JP2018069380A

JP2018069380A - Actuator and gripper

Info

Publication number: JP2018069380A
Application number: JP2016212307A
Authority: JP
Inventors: 近藤　伸樹; Nobuki Kondo; 伸樹近藤
Original assignee: IAI Corp
Current assignee: IAI Corp
Priority date: 2016-10-28
Filing date: 2016-10-28
Publication date: 2018-05-10

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator configured so as to be able to reduce the size in a moving direction of sliders and balance in a lateral direction along the moving direction of the sliders while securing larger strokes, and a gripper.SOLUTION: The actuator is provided with: a linear guide; a plurality of sliders provided along the linear guide connectably and releasably; and a motor, arranged on a surface at the opposite side of the surface of the linear guide having the plurality of sliders provided, which drives the plurality of sliders.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、アクチュエータとそのアクチュエータを使用したグリッパに係り、特に、大きなストロークを確保しつつ、スライダ移動方向の大きさを小さくできるとともに、スライダ移動方向に沿った左右のバランスをとれるように工夫したものに関する。 The present invention relates to an actuator and a gripper using the actuator, and in particular, it is possible to reduce the size of the slider moving direction while ensuring a large stroke, and to devise a balance between left and right along the slider moving direction. About things.

従来のアクチュエータを開示するものとして、例えば、特許文献１、特許文献２、等がある。
まず、特許文献１に記載された発明によるボールねじ一体型直動案内ユニットは、同軸上に並んだ２本のボールねじ軸があり、それぞれのボールねじ軸にボールねじナットが螺合されている。これらボールねじナットのそれぞれには、スライダが固着されていて、これらのスライダが同じ案内レールにガイドされて移動可能になっている。
また、上記ボールねじ一体型直動案内ユニットには、２つのモータが設置されている。それぞれの上記ボールねじ軸の端部には上記モータが連結されていて、これらモータによって上記ボールねじ軸のそれぞれを回転、駆動させる。 For example, Patent Literature 1 and Patent Literature 2 disclose conventional actuators.
First, the ball screw integrated linear motion guide unit according to the invention described in Patent Document 1 has two ball screw shafts arranged on the same axis, and a ball screw nut is screwed to each ball screw shaft. . A slider is fixed to each of the ball screw nuts, and these sliders are guided by the same guide rail so as to be movable.
The ball screw integrated linear motion guide unit is provided with two motors. The motors are connected to the end portions of the ball screw shafts, and the ball screw shafts are rotated and driven by the motors.

そして、上記２本のボールねじ軸の回転により、上記それぞれのボールねじナットを介して上記それぞれのスライダを離接させる。 Then, the respective sliders are brought into contact with each other through the respective ball screw nuts by the rotation of the two ball screw shafts.

次に、特許文献２に記載された発明による直線作動ユニットには、互いに逆向きの雄ネジが形成された第１のねじ軸と第２のねじ軸がある。これら第１のねじ軸と第２のねじ軸はカップリングによって連結されている。
上記第１のねじ軸には第１のナットブロックが螺合されており、上記第２のねじ軸には第２のナットブロックが螺合されている。上記第１のナットブロックと第２のナットブロックは、案内レールによりガイドされて移動可能になっている。
上記第１のねじ軸の端部には、回転継手を介して、駆動モータが連結される。
この駆動モータによって上記第１のねじ軸と第２のねじ軸を回転させることにより、上記第１のナットブロックと第２のナットブロックを離接させる。 Next, the linear operation unit according to the invention described in Patent Document 2 includes a first screw shaft and a second screw shaft in which male screws opposite to each other are formed. The first screw shaft and the second screw shaft are connected by a coupling.
A first nut block is screwed to the first screw shaft, and a second nut block is screwed to the second screw shaft. The first nut block and the second nut block are guided by a guide rail and are movable.
A drive motor is connected to the end of the first screw shaft via a rotary joint.
By rotating the first screw shaft and the second screw shaft by this drive motor, the first nut block and the second nut block are brought into contact with each other.

特開２００９−１２１５７０号公報JP 2009-121570 A 特許第３０８０２５２号公報Japanese Patent No. 30080252

上記従来の構成によると、次のような問題があった。
すなわち、特許文献１に記載された発明によるボールねじ一体型直動案内ユニットにおいて、上記２つのモータは、それぞれの上記ボールねじ軸の端部に設置されているため、上記ボールねじ一体型直動案内ユニットがスライダ移動方向に大きくなってしまい、設置場所やスライダに取り付けた対象物の移動範囲が制限されてしまうという問題があった。
また、上記ボールねじ一体型直動案内ユニットのスライダに、例えば、把持用の爪を取り付けて、これらの爪によって対象物を把持するグリッパとして使用する場合には、上記グリッパの移動範囲が制限されてしまうことになり、特に、ストロークを大きくしたい場合に顕著である。
また、特許文献２に記載された発明による直線作動ユニットにおいても、第１のねじ軸の端部に駆動モータが連結されているので、特許文献1に記載された発明ほどではないが同様の問題があるとともに、この場合には、駆動モータが片側のみに連結されているので、例えば、グリッパとして使用した場合に、左右のバランスが崩れてしまうという問題もあった。 The conventional configuration has the following problems.
That is, in the ball screw integrated linear motion guide unit according to the invention described in Patent Document 1, the two motors are installed at the ends of the respective ball screw shafts. There is a problem that the guide unit becomes large in the slider moving direction, and the moving range of the object attached to the installation place or the slider is limited.
In addition, for example, when gripping claws are attached to the slider of the ball screw integrated linear motion guide unit and used as a gripper for gripping an object by these claws, the movement range of the gripper is limited. This is particularly noticeable when it is desired to increase the stroke.
Also, in the linear operation unit according to the invention described in Patent Document 2, since the drive motor is connected to the end of the first screw shaft, the same problem is not as in the invention described in Patent Document 1. In addition, in this case, since the drive motor is connected to only one side, for example, when used as a gripper, there is a problem that the right and left balance is lost.

本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、大きなストロークを確保しつつ、スライダ移動方向の大きさを小さくすることができるとともに、スライダ移動方向に沿った左右のバランスをとれるアクチュエータとグリッパを提供することにある。 The present invention has been made based on such points, and the object of the present invention is to reduce the size of the slider moving direction while ensuring a large stroke and to follow the slider moving direction. It is to provide an actuator and a gripper that can balance left and right.

上記目的を達成するべく本願発明の請求項１によるアクチュエータは、リニアガイドと、上記リニアガイドに沿って離接可能に設けられた複数個のスライダと、上記複数個のスライダが設けられている上記リニアガイドの面の反対側の面に設けられ上記複数個のスライダを駆動するモータと、を具備したことを特徴とするものである。
また、請求項２によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記モータは上記リニアガイドの略中央に設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項３によるアクチュエータは、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記複数個のスライダが設けられている上記リニアガイドの面側には上記スライダが移動するための開口部が設けられていて、該開口部は開口部カバによって遮蔽されていることを特徴とするものである。
また、請求項４によるアクチュエータは、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記モータを内装するモータカバが設置されており、上記モータカバには上記アクチュエータを別の機器に取り付けるための取付部が設けられていることを特徴とするものである。
また、請求項５によるアクチュエータは、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダはねじ軸及びねじナットにより駆動されることを特徴とするものである。
また、請求項６によるアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２個、上記ねじナットが２個、上記ねじ軸が２本、設置され、上記２本のねじ軸は平行であって異軸にオフセットされた状態で配置されていることを特徴とするものである。
また、請求項７によるアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２個、上記ねじナットが２個、上記ねじ軸が２本、設置され、上記ねじ軸はそれぞれ互いに逆向きのねじ溝を備えていることを特徴とするものである。
また、請求項８によるアクチュエータは、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２個、上記ねじナットが２個、上記ねじ軸が１本、設置され、上記ねじ軸の両側に互いに逆向きのねじ溝をそれぞれ備えていることを特徴とするものである。
また、請求項９によるアクチュエータは、請求項１〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２つ設置されており、上記２つのスライダを連結する可撓性部材が設置されていて、上記２つのスライダの一方を移動させることにより上記２つのスライダが離接する方向に移動されることを特徴とするものである。
また、請求項１０によるグリッパは、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータと、上記スライダに設置された把持用爪と、を具備したことを特徴とするものである。 In order to achieve the above object, an actuator according to claim 1 of the present invention includes a linear guide, a plurality of sliders provided so as to be detachable along the linear guide, and the plurality of sliders. And a motor that is provided on a surface opposite to the surface of the linear guide and drives the plurality of sliders.
According to a second aspect of the present invention, in the actuator according to the first aspect, the motor is installed at substantially the center of the linear guide.
According to a third aspect of the present invention, in the actuator according to the first or second aspect, an opening for moving the slider is provided on the surface side of the linear guide where the plurality of sliders are provided. The opening is shielded by the opening cover.
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the actuator according to any one of the first to third aspects, wherein a motor cover that houses the motor is installed, and the motor cover is attached to another device. The attachment part is provided.
An actuator according to claim 5 is the actuator according to any one of claims 1 to 4, wherein the slider is driven by a screw shaft and a screw nut.
The actuator according to claim 6 is the actuator according to claim 5, wherein two sliders, two screw nuts, and two screw shafts are provided, and the two screw shafts are parallel to each other. It is characterized by being arranged in a state offset to a different axis.
The actuator according to claim 7 is the actuator according to claim 5, wherein two sliders, two screw nuts, and two screw shafts are installed, and the screw shafts are screwed in opposite directions. It is characterized by having a groove.
An actuator according to claim 8 is the actuator according to claim 5, wherein two sliders, two screw nuts, and one screw shaft are installed, and are opposite to each other on both sides of the screw shaft. Each is provided with a thread groove.
An actuator according to claim 9 is the actuator according to any one of claims 1 to 5, wherein the two sliders are provided, and a flexible member that connects the two sliders is provided. Thus, by moving one of the two sliders, the two sliders are moved in the direction of separating and contacting each other.
According to a tenth aspect of the present invention, a gripper includes the actuator according to any one of the first to ninth aspects and a gripping claw installed on the slider.

