JP2018010225A - 光モジュールおよび光モジュールの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】光ファイバを高精度に位置決めできる光モジュールおよび光モジュールの製造方法を提供する。
【解決手段】光モジュール１は、凹部１１ｂが表面に形成され、凹部１１ｂの内側面から表面に沿って伸びる光導波路１１ｃが内部に形成された光学素子１１と、先端部が光学素子１１の端面と対向するように凹部１１ｂに配置された光ファイバ１２とを備え、光ファイバ１２は、凹部１１ｂ内の幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層１３にて固定されている。
【選択図】図１

Description

本発明は、光導波路と光ファイバとを備え、これら両者間にて光信号の伝達を行う光モジュールおよび光モジュールの製造方法に関する。

従来、光導波路と光ファイバとを備え、これら両者間にて光信号の伝達を行う光モジュールが知られている。この種の光モジュールでは、基板に光導波路が形成され、光導波路の端部と光ファイバとの間で光信号が伝播するように、光導波路と光ファイバとを光接続している。

具体的には、従来の光モジュールでは、特許文献１に開示されているように、光導波路を形成する基板に、光ファイバを配置するガイド溝を形成し、ガイド溝に光ファイバを配置し、ガイド溝の光ファイバを接着剤にて固定している。また、特許文献２および３に記載の構成では、光ファイバを配置するガイド溝としてＶ溝を形成し、Ｖ溝に配置した光ファイバを接着剤にて固定している。

これら特許文献１〜３に開示された構成では、光ファイバは光導波路に対して無調心の状態でガイド溝（Ｖ溝）に配置される。したがって、ガイド溝は、ガイド溝に配置した光ファイバの光軸と光導波路の光軸とが一致するように形成されている。

特開昭６３−５８３０４号公報 特開平８−３１３７５６号公報 特開２００６−３５００１４号公報

近年、シリコンフォトニクスなど、シリコン基板に微細な光導波路を形成した非常に小型かつ高速の光デバイスが開発されている。このような光デバイスでは、光ファイバについて、光導波路に対して例えば１μｍ以下といった高い位置決め精度が求められる。

これに対し、上記従来の構成では、基板に形成したガイド溝（Ｖ溝）に光ファイバを無調心の状態にて配置することにより、光導波路に対して光ファイバを位置決めしている。このため、上記従来のガイド溝による光ファイバの位置決め方式では、光ファイバの位置決め精度がガイド溝の加工精度に依存し、上記光デバイスに求められる光ファイバの位置決め精度が得られない。

そこで、光ファイバの位置決めをより高精度に行う方式として、いわゆるアクティブ調心方式が採用されている。この方式では、一例として次のようにして調心を行う。例えば、光ファイバに光信号を入射させ、光導波路の出射側端部（入射側とは反対側の端部）にて光信号の強度を測定し、光信号の強度が最大となる位置に光ファイバを位置決めする。この場合、基板にはガイド溝に代えて凹部を形成し、調心後の光ファイバを凹部に充填した接着剤（樹脂）にて固定する。

しかしながら、光ファイバの位置決め後に、基板の凹部に接着剤を塗布等により充填すると、接着剤の充填の際に機械的力が光ファイバに作用し、光ファイバは位置決めされた位置から移動する。また、接着剤は硬化時に収縮するので、これによっても光ファイバは位置決めされた位置から移動する。

なお、接着剤の硬化収縮による位置決め位置からの光ファイバの移動に対し、光ファイバの移動量を予測し、光ファイバが移動後に所定の位置決め位置に配置されるように、光ファイバを予め位置決め位置からずれた位置に配置すること、すなわちオフセット配置することが考えられる。しかしながら、光ファイバを接着剤の層内に埋設して配置するような構成では、接着剤の硬化収縮による光ファイバの移動方向および移動量を予測するのが困難である。このため、光ファイバをオフセット配置することによっても、接着剤の硬化収縮による光ファイバの位置決め位置からのずれに対応することができない。

したがって、本発明は、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる光モジュールおよび光モジュールの製造方法の提供を目的としている。

上記の課題を解決するために、本発明の光モジュールは、凹部が表面に形成されるとともに、該凹部の内側面から前記表面に沿って伸びる光導波路が内部に形成された光学素子と、先端が前記光導波路の端面と対向するように、少なくとも一部が前記凹部に配置された光ファイバと、を備え、前記光ファイバは、前記凹部内の幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層によって、前記光学素子に固定されている、ことを特徴としている。

上記の構成によれば、光ファイバは、光学素子の凹部内の幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層によって光学素子に固定されているので、光モジュールの製造において、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる。

すなわち、第１樹脂層の形成時において、第１樹脂層を形成する樹脂は、光学素子の凹部内に幅方向に偏りなく濡れ広がった状態に注入される。したがって、光ファイバは、樹脂の硬化収縮時に、凹部の幅方向への偏りによる移動が生じ難く、正規の位置決め位置からの光ファイバの位置ずれを抑制することができる。この結果、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる。

また、第１樹脂層を形成する樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動は、主に下方向への移動のみを考慮すればよい。したがって、光ファイバは、主に下方向のみの移動量を考慮して、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、樹脂の硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることも可能である。

