JP2018098410A - Transport frame and transport method - Google Patents

Transport frame and transport method Download PDF

Info

Publication number
JP2018098410A
JP2018098410A JP2016243311A JP2016243311A JP2018098410A JP 2018098410 A JP2018098410 A JP 2018098410A JP 2016243311 A JP2016243311 A JP 2016243311A JP 2016243311 A JP2016243311 A JP 2016243311A JP 2018098410 A JP2018098410 A JP 2018098410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
central frame
transportation
frame
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016243311A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6755169B2 (en
Inventor
勝行 大上
Katsuyuki Ogami
勝行 大上
酒井　伸一
Shinichi Sakai
伸一 酒井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Electron Ltd filed Critical Tokyo Electron Ltd
Priority to JP2016243311A priority Critical patent/JP6755169B2/en
Priority to KR1020170017373A priority patent/KR101903877B1/en
Priority to CN201710136997.7A priority patent/CN107098164B/en
Priority to TW106142477A priority patent/TWI729243B/en
Publication of JP2018098410A publication Critical patent/JP2018098410A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6755169B2 publication Critical patent/JP6755169B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
    • B60P7/00—Securing or covering of load on vehicles
    • B60P7/06—Securing of load
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
    • B60P7/00—Securing or covering of load on vehicles
    • B60P7/06—Securing of load
    • B60P7/08—Securing to the vehicle floor or sides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60P—VEHICLES ADAPTED FOR LOAD TRANSPORTATION OR TO TRANSPORT, TO CARRY, OR TO COMPRISE SPECIAL LOADS OR OBJECTS
    • B60P7/00—Securing or covering of load on vehicles
    • B60P7/06—Securing of load
    • B60P7/135—Securing or supporting by load bracing means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60R—VEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B60R3/00—Arrangements of steps or ladders facilitating access to or on the vehicle, e.g. running-boards
    • B60R3/007—Removable steps or ladders, e.g. foldable

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Automobile Manufacture Line, Endless Track Vehicle, Trailer (AREA)
  • Ladders (AREA)
  • Packaging Of Machine Parts And Wound Products (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To transport a chamber easily.SOLUTION: A transport frame 10 for transporting a chamber that can be split vertically includes a center frame 20 extending in a first direction, two side frames 30 at opposite ends of the center frame 20 in the first direction, extending in a second direction intersecting with the first direction, and multiple mounting plates 24 for fixing the chamber to the center frame 20. The chamber is split into an upper component 71 including a ceiling plane 710 of the chamber, and a lower component 72 including a bottom face 720 of the chamber. The multiple mounting plates 24 fix at least any one of the upper component 71 and the lower component 72 to a center frame 20 side, between two side frames 30, so that the ceiling plane 710 or the bottom face 720 is oriented along a side face of the center frame 20.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明の種々の側面および実施形態は、輸送用架台および輸送方法に関する。   Various aspects and embodiments of the present invention relate to a transportation platform and a transportation method.

フラットパネルディスプレイ基板は、マザーガラス基板のサイズが大きいほど１枚から取れるパネルの数が増えるためコストを低減できる。そのため、近年ではマザーガラス基板は大型化の一途をたどっている。また、マザーガラス基板の大型化に伴い、ガラス基板を製造または検査する装置においても、年々大型化している。   The flat panel display substrate can reduce the cost because the larger the size of the mother glass substrate, the greater the number of panels that can be taken from one sheet. Therefore, in recent years, the mother glass substrate has been continually increasing in size. In addition, as the size of the mother glass substrate is increased, the size of the apparatus for manufacturing or inspecting the glass substrate is increasing year by year.

ところで、フラットパネルディスプレイ基板等を製造する装置は、製造業者で製造された後、生産現場まで運搬されて設置される。しかし、装置が大型になると、大きさや重量の関係で、１台の装置をそのまま輸送することが困難になる。   By the way, an apparatus for manufacturing a flat panel display substrate or the like is manufactured by a manufacturer and then transported to a production site and installed. However, when the apparatus becomes large, it becomes difficult to transport one apparatus as it is because of the size and weight.

そこで、装置を幅方向または奥行き方向に分割し、分割された部品を個々に輸送し、輸送先で接合することにより、輸送先まで大型の装置を輸送する技術が知られている。   Therefore, a technique is known in which a large apparatus is transported to a transportation destination by dividing the apparatus in the width direction or the depth direction, transporting the divided parts individually, and joining them at the transportation destination.

特開２００７−７３６８８号公報JP 2007-73688 A

ところで、フラットパネルディスプレイ基板等を製造する装置には、気密性を要するものが多い。しかし、幅方向または奥行き方向に分割された装置を再び接合した場合、気密性の低下を抑えることが難しい。そのため、幅方向または奥行き方向に装置を分割して輸送することは好ましくない。   By the way, many apparatuses that manufacture flat panel display substrates and the like require airtightness. However, when the devices divided in the width direction or the depth direction are joined again, it is difficult to suppress a decrease in hermeticity. Therefore, it is not preferable to divide and transport the apparatus in the width direction or the depth direction.

また、装置を上下方向に分割することも考えられるが、単に上下方向に分割しただけでは、分割することで装置の重量を抑えることはできるものの、装置の幅や奥行のサイズを小さくすることはできない。そのため、装置が輸送用車両の荷台からはみ出してしまい、装置を輸送することが困難となる。   In addition, it is possible to divide the device in the vertical direction, but simply dividing it in the vertical direction can reduce the weight of the device by dividing, but reducing the width and depth size of the device Can not. Therefore, the device protrudes from the loading platform of the transportation vehicle, and it becomes difficult to transport the device.

本発明の一側面は、上下に分割可能なチャンバを輸送するための輸送用架台であって、第１の方向に延在する中央フレームと、前記第１の方向における前記中央フレームの両端に、前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームと、前記チャンバを前記中央フレームに固定するための複数の固定具とを備える。前記チャンバは、前記チャンバの天井面を含む上部部品と、前記チャンバの底面を含む下部部品とに分割される。前記複数の固定具のそれぞれは、前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを、前記２つの側方フレームの間であって、前記中央フレームの側面に、前記天井面または前記底面が前記中央フレームの側面に沿う向きとなるように固定する。   One aspect of the present invention is a transportation gantry for transporting a chamber that can be divided into upper and lower parts, a central frame extending in a first direction, and both ends of the central frame in the first direction, Two side frames extending in a second direction intersecting the first direction, and a plurality of fixtures for fixing the chamber to the central frame. The chamber is divided into an upper part including a ceiling surface of the chamber and a lower part including a bottom surface of the chamber. Each of the plurality of fixtures includes at least one of the upper part and the lower part between the two side frames, the side surface of the central frame, and the ceiling surface or the bottom surface being the center. Fix it so that it is oriented along the side of the frame.

本発明の種々の側面および実施形態によれば、チャンバを容易に輸送することが可能となる。   According to various aspects and embodiments of the present invention, the chamber can be easily transported.

図１は、輸送用架台の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a transportation platform. 図２は、輸送用架台が輸送用車両の荷台に固定された状態の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a state in which the transportation platform is fixed to the loading platform of the transportation vehicle. 図３は、チャンバの一例を示す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the chamber. 図４は、チャンバの積載手順の一例を説明するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining an example of a chamber loading procedure. 図５は、取付板付近の拡大図である。FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the mounting plate. 図６は、上部部品および下部部品が、荷台上の輸送用架台に固定された状態の一例を示す図である。FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a state in which the upper part and the lower part are fixed to the transportation platform on the loading platform. 図７は、チャンバの下部部品が固定された状態の輸送用架台の一例を示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of the transportation platform in a state where the lower part of the chamber is fixed. 図８は、チャンバが固定された輸送用架台の一例を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of a transportation platform with a chamber fixed thereto. 図９は、チャンバが固定された輸送用架台の一例を示す上面図である。FIG. 9 is a top view showing an example of a transportation gantry in which a chamber is fixed. 図１０は、梯子の引き出し状態および収容状態の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a ladder drawing state and a housing state. 図１１は、輸送用架台を用いたチャンバの輸送手順の一例を示すフローチャートである。FIG. 11 is a flowchart showing an example of a procedure for transporting the chamber using the transportation platform.

