applied, 15% of the composition ratio is applied to one surface (front surface), and 30% of the composition ratio is applied to one surface (back surface), then the composition is formed on one surface (front surface). A method of coating 15% of the ratio will be described as an example.

表面に15%塗工、乾燥後は表面側に中間層15%分の収縮応力が働く。裏面に30%塗工する場合、表面と同じ幅で裏面を塗工すると、裏面側の体積が多い分だけ、裏面側に概ね15%分の収縮応力が働く。この際、裏面のTD方向の幅を表面よりも内側に入れる(比べ短くする)と、塗工端部の体積が大きい表面側への収縮応力が発生するため、トータルとして裏面側への収縮応力が15%分よりも少なくなる。   15% coating on the surface, and after drying, the shrinkage stress of 15% of the intermediate layer acts on the surface side. When 30% coating is applied to the back surface, if the back surface is applied with the same width as the front surface, a shrinkage stress of approximately 15% acts on the back surface side by the amount of volume on the back surface side. At this time, if the width in the TD direction of the back surface is set inside (compared to be shorter) than the front surface, shrinkage stress to the front surface side where the volume of the coating end is large is generated. Is less than 15%.

続いて表面に15%塗工する場合は、塗工、乾燥後の応力バランスを考慮し、TD方向の幅を決定することが必要となる。   Subsequently, when applying 15% to the surface, it is necessary to determine the width in the TD direction in consideration of the stress balance after coating and drying.

(工程(2))
工程(2):工程(1)で得られた非熱可塑性ポリイミド層を介して、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層して、加熱処理を行い、プレフィルムを得る工程、について説明する。
(Process (2))
Step (2): A step of further laminating a thermoplastic polyimide layer through the non-thermoplastic polyimide layer obtained in step (1) and performing a heat treatment to obtain a prefilm will be described.

本発明の多層ポリイミドフィルムの製造方法において、さらに中間層を介して熱可塑性ポリイミド層を積層し、多層ポリイミドフィルムを得る手段については、熱可塑性ポリイミド層の前駆体溶液を塗工し、熱可塑性ポリイミド層の前駆体溶液中の有機溶剤の大部分を除去するため、比較的低い温度で加熱を行う。この際の温度は50℃〜200℃の範囲が好ましい。   In the method for producing a multilayer polyimide film of the present invention, a thermoplastic polyimide layer is further laminated via an intermediate layer, and a means for obtaining a multilayer polyimide film is obtained by applying a thermoplastic polyimide layer precursor solution, Heating is performed at a relatively low temperature to remove most of the organic solvent in the layer precursor solution. The temperature at this time is preferably in the range of 50 ° C to 200 ° C.

本発明における熱可塑性ポリイミド層の厚みの合計厚みに対するより好ましい構成比率は12%〜24%である。そのため、合計厚みに対する表面と裏面の構成比率の差が6%〜12%となるため中間層で行った構成厚みを2回以上に分割して塗工することは必須ではないが、カール抑制のために用いることができる。   The more preferable composition ratio with respect to the total thickness of the thickness of the thermoplastic polyimide layer in the present invention is 12% to 24%. Therefore, since the difference in the composition ratio of the front surface and the back surface with respect to the total thickness is 6% to 12%, it is not essential to divide the composition thickness performed in the intermediate layer twice or more, but curling suppression Can be used for

(工程(3))
工程(3):工程(2)で得られたプレフィルムにさらに加熱処理を行い、多層ポリイミドフィルムを得る工程、について説明する。
(Process (3))
Step (3): The step of further heat-treating the prefilm obtained in step (2) to obtain a multilayer polyimide film will be described.

