JP2018014818A - Optical scanning device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、可変焦点型の光走査装置に関するものである。 The present invention relates to a variable focus type optical scanning device.
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)型光走査装置は、ミラーと、ミラーを両持ち支持する支持梁とを備え、支持梁の軸周りに揺動するミラーにレーザ光を照射することによりレーザ光の走査を行うものである。 2. Description of the Related Art A MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) type optical scanning device includes a mirror and a support beam that supports both mirrors, and scans the laser beam by irradiating the laser beam to a mirror that swings around the axis of the support beam. Is to do.
光走査装置の中には、屈曲することで焦点距離を変化させる可変焦点ミラーを備えたものがある。このような可変焦点型の光走査装置において精度の高い走査をするためには、可変焦点ミラーの曲率を検出して反射光の焦点位置を精度よく制御することが重要である。 Some optical scanning devices include a variable focus mirror that changes the focal length by bending. In order to perform scanning with high accuracy in such a variable focus type optical scanning device, it is important to detect the curvature of the variable focus mirror and control the focal position of the reflected light with high accuracy.
例えば特許文献1では、可変焦点ミラーの上にピエゾ抵抗を配置し、可変焦点ミラーの変形によるピエゾ抵抗の抵抗値の変化を利用して曲率を検出する方法が提案されている。
For example,
しかしながら、可変焦点ミラーの上にピエゾ抵抗を配置すると、実装時の熱応力がピエゾ抵抗に残留応力として残る。そして、ピエゾ抵抗の抵抗値は、可変焦点ミラーの変形だけでなく、この残留応力によっても変化する。そのため、可変焦点ミラーの曲率とピエゾ抵抗の抵抗値との関係にばらつきが生じ、曲率の検出精度が低下する。 However, when a piezoresistor is disposed on the variable focus mirror, the thermal stress during mounting remains as a residual stress in the piezoresistor. The resistance value of the piezoresistor is changed not only by the deformation of the variable focus mirror but also by this residual stress. Therefore, the relationship between the curvature of the varifocal mirror and the resistance value of the piezoresistor varies, and the curvature detection accuracy decreases.
本発明は上記点に鑑みて、曲率の検出精度の低下を抑制できる光走査装置を提供することを目的とする。 An object of the present invention is to provide an optical scanning device that can suppress a decrease in curvature detection accuracy.
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、可変焦点型の光走査装置であって、一面(84a)および他面(86a)において光を反射する板状の反射部(80)と、反射部を屈曲させることにより反射部の焦点距離を変化させる屈曲部(82)と、一面に光を照射する走査用光源(10、130、140)と、他面に光を照射する検出用光源(10、50、130、140)と、他面で反射した光が照射される受光面(61)を有し、受光面の光が照射された領域の広さを用いて反射部の曲率を検出する曲率検出部(60、70)と、を備える。 In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, there is provided a variable focus type optical scanning device, which is a plate-like reflecting portion (80) that reflects light on one surface (84a) and the other surface (86a). A bent portion (82) that changes the focal length of the reflecting portion by bending the reflecting portion, a scanning light source (10, 130, 140) that irradiates light on one surface, and a detection that irradiates light on the other surface. Light source (10, 50, 130, 140) and a light receiving surface (61) irradiated with light reflected from the other surface, and using the width of the region irradiated with light on the light receiving surface, A curvature detection unit (60, 70) for detecting the curvature.
これによれば、曲率検出部の受光面の光が照射された領域の広さは、反射部の実際の形状に応じて変化する。したがって、実装時の熱応力などの影響により曲率の検出精度が低下することを抑制することができる。 According to this, the width of the region irradiated with the light on the light receiving surface of the curvature detection unit changes according to the actual shape of the reflection unit. Therefore, it is possible to suppress a decrease in curvature detection accuracy due to the influence of thermal stress during mounting.
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係の一例を示すものである。 In addition, the code | symbol in the bracket | parenthesis of each said means shows an example of a corresponding relationship with the specific means as described in embodiment mentioned later.
