JP2018096872A - 計測装置、計測方法、システム、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】計測精度および計測時間の点で有利な計測装置を提供する。
【解決手段】物体Wの形状を計測する計測装置100で、複数のライン光からなる識別可能なパターン光Pを物体Wに投影する投影部110と、パターン光Pが投影された物体Wの撮像を行って画像情報を出力する撮像部120と、撮像部120から出力された画像情報から物体上におけるパターン光Pの輝度分布を求め、当該輝度分布から物体Wの形状に関する情報を得る処理部140と、を有し、処理部140は、第1位置でパターン光Pが投影された物体Wを撮像して得られる画像におけるパターン光Pの第1輝度分布、および、第1位置とは異なる第2位置でパターン光が投影された物体を撮像することによって第1輝度分布に対してパターン光の複数のラインが延びる方向に垂直な方向にシフトしたパターン光の第2輝度分布を求め、第1輝度分布と第2輝度分布との交点位置に基づいて情報を得る。
【選択図】図1
【解決手段】物体Wの形状を計測する計測装置100で、複数のライン光からなる識別可能なパターン光Pを物体Wに投影する投影部110と、パターン光Pが投影された物体Wの撮像を行って画像情報を出力する撮像部120と、撮像部120から出力された画像情報から物体上におけるパターン光Pの輝度分布を求め、当該輝度分布から物体Wの形状に関する情報を得る処理部140と、を有し、処理部140は、第1位置でパターン光Pが投影された物体Wを撮像して得られる画像におけるパターン光Pの第1輝度分布、および、第1位置とは異なる第2位置でパターン光が投影された物体を撮像することによって第1輝度分布に対してパターン光の複数のラインが延びる方向に垂直な方向にシフトしたパターン光の第2輝度分布を求め、第1輝度分布と第2輝度分布との交点位置に基づいて情報を得る。
【選択図】図1
Description
本発明は、計測装置、計測方法、システム、および物品の製造方法に関する。
被計測物の形状を計測する装置として、パターン投影法を用いた光学式の計測装置が知られている。パターン投影法では、所定のパターンを被計測物に投影して撮像し、撮像画像におけるパターンを検出して、三角測量の原理から各画素位置における距離情報を算出することで、被計測物の形状を求めている。
例えば、特許文献1に記載された情報処理装置は、複数の計測線パターン(マルチスリット光)および、当該複数の計測線パターンのそれぞれを識別する基準線パターンを含むパターンが投影された被写体の撮像画像から被写体の形状を計測している。上記のようなパターンを用いると、1回の撮像で被計測物全体の形状に関する情報を取得できるが、環境光などの影響により計測精度が低下しうる。
マルチスリット光を利用した装置ではないものの、特許文献2の装置は、計測精度への環境光の影響を抑えた装置である。この装置は、相補的な照度分布を有する2つのパターンがそれぞれ投影された被検物の撮像画像およびパターンが投影されていない被検物の撮像画像の3つの撮像画像から算出された環境光の輝度分布を用いて環境光の影響を抑えている。
しかしながら、上記特許文献2の装置は、3回の撮像および環境光の輝度分布の算出が必要であり、計測時間の点で不利となりうる。
本発明は、例えば、計測精度および計測時間の点で有利な計測装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、物体の形状を計測する計測装置であって、複数のラインおよび複数のラインのそれぞれを識別する特徴を有するパターン光を物体に投影する投影部と、パターン光が投影された物体の撮像を行って画像情報を出力する撮像部と、撮像部から出力された画像情報から物体上におけるパターン光の輝度分布を求め、当該輝度分布から物体の形状に関する情報を得る処理部と、を有し、処理部は、第1位置でパターン光が投影された物体を撮像して得られる画像におけるパターン光の第1輝度分布、および、第1位置とは異なる第2位置でパターン光が投影された物体を撮像することによって第1輝度分布に対してパターン光の複数のラインが延びる方向に垂直な方向にシフトしたパターン光の第2輝度分布を求め、第1輝度分布と第2輝度分布との交点位置に基づいて情報を得ることを特徴とする。
