JP2018060637A - エキシマランプユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 エキシマランプユニットは、一端ベース、中間ベースおよび他端ベースが一方向に沿ってこの順に設けられ、当該一端ベース、中間ベースおよび他端ベースを互いに連結する複数の連結ビームを有する保持機構と、前記中間ベースと他端ベースとの間に配置されたエキシマランプと、前記一端ベースから前記一方向の外方に突出して設けられた、前記エキシマランプに対する給電端子とよりなり、前記エキシマランプから放射される真空紫外線を透過する外套管内に収容されて使用されることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
特許文献1に開示された紫外線処理装置においては、外套管に挿入された長尺な紫外線ランプが、被処理流体が流通する処理槽中に配置されてなり、被処理流体を処理槽の入口管から流入させ、処理槽中で紫外線ランプから254nmの紫外線を照射した後、出口管から排出することにより紫外線の照射処理が行われる。
然るに、紫外線ランプとして用いるエキシマランプは、その発光管がガラス材よりなるので、当該エキシマランプを長尺なものとして構成した場合には、当該エキシマランプに十分に高い機械的強度が得られないことがある、という問題がある。
前記中間ベースと他端ベースとの間に配置されたエキシマランプと、
前記一端ベースから前記一方向の外方に突出して設けられた、前記エキシマランプに対する給電端子とよりなり、
前記エキシマランプから放射される真空紫外線を透過する外套管内に収容されて使用されることを特徴とする。
前記エキシマランプの外周に沿って均等に離間して配置されていることが好ましい。
前記エキシマランプの両端が、当該ランプホルダと前記他端ベースとにより保持された構成とすることができる。
このエキシマランプユニット10は、全体が長尺なものであって、エキシマランプ11から放射される真空紫外線を透過する外套管60(図7および図8参照)に挿入された状態で処理槽中に配置されて真空紫外線を放射するものである。
具体的には、エキシマランプユニット10は、一端ベース20、中間ベース30および他端ベース40が、一方向に沿ってこの順に設けられ、当該一端ベース20、中間ベース30および他端ベース40を互いに連結する複数の連結ビーム35を有する保持機構と、中間ベース30と他端ベース40との間に保持されたエキシマランプ11と、一端ベース20から一方向の外方に突出して設けられた、エキシマランプ11に対する給電端子21とよりなる。
また、一端ベース20と中間ベース30との間に伸びる状態に、エキシマランプ11と給電端子21とを電気的に接続するリード線15を支持するリード線支持ロッド25が設けられている。
エキシマランプ11は、内部にエキシマ放電を生成するための放電ガスが封入された、内側管および外側管よりなる二重管構造の発光管12を備えており、発光管12内部に筒状の内側電極(図示せず)が配設されると共に、発光管12の外壁面に網状の外側電極(図示せず)が設けられて構成されている。発光管12の両端部は、各々、発光管12の外径に適合する内径を有する有底筒状の金属キャップ13に外側電極が接触するよう嵌入され、当該金属キャップ13が有底筒状のセラミックキャップ14に挿入されると共にその周壁からネジ止めされることによって当該セラミックキャップ14が発光管12に対して固定されている。また、一方のセラミックキャップ14から外方に、内側電極に電気的に接続されたリード線15が伸びている。
外側電極および内側電極の材料は、例えばステンレス鋼(SUS304)が用いられる。
また、放電ガスは例えばキセノンとされ、エキシマランプ11から放射される紫外線の波長は、例えば172〜380nmとされる。
他端ベース40は略円盤状の他端ベース本体41と、当該他端ベース本体41の下面(図1(a)において下面)から突出する円錐台状の凸部42とからなる。他端ベース本体41の上面(図1(a)において上面)には、中央領域にエキシマランプ11の端部を嵌入するための凹所41aが設けられていると共に、連結ビーム35の端部を嵌入するための凹所41bが、外周に沿って均等に設けられている。
他端ベース40が凸部42を有するものであることによって、エキシマランプユニット10が有底円筒状の外套管60に挿入された場合にも、当該エキシマランプユニット10と外套管60の管壁との距離が確保されるために、熱のこもりを抑止することができる。
具体的には、エキシマランプ11は、当該エキシマランプ11のリード線15が配設されていない側のセラミックキャップ14が他端ベース本体41の凹所41aに嵌入されることによって当該他端ベース40に保持固定されている。
