JP2018080949A - Catalytic-conversion-type sensor - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、熱分解によって生成した転化ガスを検出することで検知対象ガスを検知する触媒転化式センサに関する。 The present invention relates to a catalytic conversion type sensor that detects a detection target gas by detecting a converted gas generated by thermal decomposition.
半導体製造にエッチングガス又はクリーニングガスとして使用される、三フッ化窒素（ＮＦ３）、Ｃ４Ｆ６、Ｃ４Ｆ８、四フッ化炭素等のフッ素系特殊ガスは、通常、周辺環境に対する負荷があると考えられている。そのため、三フッ化窒素等のフッ素系特殊ガスの漏洩を検知することにより、これらフッ素系特殊ガスを周辺環境に放出しないように対策することができる。 Fluorine special gases such as nitrogen trifluoride (NF 3 ), C 4 F 6 , C 4 F 8 , and carbon tetrafluoride, which are used as etching gas or cleaning gas in semiconductor manufacturing, are usually burdens on the surrounding environment There are thought to be. Therefore, by detecting the leakage of a fluorine-based special gas such as nitrogen trifluoride, measures can be taken so that these fluorine-based special gases are not released to the surrounding environment.
このようなフッ素系特殊ガスは、直接電気化学反応による検知ができないためガスセンサによる感度が低く、事前に熱分解により他のガスに転化させることにより検知できることが知られている。 It is known that such a fluorine-based special gas cannot be detected directly by an electrochemical reaction, so the sensitivity of the gas sensor is low, and it can be detected by converting it to another gas by thermal decomposition in advance.
尚、本発明における従来技術となる上述した「熱分解によって生成した転化ガスを検出することで検知対象ガスを検知する」技術は、一般的な技術であるため、特許文献等の従来技術文献は示さない。 In addition, since the above-described “detecting the gas to be detected by detecting the converted gas generated by thermal decomposition” technology as a conventional technology in the present invention is a general technology, the prior art documents such as patent documents are Not shown.
熱分解によって転化ガスを生成するには、高温とする必要があるため、通常、熱源が大きく、断熱機構を備えた熱分解炉を使用するため、装置が大型化する傾向にあった。 In order to generate the conversion gas by pyrolysis, it is necessary to use a high temperature, and therefore, the heat source is usually large, and a pyrolysis furnace equipped with a heat insulation mechanism is used.
従って、本発明の目的は、転化率を向上でき、小型化を達成できる触媒転化式センサを提供することにある。 Accordingly, it is an object of the present invention to provide a catalyst conversion type sensor that can improve the conversion rate and achieve downsizing.
上記目的を達成するための本発明に係る触媒転化式センサの第一特徴構成は、熱分解によって生成した転化ガスを検出することで検知対象ガスを検知するべく、前記検知対象ガスを流下させるガス流路と、前記ガス流路と接続し、前記検知対象ガスを自然拡散させる拡散手段によって隔てられた側に、加熱した触媒と接触させることにより前記検知対象ガスを熱分解して転化ガスを生成する加熱触媒部、および、熱分解によって生成した転化ガスを検出可能なセンサ素子部を有する転化部と、を備えた点にある。 In order to achieve the above object, the first characteristic configuration of the catalytic conversion sensor according to the present invention is a gas that causes the detection target gas to flow down in order to detect the detection target gas by detecting the conversion gas generated by thermal decomposition. A conversion gas is generated by thermally decomposing the detection target gas by contacting with a heated catalyst on the side separated by a diffusion means for spontaneous diffusion of the detection target gas. And a conversion unit having a sensor element unit capable of detecting a conversion gas generated by thermal decomposition.