多層ポリイミドフィルム中における中間層、および熱可塑性ポリイミド層中に僅かに残った溶剤の除去と、中間層、および熱可塑性ポリイミド層に残存するポリアミド酸のイミド化を行うため、多層ポリイミドフィルムを高い温度で加熱処理を行う。この段階での加熱処理温度は250℃以上が好ましい。250℃以上の温度で加熱処理を行う場合、寸法安定性、引き剥がし強度が良好となる。熱可塑性ポリイミド層中に溶剤が殆ど残っていない場合、この段階で熱可塑性ポリイミドの融点以上の温度をかけて加熱を行い、溶剤除去、熱可塑性ポリイミドのイミド化、熱可塑性ポリイミド層の融解を一工程でまとめて行っても良い。熱可塑性ポリイミドの融点以上の温度は390℃程度と高温であるため、加熱後に急冷すると多層ポリイミドフィルムの急激な収縮が起こり、外観が悪化する可能性があるため、徐々に雰囲気温度を下げて徐冷する方が好ましい。   In order to remove the solvent slightly remaining in the interlayer polyimide film and the thermoplastic polyimide layer and imidize the polyamic acid remaining in the interlayer polyimide film, the multilayer polyimide film is heated to a high temperature. Heat treatment is performed at The heat treatment temperature at this stage is preferably 250 ° C. or higher. When heat treatment is performed at a temperature of 250 ° C. or higher, dimensional stability and peel strength are good. If almost no solvent remains in the thermoplastic polyimide layer, heat is applied at a temperature equal to or higher than the melting point of the thermoplastic polyimide at this stage to remove the solvent, imidize the thermoplastic polyimide, and melt the thermoplastic polyimide layer. You may carry out collectively in a process. Since the temperature above the melting point of the thermoplastic polyimide is as high as about 390 ° C., rapid cooling after heating may cause rapid shrinkage of the multilayer polyimide film, which may deteriorate the appearance. It is preferable to cool.

前記加熱手段としては特に限定されず、例えば、熱風方式、遠赤外線方式などをが挙げられ、これらを併用しても良い。また、加熱方法についても、バッチ処理、連続処理のどちらを用いても良いが、多層ポリイミドフィルムの生産性の観点からすると、連続処理が好ましい。   The heating means is not particularly limited, and examples thereof include a hot air system and a far infrared system, and these may be used in combination. As for the heating method, either batch processing or continuous processing may be used, but from the viewpoint of productivity of the multilayer polyimide film, continuous processing is preferable.

本発明の中間層、熱可塑性ポリイミド層及びその製造方法では、熱キュア法、化学キュア法のいずれを採用しても構わないが、製造効率を考慮すると、コア層には化学キュア法を採用する方が特に好ましい。   In the intermediate layer, the thermoplastic polyimide layer, and the manufacturing method thereof according to the present invention, either a thermal curing method or a chemical curing method may be employed. However, in consideration of manufacturing efficiency, a chemical curing method is employed for the core layer. Is particularly preferred.

本発明においては、前記工程(1)の10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層(中間層)の、フィルムの流れ方向(MD方向)と垂直なTD方向の積層幅(以下、単に幅ともいう)と、工程(2)の10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を介して、さらに積層する熱可塑性ポリイミド層の幅が異なっていてもよい。   In the present invention, the non-thermoplastic polyimide layer (intermediate layer) whose dielectric loss tangent at 10 GHz in the step (1) is 0.001 to 0.009, in the TD direction perpendicular to the film flow direction (MD direction). The width of the thermoplastic polyimide layer to be further laminated through the non-thermoplastic polyimide layer having a lamination width (hereinafter, also simply referred to as width) and a dielectric loss tangent at 10 GHz of step (2) of 0.001 to 0.009. May be different.

