JP2018010927A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018010927A5 JP2018010927A5 JP2016137691A JP2016137691A JP2018010927A5 JP 2018010927 A5 JP2018010927 A5 JP 2018010927A5 JP 2016137691 A JP2016137691 A JP 2016137691A JP 2016137691 A JP2016137691 A JP 2016137691A JP 2018010927 A5 JP2018010927 A5 JP 2018010927A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- change
- unit
- pattern
- reduces
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016137691A JP6758967B2 (ja) | 2016-07-12 | 2016-07-12 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
| KR1020170084605A KR102172015B1 (ko) | 2016-07-12 | 2017-07-04 | 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016137691A JP6758967B2 (ja) | 2016-07-12 | 2016-07-12 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018010927A JP2018010927A (ja) | 2018-01-18 |
| JP2018010927A5 true JP2018010927A5 (enExample) | 2019-08-22 |
| JP6758967B2 JP6758967B2 (ja) | 2020-09-23 |
Family
ID=60995780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016137691A Active JP6758967B2 (ja) | 2016-07-12 | 2016-07-12 | インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6758967B2 (enExample) |
| KR (1) | KR102172015B1 (enExample) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6821408B2 (ja) * | 2016-11-28 | 2021-01-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 |
| CN113314451B (zh) * | 2021-06-10 | 2022-08-02 | 哈尔滨工业大学 | 一种基于莫尔条纹的晶圆键合对准系统及方法 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005116978A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ナノインプリント装置及び方法 |
| JP4958614B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2012-06-20 | キヤノン株式会社 | パターン転写装置、インプリント装置、パターン転写方法および位置合わせ装置 |
| JP4795300B2 (ja) * | 2006-04-18 | 2011-10-19 | キヤノン株式会社 | 位置合わせ方法、インプリント方法、位置合わせ装置、インプリント装置、及び位置計測方法 |
| JP5261665B2 (ja) * | 2008-05-27 | 2013-08-14 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 近接露光装置 |
| NL2003347A (en) * | 2008-09-11 | 2010-03-16 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography. |
| JP5308369B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2013-10-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 両面インプリント装置の被転写体位置決め方法および両面インプリント装置 |
| JP5930622B2 (ja) | 2010-10-08 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び、物品の製造方法 |
| JP6304934B2 (ja) * | 2012-05-08 | 2018-04-04 | キヤノン株式会社 | インプリント装置および物品の製造方法 |
| JP6120678B2 (ja) * | 2013-05-27 | 2017-04-26 | キヤノン株式会社 | インプリント方法、インプリント装置及びデバイス製造方法 |
| JP6304948B2 (ja) * | 2013-06-19 | 2018-04-04 | キヤノン株式会社 | 光源装置、およびリソグラフィ装置 |
| JP6294680B2 (ja) * | 2014-01-24 | 2018-03-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP6549834B2 (ja) * | 2014-11-14 | 2019-07-24 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及び物品の製造方法 |
-
2016
- 2016-07-12 JP JP2016137691A patent/JP6758967B2/ja active Active
-
2017
- 2017-07-04 KR KR1020170084605A patent/KR102172015B1/ko active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2016530134A5 (enExample) | ||
| JP2017507747A5 (enExample) | ||
| EP3532266A4 (en) | THREE-DIMENSIONAL PRINTING METHOD | |
| JP2017211493A5 (ja) | 露光装置、および、物品の製造方法 | |
| JP2016535100A5 (enExample) | ||
| JP2016150142A5 (enExample) | ||
| JP2016027367A5 (ja) | 投影システム | |
| JP2016508542A5 (enExample) | ||
| HUE052675T2 (hu) | Eljárás réteges burkolólap elõállítására, és az eljárással elõállított termék | |
| JP2015143837A5 (ja) | トナーおよびトナーの製造方法 | |
| JP2017191148A5 (enExample) | ||
| JP2017528146A5 (enExample) | ||
| JP2019041807A5 (enExample) | ||
| JP2018010927A5 (enExample) | ||
| JP2018019120A5 (enExample) | ||
| JP2015130071A5 (enExample) | ||
| SG11201701196SA (en) | Photocurable composition, and methods using the same for forming cured product pattern and for manufacturing optical component, circuit board and imprinting mold | |
| JP2017014205A5 (enExample) | ||
| JP2014225653A5 (enExample) | ||
| JP2015198264A5 (enExample) | ||
| JP2017516883A5 (enExample) | ||
| JP2017011499A5 (enExample) | ||
| JP2017058090A5 (enExample) | ||
| JP2017220201A5 (enExample) | ||
| JP2019126642A5 (enExample) |