JP2018040778A - FBG temperature sensor - Google Patents

FBG temperature sensor Download PDF

Info

Publication number
JP2018040778A
JP2018040778A JP2016177171A JP2016177171A JP2018040778A JP 2018040778 A JP2018040778 A JP 2018040778A JP 2016177171 A JP2016177171 A JP 2016177171A JP 2016177171 A JP2016177171 A JP 2016177171A JP 2018040778 A JP2018040778 A JP 2018040778A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
fbg
optical fiber
temperature sensor
heat receiving
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016177171A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6736042B2 (en
Inventor
正人 若原
Masato Wakahara
正人 若原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Cmiws Coltd
Original Assignee
Cmiws Coltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cmiws Coltd filed Critical Cmiws Coltd
Priority to JP2016177171A priority Critical patent/JP6736042B2/en
Publication of JP2018040778A publication Critical patent/JP2018040778A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6736042B2 publication Critical patent/JP6736042B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an FBG temperature sensor that can further accurately measure a temperature of a narrow area where detection has been conventionally difficult.SOLUTION: A main body part 3 has a through-hole 31 into which an optical fiber 2 is inserted. Further, the main body part 3 cantilever-supports the optical fiber 2 inserted into the through-hole 31 on one side of an FBG part 21. A heat reception part 4 contacts with a temperature detection object. A thermal conductivity part 5 is arranged at a space with the optical fiber 2 in a state of surrounding a periphery of the FBG part 21. Further, the thermal conductivity part 5 is thermally connected to the heat reception part 4. A coupling part 35 is provided in the main body part 3. The coupling part 35 supports an outer peripheral surface of the heat reception part 4 or an outer peripheral surface of the thermal conductivity part 5, and thereby fixes the heat reception part 4 to the main body part 3. In the foregoing configuration, the coupling part 35 is composed of a material lower in a thermal conductivity than the heat reception part 4 and the thermal conductivity part 5.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、FBG(Fiber Bragg Grating)温度センサに関し、特に、高温の温度測定に好適なFBG温度センサに関する。   The present invention relates to an FBG (Fiber Bragg Grating) temperature sensor, and more particularly to an FBG temperature sensor suitable for high temperature measurement.

近年、FBG(Fiber Bragg Grating)が形成された光ファイバを使用した光ファイバセンサが温度センサとして使用されている。FBGのブラッグ波長は、光ファイバの屈折率と回折格子の格子間隔とによって定まる。そのため、温度が変化した場合の屈折率の変動や、光ファイバの熱伸縮(膨張・収縮)によってもブラッグ波長が変化する。このブラッグ波長の変化を検知することにより、温度の変化を検知することができる。   In recent years, an optical fiber sensor using an optical fiber formed with FBG (Fiber Bragg Grating) has been used as a temperature sensor. The Bragg wavelength of FBG is determined by the refractive index of the optical fiber and the grating spacing of the diffraction grating. For this reason, the Bragg wavelength also changes due to changes in the refractive index when the temperature changes and thermal expansion / contraction (expansion / contraction) of the optical fiber. By detecting this change in Bragg wavelength, a change in temperature can be detected.

温度センサとしての機能を向上させるため、種々の構造が提案されている。例えば、後掲の特許文献1は、FBG部を有する光ファイバと、当該光ファイバ上に塗布される、線膨張率の高い樹脂コーティング層と、当該樹脂コーティング層上に形成される金属材料のコーティング層を備える温度センサを開示している。この構造によれば、線膨張率の高い樹脂からなるコーティング層の作用によりFBG部の熱伸縮の感度を増大させることができるとともに、金属材料からなるコーティング層の作用により樹脂コーティング層への伝熱を確保することができる。その結果、極低温環境下での温度センサとしての機能を向上させることができるとされている。   In order to improve the function as a temperature sensor, various structures have been proposed. For example, Patent Document 1 described later discloses an optical fiber having an FBG portion, a resin coating layer having a high linear expansion coefficient applied on the optical fiber, and a coating of a metal material formed on the resin coating layer. A temperature sensor comprising a layer is disclosed. According to this structure, the sensitivity of the thermal expansion and contraction of the FBG portion can be increased by the action of the coating layer made of a resin having a high linear expansion coefficient, and the heat transfer to the resin coating layer by the action of the coating layer made of a metal material. Can be secured. As a result, it is said that the function as a temperature sensor in a cryogenic environment can be improved.

また、特許文献2は、光ファイバの温度測定点に対応する位置の表面に、当該光ファイバよりも熱膨張率が大きい金属層を備える温度センサを開示している。この構造によれば、金属層の作用によりFBG部の熱伸縮の感度を増大させることができる。その結果、極低温環境下での温度センサとしての機能を向上させることができるとされている。   Patent Document 2 discloses a temperature sensor including a metal layer having a thermal expansion coefficient larger than that of the optical fiber on the surface corresponding to the temperature measurement point of the optical fiber. According to this structure, the sensitivity of the thermal expansion and contraction of the FBG portion can be increased by the action of the metal layer. As a result, it is said that the function as a temperature sensor in a cryogenic environment can be improved.

さらに、特許文献3は、FBG部が形成された光ファイバの外表面を被覆する樹脂製被覆材がFBG温度センサの適用温度以上で火焼処理されるとともに、金属管内に非拘束かつ金属管の内周面とセンサケーブルの外周面との間に隙間が形成された状態で挿入された温度センサを開示している。この構造によれば、火焼処理の作用により高温環境下において被覆材である樹脂の熱分解に起因する光ファイバの特性変動を防止できるとともに、隙間の作用により金属管が膨張した場合でも、金属管よりも熱膨張率の低いセンサケーブルが引っ張られて切断することが防止できる。その結果、高温環境下での温度センサとしての機能を向上させることができるとされている。   Furthermore, Patent Document 3 discloses that a resin coating material that covers the outer surface of an optical fiber in which an FBG portion is formed is fired at a temperature higher than the application temperature of the FBG temperature sensor, and is not restrained in the metal tube. The temperature sensor inserted in the state in which the clearance gap was formed between the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the sensor cable is disclosed. According to this structure, it is possible to prevent fluctuations in the characteristics of the optical fiber due to the thermal decomposition of the resin that is the coating material in a high-temperature environment due to the action of the fire treatment, and even when the metal tube expands due to the action of the gap, The sensor cable having a lower coefficient of thermal expansion than the tube can be prevented from being pulled and cut. As a result, it is said that the function as a temperature sensor in a high temperature environment can be improved.