以上述べたように、本願発明の請求項１によるアクチュエータによると、リニアガイドと、上記リニアガイドに沿って離接可能に設けられた複数個のスライダと、上記複数個のスライダが設けられている上記リニアガイドの面の反対側の面に設けられ上記複数個のスライダを駆動するモータと、を具備したので、大きなストロークを確保しつつ、スライダ移動方向の大きさを小さくすることができる。また、上記モータがスライダ移動方向の端部に設置される構成にはなっていないので、スライダ移動方向に沿った左右のバランスをとることができる。
また、請求項２によるアクチュエータによると、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記モータは上記リニアガイドの略中央に設置されているので、更にスライダ移動方向のバランスがよく、扱いやすいものとなる。
また、請求項３によるアクチュエータによると、請求項１又は請求項２記載のアクチュエータにおいて、上記複数個のスライダが設けられている上記リニアガイドの面側には上記スライダが移動するための開口部が設けられていて、該開口部は開口部カバによって遮蔽されているので、上記開口部カバによって上記リニアガイド等が設置されている側への塵埃の進入を防止することができ、円滑な動作を保つことができる。
また、請求項４によるアクチュエータによると、請求項１〜請求項３の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記モータを内装するモータカバが設置されており、上記モータカバには上記アクチュエータを別の機器に取り付けるための取付部が設けられているので、上記アクチュエータを容易に他の機器に取り付けることができる。
また、請求項５によるアクチュエータによると、請求項１〜請求項４の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダはねじ軸及びねじナットにより駆動されるので、上記スライダを上記ねじ軸と上記ねじナットによって高精度に移動できる。
また、請求項６によるアクチュエータによると、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２個、上記ねじナットが２個、上記ねじ軸が２本、設置され、上記２本のねじ軸は平行であって異軸にオフセットされた状態で配置されているので、更にスライダ移動方向の大きさを小さくすることができる。
また、請求項７によるアクチュエータによると、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２個、上記ねじナットが２個、上記ねじ軸が２本、設置され、上記ねじ軸はそれぞれ互いに逆向きのねじ溝を備えているので、簡易な構成により上記２つのスライダを連動して互いに離間又は近接する方向に移動させることができる。
また、請求項８によるアクチュエータによると、請求項５記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２個、上記ねじナットが２個、上記ねじ軸が１本、設置され、上記ねじ軸の両側に互いに逆向きのねじ溝をそれぞれ備えているので、より簡易な構成により上記２つのスライダを連動して互いに離間又は近接する方向に移動させることができる。
また、請求項９によるアクチュエータによると、請求項１〜請求項５の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダが２つ設置されており、上記２つのスライダを連結する可撓性部材が設置されていて、上記２つのスライダの一方を移動させることにより上記２つのスライダが離接する方向に移動されるので、簡易な構成により上記２つのスライダを連動して互いに離間又は近接する方向に移動させることができる。
また、請求項１０によるグリッパによると、請求項１〜請求項９の何れかに記載のアクチュエータと、上記スライダに設置された把持用爪と、を具備したので、グリッパについて、大きなストロークを確保しつつ、スライダ移動方向の大きさを小さくすることができる。 As described above, according to the actuator of claim 1 of the present invention, the linear guide, the plurality of sliders provided so as to be detachable along the linear guide, and the plurality of sliders are provided. And a motor for driving the plurality of sliders provided on the surface opposite to the surface of the linear guide, so that the size in the slider moving direction can be reduced while ensuring a large stroke. In addition, since the motor is not configured to be installed at the end in the slider moving direction, it is possible to balance left and right along the slider moving direction.
Further, according to the actuator according to claim 2, in the actuator according to claim 1, since the motor is installed at substantially the center of the linear guide, the slider moving direction is further well balanced and easy to handle.
According to an actuator according to claim 3, in the actuator according to claim 1 or 2, there is an opening for moving the slider on the surface side of the linear guide on which the plurality of sliders are provided. Since the opening is shielded by the opening cover, the opening cover can prevent dust from entering the side where the linear guide or the like is installed, and smooth operation can be achieved. Can keep.
According to an actuator of a fourth aspect, in the actuator according to any one of the first to third aspects, a motor cover that houses the motor is installed, and the motor cover is attached to another device. Therefore, the actuator can be easily attached to another device.
According to an actuator according to claim 5, in the actuator according to any one of claims 1 to 4, the slider is driven by a screw shaft and a screw nut, so that the slider is connected to the screw shaft and the screw nut. Can move with high accuracy.
According to an actuator according to claim 6, in the actuator according to claim 5, two sliders, two screw nuts, and two screw shafts are provided, and the two screw shafts are parallel to each other. In addition, since it is arranged in a state offset to a different axis, the size in the slider moving direction can be further reduced.
According to an actuator according to claim 7, in the actuator according to claim 5, two sliders, two screw nuts, and two screw shafts are installed, and the screw shafts are opposite to each other. Since the screw groove is provided, the two sliders can be interlocked and moved in directions away from or close to each other with a simple configuration.
According to an actuator according to claim 8, in the actuator according to claim 5, two sliders, two screw nuts, and one screw shaft are installed, and are opposite to each other on both sides of the screw shaft. Therefore, the two sliders can be interlocked and moved in a direction away from or close to each other with a simpler configuration.
According to an actuator according to claim 9, in the actuator according to any one of claims 1 to 5, two sliders are provided, and a flexible member that connects the two sliders is provided. Then, by moving one of the two sliders, the two sliders are moved in a direction in which they are separated from each other. Therefore, the two sliders are moved in a direction away from or in close proximity to each other with a simple configuration. Can do.
Further, according to the gripper according to the tenth aspect, since the actuator according to any one of the first to ninth aspects and the gripping claws installed on the slider are provided, a large stroke is secured for the gripper. However, the size in the slider moving direction can be reduced.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、グリッパが設置された水平多関節ロボットの斜視図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is a perspective view of the horizontal articulated robot with which the gripper was installed. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２（ａ）はアクチュエータをスライダ側から視た斜視図、図２（ｂ）は図２（ａ）に示す状態からスライダを外側に移動させた状態を示す斜視図である。FIGS. 2A and 2B are views showing the first embodiment of the present invention, FIG. 2A is a perspective view of the actuator as viewed from the slider side, and FIG. 2B is a state where the slider is moved outward from the state shown in FIG. It is a perspective view which shows the state made to do. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３（ａ）はアクチュエータのサイドカバ、開口部カバ、スライダカバ、及び、モータカバを除去した状態の平面図、図３（ｂ）は図３（ａ）のＩＩＩｂ−ＩＩＩｂ断面図である。FIGS. 3A and 3B are views showing a first embodiment of the present invention, in which FIG. 3A is a plan view with the side cover, opening cover, slider cover, and motor cover of the actuator removed, and FIG. It is IIIb-IIIb sectional drawing of a). 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図３（ｂ）のＩＶ−ＩＶ断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention, and is IV-IV sectional drawing of FIG.3 (b). 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータのサイドカバ、開口部カバ、モータカバを除去した状態で、ボールねじ軸用歯車付近を示した拡大図である。FIG. 3 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, and is an enlarged view showing the vicinity of a ball screw shaft gear with the side cover, opening cover, and motor cover of the actuator removed. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、第１スライダ及び第２スライダ付近を示した縦断面図である。It is a figure which shows the 1st Embodiment of this invention and is the longitudinal cross-sectional view which showed the 1st slider and the 2nd slider vicinity. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの本体カバ、開口部カバ、スライダカバ、及び、モータカバを除去した状態で、ガイド部材の一部を除去して、タイミングプーリ及びタイミングベルト付近を示した斜視図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a first embodiment of the present invention, in which a part of a guide member is removed in the state where an actuator main body cover, an opening cover, a slider cover, and a motor cover are removed, and the vicinity of a timing pulley and a timing belt It is the perspective view which showed. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、アクチュエータを示す平面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is a top view which shows an actuator. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図８のＩＸ−ＩＸ断面図である。It is a figure which shows the 2nd Embodiment of this invention, and is IX-IX sectional drawing of FIG. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、アクチュエータを示す縦断面図である。It is a figure which shows the 3rd Embodiment of this invention, and is a longitudinal cross-sectional view which shows an actuator.

以下、図１乃至図７を参照しながら、本発明の第１の実施の形態について説明する。
この第１の実施の形態では、図１に示すように、アクチュエータ１に把持用爪３、３を取り付け、グリッパ５として使用している。そして、このグリッパ５を水平多関節ロボット７の先端に取り付けて使用している。 Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
In the first embodiment, as shown in FIG. 1, gripping claws 3 and 3 are attached to the actuator 1 and used as a gripper 5. The gripper 5 is attached to the tip of the horizontal articulated robot 7 for use.

