JP2018189459A - 計測装置、計測方法、システム、および物品製造方法 - Google Patents
計測装置、計測方法、システム、および物品製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】計測精度の低下の検知に有利な計測装置を提供する。【解決手段】パターン光を物体に投影するパターン光投影部110と、物体を撮像して画像を得る撮像部120と、撮像部が得た画像に基づいて物体までの距離を求める演算部140と、を有する計測装置100であって、物体にスポット光を投影するスポット光投影部150を有し、撮像部は、パターン光投影部からパターン光が投影され、かつ、スポット光投影部からスポット光が投影された物体を撮像して画像を得、演算部は、パターン光を基準とするスポット光の投影位置に基づいて第1距離を求め、スポット光が投影された位置を示す画素の位置に基づいて第2距離を求め、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する。【選択図】図1
Description
本発明は、計測装置、計測方法、システム、および物品製造方法に関する。
物体の配置(例えば、位置および姿勢)を非接触に計測する装置として、パターン投影法を用いた計測装置が知られている。パターン投影法では、パターン光が投影された物体を撮像して得られた画像を用いて三角測量の原理に基づき各画素位置における距離情報を算出して物体の配置を求める。
計測装置は、例えば、物体を把持して移動させるロボットハンドに支持されて用いられる。ロボットアームは、計測装置による計測結果に基づいて制御される。ロボットアームの移動に伴う振動および発熱等により計測装置に含まれる光学系の配置等にずれが生じ、計測誤差が発生しうる。特許文献1は、ロボットに支持されたカメラのキャリブレーションを行う方法を開示している。
しかしながら、特許文献1に開示された方法は、被検物の検出に先立って行うカメラの調整に関する方法である。当該方法では、ロボットアームを制御している最中に起こりうる、計測装置に含まれる光学系の配置等のずれの発生を検知することは困難である。
本発明は、例えば、計測精度の低下の検知に有利な計測装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、パターン光を物体に投影するパターン光投影部と、物体を撮像して画像を得る撮像部と、撮像部が得た画像に基づいて物体までの距離を求める演算部と、を有する計測装置であって、物体にスポット光を投影するスポット光投影部を有し、撮像部は、パターン光投影部からパターン光が投影され、かつ、スポット光投影部からスポット光が投影された物体を撮像して画像を得、演算部は、パターン光を基準とするスポット光の投影位置に基づいて第1距離を求め、スポット光が投影された位置を示す画素の位置に基づいて第2距離を求め、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する、
ことを特徴とする。
ことを特徴とする。
本発明によれば、例えば、計測精度の低下の検知に有利な計測装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。なお、実施形態を説明するための全図を通して、原則として、同一の部材等には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
(実施形態)
図1は、本実施形態に係る計測装置100の構成を示す概略図である。計測装置100は、パターン投影法により物体の三次元形状を計測する。計測装置100は、例えば、物体を把持して移動させるロボットアーム等に支持されて用いられる。計測装置100は、パターン光投影部110および撮像部120を含む計測ヘッドと、制御部130と、演算部140と、スポット光投影部150と、を有する。
図1は、本実施形態に係る計測装置100の構成を示す概略図である。計測装置100は、パターン投影法により物体の三次元形状を計測する。計測装置100は、例えば、物体を把持して移動させるロボットアーム等に支持されて用いられる。計測装置100は、パターン光投影部110および撮像部120を含む計測ヘッドと、制御部130と、演算部140と、スポット光投影部150と、を有する。
計測ヘッドおよびスポット光投影部150は、計測装置100が支持されるロボットアーム等の支持面Sに取り付けられるベース板160に配置される。ベース板160に配置された計測ヘッドおよびスポット光投影部150は、側壁部180と、図2に示す上蓋部170とで囲まれる。側壁部180は、ベース板160に、例えば、ねじによって固定される。ここで、図1において、ベース板160に平行な面をXZ平面、XZ平面に垂直な方向をY方向とする。以下で示す図においても、図1と同様の座標軸を用いる。