開示する輸送用架台は、１つの実施形態において、上下に分割可能なチャンバを輸送するための輸送用架台であって、第１の方向に延在する中央フレームと、第１の方向における中央フレームの両端に、第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームと、チャンバを中央フレームに固定するための複数の固定具とを備える。チャンバは、チャンバの天井面を含む上部部品と、チャンバの底面を含む下部部品とに分割される。複数の固定具のそれぞれは、上部部品および下部部品の少なくともいずれかを、２つの側方フレームの間であって、中央フレームの側面に、天井面または底面が中央フレームの側面に沿う向きとなるように固定する。   In one embodiment, the disclosed transport pedestal is a transport pedestal for transporting a chamber that can be divided into upper and lower parts, a central frame extending in a first direction, and a central frame in the first direction. Two side frames extending in a second direction intersecting the first direction and a plurality of fixtures for fixing the chamber to the central frame are provided at both ends of the first frame. The chamber is divided into an upper part that includes the ceiling surface of the chamber and a lower part that includes the bottom surface of the chamber. Each of the plurality of fixtures has at least one of the upper part and the lower part between the two side frames, with the side surface of the central frame and the ceiling surface or the bottom surface along the side surface of the central frame. To fix.

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、複数の固定具のそれぞれは、中央フレームの一方の側面に、１つのチャンバから分割された上部部品を固定し、中央フレームの他方の側面に、当該１つのチャンバから分割された下部部品を固定してもよい。   Also, in one embodiment of the disclosed transportation platform, each of the plurality of fixtures fixes an upper part divided from one chamber to one side surface of the central frame, and is attached to the other side surface of the central frame. The lower part divided from the one chamber may be fixed.

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、複数の固定具の少なくとも一部は、中央フレームに設置されていてもよく、中央フレームに設置された固定具は、中央フレームには上部部品の天井面と下部部品の底面とを固定してもよい。   In one embodiment of the disclosed transportation platform, at least a part of the plurality of fixtures may be installed in the central frame, and the fixture installed in the central frame is an upper part of the central frame. The ceiling surface and the bottom surface of the lower part may be fixed.

また、開示する輸送用架台は、１つの実施形態において、中央フレームおよび側方フレームの上方に設けられた作業用足場と、作業用足場を囲む転落防止部とをさらに備えてもよい。   In one embodiment, the disclosed transportation platform may further include a work scaffold provided above the central frame and the side frame, and a fall prevention portion surrounding the work scaffold.

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、側方フレームには、作業者が作業用足場に上るための梯子が設けられていてもよい。   Moreover, in one embodiment of the disclosed transportation platform, the side frame may be provided with a ladder for allowing an operator to go up to the work platform.

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、梯子は、側方フレームに収容されてもよい。   Also, in one embodiment of the disclosed transportation platform, the ladder may be housed in a side frame.

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、中央フレームは、上下方向に延在する複数の柱と、第１の方向に延在する梁と、複数の柱の間に斜めに設けられた複数の筋交とを有してもよい。   Further, in one embodiment of the disclosed transportation platform, the central frame is provided obliquely between the plurality of columns extending in the vertical direction, the beam extending in the first direction, and the plurality of columns. A plurality of braces.

また、開示する輸送用架台の１つの実施形態において、チャンバは、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであってもよい。   Further, in one embodiment of the disclosed transportation platform, the chamber may be a processing chamber for FPD (Flat Panel Display), a transfer chamber for FPD, or a load lock chamber for FPD.

また、開示する輸送方法は、１つの実施形態において、上下に分割可能なチャンバを輸送する輸送方法であって、第１の方向に延在する中央フレームと、第１の方向における中央フレームの両端に第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームとを備える輸送用架台を輸送用車両の荷台に設置する設置工程と、チャンバの天井面を含む上部部品とチャンバの底面を含む下部部品とに分割されるチャンバにおいて、上部部品および下部部品の少なくともいずれかを、２つの側方フレームの間であって、中央フレームの側面に、天井面または底面が中央フレームの側面に沿う向きとなるように配置する配置工程と、中央フレームの側面に、上部部品の天井面および下部部品の底面の少なくともいずれかを、輸送用架台に設けられた複数の固定具により固定する固定工程と、中央フレームの側面に固定された上部部品および下部部品の少なくともいずれかを輸送用車両で輸送する輸送工程とを含む。   In one embodiment, the disclosed transport method is a transport method for transporting a chamber that can be divided into upper and lower parts, and a center frame that extends in a first direction and both ends of the center frame in the first direction. An installation step of installing a transportation platform on a cargo bed of a transportation vehicle, and an upper part and a chamber including a ceiling surface of the chamber, and two side frames extending in a second direction intersecting the first direction. In the chamber divided into the lower part including the bottom surface of the central part, at least one of the upper part and the lower part is disposed between the two side frames, the side surface of the central frame, and the ceiling surface or the bottom surface of the central frame. The transportation platform is provided with at least one of the top surface of the upper part and the bottom surface of the lower part on the side surface of the central frame and the arranging step of arranging the parts so as to be oriented along the side surface. It includes a plurality of a fixing step of fixing by a fixing device, and a transport step of transporting by transport vehicles at least one of the upper part and a lower part which is fixed to the side of the center frame.

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、中央フレームの一方の側面には、１つのチャンバから分割された上部部品が複数の固定具により固定されてもよく、中央フレームの他方の側面には、当該１つのチャンバから分割された下部部品が複数の固定具により固定されてもよい。   Further, in one embodiment of the disclosed transportation method, an upper part divided from one chamber may be fixed to one side surface of the central frame by a plurality of fixtures, and the other side surface of the central frame may be fixed to the other side surface of the central frame. The lower part divided from the one chamber may be fixed by a plurality of fixtures.

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、複数の固定具の少なくとも一部は、中央フレームに設置されてもよく、中央フレームには、上部部品の天井面と下部部品の底面とが、中央フレームに設置された固定具により固定されてもよい。   In one embodiment of the disclosed transportation method, at least some of the plurality of fixtures may be installed on a central frame, and the central frame includes a ceiling surface of the upper part and a bottom surface of the lower part. You may fix with the fixing tool installed in the center frame.

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、固定工程には、側方フレームに収容された梯子を引き出す工程と、梯子を用いて作業者が側方フレームおよび中央フレームの上方に設けられ、周囲が転落防止用の柵で囲まれた作業用足場に上る工程と、作業用足場の上での作業者の作業によりチャンバの上部部品の天井面および下部部品の底面の少なくともいずれかを中央フレームに固定する工程と、梯子を用いて作業者が作業領域から降り、側方フレームに梯子を収容する工程とが含まれてもよい。   Further, in one embodiment of the disclosed transportation method, the fixing step includes a step of pulling out the ladder accommodated in the side frame, and an operator is provided above the side frame and the central frame using the ladder. The center frame can be attached to the ceiling of the upper part of the chamber and the bottom of the lower part by the operator's work on the work scaffold and the process of climbing to the work scaffold surrounded by a fall prevention fence. And a step in which an operator gets out of the work area using a ladder and houses the ladder in a side frame.

また、開示する輸送方法の１つの実施形態において、チャンバは、ＦＰＤ用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであってもよい。   Further, in one embodiment of the disclosed transportation method, the chamber may be a processing chamber for FPD, a transfer chamber for FPD, or a load lock chamber for FPD.

以下に、開示する輸送用架台および輸送方法の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の本実施形態により、開示される輸送用架台および輸送方法が限定されるものではない。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments of the disclosed transportation platform and transportation method will be described below in detail with reference to the drawings. It should be noted that the disclosed transportation platform and transportation method are not limited by the following embodiment.

［輸送用架台１０の構成］
図１は、輸送用架台１０の一例を示す図である。本実施形態における輸送用架台１０は、例えば図１に示すように、図１のｙ軸方向に延在する中央フレーム２０と、ｙ軸方向における中央フレーム２０の両端に、ｘ軸方向に延在する２つの側方フレーム３０とを備える。本実施形態において、中央フレーム２０が延在する方向と、各側方フレーム３０が延在する方向とは直交している。ｙ軸方向は第１の方向の一例であり、ｘ軸方向は第２の方向の一例である。 [Configuration of transport platform 10]
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a transportation platform 10. As shown in FIG. 1, for example, the transportation platform 10 in the present embodiment extends in the x-axis direction at the center frame 20 extending in the y-axis direction in FIG. 1 and at both ends of the center frame 20 in the y-axis direction. Two side frames 30 are provided. In the present embodiment, the direction in which the central frame 20 extends and the direction in which each side frame 30 extends are orthogonal to each other. The y-axis direction is an example of the first direction, and the x-axis direction is an example of the second direction.

