JP2018081729A - Data reading device, and data reading method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a data storage medium that has durability against a change in storage environment, and enables duplicates to be easily fabricated even after information is recorded and stored.SOLUTION: A data storage medium 1 is provided with an irregularity structure formed in a storage area SA set on a first surface 21 of a quartz glass base material 2. The storage area SA includes: a plurality of unit storage areas UA juxtaposed in at least one direction; and a data non-storage area NA located between adjacent unit storage areas UA. The irregularity structure includes: a unit data pattern UP; an address pattern AP; and a boundary pattern BP, in which the unit data pattern UP is formed in the plurality of unit storage areas UA in parallel order, and the address pattern AP is formed in the data non-storage area NA, corresponding to each unit storage area UA having each unit data pattern UP formed.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、データ保存媒体に関する。   The present invention relates to a data storage medium.

種々の情報を記録する媒体としての紙は、古くから利用されており、現在においても、多くの情報が紙面上に記録されている。一方、産業の発達とともに、動画、静止画等の画像情報を記録するフィルム(マイクロフィルム等)、音の情報を記録するレコード盤等が利用され、近年では、デジタルデータを記録する媒体として、磁気記録媒体、光学式記録媒体、半導体記録媒体等が利用されている。   Paper as a medium for recording various information has been used for a long time, and even now, a lot of information is recorded on paper. On the other hand, with the development of industry, film (microfilm, etc.) for recording image information such as moving images and still images, and a record board for recording sound information have been used. In recent years, magnetic media have been used as media for recording digital data. Recording media, optical recording media, semiconductor recording media, and the like are used.

上述したような媒体に記録される情報等として、100年を超える超長期に保存されることが求められるものがある。上記媒体は、その用途に応じて、それぞれ利用に支障が生じない程度の耐久性を備えており、例えば、紙、フィルム、レコード盤等の媒体は、数年といった時間尺度においては、十分な耐久性を有する媒体といえる。しかしながら、100年を超えるような時間尺度においては、経年劣化を避けることはできず、保存した情報が滅失するおそれがあり、水や熱によって損傷を受けるおそれもある。例えば、マイクロフィルムは、セルロースアセテートを原料とするものにあっては、保管環境の温度・湿度によって分解が生じ、表面に酢酸が生成されてデータ読出が不可能となるビネガーシンドロームが起こるため、寿命は30年以下とされている。ポリエステルを原料とするものにあっては、500年程度の寿命といわれているものの、ISO、JIS等の規格で定められた環境下で保管しなければ達成できず、保管環境が情報滅失のリスク要因の一つとなることに変わりはない。   Some of the information recorded on the medium as described above is required to be stored for an extremely long time exceeding 100 years. Each of the above media has a durability that does not hinder use depending on the application. For example, media such as paper, film, and record board are sufficiently durable on a time scale of several years. It can be said that it is a medium having a property. However, on time scales exceeding 100 years, aging degradation cannot be avoided, stored information may be lost, and water or heat may cause damage. For example, if microfilm is made of cellulose acetate as a raw material, it will decompose due to the temperature and humidity of the storage environment, and acetic acid will be generated on the surface, causing a vinegar syndrome that makes it impossible to read data. Is said to be less than 30 years. Although it is said that the lifespan of polyester is about 500 years, it cannot be achieved unless it is stored in an environment defined by standards such as ISO and JIS, and the storage environment is a risk of information loss. It will remain one of the factors.

また、磁気記録媒体、光学式記録媒体、半導体記録媒体等は、一般的な電子機器の利用にあたって支障が生じない程度の耐久性を備えるものの、数十年といった時間尺度での耐久性を考慮した設計はなされていないため、恒久的、半永久的に情報を保存する用途には適していない。例えば、半導体記録媒体としてのフラッシュメモリに代表されるEEPROMにおいては、フローティングゲートへの電荷の保持によってデータが記録・保存されるが、保管環境によってフローティングゲートにおける電荷の保持時間が左右されてしまう。また、データの書き込みを繰り返すことで絶縁層が損傷し、電荷が保持できなくなるおそれもある。長寿命の半導体記録媒体としてROMが知られているが、情報が記録・保存されたROMからバックアップとしてのROM(複製物)を作製するのは膨大な費用がかかってしまう。   In addition, although magnetic recording media, optical recording media, semiconductor recording media, etc. have durability that does not hinder the use of general electronic equipment, they are considered to be durable on a time scale such as several decades. Since it has not been designed, it is not suitable for storing information permanently or semi-permanently. For example, in an EEPROM typified by a flash memory as a semiconductor recording medium, data is recorded and stored by holding charges in the floating gate, but the holding time of the charges in the floating gate depends on the storage environment. In addition, the repeated writing of data may damage the insulating layer and prevent the charge from being retained. A ROM is known as a long-lived semiconductor recording medium. However, it is very expensive to produce a ROM (replica) as a backup from a ROM in which information is recorded and stored.

さらに、上記の媒体は、耐火性、耐熱性に欠けるという問題がある。例えば、情報が記録・保存された上記媒体の保管場所にて火災が発生すると、その熱によりデータが滅失してしまうため、既存の媒体では情報を恒久的、半永久的に保存することは、実質的に不可能である。   Further, the above medium has a problem that it lacks fire resistance and heat resistance. For example, if a fire occurs at the storage location of the above-mentioned medium where information is recorded and stored, the data will be lost due to the heat, so it is practical to store information permanently or semi-permanently on existing media. Is impossible.

一方、恒久的、半永久的に情報を保存可能な方法として、石英ガラスのような耐久性を有する媒体に情報を記録・保存する方法が提案されている(特許文献1,2参照)。具体的には、円柱状の媒体内の微小セルに光透過率の違いとして三次元的にデータを記録し、この媒体を回転させながらコンピュータトモグラフィの技術を利用して情報の読み出しを行う方法(特許文献1参照)、円柱状の媒体に対して照射角度を変えながら電磁波を照射して透過率の違いを測定し、コンピュータトモグラフィの技術を利用して情報の読み出しを行う方法(特許文献2参照)が提案されている。   On the other hand, as a method capable of permanently and semipermanently storing information, a method of recording and storing information on a durable medium such as quartz glass has been proposed (see Patent Documents 1 and 2). Specifically, a method of recording data three-dimensionally as a difference in light transmittance in a minute cell in a cylindrical medium, and reading out information using computer tomography technology while rotating the medium (Refer to Patent Document 1), a method of measuring the difference in transmittance by irradiating electromagnetic waves to a cylindrical medium while changing the irradiation angle, and reading out information using a computer tomography technique (Patent Document) 2) has been proposed.

特許第4991487号公報Japanese Patent No. 4991487 特許第5286246号公報Japanese Patent No. 5286246

上記特許文献1,2に開示されているように、円柱状の石英ガラスを媒体として用い、その内部に三次元的に情報を記録・保存する方法であれば、恒久的、半永久的に情報を記録・保存することができる。このようにして記録・保存された情報を読み出すときには、媒体内に三次元的に分散したセルから情報を抽出する必要があるため、コンピュータトモグラフィの技術を利用し、フーリエ変換処理等を行う必要がある。しかしながら、数百年という超長期的な時間尺度を経た後に、情報を記録・保存したときと同じコンピュータトモグラフィの技術が存在していなければ、記録・保存された情報を読み出すことができないという問題がある。   As disclosed in the above Patent Documents 1 and 2, if a method of recording and storing information three-dimensionally in a cylindrical quartz glass is used as a medium, information can be stored permanently or semi-permanently. Can be recorded and saved. When reading information recorded and stored in this way, it is necessary to extract information from cells that are three-dimensionally distributed in the medium, so it is necessary to use computer tomography technology to perform Fourier transform processing, etc. There is. However, after a very long time scale of several hundred years, the recorded and stored information cannot be read if the same computer tomography technology as that used when recording and storing the information does not exist. There is.

また、情報が記録・保存された上記媒体が破損してしまうことにより情報が滅失してしまうリスクを軽減するために、上記媒体のバックアップとしての複製物を作製する場合、情報の記録・保存されていない別個の石英ガラスを準備し、情報を新たに記録・保存する方法を採用する必要がある。そのため、記録・保存すべき情報の原本が存在していない場合には複製物を作製することができず、また複製物を作製する作業が煩雑であるとともに、多大なコストがかかってしまうという問題もある。   In addition, in order to reduce the risk that information will be lost due to damage to the medium on which the information is recorded / stored, the information is recorded / stored when making a copy as a backup of the medium. It is necessary to prepare a separate quartz glass, and to record and store information newly. For this reason, when there is no original information to be recorded / stored, it is impossible to produce a duplicate, and the work of producing the duplicate is cumbersome and expensive. There is also.

このような課題に鑑みて、本発明は、保管環境の変化に対して耐久性があり、情報が記録・保存された後であっても容易にバックアップとしての複製物を作製可能なデータ保存媒体及びその製造方法、データ保存用媒体、データ読出装置並びにデータ読出方法を提供することを目的とする。   In view of such problems, the present invention is a data storage medium that is durable against changes in storage environment and can easily produce a copy as a backup even after information is recorded and stored. And a manufacturing method thereof, a data storage medium, a data reading device, and a data reading method.