まず、水平多関節ロボット７の構成について説明する。
上記水平多関節ロボット７には、設置面９に固定された基部１１がある。この基部１１内には図示しないモータが内装されており、この図示しないモータによって上記基部１１に対して回転、駆動される第１アーム１３が設置されている。この第１アーム１３の先端側（図１中左側）には第２アーム１５が設置されている。この第２アーム１５の基端側（図１中右側）には図示しないモータが内装されていて、この図示しないモータによって上記第２アーム１５が上記第１アーム１３に対して回転、駆動される。これにより、上記第２アーム１５の先端側部分が、ＸＹ平面内に移動される。 First, the configuration of the horizontal articulated robot 7 will be described.
The horizontal articulated robot 7 has a base 11 fixed to the installation surface 9. A motor (not shown) is housed in the base 11, and a first arm 13 that is rotated and driven with respect to the base 11 by the motor (not shown) is installed. A second arm 15 is installed on the distal end side (left side in FIG. 1) of the first arm 13. A motor (not shown) is provided on the base end side (right side in FIG. 1) of the second arm 15, and the second arm 15 is rotated and driven with respect to the first arm 13 by the motor (not shown). . Thereby, the tip side portion of the second arm 15 is moved in the XY plane.

また、上記第２アーム１５の先端側にはボールスプライン軸１７が設置されている。上記第２アーム１５内には、図示しないボールスプラインナットが内装されており、この図示しないボールスプラインナットによって、上記ボールスプライン軸１７がＺ軸方向（図１中上下方向）に移動可能に設置されている。また、上記図示しないボールスプラインナットは、図示しない軸受によってＺ軸を回転中心として回転可能に設置されている。
上記第２アーム１５内には、上記図示しないボールスプラインナットを介して上記ボールスプライン軸１７を回転させるための図示しないモータが内装されている。この図示しないモータの出力軸と上記図示しないボールスプラインナットには、それぞれ、図示しないタイミングプーリが固着されていて、これらのタイミングプーリには図示しないタイミングベルトが巻回されている。上記図示しないモータの出力軸の回転は、上記図示しないタイミングプーリとタイミングベルトによって上記図示しないボールスプラインナット、ひいては、上記ボールスプライン軸１７に伝達される。 A ball spline shaft 17 is installed on the distal end side of the second arm 15. A ball spline nut (not shown) is housed inside the second arm 15, and the ball spline nut 17 is installed so as to be movable in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1) by the ball spline nut (not shown). ing. The ball spline nut (not shown) is installed so as to be rotatable about the Z axis by a bearing (not shown).
A motor (not shown) for rotating the ball spline shaft 17 via the ball spline nut (not shown) is provided in the second arm 15. A timing pulley (not shown) is fixed to the output shaft of the motor (not shown) and the ball spline nut (not shown), and a timing belt (not shown) is wound around these timing pulleys. The rotation of the output shaft of the motor (not shown) is transmitted to the ball spline nut (not shown) and thus to the ball spline shaft 17 by the timing pulley and timing belt (not shown).

また、上記第２アーム１５内には、図示しないボールねじナットが回転可能に内装されている。この図示しないボールねじナットには、Ｚ軸用ボールねじ軸１９が螺合されている。このＺ軸用ボールねじ軸１９の図１中上端側は、連結部材２１を介して上記ボールスプライン軸１７の図１中上端側に連結されている。上記連結部材２１には図示しない軸受が設置されていて、これにより上記ボールスプライン軸１７が上記連結部材２１に対して回転可能なようになっている。また、上記Ｚ軸用ボールねじ軸１９は、上記連結部材２１によって回転を規制されている。
上記第２アーム１５内には、上記図示しないボールねじナットを回転させるための図示しないモータが内装されていて、このモータによって上記図示しないボールねじナットを回転させると、上記Ｚ軸用ボールねじ軸１９、ひいては、上記ボールスプライン軸１７がＺ軸方向（図１中上下方向）に移動されるようになっている。 A ball screw nut (not shown) is rotatably mounted in the second arm 15. A Z-axis ball screw shaft 19 is screwed onto the ball screw nut (not shown). The upper end side of the Z-axis ball screw shaft 19 in FIG. 1 is connected to the upper end side of the ball spline shaft 17 in FIG. The connecting member 21 is provided with a bearing (not shown) so that the ball spline shaft 17 can rotate with respect to the connecting member 21. Further, the rotation of the Z-axis ball screw shaft 19 is restricted by the connecting member 21.
A motor (not shown) for rotating the ball screw nut (not shown) is built in the second arm 15, and when the ball screw nut (not shown) is rotated by the motor, the ball screw shaft for the Z axis is provided. 19. As a result, the ball spline shaft 17 is moved in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1).

上記ボールスプライン軸１７の先端（図１中下端）には、取付部材２３を介して、グリッパ５が設置されている。
以上のような構成から、上記水平多関節ロボット７によって、上記グリッパ５が、３次元空間内の任意の位置に移動される。
また、上記グリッパ５は、上記把持用爪３、３を互いに接近させる方向に移動させることで、図示しない把持対象物を把持することができる。また、上記グリッパ５は、上記把持用爪３、３を互いに離間させる方向に移動させることで、図示しない把持対象物の把持を解除することができる。 A gripper 5 is installed at the tip (lower end in FIG. 1) of the ball spline shaft 17 via an attachment member 23.
From the above configuration, the gripper 5 is moved to an arbitrary position in the three-dimensional space by the horizontal articulated robot 7.
Further, the gripper 5 can grip a gripping target object (not shown) by moving the gripping claws 3 and 3 in a direction in which the gripping claws 3 and 3 approach each other. Further, the gripper 5 can release the gripping object (not shown) by moving the gripping claws 3 and 3 in a direction in which they are separated from each other.

次に、アクチュエータ１の構成について説明する。
まず、上記アクチュエータ１には、ハウジング３１がある。このハウジング３１には、図２（ａ）中左下から右上に向かう方向に延長されたリニアガイド３３と、このリニアガイド３３の前後方向（図２（ａ）中左下から右上に向かう方向）両端に設置されたハウジング端部カバ３５、３６と、上記リニアガイド３３の上側の幅方向（図２（ａ）中右下から左上に向かう方向）両端側に設置されたサイドカバ３７、３７がある。 Next, the configuration of the actuator 1 will be described.
First, the actuator 1 has a housing 31. The housing 31 includes a linear guide 33 extending in the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2A, and both ends of the linear guide 33 in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2A). There are housing end covers 35 and 36 installed, and side covers 37 and 37 installed on both ends of the linear guide 33 on the upper side in the width direction (the direction from the lower right to the upper left in FIG. 2A).

また、上記サイドカバ３７、３７間の上側には隙間があり、これが上記ハウジング３１の開口部３９となっている。
この開口部３９は、図２、図３に示すように、例えば、ステンレス製のシート状の部材からなる開口部カバ４１によって閉塞されている。この開口部カバ４１の両端側は、上記ハウジング端部カバ３５、３６の図２（ａ）中上側と開口部カバ固定部材４３、４３との間に挿入及び固定されている。上記開口部カバ固定部材４３は、固定用ネジ４５、４５によって、上記ハウジング端部カバ３５、３６に固定されている。 Further, there is a gap on the upper side between the side covers 37, 37, and this is an opening 39 of the housing 31.
As shown in FIGS. 2 and 3, the opening 39 is closed by an opening cover 41 made of, for example, a stainless steel sheet-like member. Both end sides of the opening cover 41 are inserted and fixed between the upper side of the housing end covers 35 and 36 in FIG. 2A and the opening cover fixing members 43 and 43. The opening cover fixing member 43 is fixed to the housing end covers 35 and 36 by fixing screws 45 and 45.

また、上記ハウジング３１の図２（ａ）中下側には、モータカバ４７が設置されている。このモータカバ４７は、前後方向（図２（ａ）中左下から右上に向かう方向）に延長され、幅方向（図２（ａ）中右下から左上に向かう方向）両側と図２（ａ）中下側を閉塞するモータカバ本体４９と、このモータカバ本体４９の前後方向（図２（ａ）中左下から右上に向かう方向）両端側を閉塞するモータ用端部カバ５１、５１とから構成される。
また、図１に示すように、上記モータカバ本体４９の図１中上側の面を介して上記アクチュエータ１が上記水平多関節ロボットの取付部材２３に取り付けられる。上記モータカバ本体４９の図１中上側には、図示しない雌ネジ部が形成されており、上記取付部材２３に取付用ボルト５３を貫通させて上記図示しない雌ネジ部に螺合させることで、上記アクチュエータ１が上記取付部材２３に固定される。
また、上記モータカバ本体４９の側面にも、上記取付部材２３を取り付けることができるように構成されている。すなわち、上記モータカバ本体４９の側面には、略Ｔ字型の横断面形状を成す取付用溝５２が形成されており、この取付用溝５２内に挿入された図示しないナットに上記取付用ボルト５３を螺合させて、上記取付部材２３を固定できるようになっている。 A motor cover 47 is installed on the lower side of the housing 31 in FIG. The motor cover 47 is extended in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2A), and on both sides in the width direction (the direction from the lower right to the upper left in FIG. 2A) and in FIG. 2A. A motor cover main body 49 that closes the lower side, and motor end covers 51 and 51 that close both ends of the motor cover main body 49 in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2A).
Further, as shown in FIG. 1, the actuator 1 is attached to the attachment member 23 of the horizontal articulated robot through the upper surface of the motor cover main body 49 in FIG. A female screw portion (not shown) is formed on the upper side of the motor cover main body 49 in FIG. 1, and the above-described female screw portion (not shown) is screwed into the mounting member 23 by passing through a mounting bolt 53. The actuator 1 is fixed to the mounting member 23.
Further, the attachment member 23 can be attached to the side surface of the motor cover main body 49. That is, a mounting groove 52 having a substantially T-shaped cross section is formed on the side surface of the motor cover main body 49, and the mounting bolt 53 is attached to a nut (not shown) inserted into the mounting groove 52. And the mounting member 23 can be fixed.