本構成の触媒転化式センサは、拡散手段によりガス流路を流下する検知対象ガスを転化部の側に自然拡散させることができるため、転化部へ移行する検知対象ガスのガス量がガス流路を流下する流量に依存し難いように構成することができる。そのため、流量センサの劣化によって経時的にガス流路を流下する検知対象ガスの流量が変動した場合であっても、直ちに転化部へ移行する検知対象ガスのガス量に影響し難くなるため、転化部へ移行する検知対象ガスのガス量は変動し難くなる。従って、本発明の触媒転化式センサにおいては、検知対象ガスを転化ガスに転化させる転化率は検知対象ガスの流量の影響を受け難くなるため、経時的に転化率が低下し難くなる。 In the catalyst conversion type sensor of this configuration, the gas to be detected flowing down the gas flow path by the diffusing means can be naturally diffused to the conversion part side, so that the gas amount of the detection target gas transferred to the conversion part is the gas flow path. It is possible to configure so as not to depend on the flow rate flowing down. For this reason, even if the flow rate of the detection target gas flowing down the gas flow passage with time changes due to deterioration of the flow sensor, it is difficult to influence the gas amount of the detection target gas that immediately moves to the conversion unit. The amount of gas to be detected that moves to the section is less likely to fluctuate. Therefore, in the catalyst conversion type sensor of the present invention, the conversion rate at which the detection target gas is converted into the conversion gas is not easily affected by the flow rate of the detection target gas, and therefore the conversion rate is less likely to decrease with time.
また、本構成の拡散手段であれば、転化部の内部に自然拡散して滞留する検知対象ガスを加熱触媒部に効率よく接触させることができるため、転化率を向上させることができる。 Moreover, if it is a diffusion means of this structure, since the detection object gas which naturally diffuses and stays in the inside of a conversion part can be made to contact a heating catalyst part efficiently, a conversion rate can be improved.
また、本発明の触媒転化式センサは、転化部に加熱触媒部およびセンサ素子部を有することにより、大型の熱分解炉を使用する必要が無いため小型化を達成することができる。 Further, the catalyst conversion type sensor of the present invention can achieve downsizing by having a heating catalyst part and a sensor element part in the conversion part, so that it is not necessary to use a large pyrolysis furnace.
本発明に係る触媒転化式センサの第二特徴構成は、前記拡散手段が少なくともガス透過性の多孔質膜を備えた点にある。 The second characteristic configuration of the catalytic conversion sensor according to the present invention is that the diffusion means includes at least a gas permeable porous membrane.
本構成によれば、ガス透過性の多孔質膜は、検知対象ガスが転化部の内部へ自然拡散する程度を所望の程度に規定することができる。 According to this configuration, the gas-permeable porous membrane can regulate the degree of natural diffusion of the detection target gas into the conversion portion to a desired level.
また、拡散手段は、ガス流路を流下する検知対象ガスが転化部の側に自然拡散できるように検知対象ガスを透過させる態様となっているが、一方で、転化部において生成した転化ガスが拡散手段を透過してガス流路の側に移行し難いように構成するのが望ましい。即ち、転化ガスがガス流路の側に移行し難くなれば、センサ素子部によって効率よく転化ガスを検知することができる。そのため、本構成のように少なくとも多孔質膜を備えるように構成すれば、その透気度を種々変更する等して、拡散手段の透気抵抗度が、適用される検知対象ガスが転化部の側に自然拡散でき、かつ、転化ガスが転化部からガス流路の側に移行し難くなるように構成することができる。 Further, the diffusion means is configured to transmit the detection target gas so that the detection target gas flowing down the gas flow path can be naturally diffused to the conversion unit side. On the other hand, the conversion gas generated in the conversion unit is It is desirable to configure so that it does not easily pass through the diffusion means and move to the gas flow path side. That is, if it becomes difficult for the converted gas to move to the gas flow path side, the converted gas can be efficiently detected by the sensor element unit. Therefore, if it is configured to include at least a porous membrane as in the present configuration, the gas permeation resistance of the diffusing means can be changed by changing the gas permeability, etc. It can be configured such that the gas can be naturally diffused to the side, and the converted gas does not easily move from the conversion part to the gas flow path side.
