JP2018088656A - 水晶素子および水晶デバイス - Google Patents
水晶素子および水晶デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018088656A JP2018088656A JP2016232025A JP2016232025A JP2018088656A JP 2018088656 A JP2018088656 A JP 2018088656A JP 2016232025 A JP2016232025 A JP 2016232025A JP 2016232025 A JP2016232025 A JP 2016232025A JP 2018088656 A JP2018088656 A JP 2018088656A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal element
- crystal
- outer edge
- frame
- buffer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
励振電極部から前記水晶片の外縁まで延設されている配線部と、配線部の端部に接続され前記第二枠部の下面に設けられている一対の接続部と、を備えていることを特徴とする。
励振電極部から前記水晶片の外縁まで延設されている配線部と、配線部の端部に接続され前記第二枠部の下面に設けられている一対の接続部と、を備えている。このような構成にすることで、励振電極部、配線部および接続部に交番電圧を印加し励振電極部に挟まれている部分を振動させた際に、励振電極部に挟まれている部分の振動が、励振電極部に挟まれていない部分へ漏れ伝搬する量を低減させることが可能となる。このため、励振電極部に挟まれている部分から振動が漏れ伝搬することによる等価直列抵抗値が大きくなることを低減させることができ、
電気的特性が悪化することを抑制させることが可能となる。このような構成は、水晶素子が小型化された場合においても、等価直列抵抗値が大きくなることを低減させることができ、電気的特性が悪化することを抑制させることが可能としている。
水晶デバイスは、例えば、全体として略直方体形状となっている電子部品である。水晶デバイスは、例えば、長辺または短辺の長さが、0.6mm〜2.0mmであり、上下方向の厚さが、0.2mm〜1.5mmとなっている。
図4は、本実施形態に係る水晶素子の平面図である。図5は、図4のC−C断面における断面図であり、図6は、図5は、図5のD部の部分拡大図である。
振動部121aの主面と第一緩衝部121bの面とがなす角度は、図6に示したように、90°よりも大きい角度、つまり、鈍角となっており、例えば、135°〜170°の所定の角度となっている。また、第一緩衝部121bの面と後述する第二枠部121cの面とがなす角度は、図6に示したように、90°よりも大きい角度、つまり、鈍角となっており、例えば、135°〜170°の所定の角度となっている。
図6に示したように、90°より大きい鈍角となっており、例えば、135°〜170°の所定の角度となっている。また、第二緩衝部121dの面と、口述する第二枠部121eの面とがなす角度は、90°よりも大きい角度、つまり、鈍角となっており、例えば、135°〜170°の所定の角度となっている。
第二金属層は、金属材料の中で電気抵抗率が低く、安定した材料が用いられ、例えば、金、金を含む合金、銀または銀を含む合金のいずれか一つが用いられる。電気抵抗率が比較的低い材料を用いることで、金属パターン122自身の抵抗率を小さくすることができ、この結果、水晶素子120の等価直列抵抗値が大きくなることを低減できる。また、安定して金属材料を用いることで、水晶素子120が存在する周囲の空気と反応し金属パターン122の重さが変化し水晶素子120の周波数が変化することを低減させることができる。
(振動部121aに対して)X軸の正の方向に位置しているZ´軸に平行な辺に沿って二つ並んで設けられているといえる。
平面視して略矩形形状となっている水晶片121と、振動部121aの両主面に設けられている一対の励振電極部123と、励振電極部123から水晶片121の外縁まで延設されている配線部124bと、配線部124bの端部に接続され第二枠部121eの下面に設けられている一対の接続部124aと、を備えている。
電気的特性が悪化することを抑制させることができる。また、このように、金属パターン122の一部、具体的には、接続配線部124を第二枠部121eの下面に設けることにより、励振電極部123に交番電圧を印加したときに生じる副次的な振動である屈曲振動を、金属パターン122の一部が錘の役割を果たすために、低減させることができる。この結果、副次的な振動である屈曲振動が主振動である厚みすべり振動と結合し、等価直列抵抗値が大きくなり電気的特性が悪化することを抑制することが可能となる。
また、水晶素子120が小型化された場合には、副次的な振動である屈曲振動が主振動である厚みすべり振動へ与える影響が大きくなる傾向にあるが、本実施形態では、金属パターン122の一部により副次的な振動である屈曲振動を抑制しているので、上述したような効果がより顕著となる。
等価直列抵抗値が大きくなることをより低減させ、電気的特性が悪化することを抑制させることが可能となる。
同様に漏れ伝搬する量を低減させているので、励振電極部123の上下方向の厚みを薄くすることができている。この結果、励振電極部123の上下方向の厚みが薄くすることができるので、励振電極部123を設ける際および設けた後に、励振電極部123の膜質が変化する量を低減させることが可能となり、励振電極部123の膜質が変化することによる電気的特性の悪化を抑制させることができる。
等価直列抵抗値が大きくなることを低減させ、電気的特性が悪化することを抑制させることが可能となる。
金属パターン122が設けられていない第一枠部121cの面との面状態を異なっているので、第二枠部121eの下面から第二緩衝部121dへ濡れ拡がった導電性接着剤140が第一枠部121cの下面へ濡れ拡がる量を低減させることができる。また、第一枠部121cと第二緩衝部121dの面とのなす角度が鈍角となっていることから、第二枠部121eから第二緩衝部121dへ濡れ拡がった導電性接着剤140は、第一枠部121cの下面へ濡れ拡がらず、重力により基板部110a側へ落下させることも可能となる。
つまり、このような水晶素子120を用いることで、導電性接着剤140が第一枠部121cの下面へ濡れ拡がる量を低減させることができ、ひいては、振動部121aの下面に設けられている励振電極部123へ導電性接着剤140が濡れ拡がる量を低減させることができ、この結果、導電性接着剤140が励振電極部123に付着することによる電気的特性の悪化を抑制させることが可能となる。
