JP2018073703A - Mass spectrometer - Google Patents

Mass spectrometer Download PDF

Info

Publication number
JP2018073703A
JP2018073703A JP2016214367A JP2016214367A JP2018073703A JP 2018073703 A JP2018073703 A JP 2018073703A JP 2016214367 A JP2016214367 A JP 2016214367A JP 2016214367 A JP2016214367 A JP 2016214367A JP 2018073703 A JP2018073703 A JP 2018073703A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ion
ions
voltage
shielding plate
conversion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016214367A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6772764B2 (en
Inventor
慶 小寺
Kei Kodera
慶 小寺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Priority to JP2016214367A priority Critical patent/JP6772764B2/en
Publication of JP2018073703A publication Critical patent/JP2018073703A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6772764B2 publication Critical patent/JP6772764B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Electron Tubes For Measurement (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect ions discharged from a linear ion trap (LIT) while being mass separated by resonant excitation action, without waste.SOLUTION: Conversion dynodes (CD) 31, 32 are arranged, respectively, on the outside of ion discharge ports 21a, 22a arranged oppositely across the medial axis C of a LIT 2, and a shield plate 34 having an ion passage port 34a is provided between the CDs 31, 32 and the LIT 2. A voltage slightly lower than the voltage applied to the CDs 31, 32 is applied to the shield plate 34. When the ions held in the LIT 2 are discharged by resonant excitation, the ions are accelerated by an electric field formed between the LIT 2 and the shield plate 34 while bending the orbit, before reaching the CDs 31, 32 by passing through the ion passage port 34a. Electrons ejected from the CDs 31, 32 by receiving ion injection are pushed back by the shield plate 34 and reach an electron multiplier tube 33 and detected. Since the CDs 31, 32 may be made of inexpensive Al, or the like, ions are detected without waste while reducing the cost, and sensitivity can be improved.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は質量分析装置に関し、さらに詳しくは、リニアイオントラップの内部にイオンを保持し、該リニアイオントラップから吐き出されたイオンを検出器で検出するリニアイオントラップ型の質量分析装置に関する。   The present invention relates to a mass spectrometer, and more particularly to a linear ion trap type mass spectrometer that retains ions inside a linear ion trap and detects ions ejected from the linear ion trap with a detector.

質量分析装置の一つとして、電場の作用によりイオンを保持するイオントラップを利用した質量分析装置が知られている。イオントラップには大別して、三次元四重極型イオントラップとリニアイオントラップとがある。一般的なリニアイオントラップは、中心軸を取り囲むように互いに略平行に配置された四本のロッド状電極と、それらロッド状電極の両端面の外側にそれぞれ配置された一対の端部電極(エンドキャップ電極)と、を含む(特許文献1、2参照)。リニアイオントラップの内部空間にイオンを保持する場合、四本のロッド状電極にはそれぞれ所定の高周波電圧が印加され、一対の端部電極にはイオンと同極性の直流電圧が印加される。それにより、リニアイオントラップでは、中心軸に沿った方向に延びる比較的大きな空間にイオンが捕捉される。   As one of mass spectrometers, a mass spectrometer using an ion trap that holds ions by the action of an electric field is known. Ion traps are roughly classified into three-dimensional quadrupole ion traps and linear ion traps. A general linear ion trap has four rod-like electrodes arranged substantially parallel to each other so as to surround a central axis, and a pair of end electrodes (ends) respectively arranged on both outer sides of the rod-like electrodes. Cap electrode) (see Patent Documents 1 and 2). When ions are held in the internal space of the linear ion trap, a predetermined high-frequency voltage is applied to each of the four rod-shaped electrodes, and a DC voltage having the same polarity as the ions is applied to the pair of end electrodes. Thereby, in the linear ion trap, ions are trapped in a relatively large space extending in the direction along the central axis.

このようなリニアイオントラップでは、多くの場合、イオンは一方又は両方の端部電極に形成されている開口部を通してロッド状電極で囲まれる空間に導入され、その内部空間に保持される。内部空間に保持したイオンを質量電荷比に応じて分離しつつ検出する際には、ロッド状電極に印加する高周波電圧の周波数又は振幅を制御することで検出対象である特定の質量電荷比を有するイオンを共鳴励振させる。励振されたイオンはロッド状電極に形成されているイオン排出口を通して外部へと排出される。イオン排出口の外側にはイオン検出器が配置されており、該イオン検出器は到達したイオンの数に応じた検出信号を生成する。   In such a linear ion trap, in many cases, ions are introduced into a space surrounded by rod-shaped electrodes through openings formed in one or both end electrodes and held in the internal space. When detecting ions held in the internal space while separating them according to the mass-to-charge ratio, the specific mass-to-charge ratio that is the detection target is controlled by controlling the frequency or amplitude of the high-frequency voltage applied to the rod-shaped electrode. Ions are resonantly excited. The excited ions are discharged to the outside through an ion discharge port formed in the rod-shaped electrode. An ion detector is disposed outside the ion discharge port, and the ion detector generates a detection signal corresponding to the number of ions that have reached.

上記イオン排出に際し一般的な二重極共鳴励起を行うと、イオンはリニアイオントラップの中心軸に略直交する両方向に大きく励振される。そのため、共鳴励起されたイオンを無駄なく検出するには、ロッド状電極において中心軸を挟んで対向する位置にそれぞれイオン排出口を設け、その二つのイオン排出口の外側に、イオンを電子に変換するコンバージョンダイノードとその電子を増倍して検出する電子増倍管とを組み合わせたイオン検出器をそれぞれ配置する必要がある。特許文献1に記載の質量分析装置ではこうした構成が採られている。この構成では、イオンを無駄なく検出することで高い検出感度を得ることができる。しかしながら、イオン検出器、特に電子増倍管は高価であるため、イオン検出器を二組設けることで、装置のコストは高くなってしまう。   When general dipole resonance excitation is performed at the time of ion ejection, ions are greatly excited in both directions substantially perpendicular to the central axis of the linear ion trap. For this reason, in order to detect resonance-excited ions without waste, ion discharge ports are provided at opposite positions across the central axis of the rod-shaped electrode, and ions are converted to electrons outside the two ion discharge ports. It is necessary to dispose an ion detector in which a conversion dynode to be combined with an electron multiplier tube for multiplying and detecting the electron is detected. The mass spectrometer described in Patent Document 1 employs such a configuration. In this configuration, high detection sensitivity can be obtained by detecting ions without waste. However, since ion detectors, particularly electron multipliers, are expensive, providing two sets of ion detectors increases the cost of the apparatus.