中央フレーム２０は、例えば図１に示すように、図１のｙ軸方向に延在する梁２２および土台２８と、上下方向、即ち図１のｚ軸方向に延在する複数の柱２１と、複数の柱２１の間に斜めに設けられた複数の筋交２３とを有する。柱２１および梁２２の側面には、後述するチャンバの部品を固定するための複数の取付板２４が設けられている。柱２１の間に筋交２３が設けられることにより、図１のｙ軸方向における中央フレーム２０の歪みが抑制される。   For example, as shown in FIG. 1, the central frame 20 includes a beam 22 and a base 28 extending in the y-axis direction of FIG. 1, and a plurality of columns 21 extending in the vertical direction, that is, the z-axis direction of FIG. 1. A plurality of braces 23 provided obliquely between the plurality of columns 21. A plurality of mounting plates 24 for fixing chamber components to be described later are provided on the side surfaces of the columns 21 and the beams 22. By providing the bracing 23 between the columns 21, distortion of the central frame 20 in the y-axis direction in FIG. 1 is suppressed.

それぞれの側方フレーム３０は、例えば図１に示すように、図１のｘ軸方向に延在する梁３２および土台３６と、上下方向、即ち図１のｚ軸方向に延在する複数の柱３１と、柱３１と梁３２との間および柱３１と土台３６との間に斜めに設けられた複数の筋交３３とを有する。各側方フレーム３０の柱３１には、輸送用架台１０を輸送用車両の荷台に固定するための吊手３４が複数設けられている。各側方フレーム３０の土台３６と、中央フレーム２０の土台２８との間には、補強材３７が設けられている。ｙ軸方向に延在する中央フレーム２０の両端に、ｙ軸方向に交差するｘ軸方向に延在する側方フレーム３０が設けられることにより、ｘ軸方向における輸送用架台１０の強度を高めることができる。   For example, as shown in FIG. 1, each side frame 30 includes a beam 32 and a base 36 extending in the x-axis direction in FIG. 1 and a plurality of columns extending in the vertical direction, that is, the z-axis direction in FIG. 31 and a plurality of braces 33 provided obliquely between the column 31 and the beam 32 and between the column 31 and the base 36. The pillars 31 of each side frame 30 are provided with a plurality of suspensions 34 for fixing the transportation platform 10 to the loading platform of the transportation vehicle. A reinforcing member 37 is provided between the base 36 of each side frame 30 and the base 28 of the center frame 20. By providing side frames 30 extending in the x-axis direction intersecting the y-axis direction at both ends of the central frame 20 extending in the y-axis direction, the strength of the transportation platform 10 in the x-axis direction is increased. Can do.

中央フレーム２０および側方フレーム３０の上部には、作業者が作業を行うための作業用足場４０が設けられている。作業用足場４０の周囲は、作業用足場４０上で作業を行う作業者の転落を防止するための柵４１で囲まれている。柵４１は、転落防止部の一例である。   On the upper part of the central frame 20 and the side frame 30, a working scaffold 40 is provided for an operator to perform work. The periphery of the work scaffold 40 is surrounded by a fence 41 for preventing a worker who performs work on the work scaffold 40 from falling. The fence 41 is an example of a fall prevention unit.

側方フレーム３０には、作業者が作業用足場４０に上るための梯子５０が設けられている。また、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台に固定された状態において、中央フレーム２０の土台２８の側方であって、輸送用車両の荷台上には、複数の保護マット２５が配置される。保護マット２５は、保護マット２５上に載せられた、後述するチャンバを、傷や衝撃から保護する。   The side frame 30 is provided with a ladder 50 for an operator to climb up to the work scaffold 40. Further, in a state where the transportation platform 10 is fixed to the loading platform of the transportation vehicle, a plurality of protective mats 25 are arranged on the side of the base 28 of the central frame 20 and on the loading platform of the transportation vehicle. . The protective mat 25 protects a chamber, which will be described later, placed on the protective mat 25 from scratches and impacts.

［輸送用架台１０の固定方法］
図２は、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に固定された状態の一例を示す図である。輸送用架台１０は、輸送用車両の荷台６０に搭載される。側方フレーム３０の柱３１には、図２に示すように、例えばアイボルト等の吊手３４が複数設けられ、それぞれの吊手３４に、例えばチェーンやベルト等の取付具３５が通される。そして、取付具３５が荷台６０に固定されることにより、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に固定される。 [Fixing method of transportation platform 10]
FIG. 2 is a diagram illustrating an example of a state in which the transportation platform 10 is fixed to the loading platform 60 of the transportation vehicle. The transportation platform 10 is mounted on a loading platform 60 of a transportation vehicle. As shown in FIG. 2, a plurality of suspensions 34 such as eyebolts are provided on the pillars 31 of the side frames 30, and an attachment 35 such as a chain and a belt is passed through each suspension 34. Then, by fixing the fixture 35 to the loading platform 60, the transportation platform 10 is fixed to the loading platform 60 of the transportation vehicle.

［チャンバ７０の構成］
図３は、チャンバ７０の一例を示す断面図である。本実施形態におけるチャンバ７０は、上部部品７１および下部部品７２を有する。上部部品７１および下部部品７２は、例えば図３に示した破線に沿って上下に分割可能である。上部部品７１および下部部品７２は上下に分割された場合、上部部品７１の下部および下部部品７２の上部には開口が形成される。 [Configuration of chamber 70]
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the chamber 70. The chamber 70 in this embodiment has an upper part 71 and a lower part 72. The upper part 71 and the lower part 72 can be divided vertically, for example along the broken line shown in FIG. When the upper part 71 and the lower part 72 are divided into upper and lower parts, openings are formed in the lower part of the upper part 71 and the upper part of the lower part 72.

上部部品７１および下部部品７２が接合された状態において、上部部品７１および下部部品７２によって構成される処理空間内には、シャワーヘッド７１１およびサセプタ７２１等が設けられる。上部部品７１と下部部品７２との接合面には、例えばＯリング等のシール部材７３が配置されている。チャンバ７０が上下に分割されるため、上部部品７１と下部部品７２とが接合された場合、上部部品７１の自重によりシール部材７３が押しつぶされ、処理空間の気密性を高く保つことが可能となる。なお、以下では、上部部品７１の上面を天井面７１０と呼び、下部部品７２の下面を底面７２０と呼ぶ。   In a state in which the upper part 71 and the lower part 72 are joined, a shower head 711, a susceptor 721, and the like are provided in the processing space constituted by the upper part 71 and the lower part 72. For example, a sealing member 73 such as an O-ring is disposed on the joint surface between the upper part 71 and the lower part 72. Since the chamber 70 is divided into upper and lower parts, when the upper part 71 and the lower part 72 are joined, the seal member 73 is crushed by the weight of the upper part 71 and the airtightness of the processing space can be kept high. . Hereinafter, the upper surface of the upper component 71 is referred to as a ceiling surface 710, and the lower surface of the lower component 72 is referred to as a bottom surface 720.

本実施形態におけるチャンバ７０は、例えばＦＰＤ用の処理チャンバである。チャンバ７０には、図示しない搬入・搬出口が設けられており、当該搬入・搬出口から搬入された処理対象のガラス基板が、サセプタ７２１上に載置される。そして、搬入・搬出口が閉じられ、処理空間内が真空排気され、処理空間内にシャワーヘッド７１１から処理ガスが供給される。そして、例えば、シャワーヘッド７１１とサセプタ７２１との間に所定周波数の高周波電力が印加され、処理空間内に処理ガスのプラズマが生成される。そして、生成されたプラズマにより、処理対象のガラス基板に、成膜やエッチング等の所定の処理が施される。   The chamber 70 in this embodiment is a processing chamber for FPD, for example. A loading / unloading port (not shown) is provided in the chamber 70, and a glass substrate to be processed loaded from the loading / unloading port is placed on the susceptor 721. Then, the loading / unloading port is closed, the inside of the processing space is evacuated, and the processing gas is supplied from the shower head 711 into the processing space. Then, for example, high frequency power of a predetermined frequency is applied between the shower head 711 and the susceptor 721, and plasma of a processing gas is generated in the processing space. Then, a predetermined process such as film formation or etching is performed on the glass substrate to be processed by the generated plasma.

