JP2018014487A - コバルト含有基材の化学的機械的研磨(cmp) - Google Patents
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Abstract
Description
本特許出願は、アメリカ仮出願(第62/350,844号 出願日2016年6月16日)の利益を主張する。
このCMP研磨組成物は、以下を含有する:
研磨剤;
α‐アミノ基を含むアラニン;
H2PO4 1-、HPO4 2-、又はPO4 3-を含むリン酸化合物;
腐食防止剤;
酸化剤;
水;並びに
場合により
アミン化合物;
キレート化剤;
pH調整剤;
殺生物剤;及び
界面活性剤;
ここで、化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物は、pHが2.0〜約12;好ましくは6.0〜10.0;そしてより好ましくは7.0〜9.0;最も好ましくは7.5〜8.5である。
a)第一の材料及び少なくとも一つの第二の材料を含む表面を有する半導体基材を提供すること;
b)ここで、第一の材料は、Coであり、そして第二の材料は、誘電体膜、低‐k及び超低‐k膜、並びにバリア膜からなる群より選択される;
c)研磨パッドを提供すること;
d)以下を含む化学的機械的研磨組成物を提供すること;
研磨剤;
α‐アミノ基を含むアラニン;
H2PO4 1-、HPO4 2-、又はPO4 3-を含むリン酸化合物;
腐食防止剤;
酸化剤;
水;並びに
場合により
アミン化合物;
キレート化剤;
pH調整剤;
殺生物剤;及び
界面活性剤;
ここで、化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物は、pHが2.0〜約12;好ましくは6.0〜10.0;そしてより好ましくは7.0〜9.0;最も好ましくは7.5〜8.5である;
並びに
e)半導体基材の表面を研磨し、第一の材料を選択的に除去すること;
ここで、表面の少なくとも一部は、研磨パッド及び化学的機械的研磨組成物の両方と接触し;そして第一の材料の除去速度と第二の材料の除去速度との比は、1以上であって;好ましくは10よりも大きく;より好ましくは50よりも大きく、そして最も好ましくは100よりも大きい。
第一の材料及び少なくとも一つの第二の材料を含む表面を有する半導体基材であって、第一の材料は、Coであり、そして第二の材料は、誘電体膜(例えばTEOS,SixNy(式中、1.0<x<3.0、1.33<y<4.0))、低‐k及び超低‐k膜、並びにバリア膜(例えば、Ta、TaN、Ti及びTiN膜)からなる群より選択される、半導体基材;
研磨パッド;並びに
以下を含む化学的機械的研磨組成物:
研磨剤;
α‐アミノ基を含むアラニン;
PO4 3-を含むリン酸化合物;
腐食防止剤;
酸化剤;
水;並びに
場合により
アミン化合物;
キレート化剤;
pH調整剤;
殺生物剤;及び
界面活性剤;
ここで、化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物が有するpHは、2.0〜約12;好ましくは6.0〜10.0;そしてより好ましくは7.0〜9.0;最も好ましくは7.5〜8.5である;
ここで、表面の少なくとも一部は、研磨パッド及び化学的機械的研磨組成物の両方に接触する。
[研磨パッド]
Dow Chemicals Corp.から供給された、Dow’s IC1010パッドをCMPの間に使用した。
Å:オングストローム‐長さの単位
BP:背圧、psi単位で表す
CMP:化学的機械的平坦化=化学的機械的研磨
CS:キャリア速度
DF:ダウンフォース:CMPの間に課される圧力、単位:psi
min:分
ml:ミリリットル
mV:ミリボルト
psi:ポンド毎平方インチ
PS:研磨ツールのプラテン回転速度、rpm(回転/分)で表す
SF:研磨組成物流速、ml/分
‐コバルト除去速度(Co RR)を、CMPツールのダウン圧1.5psiで計測した。
[パラメーター]
Å:オングストローム‐長さの単位
BP:背圧、psi単位で表す
CMP:化学的機械的平坦化=化学的機械的研磨
CS:キャリア速度
DF:ダウンフォース:CMPの間に課される圧力、単位psi
min:分
ml:ミリリットル
mV:ミリボルト
psi:ポンド毎平方インチ
PS:研磨ツールのプラテン回転速度、rpm(回転/分)で表す
SF:研磨組成物流速、ml/分
Musashino DL‐アラニンパウダーを、イオンクロマトグラフィー(IC)分析のために調製した。
DL‐アラニン(Musashino)のDIW希釈液を、高速液体クロマトグラフィー(HPLC)分析のために調製した。
DL‐アラニンの供給業者を利用して3種のCMP研磨組成物を調製し、そして組成物を、リン酸二カリウム(リン酸水素二カリウム)又はリン酸水素二アンモニウムを用いてドープした。ドープしていない組成物を、対照として使用した。
2種のコバルトバルクCMP研磨組成物を、アラニンをまったく有しない組成物にリン酸アンモニウム及びリン酸カリウムをドープすることによって調製した。
組成物は、約70nmのMPSを有する0.6210wt%の高純度コロイドシリカ粒子;殺生物剤としての0.0002wt%のKathon II;0.002wt%のエチレンジアミン;0.00025wt%の1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレート;0.0946wt%の3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール;1.10wt%のDL‐アラニン;pH調整剤としての水酸化カリウム;及び酸化エージェントとしての1.0wt%のH2O2;並びに表5に示すように、種々の濃度のリン酸アンモニウムを含んだ。組成物の残部は、DI水であった。組成物のpH値は、およそ8.0であった。
18種のコバルトバルクCMP組成物を、DL‐アラニン(Musashino)を用いて、そして各種濃度のリン酸水素二アンモニウムでドープすることによって、調製した。