本発明によれば、例えば、計測精度および計測時間の点で有利な計測装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る計測装置100の構成を示す概略図である。計測装置100は、パターン投影法により物体Wの三次元形状を計測する。計測装置100は、投影部110および撮像部120を含む計測ヘッド10と、制御部130と、処理部140とを含む。投影部110は、載置台Tに載置された物体Wにパターンを投影する。撮像部120は、パターンが投影された物体Wを撮像する。制御部130は、投影部110および撮像部120の動作タイミングおよび載置台Tの移動を制御する。処理部140は、撮像部120が撮影した撮像画像を処理して、物体Wの三次元形状を算出する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る計測装置100の構成を示す概略図である。計測装置100は、パターン投影法により物体Wの三次元形状を計測する。計測装置100は、投影部110および撮像部120を含む計測ヘッド10と、制御部130と、処理部140とを含む。投影部110は、載置台Tに載置された物体Wにパターンを投影する。撮像部120は、パターンが投影された物体Wを撮像する。制御部130は、投影部110および撮像部120の動作タイミングおよび載置台Tの移動を制御する。処理部140は、撮像部120が撮影した撮像画像を処理して、物体Wの三次元形状を算出する。
投影部110は、照明部111および投影光学系112を含む。照明部111は、所定のパターン光Pを出力して、出力されたパターン光Pは投影光学系112を介して物体Wに投影される。本実施形態のパターン光Pは、複数のラインで構成されるパターンをもつ光である。各ラインはスリット光ともいい、複数のスリット光で構成されるパターン光は、マルチスリット光パターンともいう。パターン光Pの各スリット光には、ランダムに切断点が含まれる。当該切断点により、各スリット光が識別される。各スリット光を識別する方法は、切断点を用いる場合に限られず、スリット光に識別符号を付与する特徴を有するパターンであればよく、例えば、各スリット光と交点を有するラインパターンを用いる場合がある。スリット光と特徴を有するパターンは、同時に物体Wに投影される。
撮像部120は、撮像光学系121と、撮像素子122とを含み、物体Wを撮像して画像を取得する。撮像光学系121は、物体Wに投影されたパターンを撮像素子122に結像するための結像光学系である。撮像素子122は、パターンが投影された被計測物Wを撮像するための複数の画素を含むイメージセンサであって、例えば、CMOSセンサやCCDセンサなどで構成されている。
撮像部120は、例えば、取得した画像のビデオ信号をビデオキャプチャー機能によりビデオ信号をデジタル画像信号に変換して出力する。デジタル画像は、画素毎に明暗の白から黒までの色の濃さを表す階調又は濃度と呼ばれるデータを有する。階調が8ビットの場合は0〜255までの256段階の階調データを有する。またデジタル画像は、画像の画素数を表す解像度を有する。撮像画像のデジタル画像信号を画像の階調、解像度などの画像を構成するデータに分解した信号(すなわち、画像情報)が撮像部120から処理部140内の記憶部141に出力される。
制御部130は、台制御部131と、タイミング生成部132と、計測ヘッド制御部133と、を含む。物体Wが載置される載置台Tの載置面に垂直な方向をZ方向とすると、台制御部131は、不図示の駆動装置を制御して、載置台Tを計測ヘッド10に近づける方向(+Z方向)および遠ざける方向(−Z方向)に移動させる。タイミング生成部132は、投影部110および撮像部120の動作タイミングおよび、載置台Tの制御信号を生成する。タイミング生成部132は、生成した動作タイミングおよび制御信号を計測ヘッド制御部133および台制御部131に出力する。計測ヘッド制御部133は、当該動作タイミングに基づいて投影部110および撮像部120の制御をする。
処理部140は、記憶部141、エッジ検出部142と、算出部143と、出力部144と、を含む。記憶部141は、撮像部120が取得した撮像画像を表す画像情報を記憶する。エッジ検出部142は、記憶部141に記憶された画像情報に基づいて、物体上のパターン光の輝度分布のエッジを検出する。算出部143は、切断点を利用して、投影パターン上の二次元位置(エッジ位置)と撮像画像における二次元位置とを対応付ける。算出部143は、対応付け結果に基づいてパターン光Pを構成する各スリット光を対応付けして計測ヘッド10から物体Wまでの距離に関する距離情報を算出する。出力部144は、例えば、距離情報および輝度値が距離を表す距離画像を表示するモニタ、プリンタ等を有する。また、距離情報から物体Wの三次元形状情報を生成して外部へ出力する。