例えば、工程(1)の中間層の幅および工程(2)の熱可塑性ポリイミド層の幅は、コア層となる非熱可塑性ポリイミドフィルムの幅より狭ければ特に限定されない。カールの抑制や他のエッジ部の凹凸等の課題を解決できれば、工程(1)の中間層の幅と工程(2)の熱可塑性ポリイミド層幅のいずれがより広くても問題ないが、工程(1)の中間層の幅の方がより広い方が生産効率の観点からは好ましい。工程(2)の熱可塑性ポリイミド層の幅もカールの抑制が可能であれば特に限定されない。工程(1)の中間層の幅と工程(2)の熱可塑性ポリイミド層の幅のいずれがより広くても問題ないが、工程(2)の熱可塑性ポリイミド層の幅の方がより広い方が銅箔などの金属箔との接着性の観点から好ましい。   For example, the width of the intermediate layer in the step (1) and the width of the thermoplastic polyimide layer in the step (2) are not particularly limited as long as they are narrower than the width of the non-thermoplastic polyimide film serving as the core layer. If problems such as curling suppression and other edge irregularities can be solved, there is no problem whether the width of the intermediate layer in step (1) or the width of the thermoplastic polyimide layer in step (2) is wider. From the viewpoint of production efficiency, the width of the intermediate layer 1) is preferably wider. The width of the thermoplastic polyimide layer in the step (2) is not particularly limited as long as curling can be suppressed. It does not matter whether the width of the intermediate layer in step (1) or the width of the thermoplastic polyimide layer in step (2) is wider, but the width of the thermoplastic polyimide layer in step (2) is wider. It is preferable from the viewpoint of adhesiveness with a metal foil such as a copper foil.

(金属箔)
本発明において用いることができる金属箔としては特に限定されるものではない。例えば、電子機器・電気機器用途に本発明のフレキシブル金属張積層板を用いる場合には、例えば、銅または銅合金、ステンレス鋼またはその合金、ニッケルまたはニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔を挙げることができる。一般的なフレキシブル積層板では、圧延銅箔、電解銅箔といった銅箔が多用されるが、本発明においても好ましく用いることができる。なお、これらの金属箔の表面には、防錆剤や耐熱性付与剤あるいは接着剤が塗布されていてもよい。また、上記金属箔の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよい。金属箔の表面は平滑な方が伝送損失低減のためには好ましく、Ra1.0μm以下の銅箔が好ましく用いられ得る。高速伝送用の平滑な銅箔は各社から市販されている。本発明で使用される多層ポリイミドフィルムは、接着層が熱可塑性ポリイミドであるため銅箔との密着性が高く、一般にアンカー効果が得られにくくなる平滑な銅箔とも良好な密着を得られる点で優れている。
(Metal foil)
The metal foil that can be used in the present invention is not particularly limited. For example, when the flexible metal-clad laminate of the present invention is used for electronic equipment / electric equipment, for example, copper or copper alloy, stainless steel or alloy thereof, nickel or nickel alloy (including 42 alloy), aluminum or aluminum A foil made of an alloy can be mentioned. In general flexible laminates, copper foil such as rolled copper foil and electrolytic copper foil is frequently used, but it can also be preferably used in the present invention. In addition, the surface of these metal foils may be coated with a rust inhibitor, a heat resistance imparting agent, or an adhesive. Moreover, it does not specifically limit about the thickness of the said metal foil, According to the use, what is necessary is just the thickness which can exhibit a sufficient function. A smooth surface of the metal foil is preferable for reducing transmission loss, and a copper foil of Ra 1.0 μm or less can be preferably used. Smooth copper foil for high-speed transmission is commercially available from various companies. The multilayer polyimide film used in the present invention has a high adhesiveness to the copper foil because the adhesive layer is a thermoplastic polyimide, and generally provides a good adhesion with a smooth copper foil that makes it difficult to obtain an anchor effect. Are better.

(フレキシブル金属張積層板)
本発明のフレキシブル金属張積層板を製造するために、多層ポリイミドフィルムと金属箔を貼り合わせる方法としては、例えば、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置或いはダブルベルトプレス(DBP)による連続処理を用いることができる。中でも、装置構成が単純であり保守コストの面で有利であるという点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましい。また、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置で金属箔と貼り合わせた場合に特に寸法変化が発生しやすいことから、本発明の多層ポリイミドフィルムは、熱ロールラミネート装置で金属箔と張り合わせた場合に顕著な効果を発現する。ここでいう「一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置」とは、材料を加熱加圧するための金属ロールを有している装置であればよく、その具体的な装置構成は特に限定されるものではない。
(Flexible metal-clad laminate)
In order to manufacture the flexible metal-clad laminate of the present invention, as a method of laminating a multilayer polyimide film and a metal foil, for example, a continuous treatment by a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls or a double belt press (DBP) Can be used. Among these, it is preferable to use a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls because the apparatus configuration is simple and advantageous in terms of maintenance cost. In addition, since a dimensional change is particularly likely to occur when bonded to a metal foil with a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls, the multilayer polyimide film of the present invention was bonded to the metal foil with a hot roll laminating apparatus. In some cases, a significant effect is exhibited. The “heat roll laminating apparatus having a pair of metal rolls” herein may be an apparatus having a metal roll for heating and pressurizing a material, and the specific apparatus configuration is particularly limited. It is not a thing.