上記の光モジュールにおいて、前記光ファイバは、その一部が前記第１樹脂層に埋設されることなく前記凹部外に突出している構成としてもよい。

上記の構成によれば、光導波路に対する光ファイバの位置決めをさらに高精度に行うことができる。

すなわち、光ファイバの周囲全体を第１樹脂層に埋設する場合には、光モジュールの製造の際の第１樹脂層により光ファイバを固定する工程において、光ファイバの周りに第１樹脂層を形成する樹脂が存在し、光ファイバの周囲全体において樹脂の硬化収縮が生じる。このため、樹脂が硬化収縮した場合、樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動方向および移動量を予測することが困難である。

これに対し、光ファイバの一部が第１樹脂層に埋設されることなく凹部外に突出している構成とした場合、第１樹脂層を形成する樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動は、光ファイバの凹部外に突出している方向への移動を考慮する必要がない。したがって、第１樹脂層を形成する樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動量および移動方向が予測し易く、光ファイバは、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、樹脂の硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることが可能である。これにより、光導波路に対する光ファイバの位置決めをさらに高精度に行うことができる。

上記の光モジュールにおいて、前記第１樹脂層は、前記光ファイバの光軸に直交する各断面において、前記表面に直交する軸に対して対称に濡れ広がっている構成としてもよい。

上記の構成によれば、第１樹脂層は、光ファイバの光軸に直交する各断面において、凹部が形成されている表面に直交する軸に対して対称に濡れ広がっている。

したがって、第１樹脂層を形成する樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動は、光学素子の凹部が形成されている表面に直交する軸に対して対称な方向についての移動を考慮する必要がない。これにより、第１樹脂層を形成する樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動量および移動方向が予測し易く、光ファイバは、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、樹脂の硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることが可能である。この結果、光導波路に対する光ファイバの位置決めをさらに高精度に行うことができる。

上記の光モジュールにおいて、前記第１樹脂層は、前記光ファイバの前記先端部を含む第１の区間に接触しないように濡れ広がっている構成としてもよい。

上記の構成によれば、第１樹脂層は、光ファイバの先端部を含む第１の区間に接触しないように濡れ広がっているので、第１樹脂層がフィラーを含んでいる場合であっても、光ファイバの先端部と光導波路の端部との間での光信号の伝送がフィラーによって阻害されることがない。

上記の光モジュールにおいて、前記光ファイバは、前記第１樹脂層に加え、前記光ファイバの前記先端部を含む第２の区間に接触しないように前記光ファイバの一部に覆い被さった第２樹脂層によって、前記光学素子に固定されている構成としてもよい。

上記の構成によれば、光ファイバは、光ファイバの先端部を含む第２の区間に接触しないように光ファイバの一部に覆い被さった第２樹脂層によって光学素子に固定されている。したがって、例えば温度変化に起因する第１樹脂層および第２樹脂層の膨張または収縮に伴う光ファイバの先端部の位置ずれが生じ難く、かつ第１樹脂層から光ファイバが剥がれる事態、すなわち光学素子から光ファイバが剥がれる事態を防止することができる。

上記の光モジュールは、前記光導波路の前記光ファイバと対向する端面と前記光ファイバの先端部との間に、前記光ファイバの先端部を前記光導波路に対して固定する透光性の接続樹脂層が設けられている構成としてもよい。

上記の構成によれば、光ファイバの先端部は、接続樹脂層により光導波路に対して位置決めされた状態にて固定されているので、光ファイバが光導波路に対する位置決め位置からずれることがない。これにより、光ファイバが光導波路に対して高精度に位置決めされた状態を維持することができる。

上記の光モジュールにおいて、前記光ファイバの側面は、前記凹部の底面および内側面から離間している構成としてもよい。

上記の構成によれば、光モジュールの製造において、光ファイバのアクティブ調心が可能となるので、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる。なお、アクティブ調心は、光ファイバに光信号を入射させ、光導波路の出射側端部（入射側とは反対側の端部）にて光信号の強度を測定し、光信号の強度が最大となる位置に光ファイバを位置決めする方式である。

上記の光モジュールにおいて、前記第１樹脂層は、前記第２樹脂層よりも、硬化する際の収縮率が小さい樹脂にて形成されている構成としてもよい。

上記の構成によれば、第１樹脂層は、第２樹脂層よりも硬化する際の収縮率が小さい樹脂にて形成されているので、光モジュールの製造において、第１樹脂層の硬化収縮に伴う光ファイバの移動量を小さくし、光ファイバの位置ずれを抑制することができる。これにより、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行い易くなる。

上記の光モジュールにおいて、前記第１樹脂層は、前記第２樹脂層よりもフィラーを多く含んでいる構成としてもよい。

上記の構成によれば、第１樹脂層は、第２樹脂層よりもフィラーを多く含んでいるので、第２樹脂層よりも硬化の際の収縮率を小さくすることができる。これにより、例えば第１樹脂層および第２樹脂層とで同じ樹脂を使用している場合であっても第１樹脂層の硬化の際の収縮率を容易に小さくすることができる。また、第１樹脂層はフィラーを多く含んでいることにより、高い強度を有し、光ファイバを強固に保持することができる。

