JP2018021876A - 軸受部材摩耗検出装置、回転機器及び軸受部材摩耗検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】軸部材を回転可能に支持する軸受部材の摩耗状態を、深刻な状態になる前に、簡単かつ安価な構成で確実に検出する。【解決手段】軸受部材１０に回転可能に支持された回転中の軸部材９に、この軸部材９の軸心と直交する方向に力を付与する振れ力付与手段２２と、この振れ力付与手段２２によって力を付与されることによる軸部材９の振れ量を検出する振れ量検出手段２１とを備える。【選択図】図５

Description

本発明は、軸受部材摩耗検出装置、回転機器及び軸受部材摩耗検出方法に関するものである。

一般に、マグネットカップリングポンプでは、スリーブベアリングを用いた軸受構造を採用している。この軸受構造では、分解しない限り、スリーブベアリングの摩耗状態は分からない。また、スリーブベアリングが摩耗しても、ポンプとしての機能は果たすため、異常摩耗に気付きにくい。このため、スリーブベアリングの摩耗状態によっては、これによって支持された回転部品の振れ量が大きくなり、パーティションキャンなどの隔壁に接触して穴を開けてしまうことがあった。隔壁に穴が開いて移送液（薬液）が漏れ出ると、周辺部品を腐食させる等、ポンプ及び設備全体に多大な被害を与えてしまうため、事前にスリーブベアリングの摩耗状態を検出することが望まれていた。

特許文献１では、摩耗検知管内の密封が破れることによる内部圧力の変化を圧力検知器で検知するようにした構成が開示されている。
特許文献２では、超音波センサから出力した超音波を回転子軸の軸端で反射させて、その反射エコーを検出することにより回転子軸の軸端までの距離を検出するようにした構成が開示されている。
特許文献３では、水中軸受が摩耗して回転軸が導線に接触することにより導線が切断されたことを断線検知器によって検知し、これにより水中軸受の摩耗量が所定の値に達したと判断するようにした構成が開示されている。

特開２００３−９８０４３号公報 特開平５−４４６８８号公報 特開２００８−７５６２５号公報

しかしながら、特許文献１に記載の構成では、密封が破れることにより検出できるものであり、周囲に漏出してほしくないような移送液には採用できない。
また、特許文献２に記載の構成では、回転子軸の軸端までの距離を検出するものであり、回転子軸の傾きを検出するものではない。
また、特許文献３に記載の構成では、回転軸の傾きによって導線が切断されることが前提であるので、回転軸の傾きを確実に検出できない恐れがある。

本発明は、軸部材を回転可能に支持する軸受部材の摩耗状態を、深刻な状態になる前に、簡単かつ安価な構成で確実に検出することができる軸受部材摩耗検出装置、回転機器及び軸受部材摩耗検出方法を提供することを課題とする。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、
軸受部材に回転可能に支持された回転中の軸部材に対して、該軸部材の軸心と直交する方向に力を付与する振れ力付与手段と、
前記振れ力付与手段によって力を付与されることによる前記軸部材の振れ量を検出する振れ量検出手段と、
を備えたことを特徴とする軸受部材摩耗検出装置を提供する。

この構成により、軸受部材が摩耗していれば、振れ力付与手段によって強制的に軸部材に力を付与し、軸受部材に対して確実に揺動させることができる。したがって、従来では難しかった摩耗状態の検出を、その初期段階であっても確実に行うことが可能となる。

前記振れ量検出手段での検出信号に基づいて、前記軸受部材の摩耗状態を判定する摩耗状態判定手段をさらに備えるのが好ましい。

この構成により、軸受部材の摩耗状態を摩耗状態判定手段によって自動的に判定することができる。

前記軸部材は磁性材料からなる第１磁石部を含み、
前記振れ力付与手段は、前記第１磁石部を吸引する、又は、反発させる第２磁石部を備えるのが好ましい。

この構成により、第１磁石部及び第２磁石部によって軸部材を非接触で揺動させることができる。

前記第１磁石部及び前記第２磁石部は、ネオジウム磁石であればよい。

前記第２磁石部と前記振れ量検出手段は、前記軸部材の軸心に直交する同一平面内に配置されているのが好ましい。

この構成により、磁石によって軸部材を吸引する、又は反発させる位置で振れ量を検出することができるので、検出精度を高めることができる。

前記軸受部材の初期状態に於ける径方向の厚みの周方向平均値をｄ０とし、前記軸受部材の摩耗後に推定される径方向の厚みの周方向平均値をｄ１とした場合、前記摩耗状態判定手段は、前記振れ量検出手段によって検出される前記軸部材の振れ量が２×（ｄ０−ｄ１）以上となることにより、前記軸受部材の交換時期であると判断するのが好ましい。