ベース板160は、第1孔部161および第2孔部162を有する。ベース板160は、第1孔部161および第2孔部162を介してねじ等により支持面Sに固定される。第1孔部161は、例えば、X方向に伸びる長穴であり、ベース板160を支持面Sに取り付ける際のZ方向の位置決めに用いられる。第2孔部162は、位置決めの後にベース板160を支持面Sに固定するための孔部である。
(パターン光投影部)
パターン光投影部110は、照明光学系111と、投影光学系112と、第1支持台113、とを有する。照明光学系111は、所定のパターン光を出力して、出力されたパターン光は投影光学系112を介して物体に投影される。本実施形態では、パターン光のパターンとして、明線と暗線とがX方向に周期的に配列された縞パターンを用いる。第1支持台113は、投影光学系112を支持する台であり、ベース板160に、例えば、ねじによって固定される。
パターン光投影部110は、照明光学系111と、投影光学系112と、第1支持台113、とを有する。照明光学系111は、所定のパターン光を出力して、出力されたパターン光は投影光学系112を介して物体に投影される。本実施形態では、パターン光のパターンとして、明線と暗線とがX方向に周期的に配列された縞パターンを用いる。第1支持台113は、投影光学系112を支持する台であり、ベース板160に、例えば、ねじによって固定される。
(撮像部)
撮像部120は、撮像光学系122と、撮像素子121と、第2支持台123と、を有する。撮像光学系122は、物体に投影されたパターンを撮像素子121に結像するための結像光学系である。撮像素子121は、パターンが投影された物体を撮像するための複数の画素を含むイメージセンサであって、例えば、CMOSセンサやCCDセンサなどで構成されている。撮像部120は、同時に複数の波長の光が投影された物体を波長が異なる投影光を区別できるような画像を取得できるように構成されうる。撮像素子121は、物体の撮像により、画素毎に明暗の白から黒までの色の濃さを表す階調データを含む画像情報を演算部140に出力する。第2支持台123は、撮像光学系122を支持する台であり、ベース板160に、例えば、ねじによって固定される。
撮像部120は、撮像光学系122と、撮像素子121と、第2支持台123と、を有する。撮像光学系122は、物体に投影されたパターンを撮像素子121に結像するための結像光学系である。撮像素子121は、パターンが投影された物体を撮像するための複数の画素を含むイメージセンサであって、例えば、CMOSセンサやCCDセンサなどで構成されている。撮像部120は、同時に複数の波長の光が投影された物体を波長が異なる投影光を区別できるような画像を取得できるように構成されうる。撮像素子121は、物体の撮像により、画素毎に明暗の白から黒までの色の濃さを表す階調データを含む画像情報を演算部140に出力する。第2支持台123は、撮像光学系122を支持する台であり、ベース板160に、例えば、ねじによって固定される。
(制御部)
制御部130は、例えばCPU(処理部)やメモリなどを含む制御回路である。制御部130は、パターン光投影部110およびスポット光投影部150を制御してパターン光またはスポット光を物体に投影する。制御部130は、撮像部120を制御して、物体を撮像して画像を得て、得られた画像が有する画像情報を演算部140へ出力する。
制御部130は、例えばCPU(処理部)やメモリなどを含む制御回路である。制御部130は、パターン光投影部110およびスポット光投影部150を制御してパターン光またはスポット光を物体に投影する。制御部130は、撮像部120を制御して、物体を撮像して画像を得て、得られた画像が有する画像情報を演算部140へ出力する。
(演算部)
演算部140は、予め取得した、パターン光投影部110と撮像部120との相対的な位置および姿勢の関係を用いて三角測量の原理に基づき物体の表面上にある点の距離(位置)を算出する。本実施形態においては、パターン光のラインが伸びる方向と垂直方向(=X軸方向)の点の位置を用いて距離が計算される。演算部140は、この計算をパターン光が投影された物体の表面上にある複数の点について実施し、距離情報を有する点群データを取得する。演算部140は、距離点群データと3D−CADモデルを用いて、物体の配置(例えば、位置および姿勢)を求めることができる。
演算部140は、予め取得した、パターン光投影部110と撮像部120との相対的な位置および姿勢の関係を用いて三角測量の原理に基づき物体の表面上にある点の距離(位置)を算出する。本実施形態においては、パターン光のラインが伸びる方向と垂直方向(=X軸方向)の点の位置を用いて距離が計算される。演算部140は、この計算をパターン光が投影された物体の表面上にある複数の点について実施し、距離情報を有する点群データを取得する。演算部140は、距離点群データと3D−CADモデルを用いて、物体の配置(例えば、位置および姿勢)を求めることができる。
