JP2018041788A - 圧電素子 - Google Patents
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- 支持基板上に積層された圧電薄膜と、該圧電薄膜を挟んで配置された一対の電極とを備えた横圧電効果を利用した圧電素子において、
前記圧電薄膜は、少なくとも第1の圧電薄膜と第2の圧電薄膜を含む積層構造からなり、前記第1の圧電薄膜と前記第2の圧電薄膜のそれぞれの圧電性を示す結晶配向方向が、一方が上向きのとき、他方は下向きであることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1記載の圧電素子において、
前記圧電薄膜は前記支持基板に両端が固定されていることと、
前記圧電薄膜の一部を挟んで配置する前記一対の電極を複数組備え、少なくとも第1の圧電素子、第2の圧電素子および第3の圧電素子が形成されていることと、
前記第1の圧電素子、前記第2の圧電素子および前記第3の圧電素子は、前記両端の一端側から他端側へ順に並べて配置されていることと、
前記第1の圧電素子と前記第2の圧電素子、前記第2の圧電素子と前記第3の圧電素子は、前記圧電素子の電極から連続する延長部により直列接続されていることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1または2いずれか記載の圧電素子において、前記第1の圧電薄膜と前記第2の圧電薄膜の間に、圧電効果を有しない誘電体膜が積層されていることを特徴とする誘電体素子。
- 請求項1乃至3いずれか記載の圧電素子において、前記圧電薄膜は、音響圧力によって振動する膜であることを特徴とする圧電素子。
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