上記課題を解決するために、本発明は、データが保存されてなるデータ保存媒体であって、第1面及びそれに対向する第2面を有する、石英からなる基材と、前記基材の第1面上に設定された保存領域内に形成されてなる凹凸構造とを備え、前記保存領域は、少なくとも一方向に並列されてなる複数の単位保存領域と、隣接する前記単位保存領域の間に位置するデータ非保存領域とを含み、前記凹凸構造は、前記データを複数に分割して得られる複数の単位データの単位ビット列を凹部及び凸部にて示す複数の単位データパターンと、前記保存領域内における前記複数の単位保存領域のそれぞれの位置情報を示すアドレスパターンと、隣接する前記単位保存領域の境界を示す境界パターンとを含み、前記複数の単位データパターンのそれぞれは、前記複数の単位保存領域の並列順に、当該複数の単位保存領域のそれぞれに形成されており、前記アドレスパターンは、前記複数の単位データパターンのそれぞれが形成されている前記複数の単位保存領域のそれぞれに対応して、前記データ非保存領域に形成されていることを特徴とするデータ保存媒体を提供する。   In order to solve the above-described problems, the present invention provides a data storage medium in which data is stored, a base material made of quartz having a first surface and a second surface opposite to the first surface, and a first surface of the base material. An uneven structure formed in a storage area set on one surface, and the storage area is located between a plurality of unit storage areas arranged in parallel in at least one direction and the adjacent unit storage areas. A plurality of unit data patterns each including a unit bit string of a plurality of unit data obtained by dividing the data into a plurality of unit data patterns, and a storage region. Each of the plurality of unit data areas, and an address pattern indicating position information of each of the plurality of unit storage areas, and a boundary pattern indicating a boundary between the adjacent unit storage areas, , Formed in each of the plurality of unit storage areas in parallel order of the plurality of unit storage areas, and the address pattern of the plurality of unit storage areas in which each of the plurality of unit data patterns is formed. Corresponding to each, a data storage medium is provided which is formed in the data non-storage area.

上記発明によれば、石英からなる基材により構成されるため、保管環境の変化に対して耐久性を発揮することができ、超長期的な時間尺度であってもデータを安定的に保存することができる。また、保存されているデータが、基材の第1面上に形成されている凹凸構造により表現されているため、上記発明に係るデータ保存媒体を用いたインプリントリソグラフィ処理により、保存されているデータ(デジタルデータ)自体が存在していなくても、容易にバックアップとしての複製物を作製することができる。さらに、上記発明に係るデータ保存媒体においては、例えば、単位保存領域の画像データを取得し、単位保存領域ごとに読み出された単位データを結合することによりデータが読み出されるが、当該単位保存領域の位置情報を示すアドレスパターンが形成されていることで、画像データの取得時に、保存領域内の複数の単位保存領域のうちのいずれの画像データを取得しているのかを容易に判別することができる。   According to the above invention, since it is composed of a base material made of quartz, it can exhibit durability against changes in the storage environment, and can stably store data even on an ultra-long time scale. be able to. Further, since the stored data is expressed by the concavo-convex structure formed on the first surface of the base material, it is stored by the imprint lithography process using the data storage medium according to the invention. Even if the data (digital data) itself does not exist, a replica as a backup can be easily created. Furthermore, in the data storage medium according to the invention, for example, the image data of the unit storage area is acquired and the data is read by combining the unit data read for each unit storage area. By forming an address pattern indicating the position information, it is possible to easily determine which image data of a plurality of unit storage areas in the storage area is acquired when the image data is acquired. it can.

本発明によれば、保管環境の変化に対して耐久性があり、情報が記録・保存された後であっても容易にバックアップとしての複製物を作製可能なデータ保存媒体及びその製造方法、データ保存用媒体、データ読出装置並びにデータ読出方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it is durable with respect to the change of a storage environment, and even after information is recorded and preserve | saved, the data storage medium which can produce the replica as a backup easily, its manufacturing method, data A storage medium, a data reading device, and a data reading method can be provided.

図1は、本発明の一実施形態に係るデータ保存媒体の概略構成を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a data storage medium according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の一実施形態における単位保存領域の概略構成を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a schematic configuration of the unit storage area according to the embodiment of the present invention. 図3は、本発明の一実施形態における保存領域を示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing a storage area in one embodiment of the present invention. 図4は、本発明の一実施形態に係るデータ保存媒体の部分拡大切断端面図であって、図2におけるI−I線切断端面図である。4 is a partially enlarged cut end view of the data storage medium according to the embodiment of the present invention, which is a cut end view taken along the line II in FIG. 図5は、本発明の一実施形態におけるアドレスパターンの行番号及び列番号の数字を表すパターンを示す平面図である。FIG. 5 is a plan view showing a pattern representing numbers of row numbers and column numbers of an address pattern in one embodiment of the present invention. 図6は、本発明の一実施形態における境界パターンの構成を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing the configuration of the boundary pattern in one embodiment of the present invention. 図7は、本発明の一実施形態における境界パターンの配置例を示す平面図である。FIG. 7 is a plan view showing an example of the arrangement of boundary patterns in one embodiment of the present invention. 図8は、本発明の一実施形態における単位データパターン、アドレスパターン及び境界パターンの配置例を示す部分平面図である。FIG. 8 is a partial plan view showing an example of arrangement of unit data patterns, address patterns, and boundary patterns in one embodiment of the present invention. 図9は、本発明の一実施形態における描画データを生成する工程を示す概略図である。FIG. 9 is a schematic diagram illustrating a process of generating drawing data according to an embodiment of the present invention. 図10は、本発明の一実施形態に係るデータ保存媒体の製造方法の工程を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing steps of a method for manufacturing a data storage medium according to an embodiment of the present invention. 図11は、本発明の一実施形態に係るデータ保存媒体の複製物を製造する工程を示す工程フロー図である。FIG. 11 is a process flow diagram illustrating a process of manufacturing a replica of a data storage medium according to an embodiment of the present invention. 図12は、本発明の一実施形態におけるデータ読出装置の構成を概略的に示すブロック図である。FIG. 12 is a block diagram schematically showing the configuration of the data reading device in one embodiment of the present invention. 図13は、本発明の一実施形態におけるデータ読出方法を概略的に示すフローチャートである。FIG. 13 is a flowchart schematically showing a data reading method in one embodiment of the present invention. 図14は、本発明の一実施形態におけるデータ保存用媒体の構成を概略的に示す部分拡大斜視図である。FIG. 14 is a partially enlarged perspective view schematically showing the configuration of the data storage medium in one embodiment of the present invention.

本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
[データ保存媒体]
図1は、本実施形態に係るデータ保存媒体の概略構成を示す平面図であり、図2は、本実施形態における単位保存領域の概略構成を示す平面図であり、図3は、本実施形態における保存領域を示す平面図であり、図4は、本実施形態に係るデータ保存媒体の部分拡大切断端面図であって、図2におけるI−I線切断端面図である。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[Data storage medium]
FIG. 1 is a plan view illustrating a schematic configuration of a data storage medium according to the present embodiment, FIG. 2 is a plan view illustrating a schematic configuration of a unit storage area according to the present embodiment, and FIG. 3 illustrates the present embodiment. FIG. 4 is a partially enlarged cut end view of the data storage medium according to the present embodiment, which is a cut end view taken along the line II in FIG.

本実施形態に係るデータ保存媒体1は、第1面21及び当該第1面21に対向する第2面22を有し、略方形状の石英ガラスからなる基材2と、基材2の第1面21上に設定された保存領域SA内に形成されてなる凹凸構造3〜5とを備える。   The data storage medium 1 according to the present embodiment has a first surface 21 and a second surface 22 opposite to the first surface 21, and a base material 2 made of substantially rectangular quartz glass, and a second surface of the base material 2. And the concavo-convex structures 3 to 5 formed in the storage area SA set on the one surface 21.

保存領域SA内には、複数の単位保存領域UAがM行×N列(M及びNは、その一方が2以上の整数であり、他方が1以上の整数である。)の行列配置で並列されている。図3に示すように、本実施形態においては、24個の単位保存領域UAが4行(M=4)×6列(N=6)の行列配置で並列されている例を挙げて説明するが、この態様に限定されるものではない。   In the storage area SA, a plurality of unit storage areas UA are arranged in parallel in a matrix arrangement of M rows × N columns (one of M and N is an integer of 2 or more and the other is an integer of 1 or more). Has been. As shown in FIG. 3, in the present embodiment, an example in which 24 unit storage areas UA are arranged in parallel in a matrix arrangement of 4 rows (M = 4) × 6 columns (N = 6) will be described. However, it is not limited to this aspect.