また、特許文献4は、一端又は一端の付近にFBG部を有する光ファイバと、光ファイバの端部及びFBG部か設けられた範囲を、光ファイバ、光ファイバ端部、及びFBG部から間隔を開けて囲む開口キャップとを備える温度センサを開示している。この温度センサでは、キャップが、FBG部から離れた側に位置する開口の位置で光ファイバにシールされている。そして、キャップがヤング率の低い材料で形成され、FBG部を歪みから分離するよう機能する構成になっている。この構造によれば、温度検知に関し、FBG部の歪みを分離できる。その結果、歪み計測用のFBG部を備える歪みセンサの温度補償のための温度センサとして好適に使用できるとされている。   Patent Document 4 describes an optical fiber having an FBG portion at one end or in the vicinity of the one end, and a range in which the end portion of the optical fiber and the FBG portion are provided at intervals from the optical fiber, the optical fiber end portion, and the FBG portion. A temperature sensor is disclosed that includes an open cap that opens and surrounds. In this temperature sensor, the cap is sealed by the optical fiber at the position of the opening located on the side away from the FBG portion. The cap is formed of a material having a low Young's modulus and functions to separate the FBG portion from strain. According to this structure, the distortion of the FBG portion can be separated with respect to temperature detection. As a result, it can be suitably used as a temperature sensor for temperature compensation of a strain sensor having an FBG unit for strain measurement.

特開2012−021939号公報JP 2012-021939 A 特開2014−190874号公報JP 2014-190874 A 特開2009−258007号公報JP 2009-258007 A 特開平11−072353号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-072353

上述のようにFBG部のブラッグ波長は、回折格子の格子間隔によって定まる。そのため、1本の光ファイバにおいて、互いに異なる位置に、格子間隔が互いに異なる回折格子を形成して直列に配置することで、複数の測定位置における温度を同時に計測する多点計測を比較的容易に実現することができる。そのため、従来のFBG温度センサは、上述の特許文献1から特許文献4が開示する構成のように、光ファイバの側面を温度検知対象に接触させた状態で設置することを前提とした構造になっている。   As described above, the Bragg wavelength of the FBG portion is determined by the grating interval of the diffraction grating. Therefore, in one optical fiber, diffraction gratings with different grating intervals are formed at different positions and arranged in series, so that multipoint measurement for simultaneously measuring temperatures at a plurality of measurement positions is relatively easy. Can be realized. Therefore, the conventional FBG temperature sensor is structured on the assumption that the side surface of the optical fiber is placed in contact with the temperature detection target as in the configuration disclosed in Patent Document 1 to Patent Document 4 described above. ing.

しかしながら、FBG部は、数mmから十数mm程度の長さの範囲にわたって光ファイバに形成されるため、上述のような配置方法では、温度検知対象において、FBG部の長さに対応する部分の温度の平均値を計測していることになる。すなわち、従来のFBG温度センサでは、例えば、公知の熱電対方式温度センサのように、極狭い領域の温度を正確に計測することは困難である。   However, since the FBG portion is formed in the optical fiber over a range of a length of about several millimeters to several tens of millimeters, in the arrangement method as described above, the portion corresponding to the length of the FBG portion is detected in the temperature detection target. The average value of temperature is measured. That is, in the conventional FBG temperature sensor, it is difficult to accurately measure the temperature in an extremely narrow region, for example, as in a known thermocouple type temperature sensor.

一方、特許文献4が開示するFBG温度センサの構造によれば、例えば、温度検知対象に対して、光ファイバが垂直となる位置関係でFBG温度センサを配置することも可能かもしれない。しかしながら、この場合、FBG部の周囲を囲むキャップが温度検知対象に接触することになる。特許文献4では、キャップは、石英ガラスやエポキシ樹脂により構成されているため、温度検知対象の急激な温度変化に対して追従できず、正確な温度を検知することができない。   On the other hand, according to the structure of the FBG temperature sensor disclosed in Patent Document 4, for example, it may be possible to arrange the FBG temperature sensor in a positional relationship in which the optical fiber is perpendicular to the temperature detection target. However, in this case, the cap surrounding the periphery of the FBG portion comes into contact with the temperature detection target. In Patent Document 4, since the cap is made of quartz glass or epoxy resin, it cannot follow a rapid temperature change of a temperature detection target and cannot detect an accurate temperature.

本発明は、このような従来技術の課題を鑑みてなされたものであって、従来、検知が困難であった狭い領域の温度を、より正確に測定することができるFBG温度センサを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a problem of the prior art, and provides an FBG temperature sensor that can more accurately measure the temperature of a narrow region that has been difficult to detect conventionally. With the goal.

上述の目的を達成するために、本発明は以下の技術的手段を採用している。まず、本発明は、FBG(Fiber Bragg Grating)部が形成された光ファイバを用いて温度を検知するFBG温度センサを前提としている。そして、本発明に係るFBG温度センサは、本体部、受熱部、熱伝導部、及び結合部を備える。本体部は、光ファイバが挿入される貫通孔を有する。また、本体部は、FBG部の一方側で、貫通孔に挿入された光ファイバを片持ち支持する。受熱部は、温度検知対象に接触する。熱伝導部は、FBG部の周囲を囲む状態で光ファイバと間隔をおいて配置される。また、熱伝導部は、受熱部と熱的に接続される。結合部は本体部に設けられる。結合部は、受熱部の外周面又は熱伝導部の外周面を支持することで、受熱部を本体部に固定する。以上の構成において、結合部は、受熱部及び熱伝導部よりも低熱伝導率の材質で構成される。   In order to achieve the above object, the present invention employs the following technical means. First, the present invention is premised on an FBG temperature sensor that detects temperature using an optical fiber in which an FBG (Fiber Bragg Grating) portion is formed. And the FBG temperature sensor which concerns on this invention is provided with a main-body part, a heat receiving part, a heat conductive part, and a coupling | bond part. The main body has a through hole into which the optical fiber is inserted. The main body cantilever supports the optical fiber inserted into the through hole on one side of the FBG portion. A heat receiving part contacts a temperature detection object. The heat conducting unit is disposed at a distance from the optical fiber so as to surround the periphery of the FBG unit. The heat conducting unit is thermally connected to the heat receiving unit. The coupling portion is provided on the main body portion. The coupling portion supports the outer peripheral surface of the heat receiving portion or the outer peripheral surface of the heat conducting portion, thereby fixing the heat receiving portion to the main body portion. In the above configuration, the coupling portion is made of a material having a lower thermal conductivity than the heat receiving portion and the heat conducting portion.