組成物は、約70nmのMPSを有する0.6210wt.%の高純度コロイドシリカ粒子;殺生物剤としての0.0002wt%のKathon II;0.002wt%のエチレンジアミン;0.00025wt%の1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレート;0.0946wt.%の3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール;1.10wt%のDL‐アラニン;pH調整剤としての水酸化カリウム;及び酸化エージェントとしての1.0wt%のH2O2、並びに0.0010wt%(10ppm)のリン酸水素二アンモニウムを含んだ。組成物の残部は、DIWであった。組成物のpH値は、およそ8.0であった。
異なるアラニンを使用したCoスラリーを検討した。試験したアラニンは、DL‐アラニン(Musashino)、ベータアラニン(Yuki Gosei Kogyo Co.)であった。
Claims (20)
- 0.005wt%〜25wt%の研磨剤;
0.05wt%〜5wt%のα‐アラニン;
2ppm〜100ppmの、H2PO4 1-、HPO4 2-又はPO4 3-を含むリン酸化合物;
0.0005wt%〜0.25wt%の腐食防止剤;
0.005wt%〜10wt%の酸化剤;及び
水;
を含む、コバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物であって、2.0〜約12のpHを有する化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物。 - 0.0001wt%〜0.20wt%のアミン化合物;
0.01wt%〜10wt%のキレート化剤;
0.01wt%〜0.5wt%のpH調整剤;
0.00001wt%〜0.10wt%の殺生物剤;及び
0.0005wt%〜0.15wt%の界面活性剤;
のうち少なくとも一つをさらに含む、請求項1に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物。 - 請求項1に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物であって、
前記研磨剤は、ナノサイズのコロイドシリカ又は高純度コロイドシリカ粒子;アルミナ、チタニア、ジルコニア、セリア及びこれらの組合せからなる群から選択されるナノサイズの無機金属酸化物粒子;ナノサイズのダイアモンド粒子;ナノサイズの窒化ケイ素粒子;モノモーダル、バイモーダル、又はマルチモーダルコロイド研磨粒子;有機ポリマーをベースとするソフト研磨剤;表面被覆された又は改変された研磨剤;並びにそれらの組合せからなる群より選ばれ;並びに0.05wt%〜5wt%の範囲であり;
前記アラニンは、D‐アラニン、L‐アラニン、DL‐アラニン、及びこれらの組合せからなる群より選ばれ;並びに0.5wt%〜2wt%の範囲であり;
H2PO4 1-、HPO4 2―又はPO4 3-を含む前記リン酸化合物は、リン酸イオン(三塩基性)、リン酸一水素イオン(二塩基性)、リン酸二水素(一塩基性)、リン酸三水素(酸性)、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる形態であり;並びに2ppm〜50ppmの範囲であり;
前記腐食防止剤は、1,2,4‐トリアゾール及びその誘導体、ベンゾトリアゾール及びその誘導体、1,2,3‐トリアゾール及びその誘導体、ピラゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、イソシアヌレート及びその誘導体、並びにそれらの組合せからなる群より選ばれ;並びに0.0025wt%〜0.25wt%の範囲であり;
前記酸化エージェントは、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、及びそれらの混合物からなる群より選ばれ;並びに0.25wt%〜3wt%の範囲であり;並びに
6.0〜約10のpHを有する、前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物。 - 以下のうちの少なくとも1つであることをさらに含む、請求項3に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物:
前記キレート化剤は、0.1wt%〜5wt%の範囲であり、かつ、グリシン、セリン、プロリン、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、トレオニン、トリプトファン、バリン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、システイン、グルタミン酸、グルタミン、オルニチン、ピコリン酸、セレノシステイン、チロシン、サルコシン、ビシン、トリシン、アセグルタミド、N‐アセチルアスパラギン酸、アセチルカルニチン、アセチルシステイン、N‐アセチルグルタミン酸、アセチルロイシン、アシビシン、S‐アデノシル‐L‐ホモシステイン、アガリチン、アラノシン、アミノ馬尿酸、L‐アルギニンエチルエステル、アスパルテーム、アスパルチルグルコサミン、ベンジルメルカプツル酸、ビオシチン、ブリバニブアラニネート、カルボシステイン、N(6)‐カルボキシメチルリジン、カルグルミン酸、シラスタチン、シチオロン、コプリン、ジブロモチロシン、ジヒドロキシフェニルグリシン、エフロルニチン、フェンクロニン、4‐フルオロ‐L‐スレオニン、N‐ホルミルメチオニン、ガンマ‐L‐グルタミル‐L‐システイン、4‐(γ‐グルタミルアミノ)ブタン酸、グルタウリン、グリコシアミン、ハダシジン、ヘパプレッシン(hepapressin)、リシノプリル、リメサイクリン、N‐メチル‐D‐アスパラギン酸、N‐メチル‐L‐グルタミン酸、ミラセミド、ニトロソプロリン、ノカルジシン A、ノパリン、オクトピン、オンブラブリン、オパイン、オルタニル酸、オキサセプロール、ポリリジン、レマセミド、サリチル尿酸、シルクアミノ酸、スタムピジン(stampidine)、タブトキシン(tabtoxin)、テトラゾリルグリシン、チオルファン、チメクタシン(Thymectacin)、チオプロニン、トリプトファントリプトフィルキノン、バラシクロビル、バルガンシクロビル、及びそれらの組合せからなる群から独立に選ばれ;
前記アミン化合物は、0.0010wt%〜0.10wt%の範囲であり、かつ、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同一分子内に複数のアミノ基を有する有機アミン化合物、及びこれらの組合せからなる群から独立に選ばれ;