保存領域SAは、複数の単位保存領域UAと、隣接する単位保存領域UAの間に位置する、畦道状のデータ非保存領域NAとを含む。各単位保存領域UAは、単位データパターンUP(凹凸構造3)が形成されている領域であり、データ非保存領域NAは、アドレスパターンAP(凹凸構造4)及び境界パターンBP(凹凸構造5)が形成されている領域である。   The storage area SA includes a plurality of unit storage areas UA and a saddle-shaped data non-storage area NA located between adjacent unit storage areas UA. Each unit storage area UA is an area where the unit data pattern UP (uneven structure 3) is formed, and the data non-storage area NA includes an address pattern AP (uneven structure 4) and a boundary pattern BP (uneven structure 5). It is a region that is formed.

単位保存領域UAの大きさは、後述する撮像部111における撮影可能領域の大きさに応じて適宜設定され得るものである。また、データ非保存領域NAの大きさは、少なくともアドレスパターンAPを形成可能な大きさである限り特に制限されないが、データ非保存領域NAの大きさを可能な限り小さくすることにより、保存領域SA中における単位保存領域UAの占める割合を増大させることができ、データの記録容量を大きくすることができる。   The size of the unit storage area UA can be set as appropriate according to the size of the shootable area in the imaging unit 111 described later. Further, the size of the data non-storage area NA is not particularly limited as long as it is at least the size capable of forming the address pattern AP. However, by reducing the size of the data non-storage area NA as much as possible, the storage area SA The proportion of the unit storage area UA can be increased, and the data recording capacity can be increased.

各単位保存領域UAに形成されている単位データパターンUPは、データ保存媒体1に記録・保存されているデータが複数に分割された単位データのデータ内容(単位ビット列)を表現する凹部(ホール)31及び凸部(ホールが存在しない部分)32からなる。本実施形態においては、当該単位データの単位ビット列のうちの「1」が凹部31と定義され、「0」が凸部32と定義されている。例えば、図2においては、左上から「1010011101・・・」という単位ビット列(単位ビット行列)で表現される単位データがデータ保存媒体1の単位保存領域UAに記録・保存されている。なお、単位ビット列のうちの「1」が凸部32と定義され、「0」が凹部31と定義されてもよい。   The unit data pattern UP formed in each unit storage area UA is a recess (hole) that represents the data content (unit bit string) of the unit data obtained by dividing the data recorded and stored in the data storage medium 1 into a plurality of units. 31 and convex portions (portions where no holes exist) 32. In the present embodiment, “1” in the unit bit string of the unit data is defined as the concave portion 31, and “0” is defined as the convex portion 32. For example, in FIG. 2, unit data represented by a unit bit string (unit bit matrix) “1010011101...” From the upper left is recorded and stored in the unit storage area UA of the data storage medium 1. In the unit bit string, “1” may be defined as the convex portion 32, and “0” may be defined as the concave portion 31.

データ保存媒体1に記録・保存されているデータの種類としては、特に限定されるものではなく、例えば、テキストデータ、動画や静止画等の画像データ、音声データ等が挙げられる。   The type of data recorded / stored in the data storage medium 1 is not particularly limited, and examples thereof include text data, image data such as moving images and still images, audio data, and the like.

アドレスパターンAPは、保存領域SA内における各単位保存領域UAの位置情報を表現する凹部41及び凸部42からなる。本実施形態において、保存領域SA内における各単位保存領域UAの位置情報を表すアドレスパターンAPは、各単位保存領域UAの並列位置を表すp行目(pは1以上M以下の整数である。)及びq列目(qは1以上N以下の整数である。)という行番号及び列番号(p,q)の数字を表す点字を模したパターン(図5参照)を凹凸構造4(凹部41及び凸部42)により表現してなるものである。図2においては、単位保存領域UAが04行02列目に位置する領域である、ということがアドレスパターンAPにより表現されている。   The address pattern AP includes a concave portion 41 and a convex portion 42 that represent position information of each unit storage area UA in the storage area SA. In the present embodiment, the address pattern AP representing the position information of each unit storage area UA in the storage area SA is the p-th row (p is an integer between 1 and M) indicating the parallel position of each unit storage area UA. ) And q-th column (q is an integer of 1 or more and N or less). And the convex portion 42). In FIG. 2, it is expressed by an address pattern AP that the unit storage area UA is an area located at the 04th row and the 02nd column.

なお、本実施形態におけるアドレスパターンAPは、単位データパターンUPと同様、行番号及び列番号の数字を2値化したビット列を表す凹凸構造4(凹部41及び凸部42)により構成されていてもよい。   Note that the address pattern AP in the present embodiment may be configured by the concavo-convex structure 4 (concave portion 41 and convex portion 42) representing a bit string obtained by binarizing the row number and the column number, like the unit data pattern UP. Good.

境界パターンBPは、一の単位保存領域UAと、その行方向及び列方向においてデータ非保存領域NAを介して隣接する他の単位保存領域UAとの境界を示すパターンであって、略方形状の各単位保存領域UAの4角の外側に位置するように形成されている。かかる境界パターンBPが形成されていることで、後述するように、撮像部111にて各単位保存領域UAを容易に認識することが可能となり、複数の単位データパターンUPとして記録・保存されているデータの正確な読み出しが可能となる。   The boundary pattern BP is a pattern that indicates a boundary between one unit storage area UA and another unit storage area UA that is adjacent in the row direction and the column direction via the data non-storage area NA. Each unit storage area UA is formed so as to be located outside the four corners. Since the boundary pattern BP is formed, each unit storage area UA can be easily recognized by the imaging unit 111 as described later, and is recorded and stored as a plurality of unit data patterns UP. Data can be read accurately.

本実施形態において、境界パターンBPは、略十字状であって、その交点Lから外側に向かって延伸する4つのパターンBP1〜BP4のうちの1つのパターンBP1の長さ(交点から当該パターンの延伸方向における長さ)が、他の3つのパターンBP2〜BP4の長さよりも短い(図6(a)参照)。このような形状を有する境界パターンBPは、保存領域SA内の複数の単位保存領域UAの並列順(図3における左上から横方向に向かう順)に、90°ずつ回転させるようにして形成されている(図7参照)。後述するように、本実施形態に係るデータ保存媒体1に記録・保存されているデータを読み出す際に、各単位保存領域UAの画像データを、データ保存媒体1を撮像部111に対して相対的に移動させながら取得する。そのため、撮像部111の移動のたびに撮像部111の位置合わせを行い、画像データを取得することになるが、単位保存領域UAの並列順に境界パターンBPが90°ずつ回転していることで、撮像部111を走査させながら、単位保存領域UAの並列順に画像データを取得することができる。   In the present embodiment, the boundary pattern BP is substantially cross-shaped, and the length of one pattern BP1 of the four patterns BP1 to BP4 extending outward from the intersection L (the extension of the pattern from the intersection) (Length in the direction) is shorter than the lengths of the other three patterns BP2 to BP4 (see FIG. 6A). The boundary pattern BP having such a shape is formed so as to be rotated by 90 ° in parallel order of the plurality of unit storage areas UA in the storage area SA (in the order from the upper left to the horizontal direction in FIG. 3). (See FIG. 7). As will be described later, when data recorded / saved in the data storage medium 1 according to the present embodiment is read, the image data of each unit storage area UA is compared with the data storage medium 1 relative to the imaging unit 111. Get while moving to. Therefore, each time the image pickup unit 111 moves, the image pickup unit 111 is aligned and image data is acquired. However, the boundary pattern BP is rotated by 90 ° in order of the unit storage areas UA in parallel. Image data can be acquired in the parallel order of the unit storage areas UA while scanning the imaging unit 111.

なお、境界パターンBPは、その他の態様(平面視形状)として、略L字状(基準点Cpから2方向に延伸する、互いに直交する2つのパターンを有するもの)であってもよいし(図6(b)参照)、略十字状であって、基準点Cpから外側に延伸する4つのパターンの長さ(交点から当該パターンの延伸方向における長さ)が実質的に同一のものであってもよい(図6(c)参照)。   The boundary pattern BP may be substantially L-shaped (having two orthogonal patterns extending in two directions from the reference point Cp) as another aspect (plan view shape) (see FIG. 6 (b)), which is substantially cross-shaped, and the length of the four patterns extending outward from the reference point Cp (the length in the extending direction of the pattern from the intersection) is substantially the same. It is also possible (see FIG. 6C).

単位データパターンUP及びアドレスパターンAPを構成する凹凸構造3,4は、相互に実質的に同一の寸法及びピッチを有するのが好ましい。これらが実質的に同一寸法及び同一ピッチであることで、後述するデータ保存媒体1の複製物1’を作製する際の複製エラー(凹凸構造3,4の転写エラー)の発生を防止するとともに、データ保存媒体1からデータを読み出す際に取得する画像データの処理の観点上で有利となる。   It is preferable that the concavo-convex structures 3 and 4 constituting the unit data pattern UP and the address pattern AP have substantially the same size and pitch. Since these are substantially the same size and the same pitch, while preventing the occurrence of a replication error (transfer error of the concavo-convex structure 3, 4) when producing a replica 1 ′ of the data storage medium 1 described later, This is advantageous from the viewpoint of processing image data acquired when data is read from the data storage medium 1.

