JP2018119847A - レーザー超音波探傷装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、レーザー超音波探傷装置100を説明する図である。図1中、レーザー(ビーム)を実線の矢印で示し、超音波を破線で示す。図1に示すように、レーザー超音波探傷装置100は、送信レーザー照射部110と、受信レーザー照射部120と、計測部130と、信号取得部140と、制御部150とを含んで構成される。
図2は、本実施形態にかかる送信部200を説明する図である。なお、本実施形態の図2では、垂直に交わるX軸、Y軸、Z軸を図示の通り定義している。
上記実施形態では、隣り合うスプリッタ面222a(ビームスプリッタ222)間において、第1ステージ210と第2ステージ220との間をビームが2回移動するように構成された送信部200を例に挙げて説明した。しかし、ビームが、第1ステージ210と第2ステージ220との間を4回、または、8回移動するように送信部を構成することもできる。
送信部300は、第1ステージ310と、第2ステージ320と、屈折率媒質230と、移動部240とを含んで構成される。第1ステージ310は、第1ミラー部212と、第2ミラーユニット314と、第1支持部216と、第1固定部218とを含んで構成される。つまり、第1ステージ310は、第1ステージ210の第2ミラー部214を第2ミラーユニット314に置き換えたものである。第2ステージ320は、ビームスプリッタ222と、第3ミラーユニット324と、第2支持部226と、第2固定部228とを含んで構成される。つまり、第2ステージ320は、第1ステージ210の第3ミラー部224を第3ミラーユニット324に置き換えたものである。
図5は、第2の変形例にかかる送信部400を説明する図である。なお、図5では、垂直に交わるX軸、Y軸、Z軸を図示の通り定義している。また、理解を容易にするために、図5(a)中、第1固定部218、第2固定部228、屈折率媒質230、移動部240を省略する。さらに、図5中、レーザー、および、ビームを実線の矢印で示す。また、上述した送信部200と実質的に等しい構成要素については、同一の符号を付して重複説明を省略する。
送信部200、300、400において、光路長ΔLを0.5mmとした場合の超音波の入射角度θについてシミュレーションを行った。
210 第1ステージ
212 第1ミラー部
212a 第1反射面
214 第2ミラー部
214a 第2反射面
216 第1支持部
220 第2ステージ
222 ビームスプリッタ
222a スプリッタ面
224 第3ミラー部
224a 第3反射面
226 第2支持部
230 屈折率媒質
240 移動部
Claims (2)
- 第1反射面を有する複数の第1ミラー部と、第2反射面を有する1または複数の第2ミラー部と、前記第2反射面を前記第1反射面に臨ませて前記第1ミラー部および前記第2ミラー部を支持する第1支持部とを含んで構成される第1ステージと、
光束の一部を反射し、他を透過するスプリッタ面を有する複数のビームスプリッタと、第3反射面を有する1または複数の第3ミラー部と、前記第3反射面を前記スプリッタ面に臨ませて前記ビームスプリッタおよび前記第3ミラー部を支持する第2支持部とを含んで構成される第2ステージと、
前記第1反射面と前記スプリッタ面とを対向させ、前記第2反射面と前記第3反射面とを対向させて、前記第1ステージと前記第2ステージとを相対的に移動させる移動部と、
を備えるレーザー超音波探傷装置。 - 前記第1ステージと、前記第2ステージとの間に設けられた屈折率媒質を備える請求項1に記載のレーザー超音波探傷装置。
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2017
- 2017-01-25 JP JP2017010989A patent/JP6805845B2/ja active Active
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