図４に示すように、上記リニアガイド３３は、略Ｕ字型の断面形状を成しており、その内側の両側面には、ガイドレール用溝５５、５６が形成されている。上記ガイドレール用溝５５にはガイドレール５７が挿入及び固定されていて、上記ガイドレール用溝５６には、ガイドレール５８が挿入及び固定されている。上記ガイドレール５７には、ガイド用凹部５９が形成されている。上記ガイドレール５８にも、同様にガイド用凹部５９が形成されている。 As shown in FIG. 4, the linear guide 33 has a substantially U-shaped cross-sectional shape, and guide rail grooves 55 and 56 are formed on both inner side surfaces thereof. A guide rail 57 is inserted and fixed in the guide rail groove 55, and a guide rail 58 is inserted and fixed in the guide rail groove 56. A guide recess 59 is formed in the guide rail 57. Similarly, a guide recess 59 is formed in the guide rail 58.

また、上記リニアガイド３３に沿って移動可能に、第１スライダ６１と第２スライダ６３が設置されている。
上記第１スライダ６１には、図５に示すように、スライダ本体６４がある。このスライダ本体６４の図５中上側の幅方向（図５中左上から右下に向かう方向）両端側から図５中上側に向けてスライダ側取付部６５、６５が突出するように形成されている。上記スライダ側取付部６５には、対象物取付用雌ネジ部６７が形成されている。また、上記スライダ側取付部６５の中央にはスライダカバ取付用凹部６９が形成されており、このスライダカバ取付用凹部６９内にはスライダカバ取付用雌ネジ部７１が形成されている。 A first slider 61 and a second slider 63 are installed so as to be movable along the linear guide 33.
The first slider 61 has a slider body 64 as shown in FIG. The slider body 64 is formed so that slider-side mounting portions 65 and 65 protrude from both ends of the slider main body 64 in the width direction on the upper side in FIG. 5 (from the upper left to the lower right in FIG. 5) toward the upper side in FIG. . The slider-side attachment portion 65 is formed with an object attachment female thread portion 67. A slider cover mounting recess 69 is formed at the center of the slider side mounting portion 65, and a slider cover mounting female screw portion 71 is formed in the slider cover mounting recess 69.

図２に示すように、上記スライダ本体６４の上側にはスライダカバ７３が取り付けられる。このスライダカバ７３は、固定用ネジ７５、７５を貫通させて上記スライダカバ取付用雌ネジ部７１、７１に螺合させることで、上記第１スライダ６１に固定されている。
また、開口部カバ４１は、図６に示すように、上記スライダ側取付部６５、６５と上記スライダカバ７３の間の空間を貫通するように配置されている。
また、上記スライダ本体６４の、上記スライダ側取付部６５、６５間であって、前後方向（図６中左右方向）の端側部には、開口部カバ用ガイド部材７６、７６が設置されている。また、上記スライダカバ７３の内側の前後方向（図６中左右方向）両端にも、開口部カバ用ガイド部材７８、７８が設置されている。上記開口部カバ用ガイド部材７６、７６は、上記第１スライダ６１の前後方向（図６中左右方向）中央側に向けて上り勾配となっているとともに、上記開口部カバ用ガイド部材７８、７８も、上記第１スライダ６１の前後方向（図６中左右方向）中央側に向けて上り勾配となっており、上記開口部カバ４１が上記スライダカバ７３の内側に向かって滑らかに湾曲されている。これにより、上記第１スライダ６１が円滑に移動可能になっている。 As shown in FIG. 2, a slider cover 73 is attached to the upper side of the slider body 64. The slider cover 73 is fixed to the first slider 61 by passing through fixing screws 75, 75 and screwing the slider cover 73 into the slider cover mounting female threads 71, 71.
Further, as shown in FIG. 6, the opening cover 41 is disposed so as to penetrate the space between the slider-side mounting portions 65, 65 and the slider cover 73.
Also, opening cover guide members 76, 76 are installed between the slider-side mounting portions 65, 65 of the slider body 64 and at the end side portions in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 6). Yes. Also, opening cover guide members 78 and 78 are provided at both ends in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 6) inside the slider cover 73. The opening cover guide members 76 and 76 have an upward slope toward the center in the front-rear direction (left and right direction in FIG. 6) of the first slider 61, and the opening cover guide members 78 and 78. Also, the first cover 61 has an upward slope toward the center in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 6), and the opening cover 41 is smoothly curved toward the inner side of the slider cover 73. Thereby, the first slider 61 can move smoothly.

また、前記した把持用爪３、３のうちの一方は、例えば、図示しない固定用ネジを貫通させ、上記対象物取付用雌ネジ部６７に螺合させることで、上記第１スライダ６１に固定される。 In addition, one of the gripping claws 3 and 3 is fixed to the first slider 61 by, for example, passing a fixing screw (not shown) and screwing into the object mounting female screw portion 67. Is done.

また、図５に示すように、上記スライダ本体６４には、前後方向（図５中左下から右上に向かう方向）に延長された２つの貫通孔７７、７９が平行に形成されている。 As shown in FIG. 5, the slider main body 64 is formed with two through holes 77 and 79 extending in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5) in parallel.

また、例えば、図３に示すように上記スライダ本体６４の幅方向の一方側（図３中紙面垂直方向奥側）の前後端（図３中左右端）には、それぞれエンドキャップ８１、８１が設置されている。また、図５に示すように、上記スライダ本体６４の幅方向の他方側（図５中右下側）の前後端（図５中左下から右上に向かう方向の両端）にも、それぞれエンドキャップ８３、８３が設置されている。上記エンドキャップ８１、８１、８３、８３には、それぞれ図示しないリターン路が形成されている。
また、上記スライダ本体６４内には前後方向（図５中左下から右上に向かう方向）に延長された２つの図示しない無負荷循環路が形成されており、上記スライダ本体６４の幅方向両側面には、それぞれ前後方向（図５中左下から右上に向かう方向）に延長された図示しない凹部が形成されている。 Further, for example, as shown in FIG. 3, end caps 81 and 81 are respectively provided at the front and rear ends (left and right ends in FIG. 3) on one side in the width direction of the slider body 64 (the back side in the vertical direction in FIG. 3). is set up. As shown in FIG. 5, end caps 83 are also provided at the front and rear ends (both ends in the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5) on the other side in the width direction of the slider body 64 (lower right in FIG. 5). , 83 are installed. Each of the end caps 81, 81, 83, 83 has a return path (not shown).
In addition, two unloaded circulation paths (not shown) extending in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5) are formed in the slider main body 64, and are formed on both side surfaces of the slider main body 64 in the width direction. Are formed with recesses (not shown) that extend in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5).

上記スライダ本体６４内の２つの図示しない無負荷循環路の一方、上記エンドキャップ８１、８１のうちの一方の図示しないリターン路、上記第１スライダの両側面のうちの一方の凹部と上記ガイドレール５７のガイド用凹部５９との間の空間、及び、上記エンドキャップ８１、８１のうちの他方の図示しないリターン路内には、図示しない鋼球が転動及び循環される。
また、上記スライダ本体６４内の２つの図示しない無負荷循環路の他方、上記エンドキャップ８３、８３のうちの一方の図示しないリターン路、上記第１スライダの両側面のうちの他方の凹部と上記ガイドレール５８のガイド用凹部５９との間の空間、及び、上記エンドキャップ８３、８３のうちの他方の図示しないリターン路内にも、図示しない鋼球が転動及び循環される。
これにより、上記第１スライダ６１は、上記リニアガイド３３のガイドレール５７、５８によって図２中左下から右上に向かう方向にガイドされて移動可能に設置されている。 One of the two unloaded circulation paths (not shown) in the slider body 64, one return path (not shown) of the end caps 81, 81, one recess on both side surfaces of the first slider, and the guide rail A steel ball (not shown) rolls and circulates in a space between the 57 guide recesses 59 and the other return path (not shown) of the end caps 81 and 81.
The other of two unloaded circulation paths (not shown) in the slider body 64, the return path (not shown) of one of the end caps 83, 83, the other concave portion of both side surfaces of the first slider, and the above A steel ball (not shown) rolls and circulates in the space between the guide rail 58 and the guide recess 59 and the other return path (not shown) of the end caps 83 and 83.
Thus, the first slider 61 is guided by the guide rails 57 and 58 of the linear guide 33 in the direction from the lower left to the upper right in FIG.

また、上記第２スライダ６３も上記第１スライダ６１と同様の構成となっており、上記リニアガイド３３のガイドレール５７、５８によって図２中左下から右上に向かう方向にガイドされて移動可能に設置されている。
なお、上記第２スライダ６３については、上記第１スライダ６１の各部と同一部分には同一符号を付して示しその説明を省略する。また、前記した把持用爪３、３のうちの他方は、上記第２スライダ６３に固定されている。 The second slider 63 has the same configuration as the first slider 61, and is guided by the guide rails 57 and 58 of the linear guide 33 in the direction from the lower left to the upper right in FIG. Has been.
In addition, about the said 2nd slider 63, the same code | symbol is attached | subjected to the part same as each part of the said 1st slider 61, and the description is abbreviate | omitted. The other of the gripping claws 3 and 3 is fixed to the second slider 63.