チャンバ７０が輸送される場合、チャンバ７０は、上部部品７１と下部部品７２とに分割される。そして、必要に応じて、シャワーヘッド７１１等の部品が上部部品７１から取り外され、サセプタ７２１等の部品が下部部品７２から取り外される。そして、上部部品７１および下部部品７２が、図１において説明した輸送用架台１０を用いて輸送用車両の荷台６０に固定され、輸送される。   When the chamber 70 is transported, the chamber 70 is divided into an upper part 71 and a lower part 72. Then, parts such as the shower head 711 are removed from the upper part 71 and parts such as the susceptor 721 are removed from the lower part 72 as necessary. Then, the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the loading platform 60 of the transportation vehicle using the transportation platform 10 described in FIG.

［チャンバ７０の積載方法］
図４は、チャンバ７０の積載手順の一例を説明するための図である。まず、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に積載される。そして、側方フレーム３０の吊手３４に通された取付具３５が荷台６０に固定されることにより、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に固定される。そして、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に複数の保護マット２５が配置される。 [Loading method of chamber 70]
FIG. 4 is a diagram for explaining an example of the loading procedure of the chamber 70. First, the transportation platform 10 is loaded on the loading platform 60 of the transportation vehicle. Then, the fixture 35 passed through the suspension 34 of the side frame 30 is fixed to the loading platform 60, whereby the transportation platform 10 is fixed to the loading platform 60 of the transportation vehicle. A plurality of protective mats 25 are arranged on the loading platform 60 on the side of the central frame 20.

次に、チャンバ７０から分割された上部部品７１および下部部品７２に、それぞれ吊手７４が取り付けられる。そして、上部部品７１が、吊手７４に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられ、例えば図４の矢印に示すように移動して、側方フレーム３０の間であって、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に、天井面７１０が中央フレーム２０の側面に沿う向きとなるように配置される。本実施形態において、上部部品７１は、例えば図４に示すように、天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように、中央フレーム２０の側方に配置される。そして、中央フレーム２０の柱２１や梁２２に設けられた取付板２４と上部部品７１の天井面７１０とがボルト等により固定されることにより、上部部品７１が輸送用架台１０に固定される。取付板２４は、固定具の一例である。   Next, a handle 74 is attached to each of the upper part 71 and the lower part 72 divided from the chamber 70. Then, the upper part 71 is lifted by a crane or the like using a wire rope or the like passed through a hand 74, and moves as shown by an arrow in FIG. On the loading platform 60 on the side of the frame 20, the ceiling surface 710 is arranged in a direction along the side surface of the central frame 20. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, for example, the upper component 71 is disposed on the side of the central frame 20 so that the ceiling surface 710 faces the central frame 20 side. Then, the mounting plate 24 provided on the column 21 and the beam 22 of the central frame 20 and the ceiling surface 710 of the upper part 71 are fixed by bolts or the like, so that the upper part 71 is fixed to the transportation platform 10. The mounting plate 24 is an example of a fixture.

同様に、下部部品７２が、吊手７４に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられ、例えば図４の矢印に示すように移動して、側方フレーム３０の間であって、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に、底面７２０が中央フレーム２０の側面に沿う向きとなるように配置される。本実施形態において、下部部品７２は、例えば図４に示すように、底面７２０が中央フレーム２０側を向くように、中央フレーム２０の側方に配置される。そして、中央フレーム２０の柱２１や梁２２に設けられた取付板２４と下部部品７２の底面７２０とがボルト等により固定されることにより、下部部品７２が輸送用架台１０に固定される。   Similarly, the lower part 72 is lifted by a crane or the like using a wire rope or the like passed through a hand 74, and moved as shown by an arrow in FIG. On the loading platform 60 on the side of the central frame 20, the bottom surface 720 is arranged in a direction along the side surface of the central frame 20. In the present embodiment, as shown in FIG. 4, for example, the lower part 72 is disposed on the side of the central frame 20 so that the bottom surface 720 faces the central frame 20 side. Then, the mounting plate 24 provided on the column 21 and the beam 22 of the central frame 20 and the bottom surface 720 of the lower part 72 are fixed by bolts or the like, so that the lower part 72 is fixed to the transportation platform 10.

図５は、取付板２４付近の拡大図である。図５には、中央フレーム２０の梁２２に設けられた取付板２４に下部部品７２が固定された状態が示されている。例えば図５に示すように、取付板２４に設けられた貫通穴を介して、ボルト２６により、取付板２４に下部部品７２の底面７２０が固定される。梁２２に設けられた取付板２４への底面７２０の固定は、作業用足場４０上の作業者によって行われる。また、中央フレーム２０の柱２１に設けられた取付板２４においても、ボルト２６により下部部品７２の底面７２０が固定される。取付板２４への上部部品７１の天井面７１０の固定についても同様である。   FIG. 5 is an enlarged view of the vicinity of the mounting plate 24. FIG. 5 shows a state in which the lower part 72 is fixed to the mounting plate 24 provided on the beam 22 of the central frame 20. For example, as shown in FIG. 5, the bottom surface 720 of the lower part 72 is fixed to the mounting plate 24 by a bolt 26 through a through hole provided in the mounting plate 24. The bottom surface 720 is fixed to the mounting plate 24 provided on the beam 22 by an operator on the work scaffold 40. The bottom surface 720 of the lower part 72 is also fixed by the bolts 26 on the mounting plate 24 provided on the column 21 of the central frame 20. The same applies to the fixing of the ceiling surface 710 of the upper part 71 to the mounting plate 24.

なお、中央フレーム２０には、例えば図５に示すように、複数の吊手２７が設けられている。輸送用架台１０は、それぞれの吊手２７に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられ、輸送用車両の荷台６０に積載される。   The central frame 20 is provided with a plurality of hanging hands 27 as shown in FIG. 5, for example. The transportation platform 10 is lifted by a crane or the like using a wire rope or the like passed through each of the suspension hands 27 and loaded on a loading platform 60 of a transportation vehicle.

輸送用架台１０に上部部品７１および下部部品７２が固定された状態を図示すると、例えば図６〜図９のようになる。図６は、上部部品７１および下部部品７２が、荷台６０上の輸送用架台１０に固定された状態の一例を示す図である。図７は、チャンバ７０の下部部品７２が固定された状態の輸送用架台１０の一例を示す断面図である。図８は、チャンバ７０が固定された輸送用架台１０の一例を示す断面図である。図９は、チャンバ７０が固定された輸送用架台１０の一例を示す上面図である。   A state in which the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the transportation platform 10 is illustrated in FIGS. 6 to 9, for example. FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a state in which the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the transportation platform 10 on the loading platform 60. FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of the transportation platform 10 in a state where the lower part 72 of the chamber 70 is fixed. FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of the transportation platform 10 to which the chamber 70 is fixed. FIG. 9 is a top view showing an example of the transportation platform 10 to which the chamber 70 is fixed.

このように、上部部品７１の天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように中央フレーム２０の側方に上部部品７１が配置され、下部部品７２の底面７２０が中央フレーム２０側を向くように中央フレーム２０の側方に下部部品７２が配置されることにより、上部部品７１および下部部品７２を中央フレーム２０に容易に固定することができる。また、天井面７１０および底面７２０が中央フレーム２０側を向くように、上部部品７１および下部部品７２を配置することにより、上部部品７１および下部部品７２を中央フレーム２０に固定する際に、作業者は、上部部品７１および下部部品７２の内部に触れる必要がない。そのため、上部部品７１および下部部品７２の固定作業において、上部部品７１および下部部品７２の内側に傷や汚れが付くことを防止することができる。   Thus, the upper part 71 is arranged on the side of the central frame 20 so that the ceiling surface 710 of the upper part 71 faces the central frame 20 side, and the center so that the bottom surface 720 of the lower part 72 faces the central frame 20 side. By disposing the lower part 72 on the side of the frame 20, the upper part 71 and the lower part 72 can be easily fixed to the central frame 20. Further, when the upper component 71 and the lower component 72 are fixed to the central frame 20 by arranging the upper component 71 and the lower component 72 so that the ceiling surface 710 and the bottom surface 720 face the central frame 20 side, an operator Need not touch the inside of the upper part 71 and the lower part 72. Therefore, it is possible to prevent the inside of the upper part 71 and the lower part 72 from being scratched or soiled in the fixing operation of the upper part 71 and the lower part 72.