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、同一符号を付して説明を行う。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following embodiments, parts that are the same or equivalent to each other will be described with the same reference numerals.
(第1実施形態)
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態の光走査装置は、可変焦点型の光走査装置であり、例えばヘッドアップディスプレイ用のレーザスキャンモジュールとして用いることができる。図1に示すように、本実施形態の光走査装置1は、光源10と、ミラー20と、センサ30と、MEMSミラー部40と、光源50と、センサ60と、制御部70とを備えている。
(First embodiment)
A first embodiment of the present invention will be described. The optical scanning device of this embodiment is a variable focus type optical scanning device, and can be used as, for example, a laser scanning module for a head-up display. As shown in FIG. 1, the
光源10は、ミラー20を介してMEMSミラー部40に走査用のレーザ光を照射するものであり、走査用光源に相当する。図1に示すように、光源10は、LD(レーザダイオード)11と、LDホルダ12と、CL(コリメータレンズ)13とを備えている。
The
LD11はLDホルダ12に固定されており、LD11、LDホルダ12、CL13は、LD11が発生させたレーザ光がCL13に照射されるように配置されている。CL13は、LD11が発生させたレーザ光を平行光とするものである。
The
CL13によって平行光とされたレーザ光は、ミラー20に照射される。ミラー20は、照射された光の一部を透過させ、残りを反射するものである。ミラー20を透過したレーザ光は、センサ30に照射される。
The laser beam that has been converted into parallel light by the
センサ30は、走査用のレーザ光の光量を検出するためのものである。センサ30は受光面31を備えており、受光面31には、照射された光の光量に基づいて出力信号が変化する光電変換素子が配置されている。センサ30の出力信号は制御部70に入力され、光源10が発生させるレーザ光の光量の制御に用いられる。このようなセンサ30として、例えば、PD(フォトダイオード)が受光面31にマトリクス状に配置された構造のCCD(Charge Coupled Device)イメージセンサを用いることができる。
The
ミラー20で反射したレーザ光は、MEMSミラー部40に照射される。MEMSミラー部40は、走査用のレーザ光の焦点位置を調整するものであり、図2に示すように、反射部80と、枠体90とを備えている。
The laser beam reflected by the
枠体90は、内部に空洞が形成された矩形板状のセラミックパッケージであり、反射部80は、この空洞に配置されている。なお、枠体90をモールド樹脂で構成してもよい。枠体90のうち後述する一面84aに対向する面および後述する他面86aに対向する面には、光を透過させる透過部91、92がそれぞれ形成されている。
The
具体的には、枠体90のうち一面84aに対向する面、他面86aに対向する面には、それぞれ、枠体90を貫通する開口部93、94が形成されている。そして、透過部91は、開口部93の開口端に、はんだ等の金属やガラス等で構成される接合材95を介して、ガラス板96を接合した構成とされている。また、透過部92は、開口部94の開口端に、はんだ等の金属やガラス等で構成される接合材97を介して、ガラス板98を接合した構成とされている。反射部80は、枠体90により気密封止されている。
Specifically,
反射部80は、後述する一面84aおよび他面86aにおいて光を反射するものであり、屈曲することで反射光の焦点位置を変化させる可変焦点ミラーである。図3に示すように、反射部80は、板状とされており、基板81と、圧電素子82と、絶縁層83と、Ag(銀)層84と、配線層85と、Ag層86とを備えている。
The
基板81は、活性層81a、犠牲層81b、支持層81cが順に積層された構成のSOI(Silicon on Insulator)基板である。活性層81a、支持層81cは例えばSiで構成され、犠牲層81bは例えばSiO2で構成される。
The
活性層81aの表面の内周部には、圧電素子82が形成されている。圧電素子82は、入力された信号に応じて後述する一面84aを屈曲させて焦点距離を変化させるものであり、屈曲部に相当する。
A
基板81は、圧電素子82の動作によって一面84aを屈曲させるために、一部が薄膜化されている。具体的には、基板81の内周部においては、支持層81cが除去されており、支持層81cの裏面に開口する凹部81dが形成されている。圧電素子82は、基板81のうち凹部81dが形成された部分の上面に形成されている。
The