また、例えば、図３及び図５に示すように、上記リニアガイド３３には、第１ボールねじ軸９１と第２ボールねじ軸９３が回転可能に設置されている。上記第１ボールねじ軸９１の図３（ｂ）中右端側には歯車取付軸９２が設けられている。また、上記第２ボールねじ軸９３の図３（ｂ）中左端側には歯車取付軸９４が設けられている。
図３に示すように、上記リニアガイド３３の図３中左右方向中央側には、第１ボールねじ軸用支持部材９５が立設されている。この第１ボールねじ軸用支持部材９５には軸受９７、９７が設置されており、上記ハウジング端部カバ３５には軸受９８が設置されていて、これら軸受９７、９７、９８によって、上記第１ボールねじ軸９１が回転可能に支持されている。
また、図３に示すように、上記リニアガイド３３の図３中左右方向中央側には、第２ボールねじ軸用支持部材９９が立設されている。この第２ボールねじ軸用支持部材９９、９９には軸受１０１が設置されており、上記ハウジング端部カバ３６には軸受１０２が設置されていて、これら軸受１０１、１０１、１０２を介して、上記第２ボールねじ軸９３が回転可能に支持されている。 For example, as shown in FIGS. 3 and 5, a first ball screw shaft 91 and a second ball screw shaft 93 are rotatably installed on the linear guide 33. A gear mounting shaft 92 is provided on the right end side of the first ball screw shaft 91 in FIG. A gear mounting shaft 94 is provided on the left end side of the second ball screw shaft 93 in FIG.
As shown in FIG. 3, a first ball screw shaft support member 95 is erected on the center side of the linear guide 33 in the left-right direction in FIG. The first ball screw shaft support member 95 is provided with bearings 97, 97, and the housing end cover 35 is provided with a bearing 98, and the bearings 97, 97, 98 serve as the first bearing. A ball screw shaft 91 is rotatably supported.
As shown in FIG. 3, a second ball screw shaft support member 99 is erected on the center side of the linear guide 33 in the left-right direction in FIG. A bearing 101 is installed on the second ball screw shaft support members 99, 99, and a bearing 102 is installed on the housing end cover 36. The bearings 101, 101, 102 are used to A second ball screw shaft 93 is rotatably supported.

上記第１ボールねじ軸９１の外周面には、雄ネジ部１０３が形成されている。
また、上記第２ボールねじ軸９３の外周面にも、雄ネジ部１０５が形成されている。
上記雄ネジ部１０３と上記雄ネジ部１０５は、同じ向きの螺旋状の溝となっている。 A male screw portion 103 is formed on the outer peripheral surface of the first ball screw shaft 91.
A male screw portion 105 is also formed on the outer peripheral surface of the second ball screw shaft 93.
The male screw portion 103 and the male screw portion 105 are spiral grooves in the same direction.

また、図５に示すように、上記第１ボールねじ軸９１と上記第２ボールねじ軸９３は、互いに並行であって異軸にオフセットされた状態で設置されている。
図５に示すように、上記歯車取付軸９２の先端側（図５中右端側）には、歯車１０７が固着されている。また、上記歯車取付軸９４の先端側（図５中左端側）には、歯車１０９が固着されている。上記歯車１０７と上記歯車１０９は噛合されており、例えば、上記第１ボールねじ軸９１が回転されれば、上記第２ボールねじ軸９３は上記第１ボールねじ９１とは逆向きに回転されるようになっている。 As shown in FIG. 5, the first ball screw shaft 91 and the second ball screw shaft 93 are installed in a state of being parallel to each other and offset to different axes.
As shown in FIG. 5, a gear 107 is fixed to the tip end side (right end side in FIG. 5) of the gear mounting shaft 92. A gear 109 is fixed to the tip end side (left end side in FIG. 5) of the gear mounting shaft 94. The gear 107 and the gear 109 are meshed. For example, when the first ball screw shaft 91 is rotated, the second ball screw shaft 93 is rotated in the opposite direction to the first ball screw 91. It is like that.

また、上記第１ボールねじ軸９１は上記第１スライダ６１の貫通孔７７を貫通して設置されており、上記第２ボールねじ軸９３は上記第２スライダ６３の貫通孔７９を貫通して設置されている。
上記第１スライダ６１の貫通孔７７の一端側（図３（ｂ）中右端側）には、ボールねじナット８０が固着されていて、このボールねじナット８０に上記第１ボールねじ軸９１が螺合されている。上記ボールねじナット８０には、上記第１ボールねじ軸９１によって貫通される図示しない貫通孔が形成されている。この図示しない貫通孔の内周面には図示しない雌ネジ部が形成されている。また、上記ボールねじナットには、上記雌ネジ部に連通される図示しない無負荷循環路が形成されている。上記第１ボールねじ軸９１の雄ネジ部１０３と上記図示しない雌ネジ部との間の空間、及び、上記図示しない無負荷循環路には、図示しない複数の鋼球が転動及び循環される。 The first ball screw shaft 91 is installed through the through hole 77 of the first slider 61, and the second ball screw shaft 93 is installed through the through hole 79 of the second slider 63. Has been.
A ball screw nut 80 is fixed to one end side (the right end side in FIG. 3B) of the through hole 77 of the first slider 61, and the first ball screw shaft 91 is screwed to the ball screw nut 80. Are combined. The ball screw nut 80 is formed with a through hole (not shown) that is penetrated by the first ball screw shaft 91. A female screw portion (not shown) is formed on the inner peripheral surface of the through hole (not shown). The ball screw nut is provided with a non-load circuit (not shown) that communicates with the female screw portion. A plurality of steel balls (not shown) roll and circulate in the space between the male screw portion 103 of the first ball screw shaft 91 and the female screw portion (not shown) and the no-load circulation path (not shown). .

上記第２スライダ６３の貫通孔７７の一端側（図３（ｂ）中左端側）にも、同様に、ボールねじナット８０が固着されていて、このボールねじナット８０に上記第２ボールねじ軸９３が螺合されている。 Similarly, a ball screw nut 80 is fixed to one end side (the left end side in FIG. 3B) of the through hole 77 of the second slider 63, and the second ball screw shaft is attached to the ball screw nut 80. 93 is screwed together.

また、図３（ｂ）、図５に示すように、上記リニアガイド３３の、上記第１スライダ６１や第２スライダ６３が設置された面（図３中上側の面）とは反対側の面（図３（ｂ）中下側の面）のスライダ移動方向（図３（ｂ）中左右方向）中央に、モータ１１１が設置されている。このモータ１１１の出力軸１１３にはモータ側タイミングプーリ１１５が固着されている。
一方、図５に示すように、上記歯車取付軸９２の上記歯車１０７よりも基端側（図５中左側）には、第１ボールねじ軸側タイミングプーリ１１７が固着されている。
上記モータ側タイミングプーリ１１５と上記第１ボールねじ軸側タイミングプーリ１１７には、タイミングベルト１１９が巻回されている。これにより、上記モータ１１１の出力軸１１３の回転が、上記第１ボールねじ軸９１に伝達される。 3B and 5, the surface of the linear guide 33 opposite to the surface on which the first slider 61 and the second slider 63 are installed (the upper surface in FIG. 3). A motor 111 is installed at the center of the slider movement direction (left and right direction in FIG. 3B) on the lower surface in FIG. 3B. A motor side timing pulley 115 is fixed to the output shaft 113 of the motor 111.
On the other hand, as shown in FIG. 5, a first ball screw shaft side timing pulley 117 is fixed to the base end side (left side in FIG. 5) of the gear mounting shaft 92 from the gear 107.
A timing belt 119 is wound around the motor side timing pulley 115 and the first ball screw shaft side timing pulley 117. Thereby, the rotation of the output shaft 113 of the motor 111 is transmitted to the first ball screw shaft 91.

また、図３、図５に示すように、上記モータ１１１の後端側（図３右側）には、エンコーダ１２１が設置されている。このエンコーダ１２１によって、上記モータ１１１の出力軸１１３の回転数や回転角度を検出し、上記第１スライダ６１や第２スライダ６３の位置を算出するようになっている。
なお、上記モータ１１１は、ブラケット１１２を介して上記リニアガイド３３の裏面に固着されており、その上に、既に説明したモータカバ４７が被されている。 As shown in FIGS. 3 and 5, an encoder 121 is installed on the rear end side (right side in FIG. 3) of the motor 111. The encoder 121 detects the rotation speed and rotation angle of the output shaft 113 of the motor 111, and calculates the positions of the first slider 61 and the second slider 63.
The motor 111 is fixed to the back surface of the linear guide 33 via a bracket 112, and the motor cover 47 described above is covered thereon.

次に、この第１の実施の形態による作用について説明する。
まず、モータ１１１の出力軸１１３が回転、駆動されると、モータ側タイミングプーリ１１５、第１ねじ軸側タイミングプーリ１１７、及び、タイミングベルト１１９を介して、第１ボールねじ軸９１が上記モータ１１１の出力軸１１３と同方向に回転される。
また、上記第１ボールねじ軸９１の回転が歯車１０７、１０９を介して第２ボールねじ軸９３に伝達され、この第２ボールねじ軸９３は上記第１ボールねじ軸９１とは逆方向に回転される。 Next, the operation of the first embodiment will be described.
First, when the output shaft 113 of the motor 111 is rotated and driven, the first ball screw shaft 91 is moved to the motor 111 via the motor side timing pulley 115, the first screw shaft side timing pulley 117, and the timing belt 119. The output shaft 113 is rotated in the same direction.
The rotation of the first ball screw shaft 91 is transmitted to the second ball screw shaft 93 via gears 107 and 109, and the second ball screw shaft 93 rotates in the direction opposite to the first ball screw shaft 91. Is done.