前記pH調整剤は、0.05wt%〜0.15wt%の範囲であり、かつ、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラアルキルアンモニウム、有機アミン類、及びそれらの混合物からなる群から選ばれ;
前記殺生物剤は、0.0001wt%〜0.005wt%の範囲であって、かつ、メチルイソチアゾリノン;メチルクロロイソチアゾリノン;テトラメチルアンモニウムクロリド、テトラエチルアンモニウムクロリド、テトラプロピルアンモニウムクロリド、アルキルベンジルジメチルアンモニウムクロリド、及び水酸化アルキルベンジルジメチルアンモニウムからなる群より選ばれる第4級アンモニウム化合物、ここでアルキル鎖は1〜約20個の炭素原子の範囲である;亜塩素酸塩及び次亜塩素酸ナトリウムからなる群より選ばれるクロロ含有化合物;ビグアニド;アルデヒド;エチレンオキシド;金属塩;イソチアゾリノン;インドホール(indophor);並びにこれらの組合せからなる群から選ばれ;並びに
前記界面活性剤は、0.001wt%〜0.05wt%の範囲であり、かつ、アルコールエトキシレート、アセチレンジオール界面活性剤、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるノニオン性界面活性剤;二級アルカンスルホン酸塩、ドデシル硫酸塩、ナトリウム塩、ラウリル硫酸塩、カリウム塩、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるアニオン性界面活性剤;第四級アンモニウム系界面活性剤からなる群より選ばれるカチオン性界面活性剤;ベタイン及びアミノ酸誘導体系界面活性剤からなる群より選ばれる双性イオン性界面活性剤;並びにそれらの組合せからなる群から選ばれる。 - 前記リン酸化合物は、リン酸の無機塩又は有機リン酸化合物である、請求項3に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物。
- 0.1wt%〜2.5wt%の、ナノサイズのコロイドシリカ又は高純度コロイドシリカ粒子;0.825wt%〜1.65wt%の、D‐アラニン、L‐アラニン、DL‐アラニン、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるアラニン;5ppm〜20ppmの、一塩基性、二塩基性、又は三塩基性状態にある、リン酸アンモニウム又はリン酸カリウム;0.05wt%〜0.15wt%の、1,2,4‐トリアゾール及びその誘導体、ベンゾトリアゾール及びその誘導体、1,2,3‐トリアゾール及びその誘導体、ピラゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、イソシアヌレート及びその誘導体、並びにそれらの組合せ;0.5wt%〜1.5wt%の、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、及びそれらの混合物;を含み、7.0〜約9.0のpHを有する、請求項1に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物。
- 以下のうち、少なくとも1つをさらに含む、請求項6に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物:
0.5wt%〜2wt%の、グリシン、ピコリン酸、及びそれらの組合せ;
0.0025wt%〜0.050wt%の、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同一分子内に複数のアミノ基を有する有機アミン化合物、及びそれらの組合せ;
0.05wt%〜0.15wt%の、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラアルキルアンモニウム、及びそれらの混合物;
0.00015wt%〜0.0025wt%の、メチルイソチアゾリノン、メチルクロロイソチアゾリノン、ベンズイソチアゾリノン、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる、イソチアゾリノン;並びに
0.0025wt%〜0.025wt%の前記界面活性剤。 - 高純度コロイドシリカ粒子;DL‐アラニン;一塩基性、二塩基性又は三塩基性状態のリン酸アンモニウム又はリン酸カリウム;3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール、1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、又は3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール及び1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレートの組合せ;過酸化水素;並びにエチレンジアミンを含む、請求項6に記載のコバルト含有基材のための化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物。
- a)第一の材料及び少なくとも1種の第二の材料を含む表面を有する半導体基材を提供すること;ここで、前記第一の材料は、Coであり、かつ、前記第二の材料は、誘電体膜、低‐k及び超低‐k膜、並びにバリア膜からなる群より選ばれる;
b)研磨パッドを提供すること;
化学的機械的研磨組成物であって、
0.005wt%〜25wt%の研磨剤;
0.05wt%〜5wt%のα‐アラニン;
2ppmから100ppmの、H2PO4 1-、HPO4 2―又はPO4 3-を含むリン酸化合物;
0.0005wt%〜0.25wt%の腐食防止剤;
0.005wt%〜10wt%の酸化剤;
水;
を含み、
そして、2.0〜約12のpHを有する前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物であって、
そして、場合により、
0.0001wt%〜0.20wt%のアミン化合物;
0.01wt%〜10wt%のキレート化剤;
0.01wt%〜0.5wt%のpH調整剤;
0.00001wt%〜0.10wt%の殺生物剤;及び
0.0005wt%〜0.15wt%の界面活性剤;
を含む化学的機械的研磨組成物を提供すること;
並びに、
c)前記半導体基材の前記表面を研磨し、前記第一の材料を選択的に除去すること;