本発明に係る触媒転化式センサの第三特徴構成は、前記検知対象ガスをヘキサフルオロ−１，３−ブタジエン（Ｃ４Ｆ６）とし、前記転化ガスをフッ化水素とした点にある。 The third characteristic configuration of the catalyst conversion type sensor according to the present invention is that the detection target gas is hexafluoro-1,3-butadiene (C 4 F 6 ) and the conversion gas is hydrogen fluoride.
本構成によれば、ガスセンサによる感度が低く、直接電気化学反応による検知ができないヘキサフルオロ−１，３−ブタジエンをフッ化水素に転化して効率よく検知することができる。 According to this structure, the sensitivity by a gas sensor is low, and hexafluoro-1,3-butadiene which cannot be detected directly by an electrochemical reaction can be converted into hydrogen fluoride and efficiently detected.
本発明に係る触媒転化式センサの第四特徴構成は、前記加熱触媒部における触媒をＰｄおよびＰｔを含有する貴金属触媒とし、前記センサ素子部を貴金属担持カーボンを有してフッ化水素を検知できる電気化学式センサ素子とした点にある。 According to a fourth characteristic configuration of the catalyst conversion type sensor according to the present invention, the catalyst in the heating catalyst portion is a noble metal catalyst containing Pd and Pt, and the sensor element portion has noble metal-supporting carbon and can detect hydrogen fluoride. It is an electrochemical sensor element.
本構成によれば、貴金属担持カーボンを有してフッ化水素を検知できる電気化学式センサ素子であれば、フッ化水素に対しても感度が高く、小型化することができる。従って、本構成の触媒転化式センサであれば、触媒転化式センサの一層の小型化を達成することができる。 According to this configuration, an electrochemical sensor element having noble metal-supported carbon and capable of detecting hydrogen fluoride is highly sensitive to hydrogen fluoride and can be downsized. Therefore, if the catalyst conversion type sensor of this configuration is used, further downsizing of the catalyst conversion type sensor can be achieved.
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１に示したように、本発明の触媒転化式センサＸは、熱分解によって生成した転化ガスを検出することで検知対象ガスを検知するべく、検知対象ガスを流下させるガス流路１０と、ガス流路１０と接続し、検知対象ガスを自然拡散させる拡散手段２０によって隔てられた側に、加熱した触媒３１と接触させることにより検知対象ガスを熱分解して転化ガスを生成する加熱触媒部３０Ａ、および、熱分解によって生成した転化ガスを検出可能なセンサ素子部３０Ｂを有する転化部３０と、を備える。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the catalytic conversion sensor X of the present invention includes a
本実施形態では、検知対象ガスがヘキサフルオロ−１，３−ブタジエン（Ｃ４Ｆ６）であり、センサ素子部３０Ｂがフッ化水素（ＨＦ）を検知できる電気化学式センサ素子であるフッ化水素センサとした場合について説明するが、これらに限定されるものではない。例えば検知対象ガスをＣ５Ｆ８やＣ４Ｆ８としたり、当該センサ素子部３０Ｂは、フッ素（Ｆ２）を検知できるフッ素センサとすることができる。
In the present embodiment, the detection target gas is hexafluoro-1,3-butadiene (C 4 F 6 ), and the
拡散手段２０は、ガス流路１０と転化部３０とを仕切るものであり、これらを空間的に区別できるように構成してあればよく、ガス流路１０を流下する検知対象ガスが転化部３０の側に自然拡散できるように検知対象ガスを透過させる態様となるように構成してある。即ち、ガス流路１０を流下する検知対象ガスの一部は、そのままガス流路１０の下流側へ流下し、残りの一部が拡散手段２０を透過して転化部３０の内部へ自然拡散する態様となる。本明細書における「自然拡散」とは、例えば検知対象ガスを加圧するなどして強制的に拡散手段２０の孔を通過させて転化部３０の内部へ透過させることはせず、ガス流路１０を流下する検知対象ガスの少なくとも一部が、当該流圧の影響を受け難い状態で拡散手段２０の孔を通過して転化部３０の内部へ透過する態様のことをいうものとする。
The diffusing
このような拡散手段２０は、ガス流路１０から膜を透過して一定濃度で平衡に達する検知対象ガスと同じく、転化ガスも転化部３０内に駐留せずに、検知対象ガス濃度に対応した濃度で平衡となりガス流路１０に排出されるものであればよい。
Such a diffusing
拡散手段２０は、異なる材料を組み合わせて構成してもよく、単一の材料で構成してもよいが、少なくとも多孔質膜を備えることが好ましい。多孔質膜のみで構成するほうが、ガス流路１０から膜を透過して一定濃度で平衡に達する検知対象ガスと同じく、転化ガスも転化部３０内に駐留せずに、検知対象ガス濃度に対応した濃度で平衡となりガス流路１０に排出され易い。
The diffusing
例えば、拡散手段２０を異なる材料を組み合わせて構成する場合は、図２に示したように、所定の孔径を有する孔部２１ａを備えた樹脂膜２１、および、ガス透過性の多孔質膜２２を隣接配置して重ねた態様とすることができる。
For example, when the diffusing
樹脂膜２１は、プラスチック合成樹脂などの高分子成分などを薄い膜状に成型したものとすればよいが、これに限定されるものではない。このような樹脂膜２１に所定の孔径を有する孔部２１ａを１個あるいは複数個形成する。孔部２１ａの孔径および孔数を設定することにより、拡散手段２０を透過して転化部３０の内部へ自然拡散する検知対象ガスのガス量を調節することができる。ガス量の調節は、所望のガス量となるように孔部２１ａの孔径および孔数を設定すればよい。
The
多孔質膜２２は、ガス透過性の多孔質膜等を使用すればよいが、これに限定されるものではない。このような多孔膜は、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）膜等を使用することができる。当該多孔質膜２２は、検知対象ガスが転化部３０の内部へ自然拡散する程度を所望の程度に規定することができる。また多孔質膜２２は、ガス流路１０から膜を透過して一定濃度で平衡に達する検知対象ガスと同じく、転化ガスも転化部内に駐留せずに、検知対象ガス濃度に対応した濃度で平衡となり流路に排出される程度を所望の程度に規定することができる。
The
上述したように、拡散手段２０は、ガス流路１０を流下する検知対象ガスが転化部３０の側に自然拡散できるように検知対象ガスを透過させる態様となっているが、一方で、転化部３０において生成した転化ガスが拡散手段２０を透過してガス流路１０の側に移行し難いように構成するのが望ましい。即ち、転化ガスがガス流路１０の側に移行し難くなれば、センサ素子部３０Ｂによって効率よく転化ガスを検知することができる。そのため、上述した拡散手段２０であれば、孔部２１ａの孔径および孔数の他、孔部２１ａの配設位置を種々設定し、さらに多孔質膜２２の透気度を種々変更する等して、拡散手段２０の透気抵抗度が、適用される検知対象ガスが転化部３０の側に自然拡散でき、かつ、転化ガスが転化部３０からガス流路１０の側に移行し難くなるように構成することができる。
As described above, the diffusing
拡散手段２０を単一の材料で構成する場合は、例えば所定の孔径を有する孔部を形成した樹脂膜、或いは、ガス透過性の多孔質膜等の何れかを使用すればよいが、これに限定されるものではない。 When the diffusing means 20 is composed of a single material, for example, either a resin film having a hole having a predetermined hole diameter or a gas permeable porous film may be used. It is not limited.