上記第１ボールねじ軸９１と上記第２ボールねじ軸９３が、回転された際、第１スライダ６１と第２スライダ６３も回転されようとするが、上記第１スライダ６１と上記第２スライダ６３は、上記リニアガイド３３のガイドレール５７、５８によって図２中左下から右上に向かう方向にガイドされて移動可能に設置されていることから、上記第１スライダ６１と第２スライダ６３の回転が規制され、上記第１スライダ６１と第２スライダ６３が移動される。
上記第１ボールねじ軸９１の回転により第１スライダ６１が移動され、上記第２ボールねじ軸９３の回転により第２スライダ６３が移動されるが、前記したように、上記第１ボールねじ軸９１と上記第２ボールねじ軸９３は、互いに逆方向に回転されるため、上記第１スライダ６１と上記第２スライダ６３は、互いに離接する方向へ移動される。 When the first ball screw shaft 91 and the second ball screw shaft 93 are rotated, the first slider 61 and the second slider 63 are also rotated, but the first slider 61 and the second slider 63 are rotated. Is guided by the guide rails 57 and 58 of the linear guide 33 in the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2, so that the rotation of the first slider 61 and the second slider 63 is restricted. Then, the first slider 61 and the second slider 63 are moved.
The first slider 61 is moved by the rotation of the first ball screw shaft 91 and the second slider 63 is moved by the rotation of the second ball screw shaft 93. As described above, the first ball screw shaft 91 is moved. Since the second ball screw shaft 93 is rotated in the opposite direction, the first slider 61 and the second slider 63 are moved in a direction in which they are separated from each other.

また、上記第１スライダ６１に把持用爪３が取り付けられており、同様に、上記第２スライダ６３にも把持用爪３が取り付けられている。よって、上記第１スライダ６１と上記第２スライダ６３を互いに接近する方向に移動させると、上記把持用爪３、３間に対象物を把持させることができる。また、上記第１スライダ６１と上記第２スライダ６３を互いに離間する方向に移動させると、上記把持用爪３、３による対象物の把持を解除することができる。 Further, the gripping claws 3 are attached to the first slider 61, and similarly, the gripping claws 3 are attached to the second slider 63. Therefore, when the first slider 61 and the second slider 63 are moved in a direction approaching each other, the object can be gripped between the gripping claws 3 and 3. Further, when the first slider 61 and the second slider 63 are moved away from each other, the gripping of the object by the gripping claws 3 and 3 can be released.

次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、アクチュエータ１のスライダ移動方向（図３（ｂ）中左右方向）の大きさを小さくすることができる。これは、リニアガイド３３の軸方向端部ではなく、第１スライダ６１や第２スライダ６３が設置された面（図３（ｂ）中上側の面）とは反対側の面（図３（ｂ）中下側の面）に、モータ１１１を設置したからである。その結果、大きなストロークを確保するべくリニアガイド３３を長くすることにも容易に対応することができる。
また、スライダ移動方向（図３（ｂ）中左右方向）に沿った左右のバランスをとることができる。これは、スライダ移動方向（図３（ｂ）中左右方向）の端部ではなく、中央にモータ１１１を設置したからである。なお、上記第１スライダ６１や第２スライダ６３が設置された面（図３（ｂ）中上側の面）とは反対側の面（図３（ｂ）中下側の面）にモータ１１１を設置したことにより、上記モータ１１１をスライダ移動方向（図３（ｂ）中左右方向）の端部に設置しなくてもよい構成となっている。 Next, the effect of the first embodiment will be described.
First, the size of the actuator 1 in the slider moving direction (left-right direction in FIG. 3B) can be reduced. This is not the axial end of the linear guide 33, but the surface opposite to the surface (the upper surface in FIG. 3B) on which the first slider 61 and the second slider 63 are installed (FIG. 3B). This is because the motor 111 is installed on the middle lower surface). As a result, it is possible to easily cope with lengthening the linear guide 33 to ensure a large stroke.
Further, it is possible to balance left and right along the slider moving direction (left and right direction in FIG. 3B). This is because the motor 111 is installed at the center, not at the end in the slider moving direction (left and right direction in FIG. 3B). The motor 111 is placed on the surface (the lower surface in FIG. 3B) opposite to the surface on which the first slider 61 and the second slider 63 are installed (the upper surface in FIG. 3B). Since the motor 111 is installed, the motor 111 does not need to be installed at the end in the slider moving direction (left and right direction in FIG. 3B).

また、ハウジング３１の開口部３９が開口部カバ４１によって閉塞されているので、上記アクチュエータ１内部への塵埃などの異物の侵入を防止でき、これにより、上記第１スライダ６１や上記第２スライダ６３の円滑な動作を確保することができる。 Further, since the opening 39 of the housing 31 is closed by the opening cover 41, it is possible to prevent foreign matters such as dust from entering the actuator 1 and thereby the first slider 61 and the second slider 63. Smooth operation can be ensured.

また、第１ボールねじ軸９１と上記第１スライダ６１のボールねじナット８０によって上記第１スライダ６１が移動され、第２ボールねじ軸９３と上記第２スライダ６３のボールねじナット８０によって上記第１スライダ６３が移動されるので、上記第１スライダ６１と第２スライダ６３を高精度で移動させることができる。 The first slider 61 is moved by the first ball screw shaft 91 and the ball screw nut 80 of the first slider 61, and the first ball screw shaft 93 and the ball screw nut 80 of the second slider 63 move the first slider 61. Since the slider 63 is moved, the first slider 61 and the second slider 63 can be moved with high accuracy.

また、図５に示すように、上記第１ボールねじ軸９１と上記第２ボールねじ軸９３は、互いに平行であって異軸にオフセットされた状態で設置されているので、さらに上記アクチュエータ１のスライダ移動方向（図２（ａ）中左下から右上に向かう方向）の大きさを小さくすることができる。また、上記第１ボールねじ軸９１の先端側（図５中右端側）の歯車１０７と上記第２ボールねじ軸９３の先端側（図５中左端側）の歯車１０９が噛合されており、上記第１ボールねじ軸９１と上記第２ボールねじ軸９３が互いに逆向きに回転されるようになっているので、簡易な構成により上記第１スライダ６１と第２スライダ６３を連動して互いに離間又は近接する方向に移動させることができる。 Further, as shown in FIG. 5, the first ball screw shaft 91 and the second ball screw shaft 93 are installed in a state where they are parallel to each other and offset to different axes. The size of the slider moving direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 2A) can be reduced. The gear 107 on the front end side (right end side in FIG. 5) of the first ball screw shaft 91 and the gear 109 on the front end side (left end side in FIG. 5) of the second ball screw shaft 93 are meshed, Since the first ball screw shaft 91 and the second ball screw shaft 93 are rotated in directions opposite to each other, the first slider 61 and the second slider 63 can be interlocked with each other with a simple structure. It can be moved in the close direction.

次に、図８及び図９を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
図８、図９に示すように、この第２の実施の形態によるアクチュエータ１２１には、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様にリニアガイド３３と、このリニアガイド３３に設置されたガイドレール５７、５８がある。
なお、図８、図９では、端部カバ、サイドカバ、及び、開口部カバは省略している。
また、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に上記リニアガイド３３のガイドレール５７、５８によってガイドされる第１スライダ１２３と第２スライダ１２５が設置されている。これら第１スライダ１２３と第２スライダ１２５は、前記第１の実施の形態による第１スライダ６１、第２スライダ６３とほぼ同様の構成であり、それぞれ１個の貫通孔１２７が形成されている。また、上記第１スライダ１２３の上記貫通孔１２７内にのみボールねじナット１２８が内装されている。このボールねじナット１２８は、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１のボールねじナット８０と同様の構成である。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIGS. 8 and 9, the actuator 121 according to the second embodiment includes a linear guide 33 and a guide installed on the linear guide 33 like the actuator 1 according to the first embodiment. There are rails 57,58.
8 and 9, the end cover, the side cover, and the opening cover are omitted.
Similarly to the actuator 1 according to the first embodiment, a first slider 123 and a second slider 125 guided by the guide rails 57 and 58 of the linear guide 33 are provided. The first slider 123 and the second slider 125 have substantially the same configuration as the first slider 61 and the second slider 63 according to the first embodiment, and each has one through-hole 127. In addition, a ball screw nut 128 is provided only in the through hole 127 of the first slider 123. The ball screw nut 128 has the same configuration as the ball screw nut 80 of the actuator 1 according to the first embodiment.

また、上記リニアガイド３３には、ボールねじ軸支持部材１２９、１３１が設置されている。図９に示すように、上記ボールねじ軸支持部材１２９には、軸受１３３が内装されており、上記ボールねじ軸支持部材１３１には、軸受１３５、１３５が内装されている。 The linear guide 33 is provided with ball screw shaft support members 129 and 131. As shown in FIG. 9, the ball screw shaft support member 129 includes a bearing 133, and the ball screw shaft support member 131 includes bearings 135 and 135.

また、図９に示すように、上記アクチュエータ１２１には、ボールねじ軸１３６が設けられている。このボールねじ軸１３６の図９中右端にはプーリ取付軸１３８が設けられている。図９に示すように、上記軸受１３３、１３５、１３５によって、ボールねじ軸１３６が回転可能に支持されている。このボールねじ軸１３６は、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１の第１ボールねじ軸９１や第２ボールねじ軸９３と略同様の構成である。
なお、上記ボールねじ軸１３６の図９中右端側は、上記プーリ取付軸１３８を介して上記軸受１３５、１３５によって支持されている。
上記ボールねじ軸１３６には、上記第１スライダ１２３のボールねじナット１２８が螺合されている。 As shown in FIG. 9, the actuator 121 is provided with a ball screw shaft 136. A pulley mounting shaft 138 is provided at the right end of the ball screw shaft 136 in FIG. As shown in FIG. 9, the ball screw shaft 136 is rotatably supported by the bearings 133, 135, and 135. The ball screw shaft 136 has substantially the same configuration as the first ball screw shaft 91 and the second ball screw shaft 93 of the actuator 1 according to the first embodiment.
The right end side of the ball screw shaft 136 in FIG. 9 is supported by the bearings 135 and 135 via the pulley mounting shaft 138.
A ball screw nut 128 of the first slider 123 is screwed onto the ball screw shaft 136.