本実施形態において、単位データパターンUP及びアドレスパターンAPを構成する凹部31,41は、平面視略方形状のホール形状である。この凹部31,41の寸法は、一般的な撮像素子により凹部31,41を光学的に認識可能な寸法であればよいが、データ保存媒体1における記録・保存可能なデータ容量を増大させるために、単位データパターンUPの凹部31の寸法は、例えば、400nm以下、好ましくは100〜250nm程度に設定され得る。   In the present embodiment, the recesses 31 and 41 constituting the unit data pattern UP and the address pattern AP have a hole shape that is substantially rectangular in plan view. The dimensions of the recesses 31 and 41 may be dimensions that allow the recesses 31 and 41 to be optically recognized by a general image sensor, but in order to increase the data capacity that can be recorded and stored in the data storage medium 1. The dimension of the concave portion 31 of the unit data pattern UP can be set to, for example, 400 nm or less, preferably about 100 to 250 nm.

図8に示すように、単位データパターンUP及びアドレスパターンAPは、いずれも、保存領域SA内に設定された仮想グリッドGrの交点PIに重なるようにして形成されており、境界パターンBPは、仮想グリッドGrのグリッド線に重なるように形成されている。より具体的には、単位データパターンUP(凹部31)及びアドレスパターンAP(凹部41)のそれぞれの基準点Cpが仮想グリッドGrの交点PIに重なるように、境界パターンBPの基準点Cpが仮想グリッドGrのグリッド線に重なり、かつ隣接する交点PI(図8においては上下方向に隣接する交点PI)の略中間に位置するように、単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPが形成されている。ここで、単位データパターンUP及びアドレスパターンAPの基準点Cpは、単位データパターンUP及びアドレスパターンAPを構成する凹凸構造3,4(凹部31,41)の平面視における中心点であり、境界パターンBPの基準点Cpは、略十字状の交点Lである。なお、少なくとも単位データパターンUPの基準点Cpが仮想グリッドGrの交点PIに重なるようにして形成されていればよく、アドレスパターンAP及び境界パターンBPの基準点Cpは、仮想グリッドGrの交点PIに重なっていてもよいし、仮想グリッドGrのグリッド線には重なるが交点PIには重なっていなくてもよいし、仮想グリッドGrの交点PI及びグリッド線のいずれにも重なっていなくてもよい。   As shown in FIG. 8, both the unit data pattern UP and the address pattern AP are formed so as to overlap the intersection point PI of the virtual grid Gr set in the storage area SA, and the boundary pattern BP is a virtual pattern. It is formed so as to overlap the grid lines of the grid Gr. More specifically, the reference point Cp of the boundary pattern BP is the virtual grid so that the reference points Cp of the unit data pattern UP (concave part 31) and the address pattern AP (concave part 41) overlap the intersection point PI of the virtual grid Gr. The unit data pattern UP, the address pattern AP, and the boundary pattern BP are formed so as to be positioned approximately in the middle of the adjacent intersection point PI (intersection point PI adjacent in the vertical direction in FIG. 8) that overlaps the grid line of Gr. Yes. Here, the reference point Cp of the unit data pattern UP and the address pattern AP is a center point in plan view of the concavo-convex structures 3 and 4 (concave portions 31 and 41) constituting the unit data pattern UP and the address pattern AP, and the boundary pattern The reference point Cp of BP is an intersection L having a substantially cross shape. It is sufficient that at least the reference point Cp of the unit data pattern UP overlaps the intersection PI of the virtual grid Gr, and the reference point Cp of the address pattern AP and the boundary pattern BP is at the intersection PI of the virtual grid Gr. They may overlap, overlap the grid lines of the virtual grid Gr, but may not overlap the intersection point PI, or may not overlap any of the intersection point PI and the grid line of the virtual grid Gr.

上述した構成を有する本実施形態に係るデータ保存媒体1においては、記録・保存されているデータのデータ内容が、保存領域SAの各単位保存領域UAに形成されている凹凸構造3(凹部31及び凸部32)により表現されている。このデータ保存媒体1は、石英からなる基材を加工することにより作製され得るものであって、極めて優れた耐熱性及び耐水性を有する。したがって、保存環境が変化したとしても記録・保存されているデータが滅失することなく、当該データを超長期的に(数百年以上の単位で)保存することができる。   In the data storage medium 1 according to the present embodiment having the above-described configuration, the data content of the recorded / stored data is the concavo-convex structure 3 (the concave portion 31 and the concave portion 3) formed in each unit storage area UA of the storage area SA. It is represented by a convex part 32). The data storage medium 1 can be manufactured by processing a base material made of quartz and has extremely excellent heat resistance and water resistance. Therefore, even if the storage environment changes, the recorded / stored data is not lost, and the data can be stored for a very long time (in units of several hundred years or more).

また、本実施形態に係るデータ保存媒体1は、基材2の第1面21に形成された凹凸構造3(凹部31及び凸部32)によりデータを記録・保存することができるため、後述するように、当該データ保存媒体1を用いてインプリントリソグラフィ処理を行うことで、データが記録・保存されたデータ保存媒体1の複製物(バックアップ)を、当該データ(デジタルデータ)が存在していなくても容易に作製することができる。   Further, the data storage medium 1 according to the present embodiment can record and store data by the concavo-convex structure 3 (the concave portion 31 and the convex portion 32) formed on the first surface 21 of the base material 2, and will be described later. As described above, by performing the imprint lithography process using the data storage medium 1, a copy (backup) of the data storage medium 1 on which the data is recorded / stored is not included in the data (digital data). However, it can be easily manufactured.

さらに、本実施形態に係るデータ保存媒体1に記録・保存されているデータは、一般的な撮像素子を用いて光学的に認識可能な凹凸構造により表現されているため、超長期的な将来においても、そのときに存在する撮像素子を用いて当該凹凸構造3(凹部31及び凸部32)を撮像してビット列に変換するだけで、容易にデータを復元することができる。   Furthermore, since the data recorded / stored in the data storage medium 1 according to the present embodiment is expressed by a concavo-convex structure that can be optically recognized using a general imaging device, in the very long-term future However, data can be easily restored simply by imaging the concavo-convex structure 3 (the concave portion 31 and the convex portion 32) using the imaging element present at that time and converting it into a bit string.

さらにまた、本実施形態に係るデータ保存媒体1においては、データが凹凸構造3として記録・保存される各単位保存領域UAの保存領域SA内における位置を示すアドレスパターンAPが形成されているため、データ保存媒体1に記録・保存されているデータの一部(複数の単位保存領域UAのうちの一部の単位保存領域UAに形成されている単一データパターンUP)を読み出す場合であっても、当該アドレスパターンAPに基づいて、目的とするデータ(データの一部)を容易に読み出すことができる。また、単位保存領域UAに形成されている凹凸構造3(凹部31)の一部が破損してしまった場合であっても、凹凸構造3の一部が破損してしまった単位保存領域UAをアドレスパターンAPによって特定することができるため、データ保存媒体1の複製物(バックアップ)が予め作製されていれば、当該複製物から当該単位保存領域UAに記録・保存されているデータを容易に読み出すことができ、データ保存媒体1の他の単位保存領域UAから読み出されたデータと結合することで、データ保存媒体1に記録・保存されているデータの復元が可能となる。   Furthermore, in the data storage medium 1 according to the present embodiment, the address pattern AP indicating the position in the storage area SA of each unit storage area UA where data is recorded and stored as the concavo-convex structure 3 is formed. Even when a part of data recorded / stored in the data storage medium 1 (a single data pattern UP formed in some unit storage areas UA of the plurality of unit storage areas UA) is read out. Based on the address pattern AP, the target data (a part of the data) can be easily read out. Further, even if a part of the concavo-convex structure 3 (concave part 31) formed in the unit storage area UA is damaged, the unit storage area UA in which a part of the concavo-convex structure 3 is damaged Since it can be specified by the address pattern AP, if a copy (backup) of the data storage medium 1 is prepared in advance, the data recorded and stored in the unit storage area UA can be easily read from the copy. In addition, by combining with data read from the other unit storage area UA of the data storage medium 1, it is possible to restore the data recorded and stored in the data storage medium 1.

〔データ保存媒体の製造方法〕
上述した構成を有するデータ保存媒体1は、以下のようにして作製することができる。図9は、本実施形態に係るデータ保存媒体1を作製する前段階として描画データを設計する工程を概略的に示すフロー図であり、図10は、本実施形態に係るデータ保存媒体1を作製する工程を切断端面図にて示すフロー図である。
[Method of manufacturing data storage medium]
The data storage medium 1 having the above-described configuration can be manufactured as follows. FIG. 9 is a flowchart schematically showing a process of designing drawing data as a pre-stage for producing the data storage medium 1 according to the present embodiment. FIG. 10 shows the production of the data storage medium 1 according to the present embodiment. It is a flowchart which shows the process to perform with a cutting | disconnection end elevation.

