JP2003014491A - Optical fiber sensor - Google Patents

Optical fiber sensor

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JP2003014491A
JP2003014491A JP2001196948A JP2001196948A JP2003014491A JP 2003014491 A JP2003014491 A JP 2003014491A JP 2001196948 A JP2001196948 A JP 2001196948A JP 2001196948 A JP2001196948 A JP 2001196948A JP 2003014491 A JP2003014491 A JP 2003014491A
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expansion material
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical fiber sensor capable of adjusting a temperature coefficient. SOLUTION: Both sides of a grating part 4 of an FBG 1 of this optical fiber sensor 25 for measuring the temperature are held by a base constituted from a first substrate 20 comprising low thermal expansion material and a second substrate 21 comprising high thermal expansion material, which are arranged in parallel along the expansion-contraction direction. Therefore, the temperature coefficient of the whole base can be changed by changing the length of the second substrate 21. The temperature coefficient of a connection body comprising the low thermal expansion material 36 and the high thermal expansion material 37, 38 for covering a temperature compensating FBG 16 can be adjusted so as to become equal to the temperature coefficient of a compensation object 15 by covering a grating part 18 of the temperature compensating FBG 16 of the optical fiber sensor for measuring the pressure or the strain with the low thermal expansion material 36, by covering optical fibers on both sides of the grating part 18 with the high thermal expansion material 37, 38, and by changing the length of the high thermal expansion material 37, 38.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、温度変化、圧力、
歪み等の物理量を計測する光ファイバセンサに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to temperature change, pressure,
The present invention relates to an optical fiber sensor that measures a physical quantity such as strain.

【0002】[0002]

【従来の技術】図6はファイバブラッググレーティング
の説明図であり、図7は図6に示したファイバブラッグ
グレーティングを用いた光ファイバセンサの従来例を示
す概念図であり、図8は図6に示したファイバブラッグ
グレーティングを用いた光ファイバセンサの他の従来例
を示す概念図である。
2. Description of the Related Art FIG. 6 is an explanatory view of a fiber Bragg grating, FIG. 7 is a conceptual view showing a conventional example of an optical fiber sensor using the fiber Bragg grating shown in FIG. 6, and FIG. 8 is shown in FIG. It is a conceptual diagram which shows the other prior art example of the optical fiber sensor using the fiber Bragg grating shown.

【0003】図6に示すようにファイバブラッググレー
ティング(以下「FBG」という。)1は、光ファイバ
2のコア3の屈折率を一定の周期Pで変化させたもので
あり、光ファイバ2に入射した入射光がこの屈折率の変
化した部分(グレーティング部)4で反射して反射光と
して出射するようになっている。その反射光の波長は、
周期Pとコア3の屈折率とで決定するため、FBG1
は、歪みによる周期Pの変化や温度変化による屈折率の
変化で反射光の波長が変化する。そのため、FBG1は
歪みと温度に対しては敏感であり、圧力、歪み、温度の
測定をする様々なセンサの研究がなされている。尚、5
はコア3を覆い、コア3より屈折率の低いクラッドであ
る。
As shown in FIG. 6, a fiber Bragg grating (hereinafter referred to as “FBG”) 1 is obtained by changing the refractive index of a core 3 of an optical fiber 2 at a constant period P and is incident on the optical fiber 2. The incident light is reflected by the portion (grating portion) 4 in which the refractive index has changed, and is emitted as reflected light. The wavelength of the reflected light is
Since it is determined by the period P and the refractive index of the core 3, the FBG1
Causes the wavelength of the reflected light to change due to a change in the period P due to distortion and a change in the refractive index due to a change in temperature. Therefore, FBG1 is sensitive to strain and temperature, and various sensors for measuring pressure, strain, and temperature have been studied. 5
Is a clad that covers the core 3 and has a lower refractive index than the core 3.

【0004】このようなFBG1を用いて温度を計測す
る方法としては、FBG1の温度による屈折率変化と光
ファイバの熱膨張による周期変化を利用したものや図7
に示すように光ファイバより熱膨張係数の大きいステン
レス、アルミニウム、高分子材料等の高熱膨張材にFB
Gを固定し、FBG単体の温度の屈折率変化と熱膨張に
よる反射光の波長変化と高熱膨張材の熱膨張による歪み
を利用したものがある。
As a method for measuring the temperature using such an FBG 1, a method using the change in the refractive index of the FBG 1 with the temperature and the change in the cycle due to the thermal expansion of the optical fiber, and FIG.
As shown in Fig. 6, FB is used for high thermal expansion materials such as stainless steel, aluminum, polymer materials, etc.
There is one in which G is fixed, and the change in the refractive index of the temperature of the FBG alone, the change in the wavelength of reflected light due to thermal expansion, and the strain due to the thermal expansion of the high thermal expansion material are used.

【0005】図7に示す光ファイバセンサ6は、高熱膨
張材からなるベース7と、ベース7上の両側に設けられ
た一対の固定部材8、9と、固定部材8、9にグレーテ
ィング部4の両側の光ファイバが固定されたFBG1と
で構成されたものである。
An optical fiber sensor 6 shown in FIG. 7 has a base 7 made of a high thermal expansion material, a pair of fixing members 8 and 9 provided on both sides of the base 7, and fixing members 8 and 9 each having a grating portion 4 of a grating portion 4. It is composed of an FBG 1 in which optical fibers on both sides are fixed.