上記熱ラミネートを実施する手段の具体的な構成は特に限定されるものではないが、得られる積層板の外観を良好なものとするために、加圧面と金属箔との間に保護材料を配置することが好ましい。保護材料としては、熱ラミネート工程の加熱温度に耐えうる材料、すなわち、耐熱性プラスチック、銅箔、アルミニウム箔、SUS箔等の金属箔等が挙げられ、ラミネート温度よりも50℃以上の高い耐熱性を有する材料が好ましく用いられる。また、保護材料の厚みはラミネート時の緩衝並びに保護の役目を十分に果たすことができれば、特に限定されない。例えば、保護材料の厚みは75μm以上であることが好ましい。   The specific configuration of the means for carrying out the thermal lamination is not particularly limited, but a protective material is disposed between the pressing surface and the metal foil in order to improve the appearance of the resulting laminate. It is preferable to do. Examples of the protective material include materials that can withstand the heating temperature of the heat laminating process, that is, metal foil such as heat-resistant plastic, copper foil, aluminum foil, SUS foil, and the like. A material having the following is preferably used. The thickness of the protective material is not particularly limited as long as it can sufficiently serve as a buffer and a protective layer during lamination. For example, the thickness of the protective material is preferably 75 μm or more.

以下、実施例及び比較例に基づき、本発明について更に具体的に説明する。なお、本発明は下記実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, based on an Example and a comparative example, it demonstrates still more concretely about this invention. In addition, this invention is not limited to the following Example.

(フィルムの厚み)
接触式厚み計Mitsutoyo社製LASER HOLOGAGEを使用してフィルムの厚みを測定した。
(Film thickness)
The thickness of the film was measured using LASER HOLOGAGE manufactured by Mitsutoyo.

(誘電正接の測定)
誘電正接は、HEWLETTPACKARD社製のネットワークアナライザ8719Cと株式会社関東電子応用開発製の空洞共振器振動法誘電率測定装置CP511を用いて測定した。サンプルを2mm×100mmに切り出し、23℃/55%RH環境下で24時間調湿後に測定を行った。測定は10GHzで行った。
(Measurement of dielectric loss tangent)
The dielectric loss tangent was measured using a network analyzer 8719C manufactured by HEWLETPACKARD and a cavity resonator vibration method dielectric constant measuring apparatus CP511 manufactured by Kanto Electronics Co., Ltd. A sample was cut into 2 mm × 100 mm, and the measurement was performed after conditioning for 24 hours in a 23 ° C./55% RH environment. The measurement was performed at 10 GHz.

(歩留まり)
中間層1、2、3の各工程歩留まりは、以下のAおよびBを用い、B/A×100で算出した。また、総歩留まりは、中間層1、2、3の歩留まりを掛け合わせて算出した。
A:フィルムの投入量から見積もられる生産量
B:実際にロールに巻き取られたフィルムの生産量
(Yield)
Each process yield of the intermediate layers 1, 2, and 3 was calculated by B / A × 100 using the following A and B. The total yield was calculated by multiplying the yields of the intermediate layers 1, 2, and 3.
A: Production amount estimated from the input amount of film B: Production amount of film actually wound on a roll