演算部140は、予め取得した、スポット光投影部150と撮像部120との相対的な位置および姿勢の関係(パラメータ)を用いて、三角測量の原理に基づき物体の表面上にある点の距離(位置)も算出する。演算部140は、計測装置100の計測精度の指標となる値を算出する。詳細は後述する。
(スポット光投影部)
スポット光投影部150は、第3支持台151および第3孔部152を有する。スポット光投影部150は、第3支持台151に固定される。第3支持台151は、ベース板160および支持面Sに固定される。固定はねじ等により行われ、特に、支持面Sへの固定は、第3孔部152を介して行われる。スポット光投影部15が投影する光としては、レーザ光を用いうる。また、スポット光投影部150が投影する光の波長は、パターン光投影部110が投影する光の波長と異ならせる。
スポット光投影部150は、第3支持台151および第3孔部152を有する。スポット光投影部150は、第3支持台151に固定される。第3支持台151は、ベース板160および支持面Sに固定される。固定はねじ等により行われ、特に、支持面Sへの固定は、第3孔部152を介して行われる。スポット光投影部15が投影する光としては、レーザ光を用いうる。また、スポット光投影部150が投影する光の波長は、パターン光投影部110が投影する光の波長と異ならせる。
第3孔部152は、第3支持台151を支持面Sに取り付ける際のX方向およびZ方向の位置決めに用いられうる。第3支持台151のY方向の基準位置は、第3支持台151と支持面Sとを接触させて第3支持台151を固定することで決定される。第1支持台113、第2支持台123、第3支持台151およびベース板160のそれぞれの材料の線膨張係数は一致していることが望ましい。例えば、線膨張係数2×10−6/℃以下の低熱膨張材を用いる。少なくとも第3支持台151には低熱膨張材を用いる。
図2は、図1に示した計測装置100のA−A部断面図である。計測装置100を取り付け面Sへ設置する際には、まず、第1孔部161および第3孔部152を用いて、取り付け面Sに対する位置決めを行う。次に、第2孔部162を用いてベース板160を支持面Sに固定することで計測装置100が取り付け面Sに設置される。
(計測精度の指標の算出)
演算部140による計測精度の指標の算出の概要は次のとおりである。すなわち、演算部140は、計測精度の指標を算出するため、まず、パターン光およびスポット光が投影された物体を撮像して得られた画像における、パターン光を基準としたスポット光の投影位置に基づいて第1距離を求める。次に、演算部140は、画像におけるスポット光の投影位置に基づいて第2距離を求める。演算部140は、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する。以下、詳細に説明する。
演算部140による計測精度の指標の算出の概要は次のとおりである。すなわち、演算部140は、計測精度の指標を算出するため、まず、パターン光およびスポット光が投影された物体を撮像して得られた画像における、パターン光を基準としたスポット光の投影位置に基づいて第1距離を求める。次に、演算部140は、画像におけるスポット光の投影位置に基づいて第2距離を求める。演算部140は、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する。以下、詳細に説明する。
(第2距離)
まず、第2距離を求める方法を説明する。図3は、パターン光を構成する複数の縞のうち一つの縞を形成する光線群がなす面と撮像素子の特定画素に対応する光線との交点位置の算出方法を説明する図である。パターン光投影部110から投影されたX方向に配列されたパターン光を構成する縞のうち、X方向の位置Xpにおける縞を投影する光線群が形成する面を面Spとする。本実施形態において、パターン光の縞はY方向に伸びている。したがって、面Spにある点のX位置およびY位置は、YnをY方向の任意の位置とすると、(Xp、Yn)と表すことができる。
まず、第2距離を求める方法を説明する。図3は、パターン光を構成する複数の縞のうち一つの縞を形成する光線群がなす面と撮像素子の特定画素に対応する光線との交点位置の算出方法を説明する図である。パターン光投影部110から投影されたX方向に配列されたパターン光を構成する縞のうち、X方向の位置Xpにおける縞を投影する光線群が形成する面を面Spとする。本実施形態において、パターン光の縞はY方向に伸びている。したがって、面Spにある点のX位置およびY位置は、YnをY方向の任意の位置とすると、(Xp、Yn)と表すことができる。
一方、撮像部120の撮像素子121における画素座標は、(Xc、Yc)とする。なお、この座標は、画像におけるスポット光の投影位置とみなせる。面Spと撮像素子121の特定画素に対応する光線との交点のXYZ空間における座標、すなわち、XYZ空間におけるスポット光投影位置は、関数f1(α)で表される。ここで、αは、画像の特定画素の座標および、当該特定画素を含む面を形成するパターン光の光線群のX座標を示す変数である。関数f1(α)およびXc、Ycおよび、Xpを用いて、XYZ空間におけるスポット光投影位置が算出される。算出された座標から、第2距離が求まる。