【0006】この光ファイバセンサ6の光ファイバ2は
図示しない測定器本体(例えばOTDR:Optical Time
Domain Reflectometer、光パルス試験器)に接続さ
れ、ベース7の熱膨張(矢印10)に伴うグレーティン
グ部4の屈折率変化と膨張収縮(矢印11)とを検出
し、温度を測定するようになっている。
The optical fiber 2 of the optical fiber sensor 6 is a measuring device body (not shown) (for example, OTDR: Optical Time).
It is connected to a Domain Reflectometer (optical pulse tester) and detects a change in the refractive index and expansion / contraction (arrow 11) of the grating portion 4 due to thermal expansion (arrow 10) of the base 7 to measure the temperature. There is.

【0007】ここで、この種のFBGの利用目的として
は、単に温度センサだけでなく、圧力、歪み等の物理量
を測定するセンサとしても用いられる。また、圧力歪み
検出用FBGの温度補償用FBGとして用いられる。す
なわち、圧力、歪み、温度による反射波長変化から温度
変化分を取り除き補償するためにも用いられる。
The purpose of using this type of FBG is not only as a temperature sensor but also as a sensor for measuring physical quantities such as pressure and strain. Further, it is used as a temperature compensating FBG of the pressure strain detecting FBG. That is, it is also used for compensating by removing the temperature change from the reflection wavelength change due to pressure, strain, and temperature.

【0008】図8に示す光ファイバセンサ12は、FB
G1を金属材13で覆った圧力歪み受感部14で補償対
象物(測定対象物)15の圧力や歪みを計測するための
ものである。FBG1は温度変化による影響を受けるの
で、FBG1の温度変化分の誤差を補償するため、FB
G1に温度補償用FBG16が光ファイバ17で直列接
続されている。
The optical fiber sensor 12 shown in FIG.
This is for measuring the pressure and strain of the compensation target (measurement target) 15 by the pressure strain sensing unit 14 in which G1 is covered with the metal material 13. Since the FBG1 is affected by the temperature change, the FBG1 is compensated for the error due to the temperature change.
An FBG 16 for temperature compensation is connected to G1 in series with an optical fiber 17.

【0009】温度補償用FBG16、特にグレーティン
グ部18は圧力歪み受感部14の周辺に配置したり補償
対象物15に固定されたりして使用される。
The temperature compensating FBG 16, particularly the grating portion 18, is used by being arranged around the pressure strain sensing portion 14 or fixed to the compensation object 15.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ところで、一般に、F
BG単体での温度変化による波長変化量(以下「温度係
数」という。)は、約10pm/℃(ピコメータ/℃)
である。高熱膨張材に固定した場合、材料によって異な
るが温度係数は、ステンレスで約30pm/℃となる。
By the way, in general, F
The amount of wavelength change (hereinafter referred to as “temperature coefficient”) due to temperature change in BG alone is about 10 pm / ° C. (picometer / ° C.)
Is. When fixed to a high thermal expansion material, the temperature coefficient of stainless is about 30 pm / ° C., although it depends on the material.

【0011】単にFBG周辺の温度計測を行う場合、温
度係数が大きいと温度精度が良くなるが、その分波長変
化量が大きくなり、使用波長帯域の決まった反射波長測
定装置を用いて反射波長を測定することが困難となる。
When the temperature around the FBG is simply measured, the temperature accuracy is improved if the temperature coefficient is large, but the amount of wavelength change is increased accordingly, and the reflection wavelength is measured by using a reflection wavelength measuring device having a fixed wavelength band to be used. It becomes difficult to measure.

【0012】また、FBGが歪み測定を行うFBGの温
度補償用として用いられる場合、温度係数は補償対象の
歪み検出用FBGと同程度でよい。補償対象の歪み検出
用FBGは圧力、歪み等その測定目的により様々な物質
に固定されて使用されるため、温度係数も各センサによ
り異なり歪み測定用FBGと同じ温度係数になる熱膨張
材を選定することが非常に困難である。
When the FBG is used for temperature compensation of the FBG for strain measurement, the temperature coefficient may be about the same as that of the strain detection FBG to be compensated. Since the strain detection FBG to be compensated is used by being fixed to various substances depending on the measurement purpose such as pressure and strain, the temperature coefficient also differs depending on each sensor and a thermal expansion material with the same temperature coefficient as the strain measurement FBG is selected. Very difficult to do.

【0013】このように、従来の光ファイバセンサで
は、多種類の材料の中から適当な温度係数の材質を選択
しなければならず、かつ、温度係数の調整が不可能であ
るという問題があった。
As described above, the conventional optical fiber sensor has a problem that a material having an appropriate temperature coefficient has to be selected from among various kinds of materials, and the temperature coefficient cannot be adjusted. It was

【0014】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、温度係数の調整が可能な光ファイバセンサを提供す
ることにある。
Therefore, an object of the present invention is to solve the above problems and provide an optical fiber sensor capable of adjusting the temperature coefficient.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光ファイバセンサは、温度変化により屈折率
が変化すると共に膨張収縮することで温度を計測するた
めのグレーティング部が光ファイバに形成されたファイ
バブラッググレーティングと、ファイバブラッググレー
ティングのグレーティング部の両側の光ファイバが一対
の固定部材を介して固定されると共に温度変化により膨
張収縮するベースとを有する光ファイバセンサにおい
て、ベースは、ファイバブラッググレーティングの膨張
収縮方向に沿って直列に接続され温度係数の異なる複数
の基板で構成されているものである。
In order to achieve the above object, the optical fiber sensor of the present invention has an optical fiber having a grating portion for measuring temperature by changing the refractive index and expanding and contracting due to temperature change. In an optical fiber sensor having a formed fiber Bragg grating and a base in which optical fibers on both sides of the grating portion of the fiber Bragg grating are fixed via a pair of fixing members and expand and contract due to temperature change, the base is a fiber It is composed of a plurality of substrates which are connected in series along the expansion / contraction direction of the Bragg grating and have different temperature coefficients.