本発明のFBG温度センサによれば、受熱部に与えられた熱(温熱又は冷熱)を、熱伝導部を介してFBG部に伝える構成であるため、温度検知対象に対して受熱部が接触する面を、光ファイバの軸方向と交差する方向に配置することができる。そのため、受熱部の面積を光ファイバにおけるFBG部の長さにより規定される領域の面積よりも小さくすることができる。また、受熱部及び熱伝導部は、結合部において熱的に分離されているため、本体部側から熱が伝わることも防止されている。したがって、従来、検知が困難であった狭い領域の温度を、より正確に測定することができる。   According to the FBG temperature sensor of the present invention, since the heat (hot or cold) given to the heat receiving part is transmitted to the FBG part via the heat conducting part, the heat receiving part contacts the temperature detection target. The plane can be arranged in a direction intersecting the axial direction of the optical fiber. Therefore, the area of the heat receiving portion can be made smaller than the area of the region defined by the length of the FBG portion in the optical fiber. Moreover, since the heat receiving part and the heat conducting part are thermally separated at the joint part, heat is prevented from being transmitted from the main body part side. Therefore, it is possible to more accurately measure the temperature in a narrow region that has been difficult to detect conventionally.

このFBG温度センサにおいて、例えば、受熱部は、FBG部の他方側、すなわち、F
BG部を挟んで本体部と反対側に、光ファイバと間隔をおいて配置する構成を採用することができる。
In this FBG temperature sensor, for example, the heat receiving part is the other side of the FBG part, that is, F
It is possible to adopt a configuration in which the optical fiber is disposed at a distance on the opposite side of the main body portion with the BG portion interposed therebetween.

また、例えば、結合部は光ファイバの軸方向に沿って凹入する凹部により構成することができる。この場合、受熱部の外周面又は熱伝導部の外周面が当該凹部の内周面に支持される構成を採用することができる。   Further, for example, the coupling part can be constituted by a concave part that is recessed along the axial direction of the optical fiber. In this case, the structure by which the outer peripheral surface of a heat receiving part or the outer peripheral surface of a heat conductive part is supported by the inner peripheral surface of the said recessed part is employable.

さらに、熱伝導部は、一方端に開放端を有する筒状部材で構成することができる。この場合、受熱部は、筒状部材の他方端に設ける構成を採用することができる。筒状部材で構成された熱伝導部は、受熱部に近い位置と、受熱部から離れた位置とで異なる周囲長の外周面を有する構成を採用することができる。   Furthermore, the heat conducting part can be constituted by a cylindrical member having an open end at one end. In this case, the structure provided in the other end of a cylindrical member can be employ | adopted for a heat receiving part. The heat conduction part comprised with the cylindrical member can employ | adopt the structure which has the outer peripheral surface of circumference | surroundings different in the position close | similar to a heat receiving part, and the position away from the heat receiving part.

以上の構成において、結合部は、焼嵌め、圧入、又は螺合により熱伝導部の外周面を圧接することで受熱部を本体部に固定する構成を採用することができる。また、本体部は、焼嵌めにより貫通孔に挿入された光ファイバの外周面を圧接することで、光ファイバを片持ち支持する構成を採用することもできる。   In the above configuration, the coupling portion may employ a configuration in which the heat receiving portion is fixed to the main body portion by press-contacting the outer peripheral surface of the heat conducting portion by shrink fitting, press fitting, or screwing. In addition, the main body portion may be configured to support the optical fiber in a cantilever manner by pressing the outer peripheral surface of the optical fiber inserted into the through hole by shrink fitting.

本発明によれば、従来、検知が困難であった狭い領域の温度を、より正確に測定することができる。   According to the present invention, it is possible to more accurately measure the temperature of a narrow region that has been difficult to detect.

本発明の一実施形態におけるFBG温度センサの構造の一例を示す図The figure which shows an example of the structure of the FBG temperature sensor in one Embodiment of this invention 本発明の一実施形態におけるFBG温度センサの構造の一例を示す断面図Sectional drawing which shows an example of the structure of the FBG temperature sensor in one Embodiment of this invention 本発明の一実施形態におけるFBG温度センサを使用した温度検知システムの一例を示す概略構成図The schematic block diagram which shows an example of the temperature detection system which uses the FBG temperature sensor in one Embodiment of this invention 本発明の一実施形態におけるFBG温度センサの構造の他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the other example of the structure of the FBG temperature sensor in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態におけるFBG温度センサの構造の他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the other example of the structure of the FBG temperature sensor in one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態におけるFBG温度センサの構造の他の例を示す断面図Sectional drawing which shows the other example of the structure of the FBG temperature sensor in one Embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながらより詳細に説明する。図1は、本実施形態におけるFBG温度センサの構造の一例を示す図である。図1(a)は、本実施形態におけるFBG温度センサを示す平面図である。図1(b)は、本実施形態におけるFBG温度センサを示す側面図である。図1(c)は、本実施形態におけるFBG温度センサを示す底面図である。また、図2は、図1(a)に示すA−A線に沿う断面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a diagram showing an example of the structure of the FBG temperature sensor in the present embodiment. Fig.1 (a) is a top view which shows the FBG temperature sensor in this embodiment. FIG. 1B is a side view showing the FBG temperature sensor in the present embodiment. FIG.1 (c) is a bottom view which shows the FBG temperature sensor in this embodiment. Moreover, FIG. 2 is sectional drawing which follows the AA line shown to Fig.1 (a).

図1(a)から図1(c)及び図2に示すように、FBG温度センサ1は、光ファイバ2、本体部3、受熱部4、熱伝導部5、及び結合部35を備える。光ファイバ2は、FBG(Fiber Bragg Grating)部21を備える。後述のように、光ファイバ2は本体部3により片持ち支持される。FBG部21は、光ファイバ2の、支持されていない端部(以下、先端ともいう。)の近傍に形成されている。なお、光ファイバ2は、光を伝搬するコア、コアの周囲を取り囲みコア中を伝搬する光をコア側に反射させるクラッドが中心から順に配置された構造を有する。また、光ファイバ2の先端は、先端で反射された反射光が光ファイバ2内を逆進することがないように公知の端末処理がなされている。   As shown in FIGS. 1A to 1C and 2, the FBG temperature sensor 1 includes an optical fiber 2, a main body portion 3, a heat receiving portion 4, a heat conducting portion 5, and a coupling portion 35. The optical fiber 2 includes an FBG (Fiber Bragg Grating) unit 21. As will be described later, the optical fiber 2 is cantilevered by the main body 3. The FBG portion 21 is formed in the vicinity of an unsupported end portion (hereinafter also referred to as a tip) of the optical fiber 2. The optical fiber 2 has a structure in which a core that propagates light and a clad that surrounds the core and reflects light propagating through the core to the core side are arranged in order from the center. The tip of the optical fiber 2 is subjected to a known terminal treatment so that the reflected light reflected at the tip does not travel backward in the optical fiber 2.