(第1距離)
次に、第1距離を求める方法を説明する。図4、図5および図6は、パターン光を基準としたスポット光の投影位置に基づいて距離を算出する方法を説明する図である。パターン光およびスポット光を物体10に投影した場合を考える。図4は、パターン光を構成する縞を形成する光線群がなす面とスポット光の投影位置との関係を示す図である。図3と同様にして、パターン光投影部110から投影されたX方向に配列されたパターン光を構成する縞のうち、X方向の位置Xp1における縞P1を投影する光線群が形成する面を面Sp1とする。また、X方向の位置Xp2における縞P2を投影する光線群が形成する面を面Sp2とする。面Sp1にある点のX位置およびY位置は、YnをY方向の任意の位置とすると、(Xp1、Yn)と表すことができる。また、面Sp2にある点のX位置およびY位置は、(Xp2、Yn)と表すことができる。物体10の面における、スポット光が投影される地点15は、面Sp1と面Sp2との間にあるものとする。
次に、第1距離を求める方法を説明する。図4、図5および図6は、パターン光を基準としたスポット光の投影位置に基づいて距離を算出する方法を説明する図である。パターン光およびスポット光を物体10に投影した場合を考える。図4は、パターン光を構成する縞を形成する光線群がなす面とスポット光の投影位置との関係を示す図である。図3と同様にして、パターン光投影部110から投影されたX方向に配列されたパターン光を構成する縞のうち、X方向の位置Xp1における縞P1を投影する光線群が形成する面を面Sp1とする。また、X方向の位置Xp2における縞P2を投影する光線群が形成する面を面Sp2とする。面Sp1にある点のX位置およびY位置は、YnをY方向の任意の位置とすると、(Xp1、Yn)と表すことができる。また、面Sp2にある点のX位置およびY位置は、(Xp2、Yn)と表すことができる。物体10の面における、スポット光が投影される地点15は、面Sp1と面Sp2との間にあるものとする。
図5は、物体10の面に投影された縞とスポット光との関係を示す図である。図5に示すとおり、地点15は、縞P1と縞P2との間にある。地点15のXY平面における位置Xkは、パターン光を基準とした位置の関数f2(k)として表される。kは、複数の縞のうち、何本目の縞に位置15があるか、どの縞の間に位置15があるかを示す変数である。
図6は、物体10の画像の画素上における縞とスポット光との関係を示す図である。図6において、地点15がパターン光を構成する縞のうち、何本目に配置されているかを特定し、特定した情報および関数f2(k)を用いて、地点15の位置Xkを求める。パターン光を基準としたスポット光の投影位置は、関数f3(β)で表される。ここで、βは、画像におけるスポット光の画素座標およびXY平面におけるスポット光の投影位置座標を示す変数である。関数f3(β)、Xc、YcおよびXk(k)を用いて、XYZ空間における地点15の座標が算出される。算出された座標から第1距離が得られる。
(計測装置の初期校正)
演算部140は、上記方法により、第1距離および第2距離を求め、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する。ここで、計測精度は、ロボットアームの移動に伴う振動および発熱等により低下しうる。したがって、ロボットアームに取り付ける前など計測装置100が計測を開始していない場合は、差分は0となるはずである。以下、第1距離から第2距離を引いた値を0とする初期校正の方法を説明する。
演算部140は、上記方法により、第1距離および第2距離を求め、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する。ここで、計測精度は、ロボットアームの移動に伴う振動および発熱等により低下しうる。したがって、ロボットアームに取り付ける前など計測装置100が計測を開始していない場合は、差分は0となるはずである。以下、第1距離から第2距離を引いた値を0とする初期校正の方法を説明する。
図7は、計測装置の初期校正の方法を説明する図である。初期校正は、Z方向における複数の距離(ワーキングディスタンスという。)において行われる。校正結果は、演算部140などに保持され、演算部140は、ワーキングディスタンスに応じて校正結果を参照して校正を行う。図7に示す通り、校正用物体Wを既知の距離に配置する。
パターン光投影部110から投影されたX方向に配列されたパターン光をパターン光Pとする。また、画像の画素に対応する光線群を光線Cとする。スポット光投影部150から投影される光線を光線k1とする。
光線Cのうち、スポット光が投影された位置の特定画素に対応する光線を光線C1とする。また、特定画素の座標を(Xc1、Yc1)、特定画素を含む面を構成する縞のX方向の位置を位置Xp1とする。スポット光が投影される位置は、パターン光を基準とした関数としてf2(k1)=Xk1と表す。