(合成例1:低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液の合成)
容量100Lの反応槽に、ジメチルホルムアミド(DMF)62.9kg、パラフェニレンジアミン(PDA)2.3kgを加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)5.6kgを徐々に添加した。続いて、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)2.6kg、BPDA1.1kgを加え、ピロメリット酸二無水物(PMDA)0.5kgを添加し、1時間攪拌して溶解させた。PMDA0.2kgをDMF2.5kgに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が1000ポイズに達したところで添加、撹拌をやめ、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液となるポリアミド酸溶液1を得た。
(Synthesis Example 1: Synthesis of a precursor solution of non-thermoplastic polyimide having low dielectric loss tangent)
To a reaction vessel having a capacity of 100 L, 62.9 kg of dimethylformamide (DMF) and 2.3 kg of paraphenylenediamine (PDA) are added, and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid is stirred under a nitrogen atmosphere. 5.6 kg of dianhydride (BPDA) was gradually added. Subsequently, 2.6 kg of 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R) and 1.1 kg of BPDA were added, 0.5 kg of pyromellitic dianhydride (PMDA) was added, and the mixture was stirred for 1 hour. And dissolved. A solution in which 0.2 kg of PMDA was dissolved in 2.5 kg of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the reaction solution while being careful of the viscosity and stirred. When the viscosity reached 1000 poise, the addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution 1 serving as a precursor solution of non-thermoplastic polyimide having low dielectric loss tangent.

上記ポリアミド酸溶液をアルミ基材の上に、乾燥後厚みが20μmになるように塗工し、120℃で3分間加熱後、350℃で120秒乾燥を行い単層フィルムを得た。このフィルムの誘電正接は0.004であった。   The polyamic acid solution was coated on an aluminum substrate so that the thickness after drying was 20 μm, heated at 120 ° C. for 3 minutes, and then dried at 350 ° C. for 120 seconds to obtain a single layer film. The dielectric loss tangent of this film was 0.004.

(合成例2:熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液の合成)
容量100Lの反応槽に、ジメチルホルムアミド(DMF)64.1kg、BPDA7.7kgを加え、窒素雰囲気下で攪拌しながら、TPE−R1.1kgを徐々に添加した。TPE−R2kgをDMF40kgに溶解させた溶液を別途調製し、これを上記反応溶液に、粘度に注意しながら徐々に添加、撹拌を行った。粘度が1000ポイズに達したところで添加、撹拌をやめ、熱可塑性ポリイミドの前駆体溶液となるポリアミド酸溶液2を得た。
(Synthesis Example 2: Synthesis of precursor solution of thermoplastic polyimide)
To a reaction vessel having a capacity of 100 L, 64.1 kg of dimethylformamide (DMF) and 7.7 kg of BPDA were added, and 1.1 kg of TPE-R was gradually added while stirring under a nitrogen atmosphere. A solution in which 2 kg of TPE-R was dissolved in 40 kg of DMF was separately prepared, and this was gradually added to the reaction solution while being careful of the viscosity and stirred. When the viscosity reached 1000 poise, the addition and stirring were stopped to obtain a polyamic acid solution 2 to be a precursor solution of thermoplastic polyimide.

