JP2018092969A

JP2018092969A - 温度制御ユニット、及びレーザ光源装置

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Publication number: JP2018092969A
Application number: JP2016232561A
Authority: JP
Inventors: 知隆 ▲高▼橋; Tomotaka Takahashi
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 2016-11-30
Filing date: 2016-11-30
Publication date: 2018-06-14
Anticipated expiration: 2036-11-30
Also published as: JP6905818B2

Abstract

【課題】温度制御素子の破損や温度制御効率の低下を抑制可能な温度制御ユニット、及びレーザ光源装置を提供する。【解決手段】温度制御ユニットは、温度を制御する対象である制御対象と、前記制御対象の温度を制御する温度制御素子と、前記制御対象とともに前記温度制御素子を挟持する固定部と、前記固定部に対して前記制御対象を固定する固定機構と、を備え、前記固定機構は、前記固定部に設けられた貫通ねじ部に挿通されて、前記貫通ねじ部の軸方向に対する位置を調整可能な調整ねじと、前記軸方向に対して交差する第一面及び第二面を有し、前記第一面が前記調整ねじの前記軸方向に交差する一端面に接続され、前記第二面が前記制御対象に接続されるスペーサと、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、温度制御素子を固定する温度制御ユニット、及びレーザ光源装置に関する。

従来、ペルチェ素子等の温度制御素子を温度制御の制御対象に固定して、制御対象の温度を調整する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の装置には、温度制御の対象が設けられる板状伝熱部材と、放熱器との間に、伝熱部材（グリース等）を介してペルチェ素子が設けられる構成が開示されている。この装置では、放熱器を取付部材により板状伝熱部材に固定することで、放熱器と板状伝熱部材との間でペルチェ素子を挟み込んで固定している。

特開２００６−８６３９６号公報

ところで、ペルチェ素子等の温度制御素子の厚み寸法には固体差がある。
このため、特許文献１のように、ペルチェ素子を挟み込んで固定する場合、温度制御素子の厚み寸法のバラつきによって、温度制御効率が固体毎に異なったり、ペルチェ素子に過度の応力が加わることで破損してしまったりする課題がある。

本発明は、温度制御素子の破損や温度制御効率の低下を抑制可能な温度制御ユニット、及びレーザ光源装置を提供することを目的とする。

本発明に係る一態様の温度制御ユニットは、温度を制御する対象である制御対象と、前記制御対象の温度を制御する温度制御素子と、前記制御対象とともに前記温度制御素子を挟持する固定部と、前記固定部に対して前記制御対象を固定する固定機構と、を備え、前記固定機構は、前記固定部に設けられた貫通ねじ部に挿通されて、前記貫通ねじ部の軸方向に対する位置を調整可能な調整ねじと、前記軸方向に対して交差する第一面及び第二面を有し、前記第一面が前記調整ねじの前記軸方向に交差する一端面に接続され、前記第二面が前記制御対象に接続されるスペーサと、を備えることを特徴とする。

ここで、調整ねじとスペーサの第一面とが接続されるとは、調整ねじの一端面にスペーサの第一面が当接する構成の他、スペーサと調整ねじとの間にワッシャー等の他の部材を介在させて調整ねじにスペーサが保持される構成を含む。スペーサの第二面と制御対象との接続においても同様であり、スペーサの第二面が制御対象に当接される構成としてもよく、他の部材がスペーサと制御対象との間に介在する構成としてもよい。
本態様では、貫通ねじ部における調整ねじの位置を調整することで、調整ねじにより保持されるスペーサの位置が調整可能となる。つまり、制御対象と固定部との間で、温度制御素子を挟持するスペースの寸法を調整することが可能となる。このため、温度制御素子の厚み寸法にばらつきがある場合でも、個々の温度制御素子に応じて、制御対象と固定部との間の寸法を調整できる。これにより、温度制御素子を制御対象及び固定部に対して密着させることができ、温度制御効率を高めることができ、また、温度制御素子に過度の応力が加わることによる破損をも抑制できる。