圧電素子82は、絶縁層82a、下部電極82b、圧電膜82c、上部電極82dが、活性層81aの上面に順に積層されて構成されている。本実施形態では、下部電極82bはSRO/Pt/Tiの積層構造で構成されている。また、圧電膜82cはPZT(チタン酸ジルコン酸鉛)で構成されており、上部電極82dはTi/Au/Tiの積層構造で構成されている。
The
活性層81aの表面、および、圧電素子82の表面には、SiO2等で構成される絶縁層83が形成されている。また、絶縁層83のうち、圧電素子82の上面に形成された部分の表面には、Ag層84が形成されている。
An insulating
Ag層84のうち活性層81aとは反対側の面を一面84aとする。圧電素子82の下部電極82b、上部電極82dに電圧が印加されると、圧電膜82cが変形し、これにより、基板81のうち圧電素子82が形成された部分、および、一面84aが屈曲して、一面84aの焦点距離が変化する。
The surface of the
絶縁層83のうち、圧電素子82の上部に位置し、かつ、Ag層84から離れた部分には、上部電極82dを露出させる開口部83aが形成されている。絶縁層83の表面には配線層85が形成されており、配線層85は、開口部83aにおいて上部電極82dに接続されている。配線層85は、例えばAlで構成される。
In the insulating
配線層85は、絶縁層83のうち基板81の外周部に形成された部分に至るように形成されており、配線層85の開口部83aとは反対側の端部は、図示しないボンディングワイヤによって、枠体90に形成された図示しない回路パターンに接続されている。上部電極82dは、配線層85、ボンディングワイヤ、枠体90に形成された回路パターン等を介して、制御部70に接続されている。
The
また、絶縁層83には、下部電極82bを露出させる図示しない開口部が形成されている。下部電極82bは、この開口部において配線層85に接続されており、上部電極82dと同様に、配線層85等を介して制御部70に接続されている。
The insulating
犠牲層81bのうち活性層81aとは反対側の面の一部は、支持層81cが除去され、凹部81dが形成されることによって露出しており、この面の露出した部分には、Ag層86が形成されている。Ag層86のうち犠牲層81bとは反対側の面を他面86aとする。圧電素子82の下部電極82b、上部電極82dに電圧が印加されると、圧電膜82cが変形し、これにより、基板81のうち圧電素子82が形成された部分、および、他面86aが屈曲して、他面86aの焦点距離が変化する。
A part of the surface of the sacrificial layer 81b opposite to the
一面84aには光源10からの走査用のレーザ光が照射され、他面86aには光源50からのレーザ光が照射される。光走査装置1は図示しないミラーを備えており、このミラーには、一面84aで反射した走査用のレーザ光が照射される。このミラーは走査用のレーザ光の進行方向を周期的に変化させるように揺動可能とされている。このミラーで反射した走査用のレーザ光の結像位置付近には、所望の画像を表示するためのスクリーン2が配置されている。
The one
光源50は、MEMSミラー部40に曲率検出用のレーザ光を照射するものであり、光源10と同様に、LD、CL等を備えている。光源50は、検出用光源に相当する。図2に示すように、MEMSミラー部40および光源50は、光源50が発生させる曲率検出用のレーザ光が他面86aに照射されるように配置されている。他面86aで反射したレーザ光は、センサ60に照射される。
The
センサ60は、反射部80の曲率を検出するためのものである。図1に示すように、センサ60は受光面61を備えており、受光面61には、照射された光の光量に基づいて出力信号が変化する光電変換素子が配置されている。センサ60の出力信号は制御部70に入力され、圧電素子82に印加される電圧の調整に用いられる。このようなセンサ60として、例えば、PDが受光面61にマトリクス状に配置された構造のCCDイメージセンサを用いることができる。
The
制御部70は、各種回路やCPU、ROM、RAM、I/Oなどを備えた周知のマイクロコンピュータ等によって構成されている。制御部70は、センサ30の出力信号を用いて走査用のレーザ光の光量を検出し、検出した光量に基づいて光源10への出力信号を変化させることにより、スクリーン2に照射される光の光量を制御する。また、制御部70は、センサ60の出力信号に基づいて、受光面61のうちレーザ光が照射された領域の広さを求め、この広さを用いて反射部80の曲率を検出する。そして、検出した曲率に基づいて圧電素子82への印加電圧を変化させることにより、反射部80の曲率を制御する。センサ30および制御部70は、光量検出部に相当し、センサ60および制御部70は、曲率検出部に相当する。
The
光走査装置1の動作について説明する。光走査装置1が起動されると、光源10のLD11は、制御部70からの入力信号に基づいてレーザ光を発生させる。LD11が発生させたレーザ光は、CL13によって平行光とされ、ミラー20を介してMEMSミラー部40の一面84aに照射される。また、光源50が発生させたレーザ光は、MEMSミラー部40の他面86aに照射される。
The operation of the
反射部80は、反射光の焦点距離が所望の長さとなるように変形させられている。具体的には、圧電素子82の下部電極82b、上部電極82dに所望の焦点距離に応じた電圧が制御部70によって印加されており、印加された電圧の大きさに応じて圧電膜82cが変形し、これに伴って基板81の内周部が変形している。
The