なお、各取付板２４には、上部部品７１および下部部品７２のそれぞれのネジ穴に対応するように、１または複数の貫通穴が形成されている。これにより、上部部品７１および下部部品７２のいずれが配置された場合でも、ボルト２６により上部部品７１または下部部品７２と取付板２４とを固定することができる。従って、本実施形態の輸送用架台１０では、中央フレーム２０の側面のどちら側にも、上部部品７１および下部部品７２のいずれを固定することも可能である。また、本実施形態の輸送用架台１０は、２つの上部部品７１を中央フレーム２０に固定することも可能であり、２つの下部部品７２を中央フレーム２０に固定することも可能である。   Each mounting plate 24 is formed with one or a plurality of through holes so as to correspond to the respective screw holes of the upper part 71 and the lower part 72. Thereby, even if any of the upper part 71 and the lower part 72 is arrange | positioned, the upper part 71 or the lower part 72, and the attachment board 24 can be fixed with the volt | bolt 26. FIG. Therefore, in the transportation platform 10 of the present embodiment, either the upper part 71 or the lower part 72 can be fixed on either side of the central frame 20. In addition, the transportation platform 10 of the present embodiment can fix the two upper parts 71 to the central frame 20 and can also fix the two lower parts 72 to the central frame 20.

上部部品７１および下部部品７２が中央フレーム２０の取付板２４に固定された状態における断面は、例えば図８のようになる。また、上部部品７１および下部部品７２が中央フレーム２０の取付板２４に固定された状態を上面から見た図は、例えば図９のようになる。図８および図９に示すように、上部部品７１および下部部品７２が中央フレーム２０に固定された状態において、上部部品７１、下部部品７２、および中央フレーム２０を含む幅は、荷台６０の幅よりも狭い。このように、上下に分割されたチャンバ７０の上部部品７１および下部部品７２を、横向きにして積載することにより、輸送用架台１０を含めたチャンバ７０全体の幅を、荷台６０の幅以内に抑えることができる。従って、本実施形態の輸送用架台１０を用いることにより、大型のチャンバ７０であっても、輸送用車両を用いて容易に輸送することが可能となる。   A cross section in a state where the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the mounting plate 24 of the central frame 20 is, for example, as shown in FIG. Moreover, the figure which looked at the state which the upper part 71 and the lower part 72 were fixed to the attachment plate 24 of the center frame 20 from the upper surface becomes like FIG. As shown in FIGS. 8 and 9, in a state where the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the central frame 20, the width including the upper part 71, the lower part 72, and the central frame 20 is larger than the width of the loading platform 60. Is also narrow. As described above, the upper part 71 and the lower part 72 of the chamber 70 divided into the upper and lower parts are stacked in a horizontal direction, so that the entire width of the chamber 70 including the transportation platform 10 is kept within the width of the loading platform 60. be able to. Therefore, by using the transportation platform 10 of the present embodiment, even a large chamber 70 can be easily transported using a transportation vehicle.

なお、本実施形態では、中央フレーム２０と上部部品７１と下部部品７２とを含む積荷全体の幅が約２メートルであり、荷台６０の幅が約２．４９メートルである。従って、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートル未満である。ここで、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートル以上である場合、積荷の機能が保てる最低単位まで積荷を分解することが道路交通法において義務付けられている。いわゆる「バラ積み規制」である。そのため、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートルを超える場合、チャンバ７０を１つの輸送用車両で輸送することができず、輸送効率が低下する。   In the present embodiment, the width of the entire load including the central frame 20, the upper part 71, and the lower part 72 is about 2 meters, and the width of the loading platform 60 is about 2.49 meters. Therefore, the width of the entire load including the loading platform 60 is less than 2.5 meters. Here, when the width of the entire load including the loading platform 60 is 2.5 meters or more, the road traffic law requires that the load be disassembled to the lowest unit that can maintain the function of the load. This is the so-called “unloading regulation”. Therefore, when the width of the entire load including the loading platform 60 exceeds 2.5 meters, the chamber 70 cannot be transported by one transport vehicle, and transport efficiency is reduced.

これに対し、本実施形態における輸送用架台１０を用いた輸送方法では、荷台６０を含む積荷全体の幅が２．５メートル未満であるため、「バラ積み規制」には該当せず、１つのチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２を１台の輸送用車両で輸送することが可能となる。従って、チャンバ７０の輸送効率を高めることができる。   On the other hand, in the transportation method using the transportation platform 10 in the present embodiment, since the width of the entire cargo including the cargo bed 60 is less than 2.5 meters, it does not correspond to the “unloading regulation”. The upper part 71 and the lower part 72 constituting the chamber 70 can be transported by one transport vehicle. Therefore, the transport efficiency of the chamber 70 can be increased.

また、側方フレーム３０に設けられた梯子５０は、例えば図１０に示すように側方フレーム３０に収容することが可能である。図１０は、梯子５０の引き出し状態および収容状態の一例を示す図である。梯子５０は、例えば図１０に示すように、手摺５１、梯子本体５２、およびガイド５３を有する。梯子本体５２は、上部の両脇に設けられたスライド片５４をガイド５３に沿って移動させることにより、側方フレーム３０に沿って収容されたり、梯子本体５２が斜めに引き出されたりすることが可能である。   Moreover, the ladder 50 provided in the side frame 30 can be accommodated in the side frame 30 as shown in FIG. 10, for example. FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a drawn-out state and a housed state of the ladder 50. The ladder 50 includes a handrail 51, a ladder main body 52, and a guide 53, for example, as shown in FIG. The ladder main body 52 may be accommodated along the side frame 30 or the ladder main body 52 may be pulled out obliquely by moving the slide pieces 54 provided on both sides of the upper portion along the guide 53. Is possible.

例えば、梯子本体５２のスライド片５４をガイド５３に沿って下方に移動させることにより、図１０の左側の図に示すように、梯子本体５２を引き出すことができる。これにより、作業者は、梯子５０を上って作業用足場４０上で作業を行うことができる。また、例えば、梯子本体５２のスライド片５４をガイド５３に沿って上方に移動させることにより、図１０の右側の図に示すように、梯子本体５２を側方フレーム３０に収容することができる。梯子本体５２を側方フレーム３０に収容することができるため、上部部品７１および下部部品７２と一緒に梯子５０を輸送することができる。これにより、上部部品７１および下部部品７２を輸送用架台１０に固定したり輸送用架台１０から取り外したりする度に、別途梯子を準備する手間を省くことができる。そのため、輸送用架台１０への上部部品７１および下部部品７２の固定および取り外しを迅速に行うことが可能となる。   For example, by moving the slide piece 54 of the ladder main body 52 downward along the guide 53, the ladder main body 52 can be pulled out as shown in the drawing on the left side of FIG. Thereby, the operator can work on the work scaffold 40 by climbing the ladder 50. Further, for example, by moving the slide piece 54 of the ladder main body 52 upward along the guide 53, the ladder main body 52 can be accommodated in the side frame 30 as shown in the drawing on the right side of FIG. Since the ladder body 52 can be accommodated in the side frame 30, the ladder 50 can be transported together with the upper part 71 and the lower part 72. Thereby, it is possible to save time and labor for preparing a ladder each time the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the transportation base 10 or removed from the transportation base 10. Therefore, it becomes possible to quickly fix and remove the upper part 71 and the lower part 72 from the transportation platform 10.

［輸送手順］
図１１は、輸送用架台１０を用いたチャンバ７０の輸送手順の一例を示すフローチャートである。 [Transportation procedure]
FIG. 11 is a flowchart showing an example of a procedure for transporting the chamber 70 using the transport platform 10.

まず、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に設置される（Ｓ１００）。具体的には、例えば図２に示したように、輸送用架台１０が荷台６０に積載され、側方フレーム３０の吊手３４に通された取付具３５が荷台６０に固定されることにより、輸送用架台１０が輸送用車両の荷台６０に設置される。そして、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に複数の保護マット２５が配置される。   First, the transportation platform 10 is installed on the loading platform 60 of the transportation vehicle (S100). Specifically, for example, as shown in FIG. 2, the transportation platform 10 is loaded on the loading platform 60, and the fixture 35 passed through the suspension 34 of the side frame 30 is fixed to the loading platform 60. The transportation platform 10 is installed on the loading platform 60 of the transportation vehicle. A plurality of protective mats 25 are arranged on the loading platform 60 on the side of the central frame 20.