本態様の温度制御ユニットにおいて、前記調整ねじは、前記貫通ねじ部と同軸で、前記スペーサ側の面から前記スペーサとは反対側の面に貫通する第一挿通孔を有し、前記スペーサは、前記貫通ねじ部と同軸で、前記第一面から前記第二面に貫通する第二挿通孔を有し、前記第一挿通孔及び前記第二挿通孔に挿通され、前記制御対象と、前記調整ねじとの間に前記スペーサを固定する固定ねじを備えることが好ましい。
本態様では、調整ねじに設けられた第一挿通孔から、スペーサに設けられた第二挿通孔を通り、制御対象に固定される固定ねじが設けられる。これにより、固定ねじを制御対象に締結することで、スペーサが調整ねじと制御対象とにより挟持されて固定される。また、調整ねじは固定部の貫通ねじ部の所定の調整位置で固定されているので、固定部と制御対象との間の距離が、一定に保たれることになり、スペーサの抜け落ちを抑制して、好適に温度制御素子を固定できる。

本態様の温度制御ユニットにおいて、前記調整ねじと前記固定ねじとの間に断熱部材が設けられていることが好ましい。
本態様では、固定ねじと調整ねじとの間に断熱部材が設けられているので、制御対象の熱が固定ねじから固定部に逃げることがなく、温度制御素子による精度の高い温度制御を実現できる。

本態様の温度制御ユニットにおいて、前記固定機構は、前記軸方向から見た際に、前記温度制御素子を囲う位置に、複数設けられていることが好ましい。
本態様では、温度制御素子を囲う位置に、調整ねじに保持されたスペーサが配置されている。したがって、１つの温度制御素子において厚さ寸法にばらつきがある場合でも、各調整ねじを調整することで、温度制御素子に対して、制御対象や固定部を密着させることができる。

本発明の一態様に係るレーザ光源装置は、上述した温度制御ユニットと、前記制御対象であり、前記温度制御ユニットによって前記固定部に固定されるレーザ共振器部と、を備えることを特徴とする。
本態様では、上述のように、個々の温度制御素子に厚み寸法のばらつきがある場合でも、制御対象であるレーザ共振器部の温度を高精度に制御することができる。これにより、所望周波数のレーザ光を高出力で出力することができる。

本発明では、調整ねじを調整して、スペーサの高さ位置を変えることができ、温度制御素子の厚み寸法のばらつきに応じて、固定部と制御対象との間隔を微調整することができる。これにより、温度制御素子と固定部と、また温度制御素子と制御対象とを密着させることができ、高い温度制御効率で、制御対象の温度を制御することができ、温度制御素子に過度の応力が加わることもないので、温度制御素子の破損をも抑制できる。

本実施形態のレーザ光源装置の概略構成を示す図。第一固定機構を拡大した断面図。第一固定部を裏面側から見た平面図。レーザ共振器部の固定方法を示すフローチャート。

以下、本発明に係る一実施形態のレーザ光源装置について説明する。
図１は、本実施形態のレーザ光源装置の概略構成を示す図である。
本実施形態のレーザ光源装置１は、筐体１０と、励起光源２０と、レーザ共振器部３０と、を含んで構成されている。また、レーザ共振器部３０は、誘導輻射から第一波長（例えば１０６４ｎｍ）の光を発光するレーザ媒体（例えばＮｄ：ＹＶＯ４結晶）、第一波長の光の一部を第二波長（例えば５３２ｎｍ）の光とする非線形光学結晶（例えばＫＴＰ結晶）、レーザ光の特定周波数のみを透過させるエタロン、第一波長の光を反射させ第二波長の光を透過させる反射鏡等の光学素子と、これらの光学素子を収納する共振器筐体とを含んで構成されている。
このレーザ光源装置１は、励起光源２０から出射された励起光がレーザ共振器部３０に入射し、レーザ共振器部３０にて生成された第二波長（目標波長）のレーザ光が出力される。

筐体１０は、レーザ共振器部３０が固定される固定部（第一固定部１１Ａ）、励起光源２０が固定される固定部（第二固定部１１Ｂ）を有する。また、レーザ光源装置１では、励起光源２０の温度により、励起光の出力値が変動し、レーザ共振器部３０の温度により、出力されるレーザ光の出力値は周波数が変動する。したがって、第一固定部１１Ａとレーザ共振器部３０との間には、温度制御素子であるペルチェ素子４０Ａが設けられ、第二固定部１１Ｂと励起光源２０との間には、温度制御素子であるペルチェ素子４０Ｂが設けられている。

第一固定部１１Ａ及び第二固定部１１Ｂは、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの熱が放熱される部材であり、熱伝導率が高い例えば金属等により構成されることが好ましい。
また、第一固定部１１Ａや第二固定部１１Ｂの裏面１１２（ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂが設けられる固定面１１１とは反対の面）には、放熱フィン等の放熱部材が適宜設けられていてもよい。