を含む選択的化学的機械的研磨の方法であって、前記表面の少なくとも一部は、前記研磨パッド及び前記化学的機械的研磨組成物の両方と接触しており;かつ、前記第一の材料の除去速度と前記第二の材料の除去速度との比は50以上である、選択的化学的機械的研磨の方法。 - 前記第二の材料は、TEOS、SixNy(式中、1.0<x<3.0、1.33<y<4.0)、Ta、TaN、Ti,及びTiNからなる群より選ばれる、請求項9に記載の選択的な化学的機械的研磨の方法。
- 前記化学的機械的研磨組成物は、以下であることを含む、請求項9に記載の選択的な化学的機械的研磨の方法:
前記研磨剤は、ナノサイズのコロイドシリカ又は高純度コロイドシリカ粒子;アルミナ、チタニア、ジルコニア、セリア及びこれらの組合せからなる群から選ばれるナノサイズの無機金属酸化物粒子;ナノサイズのダイアモンド粒子;ナノサイズの窒化ケイ素粒子;モノモーダル、バイモーダル、又はマルチモーダルコロイド研磨粒子;有機ポリマーをベースとするソフト研磨剤;表面被覆された又は改変された研磨剤;及びそれらの組合せからなる群より選ばれ;そして0.05wt%〜5wt%の範囲であり;
前記アラニンは、D‐アラニン、L‐アラニン、DL‐アラニン、及びそれらの組合せからなる群より選ばれ;そして0.5wt%〜2wt%の範囲であり;
H2PO4 1-、HPO4 2―又はPO4 3-を含む前記リン酸化合物は、リン酸イオン(三塩基性)、リン酸一水素イオン(二塩基性)、リン酸二水素(一塩基性)、リン酸三水素(酸性)、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる状態であり;そして2ppm〜50ppmの範囲であり;
前記腐食防止剤は、1,2,4‐トリアゾール及びその誘導体、ベンゾトリアゾール及びその誘導体、1,2,3‐トリアゾール及びその誘導体、ピラゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、イソシアヌレート及びその誘導体、並びにそれらの組合せからなる群より選ばれ;そして0.0025wt%〜0.25wt%の範囲であり;
前記酸化エージェントは、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、及びそれらの混合物からなる群より選ばれ;そして0.25wt%〜3wt%の範囲であり;
6.0〜約10のpHを有する前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物であり;
そして場合により
前記キレート化剤は、0.1wt%〜5wt%の範囲であり、グリシン、セリン、プロリン、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、トレオニン、トリプトファン、バリン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、システイン、グルタミン酸、グルタミン、オルニチン、ピコリン酸、セレノシステイン、チロシン、サルコシン、ビシン、トリシン、アセグルタミド、N‐アセチルアスパラギン酸、アセチルカルニチン、アセチルシステイン、N‐アセチルグルタミン酸、アセチルロイシン、アシビシン、S‐アデノシル‐L‐ホモシステイン、アガリチン、アラノシン、アミノ馬尿酸、L−アルギニンエチルエステル、アスパルテーム、アスパルチルグルコサミン、ベンジルメルカプツル酸、ビオシチン、ブリバニブアラニネート、カルボシステイン、N(6)‐カルボキシメチルリジン、カルグルミン酸、シラスタチン、シチオロン、コプリン、ジブロモチロシン、ジヒドロキシフェニルグリシン、エフロルニチン、フェンクロニン、4‐フルオロ‐L‐スレオニン、N‐ホルミルメチオニン、ガンマ‐L‐グルタミル‐L‐システイン、4‐(γ‐グルタミルアミノ)ブタン酸、グルタウリン、グリコシアミン、ハダシジン、ヘパプレシン、リシノプリル、リメサイクリン、N‐メチル‐D‐アスパラギン酸、N‐メチル‐L‐グルタミン酸、ミラセミド、ニトロソプロリン、ノカルジシン A、ノパリン、オクトピン、オンブラブリン、オパイン、オルタニル酸、オキサセプロール、ポリリジン、レマセミド、サリチル尿酸、シルクアミノ酸、スタムピジン、タブトキシン、テトラゾリルグリシン、チオルファン、チメクタシン、チオプロニン、トリプトファントリプトフィルキノン、バラシクロビル、バルガンシクロビル、並びにそれらの組合せからなる群から独立に選ばれ;
前記アミン化合物は0.0010wt%〜0.10wt%の範囲であり、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同一分子内に複数のアミノ基を有する有機アミン化合物、及びそれらの組合せからなる群より独立に選ばれ;
前記pH調整剤は、0.05wt%〜0.15wt%の範囲であり、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラアルキルアンモニウム、有機アミン類、及びそれらの混合物からなる群より選ばれ;
前記殺生物剤は、0.0001wt%〜0.005wt%の範囲であり、メチルイソチアゾリノン;メチルクロロイソチアゾリノン;テトラメチルアンモニウムクロリド、テトラエチルアンモニウムクロリド、テトラプロピルアンモニウムクロリド、アルキルベンジルジメチルアンモニウムクロリド及び水酸化アルキルベンジルジメチルアンモニウムからなる群より選ばれる第4級アンモニウム化合物、ここでアルキル鎖は1〜約20個の炭素原子の範囲である;亜塩素酸塩及び次亜塩素酸ナトリウムからなる群より選ばれるクロロ含有化合物;ビグアニド;アルデヒド;エチレンオキシド;金属塩;イソチアゾリノン;インドホール(indophor);並びにそれらの組合せからなる群より選ばれ;
前記界面活性剤は、0.001wt%〜0.05wt%の範囲であり、アルコールエトキシレート、アセチレニックジオール界面活性剤、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるノニオン性界面活性剤;二級アルカンスルホン酸塩、ドデシル硫酸塩、ナトリウム塩、ラウリル硫酸塩、カリウム塩、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるアニオン性界面活性剤;第四級アンモニウム系界面活性剤からなる群より選ばれるカチオン性界面活性剤;並びにベタイン及びアミノ酸誘導体系界面活性剤からなる群より選ばれる双性イオン性界面活性剤;並びにそれらの組合せからなる群より選ばれる。 - 前記リン酸化合物は、リン酸の無機塩又は有機リン酸化合物である、請求項11に記載の選択的な化学的機械的研磨の方法。
