JP2018054613A - マルチチャンバの分析装置および分析方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】以下のステップを備える。撮像装置114とマルチチャンバプレート110を1つの軸に沿って相対移動させる。マルチチャンバプレート110の第1の部分領域132の第1の部分画像と、マルチチャンバプレート110の第2の部分領域134の第2の部分画像とを撮像する。ここで、第1の部分領域132および第2の部分領域134は、隣接する部分領域である。1つの輪郭線が観察可能であるように、第1の部分領域132と第2の部分領域134の配向を調整する。輪郭線を使用して第1の部分画像および第2の部分画像を整合することによって、第1の部分画像および第2の部分画像からの少なくとも1つの合成画像を形成する。
【選択図】図2
Description
− 少なくとも1つの撮像装置およびマルチチャンバプレートを、少なくとも1つの軸に沿って互いに対して移動させること。
− マルチチャンバプレートの少なくとも1つの第1の部分領域の少なくとも1つの第1の部分画像と、マルチチャンバプレートの少なくとも1つの第2の部分領域の少なくとも1つの第2の部分画像とを撮像することであって、第1の部分領域および第2の部分領域は、マルチチャンバプレートの隣接する部分領域または重複する部分領域の内の1つもしくは両方である、撮像すること。
− 少なくとも1つの輪郭線が、第1の部分領域と第2の部分領域との両方で観測できるように、マルチチャンバプレートと撮像装置との内の1つまたは両方の配向を調整すること。
− 輪郭線を使用して第1の部分画像および第2の部分画像を整合することによって、第1の部分画像および第2の部分画像からの少なくとも1つの合成画像を形成すること。
実施形態1:マルチチャンバプレートを分析する方法であって、以下のステップを備える。
− 少なくとも1つの撮像装置およびマルチチャンバプレートを、少なくとも1つの軸に沿って互いに対して移動させること。
− マルチチャンバプレートの少なくとも1つの第1の部分領域の少なくとも1つの第1の部分画像と、マルチチャンバプレートの少なくとも1つの第2の部分領域の少なくとも1つの第2の部分画像とを撮像することであって、第1の部分領域および第2の部分領域は、マルチチャンバプレートの隣接する部分領域または重複する部分領域のうちの1つもしくは両方である、撮像すること。
− 少なくとも1つの輪郭線が、第1の部分領域と第2の部分領域との両方で観測できるように、マルチチャンバプレートまたは撮像装置の内の1つもしくは両方の配向を調整すること。
− 輪郭線を使用して第1の部分画像および第2の部分画像を整合することによって、第1の部分画像および第2の部分画像からの少なくとも1つの合成画像を形成すること。
実施形態4:前述の実施形態のいずれか1つによる方法であって、マルチチャンバプレートが少なくとも1つのチャンバのアレイを備える、方法。
実施形態6:前述の実施形態のいずれか1つによる方法であって、マルチチャンバプレートが第1の端部および第2の端部を有し、輪郭線が第1の端部から第2の端部まで延在する、方法。
実施形態9:前述の実施形態による方法であって、撮像装置が、軸に沿ったマルチチャンバプレートの範囲よりも小さい視野を有する、方法。
実施形態12:前述の実施形態のいずれか1つによる方法であって、マルチチャンバプレートの後続の部分領域を撮像することを備える、方法。
実施形態14:前述の実施形態による方法であって、撮像装置の焦点距離が調整可能である、方法。
実施形態16:前述の実施形態のいずれか1つによる方法であって、マルチチャンバプレートが少なくとも1つのチャンバのアレイを備え、方法は少なくとも1つの読取りステップを備え、読取りステップは複数のチャンバを読取ることを備え、読取りステップは合成画像の形成後に実行される、方法。
112 移動させること、移動させるステップ
114 撮像装置
116 アレイ
118 チャンバ
120 列
122 行
124 第1の端部
126 第2の端部
128 実質的に平坦な要素
130 撮像すること、撮像するステップ
132 第1の部分領域
134 第2の部分領域
136 調整すること、調整するステップ
138 輪郭線
140 形成すること、形成するステップ
142 読取りステップ
144 マルチチャンバプレートの分析装置
146 評価装置
Claims (15)
- マルチチャンバプレート(110)を分析する方法であって、
少なくとも1つの撮像装置(114)および前記マルチチャンバプレート(110)を、少なくとも1つの軸に沿って互いに対して移動させるステップ(110)と、
前記マルチチャンバプレート(110)の少なくとも1つの第1の部分領域(132)の少なくとも1つの第1の部分画像と、前記マルチチャンバプレート(110)の少なくとも1つの第2の部分領域(134)の少なくとも1つの第2の部分画像を撮像するステップ(130)であって、前記第1の部分領域(132)および前記第2の部分領域(134)は、前記マルチチャンバプレート(110)の隣接する部分領域または重複する部分領域のうちの1つもしくは両方である、撮像するステップ(130)と、
少なくとも1つの輪郭線(138)が、前記第1の部分領域(132)と前記第2の部分領域(134)との両方で観測できるように、前記マルチチャンバプレート(110)と前記撮像装置(114)との内の1つまたは両方の配向を調整するステップ(138)と、
前記輪郭線(138)を使用して前記第1の部分画像および前記第2の部分画像を整合することによって、前記第1の部分画像および前記第2の部分画像からの少なくとも1つの合成画像を形成するステップ(140)と、を備える方法。 - 前記マルチチャンバプレート(110)または前記撮像装置(114)の内の1つもしくは両方の、前記軸に沿った移動に関する少なくとも1つの情報が判定される、請求項1に記載の方法。
- 前記輪郭線(138)が、前記撮像装置(114)の焦点面内にある、請求項1または2に記載の方法。
- 前記マルチチャンバプレート(110)が少なくとも1つのチャンバ(118)のアレイ(116)を備え、前記合成画像を形成するステップが、チャンバ(118)の前記アレイ(116)の列(120)および/または行(118)をカウントするステップを備える、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マルチチャンバプレート(110)が第1の端部(124)および第2の端部(126)を有し、前記輪郭線(138)が前記第1の端部(124)から前記第2の端部(126)まで延在する、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記撮像装置(114)が少なくとも1つのセンサ面を有する少なくとも1つのセンサを備え、前記撮像装置(114)および/または前記マルチチャンバプレート(110)の配向を調整するステップが、前記センサ面と前記マルチチャンバプレート(110)との空間的配向を互いに対して調整するステップを備える、請求項1から5のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マルチチャンバプレート(110)が前記撮像装置(114)の被写界深度内で傾けられる、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記撮像装置(114)が、前記軸に沿った前記マルチチャンバプレート(110)の範囲よりも小さい視野を有する、請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。
- 前記撮像装置(114)が少なくとも1つの光学システムを備え、前記光学システムは、少なくとも1つの検出器と、少なくとも1つのレンズと、少なくとも1つのレンズシステムとから成るグループから選択される、少なくとも1つの光学要素を備える、請求項1から8のいずれか1項に記載の方法。
- 前記撮像装置(114)が、前記軸に沿った前記マルチチャンバプレート(110)の動きを監視するよう適合される、請求項1から9のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マルチチャンバプレート(110)の後続の部分領域を撮像するステップを備える、請求項1から10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記マルチチャンバプレート(110)が少なくとも1つのチャンバ(118)のアレイ(116)を備え、前記方法が少なくとも1つの読取りステップ(142)を備え、前記読取りステップ(142)は複数のチャンバ(118)を読取ることを備え、前記読取りステップ(142)が前記合成画像の形成後に実行される、請求項1から11のいずれか1項に記載の方法。
- マルチチャンバプレートの分析装置(144)であって、少なくとも1つの撮像装置(114)を備え、前記撮像装置(114)とマルチチャンバプレート(110)とを互いに対して、少なくとも1つの軸に沿って移動させるよう適合され、前記撮像装置(114)は、前記マルチチャンバプレート(110)の少なくとも1つの第1の部分領域(132)の少なくとも1つの第1の部分画像と、前記マルチチャンバプレート(110)の少なくとも1つの第2の部分領域(134)の少なくとも1つの第2の部分画像とを撮像するように適合され、前記第1の部分領域(132)および前記第2の部分領域(134)は、前記マルチチャンバプレート(110)の隣接する部分領域または重複する部分領域の内の1つもしくは両方であり、前記マルチチャンバプレートの分析装置(144)は、前記マルチチャンバプレート(110)または前記撮像装置(114)の内の1つもしくは両方の配向を、少なくとも1つの輪郭線(138)が前記第1の部分領域(132)および前記第2の部分領域(134)の両方で観測可能であるように調整するよう適合され、前記マルチチャンバプレートの分析装置(144)は、少なくとも1つの評価装置(146)を備え、前記評価装置(146)は、前記輪郭線(138)を使用して前記第1の部分画像と前記第2の部分画像とを整合することによって、前記第1の部分画像および前記第2の部分画像から少なくとも1つの合成画像を形成するよう適合される、マルチチャンバプレートの分析装置(144)。
- 請求項1から12のいずれか1項に記載の方法を実行するよう適合される、請求項13に記載のマルチチャンバプレートの分析装置(144)。
- 前記マルチチャンバプレート(110)を受入れるように適合された、少なくとも1つのマルチチャンバプレートホルダを含み、前記マルチチャンバプレートホルダが前記マルチチャンバプレート(110)の配向を調整するように適合される、請求項13または14に記載のマルチチャンバプレートの分析装置(144)。
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