公知のように、FBG部はブラッグ波長により規定される波長の光を反射する。FBG部は光ファイバのコアに所定の間隔で配置された複数の回折格子により構成され、ブラッグ波長は光ファイバの屈折率と回折格子の配置間隔との積に比例する。したがって、温度
上昇に起因する屈折率の増大や、光ファイバの伸長による回折格子間隔の拡大により、FBG部により反射される光の波長は大きくなる。また、温度低下に起因する屈折率の低下や、光ファイバの収縮による回折格子の間隔の縮小により、FBG部により反射される光の波長は小さくなる。
As is known, the FBG portion reflects light having a wavelength defined by the Bragg wavelength. The FBG portion is composed of a plurality of diffraction gratings arranged at a predetermined interval in the core of the optical fiber, and the Bragg wavelength is proportional to the product of the refractive index of the optical fiber and the arrangement interval of the diffraction gratings. Therefore, the wavelength of the light reflected by the FBG portion increases due to an increase in the refractive index due to the temperature rise and an increase in the diffraction grating interval due to the extension of the optical fiber. In addition, the wavelength of light reflected by the FBG portion becomes smaller due to a decrease in refractive index due to a temperature decrease and a reduction in the distance between diffraction gratings due to the contraction of the optical fiber.

光ファイバにFBG部を形成する加工方法としては、マスクを通じて光ファイバに紫外光を照射する方法が広く使用されている。当該マスクの光ファイバと対向する面には一定周期で複数条の溝が形成されており、当該マスクを通過した紫外光は、光ファイバに、溝の周期によって定まる周期の干渉縞(紫外光の強弱)を形成する。本加工方法では、この干渉縞を利用して光ファイバのコアに周期的な屈折率変化を生じさせることができる。   As a processing method for forming the FBG portion in the optical fiber, a method of irradiating the optical fiber with ultraviolet light through a mask is widely used. A plurality of grooves are formed at a fixed period on the surface of the mask facing the optical fiber, and the ultraviolet light that has passed through the mask is transmitted to the optical fiber by interference fringes (ultraviolet light having a period determined by the period of the groove). Strength). In this processing method, it is possible to cause a periodic refractive index change in the core of the optical fiber by using the interference fringes.

しかしながら、このような加工方法により形成したFBG部は、数百度程度の温度雰囲気に設置されるとコアに生じた屈折率変化が小さくなり、FBG部が消失してしまう。本実施形態では、光ファイバ2のコアにフェムト秒レーザを照射することにより屈折率変化を生じさせている。フェムト秒レーザはピーク出力が高いため、比較的高温であっても消失することのないFBG部21を光ファイバ2に形成することができる。   However, when the FBG portion formed by such a processing method is installed in a temperature atmosphere of about several hundred degrees, the refractive index change generated in the core becomes small, and the FBG portion disappears. In this embodiment, the refractive index change is caused by irradiating the core of the optical fiber 2 with a femtosecond laser. Since the femtosecond laser has a high peak output, the FBG portion 21 that does not disappear even at a relatively high temperature can be formed in the optical fiber 2.

なお、図中では、便宜上、光ファイバ2においてコアとクラッドとの境界を省略するとともに、光ファイバ2に等間隔で直線を付すことでFBG部21を表現している。   In the drawing, for convenience, the boundary between the core and the clad in the optical fiber 2 is omitted, and the FBG portion 21 is expressed by attaching straight lines to the optical fiber 2 at equal intervals.

図1(a)から図1(c)及び図2に示すように、本実施形態では、光ファイバ2を片持ち支持する本体部3は、円柱状の部材により構成される。本体部3は低熱伝導材料(断熱材料)により構成されている。特に限定されないが、本体部3は、例えば、ジルコニア系セラミックスにより構成することができる。本体部3の熱伝導率(常温)は、10W/(m・K)以下であることが好ましく、5W/(m・K)以下であることがより好ましい。   As shown in FIG. 1A to FIG. 1C and FIG. 2, in the present embodiment, the main body 3 that cantilever-supports the optical fiber 2 is constituted by a cylindrical member. The main body 3 is made of a low heat conductive material (heat insulating material). Although it does not specifically limit, the main-body part 3 can be comprised by zirconia ceramics, for example. The thermal conductivity (normal temperature) of the main body 3 is preferably 10 W / (m · K) or less, and more preferably 5 W / (m · K) or less.

本体部3は、軸方向に沿う貫通孔31を有する。貫通孔31には光ファイバ2が挿入される。本体部3の一方端には、本体部3(光ファイバ2)の軸方向に沿って凹入する凹部が形成されている。当該凹部は、後述のように、結合部35として機能する。図2に示すように、光ファイバ2は、FBG部21が当該凹部内に配置された状態で固定される。本体部3に対する光ファイバ2の固定は、例えば、焼嵌め等により実施することができる。また、図1(b)、図1(c)、図2に示すように、本体部3の他方端において、本体部3の他方端と光ファイバ2とを接着する接着剤6により固定することもできる。接着剤6には、耐熱性を有するアクリル系接着剤、シリコーン系接着剤、オレフィン系接着剤、ポリイミド系接着剤等を使用することができる。なお、図1(b)、図2に示すように、本実施形態では、接着剤6よりも計測器に接続される側の光ファイバ2は、コア及びクラッドを保護する外皮樹脂22により被覆されている。   The main body 3 has a through hole 31 along the axial direction. The optical fiber 2 is inserted into the through hole 31. A concave portion that is recessed along the axial direction of the main body 3 (optical fiber 2) is formed at one end of the main body 3. The concave portion functions as a coupling portion 35 as described later. As shown in FIG. 2, the optical fiber 2 is fixed in a state where the FBG portion 21 is disposed in the concave portion. The optical fiber 2 can be fixed to the main body 3 by, for example, shrink fitting. Further, as shown in FIGS. 1B, 1C, and 2, the other end of the main body 3 is fixed with an adhesive 6 that bonds the other end of the main body 3 and the optical fiber 2. You can also. As the adhesive 6, a heat-resistant acrylic adhesive, silicone adhesive, olefin adhesive, polyimide adhesive, or the like can be used. As shown in FIGS. 1B and 2, in this embodiment, the optical fiber 2 on the side connected to the measuring instrument with respect to the adhesive 6 is covered with an outer resin 22 that protects the core and the clad. ing.

光ファイバ2の先端側には、光ファイバ2と間隔をおいて、温度検知対象に接触する受熱部4が配置される。図1(a)に示すように、受熱部4は、平面視において円形の外形を有している。受熱部4の直径は、例えば、1mmから3mm程度とすることができる。   A heat receiving portion 4 that is in contact with the temperature detection target is disposed on the distal end side of the optical fiber 2 at a distance from the optical fiber 2. As shown to Fig.1 (a), the heat receiving part 4 has a circular external shape in planar view. The diameter of the heat receiving part 4 can be set to about 1 mm to 3 mm, for example.