このように変形した反射部80の一面84aで反射し、焦点距離が調整された走査用のレーザ光は、図示しないミラーを介してスクリーン2に照射される。走査用のレーザ光の進行方向は図示しないミラーの揺動により周期的に変化しており、これにより、所望の画像がスクリーン2に表示される。
The scanning laser light reflected by the one
走査用のレーザ光の一部はミラー20を透過し、センサ30に照射される。センサ30は、受光面31に照射されたレーザ光の光量に応じた信号を出力する。この信号は制御部70に入力され、制御部70は、センサ30からの入力信号に基づいて光源10が備えるLD11への出力信号を変化させ、走査用のレーザ光の光量を制御する。
A part of the laser beam for scanning passes through the
光源50が発生させた曲率検出用のレーザ光は、反射部80の他面86aで反射して、センサ60の受光面61に照射される。他面86aで反射したレーザ光の進行方向は、反射部80の形状に応じて変化するため、図4、図5に示すように、受光面61のうちレーザ光が照射される領域の広さは、反射部80の曲率によって変化する。
The curvature detection laser beam generated by the
具体的には、レーザ光が照射される領域は図6に示すように円形となり、反射部80の曲率が大きくなるにつれて、この円の直径(スポット径)が大きくなる。すなわち、反射部80がフラットな状態のときのスポット径をD1、反射部80が屈曲して所定の曲率となったときのスポット径をD2とすると、図6に示すように、D1<D2となる。なお、図6において、実線は反射部80が屈曲して所定の曲率となったときにレーザ光が照射される領域を示し、破線は反射部80がフラットな状態のときにレーザ光が照射される領域を示す。
Specifically, the region irradiated with the laser light is circular as shown in FIG. 6, and the diameter (spot diameter) of this circle increases as the curvature of the reflecting
制御部70は、スポット径の変化に基づいて、具体的には、受光面61に配置された光電変換素子の出力信号の変化に基づいて、反射部80の曲率を検出し、この曲率が所望の値となるように圧電素子82に印加する電圧の大きさを調整する。
The
特許文献1に記載の光走査装置のように可変焦点ミラーの上にピエゾ抵抗を配置すると、実装時の熱応力がピエゾ抵抗に残留応力として残る。そして、ピエゾ抵抗の抵抗値は、可変焦点ミラーの変形だけでなく、この残留応力によっても変化する。また、市場での経時変化(クリープなど)によってもピエゾ抵抗の抵抗値が変化する。そのため、可変焦点ミラーの曲率とピエゾ抵抗の抵抗値との関係にばらつきが生じ、曲率の検出精度が低下する。また、実装時の熱応力がピエゾ抵抗に加わることを抑制するために、ミラーと支持基板との接合部をミラーおよびピエゾ抵抗から大きく離すと、チップが大型化する。
When the piezoresistor is arranged on the variable focus mirror as in the optical scanning device described in
これに対し本実施形態では、反射部80の両面をミラーとして使用し、裏面側に曲率検出用のレーザ光を照射している。そして、センサ60の受光面61のうち反射光が照射される領域の広さを用いて反射部80の曲率を検出している。この領域の広さは、反射部80の実際の形状によって変化するため、このような方法で曲率を検出することにより、チップの大型化を抑制しつつ、実装時の熱応力などの影響で曲率の検出精度が低下することを抑制することができる。また、検出した曲率をフィードバックして圧電素子82への印加電圧を調整することにより、精度の高い走査をすることができる。
On the other hand, in this embodiment, both surfaces of the
また、例えば一面84aで反射したレーザ光を用いて曲率を検出すると、スクリーン2に照射されるレーザ光を遮ることになるが、本実施形態では、他面86aで反射したレーザ光を用いて、スクリーン2に照射されるレーザ光を遮らずに曲率を検出することができる。
For example, when the curvature is detected using the laser light reflected on the one
なお、反射部80が変形したときのスポット径の変化量は、他面86aで反射したレーザ光の他面86aから受光面61に至るまでの経路が長くなるにつれて大きくなる。したがって、反射部80の曲率の検出精度を向上させるためには、この経路を長くすることが好ましい。特に、L1≦L2とし、受光面61に照射される曲率検出用レーザ光のスポット径の変化量を、スクリーン2に照射される走査用レーザ光のスポット径の変化量以上とすることで、曲率の検出精度を大きく向上させることができる。
Note that the amount of change in the spot diameter when the reflecting
なお、L1は、一面84aで反射したレーザ光の一面84aからスクリーン2に至るまでの経路の長さであり、L2は、他面86aで反射したレーザ光の他面86aから受光面61に至るまでの経路の長さである。L1=L2のとき、これらのスポット径の変化量は互いに等しくなり、L1<L2とすることで、図7に示すように、曲率検出用レーザ光のスポット径の変化量が走査用レーザ光のスポット径の変化量よりも大きくなる。