- 前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物は、以下を含み、かつ、7.0〜約9.0のpHを有している、請求項9に記載の選択的な化学的機械的研磨の方法:0.1wt%〜2.5wt%の、ナノサイズのコロイドシリカ又は高純度コロイドシリカ粒子;D‐アラニン、L‐アラニン、DL‐アラニン、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる0.825wt%〜1.65wt%のアラニン;一塩基性、二塩基性、三塩基性状態である5ppm〜20ppmの、リン酸アンモニウム又はリン酸カリウム;0.05wt%〜0.15wt%の、1,2,4‐トリアゾール及びその誘導体、ベンゾトリアゾール及びその誘導体、1,2,3‐トリアゾールとその誘導体、ピラゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、イソシアヌレート及びその誘導体、並びにそれらの組合せ;0.5wt%〜1.5wt%の、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、及びそれらの混合物;
また場合により
0.5wt%〜2wt%の、グリシン、ピコリン酸、及びそれらの組合せ;
0.0025%〜0.050wt%の、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同一分子内に複数のアミノ基を有する有機アミン化合物、及びそれらの組合せ;
0.05wt%〜0.15wt%の、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラアルキルアンモニウム、及びそれらの混合物;
メチルイソチアゾリノン、メチルクロロイソチアゾリノン、ベンズイソチアゾリノン及びそれらの組合せからなる群より選ばれる、0.00015wt%〜0.0025wt%のイソチオジロン;並びに
0.0025wt%〜0.025wt%の前記界面活性剤。 - 前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物は、高純度コロイドシリカ粒子;DL‐アラニン;一塩基性、二塩基性又は三塩基性状態のリン酸アンモニウム又はリン酸カリウム;3‐アミノ‐1,2,4−トリアゾール、1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、又は3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール及び1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレートの組合せ;過酸化水素;並びにエチレンジアミンを含む、請求項13に記載の選択的な化学的機械的研磨の方法。
- 前記表面の少なくとも一部は、前記研磨パッド及び前記化学的機械的研磨組成物の両方と接触し;前記第二の材料は、TEOS、SixNy(式中、1.0<x<3.0、1.33<y<4.0)、Ta、TaN、Ti,及びTiNからなる群より選ばれ;前記第一の材料の除去速度と前記第二の材料の除去速度との間の比が100以上である、請求項14に記載の選択的な化学的機械的研磨の方法。
- 第一の材料及び少なくとも一種の第二の材料を含む表面を有する半導体基材であって、前記第一の材料は、Coであり、かつ、前記第二の材料は、誘電体膜(例えば、TEOS、SixNy(式中、1.0<x<3.0、1.33<y<4.0))、低‐k及び超低‐k膜、並びにバリア膜(例えばTa,TaN,Ti及びTiN膜)からなる群より選ばれる半導体基材;
研磨パッド;
化学的機械的研磨組成物であって、
0.005wt%〜25wt%の研磨剤;
0.05wt%〜5wt%のα‐アラニン;
2ppmから100ppmの、H2PO4 1-、HPO4 2―又はPO4 3-を含むリン酸化合物;
0.0005wt%〜0.25wt%の腐食防止剤;
0.005wt%〜10wt%の酸化剤;
水;
を含み、
そして、2.0〜約12のpHを有する前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物であって、
そして場合により
0.0001wt%〜0.20wt%のアミン化合物;
0.01wt%〜10wt%のキレート化剤;
0.01wt%〜0.5wt%のpH調整剤;
0.00001wt%〜0.10wt%の殺生物剤;及び
0.0005wt%〜0.15wt%の界面活性剤;
を含む化学的機械的研磨組成物;
を含む化学的機械的研磨(CMP)システムであって、かつ、前記表面の少なくとも一部は、前記研磨パッド及び前記化学的機械的研磨組成物の両方と接触している、化学的機械的研磨(CMP)システム。 - 前記化学的機械的研磨組成物は、以下であることを含む、請求項16に記載の化学的機械的研磨(CMP)システム:
前記研磨剤は、ナノサイズのコロイドシリカ又は高純度コロイドシリカ粒子;アルミナ、チタニア、ジルコニア、セリア及びこれらの組合せからなる群から選択されるナノサイズの無機金属酸化物粒子;ナノサイズのダイアモンド粒子;ナノサイズの窒化ケイ素粒子;モノモーダル、バイモーダル、又はマルチモーダルコロイド研磨粒子;有機ポリマーをベースとするソフト研磨剤;表面被覆又は改変された研磨剤;並びにそれらの組合せからなる群より選ばれ;そして0.05wt%〜5wt%の範囲であり;
前記アラニンは、D‐アラニン、L‐アラニン、DL‐アラニン、及びそれらの組合せからなる群より選ばれ;そして0.5wt%〜2wt%の範囲であり;
H2PO4 1-、HPO4 2―又はPO4 3-を含む前記リン酸化合物は、リン酸イオン(三塩基性)、リン酸一水素イオン(二塩基性)、リン酸二水素(一塩基性)、リン酸三水素(酸性)、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる状態であり;2ppm〜50ppmの範囲であり;