また、FBG部21の周囲には、光ファイバ2と間隔をおいて熱伝導部5が配置されている。本実施形態では、熱伝導部5は、一方端に開放端を有する筒状部材(ここでは、円柱状部材)により構成されており、筒状部材の他方端に受熱部4が配置されている。特に限定されないが、本実施形態では、光ファイバ2(FBG部21)と熱伝導部5の内周面との間の間隔は、0.1mmから0.3mm程度である。   Further, a heat conducting unit 5 is disposed around the FBG unit 21 with a distance from the optical fiber 2. In the present embodiment, the heat conducting unit 5 is configured by a cylindrical member (here, a columnar member) having an open end at one end, and the heat receiving unit 4 is disposed at the other end of the cylindrical member. . Although not particularly limited, in the present embodiment, the distance between the optical fiber 2 (FBG portion 21) and the inner peripheral surface of the heat conducting portion 5 is about 0.1 mm to 0.3 mm.

受熱部4と熱伝導部5とは熱的に接続されていればよいが、本実施形態では、受熱部4
と熱伝導部5とは、高熱伝導材料により一体に構成されている。特に限定されないが、受熱部4と熱伝導部5には、熱伝導率の高い、銅等の金属の他、窒化アルミニウム系セラミックス等を使用することができる。受熱部4、熱伝導部5の熱伝導率(常温)は、20W/(m・K)以上であることが好ましく、50W/(m・K)以上であることがより好ましい。なお、本実施形態では、図2に示すように、熱伝導部5の内部にFBG部21の全体が収容される構成を採用しているが、例えば、光ファイバ2の軸方向に沿うFBG部21の長さが比較的長い場合、熱伝導部5の内部にFBG部21の一部が収容される構成を採用することも可能である。
The heat receiving unit 4 and the heat conducting unit 5 may be thermally connected, but in the present embodiment, the heat receiving unit 4 is used.
And the heat conducting portion 5 are integrally formed of a high heat conducting material. Although not particularly limited, the heat receiving portion 4 and the heat conducting portion 5 can be made of a metal having high thermal conductivity, such as copper, aluminum nitride ceramics, or the like. The heat conductivity (normal temperature) of the heat receiving unit 4 and the heat conducting unit 5 is preferably 20 W / (m · K) or more, and more preferably 50 W / (m · K) or more. In the present embodiment, as shown in FIG. 2, a configuration is adopted in which the entire FBG portion 21 is accommodated inside the heat conducting portion 5. For example, the FBG portion along the axial direction of the optical fiber 2 is used. When the length of 21 is relatively long, it is possible to adopt a configuration in which a part of the FBG portion 21 is accommodated inside the heat conducting portion 5.

また、本実施形態では、熱伝導部5は、受熱部4に近い位置と、受熱部4から離れた位置とで異なる周囲長の外周面を有している。すなわち、図2に示すように、受熱部4に近い位置の熱伝導部5の外径が、受熱部4から離れた位置の熱伝導部5の外径よりも大きくなっている(以下では、熱伝導部5において外径の大きい部分を大径部51、外径の小さい部分を小径部52ともいう。)。   Further, in the present embodiment, the heat conducting unit 5 has outer peripheral surfaces having different perimeter lengths at positions close to the heat receiving unit 4 and positions away from the heat receiving unit 4. That is, as shown in FIG. 2, the outer diameter of the heat conducting part 5 at a position close to the heat receiving part 4 is larger than the outer diameter of the heat conducting part 5 at a position away from the heat receiving part 4 (hereinafter, A portion having a large outer diameter in the heat conducting portion 5 is also referred to as a large diameter portion 51, and a portion having a small outer diameter is also referred to as a small diameter portion 52).

熱伝導部5は、結合部35を構成する本体部3の凹部に挿入される。当該凹部の内周面が熱伝導部5の外周面(ここでは、大径部51の外周面)を支持することで、受熱部4は本体部3に固定される。この場合、結合部35は、接着剤を用いることなく、熱伝導部5の外周面を固定する構成であることが特に好ましい。例えば、結合部35は、焼嵌め、又は圧入により熱伝導部5の外周面を圧接することで受熱部4を本体部3に固定する構成を採用することができる。また、熱伝導部5の外周面、及び結合部35の内周面に、ねじ山を形成し、螺合により受熱部4を本体部3に固定する構成を採用することもできる。なお、本実施形態では、熱伝導部5(受熱部4)と本体部3とは、連結部35のみで接触している。熱伝導部5(受熱部4)と本体部3との間の熱の移動をより抑制する観点では、熱伝導部5(受熱部4)と本体部3との接触面積はより小さいことが好ましい。本実施形態では、熱伝導部5の外周面に小径部52を設けることで、熱伝導部5と本体部3との接触面積をより小さくしている。   The heat conducting part 5 is inserted into the concave part of the main body part 3 constituting the coupling part 35. The heat receiving portion 4 is fixed to the main body 3 by supporting the outer peripheral surface of the heat conducting portion 5 (here, the outer peripheral surface of the large diameter portion 51) by the inner peripheral surface of the concave portion. In this case, the coupling part 35 is particularly preferably configured to fix the outer peripheral surface of the heat conducting part 5 without using an adhesive. For example, the coupling portion 35 can employ a configuration in which the heat receiving portion 4 is fixed to the main body portion 3 by press-fitting the outer peripheral surface of the heat conducting portion 5 by shrink fitting or press fitting. Further, it is possible to adopt a configuration in which a screw thread is formed on the outer peripheral surface of the heat conducting portion 5 and the inner peripheral surface of the coupling portion 35 and the heat receiving portion 4 is fixed to the main body portion 3 by screwing. In the present embodiment, the heat conducting part 5 (heat receiving part 4) and the main body part 3 are in contact with each other only at the connecting part 35. From the viewpoint of further suppressing the movement of heat between the heat conducting unit 5 (heat receiving unit 4) and the main body 3, the contact area between the heat conducting unit 5 (heat receiving unit 4) and the main body 3 is preferably smaller. . In the present embodiment, the contact area between the heat conduction part 5 and the main body part 3 is further reduced by providing the small diameter part 52 on the outer peripheral surface of the heat conduction part 5.