Note that L1 is the length of a path from one
(第2実施形態)
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して検出用光源の構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Second Embodiment)
A second embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, the configuration of the light source for detection is changed with respect to the first embodiment, and the other parts are the same as those in the first embodiment. Therefore, only the parts different from the first embodiment will be described.
図8に示すように、本実施形態の光走査装置1は、ミラー100、110、120を備えている。ミラー100は、照射された光の一部を透過させ、残りを反射するものである。ミラー100は、ミラー20とセンサ30との間に配置されており、光源10が発生させたレーザ光の一部は、ミラー20およびミラー100を透過した後、センサ30の受光面31に照射される。
As shown in FIG. 8, the
ミラー100で反射したレーザ光は、ミラー110およびミラー120に照射される。本実施形態の光走査装置1は光源50を備えておらず、光源10が発生させたレーザ光の一部が、ミラー20を透過した後、ミラー100、110、120で反射して、MEMSミラー部40の他面86aに照射され、曲率検出用のレーザ光として用いられる。すなわち、本実施形態では、光源10は走査用光源に相当するとともに、検出用光源にも相当する。
The laser beam reflected by the
本実施形態においても、第1実施形態と同様に、曲率の検出精度の低下を抑制することができる。また、本実施形態では、検出用光源は、走査用光源と同一の光源10で構成されている。そのため、検出用光源を走査用光源とは別に用意する場合に比べて、光走査装置の製造コストを低減することができる。
Also in this embodiment, similarly to the first embodiment, it is possible to suppress a decrease in curvature detection accuracy. In the present embodiment, the light source for detection is composed of the same
また、検出用光源を走査用光源とは別に用意する場合、検出用光源が発生させるレーザ光が走査用のレーザ光に合成されるおそれがある。これに対し本実施形態では、検出用光源を走査用光源と同一の光源で構成することにより、走査用のレーザ光に不要な光(迷光)が合成され、スクリーン2に表示される画像の画質が低下することを抑制することができる。
Further, when the detection light source is prepared separately from the scanning light source, the laser light generated by the detection light source may be combined with the scanning laser light. In contrast, in the present embodiment, the detection light source is composed of the same light source as the scanning light source, so that unnecessary light (stray light) is combined with the scanning laser light, and the image quality of the image displayed on the
(第3実施形態)
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第2実施形態に対して光源の数を変更したものであり、その他については第2実施形態と同様であるため、第2実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Third embodiment)
A third embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the number of light sources is changed with respect to the second embodiment, and the others are the same as those in the second embodiment. Therefore, only the parts different from the second embodiment will be described.