図3、図4、図5および図6で説明したとおり、スポット光の投影位置の座標は、f1(Xc1、Yc1、Xp1)=(x1、y1、z1)と算出される。また、パターン光を基準としたスポット光の投影位置の座標は、関数f3(Xc1、Yc1、Xk1)=(x0、y0、z0)と算出される。
X方向の差分δx=|x1−x0|、Y方向の差分δy=|y1−y0|および、Z方向の差分δz=|z1−z0|が0となるように校正をする。校正は、演算部140が距離を算出する時に用いるパラメータ、例えば、スポット光投影部150と撮像部120との相対的な位置および姿勢の関係を調整することで行われうる。また、各方向の差分をオフセット量として演算部140が記憶し、演算部140は、記憶したオフセット量を考慮して距離を算出してもよい。
なお、第1距離および第2距離のうち、いずれか一方を既知の位置と比較して、差分を0とする調整をさらに行ってもよい。
(計測誤差の検知)
初期校正によって、画像におけるスポット光の投影位置に基づいて求められる第2距離と、画像におけるパターン光を基準としたスポット光の投影位置に基づいて求められる第1距離とを一致させた。しかしながら、ロボットアームの移動に伴う振動および発熱等により、撮像部120の撮像光学系122を構成する光学素子の配置にずれが起こりうる。ずれが起こると、スポット光とパターン光の縞との位置関係は変わらないものの、画像上のスポット光の位置が変わる。これにより、第1距離の値は、ずれ前後で変化しないものの、第2距離の値は、ずれ前後で変化する。本実施形態では、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として、計測誤差を検知する。以下、図8および図9により、ずれによる計測誤差の発生を説明する。
初期校正によって、画像におけるスポット光の投影位置に基づいて求められる第2距離と、画像におけるパターン光を基準としたスポット光の投影位置に基づいて求められる第1距離とを一致させた。しかしながら、ロボットアームの移動に伴う振動および発熱等により、撮像部120の撮像光学系122を構成する光学素子の配置にずれが起こりうる。ずれが起こると、スポット光とパターン光の縞との位置関係は変わらないものの、画像上のスポット光の位置が変わる。これにより、第1距離の値は、ずれ前後で変化しないものの、第2距離の値は、ずれ前後で変化する。本実施形態では、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として、計測誤差を検知する。以下、図8および図9により、ずれによる計測誤差の発生を説明する。
(誤差の発生)
図8は、撮像光学系にずれが生じた場合の計測誤差を説明する図である。図7における撮像光学系122を構成する光学素子の配置にずれが生じた後の撮像部を撮像部220とする。ずれの方向および量は、Y軸周りにθのずれとする。計測対象は、パレット1に配置された複数の物体10とする。ずれが生じた後に撮像された画像の画素に対応する光線群を光線C´とする。ずれが生じた後の特定画素に対応する光線を光線C11とする。
図8は、撮像光学系にずれが生じた場合の計測誤差を説明する図である。図7における撮像光学系122を構成する光学素子の配置にずれが生じた後の撮像部を撮像部220とする。ずれの方向および量は、Y軸周りにθのずれとする。計測対象は、パレット1に配置された複数の物体10とする。ずれが生じた後に撮像された画像の画素に対応する光線群を光線C´とする。ずれが生じた後の特定画素に対応する光線を光線C11とする。
図9は、ずれ前後の画像におけるスポット光の投影位置を示す図である。ずれが生じる前の画像を画像A、ずれが生じた後の画像を画像Bとする。画像におけるスポット光の位置15は、ずれ前後において、図中矢印で示した分だけシフトする。一方、ずれ前後で縞と位置15との相対位置関係は変わらない。したがって、ずれ前後で算出される第1距離は変わらず、第2距離が変化することとなる。演算部140は、第1距離と第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として、計測誤差を検知する。
また、演算部140は、差分の成分に基づいて、撮像光学系122の光軸のシフトずれ量またはチルトずれ角度量を求めうる。演算部140は、求めた量を用いて、算出した距離を補正しうる。
以上の通り、本実施形態の計測装置100は、計測精度の低下を検知することができる。また、当該検知は、物体の計測動作中にも行いうるため、装置メンテナンスの面でも計測装置100は有利である。さらに、計測装置100は、計測精度の低下の検知に用いた値を利用して、求めた距離を補正することもできる。
また、スポット光投影部150を複数用いることで、誤差検知の精度、補正の精度を向上させうる。図10は、スポット光投影部を2つ含むスポット光投影部250を有する計測装置200を示す図である。スポット光投影部のそれぞれから投影されたスポット光ごとに距離を算出することで、計測精度を示す指標を複数得ることができ、誤差検知の精度および補正の精度の向上を図りうる。