前記軸受は、スリーブベアリングであってもよい。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、
前記いずれかの軸受部材摩耗検出装置と、
前記軸部材及び前記軸受部材を収容するケーシングと、
を備え、
前記ケーシングは、前記振れ力付与手段を装着可能なポートを有することを特徴とする回転機器を提供する。

前記ケーシングは、さらに前記振れ量検出手段を装着可能なポートを有するのが好ましい。

前記軸部材の外周に一体的に取り付けられる内輪をさらに備え、
前記軸受部材は、前記軸部材を回転可能に支持する第１軸受部と、前記内輪を回転可能に支持する第２軸受部とからなり、
前記振れ量検出手段は、前記第１軸受部での前記軸部材の振れ量、又は、前記第２軸受部での前記内輪の振れ量を検出可能に設けられているのが好ましい。

前記ケーシングと前記内輪との間に配置される外輪と、
前記内輪と前記外輪とを区画する隔壁と、
をさらに備えているのが好ましい。

前記隔壁は非磁性材料からなるのが好ましい。

前記内輪は、内周側と外周側とで極性が相違し、外周側での極性が周方向に交互に相違する複数の磁石を有し、
前記外輪は、内周側と外周側とで極性が相違し、内周側での極性が周方向に交互に相違する複数の磁石を有するのが好ましい。

前記回転機器は、一軸偏心ねじポンプであるのが好ましい。

本発明は、前記課題を解決するための手段として、
軸受部材に回転可能に支持された回転中の軸部材に、該軸部材の軸心と直交する方向に力を付与し、
力を付与されることによる前記軸部材の振れ量を検出し、
検出された振れ量に基づいて軸受部材の摩耗状態を判定することを特徴とする軸受部材摩耗検出方法を提供する。

本発明によれば、振れ力付与手段によって強制的に軸部材に力を付与するようにしているので、軸受部材が摩耗していれば、軸部材を確実に揺動させることができる。したがって、軸受部材の摩耗状態を初期段階であっても正確に検出することが可能となる。

本実施形態に係る一軸偏心ねじポンプの斜視図である。 図１の縦断面図である。 図２の部分拡大図である。 図３のＡ−Ａ線断面図である。 図３のＢ−Ｂ線断面図である。

以下、本発明に係る実施形態を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向や位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「側」、「端」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した発明の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本発明の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは相違している。

図１は、本実施形態に係る回転機器の一例である一軸偏心ねじポンプ１を示す。この一軸偏心ねじポンプ１は、ケーシング２の一端側に設けたポンプ部３と、他端側に設けたポンプ装置４とを備える。

ケーシング２は、ポンプ部３側のポンプケーシング５と、ポンプ装置４側のカップリングケーシング６とからなる。ポンプケーシング５とカップリングケーシング６とは、フランジ部材７を介して接続されている。

図２に示すように、ポンプケーシング５内にはジョイント部８が収容されている。ジョイント部８は、ポンプ部３側のロータ２５と、カップリングケーシング６内のドライブシャフト９とを回動可能に連結する。またポンプケーシング５には、図示しないタンクから供給される流動体の流入口である供給管５ａが接続されている。

図３に示すように、カップリングケーシング６内には、軸部材であるドライブシャフト９が配置されている。ドライブシャフト９はステンレス等の金属製で、軸受部材である第１スリーブベアリング１０によって回転可能に支持されている。ドライブシャフト９の一端部にはポンプケーシング５内のジョイント部８が接続されている。ドライブシャフト９の他端側外周には内輪１４が一体化されている。

第１スリーブベアリング１０は樹脂製で、前記フランジ部材７の内周側に筒部１２を介して取り付けられている。筒部１２は、一端側（ジョイント部８とは反対側）が他端側に比べて外径寸法の小さな小径部１２ａで構成されている。小径部１２ａには第２スリーブベアリング１３が取り付けられている。