次に、チャンバ７０から分割された上部部品７１および下部部品７２が、それぞれ、側方フレーム３０の間であって、中央フレーム２０の側方の荷台６０上に配置される（Ｓ１０１）。具体的には、例えば図４に示したように、上部部品７１および下部部品７２が、それぞれ、吊手７４に通されたワイヤーロープ等を用いてクレーン等によって吊り上げられる。そして、上部部品７１は、天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように、下部部品７２は、底面７２０が中央フレーム２０側を向くように、それぞれ中央フレーム２０の側方に配置される。   Next, the upper part 71 and the lower part 72 divided from the chamber 70 are respectively disposed between the side frames 30 and on the side loading platform 60 of the central frame 20 (S101). Specifically, as shown in FIG. 4, for example, the upper part 71 and the lower part 72 are each lifted by a crane or the like using a wire rope or the like passed through a hand 74. The upper part 71 is arranged on the side of the central frame 20 so that the ceiling surface 710 faces the central frame 20 side, and the lower part 72 is arranged on the side of the central frame 20 so that the bottom face 720 faces the central frame 20 side.

次に、側方フレーム３０に収容されている梯子５０が引き出される（Ｓ１０２）。具体的には、梯子本体５２に設けられたスライド片５４を側方フレーム３０に設けられたガイド５３に沿って下方に移動させることにより、例えば図１０の左側の図に示したように、梯子本体５２が引き出される。   Next, the ladder 50 accommodated in the side frame 30 is pulled out (S102). Specifically, by moving the slide piece 54 provided on the ladder main body 52 downward along the guide 53 provided on the side frame 30, for example, as shown in the left diagram of FIG. The main body 52 is pulled out.

次に、作業者は、梯子５０を用いて中央フレーム２０および側方フレーム３０上の作業用足場４０に上る（Ｓ１０３）。そして、作業者は、作業用足場４０上で、ボルト２６を用いて、上部部品７１の天井面７１０および下部部品７２の底面７２０を、それぞれ、中央フレーム２０の梁２２に設けられた取付板２４に固定する（Ｓ１０４）。   Next, an operator goes up to the work scaffold 40 on the center frame 20 and the side frame 30 using the ladder 50 (S103). Then, the worker uses the bolts 26 on the work scaffold 40 to attach the ceiling surface 710 of the upper part 71 and the bottom surface 720 of the lower part 72 to the mounting plate 24 provided on the beam 22 of the central frame 20, respectively. (S104).

次に、作業者は、ステップＳ１０２で引き出された梯子５０を用いて、作業用足場４０から下り、梯子５０を側方フレーム３０に収容する（Ｓ１０５）。具体的には、梯子本体５２に設けられたスライド片５４を側方フレーム３０に設けられたガイド５３に沿って上方に移動させることにより、例えば図１０の右側の図に示したように、梯子本体５２が側方フレーム３０に収容される。   Next, the worker uses the ladder 50 drawn out in step S102 to descend from the work scaffold 40 and accommodates the ladder 50 in the side frame 30 (S105). Specifically, by moving the slide piece 54 provided on the ladder main body 52 upward along the guide 53 provided on the side frame 30, for example, as illustrated in the right side of FIG. The main body 52 is accommodated in the side frame 30.

次に、作業者は、ボルト２６を用いて、上部部品７１の天井面７１０および下部部品７２の底面７２０を、それぞれ、中央フレーム２０の柱２１に設けられた取付板２４に固定する。そして、上部部品７１および下部部品７２が固定された輸送用架台１０全体がカバーで覆われる（Ｓ１０６）。そして、輸送用架台１０が固定された荷台６０が輸送用車両によって牽引され、チャンバ７０が輸送される（Ｓ１０７）。   Next, the worker uses the bolts 26 to fix the ceiling surface 710 of the upper part 71 and the bottom surface 720 of the lower part 72 to the mounting plate 24 provided on the column 21 of the central frame 20, respectively. Then, the entire transportation platform 10 to which the upper part 71 and the lower part 72 are fixed is covered with a cover (S106). Then, the loading platform 60 to which the transportation platform 10 is fixed is pulled by the transportation vehicle, and the chamber 70 is transported (S107).

以上、輸送用架台１０および輸送方法の実施形態について説明した。上記説明から明らかなように、本実施形態の輸送用架台１０によれば、１台のチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２を１台の輸送用車両によって容易に輸送することが可能となる。そのため、チャンバ７０を効率よく輸送することができる。   The embodiment of the transportation platform 10 and the transportation method has been described above. As is clear from the above description, according to the transportation platform 10 of the present embodiment, the upper part 71 and the lower part 72 constituting one chamber 70 can be easily transported by one transportation vehicle. It becomes. Therefore, the chamber 70 can be transported efficiently.

［その他］
上記した実施形態では、輸送用架台１０に同一のチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２が固定されたが、開示の技術はこれに限られず、異なるチャンバ７０を構成する上部部品７１および下部部品７２が固定されてもよい。また、輸送用架台１０には、異なるチャンバ７０を構成する２つの上部部品７１が輸送用架台１０のそれぞれの側面に固定されてもよく、異なるチャンバ７０を構成する２つの下部部品７２が輸送用架台１０のそれぞれの側面に固定されてもよい。また、輸送用架台１０のいずれかの側面に、１つの上部部品７１または１つの下部部品７２のみが固定されてもよい。 [Others]
In the above-described embodiment, the upper part 71 and the lower part 72 constituting the same chamber 70 are fixed to the transportation platform 10, but the disclosed technique is not limited to this, and the upper part 71 and the different parts 70 constituting the different chambers 70 The lower part 72 may be fixed. Further, two upper parts 71 constituting different chambers 70 may be fixed to the respective side surfaces of the transportation base 10, and two lower parts 72 constituting different chambers 70 are used for transportation. It may be fixed to each side surface of the gantry 10. Further, only one upper part 71 or one lower part 72 may be fixed to any side surface of the transportation platform 10.

また、上記した実施形態では、上部部品７１の天井面７１０および下部部品７２の底面７２０が中央フレーム２０の取付板２４に固定されたが、開示の技術はこれに限られない。例えば、側方フレーム３０の柱３１や梁３２に取付板２４が設けられ、当該取付板２４に、上部部品７１や下部部品７２の側面がボルト２６等により固定されるようにしてもよい。   In the above-described embodiment, the ceiling surface 710 of the upper part 71 and the bottom surface 720 of the lower part 72 are fixed to the mounting plate 24 of the central frame 20, but the disclosed technique is not limited thereto. For example, the mounting plate 24 may be provided on the column 31 or the beam 32 of the side frame 30, and the side surfaces of the upper component 71 and the lower component 72 may be fixed to the mounting plate 24 with bolts 26 or the like.

また、上記した実施形態では、天井面７１０が中央フレーム２０側を向くように上部部品７１が中央フレーム２０に固定され、底面７２０が中央フレーム２０側を向くように下部部品７２が中央フレーム２０に固定されるが、天井面７１０および底面７２０が中央フレーム２０の側面に沿う向きとなるように中央フレーム２０に固定されていれば、上記の固定方法に限られない。   In the above-described embodiment, the upper part 71 is fixed to the central frame 20 so that the ceiling surface 710 faces the central frame 20 side, and the lower part 72 is attached to the central frame 20 so that the bottom face 720 faces the central frame 20 side. Although it is fixed, the fixing method is not limited to the above as long as the ceiling surface 710 and the bottom surface 720 are fixed to the central frame 20 so as to be along the side surface of the central frame 20.