図2(A)、(B)、(C)および(D)は、物体Wの撮像画像上でのパターン光Pとパターン光Pが投影された物体Wにおける輝度分布を示す図である。図2(A)および図2(C)は、物体Wの撮像画像におけるパターン光Pの一部を拡大した図である。白抜きの部分は、パターン光Pの明部が照射された部分を表し、黒い部分はパターン光Pの明部が照射されず、環境光のみが照射されている箇所(切断点を含む)を表す。図2(B)は、パターン光Pを物体Wに投影した場合の図2(A)のX−X´部の輝度変化を表している。図2(D)は、パターン光Pを物体Wに投影した場合の図2(C)のX−X´部の輝度変化を表している。
図2(B)の横軸は、図2(A)のX−X´方向の位置と対応し、縦軸は輝度を表す。位置Xpは、パターン光Pの明部のX−X´方向の幅の中心位置を示す。エッジ検出部142は、撮像画像から図2(B)のような輝度分布を得て、輝度の境界位置を示すエッジ位置を検出する。輝度の境界を所定の輝度値に基づいて決定する場合、例えば輝度Aを輝度の境界とするときは、位置Xaがエッジ位置となり、輝度Bを輝度の境界とするときは、位置Xbがエッジ位置となり、設定する輝度値によってエッジ位置が変化する。さらに、例えば、環境光の輝度が高くなると、図2(B)に示す輝度分布の曲線がとる輝度値が輝度Bよりも高くなり、エッジ位置を検出できなくなりうる。なお、エッジ位置を検出する際の輝度分布は、X−X´方向の輝度分布に限られない。
図2(C)は、図2(A)の撮像画像を得た位置(第1位置とする)とは異なる位置(第2位置)における物体Wの撮像画像上でのパターン光Pを示す図である。図2(C)に示す通り、物体Wの撮像画像上でスリット光の延びる方向と垂直な方向にパターン光Pが所定のシフト量Δdだけシフトしている。図2(D)の横軸は、図2(C)のX−X´方向の位置と対応し、縦軸は輝度を表す。位置Xqは、シフト量Δdだけシフトした後のパターン光Pの明部のX−X´方向の幅の中心位置を示す。本実施形態では、シフト量Δdをスリット光の幅とした。点線は、図2(B)で示した輝度分布であり、実線は、図2(C)のX−X´部の輝度変化の輝度分布である。
本実施形態では、撮像画像を得る位置を第1位置から第2位置へ変える前後、すなわち、撮像画像上でのパターン光Pのシフト前後の輝度分布の交点位置Xeをエッジ位置とする。なお、本実施形態では、シフト前後において、環境光の輝度の変化は無いとしており、輝度分布を示す曲線の形状はシフト前後で同じである。シフト前後における各輝度分布には、同じ量の環境光の輝度がオフセットとして含まれており、環境光の輝度によらず、交点位置Xe、すなわち、検出されるエッジ位置は変化しない。
図3は、タイミング生成部132の構成の詳細を示す図である。タイミング生成部132は、シフト量算出部1321と、第1信号生成部1322と、第2信号生成部1323と、制御信号生成部1324と、を含む。本実施形態では、シフト量算出部1321は、所定のパターン光Pを構成するスリット光の幅、すなわち、スリットの伸びる方向と垂直な方向のスリットの長さに基づいて、シフト量Δdを算出する。シフト量算出部1321は、算出したシフト量Δdを第2信号生成部1323に出力する。
上記のとおり、シフト前の撮像画像を得る位置を第1位置、シフト後の撮像画像を得る位置を第2位置とする。第1信号生成部1322は、第1位置において、パターン光Pの投影および物体Wの撮像を行うタイミング信号である第1信号S1を生成して、生成した第1信号S1を第2信号生成部1323および制御信号生成部1324に出力する。
第2信号生成部1323は、載置台Tの制御信号S21、および第2位置におけるパターン光Pの投影と物体Wの撮像とを行うタイミング信号S22を含む第2信号S2を生成する。第2信号生成部1323は、シフト量算出部1321が算出したシフト量Δdに基づいて、載置台TのZ方向への移動量を求める。第2信号生成部1323は、当該移動量、第1信号S1および載置台Tの移動速度に基づいて載置台Tの制御信号S21を求めて、台制御部131へ制御信号S21を出力する。載置台Tの移動速度は、台制御部131に予め保存された設定値などの所定の速度または、別途センサによって計測された速度とする。制御信号S21は、載置台Tの移動を始めるタイミングおよび移動に要する所要時間Δtから求めた移動終了タイミングを含む。第2信号生成部1323は、所要時間Δtおよび第1信号S1に基づいて、第2位置においてパターン光Pの投影と物体Wの撮像とを行うタイミング信号S22を求め、求めたタイミング信号S22を制御信号生成部1324に出力する。