(実施例1)
9μm厚の高耐熱性ポリイミドフィルム(アピカル(登録商標)9FP、カネカ製、1600mm幅ロールフィルム)をコア層として、このコア層の片面(A面)の端部10mm(a=10mm)より内側に合成例1で得られたポリアミド酸溶液1を固形分濃度8.0重量%になるまでDMFで希釈した溶液を、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド(中間層1となる)の最終片面厚みが2.5μmとなるようにポリアミド酸溶液を塗工後、120℃で2分間加熱を行った。続いて、コア層の他の片面(B面)の端部20mm(b=20mm)より内側に、合成例1で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度8.0重量%になるまでDMFで希釈した溶液を、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド(中間層2となる)の最終片面厚みが5μmとなるようにポリアミド酸溶液を塗布した後、120℃で2分間加熱を行った。続いて、A面の端部15mm(c=15mm)より内側に合成例1で得られたポリアミド酸溶液を固形分濃度8.0重量%になるまでDMFで希釈した溶液を、低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド(中間層3となる)の最終片面厚みが2.5μmとなるようにポリアミド酸溶液を塗布した後、120℃で2分間加熱を行った。中間層塗工の歩留まりの結果を表1に示す。非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を図3に示す。
Example 1
9 μm thick high heat-resistant polyimide film (Apical (registered trademark) 9FP, Kaneka, 1600 mm wide roll film) is used as a core layer, and the inner side from the end 10 mm (a = 10 mm) of one side (A side) of this core layer The final single side of the non-thermoplastic polyimide having low dielectric loss tangent property (the intermediate layer 1) obtained by diluting the polyamic acid solution 1 obtained in Synthesis Example 1 with DMF until the solid content concentration becomes 8.0% by weight. The polyamic acid solution was applied so that the thickness was 2.5 μm, and then heated at 120 ° C. for 2 minutes. Subsequently, the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 1 was added with DMF until the solid content concentration became 8.0 wt% on the inner side from the end 20 mm (b = 20 mm) of the other side (B side) of the core layer. The dilute solution was coated with a polyamic acid solution so that the final one-side thickness of the non-thermoplastic polyimide having low dielectric loss tangent property (to be the intermediate layer 2) was 5 μm, and then heated at 120 ° C. for 2 minutes. Subsequently, a solution obtained by diluting the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 1 with DMF to a solid content concentration of 8.0% by weight on the inner side from the end 15 mm (c = 15 mm) of the A surface is low dielectric loss tangent. After applying the polyamic acid solution so that the final single-sided thickness of the non-thermoplastic polyimide (having the intermediate layer 3) having a thickness of 2.5 μm was heated at 120 ° C. for 2 minutes. Table 1 shows the results of the intermediate layer coating yield. The structure of the non-thermoplastic polyimide film and the non-thermoplastic polyimide layer having a low dielectric loss tangent is shown in FIG.

続いて、コア層の両面に塗布された中間層の外面に、熱可塑性ポリイミド(接着層となる)の最終片面厚みが3μmとなるように、合成例2で得られたポリアミド酸溶液2を固形分濃度8.0重量%になるまでDMFで希釈したポリアミド酸溶液を塗布した後、120℃で2分間加熱を行い、多層ポリイミドフィルムを得た。得られた多層ポリイミドフィルムに厚み12μmの圧延銅箔(GHY5−93F−HA;JX日鉱日石製)を熱ラミネートしたが、特に問題なくフレキシブル銅箔積層板(FCCL)を製造することができた。   Subsequently, the polyamic acid solution 2 obtained in Synthesis Example 2 is solidified on the outer surface of the intermediate layer applied to both surfaces of the core layer so that the final single-sided thickness of the thermoplastic polyimide (which becomes an adhesive layer) is 3 μm. After applying a polyamic acid solution diluted with DMF to a partial concentration of 8.0% by weight, heating was performed at 120 ° C. for 2 minutes to obtain a multilayer polyimide film. A rolled copper foil (GHY5-93F-HA; manufactured by JX Nippon Mining & Metals) having a thickness of 12 μm was thermally laminated on the obtained multilayer polyimide film, but a flexible copper foil laminate (FCCL) could be produced without any particular problem. .

(実施例2)
中間層3の端部の位置を25mm(c=25mm)に変えた以外は、実施例1と同様に作製し、積層フィルムの作製を行った。中間層塗工の歩留まりの結果を表1に示す。非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を図4に示す。
(Example 2)
A laminated film was produced in the same manner as in Example 1 except that the position of the end of the intermediate layer 3 was changed to 25 mm (c = 25 mm). Table 1 shows the results of the intermediate layer coating yield. The structure of a non-thermoplastic polyimide film and a non-thermoplastic polyimide layer having a low dielectric loss tangent is shown in FIG.

(実施例3)
中間層1、中間層2、中間層3のいずれも端部の位置を10mm(a=10mm、b=10mm、c=10mm)に変えた以外は、実施例1と同様に作製し、積層フィルムの作製を行った。中間層塗工の歩留まりの結果を表1に示す。非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を図5に示す。
(Example 3)
Each of the intermediate layer 1, the intermediate layer 2, and the intermediate layer 3 was produced in the same manner as in Example 1 except that the end position was changed to 10 mm (a = 10 mm, b = 10 mm, c = 10 mm), and a laminated film Was made. Table 1 shows the results of the intermediate layer coating yield. The structure of a non-thermoplastic polyimide film and a non-thermoplastic polyimide layer having a low dielectric loss tangent is shown in FIG.