第２スリーブベアリング１３も樹脂製で、内輪１４の先端側内周面に取り付けられている。但し、第２スリーブベアリング１３の内周面と小径部１２ａの外周面との間には隙間が形成されている。この隙間に相当する寸法だけ第１スリーブベアリング１０が摩耗することにより、第２スリーブベアリング１３の内周面に小径部１２ａの外周面が接触する。つまり、第１スリーブベアリング１０によるドライブシャフト９のみによる支持から、第２スリーブベアリング１３による内輪１４の支持をも加えた状態とすることができる。

内輪１４は、金属材料（例えば、チタン）からなり、その外周部には従動マグネット１５が設けられている。図４に示すように、従動マグネット１５は、内輪１４の内周側と外周側とで極性が相違する永久磁石が周方向に複数（ここでは、８個）配置されている。隣接する永久磁石では、外周側の極性が相違している。そして、内輪１４の軸心を中心とする点対称の位置に配置される永久磁石の外周面側は同一極性となっている。

図３に示すように、フランジ部材７の一端面（第２筒部１２の一端側外周面）には、隔壁としてパーティションキャン１６が取り付けられている。パーティションキャン１６は、ドライブシャフト９及び内輪１４を覆い、内輪１４の外周面とは僅かな隙間を形成しつつポンプ装置４側とを区画する。パーティションキャン１６の外周側には外輪１７が配置されている。

外輪１７は筒状で、内周面にはパーティションキャン１６の外周面の近傍に、前記従動マグネット１５と対向するように駆動マグネット１８が設けられている。図４に示すように、駆動マグネット１８は、前記従動マグネット１５と同様に、内周側と外周側とで極性が相違する複数（ここでは、８個）の永久磁石が周方向に外周側（及び内周側）の極性を相違させて交互に配置されている。外輪１７の一端側は内径寸法が小さくなってポンプ装置４の出力軸３０の外周面に一体化されている。

図５に示すように、カップリングケーシング６には内外を連通するポート、すなわちセンサ取付穴１９及び磁石取付穴２０がそれぞれ形成されている。センサ取付穴１９及び磁石取付穴２０は、その中心がカップリングケーシング６の軸心に直交する同一平面内に位置するように形成されている（但し、軸心方向にずれていてもよいが、同一平面内に位置するのが好ましい。）。またここでは、センサ取付穴１９は鉛直上方位置に形成され、磁石取付穴２０は鉛直方向に対して４５°傾斜位置に形成されている。センサ取付穴１９には、振れ量検出手段として過電流式のギャップセンサ２１が取付可能であり、磁石取付穴２０には、振れ力付与手段として振れ力付与磁石２２（ここでは、ネオジウム磁石を使用している。）が取付可能である。センサ取付穴１９及び磁石取付穴２０は、第１スリーブベアリング１０及び第２スリーブベアリング１３の摩耗を検出する際に利用するので、通常は図示しない栓体によって閉鎖する。

ギャップセンサ２１は、図示しないが、センサヘッド内部のコイルに高周波電流を流し、センサヘッドから高周波磁界を発生させるように構成されている。そして、センサヘッドから発生した高周波磁界中に位置するドライブシャフト９（内輪１４）に渦電流が発生し、コイルのインピーダンスが変化するようになっている。ギャップセンサ２１には、摩耗状態判定手段である制御装置２３が接続されている。

制御装置２３は、ギャップセンサ２１のコイルのインピーダンス変化に基づいて、内蔵する共振回路の電圧変化として取り出すものであり、実際にはメモリハイコーダが使用される。これにより、回転中のドライブシャフト９（内輪１４）が正規の回転位置から内外周へどれだけ振れているのかを示す振れ量を得る。制御装置２３には、予め振れ量がどれだけになれば、第１スリーブベアリング１０の交換時期であるのかを示すデータテーブルが記憶されている。この振れ量は、摩耗量が大きくなって内輪１４がパーティションキャン１６に接触する恐れがある値である。ここでは、第１スリーブベアリング１０の初期状態に於ける径方向の厚みの周方向平均値をｄ０とし、内輪１４がパーティションキャン１６に接触する状態まで第１スリーブベアリング１０が摩耗したときの径方向の厚みの周方向平均値をｄ１とした場合、２×（ｄ０−ｄ１）を交換時期を示す閾値として記憶している。そして、ギャップセンサ２１によって検出されるドライブシャフト９の初期値からの振れ量が２×（ｄ０−ｄ１）以上となることにより交換時期である旨を報知することができるようになっている。但し、例えば、「交換時期まで○○日」等の報知ができるように、閾値は複数段階で設定しておくのが好ましい。なお、実際には、振れ量を演算するのではなく、インピーダンスから得られる電圧値に基づいて前記処理を実行している。