これに対し、特許文献2に記載の質量分析装置では、ロッド状電極において1箇所のみにイオン排出口を設け、その一つのイオン排出口の外側にイオン検出器を配置している。この構成では、イオン検出器は一つで済むので低コスト化を図ることができる。しかしながら、共鳴励起されたイオンの約半分が検出に供されず無駄になるので、イオン検出器を二組用いる構成と比べると、検出感度の点でかなり不利である。   On the other hand, in the mass spectrometer described in Patent Document 2, an ion discharge port is provided only at one position in the rod-shaped electrode, and an ion detector is disposed outside the one ion discharge port. In this configuration, since only one ion detector is required, the cost can be reduced. However, since about half of the resonance-excited ions are not used for detection and are wasted, it is considerably disadvantageous in terms of detection sensitivity compared to a configuration using two sets of ion detectors.

米国特許第6797950号明細書US Pat. No. 6,797,950 特開2012−184975号公報JP 2012-184975 A

即ち、従来のリニアイオントラップ型質量分析装置では、装置の低コスト化を図るには検出感度を犠牲にせざるをえなかった。本発明はこうした課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、装置の低コスト化を図りながら高い検出感度を達成することができるリニアイオントラップ型の質量分析装置を提供することである。   That is, in the conventional linear ion trap mass spectrometer, the detection sensitivity must be sacrificed in order to reduce the cost of the apparatus. The present invention has been made to solve these problems, and an object of the present invention is to provide a linear ion trap mass spectrometer capable of achieving high detection sensitivity while reducing the cost of the apparatus. It is to be.

上記課題を解決するためになされた本発明に係る質量分析装置は、
a)中心軸の周りに互いに略平行に配置された複数のロッド状電極を含み、該ロッド状電極で囲まれる内部空間に保持したイオンを外部へ排出するためのイオン排出口を複数有するリニアイオントラップと、
b)前記リニアイオントラップにおける複数のイオン排出口に対応してそれぞれ設けられ、各イオン排出口を通して排出されたイオンを受けて電子を放出する複数のコンバージョンダイノードと、
c)前記リニアイオントラップと前記複数のコンバージョンダイノードとの間に設けられ、前記リニアイオントラップにおける複数のイオン排出口を通して排出されたイオンをそれぞれ通過させる複数のイオン通過開口を有する遮蔽板と、
d)前記遮蔽板からみて前記複数のコンバージョンダイノードと同じ側に位置し、該複数のコンバージョンダイノードから放出された電子を受けてその電子の量に応じた検出信号を出力する共通の検出部と、
e)前記リニアイオントラップにおける複数のイオン排出口を通して排出されたイオンを誘引する電圧を前記遮蔽板に印加し、該遮蔽板への印加電圧と同じ又はそれよりも高い電圧を前記複数のコンバージョンダイノードに印加し、さらに該複数のコンバージョンダイノードへの印加電圧よりも高い電圧を前記検出部に印加する電圧印加部と、
を備えることを特徴としている。
A mass spectrometer according to the present invention made to solve the above problems is as follows.
a) Linear ions including a plurality of rod-shaped electrodes arranged substantially parallel to each other around the central axis, and having a plurality of ion discharge ports for discharging ions held in an internal space surrounded by the rod-shaped electrodes to the outside Trap and
b) a plurality of conversion dynodes provided corresponding to a plurality of ion discharge ports in the linear ion trap, respectively, for receiving ions discharged through each ion discharge port and emitting electrons;
c) a shielding plate provided between the linear ion trap and the plurality of conversion dynodes and having a plurality of ion passage openings through which ions discharged through the plurality of ion discharge ports in the linear ion trap respectively pass;
d) a common detection unit that is located on the same side as the plurality of conversion dynodes as viewed from the shielding plate, receives electrons emitted from the plurality of conversion dynodes, and outputs a detection signal according to the amount of the electrons;
e) A voltage for attracting ions ejected through a plurality of ion outlets in the linear ion trap is applied to the shielding plate, and a voltage equal to or higher than an applied voltage to the shielding plate is applied to the plurality of conversion dynodes. A voltage application unit that applies a voltage higher than the voltage applied to the plurality of conversion dynodes to the detection unit;
It is characterized by having.

本発明に係る質量分析装置では、リニアイオントラップを構成するロッド状電極には、内部に保持されているイオンを共鳴励起により外部へ排出するためのイオン排出口が複数設けられる。典型的には、特許文献1に記載の質量分析装置と同様に、リニアイオントラップの中心軸に直交する直線上で該中心軸を挟んだ両側に一つずつ、合計二つのイオン排出口を設ければよい。その複数のイオン排出口にそれぞれ対応して、それと同数のコンバージョンダイノードがリニアイオントラップの外部に配置される。一方、イオンの入射を受けてコンバージョンダイノードから放出される電子を検出する検出部は、複数のコンバージョンダイノードに対して共通に、つまり一つのみ設けられる。   In the mass spectrometer according to the present invention, the rod-shaped electrode constituting the linear ion trap is provided with a plurality of ion discharge ports for discharging ions held inside to the outside by resonance excitation. Typically, similarly to the mass spectrometer described in Patent Document 1, two ion discharge ports are provided, one on each side across the central axis on a straight line orthogonal to the central axis of the linear ion trap. Just do it. Corresponding to each of the plurality of ion discharge ports, the same number of conversion dynodes are arranged outside the linear ion trap. On the other hand, the detection unit that detects the electrons emitted from the conversion dynode upon receiving the ion is commonly provided for the plurality of conversion dynodes, that is, only one is provided.