(比較例1)
中間層1の最終片面厚みを5μm(a=5mm)とし、中間層2の端部の位置を10mm(b=10mm)とし、中間層3を塗布しないこと以外は、実施例1と同様に作製し、積層フィルムの作製を行った。中間層塗工の歩留まりの結果を表1に示す。非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を図6に示す。
(Comparative Example 1)
Fabricated in the same manner as in Example 1 except that the final single-sided thickness of the intermediate layer 1 is 5 μm (a = 5 mm), the position of the end of the intermediate layer 2 is 10 mm (b = 10 mm), and the intermediate layer 3 is not applied. Then, a laminated film was produced. Table 1 shows the results of the intermediate layer coating yield. The structure of the non-thermoplastic polyimide film and the non-thermoplastic polyimide layer having low dielectric loss tangent is shown in FIG.

さらに実施例1と同様に合成例2で得られたポリアミド酸溶液2を塗布し、圧延銅箔を熱ラミネートしようと試みたものの、多層ポリイミドフィルムのカールがきつく、FCCLを得ることができなかった。   Further, as in Example 1, the polyamic acid solution 2 obtained in Synthesis Example 2 was applied and an attempt was made to heat laminate the rolled copper foil, but the curl of the multilayer polyimide film was tight and FCCL could not be obtained. .

(比較例2)
コア層の片面(A面)の端部20mm(a=20mm)より内側に、最終片面厚みが5μmとなるように中間層1を、コア層の他の片面(B面)の端部10mm(b=10mm)より内側に、最終片面厚みが2.5μmとなるように作成し、さらにB面の端部25mm(c=25mm)より内側に、最終片面厚みが2.5μmとなるように中間層3を塗工し、その他は実施例1と同様に作製し、積層フィルムの作製を行った。中間層塗工の歩留まりの結果を表1に示す。非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を図7に示す。
(Comparative Example 2)
The intermediate layer 1 is placed inside the end 20 mm (a = 20 mm) on one side (A side) of the core layer so that the final single side thickness is 5 μm, and the end 10 mm on the other side (B side) of the core layer ( (b = 10 mm) inside, so that the final single-sided thickness is 2.5 μm, and further inside the B-side end 25 mm (c = 25 mm), so that the final single-sided thickness is 2.5 μm. Layer 3 was applied, and the others were produced in the same manner as in Example 1 to produce a laminated film. Table 1 shows the results of the intermediate layer coating yield. FIG. 7 shows the configuration of a non-thermoplastic polyimide film and a non-thermoplastic polyimide layer having a low dielectric loss tangent.

実施例1と同様に合成例2で得られたポリアミド酸溶液2を塗布し、圧延銅箔を熱ラミネートしようと試みたものの、多層ポリイミドフィルムのカールがきつく、FCCLを得ることができなかった。   As in Example 1, the polyamic acid solution 2 obtained in Synthesis Example 2 was applied and an attempt was made to heat laminate the rolled copper foil, but the multilayer polyimide film was curled and FCCL could not be obtained.

(比較例3)
中間層1、中間層2、中間層3のいずれも端部の位置を10mm(a=10mm、b=10mm、c=10mm)に変えた以外は、比較例2と同様に作製し、積層フィルムの作製を行った。中間層塗工の歩留まりの結果を表1に示す。非熱可塑性ポリイミドフィルムと低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層の構成を図8に示す。
(Comparative Example 3)
Each of the intermediate layer 1, the intermediate layer 2, and the intermediate layer 3 was prepared in the same manner as in Comparative Example 2 except that the end position was changed to 10 mm (a = 10 mm, b = 10 mm, c = 10 mm), and a laminated film Was made. Table 1 shows the results of the intermediate layer coating yield. FIG. 8 shows the configuration of a non-thermoplastic polyimide film and a non-thermoplastic polyimide layer having a low dielectric loss tangent.