振れ力付与磁石２２は棒状で、挿入奥側と挿入手前側とで極性が相違し、振れ力付与磁石２２間で挿入側端面が逆極性となるように各磁石取付穴２０に配置される。これにより、各振れ力付与磁石２２の挿入側端面に、パーティションキャン１６を介して対向する駆動マグネット１８の永久磁石の極性がいずれか一方では同一となって反発力が作用し、残る他方では相違して吸引力が作用する。

図２に示すように、ポンプ部３は、ステータ２４内にロータ２５を配設したもので、一端側にはエンドスタッド２６が配置されている。ステータ２４は、外筒２７と、その内面に密着した状態で配置されるステータ本体２８とで構成されている。ステータ２４の中心孔は、その内周面がｎ条で単段あるいは多段の雌ネジ形状とされている。ロータ２５は、金属材料からなる軸体をｎ−１条で単段あるいは多段の雄ネジ形状としたものである。ロータ２５は、ステータ２４の中心孔内に配置され、その長手方向につながった移送空間２９を形成する。

ポンプ装置４は、詳細については図示しないが、モータ等の駆動により出力軸３０を回転させるものである。

次に、前記構成からなる一軸偏心ねじポンプ１の動作について説明する。

ポンプ装置４の駆動により出力軸３０が回転すると、この出力軸３０に一体化した外輪１７も回転する。外輪１７の内周面側に設けた駆動マグネット１８には、パーティションキャン１６を介して内輪１４の従動マグネット１５が対峙している。これにより、外輪１７の回転に伴って内輪１４が回転し、これに一体化したドライブシャフト９も回転する。この結果、ドライブシャフト９に連結したロータ２５が回転し、ステータ２４内の移送空間２９を移動させることにより、流動物が搬送される。

このようにして流動物の搬送を行うが、ドライブシャフト９の回転により第１スリーブベアリング１０が次第に摩耗してくる。そして、第１スリーブベアリング１０がある程度摩耗すると、スリーブベアリング１０の外周面に設けた筒部１２の小径部１２ａが、内輪１４に設けた第２スリーブベアリング１３に回転可能に支持される。つまり、ドライブシャフト９を第１スリーブベアリング１０のみによって支持している第１段階から、さらにスリーブベアリング１０の外周面に設けた筒部１２の小径部１２ａを第２スリーブベアリング１３によって支持する第２段階となる。したがって、摩耗によるドライブシャフト９及び内輪１４の振れ量が徐々に大きくなる第１段階から第２段階に移行することで、一旦、この振れ量の増大ペースを抑制することができる。但し、第１スリーブベアリング１０、さらには第２スリーブベアリング１３の摩耗によっても、ドライブシャフト９及び内輪１４は磁力を利用した非接触状態での回転であるので、（必ずしも中心ではない）特定の位置からそれほど振れることなく回転することがある。

そこで、第１スリーブベアリング１０及び第２スリーブベアリング１３の摩耗状態がどの段階にあるのかを定期的に検査する。すなわち、カップリングケーシング６に形成したセンサ取付穴１９にギャップセンサ２１を取り付け、磁石取付穴２０を介して振れ力付与磁石２２を取り付ける。そして、ポンプ装置４を駆動してドライブシャフト９を一定速度で回転させる。

ドライブシャフト９及び内輪１４には、２箇所の振れ力付与磁石２２によって軸心方向とは直交する方向の磁力が作用している。また内輪１４が回転することにより、その外周部に設けた従動マグネット１５が振れ力付与磁石２２に対して、順次、異なる極性が対峙する。これにより、ドライブシャフト９及び内輪１４が回転する際、振れ力付与磁石２２の磁力によって磁力の作用方向（軸心に直交する方向）に往復移動させるような力が作用する。このため、第１スリーブベアリング１０、さらに第２スリーブベアリング１３が摩耗してくれば、ドライブシャフト９及び内輪１４は強制的に径方向に振れて回転することになる。

図５中、２点鎖線は、振れ力付与磁石２２の磁力により、ギャップセンサ２１による検出位置で、パーティションキャン１６と内輪１４との隙間が最大となり、逆にその反対側で内輪１４の外周面がパーティションキャン１６に接触している状態を示している。

ドライブシャフト９及び内輪１４の軸心方向に直交する方向への振れ量は、ギャップセンサ２１によって内蔵するコイルのインピーダンスの変化として検出される。検出されたインピーダンスは制御装置２３に入力される。

制御装置２３では、入力されたインピーダンスに基づいて振れ量を演算する。こうして得られる振れ量は、ドライブシャフト９及び内輪１４の回転に合わせて変化する。ドライブシャフト９及び内輪１４が回転すると、振れ量が一定周期で変化する。第１スリーブベアリング１０及び第２スリーブベアリング１３が摩耗していると、そのピーク値が大きくなる。そこで、そのピーク値が、前述のように予め記憶させた閾値を超えるか否かを判断する。ピーク値が閾値を超えていれば、第１スリーブベアリング１０及び第２スリーブベアリング１３の摩耗量が大きくなり、その交換時期が来ていると推測し、その旨を報知する。閾値を複数設定する場合、例えば、第１段階、第２段階、交換時期等のいずれの段階であるのか等、種々の摩耗状態を判断することができる。

このように、振れ力付与磁石２２を設けるようにしたので、第１スリーブベアリング１０及び第２スリーブベアリング１３が摩耗しているにも拘わらず、ドライブシャフト９及び内輪１４が前記特定の位置で回転し続けることがない。したがって、内輪１４の振れ量を正確に検出することができる。特に、振れ力付与磁石２２で、従動マグネット１５を備えた内輪１４を強制的に振れさせるようにしたので、内輪１４の振れ量を正確に検出することができる。

また、振れ力付与磁石２２とギャップセンサ２１とを、軸心方向とは直交する同一平面上に配置しているので、ドライブシャフト９や内輪１４に対して振れ力付与磁石２２によって磁力を作用させるその同一位置で振れ量を検出することができる。したがって、そのように配置されていないものに比べてより一層振れ量を正確に検出することができる。

なお、本発明は、前記実施形態に記載された構成に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。

前記実施形態では、駆動側と従動側との間に隔壁であるパーティションキャン１６を配置し、駆動側と従動側とを完全に分離した構成を採用したが、駆動側と従動側が直結したタイプの動力伝達機構であっても、前述の軸受部材の摩耗を検出するための構成を採用することができる。

前記実施形態では、永久磁石によりドライブシャフト９を吸引する、又は反発させるようにしたが、電磁石等、他の手段を採用してもよい。

前記実施形態では、ギャップセンサ２１によって内輪１４の振れ量を検出するようにしたが、ドライブシャフト９の振れ量を検出するようにしてもよい。この場合、ギャップセンサ２１は、内輪１４ではなくドライブシャフト９の振れを検出するように構成すればよい。

前記実施形態では、内輪１４に８つの永久磁石を設けるようにしたが、その数は（例えば、内輪１４の内径寸法の違い等）必要に応じて適宜変更すればよい。また、内輪１４の軸心を中心とする点対称の位置で、永久磁石の外周側の極性が相違する場合、装着する振れ力付与磁石２２の挿入奥側端面での極性を同一とすればよい。

前記実施形態では、制御装置２３にて第１スリーブベアリング１０の交換時期を自動的に判断するようにしたが、実際に人が見て交換時期を判断するようにしてもよい。具体的には、ギャップセンサ２１での検出値、検出波形等をモニター等で人が見て交換時期を判断すればよい。

１…一軸偏心ねじポンプ
２…ケーシング
３…ポンプ部
４…ポンプ装置
５…ポンプケーシング
６…カップリングケーシング
７…フランジ部材
８…ジョイント部
９…ドライブシャフト（軸部材）
１０…第１スリーブベアリング（軸受部材）
１２…筒部
１３…第２スリーブベアリング（軸受部材）
１４…内輪（軸部材）
１５…従動マグネット
１６…パーティションキャン
１７…外輪
１８…駆動マグネット
１９…センサ取付穴
２０…磁石取付穴
２１…ギャップセンサ（振れ量検出手段）
２２…振れ力付与磁石（振れ力付与手段）
２３…制御装置（摩耗状態判定手段）
２４…ステータ
２５…ロータ
２６…エンドスタッド
２７…外筒
２８…ステータ本体
２９…移送空間
３０…出力軸

Claims (15)

1. 軸受部材に回転可能に支持された回転中の軸部材に対して、該軸部材の軸心と直交する方向に力を付与する振れ力付与手段と、
   前記振れ力付与手段によって力を付与されることによる前記軸部材の振れ量を検出する振れ量検出手段と、
   を備えたことを特徴とする軸受部材摩耗検出装置。
2. 前記振れ量検出手段での検出信号に基づいて、前記軸受部材の摩耗状態を判定する摩耗状態判定手段をさらに備えたことを特徴とする請求項１に記載の軸受部材摩耗検出装置。
3. 前記軸部材は磁性材料からなる第１磁石部を含み、
   前記振れ力付与手段は、前記第１磁石部を吸引する、又は、反発させる第２磁石部を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の軸受部材摩耗検出装置。
4. 前記第１磁石部及び前記第２磁石部は、ネオジウム磁石からなることを特徴とする請求項３に記載の軸受部材摩耗検出装置。
5. 前記第２磁石部と前記振れ量検出手段は、前記軸部材の軸心に直交する同一平面に配置されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の軸受部材摩耗検出装置。
   軸受部材摩耗
6. 前記軸受部材の初期状態に於ける径方向の厚みの周方向平均値をｄ０とし、前記軸受部材の摩耗後に推定される径方向の厚みの周方向平均値をｄ１とした場合、前記摩耗状態判定手段は、前記振れ量検出手段によって検出される前記軸部材の振れ量が２×（ｄ０−ｄ１）以上となることにより、前記軸受部材の交換時期であると判断することを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の軸受部材摩耗検出装置。
7. 前記軸受部材は、スリーブベアリングであることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の軸受部材摩耗検出装置。
8. 前記請求項１から７のいずれか１項に記載の軸受部材摩耗検出装置と、
   前記軸部材及び前記軸受部材を収容するケーシングと、
   を備え、
   前記ケーシングは、前記振れ力付与手段を装着可能なポートを有することを特徴とする回転機器。
9. 前記ケーシングは、さらに前記振れ量検出手段を装着可能なポートを有することを特徴とする請求項８に記載の回転機器。
10. 前記軸部材の外周に一体的に取り付けられる内輪をさらに備え、
    前記軸受部材は、前記軸部材を回転可能に支持する第１軸受部と、前記内輪を回転可能に支持する第２軸受部とからなり、
    前記振れ量検出手段は、前記第１軸受部での前記軸部材の振れ量、又は、前記第２軸受部での前記内輪の振れ量を検出可能に設けられていることを特徴とする請求項７又は８に記載の回転機器。
11. 前記ケーシングと前記内輪との間に配置される外輪と、
    前記内輪と前記外輪とを区画する隔壁と、
    をさらに備えていることを特徴とする請求項１０に記載の回転機器。
12. 前記隔壁は非磁性材料からなることを特徴とする請求項１１に記載の回転機器。
13. 前記内輪は、内周側と外周側とで極性が相違し、外周側での極性が周方向に交互に相違する複数の磁石を有し、
    前記外輪は、内周側と外周側とで極性が相違し、内周側での極性が周方向に交互に相違する複数の磁石を有することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の回転機器。
14. 一軸偏心ねじポンプであることを特徴とする前記請求項８から１３のいずれか１項に記載の回転機器。
15. 軸受部材に回転可能に支持された回転中の軸部材に、該軸部材の軸心と直交する方向に力を付与し、
    力を付与されることによる前記軸部材の振れ量を検出し、
    検出された振れ量に基づいて軸受部材の摩耗状態を判定することを特徴とする軸受部材摩耗検出方法。

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