以上説明したように、このFBG温度センサ1では、受熱部4に与えられた熱(温熱又は冷熱)を、熱伝導部5を介してFBG部21に伝える構成であるため、温度検知対象に対して受熱部4が接触する面を光ファイバ2の軸方向と交差する方向に配置することができる。そのため、受熱部4の面積を光ファイバ2におけるFBG部21の長さにより規定される領域の面積よりも小さくすることができる。また、結合部35が受熱部4及び熱伝導部5よりも低熱伝導率の材質で構成されているため、受熱部4及び熱伝導部5は、結合部35において本体部3と熱的に分離されている。そのため、本体部3側から熱が伝わることも防止されている。したがって、従来、検知が困難であった狭い領域の温度を、より正確に測定することができる。   As described above, the FBG temperature sensor 1 is configured to transmit the heat (hot or cold) given to the heat receiving unit 4 to the FBG unit 21 via the heat conducting unit 5. Thus, the surface with which the heat receiving portion 4 comes into contact can be arranged in a direction crossing the axial direction of the optical fiber 2. Therefore, the area of the heat receiving portion 4 can be made smaller than the area of the region defined by the length of the FBG portion 21 in the optical fiber 2. Further, since the coupling portion 35 is made of a material having a lower thermal conductivity than the heat receiving portion 4 and the heat conducting portion 5, the heat receiving portion 4 and the heat conducting portion 5 are thermally separated from the main body portion 3 in the coupling portion 35. Has been. Therefore, heat is prevented from being transmitted from the main body 3 side. Therefore, it is possible to more accurately measure the temperature in a narrow region that has been difficult to detect conventionally.

また、FBG部21が形成された光ファイバ2はFBG部21の一方側で片持ち支持される構成であるため、例えば、本体部3の熱伸縮に起因する歪みがFBG部21に作用することもない。すなわち、FBG部21の格子間隔の変動や屈折率の変動は、FBG部21の周囲の温度変化のみに起因するものであるため、FBG温度センサ1の設置位置に応じた特別な補正等の必要がなく、極めて簡単に正確な温度を検知することができる。   Moreover, since the optical fiber 2 in which the FBG part 21 is formed is configured to be cantilevered on one side of the FBG part 21, for example, distortion caused by thermal expansion and contraction of the main body part 3 acts on the FBG part 21. Nor. That is, the change in the lattice spacing and the change in the refractive index of the FBG unit 21 are caused only by the temperature change around the FBG unit 21, so special correction or the like according to the installation position of the FBG temperature sensor 1 is necessary. And accurate temperature can be detected very easily.

さらに、受熱部4に与えられた熱が本体部3に伝わることもないため、温度検知対象が比較的高温である場合でも、受熱部4に与えられた熱が伝わって接着剤6や外皮樹脂22が劣化・破損することも防止できる。   Furthermore, since the heat given to the heat receiving part 4 is not transmitted to the main body part 3, even when the temperature detection target is a relatively high temperature, the heat given to the heat receiving part 4 is transmitted to the adhesive 6 and the outer resin. It is possible to prevent the 22 from being deteriorated or damaged.

以上のFBG温度センサ1は、エンジンのシリンダ内の温度計測等、高温の温度測定に特に好適である。例えば、エンジンのシリンダ内の温度を計測する場合、FBG温度セン
サ1は、シリンダブロックのシリンダ壁面の温度検知位置に設けられた貫通孔に、受熱部4の先端がシリンダの内壁面と面一となる状態で設置することができる。
The FBG temperature sensor 1 described above is particularly suitable for high-temperature temperature measurement, such as temperature measurement in an engine cylinder. For example, when measuring the temperature in the cylinder of the engine, the FBG temperature sensor 1 has a through-hole provided at the temperature detection position of the cylinder wall surface of the cylinder block, and the tip of the heat receiving portion 4 is flush with the inner wall surface of the cylinder. It can be installed in the state.

なお、FBG温度センサ1の反射波長の変化は、従来と同様に、光ファイバ2の端部に接続された計測器により取得される。計測器は、FBG温度センサ1のFBG部21における反射波長を含むブロードバンド光源及び反射波長を計測する受光器を備える。   The change in the reflected wavelength of the FBG temperature sensor 1 is acquired by a measuring instrument connected to the end of the optical fiber 2 as in the conventional case. The measuring device includes a broadband light source including a reflected wavelength in the FBG portion 21 of the FBG temperature sensor 1 and a light receiver that measures the reflected wavelength.

図3に示すように、複数のFBG温度センサ1を使用した温度検知システムを構成することもできる。この温度検知システム10は、計測器11、光スプリッタ12、及び複数のFBG温度センサ1を備える。計測器11は上述の光源及び受光器を備える。光スプリッタ12は、光ファイバ13を介して計測器11と接続される。また、光スプリッタ12には、各FBG温度センサ1の光ファイバ2が接続されている。光スプリッタ12は、計測器11から入射した光を、各FBG温度センサ1の光ファイバ2に分割して入射する機能を有するとともに、各FBG温度センサ1の光ファイバ2から入射した光を1つにまとめて計測器11に入射する機能を有する。なお、この場合、各FBGセンサ1のFBG部21のブラッグ波長は互いに異なる波長に設定される。これにより、反射光の波長に基づいて反射光の反射位置を容易に区別することができる。   As shown in FIG. 3, a temperature detection system using a plurality of FBG temperature sensors 1 can also be configured. The temperature detection system 10 includes a measuring instrument 11, an optical splitter 12, and a plurality of FBG temperature sensors 1. The measuring instrument 11 includes the above-described light source and light receiver. The optical splitter 12 is connected to the measuring instrument 11 via the optical fiber 13. The optical splitter 12 is connected to the optical fiber 2 of each FBG temperature sensor 1. The optical splitter 12 has a function of dividing the light incident from the measuring instrument 11 into the optical fiber 2 of each FBG temperature sensor 1 and entering one light incident from the optical fiber 2 of each FBG temperature sensor 1. And having the function of entering the measuring instrument 11 together. In this case, the Bragg wavelength of the FBG section 21 of each FBG sensor 1 is set to a different wavelength. Thereby, the reflection position of reflected light can be easily distinguished based on the wavelength of reflected light.

以下、FBG温度センサの変形例について説明する。図4から図6は、本実施形態におけるFBG温度センサの構造の他の例を示す図である。図4から図6において、FBG温度センサ1と同様の作用効果を奏する構成要素には同一の符号を付している。   Hereinafter, modifications of the FBG temperature sensor will be described. 4 to 6 are diagrams showing other examples of the structure of the FBG temperature sensor in the present embodiment. 4 to 6, the same reference numerals are given to the constituent elements having the same functions and effects as those of the FBG temperature sensor 1.