(物品製造方法に係る実施形態)
上述の計測装置は、ある支持部材に支持された状態で使用されうる。本実施形態では、一例として、図11のようにロボットアーム300(アーム部)に備え付けられて使用される制御システムについて説明する。計測装置100または計測装置200は、台Tに置かれた物体10にパターン光を投影して撮像し、画像を取得する。そして、計測装置100または200の演算部140が、又は、計測装置100または200の演算部140から画像データを取得したアーム制御部310が、物体10の位置および姿勢を求め、求められた位置および姿勢の情報をアーム制御部310が取得する。アーム制御部310は、その位置および姿勢の情報(計測結果)に基づいて、ロボットアーム300に駆動指令を送ってロボットアーム300を制御する。ロボットアーム300は先端のロボットハンドなど(把持部)で物体10を保持して、並進や回転などの移動をさせる。さらに、ロボットアーム300によって物体10を他の部品に組み付ける(組立する)ことにより、複数の部品で構成された物品、例えば電子回路基板や機械などを製造することができる。また、移動された物体10を加工(処理)することにより、物品を製造することができる。アーム制御部310は、CPUなどの演算装置やメモリなどの記憶装置を有する。なお、ロボットを制御する制御部をアーム制御部310の外部に設けても良い。また、計測装置100または計測装置200により計測された計測データや得られた画像をディスプレイなどの表示部320に表示してもよい。
上述の計測装置は、ある支持部材に支持された状態で使用されうる。本実施形態では、一例として、図11のようにロボットアーム300(アーム部)に備え付けられて使用される制御システムについて説明する。計測装置100または計測装置200は、台Tに置かれた物体10にパターン光を投影して撮像し、画像を取得する。そして、計測装置100または200の演算部140が、又は、計測装置100または200の演算部140から画像データを取得したアーム制御部310が、物体10の位置および姿勢を求め、求められた位置および姿勢の情報をアーム制御部310が取得する。アーム制御部310は、その位置および姿勢の情報(計測結果)に基づいて、ロボットアーム300に駆動指令を送ってロボットアーム300を制御する。ロボットアーム300は先端のロボットハンドなど(把持部)で物体10を保持して、並進や回転などの移動をさせる。さらに、ロボットアーム300によって物体10を他の部品に組み付ける(組立する)ことにより、複数の部品で構成された物品、例えば電子回路基板や機械などを製造することができる。また、移動された物体10を加工(処理)することにより、物品を製造することができる。アーム制御部310は、CPUなどの演算装置やメモリなどの記憶装置を有する。なお、ロボットを制御する制御部をアーム制御部310の外部に設けても良い。また、計測装置100または計測装置200により計測された計測データや得られた画像をディスプレイなどの表示部320に表示してもよい。
なお、上記実施形態では、パターン光とスポット光とを同時に投影していたが、別々に投影してもよい。
(その他の実施形態)
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
100 計測装置
110 パターン光投影部
120 撮像部
130 制御部
140 演算部
150 スポット光投影部
110 パターン光投影部
120 撮像部
130 制御部
140 演算部
150 スポット光投影部
Claims (10)
- パターン光を物体に投影するパターン光投影部と、前記物体を撮像して画像を得る撮像部と、前記撮像部が得た前記画像に基づいて前記物体までの距離を求める演算部と、を有する計測装置であって、
前記物体にスポット光を投影するスポット光投影部を有し、
前記撮像部は、前記パターン光投影部から前記パターン光が投影され、かつ、前記スポット光投影部から前記スポット光が投影された前記物体を撮像して画像を得、
前記演算部は、前記パターン光を基準とする前記スポット光の投影位置に基づいて第1距離を求め、前記スポット光が投影された位置を示す画素の位置に基づいて第2距離を求め、前記第1距離と前記第2距離との差分の大きさを計測精度の指標として算出する、
ことを特徴とする計測装置。 - 前記パターン光投影部、前記撮像部および前記スポット光投影部のそれぞれを支持する複数の支持台は、支持台間において線膨張係数の差が小さい材料で構成されている、ことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記演算部は、予め取得した前記距離に対する、前記第1距離または前記第2距離の誤差が小さくなるように前記距離を求める際に用いる、前記パターン光投影部または前記撮像部に関するパラメータの値を調整する、ことを特徴とする請求項1または2に記載の計測装置。