また、図８に示すように、上記第１スライダ１２３と第２スライダ１２５は、可撓性部材としてのベルト１３７、１３９によって連結されている。なお、本発明においては、可撓性部材には弾性変形される部材の他、チェーンのような、複数の要素を連結して曲げることができるように構成した部材も含まれる。
上記リニアガイド３３には、ローラ支持部材１４１、１４３が立設されている。上記ローラ支持部材１４１には、軸部材１４２と、この軸部材１４２に設置された軸受１４４、１４４を介して、ローラ１４５が回転可能に設置されている。また、上記ローラ支持部材１４３にも、軸部材１４６と、この軸部材１４６に設置された軸受１４７、１４７を介して、ローラ１４９が回転可能に設置されている。 As shown in FIG. 8, the first slider 123 and the second slider 125 are connected by belts 137 and 139 as flexible members. In the present invention, the flexible member includes not only a member that is elastically deformed but also a member that can be bent by connecting a plurality of elements such as a chain.
Roller support members 141 and 143 are erected on the linear guide 33. A roller 145 is rotatably installed on the roller support member 141 via a shaft member 142 and bearings 144 and 144 installed on the shaft member 142. The roller support member 143 is also rotatably provided with a roller 149 via a shaft member 146 and bearings 147 and 147 installed on the shaft member 146.

図８に示すように、上記ベルト１３７は、その一端側が上記第２スライダ１２５の図８中下側の側面に連結され、上記ローラ１４５に巻回されることで、途中で折り返されて、その他端側は上記第１スライダ１２３の図８中上側の側面に連結されている。
また、上記ベルト１３９も同様に、その一端側が上記第２スライダ１２５の図８中下側の側面に連結され、上記ローラ１４９に巻回されることで、途中で折り返されて、その他端側は上記第１スライダ１２３の図８中上側の側面に連結されている。
このような構成により、上記第１スライダ１２３が移動されると、上記第２スライダ１２５は上記第２スライダ１２３とは逆方向に移動され、結局、第１スライダ１２３と第２スライダ１２５が離接するようになっている。 As shown in FIG. 8, the belt 137 has one end connected to the lower side surface of the second slider 125 in FIG. 8 and wound around the roller 145 so that it is folded halfway, The end side is connected to the upper side surface of the first slider 123 in FIG.
Similarly, one end side of the belt 139 is connected to the lower side surface of the second slider 125 in FIG. 8 and is wound around the roller 149 so that it is folded halfway, and the other end side is The first slider 123 is connected to the upper side surface in FIG.
With this configuration, when the first slider 123 is moved, the second slider 125 is moved in the opposite direction to the second slider 123, and the first slider 123 and the second slider 125 are eventually separated from each other. It is like that.

また、図９に示すように、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に、リニアガイド３３の上記第１スライダ１２３や第２スライダ１２５が設けられた面の反対側の面（図９中下側）には、モータ１１１が設置されている。また、上記ボールねじ軸１３６の図９中右側端には、ボールねじ軸側タイミングプーリ１５１が固着されている。
モータ側タイミングプーリ１１５と上記ボールねじ軸側タイミングプーリ１５１には、ボールねじ軸用タイミングベルト１５３が巻回されている。これにより、上記モータ１１１の出力軸１１３の回転が、上記ボールねじ軸１３６に伝達される。
なお、上記アクチュエータ１２１と前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同一部分には同一の符号を付して示し、その説明を省略する。 Further, as shown in FIG. 9, similarly to the actuator 1 according to the first embodiment, the surface of the linear guide 33 opposite to the surface on which the first slider 123 and the second slider 125 are provided (FIG. 9). A motor 111 is installed on the middle and lower side. A ball screw shaft side timing pulley 151 is fixed to the right end of the ball screw shaft 136 in FIG.
A ball screw shaft timing belt 153 is wound around the motor side timing pulley 115 and the ball screw shaft side timing pulley 151. Thereby, the rotation of the output shaft 113 of the motor 111 is transmitted to the ball screw shaft 136.
The same parts as those of the actuator 121 and the actuator 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

次に、この第２の実施の形態による作用について説明する。
まず、モータ１１１の出力軸１１３が回転、駆動されると、モータ側タイミングプーリ１１５、ボールねじ軸側タイミングプーリ１５１、及び、ボールねじ軸用タイミングベルト１５３を介して、ボールねじ軸１３６が回転される。
これにより、第１スライダ１２３が移動される。第２スライダ１２５も、ベルト１３７、１３９によって引っ張られて、上記第１スライダ１２３とは逆の方向に移動される。すなわち、上記第１スライダ１２３と上記第２スライダ１２５は、互いに離接する方向に移動される。 Next, the operation of the second embodiment will be described.
First, when the output shaft 113 of the motor 111 is rotated and driven, the ball screw shaft 136 is rotated through the motor side timing pulley 115, the ball screw shaft side timing pulley 151, and the ball screw shaft timing belt 153. The
Thereby, the first slider 123 is moved. The second slider 125 is also pulled by the belts 137 and 139 and moved in the opposite direction to the first slider 123. That is, the first slider 123 and the second slider 125 are moved in a direction in which they are separated from each other.

次に、この第２の実施の形態による効果について説明する。
この第２の実施の形態によるアクチュエータ１２１の場合は、１つのボールねじ軸１３６だけが設置されているので、より簡易な構成により、第１スライダ１２３と第２スライダ１２５を互いに離接する方向に移動させることができる。
その他、前記第１の実施の形態の場合と略同様の効果を奏することができる。 Next, the effect of the second embodiment will be described.
In the case of the actuator 121 according to the second embodiment, since only one ball screw shaft 136 is installed, the first slider 123 and the second slider 125 are moved away from each other with a simpler configuration. Can be made.
In addition, substantially the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained.

次に、図１０を参照しながら、本発明の第３の実施の形態について説明する。
図１０に示すように、この第３の実施の形態によるアクチュエータ１６１には、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に、リニアガイド３３と、このリニアガイド３３に設置されたガイドレール５７と、図示しないガイドレールがある。
なお、図１０では、サイドカバ及び開口部カバは省略している。
また、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に、上記リニアガイド３３のガイドレール５７と図示しないガイドレールによってガイドされる第１スライダ１６３と第２スライダ１６５が設置されている。これら第１スライダ１６３と第２スライダ１６５にはスライダ本体１６６があり、このスライダ本体１６６には貫通孔１６７が形成されている。また、上記第１スライダ１６３側の貫通孔１６７内にボールねじナット１６９が内装されていて、上記第２スライダ１６５側の貫通孔１６７内にボールねじナット１７１が内装されている。このボールねじナット１６９、１７１は、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１の図示しないボールねじナットと同様の構成である。また、上記ボールねじナット１７１の図示しない雌ネジ部は上記ボールねじナット１６９の図示しない雌ネジ部とは逆向きになっている。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 10, the actuator 161 according to the third embodiment includes a linear guide 33 and a guide rail 57 installed on the linear guide 33, like the actuator 1 according to the first embodiment. There is a guide rail (not shown).
In FIG. 10, the side cover and the opening cover are omitted.
Similarly to the actuator 1 according to the first embodiment, a guide rail 57 of the linear guide 33 and a first slider 163 and a second slider 165 guided by a guide rail (not shown) are installed. The first slider 163 and the second slider 165 have a slider body 166, and a through hole 167 is formed in the slider body 166. A ball screw nut 169 is housed in the through hole 167 on the first slider 163 side, and a ball screw nut 171 is housed in the through hole 167 on the second slider 165 side. The ball screw nuts 169 and 171 have the same configuration as a ball screw nut (not shown) of the actuator 1 according to the first embodiment. The female screw portion (not shown) of the ball screw nut 171 is opposite to the female screw portion (not shown) of the ball screw nut 169.

また、上記リニアガイド３３には、ボールねじ軸支持部材１７３、１７５が設置されている。図１０に示すように、上記ボールねじ軸支持部材１７３には軸受１７７、１７７が内装されていて、上記ボールねじ軸支持部材１７５にも軸受１７８、１７８が内装されている。 The linear guide 33 is provided with ball screw shaft support members 173 and 175. As shown in FIG. 10, the ball screw shaft support member 173 includes bearings 177 and 177, and the ball screw shaft support member 175 also includes bearings 178 and 178.

図１０に示すように、上記アクチュエータ１６１には、ボールねじ軸１７９とボールねじ軸１８１が回転可能に設置されている。上記ボールねじ軸１７９は上記軸受１７７、１７７とハウジング端部カバ３５の軸受９８によって支持されていて、上記ボールねじ軸１８１は上記軸受１７８、１７８とハウジング端部カバ３６の軸受１０２によって支持されている。このボールねじ軸１７９とボールねじ軸１８１は、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１の第１ボールねじ軸９１や第２ボールねじ軸９３と略同様の構成であるが、上記ボールねじ軸１７９には雄ネジ部１８３が形成されており、上記ボールねじ軸１８１には上記雄ネジ部１８３と逆向きの雄ネジ部１８５が形成されている。また、上記ボールねじ軸１７９の図１０中右端側には、プーリ取付軸１８６が設けられていて、上記ボールねじ軸１８１の図１０中左端側には、プーリ取付軸１８７が設けられている。上記プーリ取付軸１８６と上記プーリ取付軸１８７に跨って、ボールねじ軸側タイミングプーリ１８９が固着されている。 As shown in FIG. 10, a ball screw shaft 179 and a ball screw shaft 181 are rotatably installed on the actuator 161. The ball screw shaft 179 is supported by the bearings 177 and 177 and the bearing 98 of the housing end cover 35, and the ball screw shaft 181 is supported by the bearings 178 and 178 and the bearing 102 of the housing end cover 36. Yes. The ball screw shaft 179 and the ball screw shaft 181 have substantially the same configuration as the first ball screw shaft 91 and the second ball screw shaft 93 of the actuator 1 according to the first embodiment. Is formed with a male screw portion 183, and the ball screw shaft 181 is formed with a male screw portion 185 opposite to the male screw portion 183. A pulley mounting shaft 186 is provided on the right end side of the ball screw shaft 179 in FIG. 10, and a pulley mounting shaft 187 is provided on the left end side of the ball screw shaft 181 in FIG. 10. A ball screw shaft side timing pulley 189 is fixed across the pulley mounting shaft 186 and the pulley mounting shaft 187.