前記した水晶素子120を種々の寸法で実際に作製し、その等価直列抵抗値を調べる実験を行った。その結果、水晶片121の長辺の長さ(X軸に平行な長さ)を650μm〜920μmの所定の値にした場合、振動部121aの上下方向の厚みをtとし、水晶の周波数定数をKfとし、振動部121aの周波数をF0とすると、F0=Kf/tを満たしており、励振電極部123を設けた後の周波数をF1とすると、4.00≦(F0−F1)/F1×100≦4.40を満たしていることが望ましいことが分かった。
以下では、その実験に関して比較的好ましい結果(比較的小さい等価直列抵抗値)が得られたときの、プレートバック量と等価直列抵抗値との関係を示す。
プレートバック量=(F0−F1)/F1×100
その長さは、250μm〜550μmとなっている。また、水晶素子120を平面視したとき、第一傾斜部121bおよび第二傾斜部121dの幅は、軸方向によって異なっているが、それぞれ同等の幅となるように設定している。同様に、第一枠部121cおよび第二枠部121eについては、それぞれ同等の幅となるように設定している。
110a・・・基板部
110b・・・枠部
111・・・搭載パッド
112・・・外部端子
120・・・水晶素子
121・・・水晶片
121a・・・振動部
121b・・・第一緩衝部
121c・・・第一枠部
121d・・・第二緩衝部
121e・・・第二枠部
122・・・金属パターン
123・・・励振電極部
124・・・接続配線部
124a・・・接続部
124b・・・配線部
130・・・蓋体
140・・・導電性接着剤
Claims (6)
- 略直方体形状の振動部と、
平面視して前記振動部の外縁に沿って設けられ、前記振動部より上下方向の厚みが徐々に薄くなっている第一緩衝部と、
前記第一緩衝部の外縁に沿って設けられ、前記振動部より上下方向の厚みが薄い第一枠部と、
前記第一枠部の外縁に沿って設けられ、前記第一枠部より上下方向の厚みが徐々に薄くなっている第二緩衝部と、
前記第二緩衝部の外縁に沿って設けられ前記第一枠部より上下方向の厚みが薄い第二枠部と、
からなり、平面視して略矩形形状となっている水晶片と、
前記振動部の両主面に設けられている一対の励振電極部と、
前記励振電極部から前記水晶片の外縁まで延設されている配線部と、
前記配線部の端部に接続され前記第二枠部の下面に設けられている一対の接続部と、
を備えていることを特徴とする水晶素子。 - 請求項1に記載の水晶素子であって、
平面視して、
前記励振電極部の外縁と前記振動部の主面の外縁とが重なっている
ことを特徴とする水晶素子。 - 請求項1および請求項2に記載の水晶素子であって、
前記振動部の上下方向の厚みをtとし、
水晶の周波数定数をKfとし、
前記振動部の周波数をF0とすると、
F0=Kf/t
を満たしており、
前記励振電極部を設けた後の周波数をF1とすると、
4.00≦(F0−F1)/F1×100≦4.40
を満たしている
ことを特徴とする水晶素子。 - 請求項1乃至請求項3に記載の水晶素子であって、
前記水晶片の長辺に沿って断面視して、
前記振動部の主面と前記第一緩衝部の面とがなす角度が鈍角となっており、
前記第一緩衝部の面と前記第一枠部の主面とがなす角度が鈍角となっており、
前記第一枠部の主面と前記第二緩衝部の面とがなす角度が鈍角となっており、
前記第二緩衝部の面と前記第二枠部の主面とがなす角度が鈍角となっている
ことを特徴とする水晶素子。 - 請求項1乃至請求項4に記載の水晶素子と、
導電性接着剤によって前記水晶素子の前記接続部と電気的に接着される搭載パッドを有した基体と、
前記基体と接合され前記水晶素子を気密封止している蓋体と、
を備えていることを特徴とする水晶デバイス。 - 請求項5に記載の水晶デバイスであって、
前記導電性接着剤が、前記第二枠部および前記第二緩衝部と前記搭載パッドとの間に位置している
ことを特徴とする水晶素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016232025A JP2018088656A (ja) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 水晶素子および水晶デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016232025A JP2018088656A (ja) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 水晶素子および水晶デバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018088656A true JP2018088656A (ja) | 2018-06-07 |
Family
ID=62493002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016232025A Pending JP2018088656A (ja) | 2016-11-30 | 2016-11-30 | 水晶素子および水晶デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018088656A (ja) |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005260692A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 |
JP2009130543A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Epson Toyocom Corp | メサ型振動片、メサ型振動デバイスおよびメサ型振動デバイスの製造方法 |
JP2011199817A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法 |
JP2013042425A (ja) * | 2011-08-18 | 2013-02-28 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電モジュール |
JP2013197916A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP2014135534A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-07-24 | Seiko Epson Corp | 素子の製造方法 |
JP2015170966A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2015186240A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の製造方法 |
WO2016121466A1 (ja) * | 2015-01-28 | 2016-08-04 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及びその製造方法並びに水晶振動デバイス |
-
2016
- 2016-11-30 JP JP2016232025A patent/JP2018088656A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005260692A (ja) * | 2004-03-12 | 2005-09-22 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子および圧電発振器 |
JP2009130543A (ja) * | 2007-11-21 | 2009-06-11 | Epson Toyocom Corp | メサ型振動片、メサ型振動デバイスおよびメサ型振動デバイスの製造方法 |
JP2011199817A (ja) * | 2010-02-24 | 2011-10-06 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片の製造方法 |
JP2013042425A (ja) * | 2011-08-18 | 2013-02-28 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電モジュール |
JP2013197916A (ja) * | 2012-03-21 | 2013-09-30 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、電子デバイス、および電子機器 |
JP2014135534A (ja) * | 2013-01-08 | 2014-07-24 | Seiko Epson Corp | 素子の製造方法 |
JP2015170966A (ja) * | 2014-03-06 | 2015-09-28 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片および圧電振動子 |
JP2015186240A (ja) * | 2014-03-26 | 2015-10-22 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の製造方法 |
WO2016121466A1 (ja) * | 2015-01-28 | 2016-08-04 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及びその製造方法並びに水晶振動デバイス |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013042440A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
JP2014090290A (ja) | 振動片、振動デバイス、電子機器及び移動体 | |
US10411671B2 (en) | Crystal element and crystal device | |
JP2013042410A (ja) | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 | |
JP6853085B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP2011228980A (ja) | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 | |
JP6256036B2 (ja) | 振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
JP6809896B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP6666166B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP6845046B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP6920078B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP6841675B2 (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP2018088656A (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP2017200093A (ja) | 水晶デバイス | |
JP6229456B2 (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 | |
CN110999079B (zh) | 压电振子 | |
JP2018164194A (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP2018207214A (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP2018125640A (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP2015186196A (ja) | 圧電振動片及び圧電デバイス | |
JP2018074343A (ja) | 水晶素子および水晶デバイス | |
JP7308092B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP7329592B2 (ja) | 水晶素子及び水晶デバイス | |
JP7293037B2 (ja) | 水晶素子、水晶デバイス及び電子機器 | |
JP2018121265A (ja) | 水晶素子および水晶デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20170403 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190819 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200731 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200915 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210329 |