また、連結ビーム35は、その下端部が他端ベース本体41の凹所41bに嵌入されて溶接されると共に、他端ベース本体41の下面から当該凹所41bに開口されたネジ孔46から挿入されたネジ47によって、当該連結ビーム35の下端部がネジ止めされることによって当該他端ベース40に固定されている。
エキシマランプ11の上端部(図1(a)において上端部)は、中間ベース30および他端ベース40との間に配置され、連結ビーム35に保持されたランプホルダ50によって保持固定されている。
ランプホルダ50は、3つの同形状の部材51,51,51が組み合わせられた、全体が略円盤状のものであり、中央に、エキシマランプ11の金属キャップ13の外径に適合する内径のランプホルダ用貫通孔53が設けられると共に、連結ビーム35を挿通する貫通孔54が周縁に沿って均等に設けられている。また、ランプホルダ50の外縁に、後述する冷却風を通過させると共に、隣接する部材51同士をネジ57で止めるためのネジ孔59が側面に開口される切欠き58が設けられている。
ランプホルダ用貫通孔53は、具体的には、ランプホルダ50を構成する各部材51,51,51の対向する周縁に形成された、断面が円弧状の切欠きが、当該各部材51,51,51が組み立てられることによって、金属キャップ13の外径に適合する内径を有する円形状の孔とされるものである。
連結ビーム35を挿通する貫通孔54は、連結ビーム35の外径に適合する内径を有するものである。
また、連結ビーム35は、ランプホルダ50の貫通孔54に挿入されることによって当該ランプホルダ50に固定される。
中間ベース30は2つの半円盤状部材31A,31Bが組み合わせられた、全体が略円盤状のものであり、中央に、後述する冷却風を通過させる通気口33と、リード線支持ロッド25が挿通される固定用孔39とがそれぞれ設けられると共に、当該固定用孔39と離間するよう、連結ビーム35を挿通する切欠き34が周縁に沿って均等に設けられている。また、中間ベース30の外縁に、アース線18を通すための切欠き38が設けられている。
固定用孔39は、具体的には、各半円盤状部材31A,31Bの対向する周縁に形成された切欠きが、当該半円盤状部材31A,31Bが組み立てられてネジ37によって固定されることによって、リード線支持ロッド25の周面に予め設けられた溝の外径に適合する短径を有する矩形状の孔とされるものである。
連結ビーム35を挿通する切欠き34は、連結ビーム35の外形形状に適合する内形形状を有する、断面が略半円弧状のものである。
具体的には、リード線支持ロッド25は、その下端部が固定用孔39に挿通されて挟持されることによって当該中間ベース30に固定されている。
また、連結ビーム35は、中間ベース30の切欠き34に挿入または嵌入されることによって当該中間ベース30に固定されている。
リード線支持ロッド25が中間ベース30の固定用孔39によって固定されると共に、連結ビーム35が中間ベース30の切欠き34によって固定されることにより、両者の間に確実に距離が確保される。
リード線支持ロッド25は、エキシマランプ11の一方のセラミックキャップ14から伸びるリード線15を支持するものであり、具体的には、リード線支持ロッド25の外周にリード線15を沿わせることにより、当該リード線15を支持している。
リード線支持ロッド25は、ガラスエポキシなどの絶縁物よりなる。
一端ベース20は略円盤状のものであり、中央に後述する冷却風を通過させる排気口23と、当該排気口23に連通してリード線支持ロッド25が挿通される固定用孔29とが設けられると共に、連結ビーム35を挿通する貫通孔24が外周に沿って均等に設けられている。また、一端ベース20の外縁に、アース線18を通すための切欠き28が設けられている。
固定用孔29は、具体的には、その内部に、リード線支持ロッド25の周面に予め設けられた溝に適合するL字型の突起を有するものとされている。
具体的には、連結ビーム35は、一端ベース20の側周面から貫通孔24に向かって開口されたネジ孔26に止めネジ27が入れられて圧接されることによって当該一端ベース20に固定されている。また、連結ビーム35の上端部には、ナット32が装着されている。
また、リード線支持ロッド25は、固定用孔29のL字型の突起に引っ掛けられることによって当該一端ベース20に固定されている。
給電端子21においては、リード線支持ロッド25内に配設されてエキシマランプ11の内側電極から伸びたリード線15が電気的に接続され、アース端子22においてはランプホルダ50から伸びたアース線18が連結ビーム35に沿って配設されて電気的に接続されている。
これにより、給電端子21を介してエキシマランプ11に給電が行われる。
連結ビーム35は、例えばステンレス鋼(SUS)管よりなり、エキシマランプ11の軸方向と同じ方向に伸びるよう配置されたものである。