制御信号生成部1324は、第1信号S1およびタイミング信号S22をOR演算して、第1位置における投影および撮像と、第2位置における投影および撮像とを含む第3信号S3を生成し、計測ヘッド制御部133に出力する。計測ヘッド制御部133は、第3信号S3に基づいて、投影部110および撮像部120を制御する。
図4(A)、(B)および(C)は、それぞれ、第1信号S1に基づく計測タイミング、タイミング信号S22に基づく計測タイミング、第3信号S3に基づく計測タイミングを示す。第1信号S1に基づく測定は時間t1から開始され、時間t2で終了する。時間t2から、載置台Tの移動が開始され、Δt経ったt3で第2信号に基づく測定が開始される。この工程を1組とした測定が所定の周期で繰り返されうる。
図5は、本実施形態に係る計測方法を示すフローチャートである。工程S100で、タイミング生成部132は、上述のようにして載置台Tの制御信号S21、および第3信号S3を生成し、計測ヘッド制御部133および台制御部131に出力する。工程S110で、計測ヘッド制御部133は、第3信号S3に基づいて投影部110および撮像部120を制御して、物体Wの第1位置における画像情報(第1画像情報という)を取得し、記憶部141へ出力する。
工程S120で、台制御部131は、制御信号S21に基づいて載置台Tを移動させる。移動完了後、工程S130で、第3信号S3に基づいて投影部110および撮像部120を制御して、物体Wの第2位置における画像情報(第2画像情報という)を取得し、記憶部141へ出力する。工程S140で、エッジ検出部142は、記憶部141に記憶された第1画像情報および第2画像情報に基づいて、物体W上のパターン光Pの輝度分布のエッジを検出する。
工程S150で、算出部143は、切断点を利用して、工程S140で検出したエッジ位置と撮像画像における二次元位置とを対応付けて距離情報を算出する。工程S160で、出力部144は、工程S150で算出された距離情報から物体Wの三次元形状情報を生成して外部へ出力する。
以上のように、本実施形態の計測装置100は、環境光の輝度によらず、スリット光のエッジ位置を安定して検出することができる。また、本実施形態の計測装置100は、ターン光Pのパターンを変える、例えば、明暗の反転等は不要で、パターン光Pを固定して計測を行うため、計測時間および装置コストの点で有利となりうる。また、環境光の影響を抑えるために必要な撮像回数は2回でよく、さらに、2つの輝度分布の交点を求めるのみで、複雑な計算は必要としない。したがって、本実施形態によれば、計測精度および計測時間の点で有利な計測装置を提供することができる。
(第2実施形態)
図6は、第2実施形態に係る計測装置が有するタイミング生成部の構成の詳細を示す図である。第1実施形態と本実施形態との差異は、シフト量Δdの求め方である。第1実施形態では、スリットの幅をシフト量Δdとしていたが、本実施形態では、第1の位置におけるパターン光の輝度分布に基づいてシフト量Δdを求める。図5において、第1実施形態の図3と異なる点は、第2信号生成部1323が記憶部141から信号を受信する点である。
図6は、第2実施形態に係る計測装置が有するタイミング生成部の構成の詳細を示す図である。第1実施形態と本実施形態との差異は、シフト量Δdの求め方である。第1実施形態では、スリットの幅をシフト量Δdとしていたが、本実施形態では、第1の位置におけるパターン光の輝度分布に基づいてシフト量Δdを求める。図5において、第1実施形態の図3と異なる点は、第2信号生成部1323が記憶部141から信号を受信する点である。
具体的には、まず、第1の位置において画像情報を取得し、記憶部141に画像信号として記憶させる。そして、シフト量算出部1321は、記憶部141の画像信号から第1位置における輝度分布を得る。輝度分布の曲線上で環境光の影響を受けにくい点は、例えば、曲線の変曲点、すなわち、位置で二回微分したときの値がゼロになる点であり、かつ当該点の前後で二回微分の値の正負が変化する点である。シフト量算出部1321は、輝度分布の2つの変曲点間の距離を求め、求めた距離をシフト量Δdとする。第1位置におけるパターン光Pの輝度分布は、物体Wの表面特性によっては、輝度勾配が緩やかになったり急峻になったりする。本実施形態によれば、シフト量Δdを第1位置におけるパターン光Pの輝度分布の特徴によって変更しうる。