第一固定部１１Ａには、ペルチェ素子４０Ａを介して、レーザ共振器部３０を固定する第一固定機構５０Ａが設けられている。また、第二固定部１１Ｂには、ペルチェ素子４０Ｂを介して、励起光源２０を固定する第二固定機構５０Ｂが設けられている。ここで、レーザ共振器部３０をペルチェ素子４０Ａにより温度を制御（調整）する制御対象とし、第一固定部１１Ａ、レーザ共振器部３０、ペルチェ素子４０Ａ、第一固定機構５０Ａにより、本発明の温度制御ユニットが構成される。同様に、励起光源２０をペルチェ素子４０Ｂにより温度を調整する制御対象とし、第二固定部１１Ｂ、励起光源２０、ペルチェ素子４０Ｂ、第二固定機構５０Ｂにより、本発明の温度制御ユニットが構成される。

第一固定部１１Ａのペルチェ素子４０Ａが設けられる表面（固定面１１１）は平面であり、半固定伝熱部材４１１（例えば熱伝導グリース等）を介してペルチェ素子４０Ａの放熱面４１に密着して接続される。また、レーザ共振器部３０の第一固定部１１Ａに対向する面（ベース面３２）も平面であり、半固定伝熱部材４１１を介して、ペルチェ素子４０Ａの温度制御面４２に密着して接続される。つまり、ペルチェ素子４０Ａは、放熱面４１及び温度制御面４２に半固定伝熱部材４１１が塗布された状態で、第一固定部１１Ａ及びレーザ共振器部３０により挟持されることで固定される。
同様に、第二固定部１１Ｂのペルチェ素子４０Ｂが設けられる面（固定面１１１）、及び励起光源２０の第二固定部１１Ｂに対向するベース２１の表面（ベース面２２）は平面であり、それぞれ、半固定伝熱部材４１１を介してペルチェ素子４０Ｂの放熱面４１、温度制御面４２に密着して接続される。

次に、第一固定機構５０Ａについて説明する。なお、第二固定機構５０Ｂの構成は、第一固定機構５０Ａの構成と同様であるため、ここでの説明は省略する。
図２は、図１の第一固定機構５０Ａ近傍を拡大した断面図である、図３は、第一固定部１１Ａを裏面１１２側から見た平面図である。
図１から図３に示すように、第一固定部１１Ａには、レーザ共振器部３０のベース３１に対向する位置で、かつ、ペルチェ素子４０Ａが設けられる部分の外側に、第一固定機構５０Ａが設けられる。より好ましくは、第一固定機構５０Ａは、図３に示すように、Ｘ方向に沿ってペルチェ素子４０Ａを挟み込む位置、及び、Ｘ方向に交差するＹ方向に沿ってペルチェ素子４０Ａを挟み込む位置にそれぞれ設けられることが好ましい。

第一固定部１１Ａは、第一固定機構５０Ａが設けられる位置に、それぞれ貫通ねじ部１１３を備える。そして、第一固定機構５０Ａは、図２に示すように、貫通ねじ部１１３内に螺着される調整ねじ５１と、調整ねじ５１により位置が調整されるスペーサ５２と、調整ねじ５１及びスペーサ５２をレーザ共振器部３０（ベース３１）に固定する固定ねじ５３とを含んで構成されている。

調整ねじ５１は、貫通ねじ部１１３内に螺合されている。この調整ねじ５１は、一端面（当接面５１１）が第一固定部１１Ａの固定面１１１から突出し、スペーサ５２の第一固定部１１Ａ側の第一面５２１に当接する。また、調整ねじ５１の当接面５１１とは反対側となる面は、調整面５１２となる。当該調整面５１２には、調整ねじ５１の位置を調整する位置調整溝５１３（例えばマイナスドライバーのねじ穴等）が設けられている。このような調整ねじ５１は、例えば専用の工具を位置調整溝５１３に係合させて回転させることで、貫通ねじ部１１３の軸方向に沿って進退する。これにより、当接面５１１に当接するスペーサ５２も軸方向に沿って進退する。
また、調整ねじ５１には、貫通ねじ部１１３と同軸となり、当接面５１１から調整面５１２を貫通する第一挿通孔５１４が設けられている。この第一挿通孔５１４には、固定ねじ５３が挿通される。