前記腐食防止剤は、1,2,4‐トリアゾール及びその誘導体、ベンゾトリアゾール及びその誘導体、1,2,3‐トリアゾール及びその誘導体、ピラゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、イソシアヌレート及びその誘導体、並びにそれらの組合せからなる群より選ばれ;0.0025wt%〜0.25wt%の範囲であり;
前記酸化エージェントは、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、およびそれらの混合物からなる群より選ばれ;0.25wt%〜3wt%の範囲であり;
6.0〜約10のpHを有する前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物であり;
そして場合により
前記キレート化剤は、0.1wt%〜5wt%の範囲であって、グリシン、セリン、プロリン、ヒスチジン、イソロイシン、ロイシン、リジン、メチオニン、フェニルアラニン、トレオニン、トリプトファン、バリン、アルギニン、アスパラギン、アスパラギン酸、システイン、グルタミン酸、グルタミン、オルニチン、ピコリン酸、セレノシステイン、チロシン、サルコシン、ビシン、トリシン、アセグルタミド、N‐アセチルアスパラギン酸、アセチルカルニチン、アセチルシステイン、N‐アセチルグルタミン酸、アセチルロイシン、アシビシン、S‐アデノシル‐L‐ホモシステイン、アガリチン、アラノシン、アミノ馬尿酸、L‐アルギニンエチルエステル、アスパルテーム、アスパルチルグルコサミン、ベンジルメルカプツル酸、ビオシチン、ブリバニブアラニネート、カルボシステイン、N(6)‐カルボキシメチルリジン、カルグルミン酸、シラスタチン、シチオロン、コプリン、ジブロモチロシン、ジヒドロキシフェニルグリシン、エフロルニチン、フェンクロニン、4‐フルオロ‐L‐スレオニン、N‐ホルミルメチオニン、ガンマ‐L‐グルタミル‐L‐システイン、4‐(γ‐グルタミルアミノ)ブタン酸、グルタウリン、グリコシアミン、ハダシジン、ヘパプレシン、リシノプリル、リメサイクリン、N‐メチル‐D‐アスパラギン酸、N‐メチル‐L‐グルタミン酸、ミラセミド、ニトロソプロリン、ノカルジシン A、ノパリン、オクトピン、オンブラブリン、オパイン、オルタニル酸、オキサセプロール、ポリリジン、レマセミド、サリチル尿酸、シルクアミノ酸、スタムピジン、タブトキシン、テトラゾリルグリシン、チオルファン、チメクタシン、チオプロニン、トリプトファントリプトフィルキノン、バラシクロビル、バルガンシクロビル、及びそれらの組合せからなる群より独立に選ばれ;
前記アミン化合物は、0.0010wt%〜0.10wt%の範囲であって、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同一分子内に複数のアミノ基を有する有機アミン化合物、及びこれらの組合せからなる群より独立に選ばれ;
前記pH調整剤は、0.05wt%〜0.15wt%の範囲であって、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラアルキルアンモニウム、有機アミン類、及びそれらの混合物からなる群より選ばれ;
前記殺生物剤は、0.0001wt%〜0.005wt%の範囲であって、メチルイソチアゾリノン;メチルクロロイソチアゾリノン;テトラメチルアンモニウムクロリド、テトラエチルアンモニウムクロリド、テトラプロピルアンモニウムクロリド、アルキルベンジルジメチルアンモニウムクロリド及び水酸化アルキルベンジルジメチルアンモニウムからなる群より選ばれる第4級アンモニウム化合物;ここでアルキル鎖は1〜約20個の炭素原子の範囲である;亜塩素酸塩及び次亜塩素酸ナトリウムからなる群より選ばれるクロロ含有化合物;ビグアニド;アルデヒド;エチレンオキシド;金属塩;イソチアゾリノン;インドホール(indophor);並びにこれらの組合せからなる群より選ばれ;
前記界面活性剤は、0.001wt%〜0.05wt%の範囲であって、アルコールエトキシレート、アセチレニックジオール界面活性剤、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるノニオン性界面活性剤;二級アルカンスルホン酸塩、ドデシル硫酸塩、ナトリウム塩、ラウリル硫酸塩、カリウム塩、及びそれらの組合せからなる群より選ばれるアニオン性界面活性剤;第四級アンモニウム系界面活性剤からなる群より選ばれるカチオン性界面活性剤;並びにベタイン及びアミノ酸誘導体系界面活性剤からなる群より選ばれる双性イオン性界面活性剤;並びにそれらの組合せからなる群より選ばれる。 - 前記リン酸化合物は、リン酸の無機塩又は有機リン酸化合物である、請求項17に記載の化学的機械的研磨(CMP)システム。
- 前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物は、以下を含み、かつ7.0〜約9.0のpHを有している、請求項16に記載の化学的機械的研磨(CMP)システム:
0.1wt%〜2.5wt%の、ナノサイズのコロイドシリカ又は高純度コロイドシリカ粒子;D‐アラニン、L‐アラニン、DL‐アラニン、及びそれらの組合せからなる群より選ばれる0.825wt%〜1.65wt%のアラニン;一塩基性、二塩基性、三塩基性状態にある、5ppm〜20ppmの、リン酸アンモニウム又はリン酸カリウム;0.05wt%〜0.15wt%の、1,2,4‐トリアゾール及びその誘導体、ベンゾトリアゾール及びその誘導体、1,2,3‐トリアゾール及びその誘導体、ピラゾール及びその誘導体、イミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、ベンゾイミダゾール及びその誘導体、イソシアヌレート及びその誘導体、並びにそれらの組合せ;0.5wt%〜1.5wt%の、過ヨウ素酸、過酸化水素、ヨウ素酸カリウム、過マンガン酸カリウム、過硫酸アンモニウム、モリブデン酸アンモニウム、硝酸第二鉄、硝酸、硝酸カリウム、およびそれらの混合物;
そして場合により
0.5wt%〜2wt%の、グリシン、ピコリン酸、及びそれらの組合せ;
0.0025%〜0.050wt%の、エチレンジアミン、プロピレンジアミン、同一分子内に複数のアミノ基を有する有機アミン化合物、及びそれらの組合せ;
0.05wt%〜0.15wt%の、硝酸、塩酸、硫酸、リン酸、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化アンモニウム、水酸化テトラアルキルアンモニウム、及びそれらの混合物;