第2実施形態では、光走査装置1が備える1つの光源10を走査用光源および検出用光源として用いたが、走査用光源を複数配置し、複数の走査用光源のうちの一部を走査用光源および検出用光源として用いてもよい。
In the second embodiment, one
図9に示すように、本実施形態の光走査装置1は、光源10に加えて光源130、140を備えている。光源130、140は、MEMSミラー部40に走査用のレーザ光を照射するものであり、光源10と同様に、LD、CL等を備えている。光源130、140は、走査用光源に相当する。本実施形態では、光源10、130、140が備えるLDは、それぞれ、赤色、緑色、青色のレーザ光を発生させる。
As shown in FIG. 9, the
また、本実施形態の光走査装置1は、ミラー150、160、170を備えている。ミラー150、160、170には、それぞれ、光源10、130、140のCLにより平行光とされた赤色、緑色、青色のレーザ光が照射される。
In addition, the
ミラー150は、赤色のレーザ光を透過させ、緑色、青色のレーザ光を反射するものである。ミラー160は、緑色のレーザ光の一部を透過させ、残りを反射するとともに、青色のレーザ光を透過させるものであり、ミラー150とミラー170との間に配置されている。
The
ミラー160、170は、これらのミラーで反射した緑色、青色のレーザ光がミラー150に照射されるように配置されている。そして、ミラー150は、ミラー150を透過した赤色のレーザ光と、ミラー150で反射した緑色、青色のレーザ光とが合成されて同じ向きに進むように配置されている。
The
このように赤色、緑色、青色のレーザ光が合成されることにより、走査用のレーザ光が形成される。本実施形態では、制御部70は、センサ30からの入力信号に基づいて光源10、130、140が備えるLDへの出力信号を変化させ、走査用のレーザ光の色を制御する。
In this way, the laser light for scanning is formed by combining the red, green, and blue laser lights. In the present embodiment, the
また、本実施形態では、ミラー160を透過した緑色のレーザ光がMEMSミラー部40の他面86aに照射され、曲率検出用のレーザ光として用いられる。すなわち、光源130は、走査用光源に相当するとともに、検出用光源にも相当する。
In the present embodiment, the green laser light transmitted through the
複数の走査用光源のうちの一部を検出用光源として用いた本実施形態においても、第2実施形態と同様の効果が得られる。 In the present embodiment in which a part of the plurality of scanning light sources is used as the detection light source, the same effects as those of the second embodiment can be obtained.
(第4実施形態)
本発明の第4実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してセンサの数を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Fourth embodiment)
A fourth embodiment of the present invention will be described. In the present embodiment, the number of sensors is changed with respect to the first embodiment, and the others are the same as those in the first embodiment. Therefore, only the parts different from the first embodiment will be described.
本実施形態の光走査装置1は、センサ60を備えておらず、センサ30が曲率検出用のセンサとしても用いられる。具体的には、図10に示すように、光走査装置1はミラー180、190を備えており、光源50が発生させたレーザ光は、MEMSミラー部40の他面86aで反射した後、ミラー180、190で反射して、センサ30の受光面31に照射される。すなわち、本実施形態では、センサ30は光量検出部に相当するとともに、曲率検出部にも相当する。
The
前述したように、光源10は光源50と同様の構成とされている。一方、光源10が発生させたレーザ光は、センサ30に照射される前に、ミラー20によって、センサ30に照射される分とMEMSミラー部40に照射される分とに分けられている。これにより、図11に示すように、光源10からセンサ30に照射されるレーザ光と、光源50からセンサ30に照射されるレーザ光との間に、入射光量の差が設けられている。
As described above, the
なお、図11において、実線は反射部80の曲率が所定の値よりも小さいときの光源50からのレーザ光の光量を示し、破線は反射部80の曲率が所定の値よりも大きいときの光源50からのレーザ光の光量を示し、一点鎖線は光源10からのレーザ光の光量を示す。
In FIG. 11, the solid line indicates the amount of laser light from the
図11に示すように、光源50からのレーザ光の光量は所定の閾値Qthよりも大きく、光源10からのレーザ光の光量は閾値Qthよりも小さい。制御部70は、この光量の差を利用して、走査用のレーザ光の光量と反射部80の曲率とを検出する。具体的には、制御部70は、閾値Qthよりも光量が大きい部分のスポット径に基づいて、反射部80の曲率を検出する。そして、制御部70は、検出した曲率を用いて光源50からのレーザ光の光量を推定し、推定した光量と、センサ30の出力信号とを用いて、光源10からのレーザ光の光量を検出する。このように、1つのセンサ30により走査用のレーザ光の光量と反射部80の曲率とを検出する本実施形態においても、第1実施形態と同様に、曲率の検出精度の低下を抑制することができる。また、本実施形態では、1つのセンサ30を光量検出部および曲率検出部として用いることにより、光走査装置1の製造コストを低減することができる。
As shown in FIG. 11, the amount of laser light from the
(第5実施形態)
本発明の第5実施形態について説明する。本実施形態は、第4実施形態に対して走査用のレーザ光の光量と反射部80の曲率の検出方法を変更したものであり、その他については第4実施形態と同様であるため、第4実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
(Fifth embodiment)
A fifth embodiment of the present invention will be described. This embodiment is different from the fourth embodiment in the method of detecting the amount of laser light for scanning and the curvature of the reflecting
本実施形態では、光源10が備えるLD11と光源50が備えるLDとが交互にレーザ光を発生させる。したがって、センサ30の受光面31には、光源10からのレーザ光と光源50からのレーザ光とが交互に照射される。
In the present embodiment, the
制御部70は、光源10がレーザ光を発生させているときに受光面31に照射された光の光量に基づいて走査用のレーザ光の光量を検出し、光源50が光を発生させているときのスポット径に基づいて反射部80の曲率を検出する。
The
このような構成の本実施形態においても、第4実施形態と同様の効果が得られる。 Also in this embodiment having such a configuration, the same effect as that of the fourth embodiment can be obtained.
(他の実施形態)
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
(Other embodiments)
In addition, this invention is not limited to above-described embodiment, In the range described in the claim, it can change suitably.