例えば、上部部品７１の開口が中央フレーム２０側を向くように上部部品７１が輸送用架台１０に固定されてもよく、下部部品７２の開口が中央フレーム２０側を向くように下部部品７２が輸送用架台１０に固定されてもよい。例えば、側方フレーム３０の柱３１や梁３２に取付板２４が設けられ、当該取付板２４に、上部部品７１や下部部品７２の側面がボルト２６により固定される。このように、上部部品７１および下部部品７２の開口が中央フレーム２０側を向くように、上部部品７１および下部部品７２が輸送用架台１０に固定されることにより、輸送中に上部部品７１および下部部品７２の内側に傷や汚れが付くことを防止することができる。   For example, the upper part 71 may be fixed to the transportation platform 10 so that the opening of the upper part 71 faces the center frame 20 side, and the lower part 72 transports so that the opening of the lower part 72 faces the center frame 20 side. It may be fixed to the gantry 10. For example, the mounting plate 24 is provided on the column 31 or the beam 32 of the side frame 30, and the side surfaces of the upper component 71 and the lower component 72 are fixed to the mounting plate 24 by the bolts 26. In this way, the upper part 71 and the lower part 72 are fixed to the transportation platform 10 so that the openings of the upper part 71 and the lower part 72 face the central frame 20 side, so that the upper part 71 and the lower part 72 are transported during transportation. It is possible to prevent the inside of the component 72 from being scratched or soiled.

また、上記した実施形態では、チャンバ７０として、例えばＦＰＤ用の処理チャンバを例に説明したが、開示の技術はこれに限られない。ＦＰＤの製造や検査等で用いられる真空チャンバであれば、チャンバ７０は、ＦＰＤ用の搬送チャンバやＦＰＤ用のロードロックチャンバ等であってもよい。   In the above-described embodiment, the processing chamber for FPD has been described as an example of the chamber 70, but the disclosed technique is not limited thereto. The chamber 70 may be an FPD transfer chamber, an FPD load lock chamber, or the like as long as it is a vacuum chamber used in FPD manufacturing or inspection.

１０ 輸送用架台
２０ 中央フレーム
２１ 柱
２２ 梁
２３ 筋交
２４ 取付板
２５ 保護マット
２６ ボルト
２７ 吊手
２８ 土台
３０ 側方フレーム
３１ 柱
３２ 梁
３３ 筋交
３４ 吊手
３５ 取付具
３６ 土台
３７ 補強材
４０ 作業用足場
４１ 柵
５０ 梯子
５１ 手摺
５２ 梯子本体
５３ ガイド
５４ スライド片
６０ 荷台
７０ チャンバ
７１ 上部部品
７１０ 天井面
７１１ シャワーヘッド
７２ 下部部品
７２０ 底面
７２１ サセプタ
７３ シール部材
７４ 吊手 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Transportation stand 20 Central frame 21 Column 22 Beam 23 Bracing 24 Mounting plate 25 Protection mat 26 Bolt 27 Suspension 28 Base 30 Side frame 31 Column 32 Beam 33 Bracing 34 Suspension 35 Mounting tool 36 Base 37 Reinforcement material 40 Working scaffold 41 Fence 50 Ladder 51 Handrail 52 Ladder body 53 Guide 54 Slide piece 60 Loading platform 70 Chamber 71 Upper part 710 Ceiling surface 711 Shower head 72 Lower part 720 Bottom surface 721 Susceptor 73 Seal member 74 Suspension hand

Claims (13)

上下に分割可能なチャンバを輸送するための輸送用架台であって、
第１の方向に延在する中央フレームと、
前記第１の方向における前記中央フレームの両端に、前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームと、
前記チャンバを前記中央フレームに固定するための複数の固定具と
を備え、
前記チャンバは、前記チャンバの天井面を含む上部部品と、前記チャンバの底面を含む下部部品とに分割され、
前記複数の固定具のそれぞれは、
前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを、前記２つの側方フレームの間であって、前記中央フレームの側面に、前記天井面または前記底面が前記中央フレームの側面に沿う向きとなるように固定することを特徴とする輸送用架台。 A transportation platform for transporting a chamber that can be divided into upper and lower parts,
A central frame extending in a first direction;
Two side frames extending in a second direction intersecting the first direction at both ends of the central frame in the first direction;
A plurality of fixtures for securing the chamber to the central frame;
The chamber is divided into an upper part including a ceiling surface of the chamber and a lower part including a bottom surface of the chamber,
Each of the plurality of fixtures is
At least one of the upper part and the lower part is between the two side frames, and the ceiling surface or the bottom surface is oriented along the side surface of the central frame between the two side frames. A transportation gantry characterized by being fixed to. 前記複数の固定具のそれぞれは、
前記中央フレームの一方の側面に、１つの前記チャンバから分割された前記上部部品を固定し、
前記中央フレームの他方の側面に、前記１つのチャンバから分割された前記下部部品を固定することを特徴とする請求項１に記載の輸送用架台。 Each of the plurality of fixtures is
Fixing the upper part divided from one of the chambers to one side of the central frame;
2. The transportation platform according to claim 1, wherein the lower part divided from the one chamber is fixed to the other side surface of the central frame. 前記複数の固定具の少なくとも一部は、前記中央フレームに設置され、
前記中央フレームに設置された前記固定具は、
前記中央フレームに、前記上部部品の天井面と前記下部部品の底面とを固定することを特徴とする請求項２に記載の輸送用架台。 At least some of the plurality of fixtures are installed on the central frame,
The fixture installed on the central frame is:
The transportation platform according to claim 2, wherein a ceiling surface of the upper part and a bottom surface of the lower part are fixed to the central frame. 前記中央フレームおよび前記側方フレームの上方に設けられた作業用足場と、
前記作業用足場を囲む転落防止部と
をさらに備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の輸送用架台。 A working scaffold provided above the central frame and the side frames;
The transportation platform according to any one of claims 1 to 3, further comprising a fall prevention unit surrounding the work scaffold. 前記側方フレームには、作業者が前記作業用足場に上るための梯子が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の輸送用架台。   5. The transportation platform according to claim 4, wherein a ladder for allowing an operator to go up to the work scaffold is provided on the side frame. 前記梯子は、前記側方フレームに収容されることを特徴とする請求項５に記載の輸送用架台。   The transportation ladder according to claim 5, wherein the ladder is accommodated in the side frame. 前記中央フレームは、
上下方向に延在する複数の柱と、
前記第１の方向に延在する梁と、
前記複数の柱の間に斜めに設けられた複数の筋交と
を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の輸送用架台。 The central frame is
A plurality of pillars extending vertically,
A beam extending in the first direction;
The transportation platform according to claim 1, further comprising a plurality of braces provided obliquely between the plurality of pillars. 前記チャンバは、ＦＰＤ（Flat Panel Display）用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載の輸送用架台。   The transport chamber according to any one of claims 1 to 7, wherein the chamber is a processing chamber for FPD (Flat Panel Display), a transfer chamber for FPD, or a load lock chamber for FPD. Mount. 上下に分割可能なチャンバを輸送する輸送方法であって、
第１の方向に延在する中央フレームと、前記第１の方向における前記中央フレームの両端に前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する２つの側方フレームとを備える輸送用架台を輸送用車両の荷台に設置する設置工程と、
前記チャンバの天井面を含む上部部品と前記チャンバの底面を含む下部部品とに分割される前記チャンバにおいて、前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを、前記２つの側方フレームの間であって、前記中央フレームの側面に、前記天井面または前記底面が前記中央フレームの側面に沿う向きとなるように配置する配置工程と、
前記中央フレームの側面に、前記上部部品の天井面および前記下部部品の底面の少なくともいずれかを、前記輸送用架台に設けられた複数の固定具により固定する固定工程と、
前記中央フレームの側面に固定された前記上部部品および前記下部部品の少なくともいずれかを前記輸送用車両で輸送する輸送工程と
を含むことを特徴とする輸送方法。 A transport method for transporting a chamber that can be divided into upper and lower parts,
For transportation comprising a central frame extending in a first direction and two side frames extending in a second direction intersecting the first direction at both ends of the central frame in the first direction An installation process for installing the gantry on the carrier of the transportation vehicle;
In the chamber divided into an upper part including a ceiling surface of the chamber and a lower part including a bottom surface of the chamber, at least one of the upper part and the lower part is disposed between the two side frames. An arrangement step of arranging the ceiling surface or the bottom surface on the side surface of the central frame so that the side surface is oriented along the side surface of the central frame;
A fixing step of fixing at least one of a ceiling surface of the upper part and a bottom surface of the lower part to a side surface of the central frame by a plurality of fixing members provided on the transportation platform
A transportation method comprising: transporting at least one of the upper part and the lower part fixed to the side surface of the central frame by the transportation vehicle. 前記中央フレームの一方の側面には、１つの前記チャンバから分割された前記上部部品が前記複数の固定具により固定され、
前記中央フレームの他方の側面には、前記１つのチャンバから分割された前記下部部品が前記複数の固定具により固定されることを特徴とする請求項９に記載の輸送方法。 The upper part divided from one chamber is fixed to one side surface of the central frame by the plurality of fixtures,
The transport method according to claim 9, wherein the lower part divided from the one chamber is fixed to the other side surface of the central frame by the plurality of fixing tools. 前記複数の固定具の少なくとも一部は、前記中央フレームに設置され、
前記中央フレームには、前記上部部品の天井面と前記下部部品の底面とが、前記中央フレームに設置された前記固定具により固定されることを特徴とする請求項１０に記載の輸送方法。 At least some of the plurality of fixtures are installed on the central frame,
The transportation method according to claim 10, wherein a ceiling surface of the upper part and a bottom surface of the lower part are fixed to the central frame by the fixing device installed on the central frame. 前記固定工程には、
前記側方フレームに収容された梯子を引き出す工程と、
前記梯子を用いて作業者が前記側方フレームおよび前記中央フレームの上方に設けられ、周囲が転落防止用の柵で囲まれた作業用足場に上る工程と、
前記作業用足場の上での前記作業者の作業により前記チャンバの前記上部部品の天井面および前記下部部品の底面の少なくともいずれかを前記中央フレームに固定する工程と、
前記梯子を用いて作業者が作業領域から降り、前記側方フレームに梯子を収容する工程と
が含まれることを特徴とする請求項９から１１のいずれか一項に記載の輸送方法。 In the fixing step,
Pulling out the ladder housed in the side frame;
A step in which an operator is provided above the side frame and the central frame using the ladder and climbs to a work scaffold surrounded by a fall-preventing fence;
Fixing at least one of a ceiling surface of the upper part of the chamber and a bottom surface of the lower part to the central frame by the operator's work on the work scaffold;
The transportation method according to any one of claims 9 to 11, further comprising a step in which an operator uses the ladder to descend from a work area and accommodates the ladder in the side frame. 前記チャンバは、ＦＰＤ用の処理チャンバ、ＦＰＤ用の搬送チャンバ、またはＦＰＤ用のロードロックチャンバであることを特徴とする請求項９から１２のいずれか一項に記載の輸送方法。   The transport method according to any one of claims 9 to 12, wherein the chamber is a processing chamber for FPD, a transfer chamber for FPD, or a load lock chamber for FPD.
JP2016243311A 2016-12-15 2016-12-15 Transport mount and transport method Active JP6755169B2 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016243311A JP6755169B2 (en) 2016-12-15 2016-12-15 Transport mount and transport method
KR1020170017373A KR101903877B1 (en) 2016-12-15 2017-02-08 Transportation cradle and transportation method
CN201710136997.7A CN107098164B (en) 2016-12-15 2017-03-09 Conveying bracket and delivery method
TW106142477A TWI729243B (en) 2016-12-15 2017-12-05 Frame for conveying and conveying method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016243311A JP6755169B2 (en) 2016-12-15 2016-12-15 Transport mount and transport method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018098410A true JP2018098410A (en) 2018-06-21
JP6755169B2 JP6755169B2 (en) 2020-09-16