【0016】本発明の光ファイバセンサは、温度変化に
より屈折率が変化すると共に膨張収縮することで温度を
計測するためのグレーティング部が光ファイバに形成さ
れたファイバブラッググレーティングと、ファイバブラ
ッググレーティングのグレーティング部の両側の光ファ
イバが一対の固定部材を介して固定されると共に温度変
化により膨張収縮するベースとを有する光ファイバセン
サにおいて、ベースは、低熱膨張材からなり一方の固定
部材が設けられた第1基板と、第1基板とファイバブラ
ッググレーティングとの間に第1基板と平行になるよう
に第1基板に基板用固定部材で固定され他方の固定部材
が設けられた第2基板とを備えたものである。
The optical fiber sensor of the present invention has a fiber Bragg grating having a grating portion formed in an optical fiber for measuring temperature by changing the refractive index and expanding / contracting due to temperature change, and a grating of the fiber Bragg grating. In an optical fiber sensor having optical fibers on both sides of the section fixed via a pair of fixing members and having a base that expands and contracts due to temperature change, the base is made of a low thermal expansion material and one fixing member is provided. One substrate, and a second substrate between the first substrate and the fiber Bragg grating, which is fixed to the first substrate with a substrate fixing member and provided with the other fixing member so as to be parallel to the first substrate. It is a thing.

【0017】本発明の光ファイバセンサは、温度変化に
より屈折率が変化すると共に膨張収縮することで温度を
計測するためのグレーティング部が光ファイバに形成さ
れたファイバブラッググレーティングと、ファイバブラ
ッググレーティングのグレーティング部の両側の光ファ
イバが一対の固定部材を介して固定されると共に温度変
化により膨張収縮するベースとを有する光ファイバセン
サにおいて 、ベースは、低熱膨張材からなる下側基板
と、下側基板とファイバブラッググレーティングとの間
に下側基板と平行になるように一対の基板用固定部材で
下側基板にそれぞれ固定されると共に上面に上記ファイ
バブラッググレーティングのグレーティング部の両側の
光ファイバを固定する固定部材がそれぞれ設けられ高熱
膨張材からなる一対の上側基板とを備えたものである。
The optical fiber sensor of the present invention has a fiber Bragg grating having a grating portion formed in an optical fiber for measuring temperature by changing the refractive index and expanding / contracting due to temperature change, and a grating of the fiber Bragg grating. In an optical fiber sensor having optical fibers on both sides of the section fixed via a pair of fixing members and having a base that expands and contracts due to temperature change, the base includes a lower substrate made of a low thermal expansion material, and a lower substrate. Fixed to the lower substrate with a pair of substrate fixing members so that it is parallel to the lower substrate between the fiber Bragg grating and the optical fiber on both sides of the grating part of the fiber Bragg grating above. A pair of members each provided with a high thermal expansion material And an upper substrate of.

【0018】本発明の光ファイバセンサは、温度変化に
より屈折率が変化すると共に膨張収縮するグレーティン
グ部が光ファイバに形成されたファイバブラッググレー
ティングと、ファイバグラッググレーティングを金属材
で覆い補償対象物内に配置され該補償対象物の圧力や歪
みを計測する圧力歪み受感部と、ファイバブラッググレ
ーティングの温度変化分を補償するためファイバブラッ
ググレーティングに温度補償用ファイバブラッググレー
ティングを直列接続した光ファイバセンサにおいて、温
度補償用ファイバブラッググレーティングのグレーティ
ング部を低熱膨張材で覆うと共に低熱膨張材の両側の光
ファイバを所定長さの高熱膨張材で覆ったものである。
The optical fiber sensor of the present invention includes a fiber Bragg grating in which a grating portion whose refractive index changes and expands and contracts due to temperature change is formed in an optical fiber, and a fiber Bragg grating is covered with a metal material to be compensated. In the optical fiber sensor in which the pressure strain sensing unit arranged to measure the pressure or strain of the compensation target and the temperature compensation fiber Bragg grating are connected in series to the fiber Bragg grating to compensate for the temperature change of the fiber Bragg grating, The grating portion of the fiber Bragg grating for temperature compensation is covered with a low thermal expansion material, and the optical fibers on both sides of the low thermal expansion material are covered with a high thermal expansion material of a predetermined length.

【0019】上記構成に加え本発明の光ファイバセンサ
は、高熱膨張材としてステンレスやアルミニウム等を用
い、低熱膨張材としてインバーやパイレックスを用いる
のが好ましい。
In addition to the above structure, the optical fiber sensor of the present invention preferably uses stainless steel, aluminum or the like as the high thermal expansion material, and Invar or Pyrex as the low thermal expansion material.