上記ボールねじ軸１７９には上記第１スライダ１６３のボールねじナット１６９が螺合されていて、上記ボールねじ軸１８１には上記第２スライダ１６５のボールねじナット１７１が螺合されている。 A ball screw nut 169 of the first slider 163 is screwed to the ball screw shaft 179, and a ball screw nut 171 of the second slider 165 is screwed to the ball screw shaft 181.

また、図１０に示すように、前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同様に、リニアガイド３３の上記第１スライダ１６３や第２スライダ１６５が設けられた面の反対側の面（図１０中下側）には、モータ１１１が設置されている。
モータ側タイミングプーリ１１５と上記ボールねじ軸側タイミングプーリ１８９には、ボールねじ軸用タイミングベルト１９１が巻回されている。これにより、上記モータ１１１の出力軸１１３の回転が、上記ボールねじ軸１７９に伝達される。
なお、上記アクチュエータ１６１と前記第１の実施の形態によるアクチュエータ１と同一部分には同一符号を付して示し、その説明を省略している。 Further, as shown in FIG. 10, similarly to the actuator 1 according to the first embodiment, the surface of the linear guide 33 opposite to the surface on which the first slider 163 and the second slider 165 are provided (FIG. 10). A motor 111 is installed on the middle and lower side.
A ball screw shaft timing belt 191 is wound around the motor side timing pulley 115 and the ball screw shaft side timing pulley 189. Thereby, the rotation of the output shaft 113 of the motor 111 is transmitted to the ball screw shaft 179.
The same parts as those of the actuator 161 and the actuator 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

次に、この第３の実施の形態による作用について説明する。
まず、モータ１１１の出力軸１１３が回転、駆動されると、モータ側タイミングプーリ１１５、ボールねじ軸側タイミングプーリ１８９、及び、ボールねじ軸用タイミングベルト１９１を介して、ボールねじ軸１７９、１８１が回転される。
このボールねじ軸１７９の雄ネジ部１８３と上記ボールねじ軸１８１の雄ネジ部１８５は互いに逆向きが形成されている。そのため、上記第１スライダ１６３と上記第２スライダ１６５は、互いに離接する方向に移動される。 Next, the operation of the third embodiment will be described.
First, when the output shaft 113 of the motor 111 is rotated and driven, the ball screw shafts 179 and 181 are moved via the motor side timing pulley 115, the ball screw shaft side timing pulley 189, and the ball screw shaft timing belt 191. It is rotated.
The male screw portion 183 of the ball screw shaft 179 and the male screw portion 185 of the ball screw shaft 181 are formed in opposite directions. Therefore, the first slider 163 and the second slider 165 are moved in the direction of separating from each other.

次に、この第３の実施の形態による効果について説明する。
ボールねじ軸１７９の雄ネジ部１８３と上記ボールねじ軸１８１の雄ネジ部１８５は互いに逆向きが形成されているので、簡易な構成により上記第１スライダ１６３と上記第２スライダ１６５を連動して互いに離間又は近接する方向に移動させることができる。
また、上記ボールねじ軸１７９、１８１は、ボールねじ軸側タイミングプーリ１８９によって一体となっており、１つの上記ボールねじ軸側タイミングプーリ１８９により、上記ボールねじ軸１７９、１８１が共に回転されるようになっているので、構成が簡易なものとなっている。
その他、前記第１の実施の形態の場合と略同様の効果を奏することができる。 Next, the effect of the third embodiment will be described.
Since the male screw portion 183 of the ball screw shaft 179 and the male screw portion 185 of the ball screw shaft 181 are formed in opposite directions, the first slider 163 and the second slider 165 are interlocked with each other with a simple configuration. They can be moved in directions away from or close to each other.
The ball screw shafts 179 and 181 are integrated with each other by a ball screw shaft side timing pulley 189 so that the ball screw shafts 179 and 181 are rotated together by one ball screw shaft side timing pulley 189. Therefore, the configuration is simple.
In addition, substantially the same effects as in the case of the first embodiment can be obtained.

なお、本発明は前記第１の実施の形態〜第３の実施の形態に限定されない。
スライダの数は２個に限定されず、様々な場合が考えられる。
また、ボールねじナットとボールねじ軸の他にも、滑りねじ軸とナットを用いてもよい。
また、第２の実施の形態において、第１スライダと第２スライダを２本のベルトで連結し、これらのベルトをローラに巻回させていたが、タイミングベルトとタイミングプーリを用いてもよい。また、ワイヤとローラ、チェーンとスプロケットを用いてもよい。
また、第３の実施の形態において、ボールねじ軸を２つのボールねじ軸要素を連結して構成していたが、一つのボールねじ軸の両側に、それぞれ逆向きの雄ネジ部を形成するようにしてもよい。
その他、図示した構成は一例であり、様々な場合が考えられる。 The present invention is not limited to the first to third embodiments.
The number of sliders is not limited to two, and various cases are conceivable.
In addition to the ball screw nut and the ball screw shaft, a sliding screw shaft and a nut may be used.
In the second embodiment, the first slider and the second slider are connected by two belts, and these belts are wound around rollers, but a timing belt and a timing pulley may be used. Further, a wire and a roller, a chain and a sprocket may be used.
In the third embodiment, the ball screw shaft is constituted by connecting two ball screw shaft elements. However, opposite male screw portions are formed on both sides of one ball screw shaft. It may be.
In addition, the illustrated configuration is an example, and various cases are conceivable.

本発明は、例えば、アクチュエータとそのアクチュエータを使用したグリッパに係り、大きなストロークを確保しつつ、スライダ移動方向の大きさを小さくできるとともに、スライダ移動方向に沿った左右のバランスをとれるように工夫したものに関し、例えば、水平多関節ロボットに取り付けられるグリッパに好適である。 The present invention relates to, for example, an actuator and a gripper using the actuator, and has been devised so as to be able to reduce the size of the slider moving direction while ensuring a large stroke and to balance the left and right along the slider moving direction. For example, it is suitable for a gripper attached to a horizontal articulated robot.

１アクチュエータ
３把持用爪
５グリッパ
３３リニアガイド
４１開口部カバ
４７モータカバ
６１第１スライダ
６３第２スライダ
９１第１ボールねじ軸
９３第２ボールねじ軸
１０７歯車
１０８歯車
１１１モータ
１１５モータ側タイミングプーリ
１１７第１ボールねじ軸側タイミングプーリ
１１９タイミングベルト
１２１アクチュエータ
１２３第１スライダ
１２５第２スライダ
１３７ベルト（可撓性部材）
１３９ベルト（可撓性部材）
１６１アクチュエータ
１６３第１スライダ
１６５第２スライダ
１６９ボールねじナット
１７１ボールねじナット
１７９ボールねじ軸
１８１ボールねじ軸
１８３雄ネジ部
１８５雄ネジ部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Actuator 3 Claw 5 Gripper 33 Linear guide 41 Opening cover 47 Motor cover 61 1st slider 63 2nd slider 91 1st ball screw axis 93 2nd ball screw axis 107 Gear 108 Gear 111 Motor 115 Motor side timing pulley 117 1st 1 ball screw shaft side timing pulley 119 timing belt 121 actuator 123 first slider 125 second slider 137 belt (flexible member)
139 Belt (flexible member)
161 Actuator 163 1st slider 165 2nd slider 169 Ball screw nut 171 Ball screw nut 179 Ball screw shaft 181 Ball screw shaft 183 Male screw portion 185 Male screw portion

Claims

A linear guide;
A plurality of sliders detachably provided along the linear guide;
A motor that is provided on a surface opposite to the surface of the linear guide on which the plurality of sliders are provided, and that drives the plurality of sliders;
An actuator characterized by comprising:

The actuator according to claim 1, wherein
The actuator according to claim 1, wherein the motor is installed at substantially the center of the linear guide.

The actuator according to claim 1 or 2,
An opening for moving the slider is provided on the surface side of the linear guide provided with the plurality of sliders, and the opening is shielded by an opening cover. Actuator.

In the actuator according to any one of claims 1 to 3,
A motor cover that houses the motor is installed,
An actuator, wherein the motor cover is provided with an attachment portion for attaching the actuator to another device.

In the actuator according to any one of claims 1 to 4,
The slider is driven by a screw shaft and a screw nut.

The actuator according to claim 5, wherein
Two sliders, two screw nuts, two screw shafts are installed,
2. The actuator according to claim 1, wherein the two screw shafts are arranged in parallel and offset to different shafts.

The actuator according to claim 5, wherein
Two sliders, two screw nuts, two screw shafts are installed,
An actuator according to claim 1, wherein each of the screw shafts has screw grooves opposite to each other.

The actuator according to claim 5, wherein
Two sliders, two screw nuts, and one screw shaft are installed.
An actuator comprising screw threads opposite to each other on both sides of the screw shaft.

In the actuator according to any one of claims 1 to 5,
Two sliders are installed,
A flexible member connecting the two sliders is installed;
An actuator, wherein one of the two sliders is moved to move the two sliders in the direction of separation.

The actuator according to any one of claims 1 to 9,
A gripping claw installed on the slider;
A gripper characterized by comprising: