JP2018055083A - 開口絞り - Google Patents

Abstract

【課題】ウェハ等の2次元欠陥検出において、局所的な低角度の傾斜などの欠陥も観察可能とする。【解決手段】少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む非円形領域を含む開口絞り１００であって、少なくとも１つの開口領域内の各ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられる、開口絞り１００。【選択図】図１

Description

［００１］本出願は、２０１７年３月１７に出願された米国特許出願第１５４６９５７８号から優先権を主張し、且つ、２０１５年６月１４日に出願された米国仮特許出願番号第６２／１７５，３１５号から優先権を主張する２０１６年５月１９日に出願された米国特許出願番号第１５／１５８６３２号から優先権を主張する。これらのすべての出願は、参照により本明細書に組み込まれる。

［００２］２次元欠陥検出は、試料照明の２つの主要なモードを有する。それは、ウエハの形態に対して感度が低い明視野、及び、散乱光を集光し、それゆえにウエハの形態に対して感度が高く、特に傷の特定に有益な暗視野である。

［００３］周知のすべての暗視野技法は、大きな斜角でウエハに照射を行う。これらの技法は、広範囲の用途に適しているが、ウエハの局所的な低角度の傾斜によって特徴づけられる種類の欠陥を発見し損ねる。このような種類の欠陥には、表面を変形させるような割れ目や応力が含まれる。

［００４］本発明の実施形態によると、複数のポイントを含み得る円形領域を含み得る開口絞りが提供され得る。この複数のポイントは、すべての極角にわたって広がり得る複数の不透明領域ポイント及びすべての極角にわたって広がり得る複数の開口ポイントを含み、各開口ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた対応する不透明領域内の対応ポイントに関連付けられる。

［００５］大半の不透明領域ポイントの各不透明領域ポイントは、正反射の伝播経路を含む仮想平面内の正反射角度から小さな角度偏差で対応付けられる不透明領域に属し得る。

［００６］複数の開口ポイントは、円形領域の中心からの大半の距離の中に位置付けされ得る。

［００７］本発明の実施形態によると、１つ又は複数の開口エリアによって囲まれた不透明らせん状エリアを含み得る円形領域を含み得る開口絞りが提供され得、各開口ポイントは、照射角度に対応付けられ、且つ開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた不透明らせん状領域の対応する不透明領域ポイントに関連付けられる。

［００８］本発明の実施形態によると、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む円形領域を含み得る開口絞りが提供され得、円形領域の中心からの複数の距離について、且つ各極角について、円形領域の中心からの距離で位置付けされ得、極角によって配向された円形領域の直径に属し得る不透明領域ポイント及び開口ポイントを含み得る一対のポイントがある。

［００９］各開口ポイントは、照射角度に対応してもよく、各不透明領域ポイントは、正反射角度に対応してもよい。

［００１０］各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離は、正反射角度からの小さな角度偏差に対応し得る。

［００１１］小さな角度偏差は、５度を越えない。

［００１２］少なくとも１つの不透明エリアは、放射対称をなす複数の不透明エリアを含み得る。大半の不透明エリアは、リングのセグメントとして形成され得る。

［００１３］少なくとも１つの不透明エリアは、放射対称をなす複数の不透明エリアを含み得る。複数の不透明エリアの大半は、９０度を越えない角度範囲に沿って広がる。

［００１４］少なくとも１つの不透明エリアは、らせん状不透明エリアである。

［００１５］少なくとも１つの不透明エリアは、らせんに近似する。

［００１６］本発明の実施形態によると、光源、対物レンズ、及び開口絞りを含み得る検査システムが提供され得る。光源は、開口絞りに照射を行うように構成され、開口絞りは、対物レンズの絞りにおいて位置付けされており、（ｉ）開口絞りが、複数のポイントを含み得る円形領域を含み得、複数のポイントが、すべての極角にわたって広がり得る複数の不透明領域ポイント及びすべての極角にわたって広がり得る複数の開口ポイントを含み得、各開口ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた対応する不透明領域内の対応ポイントに関連付けられること、（ｉｉ）開口絞りが、１つ又は複数の開口エリアによって囲まれた不透明らせん状エリアを含み得る円形領域を含み得、各開口ポイントが、照射角度に対応付けられ、且つ開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた不透明らせん状領域の対応する不透明領域ポイントに関連付けられること、及び（ｉｉｉ）開口絞りが、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含み得る円形領域を含み得、円形領域の中心からの複数の距離について、且つ各極角について、円形領域の中心からの距離で位置付けされ得、極角によって配向された円形領域の直径に属し得る不透明領域ポイント及び開口ポイントを含み得る一対のポイントがあることのうちの少なくとも１つが真である。

［００１７］本発明の実施形態によると、対物レンズの絞りにおいて位置する開口絞りに照射を行うことと、開口絞り及び対物レンズを通過する光によって対象物に照射を行うことと、開口絞りを通過する反射光を対物レンズによって集光することであって、反射光が正反射光と異なる、集光することと、開口絞りを通過する反射光を検出器に向けて方向付けることとを含み得る方法が提供され得、（ｉ）開口絞りが、複数のポイントを含み得る円形領域を含み得、複数のポイントが、すべての極角にわたって広がり得る複数の不透明領域ポイント及びすべての極角にわたって広がり得る複数の開口ポイントを含み得、各開口ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた対応する不透明領域に関連付けられること、（ｉｉ）開口絞りが、１つ又は複数の開口エリアによって囲まれた不透明らせん状エリアを含み得る円形領域を含み得、各開口ポイントが、照射角度に対応付けられ、且つ開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた不透明らせん状領域の対応する不透明領域ポイントに関連付けられること、及び（ｉｉｉ）開口絞りが、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含み得る円形領域を含み得、円形領域の中心からの複数の距離について、且つ各極角について、円形領域の中心からの距離で位置付けされ得、極角によって配向された円形領域の直径に属し得る不透明領域ポイント及び開口ポイントを含み得る一対のポイントがあることのうちの少なくとも１つが真である、方法。

［００１８］複数のポイントを含み得る非円形領域を含み得る開口絞りが提供され得る。この複数のポイントは、複数の不透明領域ポイント及び複数の開口ポイントを含み得、各開口ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられ得る対応する不透明領域内の対応ポイントに関連付けられ得る。非円形領域は、楕円形（真円ではない）、多角形であってもよく、或いは、任意の他の形状であってもよい。非円形領域は、非線形境界部分、線形境界部分と非線形境界部分との組み合わせなどを有してもよい。

［００１９］大半の不透明領域ポイントの各不透明領域ポイントは、正反射の伝播経路を含む仮想平面内の正反射角度から小さな角度偏差（例えば、２、３、４、５度など）で対応付けられ得る不透明領域に属し得る。

［００２０］複数の開口ポイントは、多角形であり得る少なくとも１つの開口を形成し得る。

［００２１］複数の開口ポイントは、三角形状の開口及び台形形状の開口を形成し得る。

［００２２］複数の不透明ポイントは、三角形状の不透明領域及び台形形状の不透明領域を形成し得る。

［００２３］非円形領域は、非対称軸を有し得る。三角形状の開口及び台形状の不透明領域は、非対称軸の一方の側に位置付けされ得、三角形状の不透明領域及び台形形状の開口は、非対称軸の他方の側に位置付けされ得る。

［００２４］複数のポイントを含み得る円形領域を含み得る開口絞りが提供され得る。この複数のポイントは、複数の不透明領域ポイント及び複数の開口ポイントを含み得、各開口ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられ得る対応する不透明領域内の対応ポイントに関連付けられ得る。複数の開口ポイントは、複数の開口を形成し得る。複数の開口は、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含み得る境界を有し得る特定の開口を含み得る。

［００２５］特定の開口は、円弧の組み合わせと異なる形状を有し得る。

［００２６］円形領域は、対称軸を有し得る。複数の開口は、対称軸に関連して対称であり得る。

［００２７］円形領域は、外側リングによって囲まれ得る内側円形部分を含み得る。複数の内側開口部分が、内側円形部分の中に位置付けされ得る。複数の外側開口部分が、外側リングの中に位置付けされ得る。

［００２８］開口絞りは、内側円形部分及び外側リングのうちの少なくとも１つの中に少なくとも１つの開口さらに含み得る。

［００２９］内側開口部分は、それぞれ、少なくとも１つの割線及び内側円形部分の端部によって区切られ得る。

［００３０］外側開口部分は、それぞれ、外側リングの少なくとも１つの半径方向線、内側端部、及び外側端部によって区切られ得る。

［００３１］３つの外側開口部分及び２つの外側開口が、外側リングの中に位置し得、２つの内側開口部分が、内側円形領域の中に位置し得る。

［００３２］少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含み得る領域を含み得る開口絞りが提供され得る。領域の軸からの複数の距離について、且つ軸に沿って位置付けされた複数の距離について、領域の軸からの当該距離で位置付けされ得る不透明領域ポイント及び開口ポイントを含み得る一対のポイントがあり得る。

［００３３］開口絞りにおいて、領域の軸は、対称軸及び非対称軸から選択され得る。

［００３４］各開口ポイントは、照射角度に対応してもよく、各不透明領域ポイントは、正反射角度に対応してもよい。

［００３５］各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離は、正反射角度からの小さな角度偏差に対応し得る。

［００３６］小さな角度偏差は、５度を越えない。

［００３７］少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含み得る円形領域を含み得る開口絞りが提供され得る。少なくとも１つの開口領域内の各ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられており、少なくとも１つの開口領域は、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含み得る境界を有する特定の開口領域を含む。

［００３８］少なくとも１つの開口領域内の各ポイントについては、少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントが、少なくとも１つの開口領域内のポイントに対して、非円形領域の中心に関連して対称である。対称とは、反対側で、且つ、非円形領域の中心並びに少なくとも１つの開口領域内のポイント及び少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントを通過する仮想線に沿って、非円形領域の中心から同じ距離に位置付けられることを意味し得る。

［００３９］少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含み得る非円形領域を含み得る開口絞りが提供され得る。少なくとも１つの開口領域内の各ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられる。

［００４０］光源、対物レンズ、及び開口絞りを含み得る検査システムが提供され得る。光源は、開口絞りに照射を行うように構成され得、開口絞りは、対物レンズの絞りにおいて位置づけされ得る。さらに、以下の少なくとも１つが真であり得る。
ａ．開口絞りは、複数のポイントを含み得る非円形領域を含み得、複数のポイントは、複数の不透明領域ポイント及び複数の開口ポイントを含み得る。各開口ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられ得る対応する不透明領域ポイントに関連付けられ得る。
ｂ．開口絞りは、複数のポイントを含み得る円形領域を含み得る。複数のポイントは、複数の不透明領域ポイント及び複数の開口ポイントを含み得る。各開口ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられ得る対応する不透明領域ポイントに関連付けられ得る。複数の開口ポイントは、複数の開口を形成し得る。複数の開口は、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含み得る境界を有し得る特定の開口を含み得る。
ｃ．開口絞りは、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含み得る領域を含み得る。領域の軸からの複数の距離について、且つ軸に沿って位置付けされた複数について、領域の軸からの距離で位置付けされ得る不透明領域ポイント及び開口ポイントを含み得る一対のポイントがあり得る。

［００４１］（ａ）対物レンズの絞りにおいて位置し得る開口絞りに照射を行うことと、（ｂ）開口絞り及び対物レンズを通過する光によって対象物に照射を行うことと、（ｃ）開口絞りを通過する反射光を対物レンズによって集光することであって、反射光が正反射光と異なる、集光することと、（ｄ）開口絞りを通過する反射光を検出器に向けて方向付けることとを含み得る方法が提供され得る。さらに、以下の少なくとも１つが真であり得る。
ａ．開口絞りは、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含み得る円形領域を含み得る。少なくとも１つの開口領域内の各ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられており、少なくとも１つの開口領域は、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含み得る境界を有する特定の開口領域を含む。
ｂ．開口絞りは、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含み得る非円形領域を含み得、少なくとも１つの開口領域内の各ポイントは、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられる。
ｃ．開口絞りは、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含み得る領域を含み得、領域の軸からの複数の距離について、且つ軸に沿って位置付けされた複数について、領域の軸からの距離で位置付けされた不透明領域ポイント及び開口ポイントを含み得る一対のポイントがある。

［００４２］本発明は、添付の図面と併せて下記の詳細な説明からより完全に理解且つ認識されるであろう。

本発明の実施形態に係る、対象物、光源、ビームスプリッタ、開口絞り、及びカメラを示す。 本発明の実施形態に係る、対象物、対物レンズ、開口絞り、及び遮断された光線を示す。 本発明の実施形態に係る、対象物、対物レンズ、開口絞り、及び遮断されていない光線を示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る開口絞り及び幾らかの遮断された光線を示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 ２つの異なるダイの平らな正反射領域、並びに近接する欠け欠陥及び亀裂欠陥がある場合とない場合のダイ間の間隙を示す。 ２つの異なるダイからなる平らな正反射領域、並びに欠け欠陥及び亀裂欠陥が近接するダイ間の間隙のイメージ図を示す。 本発明の実施形態に係る、２つの異なるダイからなる平らな正反射領域、並びに欠け欠陥及び亀裂欠陥が近接するダイ間の間隙のイメージ図を示す。 本発明の実施形態に係る方法を示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る開口絞りを示す。 本発明の実施形態に係る、検出された信号の標準化電力と正反射からの角度偏差との関係を示す。

［００６０］本発明を実装する装置は、主に当業者には周知の光学部品及び回路から構成されているので、回路の詳細に関しては、本発明の教示を不明瞭にしないように、又は本発明の教示から逸れないようにするため、本発明の基礎概念の理解及び認識のために上記で図示されたように必要とみなされる程度よりも詳しく説明しない。

［００６１］以下の明細書では、本発明は、本発明の実施形態の特定の実施例を参照して説明される。しかしながら、添付の請求の範囲で示された本発明のより広い精神及び範囲から逸脱しない限り、様々な修正及び変更を行うことができることが明らかである。

［００６２］「正反射」という用語は、表面から光が鏡のよう反射することを指し、入射光（入射光線）の方向及び反射した出射光（反射光線）の方向が、面法線に対して同じ角度をなし、したがって、（図面では）入射角度は反射角度に等しく、入射方向、法線方向、反射方向が共角であることを指す（ｗｉｋｉｐｅｄｉａ．ｏｒｇ）。

［００６３］顕微鏡対物レンズの変更手段をもたらす開口絞りが提供されており、それにより、明視野で使用された際に、低角度の暗視野照明が生じ、上述の種類の欠陥の検出が可能となる。

［００６４］開口絞りは、シフトされた円弧を含み得、平らな表面からの正反射（入射角度が反射角度と等しい）を遮断しながら、低角度の正反射（入射角度と反射角度との間で僅かな角度の小さな角度差異が存在する）がカメラに戻ることを可能にする。したがって、局所的なウエハの傾斜として現れる欠陥は、周囲に対して明るくて高コントラストの形状として映る。

［００６５］図１は、本発明の実施形態に係る対象物１０、光源３０、ビームスプリッタ４０、開口絞り１００、対物レンズ２０、及びカメラ５０を例示する。光源３０からの光は、ビームスプリッタ４０を通過し、開口絞り１００の１つ又は複数の不透明ブロックによって部分的に遮断される。開口絞りの１つ又は複数の開口部を通過した光は、対物レンズ２０を通過し、対象物１０に導かれる。

［００６６］開口絞り１００の開口の各開口ポイントを通過するそれぞれの入射光は、発散して、視野全体（対象物）を照らすことに留意されたい。視野の各ポイントは、１つ又は複数の開口における全てのポイントからの入射光の寄与を受け取る（これは、絞りが位置する特別な位置、及び典型的な顕微鏡照明、すなわち、ケーラー照明の設計に起因する）。

［００６７］対象物１０から反射した光は、対物レンズ２０によって集光される。任意の入射光線の正反射である反射光線は、開口絞りによって遮断される。任意の入射光線の正反射ではない反射光線は、開口絞りを通過して、ビームスプリッタ４０によってカメラに向けて方向付けられる。

［００６８］開口絞りは、対物レンズ２０の絞りにおいて位置する。対物レンズ２０は、顕微鏡に正常に装着される。

［００６９］開口絞りが対象物系絞りにおいて位置するので、開口絞りの各ポイントは、視野全体を照らすための（入射光線のための）入射角、或いは、（反射光線のための）反射角に対応付けられる。特に、開口絞りの中心は、入射光の法線角及び反射光の法線角に対応し得る。開口絞りの任意のポイントと開口絞りの中心との間の距離は、入射角（反射角）の値を規定する。

［００７０］対象物から正反射したビームは、開口絞りにおけるフィールドポイントに対応付けられる。このフィールドポイントは、初期フィールドポイント（入射ビーム）に対して（開口絞りの中心に関連して）対称をなす。

［００７１］開口絞りは、対物の絞りに配置される。その非対称構造は、通常の条件下では、対象物からの正反射光線の復路を遮断する。図３は、対物レンズ内で右方に偏向（矢印５２）し、次いで、左方に偏向（矢印５３）して、（水平の）対象物１０に衝突する入射光線５１を示す。光線５３の正反射である反射光線（矢印５４）は、左方に偏向し、次いで、右方に偏向（光線５５）して、開口絞り１００の不透明エリアによって遮断される。

［００７２］しかしながら、対象物（ウエハ）の局所的に傾斜した領域からの光は、光軸に対して反れた角度で反射する。この光は、入射光線に対して対称をなさない絞りにおけるポイントにさらに対応付けられる。開口絞りの非対称性によって、これらの反れた光線が意図的に捕捉される。このことは図３で示されており、光線５５が開口絞り１００によって遮断されず、対物レンズから光線５６が出てくる。

［００７３］したがって、この開口絞りの効果は、平らな領域からの反射を減らしながら、低角度の表面傾斜に焦点を当て、結果的に低角度の欠陥の高コントラストを実現することである。開口絞りの細かい設計により、図示された典型的な表面傾斜に基づく用途に対する最適化が可能となる。

［００７４］開口絞りは、薄い固体ディスクであってもよく、或いは、フレームによって囲まれ得る円形領域を少なくとも含んでもよい。簡単に説明すると、開口絞りは円形であると推測される。

［００７５］開口絞りは、光の通過を可能にする特定の開口を有する、光に対する１つ又は複数の不透明エリアを含む。

［００７６］図４は、本発明の実施形態に係る開口絞り１００を示す。円形領域１２０の中には、不透明エリア１０１−１０７、及び開口１１１−１１７がある。

［００７７］明るい領域は開口であり、黒い空隙は材料である。開口の構造には、半径方向断面で見たとき、材料と開口とが交互するエリアがある。さらに、任意の所与の角度で、開口絞りの中心から等間隔（すなわち、同じ半径）にあるポイントは、それぞれ、相手材（一方は開口に属し、他方は不透明エリアに属する）から作製されている。ウエハマップ構築プロセスの改善のために低い正反射を得ることには、幾つかの利点があることに留意するべきである。これは、ウエハを完全に走査することを可能とする。低い正反射により改善され得るダイ間の整列等が必要とされる。

［００７８］図５は、開口の中の各入射ポイント（１４１及び１４２）につき、不透明エリアによって遮断される対応する正反射ポイント（１２１及び１２２）があることを示す。対応ポイント及び入射ポイントは、同じ仮想直径（１５２及び１５４）に属する。これは、（限定しないが、直径１５１、１５２、１５３、及び１５４などの任意の配向の任意の直径について）すべての極角に当てはまる。不透明エリア１０１の外側では、不透明ポイントと開口ポイントが対称をなしている。

［００７９］図５は、各不透明エリアが、限られた角度範囲に沿って及んでいる際に、半径方向で狭いことをさらに示している。これにより、（水平方向に対して）低い傾斜の表面からの反射光線が、開口絞り１００を通過することを可能になる。典型的な値は、０．５度でピークレスポンス、０．３から１度の間で有意義なレスポンスを有し、０度で非常に低い正反射がある。

［００８０］開口絞りの外径は、対物レンズの直径に適合するべきである。開口絞りの中心は、開いていてもよく、全開放されていてもよい。

［００８１］図６は、本発明の実施形態に係る、開口ポイント１４１、対応する不透明領域１２１、及び正反射角度から微妙に偏差する反射角度の間の対応付けを示す。

［００８２］光線１６１は、ポイント１４１を通過し、入射角度１７１を有する。照射された対象物（対象物の照射されたポイント）が水平である場合、反射光線１６３は、入射角度１７１に等しい反射角度１７２で反射する。反射光線１６３は、不透明エリア１２１によって遮断される。不透明エリア１２１の幅１３５は、反射角度１７２からの小さな角度偏差１７３の影響を受ける反射光線を遮断するように調整される。反射光線１６２及び１６４（傾いたボックスのように図示されたウエハの傾いたエリアから反射）は、不透明エリア１２１によって遮断されず、不透明エリア１２１の境界の近くを通過する。

［００８３］図７は、本発明の実施形態に係る開口絞り１００を示す。

［００８４］開口絞り１００は、１つ又は複数の開口エリア１８２によって囲まれた不透明らせん状エリア１８１を含む。各開口ポイント（１４３など）は、照射角度に対応付けられ、且つ開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた不透明らせん状エリアの対応する不透明領域ポイント（ポイント１２３など）に関連付けされる。不透明らせん状エリア１８１の幅は、正反射ではなく、正反射からわずかの角度で偏差する反射を遮断しないように調整することができる。

［００８５］図８は、２つの異なるダイからなる２つの領域、及びこれらの領域の間の間隙３２３から構成されたボックス２０１を示す。領域２１１及び２１３は、それぞれ異なるダイに属し得る。

［００８６］図８は、２つの異なるダイからなる（平坦、水平、及び正反射性である）２つの領域２１１及び２１３、及びこれらの領域の間の間隙２１２から構成されたボックス２０２を示す。領域２１１及び２１３は、それぞれ異なるダイに属し得る。ボックス２０２には、間隙２１２に近接する欠け欠陥２１５及び亀裂欠陥２１６がさらに示されている。ウエハ内の内部亀裂は、ウエハの一部を微妙に上昇（又は傾斜）させる場合があり、それにより、水平に対して微妙に傾斜した上部表面を有する亀裂欠陥２１６が生じる。

［００８７］図９は、２つの異なるダイからなる平らな正反射領域、並びに欠け欠陥及び亀裂欠陥が近接するダイ間の間隙のイメージ図２０３、２０４、及び２０５を示す。

［００８８］イメージ図２０３は、明視野照明を用いて得られた。イメージ図２０３では、金属の適正な反射は明るい。暗い領域は、欠けた材料を示す。これは、欠け欠陥２１５である。亀裂は観察可能ではない。

［００８９］イメージ図２０４は、暗視野照明を用いて得られた。イメージ図２０４では、金属の適正な反射は暗い。欠けた材料は、端部からの反射に起因して明るく見える。欠け欠陥２１５は、明るい領域として検出される。亀裂欠陥は、傾斜角度が低いために観察可能ではない。

［００９０］イメージ図２０５は、有効瞳直径（ｅｆｆｅｃｔｉｖｅ ｐｕｐｉｌ ｄｉａｍｅｔｅｒ）よりも明らかに小さい直径を有する円形開口絞りを用いて得られた。円形開口絞りは、対物レンズの瞳において配置される。このような円形開口絞りは、亀裂欠陥の検出を可能にするが、亀裂欠陥２１６は暗く見えるので、欠け欠陥２１５と区別することが難しい。

［００９１］図１０は、本発明の実施形態に係るイメージ図２０６を示す。

［００９２］イメージ図２０６では、（正反射の遮断に起因して）適正な金属反射が低く、欠け欠陥２１５は、明らかに視認できる亀裂欠陥２１６よりも遥かに暗い。亀裂欠陥２１６は、欠け欠陥２１５、領域２１１、及び間隙２１２よりも明るい。

［００９３］図１１は、本発明の実施形態に係る方法３００を示す。

［００９４］方法３００は、対物レンズの絞りにおいて位置する開口絞りに照射を行うステップ３１０で開始し得る。

［００９５］ステップ３１０の後に、開口絞り及び対物レンズを通過する光によって対象物に照射を行うステップ３２０が続き得る。

［００９６］ステップ３２０の後に、開口絞りを通過する、正反射光と異なる反射光を対物レンズによって集光し、開口絞りを通過する反射光を検出器に向けて方向付けるステップ３３０が続き得る。

［００９７］ステップ３１０及び３２０で言及された開口絞りは、明細書（図４、５、７、及び１２から１６を含むが、それらに限定されない）に記載されたいずれかの開口絞りであってもよい。

［００９８］開口絞りについては、発明の概要又は明細書の他のいずれかの箇所における開口絞りに関する任意の記載をステップ３１０で照射された開口絞りに当てはめることができる。

［００９９］例えば、以下の少なくとも１つが真である：
（ｉ）開口絞りが、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む円形領域を含み、少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられ、少なくとも１つの開口領域が、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含む境界を有する特定の開口領域を含むこと、
（ｉｉ）開口絞りが、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む非円形領域を含み、少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）開口ポイントに対応付いた照射角度からの正反射角度に対応付けられた少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられること、
（ｉｉｉ）開口絞りが、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む領域を含み、領域の軸からの複数の距離について、且つ軸に沿って位置付けされた複数について、領域の軸からの距離で位置付けされた不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがあること。

［０１００］図１２は、不透明領域４１２によって囲まれた、三角形状の開口４２４を含む三角形４２０として形成された非円形領域及び台形形状の開口４２２を含む開口絞り４１０を示す。

［０１０１］四角４２０は、（−４５度で配向された）対称軸４２９及び４５度で配向された非対称軸４２８を有する。

［０１０２］非対称軸４２８が非対称軸と呼ばれるのは、四角４２０の中では、非対称軸の一方の側に位置する各開口ポイントは、対応する不透明ポイントが鏡映位置（すなわち、非対称軸の他方の側）に位置するからである。

［０１０３］三角形状の開口４２４は、三角形状の不透明領域４２１によって「鏡映」される。台形状の開口４２２は、台形状の不透明領域４２３によって「鏡映」される。

［０１０４］図１３は、３つの開口ポイント４３１、４３２、及び４３３、並びにそれぞれ対応する不透明ポイント４３４、４３５、及び４３６を示す。

［０１０５］ポイント４３１及び４３４は、軸４３８上に位置付けされ、ポイント４３２及び４３５は、軸４３７上に位置付けされ、ポイント４３３及び４３６は、軸４３９上に位置付けされる。軸４３７及び４３８は、対称軸４２９に平行する。

［０１０６］対称軸及び非対称軸は、他の態様（例えば、４５度及び／又は−４５度で配向されない態様）で配向されてもよい。この配向は、対称の欠陥の予期される配向又は実際の配向に従って設定されてもよい。

［０１０７］例えば、開口絞り４１０は、（０度及び９０度の配向に対応する）Ｘ軸及び／又はＹ軸に沿って配向するように予期される欠陥を検査するよう設計されている。

［０１０８］三角形状の開口４２４及び台形状の開口４２２の形状及び配向により、水平又は垂直な欠陥からの非正反射を受けることが可能となる。

［０１０９］図１４から図１６は、本発明の実施形態に係る開口絞り４５０を示す。

［０１１０］開口絞り４５０は、らせん状ではなく、らせんの近似形とは異なる開口絞りの実施例である。

［０１１１］開口絞り４５０は、３つの開口４６１、４６２、及び４６３を含む。開口４６３及び４６２を組み合わせてもよく、開口部４６５（図１５参照）を開口部４６２の他の部分から分離し得ることに留意されたい。

［０１１２］開口絞り４５０は、対称軸４９１及び非対称軸４９２を有する。この対称は、開口４６３及び開口部４６５が、開口部４５５に対する関係において異なるので、おおよその対称である。

［０１１３］開口絞り４５０もさらに、（０度及び９０度の配向に対応する）Ｘ軸及び／又はＹ軸に沿って配向するように予期される欠陥を検査するよう設計されている。

［０１１４］開口絞り４５０（図１７参照）は、開口絞り４１０に比べて、（正反射に対する）１から５度の角度偏差でより多くの（減衰がより少ない）反射信号を通過させる。図１７の（開口絞り４１０に関連する）曲線７１０に対する（開口絞り４５０に関連する）曲線７２０を参照されたい。

［０１１５］開口絞りの円形領域４５９は、内側円形部分４５２、及び内側円形部分４５２を囲む外側リング４５１から形成され得る。

［０１１６］内側円形部分４５２の中に位置する様々な開口及び／又は開口部分は、それぞれ、内側開口及び／又は内側開口部分と呼ばれる。

［０１１７］外側リング４５１の中に位置する様々な開口及び／又は開口部分は、それぞれ、外側開口及び／又は外側開口部分と呼ばれる。

［００１１８］開口４６２は、線形縁部４６２１、４６２３、４６２５、４６２７、４６２９、４６５１、４６５２、４６５３、４６５４、４６５６、並びに非線形縁部４６２２、４６２４、４６２６、４６２８、４６５５、及び４６５７を有する。

［００１１９］線形縁部４６２１、４６５２は、非対称軸に平行であり、内側円形領域４５２の割線である。

［００１２０］線形縁部４６２３、２６２５、４６２７、４６２９、４６５４、及び４６５６は、開口絞り４５０の仮想直径の一部である。

［００１２１］線形縁部４６５１及び４６５３は、非対称軸に対して（９０度未満で）配向され、開口絞り４５０の任意の直径の一部ではない。

［００１２２］開口４６１は、線形縁部４６１１、４６１３、及び４６１５を有し、非線形縁部４６１４を有する。

［００１２３］線形縁部４６１１は、非対称軸に平行であり、内側円形領域４５２の割線である。

［００１２４］線形縁部４６１３は、開口絞り４５０の仮想直径の一部である。

［００１２５］線形縁部４６１２及び４６１６は、非対称軸に対して（９０度未満で）配向され、開口絞り４５０の任意の直径の一部ではない。

［００１２６］縁部４６１４、４６２４、４６２８、及び４６５５は、外側リング４５１の外側端部の一部であり得る。

［００１２７］縁部４６２２、４６５１、４６５３、及び４６５７は、内側円形領域４５２の外側にある外側リング４５１の内側端部の一部であり得る。

［０１２８］図１６は、５つの開口ポイント４７１、４７２、４７３、４７４、及び４７５、並びにそれぞれ対応する不透明ポイント４７６、４７７、４７８、４７９、及び４８０を示す。

［０１２９］開口ポイントと対応する不透明ポイントとのそれぞれの対は、開口絞り４５０の中心から同じ距離で、互いに対向する側で開口絞り４５０の直径上に位置付けされる。

［００１３０］対称軸及び非対称軸は、他の態様（例えば、４５度及び／又は−４５度で配向されない態様）で配向されてもよい。この配向は、対称の欠陥の予期される配向又は実際の配向に従って設定されてもよい。

［００１３１］当業者であれば、上記の動作の機能間の境界は例示に過ぎないことを認識するであろう。複数の動作の機能を単一の動作に組み合わせてもよく、且つ／又は、単一の動作の機能を追加の動作群に分散させてもよい。さらに、代替の実施形態は、特定の動作の複数の実例を含んでもよく、他の様々な実施形態で動作の順序が変更されてもよい。

［００１３２］したがって、本明細書に示す構造は例示に過ぎず、実際には、同じ機能を達成する多くの他の構造を実装し得ることを理解されたい。抽象的ではあるが、それでも明確な意味において、所望の機能が達成されるように、同じ機能を達成する構成要素の任意の配置が効果的に「関連付け」られる。したがって、特定の機能を達成するために組み合わされた任意の２つの構成要素は、構造又は中間構成要素に関わらず、所望の機能が達成されるように、互いに「関連付け」られていると見なしてもよい。同様に、そのように関連付けられた任意２つの構成要素は、さらに、所望の機能が達成するために、互いに「動作可能に接続されている」又は「動作可能に連結されている」と見なしてもよい。

［００１３３］しかしながら、その他の修正、変形、及び代替物も可能である。したがって、本明細書及び図面は、限定的ではなく例示的なものとみなすべきである。

［００１３４］本出願は、二次元に限定されず、三次元検査に拡大することができる。検査される基板は、ウエハに限定されず、任意の種類の基板、特にプリント基板、ソーラーパネル、ＭＥＭＳデバイスなどの平坦な基板を含み得る。

［００１３５］「含む／備える（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）」という用語は、請求項に列挙された要素又はステップ以外の要素又はステップの存在を除外しない。このように使用される用語は、本明細書に記載された本発明の実施形態が、例えば、図示されているか又はさもなければ本明細書に記載されている配向とは異なる配向で動作可能であるように、適切な状況下で交換可能であると理解される。

［００１３６］さらに、本明細書で使用される不定冠詞（ａ又はａｎ）は、１つ又は１つ以上であると規定される。また、特許請求の範囲において「少なくとも１つの」及び「１つ又は複数の」などの導入句を使用することは、不定冠詞「ａ」又は「ａｎ」によって別の請求項の要素を導入することが、そのように導入された請求項の要素を含む任意の特定の請求項を、たとえ同じ請求項が導入句「１つ又は複数の」又は「少なくとも１つの」及び「ａ」又は「ａｎ」などの不定冠詞を含む場合であっても、そのような要素を１つのみを含む発明に限定すると解釈するべきではない。定冠詞の使用についても同じことが言える。別途記載されていない限り、「第１」及び「第２」などの表現は、このような表現が表す要素を恣意的に区別するために使用される。

［００１３７］したがって、これらの表現は、必ずしもこのような要素の一時的な優先順位づけ又はその他の優先順位づけを示すことを意図していない。特定の手段が互いに異なる請求項に列挙されているという事実は、これらの手段の組み合わせを有利に使用できないことを示すものではない。

Claims (33)

1. 少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む非円形領域を含む開口絞りであって、前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられる、開口絞り。
2. 前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントについては、前記少なくとも１つの不透明領域内の前記対応ポイントが、前記少なくとも１つの開口領域内の前記ポイントに対して、前記非円形領域の中心に関連して対称である、請求項１に記載の開口絞り。
3. 前記少なくとも１つの不透明領域の複数のポイントが、照射角度に関連付けられた前記少なくとも１つの開口領域のポイントに関連付けられ、前記複数のポイントが、前記正反射の伝播経路を含む仮想平面内の正反射角度から小さな角度偏差で対応付けられる、請求項１に記載の開口絞り。
4. 前記非円形領域が多角形である、請求項１に記載の開口絞り。
5. 前記非円形領域が四角である、請求項１に記載の開口絞り。
6. 少なくとも１つの開口領域が多角形である、請求項１に記載の開口絞り。
7. 少なくとも１つの開口領域が、三角形状の開口及び台形状の開口を含む、請求項１に記載の開口絞り。
8. 少なくとも１つの不透明領域が、三角形状の不透明領域及び台形状の不透明領域を含む、請求項６に記載の開口絞り。
9. 非円形領域が、非対称軸を有し、前記三角形状の開口及び前記台形状の不透明領域が、前記非対称軸の一方の側に位置付けされ、前記三角形状の不透明領域及び前記台形形状の開口が、前記非対称軸の他方の側に位置付けされている、請求項７に記載の開口絞り。
10. 少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む円形領域を含む開口絞りであって、前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられ、前記少なくとも１つの開口領域が、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含む境界を有する特定の開口領域を含む、開口絞り。
11. 前記特定の開口が、円弧の組み合わせと異なる形状を有する、請求項１０に記載の開口絞り。
12. 前記円形領域が対称軸を有し、前記複数の開口が、前記対称軸に関連して対称である、請求項１０に記載の開口絞り。
13. 前記円形領域が、外側リングによって囲まれた内側円形部分を含み、複数の内側開口部分が、前記内側円形部分の中に位置付けされ、複数の外側開口部分が、前記外側リングの中に位置付けされている、請求項１０に記載の開口絞り。
14. 前記内側円形部分及び前記外側リングのうちの少なくとも１つの中に少なくとも１つの開口をさらに含む、請求項１３に記載の開口絞り。
15. 前記内側開口部分がそれぞれ、少なくとも１つの割線及び前記内側円形部分の端部によって区切られている、請求項１３に記載の開口絞り。
16. 前記外側開口部分がそれぞれ、前記外側リングの少なくとも１つの半径方向線、内側端部、及び外側端部によって区切られている、請求項１３に記載の開口絞り。
17. ３つの外側開口部分及び２つの外側開口が、前記外側リングの中に位置し、２つの内側開口部分が、前記内側円形領域の中に位置する、請求項１３に記載の開口絞り。
18. 少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む領域を含む開口絞りであって、前記領域の軸からの複数の距離について、且つ前記軸に沿って位置付けされた複数の距離について、前記領域の前記軸からの前記距離で位置付けされた不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがある、開口絞り。
19. 前記領域の前記軸が、対称軸及び非対称軸から選択される、請求項１８に記載の開口絞り。
20. 各開口ポイントが照射角度に対応し、各不透明領域ポイントが正反射角度に対応する、請求項１８に記載の開口絞り。
21. 各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離が、前記正反射角度からの小さな角度偏差に対応する、請求項１８に記載の開口絞り。
22. 前記小さな角度偏差が５度を越えない、請求項２１に記載の開口絞り。
23. 光源、対物レンズ、及び開口絞りを備えた検査システムであって、前記光源が、前記開口絞りに照射を行うように構成され、前記開口絞りが、前記対物レンズの絞りにおいて位置付けされており、
    （ｉ）前記開口絞りが、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む円形領域を含み、前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられ、前記少なくとも１つの開口領域が、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含む境界を有する特定の開口領域を含むこと、
    （ｉｉ）前記開口絞りが、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む非円形領域を含み、前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられること、
    （ｉｉｉ）前記開口絞りが、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む領域を含み、前記領域の軸からの複数の距離について、且つ前記軸に沿って位置付けされた複数の距離について、前記領域の前記軸からの前記距離で位置付けされた不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがあること、
    のうちの少なくとも１つが真である、検査システム。
24. 対物レンズの絞りにおいて位置する開口絞りに照射を行うことと、
    前記開口絞り及び前記対物レンズを通過する光によって対象物に照射を行うことと、