本発明の光モジュールは、凹部が表面に形成されるとともに、該凹部の内側面から前記表面に沿って伸びる光導波路が内部に形成された光学素子と、先端部が前記光導波路の端面と対向するように前記凹部に配置された光ファイバと、前記凹部に設けられ、前記光ファイバの側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて前記光ファイバを覆い固定する第１樹脂層と、前記第１樹脂層の上、および前記光ファイバにおける前記第１樹脂層の上に位置する部分の上に設けられた第２樹脂層とを備えている構成である。

上記の構成によれば、光ファイバを第１樹脂層および第２樹脂層にて光学素子に固定しているので、光モジュールの製造において、凹部内に第１樹脂層を形成する樹脂を注入し、その上に光ファイバを位置決めして配置し、第１樹脂層により、光ファイバの側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて光ファイバを覆い固定することができる。また、第１樹脂層を形成する樹脂を注入する場合、樹脂を凹部内に幅方向に偏りなく濡れ広がった状態に注入することができる。

したがって、光ファイバは、第１樹脂層の樹脂の硬化収縮時に、凹部の幅方向への樹脂の偏りによる移動が生じ難く、正規の位置決め位置からの光ファイバの位置ずれを抑制することができる。この結果、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる。

また、第１樹脂層を形成する樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動は、主に下方向への移動のみを考慮すればよい。したがって、光ファイバは、主に下方向のみの移動量を考慮して、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、樹脂の硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることも可能である。

また、第２樹脂層を、第１樹脂層の上、および光ファイバにおける第１樹脂層の上に位置する部分の上に設けることにより、光ファイバが第１樹脂層から剥がれる事態を防止することができる。

本発明の光モジュールの製造方法は、凹部が表面に形成されるとともに、該凹部の内側面から前記表面に沿って伸びる光導波路が内部に形成された光学素子と、先端部が前記光導波路の端面と対向するように、少なくとも一部が前記凹部に配置された光ファイバと、を備えた光モジュールを製造する製造方法において、前記凹部に未硬化樹脂を注入する注入工程と、前記注入工程の後、前記未硬化樹脂が前記凹部内に偏りなく濡れ広がるまで待機する待機工程と、前記待機工程の後、前記先端部が前記光導波路の端面と対向するように、前記光ファイバの少なくとも一部を前記凹部に配置する配置工程と、前記配置工程の後、前記未硬化樹脂を硬化することによって、前記光ファイバを前記光学素子に固定する硬化工程と、を含んでいる構成である。

上記の構成によれば、注入工程では、光学素子の凹部に未硬化樹脂を注入する。待機工程では、注入工程の後、未硬化樹脂が凹部内に偏りなく濡れ広がるまで待機する。配置工程では、待機工程の後、先端部が光導波路の端面と対向するように、光ファイバの少なくとも一部を凹部に配置する。硬化工程では、配置工程の後、未硬化樹脂を硬化することによって、光ファイバを光学素子に固定する。

したがって、注入工程では、光ファイバを凹部に配置していない状態にて凹部に未硬化樹脂を注入するので、凹部に未硬化樹脂を注入する際に、位置決めされた光ファイバが移動する事態を生じない。

また、待機工程では、未硬化樹脂が凹部内に偏りなく濡れ広がるまで待機し、配置工程では、先端部が光導波路の端面と対向するように光ファイバを凹部に配置するので、硬化工程において、未硬化樹脂を硬化する際に、凹部内での未硬化樹脂の偏りによって光ファイバが位置決め位置から移動する事態が生じ難い。これにより、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる。

また、未硬化樹脂の硬化収縮時における光ファイバの移動は、主に下方向への移動のみを考慮すればよい。したがって、光ファイバは、主に下方向のみの移動量を考慮して、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、未硬化樹脂の硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることも可能である。

本発明の構成によれば、光導波路に対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができるという効果を奏する。

本発明の実施形態の光モジュールの構成を示す斜視図である。 図２の(ａ)は、図１におけるＡ−Ａ矢視断面図、図２の(ｂ)は、図１におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。 図１に示した光モジュールの製造工程を示す説明図である。 図４の（ａ）は、図１に示した第１樹脂層を形成する樹脂が光学素子の凹部の幅方向において偏った状態で注入された状態を示す光モジュールの縦断面図、図４の（ｂ）は、図４の（ａ）に示した状態からの第１樹脂層の樹脂の硬化収縮により、光ファイバが正規の位置決め位置からずれた位置に固定された状態を示す光モジュールの縦断面図である。 図５の（ａ）は、光学素子の凹部に第１樹脂層の樹脂を注入した場合に、光ファイバが正規の位置決め位置から移動した状態を示す光モジュールの縦断面図、図５の（ｂ）は、図５の（ａ）に示した状態からの第１樹脂層の樹脂の硬化収縮により、光ファイバが正規の位置決め位置からずれた位置に固定された状態を示す光モジュールの縦断面図である。 図６の（ａ）は、第１樹脂層の形成時に、樹脂を光学素子の凹部内に幅方向に偏りなく濡れ広がった状態に注入した状態を示す本実施形態の光モジュールの縦断面図、図６の（ｂ）は、図６の（ａ）に示した状態からの第１樹脂層の樹脂の硬化収縮により、光ファイバが正規の位置決め位置からのずれを抑制されて固定された状態を示す本実施形態の光モジュールの縦断面図である。 図７の（ａ）は、光ファイバを第１樹脂層１３の樹脂に埋め込んで配置した状態を示す光モジュールの縦断面図、図７の（ｂ）は、図７の（ａ）の状態から樹脂が硬化収縮した状態を示す光モジュールの縦断面図である。 図２の（ｂ）に示した凹部の形状の他の例を示すものであって、図８の（ａ）は、凹部がＵ字形状である場合、図８の（ｃ）は、凹部が半円形状である場合、図８の（ｅ）は、凹部がＶ字形状である場合、図８の（ｇ）は、凹部が上広がりの台形状である場合、図８の（ｉ）は、凹部が下広がり（図８の（ｇ）とは上下逆）の台形状である場合、図８の（ｋ）は、凹部が２段階に幅が変化した形状（下の方が幅狭な形状）である場合の光学素子の縦断面図である。図８の（ｂ）、図８の（ｄ）、図８の（ｆ）、図８の（ｈ）、図８の（ｊ）、図８の（l）は、それぞれ、図８の（ａ）、図８の（ｃ）、図８の（ｅ）、図８の（ｇ）、図８の（ｉ）、図８の（ｋ）に示した凹部に第１樹脂層および光ファイバを設けた状態の光学素子の縦断面図である。 本発明の他の実施形態の光モジュールの構成を示す斜視図である。 図１０の(ａ)は、図９におけるＡ−Ａ矢視断面図、図１０の(ｂ)は、図９におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。 図９に示した光モジュールの第１の製造方法による製造工程を示す説明図である。 図９に示した光モジュールの第２の製造方法による製造工程を示す説明図である。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。図１は、本実施形態の光モジュールの構成を示す斜視図である。図２の(ａ)は、図１におけるＡ−Ａ矢視断面図、図２の(ｂ)は、図１におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。

（光モジュールの構成）
図１および図２の(ａ)(ｂ)に示すように、光モジュール１は、光学素子１１および光ファイバ１２を備えている。

光学素子１１は、長手方向の端面が高さよりも幅の方が長い長方形である直方体の基板形状であり、光導波路１１ｃおよび凹部１１ｂを有している。

凹部１１ｂは、光学素子１１の中央部付近から長手方向の一方側の第１端面１１ｄに達する長さを有し、光学素子１１の上面（表面）１１ａにおいて、光学素子１１の例えば幅方向の中央部に形成されている。光学素子１１の縦断面にて見た凹部１１ｂの形状は、高さよりも幅の方が長い長方形である。

光導波路１１ｃは、光学素子１１の長手方向の、凹部１１ｂが形成されている領域とは反対側の領域に形成されている。光導波路１１ｃは、凹部１１ｂの幅方向に平行な内側面から光学素子１１の上面１１ａに沿って長手方向へ延び、第１端面１１ｄとは反対側の第２端面１１ｅに達している。光導波路１１ｃの凹部１１ｂ側の端部は光入射部であり、第２端面１１ｅ側の端部は光出射部である。なお、光入射部と光出射部とが逆であってもよい。

なお、図１および図２には、光学素子１１の一端部のみにおいて、光導波路１１ｃの端部に凹部１１ｂを介して光ファイバ１２を接続した構造を示した。しかしながら、光導波路１１ｃの端部に凹部１１ｂを介して光ファイバ１２を接続する構造については種々考えられる。例えば、光学素子１１の両端部において、直線状に延びた光導波路１１ｃの両端部に凹部１１ｂを介して光ファイバ１２を接続した構造である。あるいは、光学素子１１の一端部から他端部方向へ延びた後、他端部に達する前に折り返して一端部に達した光導波路１１ｃ、すなわち両端部が光学素子１１の一端部側に存在する光導波路１１ｃに凹部１１ｂを介して光ファイバ１２を接続した構造である。したがって、図１および図２は、光学素子１１での光導波路１１ｃの端部に凹部１１ｂを介して光ファイバ１２を接続した構造の一つのみを抜き出して示したものと見なしてもよい。

凹部１１ｂの内部には第１樹脂層１３が設けられ、第１樹脂層１３の上に光ファイバ１２が設けられている。光ファイバ１２は、光学素子１１の長手方向に延びた状態に配置され、光導波路１１ｃ側の端面が光導波路１１ｃの光入射部の端面と所定の間隔をおいて対向している。すなわち、光ファイバ１２は、光導波路１１ｃに対して位置決めされ、光ファイバ１２内を伝播した光信号が光導波路１１ｃへ入射するように、光導波路１１ｃと光接続されている。理想的には、光ファイバ１２は、光軸が光導波路１１ｃの光軸と一致するように配置されている。

なお、本実施形態において、凹部１１ｂは、幅方向の中心に対して左右対称形であり、光ファイバ１２は、凹部１１ｂの幅方向の中心位置に配置されている。

第１樹脂層１３は、凹部１１ｂの幅方向において、樹脂を偏りなく濡れ広がった状態に充填することにより形成されている。第１樹脂層１３は、光ファイバ１２の側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて光ファイバ１２を覆っている。すなわち、光ファイバ１２は、側面における上側に位置する部分を除いて、第１樹脂層１３に埋設されている。ただし、光ファイバ１２における光導波路１１ｃ側の端部である先端部およびその付近は、第１樹脂層１３が設けられておらず、第１樹脂層１３に覆われていない。

第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上には、第２樹脂層１４が設けられている。ただし、第２樹脂層１４は、第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上の全体ではなく、光学素子１１の第１端面１１ｄ付近に設けられている。したがって、第２樹脂層１４は、光ファイバ１２の先端部およびその付近を覆っていない。

ここで、第１樹脂層１３は、光ファイバ１２を光導波路１１ｃに対して光接続可能な位置に固定している。第２樹脂層１４は、光ファイバ１２の第１樹脂層１３対する上方への剥がれを防止している。

第１樹脂層１３および第２樹脂層１４は、例えばエポキシ樹脂にて形成されている。また、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４は、例えばフィラーを含んでいてもよい。第１樹脂層１３および第２樹脂層１４は、フィラーを含むことにより、硬化時の収縮率が低下し、かつ強度が大きくなる。一方、フィラーの量が多くなるほど、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４は、接着剤としての機能が低下する。

第１樹脂層１３および第２樹脂層１４がフィラーを含む場合、第１樹脂層１３は第２樹脂層１４よりもフィラーの量を多く含んでいてもよい。この場合、第１樹脂層１３は、硬化する場合の収縮率が低下する。したがって、光ファイバ１２を第１樹脂層１３の上に位置決めして配置し、第１樹脂層１３を硬化する工程において、位置決め位置からの光ファイバ１２の移動を抑制することができる。一方、第２樹脂層１４は、フィラーの量が少ないので、高い接着機能にて第１樹脂層１３に接着し、第１樹脂層１３から光ファイバ１２を剥がれ難くすることができる。

フィラーの含有率は、一例として、第１樹脂層１３が７０％〜９０％、第２樹脂層１４が１０％〜３０％である。

（光モジュールの製造方法）
上記の構成において、光モジュール１の製造方法を以下に説明する。図３は、光モジュール１の製造工程を示す説明図である。

光モジュール１を製造する際には、光導波路１１ｃおよび凹部１１ｂが形成された状態の光学素子１１、光ファイバ１２、第１樹脂層１３となる樹脂１３ａ、第２樹脂層１４となる樹脂１４ａ、およびＵＶ光源２１を用意する。なお、ここでは、樹脂１３ａおよび樹脂１４ａには、ＵＶ硬化樹脂を使用する。

次に、図３に示す（１）〜（８）の工程により光モジュール１を製造する。

（１）光モジュール１の凹部１１ｂに第１樹脂層１３の樹脂１３ａを注入（塗布）する。

（２）樹脂１３ａが、凹部１１ｂの幅方向において、十分に濡れ広がるのを待つ。これにより、樹脂１３ａは、凹部１１ｂの幅方向において、偏りなく濡れ広がった状態に充填される。この場合の待ち時間は樹脂１３ａの粘度によって変わる。例えば粘度１００，０００ｃｐｓの樹脂１３ａであれば１分程度である。

（３）光ファイバ１２を凹部１１ｂの真上に保持する。

（４）光ファイバ１２を凹部１１ｂに向って降下させ、第１樹脂層１３の樹脂１３ａ上に配置する。これによって、光ファイバ１２を樹脂１３ａに付着させ、側面の上側に位置する部分を除いて、樹脂１３ａに埋設された状態とする。

（５）光ファイバ１２を光導波路１１ｃに対して位置決めする。この位置決めは、前述したアクティブ調心方式にて行う。また、光ファイバ１２の位置決め位置は、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮による光ファイバ１２の移動分を考慮して決定することが好ましい。

（６）第１樹脂層１３の樹脂１３ａにＵＶ光源２１からＵＶ光２１ａを照射して樹脂１３ａを硬化させる。これにより、第１樹脂層１３を形成する。

（７）第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上であって、光学素子１１の第１端面１１ｄ付近に、第２樹脂層１４の樹脂１４ａを注入（塗布）する。

（８）第２樹脂層１４の樹脂１４ａにＵＶ光源２１からＵＶ光２１ａを照射して樹脂１４ａを硬化させる。これにより、第２樹脂層１４を形成する。

（光モジュールおよび光モジュールの製造方法の利点）
本実施形態の光モジュール１は、次のような第１の構成を備えている。すなわち、光学素子１１および光ファイバ１２を備えている。光学素子１１は、凹部１１ｂが上面（表面）１１ａに形成されるとともに、凹部１１ｂの内側面から上面１１ａに沿って伸びる光導波路１１ｃが内部に形成されている。光ファイバ１２は、先端が光導波路１１ｃの端面と対向するように、少なくとも一部が凹部１１ｂに配置されている。また、光ファイバ１２は、凹部１１ｂ内に幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層１３によって光学素子１１に固定されている。

第１の構成を備えている光モジュール１では、光ファイバ１２は、凹部１１ｂ内に幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層１３によって光学素子１１に固定されているので、光モジュール１の製造において、光導波路１１ｃに対する光ファイバ１２の位置決めを高精度に行うことができるようになっている。

すなわち、図４の（ａ）に示すように、第１樹脂層１３を形成する樹脂１３ａが光学素子１１の凹部１１ｂの幅方向において偏った状態で注入された場合には、第１樹脂層１３は凹部１１ｂの幅方向において偏った状態に形成される。なお、図中の矢印は、樹脂１３ａの硬化収縮時に光ファイバ１２に作用する応力を示している。この場合、光ファイバ１２は、樹脂１３ａの硬化収縮時に、図４の（ｂ）に示すように、樹脂１３ａの偏った方向へ移動し、正規の位置決め位置からずれた位置に固定される。この結果、光ファイバ１２の位置決め精度は低下する。