【0020】上記構成に加え本発明の光ファイバセンサ
は、高熱膨張材の長さを調節することによりファイバブ
ラッググレーティングの温度係数を調節するようにして
もよい。
In addition to the above structure, in the optical fiber sensor of the present invention, the temperature coefficient of the fiber Bragg grating may be adjusted by adjusting the length of the high thermal expansion material.

【0021】本発明によれば、温度を計測するための光
ファイバセンサのファイバブラッググレーティングのグ
レーティング部の両側の光ファイバが、膨張収縮方向に
配置された低熱膨張材と高熱膨張材とで構成されたベー
スで保持されているので、高熱膨張材の長さを変えるこ
とによりベース全体の温度係数が変化する。また、圧力
や歪みを計測する光ファイバセンサの温度補償用ファイ
バブラッググレーティングのグレーティング部を低熱膨
張材で覆い、両側を高熱膨張材で覆うと共に高熱膨張材
の長さを変えることにより、温度補償用ファイバブラッ
ググレーティングを覆う膨張材の温度係数が補償対象物
の温度係数に等しくなるように調整できる。
According to the present invention, the optical fibers on both sides of the grating portion of the fiber Bragg grating of the optical fiber sensor for measuring temperature are composed of the low thermal expansion material and the high thermal expansion material arranged in the expansion / contraction direction. Since it is held by the base, the temperature coefficient of the entire base changes by changing the length of the high thermal expansion material. In addition, by covering the grating part of the fiber Bragg grating for temperature compensation of the optical fiber sensor that measures pressure and strain with low thermal expansion material, covering both sides with high thermal expansion material and changing the length of high thermal expansion material, temperature compensation The temperature coefficient of the expansion material covering the fiber Bragg grating can be adjusted to be equal to the temperature coefficient of the object to be compensated.

【0022】[0022]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.

【0023】図1は本発明の光ファイバセンサの一実施
の形態を示す概念図である。尚、従来例と同様の部材に
は共通の符号を用いた。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an embodiment of the optical fiber sensor of the present invention. The same reference numerals are used for the same members as in the conventional example.

【0024】熱膨張係数の低い低熱膨張材からなる第1
基板20の上に、熱膨張係数の高い高熱膨張材からなる
第2基板21が第1基板20と平行になるように第1基
板20の一方の側(図では左側)に配置され、第2基板
21の一端(図では右端)が基板用固定部材22を介し
て第1基板20上に固定されている。第2基板21の他
端(図では左端)に設けられた固定部材23と第1基板
20の他方の側(図では右側)に設けられた固定部材2
4とでFBG1のグレーティング部4の両側の光ファイ
バ2が固定されている。各固定部材22、23、24は
FBG1に沿って同一線上になるように配置されてい
る。
First made of a low thermal expansion material having a low thermal expansion coefficient
On the substrate 20, a second substrate 21 made of a high thermal expansion material having a high thermal expansion coefficient is arranged on one side (left side in the figure) of the first substrate 20 so as to be parallel to the first substrate 20, and One end (right end in the figure) of the substrate 21 is fixed on the first substrate 20 via a substrate fixing member 22. A fixing member 23 provided on the other end (left end in the drawing) of the second substrate 21 and a fixing member 2 provided on the other side (right side in the drawing) of the first substrate 20.
4, the optical fibers 2 on both sides of the grating portion 4 of the FBG 1 are fixed. The respective fixing members 22, 23, 24 are arranged on the same line along the FBG 1.

【0025】これらFBG1、第1基板20、第2基板
21及び各固定部材22〜24で光ファイバセンサ25
が構成されている。
The optical fiber sensor 25 includes the FBG 1, the first substrate 20, the second substrate 21, and the fixing members 22 to 24.
Is configured.

【0026】本光ファイバセンサ25は、例えば図示し
ない測定器本体(OTDR)に接続される。測定器本体
からの光パルスは光ファイバ2内を伝搬し、グレーティ
ング部4で温度変化による屈折率に対応した反射パルス
光が反射してOTDRに戻るようになっている。
The optical fiber sensor 25 is connected to, for example, a measuring device body (OTDR) (not shown). The optical pulse from the measuring instrument body propagates in the optical fiber 2, and the grating portion 4 reflects the reflected pulse light corresponding to the refractive index due to the temperature change and returns to the OTDR.

【0027】FBG1へはFBG単体の温度変化による
屈折率変化と熱膨張収縮(矢印26)による波長変化に
加え、第2基板21の長さ分だけ第2基板21の熱膨張
(矢印27)による歪みが加わる。この第2基板21の
長さを変化させることにより、ベース全体の温度係数を
様々な値に変化させることができる。
In addition to the refractive index change due to the temperature change of the FBG alone and the wavelength change due to thermal expansion and contraction (arrow 26), the FBG 1 is affected by the thermal expansion (arrow 27) of the second substrate 21 by the length of the second substrate 21. Adds distortion. The temperature coefficient of the entire base can be changed to various values by changing the length of the second substrate 21.