    前記開口絞りを通過する反射光を前記対物レンズによって集光することであって、前記反射光が正反射光と異なる、集光することと、
    前記開口絞りを通過する前記反射光を検出器に向けて方向付けることと
    を含む方法であって、
    （ｉｖ）前記開口絞りが、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む円形領域を含み、前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられ、前記少なくとも１つの開口領域が、少なくとも１つの線形境界部分及び少なくとも１つの非線形境界部分を含む境界を有する特定の開口領域を含むこと、
    （ｖ）前記開口絞りが、少なくとも１つの不透明領域及び少なくとも１つの開口領域を含む非円形領域を含み、前記少なくとも１つの開口領域内の各ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記少なくとも１つの不透明領域内の対応ポイントに関連付けられること、
    （ｖｉ）前記開口絞りが、少なくとも１つの不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む領域を含み、前記領域の軸からの複数の距離について、且つ前記軸に沿って位置付けされた複数の距離について、前記領域の前記軸からの前記距離で位置付けされた不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがあること、
    のうちの少なくとも１つが真である、方法。
25. 複数のポイントを含む円形領域を含む開口絞りであって、前記複数のポイントが、すべての極角にわたって広がる複数の不透明領域ポイント及びすべての極角にわたって広がる複数の開口ポイントを含み、各開口ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた対応する不透明領域ポイントに関連付けられており、各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離が、前記正反射角度から５度を越えない角度偏差に対応する、開口絞り。
26. 前記複数の開口ポイントが、前記円形領域の中心からの大半の距離の中に位置付けされている、請求項２５に記載の開口絞り。
27. １つ又は複数の開口エリアによって囲まれた不透明らせん状エリアを含む円形領域を含む開口絞りであって、各開口ポイントが、照射角度に対応付けられ、且つ前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記不透明らせん状領域の対応する不透明領域ポイントに関連付けられる、開口絞り。
28. らせん状不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む円形領域を含む開口絞りであって、前記円形領域の中心からの複数の距離について、且つ各極角について、前記円形領域の前記中心からの前記距離で位置付けされ、前記極角によって配向された前記円形領域の直径に属する不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがある、開口絞り。
29. 各開口ポイントが照射角度に対応し、各不透明領域ポイントが正反射角度に対応する、請求項２８に記載の開口絞り。
30. 各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離が、前記正反射角度からの小さな角度偏差に対応する、請求項２９に記載の開口絞り。
31. 前記小さな角度偏差が５度を越えない、請求項３０に記載の開口絞り。
32. 光源、対物レンズ、及び開口絞りを備えた検査システムであって、前記光源が、前記開口絞りに照射を行うように構成され、前記開口絞りが、前記対物レンズの絞りにおいて位置付けされており、
    （ｉ）前記開口絞りが、複数のポイントを含む円形領域を含み、前記複数のポイントが、すべての極角にわたって広がる複数の不透明領域ポイント及びすべての極角にわたって広がる複数の開口ポイントを含み、各開口ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた対応する不透明領域ポイントに関連付けられ、各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離が、前記正反射角度から５度を越えない角度偏差に対応すること、
    （ｉｉ）前記開口絞りが、１つ又は複数の開口エリアによって囲まれた不透明らせん状エリアを含む円形領域を含み、各開口ポイントが、照射角度に対応付けられ、且つ前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記不透明らせん状領域の対応する不透明領域ポイントに関連付けられること、
    （ｉｉｉ）前記開口絞りが、らせん状不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む円形領域を含み、前記円形領域の中心からの複数の距離について、且つ各極角について、前記円形領域の前記中心からの前記距離で位置付けされ、前記極角によって配向された前記円形領域の直径に属する不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがあること
    のうちの少なくとも１つが真である、検査システム。
33. 対物レンズの絞りにおいて位置する開口絞りに照射を行うことと、
    前記開口絞り及び前記対物レンズを通過する光によって対象物に照射を行うことと、
    前記開口絞りを通過する反射光を前記対物レンズによって集光することであって、前記反射光が正反射光と異なる、集光することと、
    前記開口絞りを通過する前記反射光を検出器に向けて方向付けることと
    を含む方法であって、
    （ｉ）前記開口絞りが、複数のポイントを含む円形領域を含み、前記複数のポイントが、すべての極角にわたって広がる複数の不透明領域ポイント及びすべての極角にわたって広がる複数の開口ポイントを含み、各開口ポイントが、（ａ）照射角度に対応付けられ、且つ（ｂ）前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた対応する不透明領域ポイントに関連付けられ、各不透明領域ポイントと、最も近い開口ポイントとの間の距離が、前記正反射角度から５度を越えない角度偏差に対応すること、
    （ｉｉ）前記開口絞りが、１つ又は複数の開口エリアによって囲まれた不透明らせん状エリアを含む円形領域を含み、各開口ポイントが、照射角度に対応付けられ、且つ前記開口ポイントに対応付いた前記照射角度からの正反射角度に対応付けられた前記不透明らせん状領域の対応する不透明領域ポイントに関連付けられること、
    （ｉｉｉ）前記開口絞りが、らせん状不透明エリア及び少なくとも１つの開口を含む円形領域を含み、前記円形領域の中心からの複数の距離について、且つ各極角について、前記円形領域の前記中心からの前記距離で位置付けされ、前記極角によって配向された前記円形領域の直径に属する不透明領域ポイント及び開口ポイントを含む一対のポイントがあること
    のうちの少なくとも１つが真である、方法。