また、光モジュール１の製造において、光ファイバ１２を正規の位置決め位置に配置した後、凹部１１ｂに第１樹脂層１３の樹脂１３ａを注入した場合、図５の（ａ）に示すように、光ファイバ１２が正規の位置決め位置（二点鎖線にて示す位置）から移動する事態が生じる。この場合にも光ファイバ１２は、図５の（ｂ）に示すように、樹脂１３ａの硬化収縮後（第１樹脂層１３の形成後）に正規の位置決め位置からずれた位置に固定される。この結果、光ファイバ１２の位置決め精度は低下する。

これに対し、光ファイバ１２が、凹部１１ｂ内に幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層１３により光学素子１１に固定されている第１の構成では、図６の（ａ）に示すように、第１樹脂層１３の形成時に、樹脂１３ａは、凹部１１ｂ内に幅方向に偏りなく濡れ広がった状態に注入される。したがって、光ファイバ１２は、図６の（ｂ）に示すように、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮時（第１樹脂層１３の形成時）に、樹脂１３ａの凹部１１ｂ内の幅方向への偏りによる移動が生じ難く、正規の位置決め位置からの光ファイバ１２の位置ずれを抑制することができる。この結果、光導波路１１ｃに対する光ファイバ１２の位置決めを高精度に行うことができる。

この場合、光ファイバ１２は、特に、凹部１１ｂの幅方向の中心位置に配置すれば、樹脂１３ａの硬化収縮時（第１樹脂層１３の形成時）に凹部１１ｂの幅方向へは移動し難く、正規の位置決め位置からの光ファイバ１２の位置ずれをさらに抑制することができる。

また、第１の構成では、樹脂１３ａの硬化収縮時における光ファイバ１２の移動は、主に下方向への移動のみを考慮すればよい。したがって、光ファイバ１２は、主に下方向のみの移動量を考慮して、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、樹脂１３ａの硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることも可能である。

また、本実施形態の光モジュール１は、次のような第２の構成を備えていると表現することができる。すなわち、光モジュール１は、光学素子１１、光ファイバ１２、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４を備えている。光学素子１１は、凹部１１ｂが上面（表面）１１ａに形成されるとともに、凹部１１ｂの内側面から上面１１ａに沿って伸びる光導波路１１ｃが内部に形成されている。光ファイバ１２は、先端が光導波路１１ｃの端面と対向するように凹部１１ｂに配置されている。第１樹脂層１３は、凹部１１ｂに設けられ、光ファイバ１２の側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて光ファイバ１２を覆い固定している。第２樹脂層１４は、第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上に設けられている。

第２の構成を備えている光モジュール１では、第１樹脂層１３は、凹部１１ｂに設けられ、光ファイバ１２の側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて光ファイバ１２を覆い固定し、第２樹脂層１４は、第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上に設けられている。したがって、光モジュール１の製造において、光導波路１１ｃに対する光ファイバ１２の位置決めを高精度に行うことができるようになっている。

すなわち、光ファイバ１２を例えば第１樹脂層１３のみによって光学素子１１すなわち凹部１１ｂに固定する場合には、光ファイバ１２を第１樹脂層１３に埋め込む必要がある。この場合には、図７の（ａ）に示すように、光ファイバ１２を第１樹脂層１３により固定する工程において、光ファイバ１２の周りに第１樹脂層１３の樹脂１３ａが存在し、光ファイバ１２の周囲全体において樹脂１３ａの硬化収縮が生じる。このため、図７の（ｂ）に示すように、樹脂１３ａが硬化収縮した場合、樹脂１３ａの硬化収縮時における光ファイバ１２の移動方向および移動量の予測が困難である。したがって、樹脂１３ａの硬化収縮時における光ファイバ１２の移動方向および移動量を予測して、予め正規の位置決め位置からずらして光ファイバ１２を配置しておくような対応が困難である。このため、光ファイバ１２の位置決め精度は低下する。さらに、図４の（ａ）（ｂ）および図５の（ａ）（ｂ）により説明した問題も生じ易い。

これに対し、第２の構成の光モジュール１では、図６の（ａ）に示すように、まず、凹部１１ｂ内に第１樹脂層１３の樹脂１３ａを注入し、その上に光ファイバ１２を位置決めして配置し、第１樹脂層１３により、光ファイバ１２の側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて光ファイバ１２を覆い固定することができる。また、樹脂１３ａを注入する場合、樹脂１３ａを凹部１１ｂ内に幅方向に偏りなく濡れ広がった状態に注入することができる。

したがって、光ファイバ１２は、図６の（ｂ）に示すように、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮時（第１樹脂層１３の形成時）に、樹脂１３ａの凹部１１ｂ内の幅方向への偏りによる移動が生じ難く、正規の位置決め位置からの光ファイバ１２の位置ずれを抑制することができる。この結果、光導波路１１ｃに対する光ファイバの位置決めを高精度に行うことができる。