樹脂膜は、上述したプラスチック合成樹脂などの高分子成分などを薄い膜状に成型したものとすればよいが、これに限定されるものではない。この場合も当該樹脂膜に所定の孔径を有する孔部を１個あるいは複数個形成する。孔部２の孔径および孔数を設定することにより、拡散手段２０を透過して転化部３０の内部へ自然拡散する検知対象ガスのガス量を調節することができる。そのため、所望のガス量となるように孔部の孔径および孔数を設定すればよい。
The resin film may be formed by molding a polymer component such as the above-described plastic synthetic resin into a thin film shape, but is not limited thereto. Also in this case, one or a plurality of holes having a predetermined hole diameter are formed in the resin film. By setting the hole diameter and the number of holes of the hole 2, it is possible to adjust the gas amount of the detection target gas that permeates the diffusion means 20 and naturally diffuses into the
多孔質膜は、例えば上述したＰＴＦＥ膜等を使用することができる。尚、拡散手段２０を単一の材料で構成する場合は単一の同じ材料（多孔質ＰＴＦＥ膜）であっても、透気度を異ならせた複数の多孔質ＰＴＦＥ膜を組み合わせることも可能である。 As the porous membrane, for example, the above-mentioned PTFE membrane or the like can be used. When the diffusing means 20 is composed of a single material, it is possible to combine a plurality of porous PTFE membranes having different air permeability even if they are the same material (porous PTFE membrane). is there.
本構成であれば、簡易な構成で、拡散手段２０を透過して転化部３０の内部へ自然拡散する検知対象ガスのガス量を調節することができる。ガス量の調節は、所望のガス量となるように孔部の孔径および孔数を設定すればよい。
With this configuration, it is possible to adjust the gas amount of the detection target gas that permeates the diffusion means 20 and naturally diffuses into the
転化部３０は、検知対象ガスを熱分解して生成した転化ガスを検出するように構成するため、加熱触媒部３０Ａおよびセンサ素子部３０Ｂを有する。本実施形態の転化部３０はケーシング１の内部空間の一部として構成してある。即ち、当該ケーシング１は、その内部を拡散手段２０によって仕切ってあり、仕切られた空間の一方を転化部３０とし、他方をガス流路１０の一部としてある。ケーシング１は円柱状や立方体状等、どのような形状であってもよい。本実施形態では、検知対象ガスがガス流路１０を流下する方向と、検知対象ガスの一部が拡散手段２０を透過して転化部３０の内部へ自然拡散する方向とが異なる（略直交する）ように構成してある場合について説明する。この場合、ガス流路１０を流下する検知対象ガスの少なくとも一部を、より当該流圧の影響を受け難い状態で拡散手段２０の孔を通過して転化部３０の内部へ自然拡散させ易くなる。
The
加熱触媒部３０Ａは、拡散手段２０を透過して転化部３０の内部へ自然拡散した検知対象ガスを加熱した触媒３１に接触させ、検知対象ガスを熱分解して転化ガスを生成する。本実施形態における当該触媒３１は、ＰｄおよびＰｔを含有する貴金属触媒とした場合について説明するが、これらに限定されずＲｕ、ＲｈおよびＩｒも使用することができる。この加熱触媒部３０Ａは、例えば４００〜６００℃程度、好ましくは４５０℃程度まで加熱することができるように構成すればよい。検知対象ガスが加熱した触媒３１に接触すると、検知対象ガスが熱分解されることによって転化ガスを生成することができる。加熱触媒部は１つであれば消費電力を抑制できるが、設置数は１つに限定されず、複数設けてもよい。加熱触媒部を複数設ける場合は、例えば２つの加熱触媒部を所定間隔で並置してそれらの下流側にセンサ素子部３０Ｂが配設されるように構成してもよいし、２つの加熱触媒部がケーシング１の内部で対面するように配設してもよい。また、加熱触媒部を複数設ける場合は、それぞれの加熱触媒部を加熱する温度を同じ温度に設定してもよく、設置位置に応じた適切な温度に変更してもよい。当該温度は、拡散手段２０の性能が適切に発揮できる温度に設定するのがよい。尚、当該温度は、触媒３１を備えているため比較的低温で熱分解が可能となる。
30 A of heating catalyst parts permeate | transmit the spreading | diffusion means 20, and make the detection target gas naturally diffused in the inside of the
本実施形態では、加熱触媒部３０Ａとして接触燃焼式センサの素子を用いる場合について説明する。この場合、簡便かつ小型の態様で加熱触媒部を構成することができる。
In the present embodiment, a case where an element of a catalytic combustion type sensor is used as the