メチルイソチアゾリノン、メチルクロロイソチアゾリノン、ベンズイソチアゾリノン及びそれらの組合せからなる群より選ばれる0.00015wt%〜0.0025wt%のイソチオジロン;
並びに
0.0025wt%〜0.025wt%の前記界面活性剤。 - 前記化学的機械的研磨(CMP)研磨組成物は、高純度コロイドシリカ粒子;DL‐アラニン;一塩基性、二塩基性又は三塩基性状態のリン酸アンモニウム又はリン酸カリウム;3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール、1,3,5‐トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌレート、又は3‐アミノ‐1,2,4‐トリアゾール及び1,3,5‐トリス(2‐ヒドロキシエチル)イソシアヌレートの組合せ;過酸化水素;並びにエチレンジアミンを含む、請求項19に記載の化学的機械的研磨(CMP)システム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020188090A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | Jsr株式会社 | コバルトを含む基板を処理するための半導体洗浄用または化学機械研磨用組成物 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI664280B (zh) * | 2016-10-11 | 2019-07-01 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | 高溫cmp組成物及用於使用其之方法 |
US10676646B2 (en) * | 2017-05-25 | 2020-06-09 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Chemical mechanical polishing slurry for cobalt applications |
WO2020054296A1 (ja) * | 2018-09-12 | 2020-03-19 | 富士フイルム株式会社 | 薬液、基板の処理方法 |
CN111378379B (zh) * | 2018-12-29 | 2022-08-05 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种化学机械抛光液及其应用 |
JP7295236B2 (ja) * | 2019-06-20 | 2023-06-20 | 富士フイルム株式会社 | 研磨液、及び、化学的機械的研磨方法 |
WO2020255603A1 (ja) * | 2019-06-20 | 2020-12-24 | 富士フイルム株式会社 | 研磨液、及び、化学的機械的研磨方法 |
CN114072482A (zh) * | 2019-07-08 | 2022-02-18 | 巴斯夫欧洲公司 | 组合物及其用途和选择性蚀刻硅-锗材料的方法 |
CN110434680A (zh) * | 2019-07-19 | 2019-11-12 | 大连理工大学 | 一种螺旋桨的化学机械抛光液及抛光方法 |
US11292938B2 (en) * | 2019-09-11 | 2022-04-05 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Method of selective chemical mechanical polishing cobalt, zirconium oxide, poly-silicon and silicon dioxide films |
JP2022550331A (ja) * | 2019-09-24 | 2022-12-01 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 研磨組成物及びその使用方法 |
JP7391589B2 (ja) * | 2019-09-30 | 2023-12-05 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP2022553244A (ja) * | 2019-10-15 | 2022-12-22 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 研磨組成物およびその使用方法 |
KR20220087494A (ko) * | 2019-10-22 | 2022-06-24 | 씨엠씨 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 유전체 cmp를 위한 조성물 및 방법 |
US20230020073A1 (en) * | 2019-12-04 | 2023-01-19 | Versum Materials Us, Llc | High Oxide Film Removal Rate Shallow Trench (STI) Chemical Mechanical Planarization (CMP) Polishing |
KR102367056B1 (ko) * | 2020-02-27 | 2022-02-25 | 주식회사 케이씨텍 | 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물 |
TW202138505A (zh) * | 2020-03-31 | 2021-10-16 | 美商富士軟片電子材料美國股份有限公司 | 研磨組成物及其使用方法 |
US11680186B2 (en) * | 2020-11-06 | 2023-06-20 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Polishing compositions and methods of using same |
CN114477192B (zh) * | 2021-12-17 | 2023-03-03 | 山东科缘新材料科技有限公司 | 一种硅锆复合溶胶及其制备方法和应用 |
CN115011257B (zh) * | 2022-06-30 | 2023-12-19 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 一种具有改善pou寿命的钨抛光液及其应用 |