ただし、互いに離れた位置にある複数のコンバージョンダイノードに対し検出部を共通に設けた場合、各コンバージョンダイノードと検出部における電子入射面とを近接させることが難しく、コンバージョンダイノードから放出された電子が検出部における電子入射面に到達する効率が悪くなりがちである。特に、通常、リニアイオントラップから排出されたイオンをコンバージョンダイノードに引き付けるように、例えば分析対象が正極性のイオンである場合には、コンバージョンダイノードにはリニアイオントラップよりも低い電圧が印加される。そのため、コンバージョンダイノードから放出された電子はイオンとは逆に、リニアイオントラップに向かって進むような力を受けてしまう。これに対し、本発明に係る質量分析装置では、リニアイオントラップとコンバージョンダイノードの間に遮蔽板が設けられ、該遮蔽板にコンバージョンダイノードへの印加電圧と同じ又はそれよりも低い(負極性であれば電圧の絶対値が大きい)電圧が印加される。また、検出部にはコンバージョンダイノードへの印加電圧よりも高い電圧、つまりは電子を誘引する電圧が印加される。   However, if a common detection unit is provided for a plurality of conversion dynodes that are separated from each other, it is difficult to bring each conversion dynode close to the electron entrance surface of the detection unit, and electrons emitted from the conversion dynode are detected. The efficiency of reaching the electron incident surface in the part tends to deteriorate. In particular, a voltage lower than that of the linear ion trap is applied to the conversion dynode, for example, when the analysis target is a positive ion so as to attract ions discharged from the linear ion trap to the conversion dynode. Therefore, the electrons emitted from the conversion dynode are subjected to a force that travels toward the linear ion trap, contrary to the ions. On the other hand, in the mass spectrometer according to the present invention, a shielding plate is provided between the linear ion trap and the conversion dynode, and the shielding plate is equal to or lower than the voltage applied to the conversion dynode (has a negative polarity). (The absolute value of the voltage is large). In addition, a voltage higher than the voltage applied to the conversion dynode, that is, a voltage that attracts electrons is applied to the detection unit.

上記のように遮蔽板に印加されている電圧によって、該遮蔽板とリニアイオントラップとの間には、該リニアイオントラップから排出されたイオンを遮蔽板に向かって加速する電場が形成される。この電場により加速されたイオンの多くは、遮蔽板の適宜の位置に形成されたイオン通過開口を通過してコンバージョンダイノードに到達する。各コンバージョンダイノードと検出部との間にはコンバージョンダイノードから放出された電子を検出部に向けて移動させる電場が形成される。一方、各コンバージョンダイノードと遮蔽板の間に形成される電場は、コンバージョンダイノードから放出された電子を遮蔽板に向けて移動させる作用を有しないか或いは逆に電子をコンバージョンダイノードのほうへ押し戻す作用を有する。そのため、イオン入射を受けてコンバージョンダイノードから放出された電子は検出部に向かい、効率良く検出部に到達して検出される。   Due to the voltage applied to the shielding plate as described above, an electric field for accelerating the ions ejected from the linear ion trap toward the shielding plate is formed between the shielding plate and the linear ion trap. Many of the ions accelerated by this electric field pass through an ion passage opening formed at an appropriate position of the shielding plate and reach the conversion dynode. An electric field for moving electrons emitted from the conversion dynode toward the detection unit is formed between each conversion dynode and the detection unit. On the other hand, the electric field formed between each conversion dynode and the shielding plate does not have an effect of moving electrons emitted from the conversion dynode toward the shielding plate, or conversely, pushes back electrons toward the conversion dynode. Therefore, the electrons emitted from the conversion dynode upon receiving the ions are directed to the detection unit and efficiently reach the detection unit and are detected.

このようにして本発明に係る質量分析装置では、複数のイオン排出口を通してリニアイオントラップの内部空間から排出されるイオンをそれぞれ電子に変換するコンバージョンダイノードと共通の検出部との距離が或る程度離れていても、その共通の検出部でコンバージョンダイノードから放出された電子を効率良く収集して検出することができる。   In this manner, in the mass spectrometer according to the present invention, the distance between the conversion dynode that converts the ions discharged from the internal space of the linear ion trap through the plurality of ion discharge ports into electrons and the common detection unit is to some extent. Even if they are separated from each other, the electrons emitted from the conversion dynode can be efficiently collected and detected by the common detection unit.

なお、本発明に係る質量分析装置において、好ましくは、前記電圧印加部は、前記遮蔽板への印加電圧よりも高い電圧を前記複数のコンバージョンダイノードにそれぞれ印加するとよい。   In the mass spectrometer according to the present invention, it is preferable that the voltage application unit apply a voltage higher than the voltage applied to the shielding plate to each of the plurality of conversion dynodes.

この構成によれば、コンバージョンダイノードから遮蔽板の方向に放出された電子を電場の作用で押し戻すことができるので、電子が検出部に到達する効率を一層高めることができる。ただし、遮蔽板の電位とコンバージョンダイノードの電位との差が大きいと、その両者の間に形成される電場の作用により、遮蔽板の開口部を通過してコンバージョンダイノードに向かうイオンが遮蔽板の方向に押し戻されてしまうおそれがある。そのため、遮蔽板の電位とコンバージョンダイノードの電位との差は、質量が軽い電子を押し戻す一方、電子に比べて質量が大きなイオンには殆ど影響を与えないような程度に小さく定めておくことが望ましい。   According to this configuration, the electrons emitted from the conversion dynode in the direction of the shielding plate can be pushed back by the action of the electric field, so that the efficiency of the electrons reaching the detection unit can be further increased. However, if there is a large difference between the potential of the shielding plate and the potential of the conversion dynode, ions directed to the conversion dynode through the opening of the shielding plate due to the action of the electric field formed between them are directed to the shielding plate. There is a risk of being pushed back. Therefore, it is desirable to set the difference between the potential of the shielding plate and the potential of the conversion dynode small enough to push back electrons having a light mass but hardly affect ions having a large mass compared to electrons. .

