JP2018097274A - 光結合器 - Google Patents
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Abstract
Description
この光テスト、光実装の両者において肝となるのが、高性能かつ低コストの外部光学部品−シリコンチップ間の光結合技術である。これまでシリコンチップ側ではチップ端面から光信号を入出力させる端面出射型光結合器、もしくはチップ表面から入出力させる表面出射型光結合器が開発されてきた。
近年では、V字溝を利用した光ファイバアレイの自己位置合わせによる高速・低コストの実装技術も報告されている。
その一方で、端面出射型光結合器は、基本的にチップ縁でのみ実装可能であり、チップ当たりの実装密度に制限がある。また非破壊的に光テストを行うことも困難である。
一方で、回折格子構造に起因する大きな波長依存性、偏波依存性、入射角依存性が課題となっている。
このエレファントカプラは、細線導波路を数ミクロンオーダで湾曲した曲げ構造を有する光結合器であり、片持ち梁構造として空中に浮かせたシリコン細線導波路に対し、イオンを注入をすることで導波路の一部をアモルファス化し、応力分布を発生することで得られる。
このエレファントカプラは、表面出射でありながら端面出射型の導波路構造及び光結合原理を有するため、高性能かつ高密度な光学部品のチップ上集積・実装(発光素子・受光素子・光ファイバ)及びウエハレベル光テストといったアプリケーション応用が期待されている。
これらは異なる材料・構造で構成されるため、光結合時の強度プロファイル(ビームスポット径など)はそれぞれ異なる。
したがって、結合対象に合わせた出射ビーム形状を有するエレファントカプラ等の光結合器が重要となる。
また、物理的強度の低下及びイオン注入による吸収損失による伝搬光強度の低下を防ぐため、光結合器の曲げ導波路部分は、短尺化が望まれており、数ミクロンという急峻な曲率半径で形成されている。
したがって、エレファントカプラ等の光結合器の先端付近に位置する曲げ導波路部分では、導波路幅はかなり細くなっている。
また、シリコン導波路コアに対し等方的に成膜されたSiO2クラッドは、その外部の空気層との大きな屈折率差から中間コアとして作用し、シリコンコアとSiO2コアを中心とした複数の高次モードの存在を許容する。
マイクロメートル寸法の微細構造デバイスでは、寸法制御性の点から、多モード光伝搬を積極的に利用して外部光学素子と光結合を行うのは実用的でない。
このような長い先細テーパ状導波路構造を上方向あるいは垂直方向に導入するのは、物理的強度の点で課題となる。
したがって、本発明は、従来の光結合器の問題点を解決し、ビームの出射角を制御できるとともに、先細テーパ状導波路の短尺化が可能な光結合器を実現することを課題とする。
(1)細線導波路と、細線導波路に連接する曲げ導波路及び先細テーパ状導波路と、各導波路の周囲を包囲するクラッド層とを備えた光結合器であって、先細テーパ状導波路の先端及び先細テーパ状導波路を包囲するクラッド層の端面には、集光機能を有する材料からなるドーム状構造が配置されていることを特徴とする光結合器。
(2)基板と、基板上に形成された細線導波路と、細線導波路に連接する垂直曲げ導波路及び先細テーパ状導波路と、各導波路の周囲を包囲するクラッド層とを備えた光結合器であって、先細テーパ状導波路の先端及び先細テーパ状導波路を包囲するクラッド層の端面には、集光機能を有する材料からなるドーム状構造が配置されていることを特徴とする光結合器。
(3)上記細線導波路、上記曲げ導波路及び上記先細テーパ状導波路は、シリコンからなり、前記クラッド層は、SiO2からなることを特徴とする、(1)又は(2)に記載の光結合器。
(4)上記先細テーパ状導波路は、線形テーパ構造を有する導波路であることを特徴とする、(1)ないし(3)のいずれかに記載の光結合器。
(5)上記先細テーパ状導波路は、非線形テーパ構造を有する導波路であることを特徴とする、(1)ないし(3)のいずれかに記載の光結合器。
(6)上記非線形テーパ構造は、指数関数テーパ構造であることを特徴とする、(5)に記載の光結合器。
(7)上記非線形テーパ構造は、二次関数テーパ構造であることを特徴とする、(5)に記載の光結合器。
(8)上記曲げ導波路又は垂直曲げ導波路には、イオンが注入されていることを特徴とする、(1)ないし(7)のいずれかに記載の光結合器。
(9)上記ドーム状構造は、上記クラッド層を構成する材料と同一の材料からなることを特徴とする、(1)ないし(8)のいずれかに記載の光結合器。
(1)ドーム状構造材料の屈折率を変えることにより、ビームの出射角を制御できる。
(2)ドーム状構造の半径を変化させることにより、ビームのスポット径を制御することができる。
(3)ビームの出射角を制御できるため、先細テーパ状導波路の短尺化が可能となり、かつ光結合器の小型化が可能となる。
(4)先細テーパ状導波路の短尺化が可能となるため、先細テーパ状導波路構造の物理的強度を従来のものより相対的に高めることができる。
(5)ドーム状構造は、SiO2等の等方成膜プロセスにより、クラッド層形成と同時に得ることができる。等の
本発明は、細線導波路領域と、これに連接する曲げ導波路領域及び先細テーパ状導波路領域とを備えた光結合器において、先細テーパ状導波路の先端及び先細テーパ状導波路領域を包囲するクラッド層の端面に集光機能を有する材料からなるドーム状構造を配置することを要点とするものである。
図1は、本願発明に係る光結合器の構造模式図である。
図1では、細線導波路1、曲げ導波路2及び先細テーパ状導波路3として、シリコン導波路を、またクラッド層として、SiO2クラッド層5をそれぞれ例示しているが、本発明はこれに限定されるものではない。
この光結合器では、先端部分は、直立したシリコン細線による先細テーパ状導波路構造となっている。
さらに、このシリコン細線導波路コアに対し、低屈折率の被覆材料であるSiO2が等方成膜されており、シリコン導波路コアを軸中心に持つ同軸導波路構造となっている。
また、先細テーパ状導波路の先端6周辺には、被覆材料がドーム状に形成されている。
なお、図1に例示した光結合器では、曲げ導波路領域及び先細テーパ状導波路領域は、基板に対して垂直方向に配置されているが、基板に対して斜め上方向に配置してもよい。
曲げ導波路2の半径は3μm以上であり、曲げ導波路2の導波路幅は310nm以上である。これは導波路厚220nmのシリコン光回路から伝送されてくるTE基本モード光が、3μmという急峻な曲げ半径の曲げ導波路部分において、低損失伝搬(損失値0.5dB以下)を可能とする条件である。ここでの損失は、シリコンコアから光が自由空間に漏れ出てしまうことによる放射損失と、同軸構造であるシリコンコアと被覆材料との間で異なる伝搬モードに結合してしまうことによる高次モード結合損失が含まれる。
先細テーパ状導波路領域では、図1の前面図から分かるように、上記の導波路幅から次第に細くなる構造となっている。導波路幅が狭くなるに応じて、伝搬光がシリコン導波路コアから被覆材料に漏れ出していく。この漏れ光の広がり角は、先細テーパ状導波路の長さ(本明細書では、「テーパ長」ともいう)LT及び先細テーパ状導波路の先端幅Sに依存しており、一般的に先細テーパ状導波路の長さLTが短かく、先端幅Sが狭くなるほど広がり角は大きくなる。
このような理由から、現在報告されている一般的な端面出射型の光結合器では、広がり角を抑制するために、数十μmから数百μmのテーパ長を必要とする。
本発明の光結合器では、光結合器の先細テーパ状導波路の先端6及び先細テーパ状導波路を包囲するクラッド層5の端面に配置されたドーム状構造4を有するため、その集光効果により、先細テーパ状導波路から漏れ出した光の放射角を緩和することができる。
したがって、数μmという短いテーパ長で高効率な光結合器が実現できる。これは光ファイバとの結合に限らず、ビームプロファイルが異なる光学素子との結合においても、テーパ構造の寸法、すなわちテーパ長LT、先端幅S及び被覆材料の膜厚(=ドーム状構造の半径)rSiO2をパラメータとすることで、高効率結合が可能となる。
以下に検討する実施例からも分かるように、2μm、5μm、10μmの各スポット径光ファイバとの高効率結合構造寸法で、クラッド半径が大きくなることが確認できる。
本発明の光結合器では、ドーム状構造のドーム半径を調整することにより、様々な外部素子との高効率結合が可能になる。
(先細テーパ状導波路の構造)
直立形状の先細テーパ状導波路3の構造を検討する。先細テーパ状導波路3は、曲げ導波路の出射側と接続されているため、根元の導波路の幅は曲げ導波路の幅と同じである。
先細テーパ状導波路3の形状としては、線形テーパ構造、もしくは指数関数、二次曲線関数などの非線形テーパ構造を用いる。
しかし、先細テーパ状導波路の先端6の上方に形成されているSiO2からなるドーム状構造4による集光効果により、放射角を緩和することができる。
実施例1として、半径5μmのスポット径を有する高NAシングルモードファイバとの突合せ実装のための、結合構造を検討する。