図7は、本実施形態に係る計測方法を示すフローチャートである。第1実施形態と異なる工程は、工程S200、工程S210および工程S220である。工程S200で第1信号生成部1322は、第1位置において、第1信号S1を生成して、生成した第1信号S1を計測ヘッド制御部133、第2信号生成部1323および、制御信号生成部1324に出力する。工程S210で、計測ヘッド制御部133は、第1信号S1に基づいて、投影部110および撮像部120を制御して、撮像部120は、物体Wの第1位置において第1画像情報を取得し、記憶部141へ出力する。工程S220で、第2信号生成部1323は、記憶部141に記憶された第1画像情報から、上述のようにしてシフト量Δdを求め、載置台Tの制御信号S21、およびタイミング信号S22を生成する。第2信号生成部1323は、生成した制御信号S21を台制御部131へ出力し、タイミング信号S22を制御信号生成部1324へ出力する。制御信号生成部1324は、第1信号S1およびタイミング信号S22から第3信号S3を生成し、計測ヘッド制御部133へ出力する。以下の工程は、第1実施形態と同様である。本実施形態も第1実施形態と同様の効果を奏する。
(物品製造方法に係る実施形態)
上述の計測装置は、ある支持部材に支持された状態で使用されうる。本実施形態では、一例として、図8のようにロボットアーム300(アーム部)に備え付けられて使用される制御システムについて説明する。計測装置100は、支持台Tに置かれた物体(被検物)Wにパターン光を投影して撮像し、画像を取得する。そして、計測装置100の制御部が、又は、計測装置100の制御部から画像データを取得したアーム制御部310が、被検物Wの位置および姿勢を求め、求められた位置および姿勢の情報をアーム制御部310が取得する。アーム制御部310は、その位置および姿勢の情報(計測結果)に基づいて、ロボットアーム300に駆動指令を送ってロボットアーム300を制御する。ロボットアーム300は先端のロボットハンドなど(把持部)で被検物Wを保持して、並進や回転などの移動をさせる。さらに、ロボットアーム300によって被検物Wを他の部品に組み付ける(組立する)ことにより、複数の部品で構成された物品、例えば電子回路基板や機械などを製造することができる。また、移動された被検物Wを加工(処理)することにより、物品を製造することができる。アーム制御部310は、CPUなどの演算装置やメモリなどの記憶装置を有する。なお、ロボットを制御する制御部をアーム制御部310の外部に設けても良い。また、計測装置100により計測された計測データや得られた画像をディスプレイなどの表示部320に表示してもよい。
上述の計測装置は、ある支持部材に支持された状態で使用されうる。本実施形態では、一例として、図8のようにロボットアーム300(アーム部)に備え付けられて使用される制御システムについて説明する。計測装置100は、支持台Tに置かれた物体(被検物)Wにパターン光を投影して撮像し、画像を取得する。そして、計測装置100の制御部が、又は、計測装置100の制御部から画像データを取得したアーム制御部310が、被検物Wの位置および姿勢を求め、求められた位置および姿勢の情報をアーム制御部310が取得する。アーム制御部310は、その位置および姿勢の情報(計測結果)に基づいて、ロボットアーム300に駆動指令を送ってロボットアーム300を制御する。ロボットアーム300は先端のロボットハンドなど(把持部)で被検物Wを保持して、並進や回転などの移動をさせる。さらに、ロボットアーム300によって被検物Wを他の部品に組み付ける(組立する)ことにより、複数の部品で構成された物品、例えば電子回路基板や機械などを製造することができる。また、移動された被検物Wを加工(処理)することにより、物品を製造することができる。アーム制御部310は、CPUなどの演算装置やメモリなどの記憶装置を有する。なお、ロボットを制御する制御部をアーム制御部310の外部に設けても良い。また、計測装置100により計測された計測データや得られた画像をディスプレイなどの表示部320に表示してもよい。
上記実施形態では、載置台Tを移動させることでパターン光Pの投影位置をシフトしていたが、アーム制御部310がロボットアーム300を移動させることでパターン光Pの投影位置をシフトしてもよい。また、載置台Tの移動とロボットアーム300の移動とを併用してもよい。
(その他の実施形態)
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
100 計測装置
10 計測ヘッド
110 投影部
120 撮像部
130 制御部
131 台制御部
132 タイミング生成部
133 計測ヘッド制御部
140 処理部
141 記憶部
142 エッジ検出部
143 算出部