スペーサ５２は、断熱部材により形成されている。このスペーサ５２は、調整ねじ５１の当接面５１１に当接する第一面５２１、レーザ共振器部３０のベース３１（ベース面３２）に当接する第二面５２２を有する。また、スペーサ５２は、第一面５２１から第二面５２２を貫通する第二挿通孔５２３を備えており、当該第二挿通孔５２３には、固定ねじ５３が挿通される。
上述したように、スペーサ５２の第一面５２１は、調整ねじ５１の当接面５１１に当接し、調整ねじ５１が軸方向に進退されることで、スペーサ５２も軸方向に沿って進退する。これにより、レーザ共振器部３０のベース３１も軸方向に進退し、第一固定部１１Ａとレーザ共振器部３０との間の寸法が微調整可能となる。

固定ねじ５３は、調整ねじ５１に対してスペーサ５２及びレーザ共振器部３０を固定する固定部材である。この固定ねじ５３は、調整ねじ５１の第一挿通孔５１４、スペーサ５２の第二挿通孔５２３に挿通され、レーザ共振器部３０のベース３１に設けられたねじ穴３３に螺着される。
また、固定ねじ５３のねじ頭部５３１は、ワッシャー５４を介して調整ねじ５１の調整面５１２に接続される。したがって、固定ねじ５３をねじ穴３３に対して締め付けることで、第一固定部１１Ａに固定された調整ねじ５１に対し、スペーサ５２を介してレーザ共振器部３０が固定される。つまり、第一固定部１１Ａに対するレーザ共振器部３０の位置が固定される。
ワッシャー５４は、断熱部材により構成されている。また、図２に示すように、第一挿通孔５１４は、固定ねじ５３の軸径に対して十分大きい径寸法を有している。よって、固定ねじ５３が調整ねじ５１に接触することはなく、レーザ共振器部３０からの熱が、固定ねじ５３から調整ねじ５１に伝達されて放熱される不都合が抑制される。
さらに、スペーサ５２の第二挿通孔５２３に固定ねじ５３が挿通されることで、スペーサ５２が軸方向に交差する方向に位置ずれする不都合が抑制され、例えばスペーサ５２の抜け落ち等がない。

なお、上述したように、第二固定機構５０Ｂの構成は、第一固定機構５０Ａと同様となる。つまり、第二固定部１１Ｂには、ペルチェ素子４０Ｂが設けられる部分の外側で、励起光源２０に対向する位置に、貫通ねじ部１１３が設けられ、当該貫通ねじ部１１３に調整ねじ５１が螺着されている。調整ねじ５１の位置を調整することで、調整ねじ５１に当接するスペーサ５２の位置が変動し、励起光源２０と第二固定部１１Ｂとの寸法がペルチェ素子４０Ｂの厚み寸法に応じた寸法に調整可能となる。

［ペルチェ素子の固定方法］
次に、レーザ共振器部３０を、ペルチェ素子４０Ａを介して第一固定部１１Ａに固定する固定方法（制御対象に対して温度制御素子を固定する固定方法）について説明する。
図４は、レーザ共振器部３０の固定方法を示すフローチャートである。
レーザ共振器部３０の固定では、まず、ペルチェ素子４０Ａの放熱面４１及び温度制御面４２に対して、半固定伝熱部材４１１を塗布する。そして、ペルチェ素子４０Ａを、第一固定部１１Ａ上に載置し、さらに、ペルチェ素子４０Ａ上にレーザ共振器部３０を載置し、ペルチェ素子４０Ａを第一固定部１１Ａ及びレーザ共振器部３０により挟み込む（ステップＳ１）。
この際、レーザ共振器部３０を下部、第一固定部１１Ａを上部に配置することで、第一固定部１１Ａの重量を掛けて、半固定伝熱部材４１１の厚み寸法を均一にする。

次に、使用するペルチェ素子４０Ａの厚さ規格（仕様）よりも小さいスペーサ５２を調整ねじ５１とベース３１との間に介在させ、調整ねじ５１の位置を調整する（ステップＳ２）。
この際、レーザ共振器部３０を上部、第一固定部１１Ａを下部とした状態で、調整ねじ５１を回転させて軸方向に移動させる。そして、上部に配置されたレーザ共振器部３０が浮き上がる直前の位置に調整ねじ５１を移動させる。

調整ねじ５１の調整後、固定ねじ５３をベース３１のねじ穴３３に挿入し、第一固定部１１Ａ（調整ねじ５１）に対して、スペーサ５２及びレーザ共振器部３０を固定する（ステップＳ３）。これにより、ペルチェ素子４０Ａが、第一固定部１１Ａ及びレーザ共振器部３０に挟持されて固定される。