上述の例では、受熱部4の温度検知対象に接触する面と光ファイバ2の軸方向とが直交する構成としたが、図4に示すように、受熱部4の温度検知対象に接触する面と光ファイバ2の軸方向とが他の角度で交差する構成であってもよい。図4に示すFBG温度センサ7では、受熱部4の温度検知対象に接触する面と光ファイバ2の軸方向とのなす角が45度程度になっている。本構成によれば、本体部3を温度検知対象に対して斜めに配置することができるため、FBG温度センサの設置自由度を高めることが可能になる。   In the above-described example, the surface that contacts the temperature detection target of the heat receiving unit 4 and the axial direction of the optical fiber 2 are orthogonal to each other. However, as illustrated in FIG. And the axial direction of the optical fiber 2 may intersect at other angles. In the FBG temperature sensor 7 shown in FIG. 4, the angle formed between the surface of the heat receiving unit 4 that contacts the temperature detection target and the axial direction of the optical fiber 2 is about 45 degrees. According to this structure, since the main-body part 3 can be arrange | positioned diagonally with respect to a temperature detection object, it becomes possible to raise the installation freedom degree of a FBG temperature sensor.

また、上述の例では、結合部35を構成する本体部3の凹部の内周面が熱伝導部5の外周面を支持することで受熱部4が本体部3に固定される構成としたが、図5に示すFBG温度センサ8のように、結合部35を構成する本体部3の凹部の内周面が受熱部4の外周面を支持することで、受熱部4は本体部3に固定される構成を採用することもできる。   In the above-described example, the heat receiving portion 4 is fixed to the main body portion 3 by supporting the outer peripheral surface of the heat conducting portion 5 with the inner peripheral surface of the concave portion of the main body portion 3 constituting the coupling portion 35. 5, the heat receiving portion 4 is fixed to the main body portion 3 by supporting the outer peripheral surface of the heat receiving portion 4 by the inner peripheral surface of the concave portion of the main body portion 3 constituting the coupling portion 35 as in the FBG temperature sensor 8 shown in FIG. 5. It is also possible to adopt a configuration to be used.

さらに、図6に示すFBG温度センサ9のように、受熱部4に、熱伝導部5の内側と連通する貫通孔41を設けてもよい。本構成は、例えば、温度検知対象が気体である場合に好適である。   Further, as in the FBG temperature sensor 9 shown in FIG. 6, the heat receiving portion 4 may be provided with a through hole 41 communicating with the inside of the heat conducting portion 5. This configuration is suitable, for example, when the temperature detection target is a gas.

以上で説明したように、本発明によれば、従来、検知が困難であった狭い領域の温度を、より正確に測定することができる。   As described above, according to the present invention, it is possible to more accurately measure the temperature in a narrow region that has been difficult to detect.

なお、上述した実施形態は本発明の技術的範囲を制限するものではなく、既に記載したもの以外でも、本発明の範囲内で種々の変形や応用が可能である。例えば、上記実施形態では、特に好ましい形態として、本体部3の外形を円柱状としたが、四角柱状、多角柱状、円錐台状、角錐台状等、任意の形状を採用することができる。また、上記実施形態では、熱伝導部5の外周面の周囲長が受熱部4側で大きくなる構成としたが、熱伝導部5の外周面の周囲長が受熱部4側で小さくなる構成としてもよい。熱伝導部5の外周面周囲長も2段階のステップ状に変化することは必須でなく、3段階以上の多段階でステップ状に変化してもよく、連続的に変化してもよい。さらに、図5に示すFBG温度センサ8のように、熱伝導部5の外周面の周囲長が変化しない構成を採用することも可能である。   The above-described embodiments do not limit the technical scope of the present invention, and various modifications and applications other than those already described are possible within the scope of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the outer shape of the main body 3 is a cylindrical shape as a particularly preferable form, but any shape such as a quadrangular prism shape, a polygonal prism shape, a truncated cone shape, a truncated pyramid shape, etc. can be adopted. Moreover, in the said embodiment, although the circumference of the outer peripheral surface of the heat conductive part 5 became the structure which becomes large at the heat receiving part 4 side, it was set as the structure where the peripheral length of the outer peripheral surface of the heat conductive part 5 becomes small at the heat receiving part 4 side. Also good. It is not essential that the peripheral length of the outer peripheral surface of the heat conducting unit 5 be changed in two steps, and it may be changed in steps in three or more steps, or may be changed continuously. Furthermore, it is also possible to employ a configuration in which the peripheral length of the outer peripheral surface of the heat conducting unit 5 does not change, such as the FBG temperature sensor 8 shown in FIG.

本発明によれば、従来、検知が困難であった狭い領域の温度を、より正確に測定することができ、FBG温度センサとして有用である。   According to the present invention, a temperature in a narrow region that has been difficult to detect conventionally can be measured more accurately, which is useful as an FBG temperature sensor.

1、7、8、9 FBG温度センサ
2 光ファイバ
3 本体部
4 受熱部
5 熱伝導部
6 接着剤
21 FBG部
22 外皮樹脂
31 貫通孔
35 結合部
51 大径部
52 小径部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 7, 8, 9 FBG temperature sensor 2 Optical fiber 3 Main body part 4 Heat receiving part 5 Thermal conduction part 6 Adhesive 21 FBG part 22 Outer resin 31 Through-hole 35 Coupling part 51 Large diameter part 52 Small diameter part

Claims (7)