【0028】第2基板21には、光ファイバ2より温度
係数の高いステンレス、アルミニウム、高分子材料等が
用いられ、低熱膨張材からなる第1基板20には、温度
係数が光ファイバ2と等しいか、あるいは低いインバー
材や石英等が用いられる。
The second substrate 21 is made of stainless steel, aluminum, a polymer material or the like having a higher temperature coefficient than the optical fiber 2, and the first substrate 20 made of a low thermal expansion material has the same temperature coefficient as the optical fiber 2. Alternatively, low Invar material, quartz, or the like is used.

【0029】尚、第1基板20は図では略L字断面形状
を有しているが、本発明はこれに限定されるものではな
く、平坦な板状であってもよく、その場合には固定部材
24の高さを高くする必要がある。また、第1基板20
の上側に第2基板21が配置された場合で説明したが、
本発明はこれに限定されるものではなく、同一平面上で
第1基板20と第2基板21とを接続したものをベース
として用いてもよい。
Although the first substrate 20 has a substantially L-shaped cross-sectional shape in the drawing, the present invention is not limited to this and may be a flat plate, in which case It is necessary to increase the height of the fixing member 24. In addition, the first substrate 20
The case where the second substrate 21 is arranged on the upper side of the
The present invention is not limited to this, and the one in which the first substrate 20 and the second substrate 21 are connected on the same plane may be used as a base.

【0030】次に図2を参照して具体的な数値を挙げて
説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
Next, specific numerical values will be described with reference to FIG. 2, but the present invention is not limited thereto.

【0031】図2は本発明の光ファイバセンサの一実施
例を示す概念図である。
FIG. 2 is a conceptual diagram showing an embodiment of the optical fiber sensor of the present invention.

【0032】同図に示す光ファイバセンサ25は、図1
に示した光ファイバセンサ25と同様の構成であるの
で、構成についての説明は省略する。
The optical fiber sensor 25 shown in FIG.
Since the configuration is the same as that of the optical fiber sensor 25 shown in FIG.

【0033】第2基板21としてステンレスが用いら
れ、第1基板20としてインバーが用いられている。こ
こで、ファイバ固定長L1を45mmとし、ステンレス
長L2を5mm、7mmとして温度を0℃から40℃へ
と変化させた。
Stainless steel is used as the second substrate 21, and Invar is used as the first substrate 20. Here, the fiber fixed length L1 was set to 45 mm, the stainless steel length L2 was set to 5 mm and 7 mm, and the temperature was changed from 0 ° C to 40 ° C.

【0034】図3は図2に示した光ファイバセンサのス
テンレス長を変化させたときの波長変化を示す図であ
り、横軸は温度軸であり、縦軸は波長変化軸である。
FIG. 3 is a diagram showing the wavelength change when the stainless steel length of the optical fiber sensor shown in FIG. 2 is changed, the horizontal axis is the temperature axis, and the vertical axis is the wavelength change axis.

【0035】参考のため、FBG単体の場合とFBGを
高熱膨張材としてのステンレス(長さ45mm、インバ
ー使用せず)に固定した場合とについても図示する。
For reference, a case in which the FBG is used alone and a case in which the FBG is fixed to stainless steel (45 mm in length, without using Invar) as a high thermal expansion material are also illustrated.

【0036】温度係数は、FBG単体(特性曲線La)
で9.5pm/℃、高熱膨張材(ステンレス)のみ(特
性曲線Ld)で27pm/℃、ステンレス長5mm(特
性曲線Lb)で約10pm/℃、ステンレス長7mm
(特性曲線Lc)で約12pm/℃となった。
The temperature coefficient is the FBG alone (characteristic curve La).
9.5 pm / ° C, high thermal expansion material (stainless steel) only (characteristic curve Ld) 27 pm / ° C, stainless steel length 5 mm (characteristic curve Lb) about 10 pm / ° C, stainless steel length 7 mm
The (characteristic curve Lc) was about 12 pm / ° C.

【0037】このように、高熱膨張材と低熱膨張材とを
組み合わせてベースを構成することにより温度係数を調
整することができる。
As described above, the temperature coefficient can be adjusted by combining the high thermal expansion material and the low thermal expansion material to form the base.

【0038】図4は本発明の光ファイバセンサの他の実
施の形態を示す概念図である。
FIG. 4 is a conceptual diagram showing another embodiment of the optical fiber sensor of the present invention.

【0039】図1に示した光ファイバセンサとの相違点
は、ベースが低熱膨張材からなる下側基板30と、下側
基板30に基板用固定部材31、32で固定された高熱
膨張材からなる一対の上側基板28、29からなる点で
ある。
The difference from the optical fiber sensor shown in FIG. 1 is that the base is made of a low thermal expansion material and the high thermal expansion material fixed to the lower substrate 30 by substrate fixing members 31 and 32. It is a point composed of a pair of upper substrates 28 and 29.

【0040】同図に示す光ファイバセンサ35は、低熱
膨張材からなる下側基板30と、下側基板30の上に設
けられた一対の基板用固定部材31、32と、一端が基
板用固定部材31、32にそれぞれ固定され下側基板3
0上に平行かつに外側に向かって配置された高熱膨張材
からなる一対の上側基板28、29と、上側基板28、
29の外側に設けられた固定部材33、34と、グレー
ティング部4の両側の光ファイバ2が固定部材33、3
4に固定されたFBG1とで構成されたものである。各
固定部材31〜34は同一線上に配置されている。
The optical fiber sensor 35 shown in the figure has a lower substrate 30 made of a low thermal expansion material, a pair of substrate fixing members 31 and 32 provided on the lower substrate 30, and one end thereof fixed to the substrate. Lower substrate 3 fixed to members 31 and 32, respectively
0, a pair of upper substrates 28, 29 made of a high thermal expansion material, which are arranged parallel to each other toward the outside and an upper substrate 28,
The fixing members 33, 34 provided on the outer side of 29 and the optical fibers 2 on both sides of the grating portion 4 are fixed members 33, 3
4 and the FBG 1 fixed to 4. The respective fixing members 31 to 34 are arranged on the same line.

【0041】このような光ファイバセンサ35において
も図1に示した光ファイバセンサ25と同様の効果が得
られる。尚、図では下側基板30と上側基板28、29
とが段違いの平行状態になるように配置されているが、
これに限定されるものではなく、同一平面上になるよう
に構成してもよい。
With such an optical fiber sensor 35, the same effect as that of the optical fiber sensor 25 shown in FIG. 1 can be obtained. In the figure, the lower substrate 30 and the upper substrates 28, 29
And are arranged so that they are in different parallel states,
The present invention is not limited to this, and they may be configured to be on the same plane.

【0042】図5は本発明の光ファイバセンサの他の実
施の形態を示す概念図である。
FIG. 5 is a conceptual diagram showing another embodiment of the optical fiber sensor of the present invention.

【0043】図8に示した光ファイバセンサ12との相
違点は、温度補償用FBG16のグレーティング部18
を低熱膨張材36で覆うと共に低熱膨張材36の両側の
光ファイバを高熱膨張材37、38で覆った点である。
The difference from the optical fiber sensor 12 shown in FIG. 8 is that the grating portion 18 of the temperature compensating FBG 16 is used.
Is covered with the low thermal expansion material 36, and the optical fibers on both sides of the low thermal expansion material 36 are covered with the high thermal expansion materials 37 and 38.

【0044】この光ファイバセンサ39は、FBG1が
金属材で覆われ補償対象物15の圧力や歪みを受ける圧
力歪み受感部14と、FBG1に光ファイバ17を介し
て接続され補償対象物15の温度補償をするための温度
補償用FBG16と、温度補償用FBG16のグレーテ
ィング部18を覆う低熱膨張材36と、低熱膨張材36
の両側の光ファイバを覆う所定長さの高熱膨張材37、
38とで構成されたものである(図では高熱膨張材3
7、38の長手方向の長さが異なっているが、本発明は
これに限定されるものではない。)。
In this optical fiber sensor 39, the FBG 1 is covered with a metal material and the pressure strain sensing section 14 which receives the pressure and strain of the compensation target 15 and the compensation target 15 connected to the FBG 1 through the optical fiber 17 are provided. A temperature compensating FBG 16 for temperature compensation, a low thermal expansion material 36 covering the grating portion 18 of the temperature compensating FBG 16, and a low thermal expansion material 36.
A high thermal expansion material 37 of a predetermined length covering the optical fibers on both sides of
And 38 (in the figure, the high thermal expansion material 3
Although the lengths in the longitudinal direction of 7 and 38 are different, the present invention is not limited to this. ).

【0045】圧力歪み受感部14が圧力を受けるとFB
G1のグレーティング部4が収縮し屈折率が変化する。
温度補償用FBG16に接続された図示しない測定器本
体(OTDR)からの光パルスが温度補償用FBG1
6、光ファイバ17及びFBG1内を伝搬し、圧力歪み
受感部14内のグレーティング部4で反射し、光ファイ
バ17、温度補償用FBG16のグレーティング部18
を通過してOTDRに戻る。このとき圧力歪み受感部1
4の周囲の補償対象物15の温度変化により、圧力歪み
受感部14のグレーティング部4が膨張収縮すると共に
温度補償用FBG16のグレーティング部18も同様に
膨張収縮する。しかし、温度補償用FBG16のグレー
ティング部18は低熱膨張材36と高熱膨張材37、3
8とで覆われているので、高熱膨張材37、38の長さ
を変えることにより、低熱膨張材36及び高熱膨張材3
7、38からなる連結体の温度係数を調整することがで
きる。
When the pressure strain sensing unit 14 receives a pressure, FB
The G1 grating portion 4 contracts and the refractive index changes.
An optical pulse from a measuring device body (OTDR) (not shown) connected to the temperature compensating FBG 16 is a temperature compensating FBG 1
6, propagates in the optical fiber 17 and the FBG 1, is reflected by the grating unit 4 in the pressure strain sensing unit 14, and the optical fiber 17 and the grating unit 18 of the temperature compensating FBG 16.
And return to OTDR. At this time, the pressure strain sensing unit 1
The temperature change of the compensation object 15 around 4 expands and contracts the grating section 4 of the pressure strain sensing section 14, and also expands and contracts the grating section 18 of the temperature compensating FBG 16. However, the grating portion 18 of the temperature compensating FBG 16 includes the low thermal expansion material 36 and the high thermal expansion materials 37, 3 and 3.
Since it is covered with the low thermal expansion material 36 and the high thermal expansion material 3 by changing the lengths of the high thermal expansion materials 37 and 38.
It is possible to adjust the temperature coefficient of the connected body composed of 7, 38.

【0046】ここで、本光ファイバセンサの使用方法や
応用システム等について説明する。
Here, a method of using the optical fiber sensor, an application system, and the like will be described.