［本実施形態の作用効果］
本実施形態では、固定部（第一固定部１１Ａ，第二固定部１１Ｂ）と、制御対象（レーザ共振器部３０，励起光源２０）と、これらの固定部及び制御対象の間で挟持されるペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂと、固定機構（第一固定機構５０Ａ，第二固定機構５０Ｂ）とを備える。そして、固定機構は、固定部に設けられた貫通ねじ部１１３に設けられて、軸方向の位置を調整可能な調整ねじ５１と、スペーサ５２とを備える。また、スペーサ５２は、調整ねじ５１の当接面５１１に当接される第一面５２１、及び制御対象のベース面３２，２２に当接される第二面５２２を有する。
このような構成では、調整ねじ５１を調整することで、スペーサ５２の高さ位置をペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの厚み寸法に応じた位置に調整することが可能となる。よって、個々のペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの厚み寸法にばらつきがある場合等でも、使用するペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂに合わせてスペーサ５２の高さ位置を調整できる。
このため、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの厚み寸法に応じたスペーサを製造する必要がなく、規格化されたスペーサ５２を用いることができる。また、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂを、厚さ寸法が異なる他の温度制御素子に交換する場合でも、当該温度制御素子の厚み寸法に合わせた寸法に容易に制御対象と固定部との間の寸法を調整することができる。

また、制御対象と、固定部との間隔を、予め設定された寸法（調整不可能な構成）とした場合、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの厚み寸法が当該間隔よりも大きいと、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂが破損してしまう。また、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの厚み寸法が当該間隔よりも小さいと、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂと制御対象との間や、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂと固定部との間に隙間が生じ、温度制御効率が低下する。これに対し、本実施形態では、制御対象と固定部との間の寸法を、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの厚み寸法に容易に合わせることができる。したがって、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの破損や、温度制御効率の低下を抑制できる。

また、本実施形態では、固定ねじ５３により、固定部に固定された調整ねじ５１に対してスペーサ５２及び制御対象を固定する。これにより、調整ねじ５１により調整されたスペーサ５２の高さ位置を固定でき、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂを確実に制御対象と固定部との双方に密着させることができる。

本実施形態では、調整ねじ５１と固定ねじ５３との間に、断熱部材であるワッシャー５４が設けられている。このため、固定ねじ５３に制御対象からの熱が伝達された場合でも、固定ねじ５３から調整ねじ５１を介して固定部から熱が放出される不都合を抑制できる。

本実施形態では、上述したような調整ねじ５１、スペーサ５２、及び固定ねじ５３を含んで構成される第一固定機構５０Ａや第二固定機構５０Ｂは、ペルチェ素子４０Ａやペルチェ素子４０Ｂを囲う位置に複数設けられている。
このため、１つのペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂにおいて、厚み寸法のばらつきがあり、例えば放熱面４１と温度制御面４２とが平行でない場合でも、各固定機構５０Ａ，５０Ｂにおける調整ねじ５１の位置をそれぞれ調整することで、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂに対して、制御対象や固定部を密着させて固定することができる。よって、ペルチェ素子４０Ａ，４０Ｂの破損や、温度制御効率の低下をより抑制できる。

［変形例］
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
上記実施形態では、貫通ねじ部１１３内に、１つの調整ねじ５１が螺合される例を示したが、これに限定されない。例えば、２つ以上の調整ねじ５１が螺合される構成などとしてもよい。この場合、二重ナット構造と同様、調整ねじ５１の緩みを抑制でき、スペーサ５２の高さ位置の変動を抑制できる。
また、ワッシャー５４を、スプリングワッシャー等により構成したり、ワッシャー５４と固定ねじ５３のねじ頭部５３１との間にスプリング等の弾性部材を介在させて、調整ねじ５１の緩みを防止してもよい。
さらに、スペーサ５２と制御対象（レーザ共振器部３０や励起光源２０）との間に弾性部材（例えばスプリング）等の他の部材を設けてもよく、スペーサ５２と調整ねじ５１との間に弾性部材（例えばスプリング）等の他の部材を設けてもよい。

固定ねじ５３のねじ頭部５３１と、調整ねじ５１との間に断熱部材により構成されるワッシャー５４を介在させる例を示したが、固定ねじ５３を断熱部材により構成する場合では、ワッシャー５４が設けられていなくてもよい。
調整ねじ５１の第一挿通孔５１４の孔径を、固定ねじ５３の軸径に対して十分大きい寸法とすることで、空気層を断熱層として作用させる例を示したが、これに限定されない。
例えば、第一挿通孔５１４に他の断熱部材を充填させてもよい。
また、上記のように、固定ねじ５３を断熱部材により構成する場合では、固定ねじ５３が第一挿通孔５１４に接触してもよく、第一挿通孔５１４に固定ねじ５３を螺合する雌ねじ山を形成してもよい。