- 前記演算部は、前記第1距離と前記第2距離との前記差分が小さくなるように前記距離を求める際に用いる、前記パターン光投影部または前記撮像部に関するパラメータの値を調整する、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記パターン光投影部が投影する前記パターン光の波長と、前記スポット光投影部が投影する前記スポット光の波長とは、互いに異なることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記スポット光は、レーザ光であることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記スポット光投影部は、複数のスポット光を投影する投影部を有することを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 物体に投影したパターン光を撮像した画像に基づいて前記物体までの距離を求める計測方法であって、
前記パターン光およびスポット光を投影した前記物体の画像を取得し、
前記画像における前記パターン光を基準とした前記スポット光の投影位置に基づいて第1距離を求め、
前記画像における前記スポット光が投影された位置を示す画素の位置に基づいて第2距離を求め、
前記第1距離と前記第2距離との差分の大きさが小さくなるように前記距離を求める際に用いる、前記パターン光投影部または前記撮像部に関するパラメータの値を調整し、
前記調整の後、前記差分の大きさを計測精度の指標として算出する、
ことを特徴とする計測方法。 - 請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の計測装置と、
前記物体を保持して移動させるロボットと、を有し、
前記計測装置から出力された情報に基づいて、前記ロボットが前記物体を保持する、ことを特徴とするシステム。 - 請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の計測装置により計測を行われた物体の移動をロボットにより行う工程と、
前記工程で前記移動を行われた前記物体を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017091116A JP2018189459A (ja) | 2017-05-01 | 2017-05-01 | 計測装置、計測方法、システム、および物品製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017091116A JP2018189459A (ja) | 2017-05-01 | 2017-05-01 | 計測装置、計測方法、システム、および物品製造方法 |
Publications (1)
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JP2018189459A true JP2018189459A (ja) | 2018-11-29 |
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ID=64479634
Family Applications (1)
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JP2017091116A Pending JP2018189459A (ja) | 2017-05-01 | 2017-05-01 | 計測装置、計測方法、システム、および物品製造方法 |
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JP (1) | JP2018189459A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109490307A (zh) * | 2019-01-24 | 2019-03-19 | 沈阳工程学院 | 基于小孔成像测量金属线胀系数的装置 |
CN113970297A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-01-25 | 江苏智库智能科技有限公司 | 堆垛机货位列数据的标定测量方法 |
-
2017
- 2017-05-01 JP JP2017091116A patent/JP2018189459A/ja active Pending
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CN109490307B (zh) * | 2019-01-24 | 2023-11-03 | 沈阳工程学院 | 基于小孔成像测量金属线胀系数的装置 |
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