また本発明に係る質量分析装置では、好ましくは、前記複数のイオン排出口は前記リニアイオントラップの中心軸を挟んで対向して設けられ、前記遮蔽板に設けられた前記複数のイオン通過開口、前記複数のコンバージョンダイノード、及び前記共通の検出器は、前記リニアイオントラップの中心軸を含む前記複数のイオン排出口の対称面に対して面対称である位置に配置されてなる構成とするとよい。   In the mass spectrometer according to the present invention, preferably, the plurality of ion discharge ports are provided to face each other across the central axis of the linear ion trap, and the plurality of ion passage openings provided in the shielding plate, The plurality of conversion dynodes and the common detector may be arranged at positions that are plane-symmetric with respect to a symmetry plane of the plurality of ion discharge ports including a central axis of the linear ion trap.

この構成によれば、複数のイオン排出口の対称面を挟んでその両側の空間において電場が対称となるため、イオン排出口から出たイオンが検出部に達するまでの軌道もほぼ対称となる。そのため、その片側の空間における各素子の配置や印加電圧の最適化を行って他方の空間も同じ配置、印加電圧とすればよいので、装置の設計が容易になるうえに製造上のコスト削減にも繋がる。   According to this configuration, since the electric field is symmetric in the space on both sides of the symmetry plane of the plurality of ion discharge ports, the trajectory until the ions emitted from the ion discharge ports reach the detection unit is also almost symmetric. Therefore, it is only necessary to optimize the arrangement and applied voltage of each element in the space on one side so that the other space has the same arrangement and applied voltage. This facilitates device design and reduces manufacturing costs. Is also connected.

本発明に係る質量分析装置によれば、コンバージョンダイノードは複数必要であるものの、コンバージョンダイノードよりも格段に構造が複雑で高価であるイオン検出器の数は少なくて済む。それにより、コンバージョンダイノードとイオン検出器との組合せを複数設ける場合に比べて、装置のコストを抑制することができる。一方、リニアイオントラップで共鳴励起されたイオンはそのほぼ全てが複数のイオン排出口を通して排出され無駄なく検出されるので、高い検出感度を達成することができる。   According to the mass spectrometer of the present invention, although a plurality of conversion dynodes are required, the number of ion detectors that are much more complicated and expensive than the conversion dynodes can be reduced. Thereby, the cost of the apparatus can be suppressed as compared with the case where a plurality of combinations of conversion dynodes and ion detectors are provided. On the other hand, almost all of the ions resonance-excited by the linear ion trap are discharged through a plurality of ion discharge ports and detected without waste, so that high detection sensitivity can be achieved.

本発明の一実施例であるリニアイオントラップ型質量分析装置の概略構成図。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The schematic block diagram of the linear ion trap type | mold mass spectrometer which is one Example of this invention. 図1中のリニアイオントラップの概略平面図。The schematic plan view of the linear ion trap in FIG. リニアイオントラップと電子増倍管との間の各部の電位の状態を示す概念図。The conceptual diagram which shows the state of the electric potential of each part between a linear ion trap and an electron multiplier. イオン及び電子の軌道のシミュレーション結果を示す図。The figure which shows the simulation result of the track | orbit of ion and an electron.

本発明の一実施例であるリニアイオントラップ型質量分析装置について、添付図面を参照して説明する。図1は本実施例のリニアイオントラップ型質量分析装置の概略構成図、図2は図1中のリニアイオントラップの概略平面図(X軸を紙面に直交する方向にとった平面図)である。   A linear ion trap mass spectrometer which is an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the linear ion trap mass spectrometer of the present embodiment, and FIG. 2 is a schematic plan view of the linear ion trap in FIG. 1 (a plan view in which the X axis is taken in a direction perpendicular to the paper surface). .

図1では、分析対象であるイオンを生成するイオン源の記載は省略してある。本実施例のリニアイオントラップ型質量分析装置は、図示しないイオン源と、リニアイオントラップ2と、イオン検出部3と、制御部4と、イオントラップ電源部5と、遮蔽板電源部6と、コンバージョンダイノード(CD)電源部7と、検出器電源部8と、を含む。   In FIG. 1, description of an ion source that generates ions to be analyzed is omitted. The linear ion trap mass spectrometer of the present embodiment includes an ion source (not shown), a linear ion trap 2, an ion detection unit 3, a control unit 4, an ion trap power supply unit 5, a shielding plate power supply unit 6, A conversion dynode (CD) power supply unit 7 and a detector power supply unit 8 are included.

リニアイオントラップ2は、図1においてZ軸方向(紙面に直交する方向)に延伸する中心軸Cの周りに互いに平行に配置された、内面が断面双曲線状である4本のロッド状電極21、22、23、24を含む。図1ではリニアイオントラップ2を、ロッド状電極21、22、23、24を中心軸Cに直交する平面(X−Y平面)で切断した端面図で示している。図2に示すように、中心軸Cを挟んで対向する2本のロッド状電極21、22には、Z軸方向に延伸する細長いイオン排出口21a、22aが形成されている。ロッド状電極21、22、23、24の両方の端部外側には、それらロッド状電極21、22、23、24を両側から挟み込むように略円形状の端部電極25、26が配置され、端部電極25、26には中心軸Cを中心とする円形状のイオン導入口25a、26aが形成されている。   The linear ion trap 2 includes four rod-shaped electrodes 21 whose inner surfaces are parallel to each other around a central axis C extending in the Z-axis direction (direction orthogonal to the paper surface) in FIG. 22, 23, 24. In FIG. 1, the linear ion trap 2 is shown as an end view in which the rod-shaped electrodes 21, 22, 23, and 24 are cut along a plane (XY plane) orthogonal to the central axis C. As shown in FIG. 2, elongate ion discharge ports 21a and 22a extending in the Z-axis direction are formed in the two rod-shaped electrodes 21 and 22 facing each other across the central axis C. Outside the ends of both rod-shaped electrodes 21, 22, 23, 24, substantially circular end electrodes 25, 26 are arranged so as to sandwich the rod-shaped electrodes 21, 22, 23, 24 from both sides, In the end electrodes 25 and 26, circular ion introduction ports 25a and 26a centering on the central axis C are formed.