この場合、光ファイバ１２は、凹部１１ｂの幅方向の中心位置に配置すれば、樹脂１３ａの硬化収縮時（第１樹脂層１３の形成時）に凹部１１ｂの幅方向へは移動し難く、正規の位置決め位置からの光ファイバ１２の位置ずれをさらに抑制することができる。

また、樹脂１３ａの硬化収縮時における光ファイバ１２の移動は、主に下方向への移動のみを考慮すればよい。したがって、光ファイバ１２は、主に下方向のみの移動量を考慮して、予め正規の位置決め位置からずれた位置に配置しておき、樹脂１３ａの硬化収縮後に、正規の位置決め位置に配置されるようにすることも可能である。

また、第２樹脂層１４を、第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上に設けることにより、光ファイバ１２が第１樹脂層１３から剥がれる事態を防止することができる。

なお、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４には、上記のように、ＵＶ硬化樹脂等の光硬化型樹脂を使うことが好ましい。第１樹脂層１３および第２樹脂層１４に加熱硬化型の樹脂を使用した場合には、加熱硬化時の温度変化による第１樹脂層１３および第２樹脂層１４の樹脂や光学素子１１等の熱膨張により、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４の樹脂の硬化前に光ファイバ１２の位置ずれを引き起こす恐れがある。第１樹脂層１３および第２樹脂層１４に、ＵＶ硬化樹脂を使用した場合には、このような問題を回避することができる。

また、上記のように、第１樹脂層１３の樹脂１３ａには、硬化収縮による光ファイバ１２の位置ずれを抑制するため、第２樹脂層１４の樹脂よりも硬化収縮率が小さいものを使うのが好ましい。このために、第１樹脂層１３は、第２樹脂層１４よりも多量のフィラーを含有し、第２樹脂層１４よりも硬化収縮率が小さくなるようにしてもよい。

また、光モジュール１の製造時において、光ファイバ１２は、光導波路１１ｃに対する位置決めの際に、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮によるずれ量およびずれの方向を考慮して、正規の位置決め位置からずれた位置に配置してもよい。この場合には、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮後に、光ファイバ１２を正規の位置に配置し易くなる。光ファイバ１２を正規の位置決め位置からずれた位置に配置する作業は、前述の製造工程の（５）工程にて行う。

また、光学素子１１の凹部１１ｂは、上記のように、幅方向の中心に対して左右対称形であり、光ファイバ１２は、凹部１１ｂの幅方向の中心位置に配置されていることが好ましい。この場合には、第１樹脂層１３の厚さを凹部１１ｂの幅方向の左右において同じにでき、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮時における光ファイバ１２の左右方向への移動を阻止することができる。また、凹部１１ｂの深さは、樹脂１３ａの硬化収縮時における光ファイバ１２の下方への移動を抑制するため、薄いほど好ましい。

また、光ファイバ１２の先端部は、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４によって覆われていないので、例えば温度変化に起因する第１樹脂層１３および第２樹脂層１４またはこれらのうちの一方の膨張または収縮に伴う光ファイバ１２の先端部の位置ずれが生じ難くなっている。これにより、光導波路１１ｃに対する光ファイバ１２の良好な位置決め精度を維持することができる。また、第１樹脂層１３および第２樹脂層１４がフィラーを含んでいる場合であっても、光ファイバ１２の先端部と光導波路１１ｃの端部との間での光信号の伝送がフィラーによって阻害されることがない。

凹部１１ｂの形状は、長方形に限定されず、幅方向において左右対称な形状であり、かつ第１樹脂層１３の樹脂１３ａを注入した状態において、樹脂１３ａの上に配置した光ファイバ１２の位置調整ができる大きさであればよい。図８に凹部１１ｂの長方形以外の形状の具体例を挙げておく。

図８の（ａ）は、凹部１１ｂがＵ字形状である場合、図８の（ｃ）は、凹部１１ｂが半円形状である場合、図８の（ｅ）は、凹部１１ｂがＶ字形状である場合、図８の（ｇ）は、凹部１１ｂが上広がりの台形状である場合、図８の（ｉ）は、凹部１１ｂが下広がり（図８の（ｇ）とは上下逆）の台形状である場合、図８の（ｋ）は、凹部が２段階に幅が変化した形状（下の方が幅狭な形状）である場合の光学素子１１の縦断面図である。図８の（ｂ）、図８の（ｄ）、図８の（ｆ）、図８の（ｈ）、図８の（ｊ）、図８の（l）は、それぞれ、図８の（ａ）、図８の（ｃ）、図８の（ｅ）、図８の（ｇ）、図８の（ｉ）、図８の（ｋ）に示した凹部１１ｂに第１樹脂層１３および光ファイバ１２を設けた状態の光学素子１１の縦断面図である。

なお、図８の（ｃ）（ｄ）に示した凹部１１ｂは、第１樹脂層１３（樹脂１３ａ）の厚みを全方位においてほぼ均一にすることができる。したがって、他の凹部１１ｂと比較して、樹脂１３ａの硬化収縮および熱に起因した膨張や収縮による影響を想定し易い。また、凹部１１ｂに角部がないので、樹脂１３ａの注入（塗布）が容易である。