Family

ID=58543436

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016243311A Active JP6755169B2 (en) 2016-12-15 2016-12-15 Transport mount and transport method

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6755169B2 (en)
KR (1) KR101903877B1 (en)
CN (1) CN107098164B (en)
TW (1) TWI729243B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114715602A (en) * 2022-04-18 2022-07-08 安徽省金兰金盈铝业有限公司 Be used for integrated supplementary conveying equipment of industry aluminium alloy

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114751191B (en) * 2022-04-08 2023-06-09 浙江集秀元智能装备有限公司 Multi-station material shifting device for battery pole plates

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10167363A (en) * 1996-12-09 1998-06-23 Central Glass Co Ltd Framework for transporting sheet-like body
JP2000272684A (en) * 1999-03-24 2000-10-03 Nippon Sheet Glass Co Ltd L-rack form physical distribution tool of glass plate stand-packing type for large-sized glass type or the like
JP2006114874A (en) * 2004-06-02 2006-04-27 Applied Materials Inc Electron device manufacturing chamber and forming method thereof
JP2008074423A (en) * 2006-09-19 2008-04-03 Central Glass Co Ltd Pallet for transporting plate body

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR950001375Y1 (en) * 1993-03-27 1995-03-03 주식회사 수산특장 Truck for transporting concrete panel
JP2001018705A (en) 1999-07-05 2001-01-23 Misawa Ceramics Corp Fixing method for transporting building unit and method for transporting building unit using the method
KR20060116989A (en) * 2005-05-12 2006-11-16 삼성전자주식회사 Manufacturing system of flat panel display
JP4754304B2 (en) * 2005-09-02 2011-08-24 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing apparatus, load lock chamber unit, and carrying-out method of transfer apparatus
JP2007073688A (en) 2005-09-06 2007-03-22 Shinko Electric Co Ltd Xy stage device and method of manufacturing same
KR101234696B1 (en) * 2008-02-28 2013-02-19 가부시키가이샤 알박 Transfer apparatus, vacuum processing apparatus and transter method
KR101240052B1 (en) 2010-12-31 2013-03-06 (주)한국경공매교육협회 Apparatus for holding glass in plate vehicle
JP6006978B2 (en) 2012-05-24 2016-10-12 大和ハウス工業株式会社 Conveying equipment
KR200478857Y1 (en) * 2014-06-11 2015-11-25 삼성중공업 주식회사 Supporting Structure

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10167363A (en) * 1996-12-09 1998-06-23 Central Glass Co Ltd Framework for transporting sheet-like body
JP2000272684A (en) * 1999-03-24 2000-10-03 Nippon Sheet Glass Co Ltd L-rack form physical distribution tool of glass plate stand-packing type for large-sized glass type or the like
JP2006114874A (en) * 2004-06-02 2006-04-27 Applied Materials Inc Electron device manufacturing chamber and forming method thereof
JP2008074423A (en) * 2006-09-19 2008-04-03 Central Glass Co Ltd Pallet for transporting plate body

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114715602A (en) * 2022-04-18 2022-07-08 安徽省金兰金盈铝业有限公司 Be used for integrated supplementary conveying equipment of industry aluminium alloy

Also Published As

Publication number Publication date
KR20170021806A (en) 2017-02-28
CN107098164A (en) 2017-08-29
JP6755169B2 (en) 2020-09-16
KR101903877B1 (en) 2018-10-02
TWI729243B (en) 2021-06-01
TW201833012A (en) 2018-09-16
CN107098164B (en) 2019-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI414468B (en) Roof buffer and its transfer method
JP6755169B2 (en) Transport mount and transport method
JP7283550B2 (en) Conveyor system and storage unit
JP4684683B2 (en) Clean booth and work system using the clean booth
JP2013007640A (en) Assembly radioactive ray shield and radioactive ray shielding method by using the same
JP6621732B2 (en) Work floor equipment
JP2018168632A (en) Track device and method of installing panel body
KR20120011422A (en) Profile with acrylic panel fixing member
JPH0886037A (en) Plant building, constructing method therefor, and structure for its construction
US20140209570A1 (en) Machine tool
JP7202809B2 (en) Method for assembling conveying equipment and mechanical parking equipment
JP2005145619A (en) Elevator car structure
JP3142135U (en) Work facility for inner walls of the hold
JP2018204193A (en) In-building elevator type mechanical parking device
TWI533371B (en) Processing device
CN110198906B (en) Elevator long article transportation auxiliary tool, elevator guide rail removing method and elevator guide rail setting method
TWI675786B (en) Fall prevention device for pallet of multi-deck warehouse
KR20230066836A (en) Cable tray module constructing apparatus and cable tray module contstructing method using thereof
JP2022121017A (en) Ceiling carrying system inside building, and construction method of ceiling carrying rail inside building
JP2023116392A (en) Substrate processing apparatus
JP2021055457A (en) Panel loading rack, and panel construction method
JP2011214811A (en) Method and device for storing canister
JP2012167469A (en) Solar cell panel carrying device and manufacturing method of solar cell system
JP2008280708A (en) Curtain wall hanging device
JP2018002164A (en) Conveyance frame with scaffold

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190912

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200630

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200728

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200825

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6755169

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250