イオン検出部3は、リニアイオントラップ2の二つのイオン排出口21a、22aに対応してそれぞれ設けられたコンバージョンダイノード31、32と、コンバージョンダイノード31、32から放出される電子を受ける共通の電子増倍管33と、コンバージョンダイノード31、32とリニアイオントラップ2との間に配置された遮蔽板34と、を含む。遮蔽板34は平板状の導電性部材であるが、各イオン排出口21a、22aからコンバージョンダイノード31、32へとそれぞれ向かうイオンが通過可能であるイオン通過口34aが適宜の位置に設けられている。図1に示すように、遮蔽板34に設けられた二つのイオン通過口34a、二つのコンバージョンダイノード31、32、及び、共通である一つの電子増倍管33は、リニアイオントラップ2の中心軸Cを含む二つのイオン排出口21a、22aの対称面に対し面対称になるように配置されている。コンバージョンダイノード31、32は例えばアルミニウムなどの導電性部材から成る。アルミニウムが用いられるのは、アルミニウム表面に形成される酸化アルミニウムが、イオンから電子への変換効率がアルカリ金属に次いで高く、且つ安価で取扱いも容易であるためである。   The ion detection unit 3 includes conversion dynodes 31 and 32 provided corresponding to the two ion discharge ports 21a and 22a of the linear ion trap 2, and a common electron increase for receiving electrons emitted from the conversion dynodes 31 and 32, respectively. A double tube 33 and a shielding plate 34 disposed between the conversion dynodes 31 and 32 and the linear ion trap 2 are included. Although the shielding plate 34 is a flat conductive member, an ion passage opening 34a through which ions directed from the ion discharge openings 21a and 22a to the conversion dynodes 31 and 32 can pass is provided at an appropriate position. . As shown in FIG. 1, two ion passages 34 a provided in the shielding plate 34, two conversion dynodes 31 and 32, and one common electron multiplier 33 are arranged on the central axis of the linear ion trap 2. It arrange | positions so that it may become plane symmetrical with respect to the symmetry plane of the two ion discharge ports 21a and 22a containing C. The conversion dynodes 31 and 32 are made of a conductive member such as aluminum. Aluminum is used because aluminum oxide formed on the aluminum surface has the second highest conversion efficiency from ions to electrons after alkali metals, and is inexpensive and easy to handle.

制御部4による制御の下で、イオントラップ電源部5はロッド状電極21、22、23、24、端部電極25、26にそれぞれ所定の電圧を印加し、遮蔽板電源部6は遮蔽板34に所定の直流電圧V2を印加し、コンバージョンダイノード電源部7はコンバージョンダイノード31、32にそれぞれ所定の直流電圧V3を印加し、検出器電源部8は電子増倍管33に所定の直流電圧V4を印加する。 Under the control of the control unit 4, the ion trap power supply unit 5 applies predetermined voltages to the rod-shaped electrodes 21, 22, 23, 24 and the end electrodes 25, 26, respectively. applying a predetermined DC voltage V 2, the respective conversion dynode power supply unit 7 to the conversion dynode 31 and 32 by applying a predetermined DC voltage V 3, the detector power supply unit 8 is predetermined DC voltage to the photomultiplier tube 33 V 4 is applied.

分析対象のイオンが正極性である場合を例に挙げて、本実施例の質量分析装置における質量分析動作を説明する。
図示しないイオン源で生成されたイオンはイオン導入口25a、26aの一方又は両方を通してロッド状電極21、22、23、24で囲まれる内部空間に導入され、イオントラップ電源部5からロッド状電極21、22、23、24に印加される高周波電圧によって形成される四重極電場により捕捉される。イオンが内部空間に導入されたあと捕捉されるとき、端部電極25、26にはイオンを押し返すような直流電圧が印加され、それによりイオンはロッド状電極21、22、23、24で囲まれる内部空間(Z軸方向に細長い空間)に閉じ込められる。
The mass analysis operation in the mass spectrometer of the present embodiment will be described by taking as an example the case where ions to be analyzed are positive.
Ions generated by an ion source (not shown) are introduced into an internal space surrounded by the rod-shaped electrodes 21, 22, 23, 24 through one or both of the ion introduction ports 25 a, 26 a, and are supplied from the ion trap power supply unit 5 to the rod-shaped electrode 21. , 22, 23, 24 are captured by a quadrupole electric field formed by a high frequency voltage applied. When the ions are trapped after being introduced into the internal space, a DC voltage is applied to the end electrodes 25 and 26 so as to push back the ions, so that the ions are surrounded by the rod-shaped electrodes 21, 22, 23 and 24. It is confined in the internal space (space elongated in the Z-axis direction).

特定の質量電荷比Mを有するイオンを他のイオンと分離して検出する際に、制御部4は、質量電荷比Mに応じた所定の高周波電圧をロッド状電極21、22、23、24に印加するようにイオントラップ電源部5を制御する。すると、内部空間に捕捉されている各種イオンの中で質量電荷比Mを有するイオンのみが共鳴励起によってX軸に沿った方向に大きく振動し、イオン排出口21a、22aと通して排出される。このとき、リニアイオントラップ2の各ロッド状電極21、22、23、24に印加される直流電圧V1は例えば0Vとされる。また、このとき、遮蔽板34に印加される直流電圧V2、コンバージョンダイノード31、32に印加される直流電圧V3、電子増倍管33に印加される直流電圧V4は、図3に示すような関係になる。 When an ion having a specific mass-to-charge ratio M is detected separately from other ions, the control unit 4 applies a predetermined high-frequency voltage corresponding to the mass-to-charge ratio M to the rod-shaped electrodes 21, 22, 23, 24. The ion trap power supply unit 5 is controlled to be applied. Then, only the ions having the mass-to-charge ratio M among the various ions trapped in the internal space greatly vibrate in the direction along the X axis by resonance excitation and are discharged through the ion discharge ports 21a and 22a. At this time, the DC voltage V 1 applied to each rod-shaped electrode 21, 22, 23, 24 of the linear ion trap 2 is set to 0V, for example. At this time, the DC voltage V 2 applied to the shielding plate 34, the DC voltage V 3 applied to the conversion dynodes 31 and 32, and the DC voltage V 4 applied to the electron multiplier 33 are shown in FIG. It becomes a relationship like this.