[描画データ設計工程]
まずは、データ保存媒体1に記録・保存されるデータDに基づき、データ保存媒体1の保存領域SAに凹凸構造3,4(単位データパターンUP及びアドレスパターンAP)を形成するための描画データを設計する。
[Drawing data design process]
First, based on the data D recorded / stored in the data storage medium 1, the drawing data for forming the concavo-convex structures 3 and 4 (unit data pattern UP and address pattern AP) in the storage area SA of the data storage medium 1 is designed. To do.

具体的には、まず、データDの全ビット列を、その先頭から所定のビット長単位でX個(Xは2以上の整数である。)の単位ビット列に分割し、当該単位ビット列を含む単位データUD1〜UDXを生成する。各単位データUDの単位ビット列のビット長は、単位保存領域UAに記録・保存可能なビット長と同一に設定され得る。本実施形態における各単位保存領域UAに8行×16列のビット行列でデータが保存され得る場合、記録・保存されるデータDの全ビット列を、その先頭から128ビット長の単位ビット列の単位データUDに分割する。 Specifically, first, all the bit strings of the data D are divided into X unit bit strings (X is an integer of 2 or more) from the head in a predetermined bit length unit, and unit data including the unit bit string is included. UD 1 to UD X are generated. The bit length of the unit bit string of each unit data UD can be set to be the same as the bit length that can be recorded and stored in the unit storage area UA. When data can be stored in a bit matrix of 8 rows × 16 columns in each unit storage area UA in this embodiment, all the bit strings of data D to be recorded / stored are unit data of unit bit strings of 128 bits from the beginning. Divide into UD.

次に、各単位データUDの単位ビット列を、8行×16列の単位ビット行列UMに変換し、当該単位ビット行列UMに基づいて、単位パターンデータUPDを生成する。本実施形態においては、このとき、単位保存領域UAに相当する領域内に仮想グリッドGrを定義し、当該仮想グリッドGrの交点PIに重なるように、単位ビット行列UMのうちのビット「1」に対応する位置にのみ、凹部31に対応するビット図形(正方形の図形)を配置し、ビット「0」に対応する位置にはビット図形を配置しない(図8参照)。この単位パターンデータUPDは、8行×16列の行列を構成する各位置におけるビット図形の有無によって、単位ビット行列UMを構成する128ビットの情報を表現している。この単位パターンデータUPDが、単位保存領域UAに単位データパターンUP(凹凸構造3)を形成する際の描画データとして用いられる。   Next, the unit bit string of each unit data UD is converted into a unit bit matrix UM of 8 rows × 16 columns, and unit pattern data UPD is generated based on the unit bit matrix UM. In the present embodiment, at this time, a virtual grid Gr is defined in an area corresponding to the unit storage area UA, and the bit “1” of the unit bit matrix UM is overlapped with the intersection point PI of the virtual grid Gr. Only in the corresponding position, the bit figure (square figure) corresponding to the recess 31 is arranged, and the bit figure is not arranged in the position corresponding to the bit “0” (see FIG. 8). This unit pattern data UPD expresses 128-bit information constituting the unit bit matrix UM by the presence or absence of a bit figure at each position constituting the matrix of 8 rows × 16 columns. This unit pattern data UPD is used as drawing data when the unit data pattern UP (uneven structure 3) is formed in the unit storage area UA.

続いて、単位パターンデータUPDに、データ非保存領域NAにアドレスパターンデータAPDを付加する。アドレスパターンデータAPDは、データ保存媒体1に記録・保存されるデータDにおける単位データUDの配列順に沿って付加される。このアドレスパターンデータAPDが、データ非保存領域NAにアドレスパターンAP(凹凸構造4)を形成する際の描画データとして用いられる。   Subsequently, the address pattern data APD is added to the unit pattern data UPD in the data non-storage area NA. The address pattern data APD is added along the arrangement order of the unit data UD in the data D recorded and stored in the data storage medium 1. This address pattern data APD is used as drawing data when the address pattern AP (uneven structure 4) is formed in the data non-storage area NA.

このようにして各単位保存領域UAに形成される単位データパターンUPの描画データである単位パターンデータUPD、及びデータ非保存領域NAに形成されるアドレスパターンAPの描画データであるアドレスパターンデータAPDを生成した後、これらを行列状に配置するとともに、データ非保存領域NAに所定の境界パターンデータBPDを付加することで、描画データを生成することができる。   In this way, the unit pattern data UPD that is the drawing data of the unit data pattern UP formed in each unit storage area UA, and the address pattern data APD that is the drawing data of the address pattern AP formed in the data non-storage area NA are stored. After the generation, they are arranged in a matrix and drawing data can be generated by adding predetermined boundary pattern data BPD to the data non-storage area NA.

[データ保存媒体作製工程]
続いて、第1面11及び第1面11に対向する第2面12を有する、石英からなるデータ保存媒体用基材10を準備し、当該基材10の第1面11上に、単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPに対応するレジストパターンRUP,RAP,RBPを形成する(図10(a)参照)。
[Data storage medium production process]
Subsequently, a data storage medium substrate 10 made of quartz having a first surface 11 and a second surface 12 opposite to the first surface 11 is prepared, and unit data is provided on the first surface 11 of the substrate 10. Resist patterns R UP , R AP , R BP corresponding to the pattern UP, the address pattern AP, and the boundary pattern BP are formed (see FIG. 10A).

かかるレジストパターンRUP,RAP,RBPは、半導体の製造プロセス等で利用されている従来公知の露光装置(電子線描画装置、レーザ描画装置等)を用いて形成され得る。この露光装置を用いて、上記のようにして生成された描画データに基づいて、データ保存媒体用基材10の第1面11側に形成されているレジスト層にパターン潜像を形成し、現像処理を施すことにより、レジストパターンRUP,RAP,RBPを形成することができる。 Such resist patterns R UP , R AP , R BP can be formed using a conventionally known exposure apparatus (electron beam drawing apparatus, laser drawing apparatus, etc.) used in a semiconductor manufacturing process or the like. Using this exposure apparatus, based on the drawing data generated as described above, a pattern latent image is formed on the resist layer formed on the first surface 11 side of the substrate 10 for data storage medium, and developed. By performing the processing, resist patterns R UP , R AP , and R BP can be formed.

上記レジスト層を構成する材料としては、特に限定されるものではなく、従来公知のエネルギー線感応型レジスト材料(例えば、電子線感応型レジスト材料等)等を用いることができる。なお、図10(a)に示す例においては、ポジ型のエネルギー線感応型レジスト材料を用いているため、パターン潜像の形成されたレジスト層に現像処理を施すことで、凹状のレジストパターンRUP,RAP,RBPが形成される。 The material constituting the resist layer is not particularly limited, and a conventionally known energy beam sensitive resist material (for example, electron beam sensitive resist material) can be used. In the example shown in FIG. 10 (a), since a positive energy ray sensitive resist material is used, the resist layer R on which the pattern latent image is formed is subjected to a development process, thereby forming a concave resist pattern R. UP , R AP and R BP are formed.

このようにしてレジストパターンRUP,RAP,RBPを形成した後、当該レジストパターンRUP,RAP,RBPをマスクとして用い、ウェットエッチング法又はドライエッチング法によりデータ保存媒体用基材10の第1面11をエッチングし(図10(b)参照)、残存するレジストパターンRUP,RAP,RBPを除去する。これにより、基材2の第1面21に、単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPが形成されてなる、本実施形態に係るデータ保存媒体1を作製することができる。なお、データ保存媒体用基材10の第1面11側表面に酸化クロム等からなるハードマスク層が形成されているものを用いてもよい。この場合において、レジストパターンRUP,RAP,RBPをマスクとしたエッチングによりハードマスクパターンを形成し、当該ハードマスクパターンをマスクとしてデータ保存媒体用基材10の第1面11をエッチングし、ハードマスクパターンを除去することによりデータ保存媒体1を作製することができる。 After the resist patterns R UP , R AP , R BP are formed in this way, the data storage medium substrate 10 is formed by wet etching or dry etching using the resist patterns R UP , R AP , R BP as a mask. The first surface 11 is etched (see FIG. 10B), and the remaining resist patterns R UP , R AP and R BP are removed. Thereby, the data storage medium 1 according to the present embodiment in which the unit data pattern UP, the address pattern AP, and the boundary pattern BP are formed on the first surface 21 of the substrate 2 can be manufactured. In addition, you may use what the hard mask layer which consists of chromium oxide etc. is formed in the 1st surface 11 side surface of the base material 10 for data storage media. In this case, a hard mask pattern is formed by etching using the resist patterns R UP , R AP and R BP as a mask, and the first surface 11 of the data storage medium substrate 10 is etched using the hard mask pattern as a mask. The data storage medium 1 can be produced by removing the hard mask pattern.