【0047】目的の温度精度でFBG温度センサを製作
する場合、FBGの反射波長測定装置の精度に合わせた
温度係数が必要になる。FBGの反射波長計測装置精度
が±20pmの場合で±1℃のFBG温度センサが必要
な場合、必要なFBG温度センサの温度係数は20pm
/℃以上となる。本発明を用いれば高熱膨張材の長さを
調節することにより目的の温度係数を有するFBG温度
センサを製作することができる。
When an FBG temperature sensor is manufactured with a desired temperature accuracy, a temperature coefficient matching the accuracy of the FBG reflection wavelength measuring device is required. When the reflection wavelength measuring device of the FBG has an accuracy of ± 20 pm and an FBG temperature sensor of ± 1 ° C is required, the required temperature coefficient of the FBG temperature sensor is 20 pm
/ ° C or higher. According to the present invention, an FBG temperature sensor having a desired temperature coefficient can be manufactured by adjusting the length of the high thermal expansion material.

【0048】以上において、FBG温度センサの温度係
数を変化させることにより自由な温度精度の光ファイバ
センサを製作することができる。また、他のセンサの温
度補償用FBGとして用いる場合にも補償対象のセンサ
の温度係数に合わせて最適な温度補償を行うことができ
る。
In the above, by changing the temperature coefficient of the FBG temperature sensor, an optical fiber sensor with free temperature accuracy can be manufactured. Also, when used as a temperature compensating FBG for another sensor, optimum temperature compensation can be performed according to the temperature coefficient of the sensor to be compensated.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
In summary, according to the present invention, the following excellent effects are exhibited.

【0050】温度係数の調整が可能な光ファイバセンサ
の提供を実現できる。
It is possible to provide an optical fiber sensor whose temperature coefficient can be adjusted.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光ファイバセンサの一実施の形態を示
す概念図である。
FIG. 1 is a conceptual diagram showing an embodiment of an optical fiber sensor of the present invention.

【図2】本発明の光ファイバセンサの一実施例を示す概
念図である。
FIG. 2 is a conceptual diagram showing an embodiment of an optical fiber sensor of the present invention.

【図3】図2に示した光ファイバセンサのステンレス長
を変化させたときの波長変化を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing a wavelength change when the stainless steel length of the optical fiber sensor shown in FIG. 2 is changed.

【図4】本発明の光ファイバセンサの他の実施の形態を
示す概念図である。
FIG. 4 is a conceptual diagram showing another embodiment of the optical fiber sensor of the present invention.

【図5】本発明の光ファイバセンサの他の実施の形態を
示す概念図である。
FIG. 5 is a conceptual diagram showing another embodiment of the optical fiber sensor of the present invention.

【図6】ファイバブラッググレーティングの説明図であ
る。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a fiber Bragg grating.

【図7】図6に示したファイバブラッググレーティング
を用いた光ファイバセンサの従来例を示す概念図であ
る。
7 is a conceptual diagram showing a conventional example of an optical fiber sensor using the fiber Bragg grating shown in FIG.

【図8】図6に示したファイバブラッググレーティング
を用いた光ファイバセンサの他の従来例を示す概念図で
ある。
8 is a conceptual diagram showing another conventional example of an optical fiber sensor using the fiber Bragg grating shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ファイバブラッググレーティング(FBG) 2 光ファイバ 4 グレーティング部 20 第1基板 21 第2基板 22 基板用固定部材 23、24 固定部材 25 光ファイバセンサ 1 Fiber Bragg Grating (FBG) 2 optical fiber 4 Grating part 20 First substrate 21 Second substrate 22 PCB fixing member 23, 24 fixing member 25 optical fiber sensor

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 6/10 G01D 3/04 D Fターム(参考) 2F056 VF02 VF03 VF20 2F075 AA03 EE02 2F103 BA01 CA07 EA02 EA16 EA18 EA19 EA25 EB02 EB32 EC09 GA15 2H038 AA05 AA07 BA25 CA52 2H050 AC84 AD00 AD06 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 7 Identification code FI theme code (reference) G02B 6/10 G01D 3/04 DF term (reference) 2F056 VF02 VF03 VF20 2F075 AA03 EE02 2F103 BA01 CA07 EA02 EA16 EA18 EA19 EA25 EB02 EB32 EC09 GA15 2H038 AA05 AA07 BA25 CA52 2H050 AC84 AD00 AD06