接触燃焼式センサは、所定のガスと感応する検知素子を備えている。当該検知素子は、接触燃焼式の素子であって、電気抵抗に対する温度係数が高い白金等を含む金属線のコイルの表面が、検出対象ガスに対して活性な貴金属触媒を坦持するアルミナ等の坦体で被覆されて形成されている。貴金属触媒は、上述した白金族である、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｒｕ、ＲｈおよびＩｒの少なくとも１つ以上の微粒子を使用することができる。 The contact combustion type sensor includes a detection element that is sensitive to a predetermined gas. The detection element is a catalytic combustion type element, and the surface of the coil of a metal wire containing platinum or the like having a high temperature coefficient with respect to electrical resistance is made of alumina or the like that carries a noble metal catalyst active against the detection target gas. It is formed by covering with a carrier. As the noble metal catalyst, fine particles of at least one of Pt, Pd, Ru, Rh and Ir, which are the platinum group described above, can be used.
上述したように、本実施形態では、検知対象ガスがＣ４Ｆ６であり、転化ガスがフッ化水素であるが、これは以下の化１の反応式によって転化が進行すると考えられる。 As described above, in this embodiment, the detection target gas is C 4 F 6 and the conversion gas is hydrogen fluoride. It is considered that the conversion proceeds according to the following reaction formula (1).
センサ素子部３０Ｂは、電気化学式センサ、光センサ、半導体式ガスセンサ、接触燃焼式センサ等が適用できる。本実施形態では、貴金属担持カーボンを有して、生成した転化ガスであるフッ化水素を検知できる電気化学式センサ素子である場合について説明する。
As the
当該電気化学式センサ素子は、ガス拡散電極からなる検知極、当該検知極に一体に接合されている補助相、常温溶融塩である電解液、検知極と同様の構成からなる対極をセンサケースに収容することによって構成することができる。検知極は金触媒を担持させたカーボン粉末（金担持カーボン）とバインダーとしてのポリ４フッ化エチレンとの混合物から形成してある。補助相は多孔性ニッケルシートの孔中に補助相材料である硝酸リチウムを充填して形成してある。このような電気化学式センサ素子は、フッ化水素に対しても感度が高い。 The electrochemical sensor element houses a detection electrode composed of a gas diffusion electrode, an auxiliary phase integrally joined to the detection electrode, an electrolytic solution that is a room temperature molten salt, and a counter electrode having the same configuration as the detection electrode in a sensor case. Can be configured. The detection electrode is formed from a mixture of carbon powder carrying a gold catalyst (gold-carrying carbon) and polytetrafluoroethylene as a binder. The auxiliary phase is formed by filling lithium nitrate, which is an auxiliary phase material, in the pores of the porous nickel sheet. Such an electrochemical sensor element is highly sensitive to hydrogen fluoride.
この金担持カーボンであれば、約１０ｎｍ程度まで微粒子化することができるため、電気化学式センサ素子を小型化することができる。また、金担持カーボンを微粒子化することで、表面積が増大してフッ化水素に対しても感度を向上することができる。
本発明で使用する検知対象ガスであるＣ４Ｆ６は、ガスセンサによる感度が低く、直接電気化学反応による検知ができないため、事前に熱分解によりフッ化水素に転化させることにより検知できる。
This gold-supported carbon can be made into fine particles up to about 10 nm, so that the electrochemical sensor element can be miniaturized. Further, by making the gold-supporting carbon fine particles, the surface area can be increased and the sensitivity to hydrogen fluoride can be improved.