上記実施形態では、制御対象として、励起光源２０やレーザ共振器部３０を例示したがこれに限定されず、ペルチェ素子等の温度制御素子により温度を制御する如何なる部材を制御対象としてもよい。
例えば、レーザ共振器部３０に収納される、レーザ媒体や非線形光学結晶は、温度の影響によってレーザ光の発振周波数が変化し、エタロンは温度の影響により透過する光の中心波長がシフトする。したがって、これらのレーザ媒体や非線形光学結晶、エタロン等に対しても個別にペルチェ素子等の温度制御素子を配置する場合がある。このような場合、レーザ媒体、非線形光学結晶、エタロンをそれぞれ制御対象とし、共振器筐体を固定部として、上記のような調整ねじ５１、スペーサ５２、及び固定ねじ５３を有する固定機構を用いて、ペルチェ素子を制御対象と固定部とで挟持させる構成としてもよい。
また、レーザ光源装置１に限定されず、例えばパーソナルコンピューターのＣＰＵ（Central Processing Unit）、冷蔵庫やエアコン等の冷却装置において用いられるペルチェ素子の固定においても適用することが可能である。
また、本実施形態では、温度制御素子として、制御対象の温度を調整するペルチェ素子を例示したが、その他の素子を用いてもよい。例えば、制御対象の温度を制御する温度制御素子として、制御対象の熱を電圧に変換して温度を計測するゼーベック素子等を用いてもよい。

その他、本発明の実施の際の具体的な構造は、本発明の目的を達成できる範囲で他の構造等に適宜変更できる。

本発明は、温度制御素子により、制御対象の温度を制御する温度制御モジュールに適用できる。

１…レーザ光源装置、１０…筐体、１１Ａ…第一固定部、１１Ｂ…第二固定部、２０…励起光源（制御対象）、２１…ベース、３０…レーザ共振器部（制御対象）、４０Ａ，４０Ｂ…ペルチェ素子（温度制御素子）、５０Ａ…第一固定機構、５０Ｂ…第二固定機構、５１…調整ねじ、５２…スペーサ、５３…固定ねじ、５４…ワッシャー、１１１…固定面、１１２…裏面、１１３…貫通ねじ部、４１１…半固定伝熱部材、５１１…当接面、５１２…調整面、５１３…位置調整溝、５１４…第一挿通孔、５２１…第一面、５２２…第二面、５２３…第二挿通孔、５３１…ねじ頭部。

Claims

温度を制御する対象である制御対象と、
前記制御対象の温度を制御する温度制御素子と、
前記制御対象とともに前記温度制御素子を挟持する固定部と、
前記固定部に対して前記制御対象を固定する固定機構と、を備え、
前記固定機構は、
前記固定部に設けられた貫通ねじ部に挿通されて、前記貫通ねじ部の軸方向に対する位置を調整可能な調整ねじと、
前記軸方向に対して交差する第一面及び第二面を有し、前記第一面が前記調整ねじの前記軸方向に交差する一端面に接続され、前記第二面が前記制御対象に接続されるスペーサと、を備える
ことを特徴とする温度制御ユニット。
請求項１に記載の温度制御ユニットにおいて、
前記調整ねじは、前記貫通ねじ部と同軸で、前記スペーサ側の面から前記スペーサとは反対側の面に貫通する第一挿通孔を有し、
前記スペーサは、前記貫通ねじ部と同軸で、前記第一面から前記第二面に貫通する第二挿通孔を有し、
前記第一挿通孔及び前記第二挿通孔に挿通され、前記制御対象と、前記調整ねじとの間に前記スペーサを固定する固定ねじを備える
ことを特徴とする温度制御ユニット。
請求項２に記載の温度制御ユニットにおいて、
前記調整ねじと前記固定ねじとの間に断熱部材が設けられている
ことを特徴とする温度制御ユニット。
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の温度制御ユニットにおいて、
前記固定機構は、前記軸方向から見た際に、前記温度制御素子を囲う位置に、複数設けられている
ことを特徴とする温度制御ユニット。
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の温度制御ユニットと、
前記制御対象であり、前記温度制御ユニットによって前記固定部に固定されるレーザ共振器部と、
を備えることを特徴とするレーザ光源装置。