CN115505932B (zh) * | 2022-09-07 | 2024-02-27 | 万华化学集团电子材料有限公司 | 一种钨化学机械抛光液及其应用 |
WO2024064127A1 (en) * | 2022-09-22 | 2024-03-28 | Cmc Materials Llc | Tungsten cmp composition including a sulfur containing anionic surfactant |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014045937A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP2016030831A (ja) * | 2014-07-25 | 2016-03-07 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | コバルト含有基板の化学的機械的研磨(cmp) |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5230833A (en) | 1989-06-09 | 1993-07-27 | Nalco Chemical Company | Low sodium, low metals silica polishing slurries |
WO2001060940A1 (en) | 2000-02-16 | 2001-08-23 | Rodel Inc | Biocides for polishing slurries |
JP4202157B2 (ja) | 2003-02-28 | 2008-12-24 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
US7736405B2 (en) * | 2003-05-12 | 2010-06-15 | Advanced Technology Materials, Inc. | Chemical mechanical polishing compositions for copper and associated materials and method of using same |
US6971945B2 (en) | 2004-02-23 | 2005-12-06 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Multi-step polishing solution for chemical mechanical planarization |
WO2009020625A1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-12 | Planar Solutions, Llc | Copper polishing slurry |
KR101481573B1 (ko) * | 2008-02-12 | 2015-01-14 | 삼성전자주식회사 | 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물 및 이를 이용한화학적 기계적 연마 방법 |
KR101380098B1 (ko) | 2009-07-16 | 2014-04-01 | 히타치가세이가부시끼가이샤 | 팔라듐 연마용 cmp 연마액 및 연마 방법 |
CN102304327A (zh) | 2011-07-05 | 2012-01-04 | 复旦大学 | 一种基于金属Co的抛光工艺的抛光液 |
US20130186850A1 (en) | 2012-01-24 | 2013-07-25 | Applied Materials, Inc. | Slurry for cobalt applications |
SG11201506102TA (en) * | 2013-02-28 | 2015-09-29 | Fujimi Inc | Polishing slurry for cobalt removal |
US8974692B2 (en) * | 2013-06-27 | 2015-03-10 | Air Products And Chemicals, Inc. | Chemical mechanical polishing slurry compositions and method using the same for copper and through-silicon via applications |
JP2016056254A (ja) | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
US9944828B2 (en) | 2014-10-21 | 2018-04-17 | Cabot Microelectronics Corporation | Slurry for chemical mechanical polishing of cobalt |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014045937A1 (ja) * | 2012-09-18 | 2014-03-27 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物 |
JP2016030831A (ja) * | 2014-07-25 | 2016-03-07 | エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッドAir Products And Chemicals Incorporated | コバルト含有基板の化学的機械的研磨(cmp) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020188090A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | Jsr株式会社 | コバルトを含む基板を処理するための半導体洗浄用または化学機械研磨用組成物 |
Also Published As
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