C 4 F 6, which is a detection target gas used in the present invention, has low sensitivity by a gas sensor and cannot be directly detected by an electrochemical reaction. Therefore, it can be detected by converting it into hydrogen fluoride by thermal decomposition in advance.
本発明の触媒転化式センサＸは、検知対象ガスを吸引して流下させるポンプ、流量センサ、センサ素子部３０Ｂが検知した結果に基づいて検知対象ガスの漏洩を判定する演算手段、警報レベル以上の検知対象ガスの濃度を継続して検知した場合に警報を発するように制御する警報手段（何れも図外）等と共に警報器やガス検知器の部材とすることができる。
The catalyst conversion type sensor X of the present invention includes a pump that sucks and flows down the detection target gas, a flow rate sensor, a calculation means that determines leakage of the detection target gas based on a result detected by the
本発明の触媒転化式センサＸは、拡散手段２０によりガス流路１０を流下する検知対象ガスを転化部３０の側に自然拡散させることができるため、転化部３０へ移行する検知対象ガスのガス量がガス流路１０を流下する流量に依存し難いように構成することができる。そのため、流量センサが劣化して経時的にガス流路１０を流下する検知対象ガスの流量が変動した場合であっても、直ちに転化部３０へ移行する検知対象ガスのガス量に影響し難くなるため、転化部３０へ移行する検知対象ガスのガス量は変動し難くなる。従って、本発明の触媒転化式センサＸにおいては、検知対象ガスを転化ガスに転化させる転化率は検知対象ガスの流量の影響を受け難くなるため、経時的に転化率が低下し難くなる。
In the catalyst conversion type sensor X of the present invention, the detection target gas flowing down the
上述した拡散手段２０であれば、転化ガスが転化部３０から外部（ガス流路１０）に移行し難くなるように構成することができるため、転化部３０の内部で滞留する転化ガスを効率よく安定してセンサ素子部３０Ｂによって検知できる。
If it is the diffusion means 20 mentioned above, since it can comprise so that conversion gas may become difficult to transfer outside (gas flow path 10) from the
また、本発明の触媒転化式センサＸは、転化部３０に加熱触媒部３０Ａおよびセンサ素子部３０Ｂを有することにより、大型の熱分解炉を使用する必要が無いため小型化を達成することができる。
Further, the catalytic conversion type sensor X of the present invention has the
本発明は、熱分解によって生成した転化ガスを検出することで検知対象ガスを検知する触媒転化式センサに利用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be used for a catalyst conversion type sensor that detects a detection target gas by detecting a conversion gas generated by thermal decomposition.
Ｘ 触媒転化式センサ
１０ ガス流路
２０ 拡散手段
３０ 転化部
３０Ａ 加熱触媒部
３０Ｂ センサ素子部
３１ 触媒
X catalyst
Claims (4)
前記検知対象ガスを流下させるガス流路と、
前記ガス流路と接続し、前記検知対象ガスを自然拡散させる拡散手段によって隔てられた側に、加熱した触媒と接触させることにより前記検知対象ガスを熱分解して転化ガスを生成する加熱触媒部、および、熱分解によって生成した転化ガスを検出可能なセンサ素子部を有する転化部と、を備えた触媒転化式センサ。 In order to detect the detection target gas by detecting the converted gas generated by pyrolysis,
A gas flow path for flowing down the detection target gas;
A heating catalyst unit that is connected to the gas flow path and that is separated by a diffusion means for naturally diffusing the detection target gas, and contacts the heated catalyst to thermally decompose the detection target gas to generate a converted gas. And a conversion unit having a sensor element unit capable of detecting a converted gas generated by thermal decomposition.
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