即ち、従来と同じようにコンバージョンダイノード31、32にはイオンを誘引するような電圧V3が印加されるが、ここでは、それよりも少し低い電圧V2が遮蔽板34に印加される。また、電子増倍管33(図3では「EMT」と表記)には、コンバージョンダイノード31、32から放出された電子を誘引するようにコンバージョンダイノード31、32への印加電圧V3よりも高い電圧V4が印加される。このような電圧の印加によって、リニアイオントラップ2のイオン排出口21a、22a出口付近と遮蔽板34との間の空間には、イオン排出口21a、22aから吐き出されたイオンを遮蔽板34の方向に誘引する電場が形成される。この電場の作用により、X軸に略平行に排出されたイオンは図1中に太点線で示すように軌道を徐々に曲げつつ加速される。そして、加速されたイオンはイオン通過口34aを通過する。 That is, a voltage V 3 that attracts ions is applied to the conversion dynodes 31 and 32 as in the prior art, but here a voltage V 2 that is slightly lower than that is applied to the shielding plate 34. Also, the electron multiplier 33 (indicated as “EMT” in FIG. 3) has a voltage higher than the voltage V 3 applied to the conversion dynodes 31 and 32 so as to attract electrons emitted from the conversion dynodes 31 and 32. V 4 is applied. By applying such a voltage, ions discharged from the ion discharge ports 21a and 22a are placed in the space between the vicinity of the ion discharge ports 21a and 22a of the linear ion trap 2 and the shield plate 34 in the direction of the shield plate 34. An electric field that attracts By the action of this electric field, ions ejected substantially parallel to the X axis are accelerated while gradually bending the trajectory as shown by the thick dotted line in FIG. The accelerated ions pass through the ion passage port 34a.

上述したように遮蔽板34への印加電圧V2はコンバージョンダイノード31、32への印加電圧V3よりも低いため、図3中に示したように、イオン通過口34aを通過したイオンにはコンバージョンダイノード31、32側から遮蔽板34側へとイオンを押し戻す力が作用する。しかしながら、V2とV3との電位の差は小さいため、そのイオンを押し戻す力は小さく、イオン通過口34aを通過したイオンは十分に加速されているので、殆ど支障なくコンバージョンダイノード31、32に到達する。イオンがコンバージョンダイノード31、32に衝突すると代わりに電子が放出される。この電子は様々な方向に放出されるが、コンバージョンダイノード31、32への印加電圧V3と電子増倍管33への印加電圧V4とにより、コンバージョンダイノード31、32から電子増倍管33へと電子が加速される電場が形成されている。一方、コンバージョンダイノード31、32と遮蔽板34との間にはコンバージョンダイノード31、32から放出された電子をコンバージョンダイノード31、32の方向に押し戻す力を有する弱い(電位勾配の緩やかな)電場が形成されている。そのため、コンバージョンダイノード31、32から放出された電子の多くは、図1中に太線矢印で示すように電子増倍管33の方向へと向かい、効率良く電子増倍管33に到達して検出される。 As described above, since the voltage V 2 applied to the shielding plate 34 is lower than the voltage V 3 applied to the conversion dynodes 31 and 32, as shown in FIG. 3, conversion to ions that have passed through the ion passage 34 a is performed. A force that pushes back ions from the dynodes 31 and 32 side to the shielding plate 34 side acts. However, since the potential difference between V 2 and V 3 is small, the force to push back the ions is small, and the ions that have passed through the ion passage 34a are sufficiently accelerated, so that the conversion dynodes 31 and 32 have almost no trouble. To reach. When ions collide with the conversion dynodes 31 and 32, electrons are emitted instead. This electrons are emitted in various directions, by the applied voltage V 4 to the applied voltage V 3 and the electron multiplier 33 to the conversion dynode 31 and 32, from the conversion dynode 31 and 32 to the photomultiplier tube 33 An electric field that accelerates electrons is formed. On the other hand, between the conversion dynodes 31 and 32 and the shielding plate 34, a weak (gradient potential gradient) electric field having a force to push back electrons emitted from the conversion dynodes 31 and 32 toward the conversion dynodes 31 and 32 is formed. Has been. Therefore, most of the electrons emitted from the conversion dynodes 31 and 32 are directed toward the electron multiplier 33 as shown by the thick arrows in FIG. 1 and efficiently reach the electron multiplier 33 to be detected. The

なお、遮蔽板34によって、コンバージョンダイノード31、32側の電場とリニアイオントラップ2側の電場とは相互に殆ど影響を及ぼさない。即ち、遮蔽板34は電場を遮る機能も有する。   The shielding plate 34 hardly affects the electric field on the conversion dynodes 31 and 32 side and the electric field on the linear ion trap 2 side. That is, the shielding plate 34 also has a function of shielding the electric field.

図4は、イオン及び電子の軌道のシミュレーション結果を示す図である。ここでは、構成を簡単にするために、コンバージョンダイノード31、32と遮蔽板34とを一体化しており、それを同電位(−8kV)にしている。また、遮蔽板34とリニアイオントラップ2との間には、電位を0Vに定めた別の遮蔽板36を挿入している。これは、遮蔽板34の電位により形成される電場の影響がリニアイオントラップ2に及ぶのを回避するためである。さらにまた、イオン排出口21a、22aの外側でイオン排出口21a、22aの中心軸を挟んで遮蔽板34と反対側には、イオン排出口21a、22aを囲うように断面L字状の遮蔽板35を挿入している。この遮蔽板35は、イオン排出口21a、22aから出射したイオンが遮蔽板34と反対側に拡散するのを回避するためのものである。さらにまた、電子増倍管33を囲むように遮蔽板37を配置している。この遮蔽板37は電子増倍管33の入射面へ電子が入射し得る範囲を制限するものである。それにより、コンバージョンダイノード31、32から放出される電子以外の電子(又はそのほかの荷電粒子)が電子増倍管33の入射面へ入射することを抑制し、ノイズを低減することができる。これら遮蔽板35、36、37は必須の要素ではないものの、実用的にはかなり有効である。   FIG. 4 is a diagram showing simulation results of ion and electron trajectories. Here, in order to simplify the configuration, the conversion dynodes 31 and 32 and the shielding plate 34 are integrated and set to the same potential (−8 kV). Further, another shielding plate 36 having a potential set to 0 V is inserted between the shielding plate 34 and the linear ion trap 2. This is to avoid the influence of the electric field formed by the potential of the shielding plate 34 from reaching the linear ion trap 2. Furthermore, a shielding plate having an L-shaped cross section is provided on the opposite side of the shielding plate 34 across the central axis of the ion discharging ports 21a and 22a outside the ion discharging ports 21a and 22a so as to surround the ion discharging ports 21a and 22a. 35 is inserted. The shielding plate 35 is for avoiding diffusion of ions emitted from the ion discharge ports 21a and 22a to the side opposite to the shielding plate 34. Furthermore, a shielding plate 37 is disposed so as to surround the electron multiplier tube 33. The shielding plate 37 limits the range in which electrons can enter the incident surface of the electron multiplier 33. Thereby, it is possible to suppress the incidence of electrons (or other charged particles) other than the electrons emitted from the conversion dynodes 31 and 32 to the incident surface of the electron multiplier 33, and to reduce noise. Although these shielding plates 35, 36 and 37 are not essential elements, they are practically quite effective.

