JP2018120979A - 高光電変換効率太陽電池及び高光電変換効率太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第一の導電型の半導体基板110の両主表面にテクスチャを形成する工程、基板の第一主表面にエミッタ層112を形成する工程、基板を熱酸化することにより酸化シリコン膜を形成する工程、基板の第二主表面上の酸化シリコン膜をパターン状に除去する工程、第二主表面の酸化シリコン膜を除去した箇所に、ベース層113を形成する工程、残存させた酸化シリコン膜を除去する工程、及び両主表面上に誘電体膜141,151を形成する工程をこの順序に従って順次行い、ベース層に沿ってベース用電極131を形成する工程、及び、第一主表面にエミッタ用電極121を形成する工程を有する太陽電池の製造方法。
【選択図】図1
Description
第一の導電型の半導体基板の両主表面にテクスチャを形成する工程、
前記半導体基板の第一主表面に前記第一の導電型と反対の導電型である第二の導電型を有するエミッタ層を形成する工程、
前記半導体基板を熱酸化することにより酸化シリコン膜を形成する工程、
前記半導体基板の第二主表面上の酸化シリコン膜をパターン状に除去し、除去した箇所以外の酸化シリコン膜を残存させる工程、
前記第二主表面の酸化シリコン膜を除去した箇所に、前記第一の導電型を有し、かつ、前記半導体基板よりドーパント濃度の高いベース層を形成する工程、
前記残存させた酸化シリコン膜を除去する工程、及び
前記両主表面上に誘電体膜を形成する工程
をこの順序に従って順次行い、
前記ベース層に沿ってベース用電極を形成する工程、及び、前記第一主表面にエミッタ用電極を形成する工程、を有することを特徴とする太陽電池の製造方法を提供する。
前記第二主表面のベース層の形状がパターン状であり、
前記ベース用電極はベース層に沿って形成されていることを特徴とする太陽電池を提供する。
第一の導電型の半導体基板の両主表面にテクスチャを形成する工程、
前記半導体基板の第一主表面に前記第一の導電型と反対の導電型である第二の導電型を有するエミッタ層を形成する工程、
前記半導体基板を熱酸化することにより酸化シリコン膜を形成する工程、
前記半導体基板の第二主表面上の酸化シリコン膜をパターン状に除去し、除去した箇所以外の酸化シリコン膜を残存させる工程、
前記第二主表面の酸化シリコン膜を除去した箇所に、前記第一の導電型を有し、かつ、前記半導体基板よりドーパント濃度の高いベース層を形成する工程、
前記残存させた酸化シリコン膜を除去する工程、及び
前記両主表面上に誘電体膜を形成する工程
をこの順序に従って順次行い、
前記ベース層に沿ってベース用電極を形成する工程、及び、前記第一主表面にエミッタ用電極を形成する工程、を有することを特徴とする太陽電池の製造方法が、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
第一の導電型の半導体基板を備え、該半導体基板の両主表面にテクスチャを有し、前記半導体基板の第一主表面に前記第一の導電型と反対の導電型である第二の導電型を有するエミッタ層及び該エミッタ層と接続するエミッタ用電極を有し、前記半導体基板の第二主表面に前記第一の導電型を有し、かつ、前記半導体基板よりドーパント濃度の高いベース層及び該ベース層と接続するベース用電極を有する太陽電池であって、
前記第二主表面のベース層の形状がパターン状であり、
前記ベース用電極はベース層に沿って形成されていることを特徴とする太陽電池が、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成させた。
以下、本発明の太陽電池について、図面を用いて説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図1は、本発明に係る、太陽電池の一例(両面受光型太陽電池)の断面模式図である。図1に示すように、本発明の太陽電池100は、第一導電型を有する半導体基板110を備える。また、半導体基板110の第二主表面に、第一導電型を有し、かつ、半導体基板110よりも高いドーパント濃度を有するベース層113を備える。第一主表面には、第一導電型と反対の導電型である第二導電型を有するエミッタ層112を備える。また、両主表面上に、通常、反射防止膜141、151を備える。また、ベース層113と電気的に接続されるベース用電極131、及び、エミッタ層112と電気的に接続されるエミッタ用電極121を備える。ベース用電極131及びエミッタ用電極121はフィンガー電極ともいう。
以下に、具体的な本発明の太陽電池製造方法をN型基板の場合を例に図2を用いて説明する。
本発明の方法を用いて、太陽電池の作製を行った。
実施例1において、酸化工程まで実施例1と同様に処理を行った後、裏面にスクリーン印刷機を用いてリン酸系のエッチングペーストをパターン状に印刷、250℃で熱処理し、洗浄し乾燥させてマスクをパターン状に開口した。開口パターンは間隔1.8mmの平行線状とした。開口幅は120μmとした。これにより、裏面の表面積に対するベース層形成面積の割合は6.7%となった。リン拡散工程以降実施例1と同様の処理を行い太陽電池作製を行った。