FBG(Fiber Bragg Grating)部が形成された光ファイバを用いて温度を検知するFBG温度センサであって、
前記光ファイバが挿入される貫通孔を有し、前記FBG部の一方側で、前記貫通孔に挿入された前記光ファイバを片持ち支持する本体部と、
温度検知対象に接触する受熱部と、
前記FBG部の周囲を囲む状態で前記光ファイバと間隔をおいて配置されるとともに、前記受熱部と熱的に接続された熱伝導部と、
前記本体部に設けられ、前記受熱部の外周面又は前記熱伝導部の外周面を支持することで、前記受熱部を前記本体部に固定する結合部と、
を備え、
前記結合部が、前記受熱部及び前記熱伝導部よりも低熱伝導率の材質で構成されるFBG温度センサ。
An FBG temperature sensor that detects temperature using an optical fiber in which an FBG (Fiber Bragg Grating) portion is formed,
A main body having a through hole into which the optical fiber is inserted, and cantilevering the optical fiber inserted into the through hole on one side of the FBG portion;
A heat receiving portion that contacts the temperature detection target;
A heat conducting portion disposed around the FBG portion and spaced apart from the optical fiber, and thermally connected to the heat receiving portion;
A coupling portion that is provided in the main body portion and supports the outer peripheral surface of the heat receiving portion or the outer peripheral surface of the heat conducting portion, thereby fixing the heat receiving portion to the main body portion;
With
An FBG temperature sensor in which the coupling portion is made of a material having a lower thermal conductivity than the heat receiving portion and the heat conducting portion.
前記受熱部は、前記FBG部の他方側に、前記光ファイバと間隔をおいて配置される、請求項1記載のFBG温度センサ。   2. The FBG temperature sensor according to claim 1, wherein the heat receiving portion is disposed on the other side of the FBG portion and spaced apart from the optical fiber. 前記結合部は前記光ファイバの軸方向に沿って凹入する凹部により構成され、前記受熱部の外周面又は前記熱伝導部の外周面が前記凹部の内周面に支持される、請求項1又は請求項2記載のFBG温度センサ。   The said coupling | bond part is comprised by the recessed part recessed along the axial direction of the said optical fiber, The outer peripheral surface of the said heat receiving part or the outer peripheral surface of the said heat conduction part is supported by the inner peripheral surface of the said recessed part. Or the FBG temperature sensor of Claim 2. 前記熱伝導部は、一方端に開放端を有する筒状部材であり、当該筒状部材の他方端に前記受熱部が設けられる、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のFBG温度センサ。   The FBG according to any one of claims 1 to 3, wherein the heat conducting portion is a cylindrical member having an open end at one end, and the heat receiving portion is provided at the other end of the cylindrical member. Temperature sensor. 前記熱伝導部は、前記受熱部に近い位置と、前記受熱部から離れた位置とで異なる周囲長の外周面を有する、請求項4記載のFBG温度センサ。   5. The FBG temperature sensor according to claim 4, wherein the heat conducting portion has an outer peripheral surface having a different perimeter length at a position close to the heat receiving portion and a position away from the heat receiving portion. 前記結合部は、焼嵌め、圧入、又は螺合により前記熱伝導部の外周面を圧接することで前記受熱部を前記本体部に固定する、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のFBG温度センサ。   The said coupling | bond part fixes the said heat receiving part to the said main-body part by press-contacting the outer peripheral surface of the said heat-conduction part by shrink fitting, press-fit, or screwing to any one of Claims 1-5. The FBG temperature sensor described. 前記本体部は、焼嵌めにより前記貫通孔に挿入された光ファイバの外周面を圧接することで、前記光ファイバを片持ち支持する、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のFBG温度センサ。   The said main-body part cantilever-supports the said optical fiber by press-contacting the outer peripheral surface of the optical fiber inserted in the said through-hole by shrink fitting, It is any one of Claims 1-6. FBG temperature sensor.
JP2016177171A 2016-09-09 2016-09-09 FBG temperature sensor Active JP6736042B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016177171A JP6736042B2 (en) 2016-09-09 2016-09-09 FBG temperature sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016177171A JP6736042B2 (en) 2016-09-09 2016-09-09 FBG temperature sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2018040778A true JP2018040778A (en) 2018-03-15
JP6736042B2 JP6736042B2 (en) 2020-08-05

Family

ID=61625941

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016177171A Active JP6736042B2 (en) 2016-09-09 2016-09-09 FBG temperature sensor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6736042B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018059802A (en) * 2016-10-05 2018-04-12 株式会社Ihi検査計測 FBG sensor
CN111579113A (en) * 2019-02-18 2020-08-25 中国科学院半导体研究所 Temperature field measuring device and method

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS636329U (en) * 1986-06-25 1988-01-16
JPH0466546U (en) * 1990-10-19 1992-06-11
JP2000055747A (en) * 1998-08-05 2000-02-25 Anritsu Keiki Kk Eluorescent optical fiber thermometer
US6141098A (en) * 1996-01-29 2000-10-31 Sentec Corporation Fiber optic temperature sensor
JP2003014491A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Hitachi Cable Ltd Optical fiber sensor
US20060011820A1 (en) * 2004-07-16 2006-01-19 Kin-Man Yip And Chow-Shing Shin Fiber-optic sensing system
JP2012021939A (en) * 2010-07-16 2012-02-02 Railway Technical Research Institute Optical fiber temperature sensor and fixing method of the same
JP2015169444A (en) * 2014-03-04 2015-09-28 東京エレクトロン株式会社 Optical temperature sensor and method of manufacturing optical temperature sensor

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS636329U (en) * 1986-06-25 1988-01-16
JPH0466546U (en) * 1990-10-19 1992-06-11
US6141098A (en) * 1996-01-29 2000-10-31 Sentec Corporation Fiber optic temperature sensor
JP2000055747A (en) * 1998-08-05 2000-02-25 Anritsu Keiki Kk Eluorescent optical fiber thermometer
JP2003014491A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Hitachi Cable Ltd Optical fiber sensor
US20060011820A1 (en) * 2004-07-16 2006-01-19 Kin-Man Yip And Chow-Shing Shin Fiber-optic sensing system
JP2012021939A (en) * 2010-07-16 2012-02-02 Railway Technical Research Institute Optical fiber temperature sensor and fixing method of the same
JP2015169444A (en) * 2014-03-04 2015-09-28 東京エレクトロン株式会社 Optical temperature sensor and method of manufacturing optical temperature sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018059802A (en) * 2016-10-05 2018-04-12 株式会社Ihi検査計測 FBG sensor
CN111579113A (en) * 2019-02-18 2020-08-25 中国科学院半导体研究所 Temperature field measuring device and method

Also Published As

Publication number Publication date
JP6736042B2 (en) 2020-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2772019C (en) Miniature fiber optic temperature sensors
EP2235480B1 (en) Optical sensor
WO2014176500A1 (en) Sapphire sensor for measuring pressure and temperature
CN107179421B (en) Flow sensor probe and flow velocity measuring system
EP1040331A1 (en) Device for measuring a bending load
CN105675114A (en) Optical fiber EFPI ultrasonic sensor
JP6694503B2 (en) Substrate for temperature measurement and temperature measurement system
JP5012032B2 (en) Temperature measuring method and optical fiber sensor
JP6736042B2 (en) FBG temperature sensor
US8170382B2 (en) Fiber-optic temperature sensor assembly
KR101504028B1 (en) Apparatus using fiber bragg grating sensors
JP2011017652A (en) Distributed type optical fiber pressure sensor system
US9829307B2 (en) Silicon based pressure and acceleration optical interferometric sensors with housing assembly
JP2013221807A (en) Optical fiber strain sensor, and optical fiber temperature sensor
JP2005351663A (en) Fbg humidity sensor and humidity measuring method using the fbg humidity sensor
JP5698409B2 (en) Device for detecting pressure, in particular combustion chamber pressure of an internal combustion engine
KR101631361B1 (en) Light based interferometer system
KR101977284B1 (en) Temperature Distribution Measurement System for Power Cable
JP7134438B2 (en) fiber optic sensor
JP2006071549A (en) Temperature sensor
Bremer et al. Fibre optic pressure sensor system for high temperature exhaust gas flows
US20220357185A1 (en) Optical sensor and physical quantity measurement device
US20100208767A1 (en) Ear Thermometer using optical fiber transmission
JP2011043389A (en) Ferrule probe
JP2007263682A (en) Optical fiber temperature sensor

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20190903

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20200602

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20200630

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6736042

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250