図4に示されているように、リニアイオントラップ2のイオン排出口21a、22aから排出されたイオンは排出直後から徐々に軌道を曲げられ、イオン通過口34aを通過してコンバージョンダイノード31、32に到達している。つまり、共鳴励起によってリニアイオントラップ2から排出された目的イオンは無駄なくコンバージョンダイノード31、32に到達している。また、コンバージョンダイノード31、32から放出された電子はその両方からほぼ等距離に位置する電子増倍管33の入射面に無駄なく到達している。この結果から、各部の配置や形状、印加電圧などを適切に定めることによって、リニアイオントラップ2から排出される目的イオンに対応する検出信号を高い感度で得られることが確認できる。   As shown in FIG. 4, the ions discharged from the ion discharge ports 21a and 22a of the linear ion trap 2 are gradually bent in the trajectory immediately after the discharge, pass through the ion passage port 34a, and the conversion dynodes 31 and 32. Has reached. That is, target ions ejected from the linear ion trap 2 by resonance excitation reach the conversion dynodes 31 and 32 without waste. Further, the electrons emitted from the conversion dynodes 31 and 32 reach the incident surface of the electron multiplier 33 located substantially equidistant from both of them without waste. From this result, it can be confirmed that the detection signal corresponding to the target ion discharged from the linear ion trap 2 can be obtained with high sensitivity by appropriately determining the arrangement, shape, applied voltage, and the like of each part.

なお、上記実施例は本発明の一例であり、本発明の趣旨の範囲で適宜変形、修正、追加を行っても本願特許請求の範囲に包含されることは当然である。
例えば、遮蔽板34、コンバージョンダイノード、電子増倍管33などの配置や形状は適宜に変更することができる。また、上述したように、それぞれ所定の電位に設定される遮蔽板35、36、37などの任意の構成要素を追加しても構わない。
The above-described embodiment is an example of the present invention, and it is a matter of course that modifications, corrections, and additions may be appropriately made within the scope of the present invention, and included in the scope of the claims of the present application.
For example, the arrangement and shape of the shielding plate 34, the conversion dynode, the electron multiplier 33, and the like can be changed as appropriate. Further, as described above, arbitrary components such as the shielding plates 35, 36, and 37 that are set to predetermined potentials may be added.

2…リニアイオントラップ
21、22、23、24…ロッド状電極
21a、22a…イオン排出口
25、26…端部電極
25a、26a…イオン導入口
3…イオン検出器
31、32…コンバージョンダイノード
33…電子増倍管
34、35、36、37…遮蔽板
34a…イオン通過口
4…制御部
5…イオントラップ電源部
6…遮蔽板電源部
7…コンバージョンダイノード電源部
8…検出器電源部
C…中心軸
2 ... Linear ion traps 21, 22, 23, 24 ... Rod-shaped electrodes 21a, 22a ... Ion discharge ports 25, 26 ... End electrodes 25a, 26a ... Ion introduction ports 3 ... Ion detectors 31, 32 ... Conversion dynodes 33 ... Electron multipliers 34, 35, 36, 37 ... shielding plate 34a ... ion passage 4 ... control unit 5 ... ion trap power supply unit 6 ... shielding plate power supply unit 7 ... conversion dynode power supply unit 8 ... detector power supply unit C ... center axis

Claims (3)