144 出力部
W 物体
T 載置台
10 計測ヘッド
110 投影部
120 撮像部
130 制御部
131 台制御部
132 タイミング生成部
133 計測ヘッド制御部
140 処理部
141 記憶部
142 エッジ検出部
143 算出部
144 出力部
W 物体
T 載置台
Claims (8)
- 物体の形状を計測する計測装置であって、
複数のラインおよび前記複数のラインのそれぞれを識別する特徴を有するパターン光を前記物体に投影する投影部と、
前記パターン光が投影された前記物体の撮像を行って画像情報を出力する撮像部と、
前記撮像部から出力された前記画像情報から前記物体上における前記パターン光の輝度分布を求め、当該輝度分布から前記物体の形状に関する情報を得る処理部と、を有し、
前記処理部は、
第1位置で前記パターン光が投影された前記物体を撮像して得られる画像における前記パターン光の第1輝度分布、および、前記第1位置とは異なる第2位置で前記パターン光が投影された前記物体を撮像することによって前記第1輝度分布に対して前記パターン光の前記複数のラインが延びる方向に垂直な方向にシフトした前記パターン光の第2輝度分布を求め、
前記第1輝度分布と前記第2輝度分布との交点位置に基づいて前記情報を得ることを特徴とする計測装置。 - 前記第2輝度分布のシフト量は、前記物体上に投影された前記複数のラインを構成するラインの幅であることを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記第2輝度分布のシフト量は、前記第1輝度分布の前記垂直な方向における2つの変曲点間の距離であることを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記物体が載置される載置台を載置面に垂直な方向に移動させる制御部を有し、
前記制御部は、前記第2位置で前記物体に前記パターン光が投影されるように前記載置台を移動させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の計測装置。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の計測装置と、
前記計測装置が備え付けられるアーム部を有し、前記計測装置により計測を行われた物体を前記アーム部で把持して移動させるロボットと、
を有することを特徴とするシステム。 - 前記アーム部は、前記第2位置で前記物体に前記パターン光が投影されるように前記計測装置を前記物体に近づける方向又は遠ざける方向に移動させることを特徴とする請求項5に記載のシステム。
- 物体の形状を計測する計測方法であって、
前記物体上の第1位置に複数のラインおよび前記複数のラインのそれぞれを識別する特徴を有するパターン光を投影し、
前記第1位置で前記パターン光が投影された前記物体の撮像を行って第1画像情報を得て、
前記第1位置に投影された前記パターン光の前記複数のラインが延びる方向と垂直な方向に所定のシフト量で前記第1位置からシフトした第2位置に前記パターン光を投影し、
前記第1位置とは異なる第2位置で前記パターン光が投影された前記物体の撮像を行って第2画像情報を得て、
前記第1画像情報から、前記パターン光の第1輝度分布を求め、
前記第2画像情報から、前記第1輝度分布に対して前記パターン光の前記複数のラインが延びる方向に垂直な方向にシフトした前記パターン光の第2輝度分布を求め、
前記第1輝度分布と前記第2輝度分布との交点位置に基づいて前記物体の形状に関する情報を得ることを特徴とする計測方法。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の計測装置により計測を行われた物体の移動をロボットにより行う工程と、
前記工程で前記移動を行われた前記物体を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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CN113494892A (zh) * | 2020-03-19 | 2021-10-12 | 株式会社理光 | 测量装置、测量方法、移动体、机器人、电子设备及造型装置 |
CN113494892B (zh) * | 2020-03-19 | 2024-03-15 | 株式会社理光 | 测量装置、测量方法、移动体、机器人、电子设备及造型装置 |
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