実施例1と同様に合成例2で得られたポリアミド酸溶液2を塗布し、圧延銅箔を熱ラミネートしようと試みたものの、多層ポリイミドフィルムのカールがきつく、FCCLを得ることができなかった。   As in Example 1, the polyamic acid solution 2 obtained in Synthesis Example 2 was applied and an attempt was made to heat laminate the rolled copper foil, but the multilayer polyimide film was curled and FCCL could not be obtained.

(考察)
実施例と比較例の結果より、少なくとも片面に2層以上のフィルムを積層することで、歩留まりを向上することが確認された。
(Discussion)
From the results of Examples and Comparative Examples, it was confirmed that the yield was improved by laminating two or more layers on at least one side.

1.非熱可塑性ポリイミドフィルム
2、21、22、23.低誘電正接性を有する非熱可塑性ポリイミド層
3.熱可塑性ポリイミド層
4.多層ポリイミドフィルム
1. Non-thermoplastic polyimide film 2, 21, 22, 23. 2. Non-thermoplastic polyimide layer having low dielectric loss tangent 3. Thermoplastic polyimide layer Multilayer polyimide film

Claims (3)

非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に、10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を積層し、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層することを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、
(1)非熱可塑性ポリイミドフィルムの少なくとも片面に10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層を少なくとも2層以上形成する工程、
(2)工程(1)で得られた非熱可塑性ポリイミド層を介して、さらに熱可塑性ポリイミド層を積層して、加熱処理を行い、プレフィルムを得る工程、
(3)工程(2)で得られたプレフィルムにさらに加熱処理を行い、多層ポリイミドフィルムを得る工程、
を含むことを特徴とする、多層ポリイミドフィルムの製造方法。
A multilayer polyimide film characterized by laminating a non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film, and further laminating a thermoplastic polyimide layer. A manufacturing method comprising:
(1) forming at least two or more non-thermoplastic polyimide layers having a dielectric loss tangent at 10 GHz of 0.001 to 0.009 on at least one surface of the non-thermoplastic polyimide film;
(2) A step of further laminating a thermoplastic polyimide layer through the non-thermoplastic polyimide layer obtained in step (1) and performing a heat treatment to obtain a prefilm,
(3) A step of further heat-treating the prefilm obtained in step (2) to obtain a multilayer polyimide film,
The manufacturing method of the multilayer polyimide film characterized by including.
前記工程(1)の10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層の幅と、工程(2)の10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層の幅が異なることを特徴とする、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。   The width of the non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent at 10 GHz in the step (1) of 0.001 to 0.009 and the non-heat in which the dielectric loss tangent at 10 GHz of the step (2) is 0.001 to 0.009. The method for producing a multilayer polyimide film according to claim 1, wherein the widths of the plastic polyimide layers are different. 前記10GHzにおける誘電正接が0.001〜0.009である非熱可塑性ポリイミド層が、芳香族酸二無水物として、少なくとも2,2’−ジメチルビフェニル−4,4’−ジアミン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンのいずれか一種、芳香族ジアミンとして、少なくとも3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物のいずれか一種を有するポリイミドを含むことを特徴とする、請求項1または2に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。
The non-thermoplastic polyimide layer having a dielectric loss tangent of 0.001 to 0.009 at 10 GHz is at least 2,2′-dimethylbiphenyl-4,4′-diamine as an aromatic dianhydride, 1,3- Any one of bis (4-aminophenoxy) benzene, as an aromatic diamine, at least 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic The manufacturing method of the multilayer polyimide film of Claim 1 or 2 characterized by including the polyimide which has any one of acid dianhydride and pyromellitic dianhydride.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114651035A (en) * 2019-11-07 2022-06-21 聚酰亚胺先端材料有限公司 Polyimide film with high heat resistance and low dielectric constant and preparation method thereof
CN114651035B (en) * 2019-11-07 2024-04-05 聚酰亚胺先端材料有限公司 Polyimide film with high heat resistance and low dielectric property and preparation method thereof

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