例えば、光走査装置1に揺動するミラーを配置せず、揺動するミラーを備える他の光走査装置と組み合わせて光走査装置1を用いてもよい。
For example, the
また、反射部80が枠体90により封止されていなくてもよい。ただし、湿度の変化などにより反射部80の特性が変化することを抑制するためには、反射部80を枠体90により封止して保護することが好ましい。
Further, the reflecting
また、上記第3実施形態において、光源10、140を検出用光源として用い、光源10、140が発生させるレーザ光を他面86aに照射してもよい。また、光走査装置1が光源を4つ以上備えていてもよい。
In the third embodiment, the
10 光源
50 光源
60 センサ
70 制御部
80 反射部
82 屈曲部
130 光源
140 光源
DESCRIPTION OF
Claims (8)
一面(84a)および他面(86a)において光を反射する板状の反射部(80)と、
前記反射部を屈曲させることにより前記反射部の焦点距離を変化させる屈曲部(82)と、
前記一面に光を照射する走査用光源(10、130、140)と、
前記他面に光を照射する検出用光源(10、50、130、140)と、
前記他面で反射した光が照射される受光面(61)を有し、前記受光面の光が照射された領域の広さを用いて前記反射部の曲率を検出する曲率検出部(60、70)と、を備える光走査装置。 A variable focus type optical scanning device,
A plate-like reflecting portion (80) that reflects light on one surface (84a) and the other surface (86a);
A bent portion (82) for changing the focal length of the reflecting portion by bending the reflecting portion;
A scanning light source (10, 130, 140) for irradiating light on the one surface;
A light source for detection (10, 50, 130, 140) for irradiating the other surface with light;
A curvature detector (60,) having a light receiving surface (61) irradiated with the light reflected by the other surface, and detecting the curvature of the reflective portion using the area of the light irradiated surface of the light receiving surface. 70).
前記曲率検出部が検出した前記反射部の曲率に基づいて前記屈曲部に入力される信号の大きさを決定する請求項1に記載の光走査装置。 The bent portion bends the reflecting portion according to an input signal,
The optical scanning device according to claim 1, wherein the magnitude of a signal input to the bent portion is determined based on the curvature of the reflecting portion detected by the curvature detecting portion.
前記光源が発生させる光は、照射された光の一部を透過させ、残りを反射するミラー(20、160)によって2つに分けられ、前記一面および前記他面に照射される請求項1ないし3のいずれか1つに記載の光走査装置。 The detection light source is composed of the same light source as the scanning light source,
The light generated by the light source is divided into two by a mirror (20, 160) that transmits a part of the irradiated light and reflects the remaining light, and is applied to the one surface and the other surface. 4. The optical scanning device according to any one of 3.
前記光量検出部は、前記曲率検出部としても用いられる請求項1ないし3のいずれか1つに記載の光走査装置。 A light amount detector (30, 70) for detecting the amount of light irradiated on the one surface;
The optical scanning device according to claim 1, wherein the light amount detection unit is also used as the curvature detection unit.
前記光量検出部は、前記光量の差を利用して、前記一面に照射される光の光量と、前記反射部の曲率とを検出する請求項5に記載の光走査装置。 A light amount difference is provided between the light emitted from the scanning light source to the light amount detection unit and the light emitted from the detection light source to the light amount detection unit,
The optical scanning device according to claim 5, wherein the light amount detection unit detects a light amount of light irradiated on the one surface and a curvature of the reflection unit using the difference in light amount.
前記光量検出部は、前記走査用光源が光を発生させているときに照射された光の光量に基づいて前記一面に照射される光の光量を検出し、前記検出用光源が光を発生させているときに光が照射された領域の広さに基づいて前記反射部の曲率を検出する請求項5に記載の光走査装置。 The scanning light source and the detection light source generate light at different timings,
The light amount detection unit detects a light amount of light irradiated on the one surface based on a light amount of light irradiated when the scanning light source generates light, and the detection light source generates light. The optical scanning device according to claim 5, wherein the curvature of the reflecting portion is detected based on a width of a region irradiated with light when the light is irradiated.
前記反射部は、前記空洞に配置されるとともに、前記枠体により気密封止されており、
前記枠体のうち前記一面に対向する面および前記他面に対向する面には、光を透過させる透過部(91、92)が形成されている請求項1ないし7のいずれか1つに記載の光走査装置。
A frame (90) having a cavity formed therein;
The reflective portion is disposed in the cavity and hermetically sealed by the frame body,
The transmission part (91, 92) which permeate | transmits light is formed in the surface which opposes the said one surface, and the surface which opposes the said other surface among the said frame bodies, Any one of Claim 1 thru | or 7 is formed. Optical scanning device.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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