光結合器は、曲げ導波路の半径3μm、テーパ長LT9μm、先端幅S50nm、SiO2クラッド膜2.7μmの構造である。
図2に、SiO2ドームの有無での光結合器における伝搬光の様子を示す。
図2の(A)図のように、ドーム状SiO2構造がなく切り落とし構造の時は、先細テーパ状導波路の先端において光が広がっていく様子が見られる。
一方、図2の(B)図から分かるように、ドーム状構造があることで、ビームは集光されウエストされている様子が見られる。このことにより結合対象との高効率光結合が可能となる。
図3及び図4によれば、この結合構造を中心に、結合損失が1dBを下回るのは、テーパ長LTが7〜12μm、先端幅Sが110nm以下、SiO2クラッド厚rSiO2が2.5〜2.9μmの条件であることが分かる。
さらに、非線形テーパ構造を導入することで、効率よくフィールドを広げることができ、短尺なテーパ構造で高効率光結合を達成できる。
指数関数及び二次関数に基づくテーパ構造を取り入れた。ドーム状構造の半径rSiO2は、2.7μm、先端幅Sは、50nmである。
図6に、線形テーパ構造及び指数関数テーパ構造における、光結合器の伝搬光の様子を示す。
実施例2として、スポット径2μmの先球ファイバとの突合せ実装のための、結合構造を検討する。
曲げ導波路部分は、実施例1と同構造である。
図7、図8に結合損失のテーパ構造依存性を示す。
テーパ長LT4μm、先端幅S100nm、SiO2クラッド膜厚rSiO21.0μmの構造で、結合損失0.5dBとなった。この構造を中心に、結合損失が1dBを下回るのは、テーパ長LTが2〜5μm、先端幅Sが180nm以下、SiO2クラッド厚rSiO2が0.8〜1.1μmの条件である。
実施例3として、スポット径10μmの汎用SMF−28eとの突合せ実装のための、結合構造を検討する。
曲げ導波路部分は、実施例1と同構造である。
図9によれば、テーパ長LT25μm、先端幅S50nm、SiO2クラッド膜厚rSiO25.5μmの構造で、結合損失0.9dBが得られた
すなわち、本発明は、特許請求の範囲を逸脱しない限り、光結合器の作製に当たって、適宜の設計変更が可能であることは言うまでもないことである。
2 曲げ導波路
3 先細テーパ状導波路
4 ドーム状構造
5 クラッド層
6 先細テーパ状導波路の先端
Claims (9)
- 細線導波路と、該細線導波路に連接する曲げ導波路及び先細テーパ状導波路と、各導波路の周囲を包囲するクラッド層とを備えた光結合器であって、該先細テーパ状導波路の先端及び該先細テーパ状導波路を包囲する該クラッド層の端面には、集光機能を有する材料からなるドーム状構造が配置されていることを特徴とする光結合器。
- 基板と、該基板上に形成された細線導波路と、該細線導波路に連接する垂直曲げ導波路及び先細テーパ状導波路と、各導波路の周囲を包囲するクラッド層とを備えた光結合器であって、該先細テーパ状導波路の先端及び該先細テーパ状導波路を包囲する該クラッド層の端面には、集光機能を有する材料からなるドーム状構造が配置されていることを特徴とする光結合器。
- 上記細線導波路、上記曲げ導波路及び上記先細テーパ状導波路は、シリコンからなり、上記クラッド層は、SiO2からなることを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載の光結合器。
- 上記先細テーパ状導波路は、線形テーパ構造を有する導波路であることを特徴とする、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の光結合器。
- 上記先細テーパ状導波路は、非線形テーパ構造を有する導波路であることを特徴とする、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の光結合器。
- 上記非線形テーパ構造は、指数関数テーパ構造であることを特徴とする、請求項5に記載の光結合器。
- 上記非線形テーパ構造は、二次関数テーパ構造であることを特徴とする、請求項5に記載の光結合器。
- 上記曲げ導波路又は垂直曲げ導波路には、イオンが注入されていることを特徴とする、請求項1ないし請求項7のいずれか1項に記載の光結合器。
- 上記ドーム状構造は、上記クラッド層を構成する材料と同一の材料からなることを特徴とする、請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の光結合器。
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