a)中心軸の周りに互いに略平行に配置された複数のロッド状電極を含み、該ロッド状電極で囲まれる内部空間に保持したイオンを外部へ排出するためのイオン排出口を複数有するリニアイオントラップと、
b)前記リニアイオントラップにおける複数のイオン排出口に対応してそれぞれ設けられ、各イオン排出口を通して排出されたイオンを受けて電子を放出する複数のコンバージョンダイノードと、
c)前記リニアイオントラップと前記複数のコンバージョンダイノードとの間に設けられ、前記リニアイオントラップにおける複数のイオン排出口を通して排出されたイオンをそれぞれ通過させる複数のイオン通過開口を有する遮蔽板と、
d)前記遮蔽板からみて前記複数のコンバージョンダイノードと同じ側に位置し、該複数のコンバージョンダイノードから放出された電子を受けてその電子の量に応じた検出信号を出力する共通の検出部と、
e)前記リニアイオントラップにおける複数のイオン排出口を通して排出されたイオンを誘引する電圧を前記遮蔽板に印加し、該遮蔽板への印加電圧と同じ又はそれよりも高い電圧を前記複数のコンバージョンダイノードに印加し、さらに該複数のコンバージョンダイノードへの印加電圧よりも高い電圧を前記検出部に印加する電圧印加部と、
を備えることを特徴とする質量分析装置。
a) Linear ions including a plurality of rod-shaped electrodes arranged substantially parallel to each other around the central axis, and having a plurality of ion discharge ports for discharging ions held in an internal space surrounded by the rod-shaped electrodes to the outside Trap and
b) a plurality of conversion dynodes provided corresponding to a plurality of ion discharge ports in the linear ion trap, respectively, for receiving ions discharged through each ion discharge port and emitting electrons;
c) a shielding plate provided between the linear ion trap and the plurality of conversion dynodes and having a plurality of ion passage openings through which ions discharged through the plurality of ion discharge ports in the linear ion trap respectively pass;
d) a common detection unit that is located on the same side as the plurality of conversion dynodes as viewed from the shielding plate, receives electrons emitted from the plurality of conversion dynodes, and outputs a detection signal according to the amount of the electrons;
e) A voltage for attracting ions ejected through a plurality of ion outlets in the linear ion trap is applied to the shielding plate, and a voltage equal to or higher than an applied voltage to the shielding plate is applied to the plurality of conversion dynodes. A voltage application unit that further applies a voltage higher than the voltage applied to the plurality of conversion dynodes to the detection unit;
A mass spectrometer comprising:
請求項1に記載の質量分析装置であって、
前記電圧印加部は、前記遮蔽板への印加電圧よりも高い電圧を前記複数のコンバージョンダイノードにそれぞれ印加することを特徴とする質量分析装置。
The mass spectrometer according to claim 1,
The mass spectrometer according to claim 1, wherein the voltage application unit applies a voltage higher than a voltage applied to the shielding plate to each of the plurality of conversion dynodes.
請求項1又は2に記載の質量分析装置であって、
前記複数のイオン排出口は前記リニアイオントラップの中心軸を挟んで対向して設けられ、前記遮蔽板に設けられた前記複数のイオン通過開口、前記複数のコンバージョンダイノード、及び前記共通の検出器は、前記リニアイオントラップの中心軸を含む前記複数のイオン排出口の対称面に対して面対称である位置に配置されてなることを特徴とする質量分析装置。
The mass spectrometer according to claim 1 or 2,
The plurality of ion discharge ports are provided to face each other across the central axis of the linear ion trap, and the plurality of ion passage openings provided in the shielding plate, the plurality of conversion dynodes, and the common detector include The mass spectrometer is arranged at a position that is plane-symmetric with respect to the symmetry plane of the plurality of ion discharge ports including the central axis of the linear ion trap.
JP2016214367A 2016-11-01 2016-11-01 Mass spectrometer Active JP6772764B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016214367A JP6772764B2 (en) 2016-11-01 2016-11-01 Mass spectrometer

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016214367A JP6772764B2 (en) 2016-11-01 2016-11-01 Mass spectrometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018073703A true JP2018073703A (en) 2018-05-10
JP6772764B2 JP6772764B2 (en) 2020-10-21

Family

ID=62115486

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016214367A Active JP6772764B2 (en) 2016-11-01 2016-11-01 Mass spectrometer

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6772764B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022024397A1 (en) * 2020-07-31 2022-02-03 株式会社島津製作所 Ion trap device and mass spectrometry device
WO2022024398A1 (en) * 2020-07-31 2022-02-03 株式会社島津製作所 Ion trap and mass spectrometer

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11709155B2 (en) 2017-09-18 2023-07-25 Waters Technologies Corporation Use of vapor deposition coated flow paths for improved chromatography of metal interacting analytes
US11709156B2 (en) 2017-09-18 2023-07-25 Waters Technologies Corporation Use of vapor deposition coated flow paths for improved analytical analysis
US11918936B2 (en) 2020-01-17 2024-03-05 Waters Technologies Corporation Performance and dynamic range for oligonucleotide bioanalysis through reduction of non specific binding

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10154483A (en) * 1996-11-22 1998-06-09 Shimadzu Corp Ion detector
JP2004131567A (en) * 2002-10-09 2004-04-30 Hamamatsu Photonics Kk Illuminant, and electron beam detector, scanning electron microscope and mass spectrometer using the same
US20080067361A1 (en) * 2006-05-05 2008-03-20 Senko Michael W Efficient detection for ion traps

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10154483A (en) * 1996-11-22 1998-06-09 Shimadzu Corp Ion detector
JP2004131567A (en) * 2002-10-09 2004-04-30 Hamamatsu Photonics Kk Illuminant, and electron beam detector, scanning electron microscope and mass spectrometer using the same
US20080067361A1 (en) * 2006-05-05 2008-03-20 Senko Michael W Efficient detection for ion traps

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022024397A1 (en) * 2020-07-31 2022-02-03 株式会社島津製作所 Ion trap device and mass spectrometry device
WO2022024398A1 (en) * 2020-07-31 2022-02-03 株式会社島津製作所 Ion trap and mass spectrometer

Also Published As

Publication number Publication date
JP6772764B2 (en) 2020-10-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6772764B2 (en) Mass spectrometer
JP4931793B2 (en) Mass spectrometer focal plane detector assembly
JP5301285B2 (en) Focused mass spectrometer ion guide, spectrometer and method
JP5307844B2 (en) Methods and systems for ion mobility analysis and ion trap mass spectrometry
US20080073530A1 (en) Method and apparatus for detecting positively charged and negatively charged ionized particles
JP5870848B2 (en) Ion guide and mass spectrometer
CA2648746C (en) Efficient detection for ion traps
US20180174810A1 (en) Charged particle detector
JP3653504B2 (en) Ion trap mass spectrometer
JP2003031178A (en) Quadrupole mass spectrometer
US9570282B2 (en) Ionization within ion trap using photoionization and electron ionization
JP2018515899A (en) Double bending ion guide and apparatus using the same
US11315772B2 (en) MCP assembly and charged particle detector
CN109449074B (en) Ion extraction device for ionization source of mass spectrometer
US9082599B2 (en) Mass spectrometer ion trap having asymmetric end cap apertures
JP5626448B2 (en) Ion guide and mass spectrometer
JP7192736B2 (en) Linear ion trap and its operation method
US11139153B2 (en) MCP assembly and charged particle detector
US20200350153A1 (en) Mass spectrometer
US20230105334A1 (en) High-speed polarity switching dual conversion dynode ion detector for mass spectrometer
JP7217189B2 (en) Ion detector
WO2022024398A1 (en) Ion trap and mass spectrometer
WO2022024397A1 (en) Ion trap device and mass spectrometry device
US20210382005A1 (en) Ion detector
JP2012003836A (en) Mass analyzer

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190328

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20200219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200310

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20200427

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200901

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200914

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6772764

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151