連結ビーム35は、一端ベース20から他端ベース40まで一体的に伸びる長型のものであってもよく、また、一端ベース20から中間ベース30まで伸びる短型のものと、これとは別個の、中間ベース30から他端ベース40まで伸びる短型のものとを組み合わせたものであってもよく、これらを併用してもよい。
中間ベース30と他端ベース40とを連結する連結ビーム35の数は、3本または4本であることが好ましい。連結ビーム35の数が過度に多い場合は、エキシマランプ11から放射される紫外線が当該連結ビーム35によって遮られてしまい、光の利用効率が低いものとなるおそれがある。また、連結ビーム35の数が過度に少ない場合は、エキシマランプユニット10に十分な機械的強度が得られないおそれがある。
エキシマランプユニット10には、中間ベース30と他端ベース40とを連結する連結ビーム35の、エキシマランプ11と対向する周壁に設けられた冷却風穴36(図1(b)参照)から冷却風を送風する冷却機構が設けられていてもよい。
冷却風としては、例えば窒素ガスを用いることが好ましい。
エキシマランプ11は、温度が上昇すると発光効率が低下し、その結果、放出される紫外線の照度が低下するという特性を有するところ、このような冷却機構を有することにより、点灯中のエキシマランプ11を冷却することができてエキシマランプ11が過熱されることが抑止されるので、高い発光効率が得られる。
このエキシマランプユニット10は、有底円筒状の外套管内に収容された状態において使用される。具体的には、図7および図8に示されるように、一端ベース20が上方、他端ベース40が下方となる垂直姿勢で、外套管60内に挿入され、その全体が紫外線照射処理すべき被処理流体中に浸漬される。
また、エキシマランプ11のランプ長が1m、内側管の内径が14mm、外径が16mm、厚みが1mm、外側管の内径が24.5mm、外径が26.5mm、厚みが1mm、放電ガスの封入圧が33.3kPaである。
11 エキシマランプ
12 発光管
13 金属キャップ
14 セラミックキャップ
15 リード線
18 アース線
20 一端ベース
20a 凹所
20b 顎部
21 給電端子
22 アース端子
23 排気口
24 貫通孔
25 リード線支持ロッド
26 ネジ孔
27 止めネジ
28 切欠き
29 固定用孔
30 中間ベース
31A,31B 半円盤状部材
32 ナット
33 通気口
34 切欠き
35 連結ビーム
36 冷却風穴
37 ネジ
38 切欠き
39 固定用孔
40 他端ベース
41 他端ベース本体
41a,41b凹所
42 凸部
46 ネジ孔
47 ネジ
50 ランプホルダ
51 部材
52 アース用貫通孔
53 ランプホルダ用貫通孔
54 貫通孔
55 金属ネジ
57 ネジ
58 切欠き
59 ネジ孔
60 外套管
Claims (5)
- 一端ベース、中間ベースおよび他端ベースが一方向に沿ってこの順に設けられ、当該一端ベース、中間ベースおよび他端ベースを互いに連結する複数の連結ビームを有する保持機構と、
前記中間ベースと他端ベースとの間に配置されたエキシマランプと、
前記一端ベースから前記一方向の外方に突出して設けられた、前記エキシマランプに対する給電端子とよりなり、
前記エキシマランプから放射される真空紫外線を透過する外套管内に収容されて使用されることを特徴とするエキシマランプユニット。 - 前記一端ベースと前記中間ベースとの間に伸びる状態に、前記エキシマランプと前記給電端子とを電気的に接続するリード線を支持するリード線支持ロッドが設けられていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプユニット。
- 前記中間ベースと前記他端ベースとを連結する前記連結ビームの数が、3本または4本であり、
前記エキシマランプの外周に沿って均等に離間して配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエキシマランプユニット。 - 前記中間ベースと前記他端ベースとの間に、ランプホルダが前記連結ビームに保持されて配置され、
前記エキシマランプの両端が、当該ランプホルダと前記他端ベースとにより保持されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のエキシマランプユニット。 - 前記連結ビームが管状のものであり、前記連結ビームにおける前記エキシマランプと対向する周壁に設けられた冷却風穴から冷却風を送風する冷却機構が設けられていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載のエキシマランプユニット。
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