このようにして作製されたデータ保存媒体1を用い、その複製物を作製する方法について説明する。図11は、本実施形態に係るデータ保存媒体1の複製物を作製する工程を切断端面にて示す工程フロー図である。   A method for producing a copy of the data storage medium 1 thus produced will be described. FIG. 11 is a process flow diagram showing a process of producing a replica of the data storage medium 1 according to the present embodiment at a cut end face.

まず、基材2の第1面21に単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPが形成されてなるデータ保存媒体1と、第1面51及びそれに対向する第2面52を有し、第1面51上に樹脂層6が設けられてなる基板5とを準備する(図11(a)参照)。   First, it has a data storage medium 1 in which a unit data pattern UP, an address pattern AP, and a boundary pattern BP are formed on the first surface 21 of the substrate 2, a first surface 51, and a second surface 52 opposite to the first surface 51. A substrate 5 in which the resin layer 6 is provided on the first surface 51 is prepared (see FIG. 11A).

基板5を構成する材料としては、特に限定されるものではなく、例えば、石英ガラス基板、ソーダガラス基板、蛍石基板、フッ化カルシウム基板、フッ化マグネシウム基板、アクリルガラス基板、ホウケイ酸ガラス基板等のガラス基板;ポリカーボネート基板、ポリプロピレン基板、ポリエチレン基板、その他ポリオレフィン基板等の樹脂基板等からなる単層基板や、上記基板のうちから任意に選択された2以上を積層してなる積層基板等が挙げられる。   The material constituting the substrate 5 is not particularly limited, and examples thereof include a quartz glass substrate, a soda glass substrate, a fluorite substrate, a calcium fluoride substrate, a magnesium fluoride substrate, an acrylic glass substrate, and a borosilicate glass substrate. A glass substrate; a single-layer substrate composed of a polycarbonate substrate, a polypropylene substrate, a polyethylene substrate, other resin substrates such as a polyolefin substrate, or a laminated substrate obtained by laminating two or more arbitrarily selected from the above substrates. It is done.

樹脂層6は、後述の工程(図11(b)参照)にて、データ保存媒体1の単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPの反転パターンが形成される層である。樹脂層6を構成する樹脂材料としては、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂等の樹脂材料を用いることができ、より具体的には、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、オレフィン系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、ポリエステル系樹脂、エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂等を用いることができる。   The resin layer 6 is a layer in which the inverted pattern of the unit data pattern UP, the address pattern AP, and the boundary pattern BP of the data storage medium 1 is formed in a process described later (see FIG. 11B). As the resin material constituting the resin layer 6, a resin material such as a thermoplastic resin, a thermosetting resin, and an ultraviolet curable resin can be used, and more specifically, an acrylic resin, a styrene resin, an olefin resin, and the like. Resins, polycarbonate resins, polyester resins, epoxy resins, silicone resins, and the like can be used.

次に、基板5上の樹脂層6に、データ保存媒体1の第1面21を押し当てて、当該樹脂層6にデータ保存媒体1の単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPを転写し、それらの反転パターンを形成する(図11(b)参照)。樹脂層6が硬化した後、当該樹脂層6からデータ保存媒体1及び基板5を剥離することで、樹脂製モールド7が作製される(図11(c)参照)。   Next, the first surface 21 of the data storage medium 1 is pressed against the resin layer 6 on the substrate 5 to transfer the unit data pattern UP, the address pattern AP, and the boundary pattern BP of the data storage medium 1 to the resin layer 6. Then, an inversion pattern thereof is formed (see FIG. 11B). After the resin layer 6 is cured, the data storage medium 1 and the substrate 5 are peeled from the resin layer 6 to produce the resin mold 7 (see FIG. 11C).

続いて、第1面11’及びそれに対向する第2面12’を有する、石英からなる複製物用基材10’を準備し、当該複製物用基材10’の第1面11’上にレジスト層8を形成し、当該レジスト層8に樹脂製モールド7における反転パターンが形成されている面を押し当て、その状態でレジスト層8を硬化させる(図11(d)参照)。   Subsequently, a replica base material 10 ′ made of quartz having a first surface 11 ′ and a second surface 12 ′ opposite to the first surface 11 ′ is prepared. On the first surface 11 ′ of the replica base material 10 ′. The resist layer 8 is formed, the surface of the resin mold 7 on which the reverse pattern is formed is pressed against the resist layer 8, and the resist layer 8 is cured in this state (see FIG. 11D).

レジスト層8が硬化した後、樹脂製モールド7をレジスト層8から剥離することで、樹脂製モールド7の反転パターンが転写されたレジストパターン9が形成される(図11(e)参照)。そのレジストパターン9をマスクとして用いて、複製物用基材10’の第1面11’をエッチングする。これにより、データ保存媒体1の複製物1’を作製することができる(図11(f)参照)。なお、レジスト層8の硬化に影響がない限りにおいて、必要に応じて複製物用基材10’の第1面11’側表面に酸化クロム等からなるハードマスク層が形成されているものを用いてもよい。この場合において、ハードマスク層上にレジストパターン9を形成し、レジストパターン9をマスクとしたエッチングによりハードマスクパターンを形成し、ハードマスクパターンをマスクとして複製物用基材10’の第1面11’をエッチングした後、ハードマスクパターンを除去することでデータ保存媒体1の複製物1’を作製することができる。   After the resist layer 8 is cured, the resin mold 7 is peeled from the resist layer 8 to form a resist pattern 9 to which the reverse pattern of the resin mold 7 is transferred (see FIG. 11E). Using the resist pattern 9 as a mask, the first surface 11 ′ of the replica base material 10 ′ is etched. Thereby, a replica 1 'of the data storage medium 1 can be produced (see FIG. 11 (f)). As long as the curing of the resist layer 8 is not affected, a material in which a hard mask layer made of chromium oxide or the like is formed on the first surface 11 ′ side surface of the replica base material 10 ′ is used as necessary. May be. In this case, a resist pattern 9 is formed on the hard mask layer, a hard mask pattern is formed by etching using the resist pattern 9 as a mask, and the first surface 11 of the replica substrate 10 ′ is formed using the hard mask pattern as a mask. After 'is etched, the hard mask pattern is removed, whereby a replica 1' of the data storage medium 1 can be produced.

上述したように、本実施形態によれば、半導体製造プロセス等で利用されている従来公知のリソグラフィ技術を利用することで、データ保存媒体1を容易に作製することができる。また、当該データ保存媒体1が破損した場合等に備え、それに記録・保存されているデータのバックアップとしての複製物は、従来公知のインプリント技術を利用して容易に作製され得る。   As described above, according to the present embodiment, the data storage medium 1 can be easily manufactured by using a conventionally known lithography technique used in a semiconductor manufacturing process or the like. In addition, a copy as a backup of data recorded / stored in the case where the data storage medium 1 is damaged can be easily made by using a conventionally known imprint technique.

〔データ読出装置・データ読出方法〕
上述した構成を有するデータ保存媒体1に記録・保存されたデータを読み出すためのデータ読出装置及び当該データ読出装置を用いたデータ読出方法について説明する。図12は、本実施形態におけるデータ読出装置の概略構成を示すブロック図である。
[Data reading device / data reading method]
A data reading apparatus for reading data recorded and stored in the data storage medium 1 having the above-described configuration and a data reading method using the data reading apparatus will be described. FIG. 12 is a block diagram showing a schematic configuration of the data reading device in the present embodiment.

本実施形態におけるデータ読出装置100は、データ保存媒体1の保存領域SAの画像データを取得する画像データ取得部110と、当該画像データに基づいたデータ処理等を行う制御部121及び画像データ取得部110により取得された画像データや制御部121により生成された各種データ、各種プログラム等を記憶する記憶部122を有する制御装置120とを備える。   The data reading device 100 according to the present embodiment includes an image data acquisition unit 110 that acquires image data in the storage area SA of the data storage medium 1, a control unit 121 that performs data processing based on the image data, and the image data acquisition unit. And a control device 120 having a storage unit 122 that stores the image data acquired by 110, various data generated by the control unit 121, various programs, and the like.

画像データ取得部110は、CCDカメラのような所定の撮影対象領域内の画像を画像データとして取り込む撮像部111と、撮影対象領域がデータ保存媒体1の保存領域SAの各単位保存領域UAを撮影部111に対して順次相対的に移動させるように走査処理を行う走査部112とを含む。かかる画像データ取得部110としては、汎用の光学顕微鏡等を用いることができる。   The image data acquisition unit 110 captures an image in a predetermined shooting target area such as a CCD camera as image data, and the unit storage area UA in which the shooting target area is the storage area SA of the data storage medium 1. And a scanning unit 112 that performs a scanning process so as to sequentially move relative to the unit 111. A general-purpose optical microscope or the like can be used as the image data acquisition unit 110.

制御部121は、各種プログラムの指示に従って演算処理を行う。具体的には、制御部121は、各単位保存領域UAに形成されている単位データパターンUPの画像データに基づいて、単位データ(単位ビット列)を読み出し可能であるか否かを判断したり、単位データパターンUPの画像データに基づいて単位データ(単位ビット列)を読み出したり、データ非保存領域NAに形成されているアドレスパターンAPの画像データに基づいて単位保存領域UAの位置情報を読み出したり、単位データ(単位ビット列)の読み出しが不可能であると判断された場合にエラーデータを生成したり、画像データ取得部110により取得された画像データや、種々の生成されたデータ等を記憶部122に記憶させたり、読み出された単位データ(単位ビット列)を結合して、データ保存媒体1に記録・保存されているデータを復元したりする。   The control unit 121 performs arithmetic processing according to instructions of various programs. Specifically, the control unit 121 determines whether or not the unit data (unit bit string) can be read based on the image data of the unit data pattern UP formed in each unit storage area UA, Reading unit data (unit bit string) based on the image data of the unit data pattern UP, reading position information of the unit storage area UA based on the image data of the address pattern AP formed in the data non-storage area NA, When it is determined that reading of unit data (unit bit string) is impossible, the storage unit 122 generates error data, stores image data acquired by the image data acquisition unit 110, various generated data, and the like. The unit data (unit bit string) that is stored or read out is combined and recorded and stored in the data storage medium 1 Or to restore the data.

記憶部122は、画像データ取得部110により取得された保存領域SA(単位保存領域UA)の画像データを記憶する他、単位保存領域UAに形成されている単位データパターンUPの画像データに基づいて読み出された単位データ(単位ビット列)とアドレスパターンAPの画像データに基づいて読み出された単位保存領域UAの位置情報とを関連付けて記憶したり、制御部121により生成されたエラーデータと単位データ(単位ビット列)の読み出しが不可能と判断された単位保存領域UAの位置情報とを関連付けて記憶したりする。かかる制御部121及び記憶部122を有する制御装置120としては、汎用のコンピュータ等を用いることができる。   The storage unit 122 stores the image data of the storage area SA (unit storage area UA) acquired by the image data acquisition unit 110, and based on the image data of the unit data pattern UP formed in the unit storage area UA. The read unit data (unit bit string) and the location information of the unit storage area UA read based on the image data of the address pattern AP are stored in association with each other, or the error data and the unit generated by the control unit 121 are stored. The data (unit bit string) is stored in association with the position information of the unit storage area UA that is determined to be unreadable. A general-purpose computer or the like can be used as the control device 120 having the control unit 121 and the storage unit 122.

このような構成を有するデータ読出装置100を用いて、データ保存媒体1に記録・保存されているデータを読み出す方法について説明する。図13は、本実施形態におけるデータ読出方法の各工程を示すフローチャートである。   A method of reading data recorded / stored in the data storage medium 1 using the data reading device 100 having such a configuration will be described. FIG. 13 is a flowchart showing each step of the data reading method in the present embodiment.

まず、画像データ取得部110にデータ保存媒体1がセットされると、画像データ取得部110は、走査部112により、データ保存媒体1を撮像部111に対して相対的に移動させ、撮像部111により、データ保存媒体1の保存領域SAの各単位保存領域UAを順に撮像させ、各単位保存領域UA及びそれに対応するアドレスパターンAPの画像を含む画像データを取得する(S1)。   First, when the data storage medium 1 is set in the image data acquisition unit 110, the image data acquisition unit 110 causes the scanning unit 112 to move the data storage medium 1 relative to the imaging unit 111, and the imaging unit 111. Thus, each unit storage area UA of the storage area SA of the data storage medium 1 is imaged in order, and image data including each unit storage area UA and the corresponding image of the address pattern AP is acquired (S1).

画像データ取得部110の走査部112は、データ保存媒体1の境界パターンBPを認識することで、単位保存領域UAとそれに対応するアドレスパターンAPとが撮影対象領域に含まれるように、データ保存媒体1を撮像部111に対して相対的に移動させる。これにより、撮像部111により撮像された画像に、少なくとも一の単位保存領域UAとそれに対応するアドレスパターンAPと境界パターンBPとが含まれる。   The scanning unit 112 of the image data acquisition unit 110 recognizes the boundary pattern BP of the data storage medium 1 so that the unit storage area UA and the corresponding address pattern AP are included in the imaging target area. 1 is moved relative to the imaging unit 111. As a result, the image captured by the imaging unit 111 includes at least one unit storage area UA, the corresponding address pattern AP, and the boundary pattern BP.

画像データ取得部110により取得された各画像データは、制御装置120の記憶部122に記憶され、制御部121は、記憶部122に記憶された各画像データから、単位保存領域UAに形成されている単位データパターンUPに基づいて単位データ(単位ビット列)の読み出しが可能であるか否かを判断する(S2)。具体的には、各画像データから、単位保存領域UAに形成されている単位データパターンUPの凹凸構造3に破損等が存在しているか否かを判断する。   Each image data acquired by the image data acquisition unit 110 is stored in the storage unit 122 of the control device 120, and the control unit 121 is formed in the unit storage area UA from each image data stored in the storage unit 122. It is determined whether or not the unit data (unit bit string) can be read based on the unit data pattern UP (S2). Specifically, it is determined from each image data whether or not there is damage or the like in the uneven structure 3 of the unit data pattern UP formed in the unit storage area UA.

単位データパターンUPに基づいて単位データ(単位ビット列)の読み出しが可能であると判断された場合(S2,Yes)、すなわち、単位データパターンUPの凹凸構造3に破損等が存在していないと判断された場合、制御部121は、当該画像データから単位データパターンUPに基づいて単位データ(単位ビット列)を読み出すとともに、その単位保存領域UAの位置情報をアドレスパターンAPに基づいて読み出し、その単位データ(単位ビット列)と位置情報とを関連付けて記憶部122に記憶させる(S3)。   When it is determined that the unit data (unit bit string) can be read based on the unit data pattern UP (S2, Yes), that is, it is determined that there is no damage or the like in the uneven structure 3 of the unit data pattern UP. In this case, the control unit 121 reads out the unit data (unit bit string) from the image data based on the unit data pattern UP, reads out the position information of the unit storage area UA based on the address pattern AP, and the unit data The (unit bit string) and the position information are associated with each other and stored in the storage unit 122 (S3).

単位データパターンUPに基づいて単位データ(単位ビット列)を読み出す際、制御部121は、単位保存領域UA及び境界パターンBPを含む画像データ上に仮想グリッドGrを定義する。この仮想グリッドGrは、4角に位置する境界パターンBPの基準点Cpを通るように定義される。そして、制御部121は、単位保存領域UA内における仮想グリッドGrの各交点PI上に凹部31が存在するか否かを判定する。凹部31が存在するか否かの判定は、例えば、画像データにおける明暗分布に基づいて行われ得る。   When reading unit data (unit bit string) based on the unit data pattern UP, the control unit 121 defines a virtual grid Gr on the image data including the unit storage area UA and the boundary pattern BP. The virtual grid Gr is defined so as to pass through the reference point Cp of the boundary pattern BP located at four corners. And the control part 121 determines whether the recessed part 31 exists on each intersection PI of the virtual grid Gr in the unit storage area UA. The determination of whether or not the recess 31 is present can be made based on, for example, the light / dark distribution in the image data.

制御部121は、凹部31が存在すると判定した交点PIにはビット「1」を、凹部31が存在しないと判定した交点PIにはビット「0」を対応付け、これにより単位データ(単位ビット列)が読み出される。   The control unit 121 associates the bit “1” with the intersection point PI determined to have the recess 31, and associates the bit “0” with the intersection point PI determined to have no recess 31, thereby generating unit data (unit bit string). Is read out.

制御部121は、単位データパターンUPに基づいて単位データ(単位ビット列)を読み出す場合、画像データにおける左上に位置する境界パターンBPを認識し、当該境界パターンBPの基準点Cpを指標とし、その右下の方向に位置する仮想グリッドGrの交点PIであって、単位保存領域UA内の交点PI上から右方向に、凹部31が存在するか否かの判定を開始する。   When reading the unit data (unit bit string) based on the unit data pattern UP, the control unit 121 recognizes the boundary pattern BP located at the upper left in the image data, and uses the reference point Cp of the boundary pattern BP as an index. Judgment is made on whether or not the concave portion 31 exists in the right direction from the intersection point PI of the virtual grid Gr located in the lower direction and in the unit storage area UA.

一方、単位データパターンUPに基づいて単位データ(単位ビット列)の読み出しが不可能であると判断された場合(S2,No)、すなわち、単位データパターンUPの凹凸構造3に破損等が存在していると判断された場合、制御部121は、その単位保存領域UAの位置情報をアドレスパターンAPに基づいて読み出すとともに、単位データ(単位ビット列)の読み出しが不可能である旨のエラーデータを生成し、エラーデータと位置情報とを関連付けて記憶部122に記憶させる(S4)。   On the other hand, when it is determined that the unit data (unit bit string) cannot be read based on the unit data pattern UP (S2, No), that is, the uneven structure 3 of the unit data pattern UP is damaged. If it is determined that the data is stored, the controller 121 reads out the position information of the unit storage area UA based on the address pattern AP and generates error data indicating that the unit data (unit bit string) cannot be read out. Then, the error data and the position information are associated with each other and stored in the storage unit 122 (S4).

制御部121は、単位データ(単位ビット列)と位置情報とを関連付けて記憶部122に記憶させた後(S3)又はエラーデータと位置情報とを関連付けて記憶部122に記憶させた後(S4)、単位データ(単位ビット列)の読み出しが可能であるか否かを判断していない画像データが記憶部122に記憶されているか否かを判断し(S5)、当該画像データが記憶部122に記憶されている場合(S5,Yes)、S2以降の処理を繰り返し行う。   The control unit 121 associates unit data (unit bit string) and position information and stores them in the storage unit 122 (S3), or associates error data and position information and stores them in the storage unit 122 (S4). Then, it is determined whether or not image data that has not been determined whether or not unit data (unit bit string) can be read is stored in the storage unit 122 (S5), and the image data is stored in the storage unit 122. If yes (S5, Yes), the processes after S2 are repeated.

一方、当該画像データが記憶部122に記憶されていない場合(S5,No)、制御部121は、記憶部122にエラーデータが記憶されているか否かを判断し(S6)、記憶部122にエラーデータが記憶されていない場合(S6,No)、記憶部122に記憶されている単位データ(単位ビット列)を結合し、データ(ビット列)を生成する(S7)。   On the other hand, when the image data is not stored in the storage unit 122 (S5, No), the control unit 121 determines whether error data is stored in the storage unit 122 (S6), and stores in the storage unit 122. When error data is not stored (S6, No), unit data (unit bit string) stored in the storage unit 122 is combined to generate data (bit string) (S7).

データ(ビット列)を生成するにあたり、制御部121は、単位データ(単位ビット列)に関連付けられて記憶されている位置情報に基づいて、単位データ(単位ビット列)の結合順序を決定する。具体的には、制御部121は、位置情報としての行番号を第1優先順位とし、列番号を第2優先順位として行番号及び列番号の小さい順に単位データ(単位ビット列)を結合させる。このようにして、データ保存媒体1に保存されているデータを復元することができる。   In generating the data (bit string), the control unit 121 determines the combination order of the unit data (unit bit string) based on the position information stored in association with the unit data (unit bit string). Specifically, the control unit 121 combines the unit data (unit bit string) in ascending order of the row number and the column number with the row number as the position information as the first priority and the column number as the second priority. In this way, data stored in the data storage medium 1 can be restored.

一方、記憶部122にエラーデータが記憶されている場合(S6,Yes)、制御部121は、当該エラーデータに基づいて、単位データ(単位ビット列)を読み出すことができなかった旨及びその単位保存領域UAの位置情報を出力する(S8)。この位置情報の出力に基づいて、データ保存媒体1の複製物から、当該単位保存領域UAに記録・保存されている単位データ(単位ビット列)を生成すれば、当該単位データ(単位ビット列)を、記憶部122に記憶されている単位データ(単位ビット列)とともに結合して、データ保存媒体1に保存されているデータの正確な復元が可能となる。   On the other hand, when the error data is stored in the storage unit 122 (S6, Yes), the control unit 121 indicates that the unit data (unit bit string) cannot be read based on the error data and stores the unit. The position information of the area UA is output (S8). If the unit data (unit bit string) recorded and stored in the unit storage area UA is generated from the copy of the data storage medium 1 based on the output of the position information, the unit data (unit bit string) is Combined with the unit data (unit bit string) stored in the storage unit 122, the data stored in the data storage medium 1 can be accurately restored.

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。   The embodiment described above is described for facilitating understanding of the present invention, and is not described for limiting the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiment is intended to include all design changes and equivalents belonging to the technical scope of the present invention.

上記実施形態において、データ保存媒体1は、第1面11及びそれに対向する第2面12を有する、石英からなるデータ保存媒体用基材10の第1面11に、単位データパターンUP、アドレスパターンAP及び境界パターンBPを同時に形成することで作製されるが(図10参照)、本発明はこのような態様に限定されるものではない。例えば、図14に示すように、第1面11’及びそれに対向する第2面12’を有する、石英からなる基材10’の第1面11’上に、複数の単位保存領域UA及びデータ非保存領域NAを含む保存領域SAが設定され、当該保存領域SAのデータ非保存領域NAに、各単位保存領域UAに対応するアドレスパターンAP及び境界パターンBPが形成されてなるデータ保存用媒体を準備し、当該データ保存用媒体の各単位保存領域UAに、単位データパターンUPを形成することで、データ保存媒体1を作製してもよい。   In the above embodiment, the data storage medium 1 has a unit data pattern UP and an address pattern on the first surface 11 of the substrate 10 for data storage medium made of quartz, which has the first surface 11 and the second surface 12 opposite to the first surface 11. Although it is produced by simultaneously forming the AP and the boundary pattern BP (see FIG. 10), the present invention is not limited to such an embodiment. For example, as shown in FIG. 14, a plurality of unit storage areas UA and data are provided on a first surface 11 ′ of a base material 10 ′ made of quartz having a first surface 11 ′ and a second surface 12 ′ opposite thereto. A data storage medium in which a storage area SA including a non-storage area NA is set, and an address pattern AP and a boundary pattern BP corresponding to each unit storage area UA are formed in the data non-storage area NA of the storage area SA. The data storage medium 1 may be manufactured by preparing and forming a unit data pattern UP in each unit storage area UA of the data storage medium.

上記実施形態において、ポジ型のエネルギー線感応型レジスト材料を用いてレジストパターンRUP,RAP,RBPを形成する態様を例に挙げて説明したが(図10参照)、本発明はこのような態様に限定されるものではなく、ネガ型のエネルギー線感応型レジスト材料を用いてレジストパターンを形成してもよい。これにより、単位データパターンUP及びアドレスパターンAPを凸部(ピラー)及び凸部を有しない部分とし、境界パターンBPを凸部(ピラー)とするデータ保存媒体1を作製することができる。 In the above-described embodiment, the mode in which the resist patterns R UP , R AP , and R BP are formed using a positive type energy ray-sensitive resist material has been described as an example (see FIG. 10). However, the resist pattern may be formed using a negative type energy ray sensitive resist material. Thereby, the data storage medium 1 having the unit data pattern UP and the address pattern AP as the convex portions (pillars) and the portions having no convex portions and the boundary pattern BP as the convex portions (pillars) can be manufactured.

1…データ保存媒体
2…基材
21…第1面
22…第2面
3,4,5…凹凸構造
31,41…凹部
32,42…凸部
SA…保存領域
UA…単位保存領域
NA…データ非保存領域
UP…単位データパターン
AP…アドレスパターン
BP…境界パターン
Gr…仮想グリッド
PI…交点
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Data storage medium 2 ... Base material 21 ... 1st surface 22 ... 2nd surface 3, 4, 5 ... Uneven structure 31, 41 ... Concave part 32, 42 ... Convex part SA ... Storage area UA ... Unit storage area NA ... Data Non-storage area UP ... Unit data pattern AP ... Address pattern BP ... Boundary pattern Gr ... Virtual grid PI ... Intersection

Claims (1)

データが保存されてなるデータ保存媒体であって、
第1面及びそれに対向する第2面を有する、石英からなる基材と、
前記基材の第1面上に設定された保存領域内に形成されてなる凹凸構造と
を備え、
前記保存領域は、少なくとも一方向に並列されてなる複数の単位保存領域と、隣接する前記単位保存領域の間に位置するデータ非保存領域とを含み、
前記凹凸構造は、前記データを複数に分割して得られる複数の単位データの単位ビット列を凹部及び凸部にて示す複数の単位データパターンと、前記保存領域内における前記複数の単位保存領域のそれぞれの位置情報を示すアドレスパターンと、隣接する前記単位保存領域の境界を示す境界パターンとを含み、
前記複数の単位データパターンのそれぞれは、前記複数の単位保存領域の並列順に、当該複数の単位保存領域のそれぞれに形成されており、
前記アドレスパターンは、前記複数の単位データパターンのそれぞれが形成されている前記複数の単位保存領域のそれぞれに対応して、前記データ非保存領域に形成されていることを特徴とするデータ保存媒体。
A data storage medium in which data is stored,
A base material made of quartz having a first surface and a second surface opposite to the first surface;
A concavo-convex structure formed in a storage region set on the first surface of the base material,
The storage area includes a plurality of unit storage areas arranged in parallel in at least one direction, and a data non-storage area located between the adjacent unit storage areas,
The concavo-convex structure includes a plurality of unit data patterns indicating a unit bit string of a plurality of unit data obtained by dividing the data into a plurality of units by concave and convex portions, and each of the plurality of unit storage regions in the storage region. Including an address pattern indicating the position information and a boundary pattern indicating a boundary between the adjacent unit storage areas,
Each of the plurality of unit data patterns is formed in each of the plurality of unit storage areas in parallel order of the plurality of unit storage areas,
The data storage medium, wherein the address pattern is formed in the data non-storage area corresponding to each of the plurality of unit storage areas in which each of the plurality of unit data patterns is formed.
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