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 温度変化により屈折率が変化すると共に
膨張収縮することで温度を計測するためのグレーティン
グ部が光ファイバに形成されたファイバブラッググレー
ティングと、該ファイバブラッググレーティングの上記
グレーティング部の両側の光ファイバが一対の固定部材
を介して固定されると共に温度変化により膨張収縮する
ベースとを有する光ファイバセンサにおいて、上記ベー
スは、上記ファイバブラッググレーティングの膨張収縮
方向に沿って直列に接続され温度係数の異なる複数の基
板で構成されていることを特徴とする光ファイバセン
サ。
1. A fiber Bragg grating in which an optical fiber has a grating portion for measuring temperature by changing the refractive index and expanding and contracting due to temperature change, and a fiber Bragg grating on both sides of the fiber Bragg grating. In an optical fiber sensor having an optical fiber fixed through a pair of fixing members and expanding and contracting due to temperature change, the bases are connected in series along the expansion and contraction direction of the fiber Bragg grating and have a temperature coefficient. An optical fiber sensor comprising a plurality of different substrates.
【請求項2】 温度変化により屈折率が変化すると共に
膨張収縮することで温度を計測するためのグレーティン
グ部が光ファイバに形成されたファイバブラッググレー
ティングと、該ファイバブラッググレーティングの上記
グレーティング部の両側の光ファイバが一対の固定部材
を介して固定されると共に温度変化により膨張収縮する
ベースとを有する光ファイバセンサにおいて、上記ベー
スは、低熱膨張材からなり一方の固定部材が設けられた
第1基板と、第1基板と上記ファイバブラッググレーテ
ィングとの間に第1基板と平行になるように第1基板に
基板用固定部材で固定され他方の固定部材が設けられた
第2基板とを備えたことを特徴とする光ファイバセン
サ。
2. A fiber Bragg grating in which an optical fiber has a grating portion for measuring temperature by changing the refractive index and expanding and contracting due to temperature change, and a fiber Bragg grating on both sides of the fiber Bragg grating. In an optical fiber sensor having an optical fiber fixed via a pair of fixing members and having a base that expands and contracts due to a temperature change, the base is made of a low thermal expansion material and a first substrate provided with one fixing member is provided. And a second substrate provided between the first substrate and the fiber Bragg grating and fixed to the first substrate with a substrate fixing member and provided with the other fixing member so as to be parallel to the first substrate. Characteristic optical fiber sensor.
【請求項3】 温度変化により屈折率が変化すると共に
膨張収縮することで温度を計測するためのグレーティン
グ部が光ファイバに形成されたファイバブラッググレー
ティングと、該ファイバブラッググレーティングの上記
グレーティング部の両側の光ファイバが一対の固定部材
を介して固定されると共に温度変化により膨張収縮する
ベースとを有する光ファイバセンサにおいて 、上記ベ
ースは、低熱膨張材からなる下側基板と、該下側基板と
上記ファイバブラッググレーティングとの間に上記下側
基板と平行になるように一対の基板用固定部材で上記下
側基板にそれぞれ固定されると共に上面に上記ファイバ
ブラッググレーティングのグレーティング部の両側の光
ファイバを固定する固定部材がそれぞれ設けられ高熱膨
張材からなる一対の上側基板とを備えたことを特徴とす
る光ファイバセンサ。
3. A fiber Bragg grating in which an optical fiber has a grating portion for measuring temperature by changing the refractive index and expanding / contracting due to a temperature change, and on both sides of the grating portion of the fiber Bragg grating. In an optical fiber sensor having an optical fiber fixed via a pair of fixing members and having a base that expands and contracts due to temperature change, the base comprises a lower substrate made of a low thermal expansion material, the lower substrate and the fiber. It is fixed to the lower substrate by a pair of substrate fixing members so as to be parallel to the lower substrate between the Bragg grating and the optical fibers on both sides of the grating portion of the fiber Bragg grating are fixed to the upper surface. A pair of fixing members are provided and are made of a high thermal expansion material. Optical fiber sensor, characterized in that a side board.
【請求項4】 温度変化により屈折率が変化すると共に
膨張収縮するグレーティング部が光ファイバに形成され
たファイバブラッググレーティングと、該ファイバグラ
ッググレーティングを金属材で覆い補償対象物内に配置
され該補償対象物の圧力や歪みを計測する圧力歪み受感
部と、上記ファイバブラッググレーティングの温度変化
分を補償するため上記ファイバブラッググレーティング
に温度補償用ファイバブラッググレーティングを直列接
続した光ファイバセンサにおいて、上記温度補償用ファ
イバブラッググレーティングのグレーティング部を低熱
膨張材で覆うと共に該低熱膨張材の両側の光ファイバを
所定の長さの高熱膨張材で覆ったことを特徴とする光フ
ァイバセンサ。
4. A fiber Bragg grating in which a grating portion, whose refractive index changes and expands and contracts due to temperature change, is formed in an optical fiber, and a fiber Bragg grating covered with a metal material and arranged in a compensation object to be compensated. In the optical fiber sensor in which a pressure strain sensing unit that measures the pressure and strain of an object and a fiber Bragg grating for temperature compensation are connected in series to the fiber Bragg grating to compensate for the temperature change of the fiber Bragg grating, the temperature compensation is performed. An optical fiber sensor, characterized in that the grating portion of the fiber Bragg grating for use is covered with a low thermal expansion material, and the optical fibers on both sides of the low thermal expansion material are covered with a high thermal expansion material of a predetermined length.
【請求項5】 上記高熱膨張材としてステンレスやアル
ミニウム等を用い、上記低熱膨張材としてインバーやパ
イレックス(登録商標)を用いた請求項1から4のいず
れかに記載の光ファイバセンサ。
5. The optical fiber sensor according to claim 1, wherein stainless steel, aluminum or the like is used as the high thermal expansion material and Invar or Pyrex (registered trademark) is used as the low thermal expansion material.
【請求項6】 上記高熱膨張材の長さを調節することに
より上記ファイバブラッググレーティングの温度係数を
調節するようにした請求項1から5のいずれかに記載の
光ファイバセンサ。
6. The optical fiber sensor according to claim 1, wherein the temperature coefficient of the fiber Bragg grating is adjusted by adjusting the length of the high thermal expansion material.
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