ホウ素ドープ{100}P型シリコン基板に対し本発明の方法を適用した。基板両面にテクスチャ形成、洗浄後、基板を2枚一組として重ね合わせた状態で熱処理炉に戴置し、オキシ塩化リン雰囲気下870℃で熱処理を行い、引き続いて1000℃3時間酸素雰囲気中で熱酸化してマスク形成した。
比較用に従来の方法で太陽電池の作製を行った。
112、612…エミッタ層、 113、613…ベース層、
121、131、621、631…フィンガー電極、
141、151、641、651…反射防止膜、
303…拡散マスク、 304…マスク開口部(バリア膜開口部)、
360、516…太陽電池モジュール、 361…リード線、
401…バスバー電極、 471…受光面保護材料、
472…充填剤、 473…受光面保護材料又は耐候性樹脂フィルム、
515…配線、 517…インバータ、 518…外部負荷回路。
Claims (11)
- 第一の導電型の半導体基板の両主表面にテクスチャを形成する工程、
前記半導体基板の第一主表面に前記第一の導電型と反対の導電型である第二の導電型を有するエミッタ層を形成する工程、
前記半導体基板を熱酸化することにより酸化シリコン膜を形成する工程、
前記半導体基板の第二主表面上の酸化シリコン膜をパターン状に除去し、除去した箇所以外の酸化シリコン膜を残存させる工程、
前記第二主表面の酸化シリコン膜を除去した箇所に、前記第一の導電型を有し、かつ、前記半導体基板よりドーパント濃度の高いベース層を形成する工程、
前記残存させた酸化シリコン膜を除去する工程、及び
前記両主表面上に誘電体膜を形成する工程
をこの順序に従って順次行い、
前記ベース層に沿ってベース用電極を形成する工程、及び、前記第一主表面にエミッタ用電極を形成する工程、を有することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 前記第一の導電型をN型とし、前記第二の導電型をP型とすることを特徴とする請求項1に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記酸化シリコン膜のパターン状除去には、レーザー加工を用いることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記ベース層の幅を40μm以上200μm以下とし、前記ベース用電極の幅を30μm以上200μm以下とすることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記ベース層及び前記ベース用電極の形状を平行線状とし、前記ベース層の幅を前記ベース用電極の幅より大きくすることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の太陽電池の製造方法。
- 第一の導電型の半導体基板を備え、該半導体基板の両主表面にテクスチャを有し、前記半導体基板の第一主表面に前記第一の導電型と反対の導電型である第二の導電型を有するエミッタ層及び該エミッタ層と接続するエミッタ用電極を有し、前記半導体基板の第二主表面に前記第一の導電型を有し、かつ、前記半導体基板よりドーパント濃度の高いベース層及び該ベース層と接続するベース用電極を有する太陽電池であって、
前記第二主表面のベース層の形状がパターン状であり、
前記ベース用電極はベース層に沿って形成されていることを特徴とする太陽電池。 - 前記第一の導電型はN型であり、前記第二の導電型はP型であることを特徴とする請求項6に記載の太陽電池。
- 前記ベース層の幅が40μm以上200μm以下であり、前記ベース用電極の幅が30μm以上200μm以下であることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の太陽電池。
- 前記ベース層及び前記ベース用電極の形状が平行線状であり、前記ベース層の幅が前記ベース用電極の幅より大きいものであることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか1項に記載の太陽電池。
- 請求項6から請求項9のいずれか1項に記載の太陽電池が内蔵されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
- 請求項10に記載の太陽電池モジュールを有することを特徴とする太陽光発電システム。
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US11887844B2 (en) | 2022-06-10 | 2024-01-30 | Zhejiang Jinko Solar Co., Ltd. | Solar cell and production method thereof, photovoltaic module |
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- 2017-01-26 JP JP2017011927A patent/JP6792465B2/ja active Active
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