図８の（ｉ）（ｊ）に示した凹部１１ｂは、底面と側面との成す角度が鈍角(９０度よりも大きい角度)となる。したがって、図８の（ａ）（ｂ）および図８の（ｇ）（ｈ）に示した凹部１１ｂと比較して、樹脂１３ａの注入（塗布）が容易である。

〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態を図面に基づいて以下に説明する。なお、説明の便宜上、前記実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図９は、本実施形態の光モジュールの構成を示す斜視図である。図１０の(ａ)は、図９におけるＡ−Ａ矢視断面図、図１０の(ｂ)は、図９におけるＢ−Ｂ矢視断面図である。

（光モジュールの構成）
図９および図１０の(ａ)(ｂ)に示すように、本実施形態の光モジュール２は、光学素子１１に形成された光導波路１１ｃの光入射部の端面と光ファイバ１２の先端部との間に接続樹脂層１５が設けられている。接続樹脂層１５は、光学素子１１に形成された光導波路１１ｃの光入射部の端面と光ファイバ１２の先端部とを接続し、光ファイバ１２の先端部を光導波路１１ｃに対して位置決めされた位置に固定している。接続樹脂層１５は、透光性の接着剤にて形成されている。光モジュール２の他の構成は、光モジュール１と同様である。

（光モジュールの第１の製造方法）
上記の構成において、光モジュール２の第１の製造方法を以下に説明する。図１１は、光モジュール２の第１の製造方法による製造工程を示す説明図である。

光モジュール２を製造する際には、光導波路１１ｃおよび凹部１１ｂが形成された状態の光学素子１１、光ファイバ１２、第１樹脂層１３となる樹脂１３ａ、第２樹脂層１４となる樹脂１４ａ、接続樹脂層１５となる樹脂およびＵＶ光源２１を用意する。なお、ここでは樹脂１３ａおよび樹脂１４ａには、ＵＶ硬化樹脂を使用する。

次に、図１１に示す（１）〜（９）の工程により光モジュール２を製造する。なお、（１）〜（８）の工程については、図３に示した（１）〜（８）の工程と同様であるので、説明を省略する。

（９）光学素子１１に形成された光導波路１１ｃの光入射部の端面と光ファイバ１２の先端部との間に、接続樹脂層１５を形成する樹脂を塗布して硬化させ、接続樹脂層１５を形成する。この場合、接続樹脂層１５を形成する樹脂がＵＶ硬化樹脂である場合には、ＵＶ光源２１からＵＶ光２１ａを照射して樹脂を硬化させる。また、接続樹脂層１５を形成する樹脂が熱硬化型の樹脂である場合には、樹脂に熱を加えて硬化させる。

（光モジュールの第２の製造方法）
次に、光モジュール２の第２の製造方法を以下に説明する。図１２は、光モジュール２の第２の製造方法による製造工程を示す説明図である。

光モジュール２を製造する際には、光導波路１１ｃおよび凹部１１ｂが形成された状態の光学素子１１、光ファイバ１２、第１樹脂層１３となる樹脂１３ａ、第２樹脂層１４となる樹脂１４ａ、接続樹脂層１５となる樹脂１５ａおよびＵＶ光源２１を用意する。なお、ここでは、樹脂１３ａ、樹脂１４ａおよび樹脂１５ａには、ＵＶ硬化樹脂を使用する。

次に、図１２に示す（１）〜（９）の工程にて光モジュール２を製造する。

（１）光モジュール１の凹部１１ｂに第１樹脂層１３の樹脂１３ａを注入（塗布）する。

（２）樹脂１３ａが、凹部１１ｂの幅方向において、十分に濡れ広がるのを待つ。これにより、樹脂１３ａは、凹部１１ｂの幅方向において、偏りなく濡れ広がった状態に充填される。この場合の待ち時間は樹脂１３ａの粘度によって変わる。例えば粘度１００，０００ｃｐｓの樹脂１３ａであれば１分程度である。

（３）光ファイバ１２を凹部１１ｂの真上に保持する。この場合、光ファイバ１２の先端部に接続樹脂層１５を形成する樹脂１５ａを予め塗布しておく。

（４）光ファイバ１２を凹部１１ｂに向って降下させ、第１樹脂層１３の樹脂１３ａ上に配置する。この場合、光導波路１１ｃの光入射部の端面（凹部１１ｂの内壁面）と光ファイバ１２の先端部の樹脂１５ａとの間には、隙間を確保しておく。また、光ファイバ１２を第１樹脂層１３の樹脂１３ａ上に配置することによって、光ファイバ１２を樹脂１３ａに付着させ、側面の上側に位置する部分を除いて、樹脂１３ａに埋設された状態とする。

（５）光ファイバ１２を光導波路１１ｃに対して位置決めする。この位置決めは、前述したアクティブ調心方式にて行う。また、光ファイバ１２の位置決め位置は、第１樹脂層１３の樹脂１３ａの硬化収縮による光ファイバ１２の移動分を考慮して決定することが好ましい。その後、光ファイバ１２を光導波路１１ｃ方向へ移動させて、樹脂１５ａを光導波路１１ｃの光入射部の端面（凹部１１ｂの内壁面）に突き当てる。

（６）第１樹脂層１３の樹脂１３ａおよび接続樹脂層１５の樹脂１５ａにＵＶ光源２１からＵＶ光２１ａを照射して樹脂１３ａおよび樹脂１５ａを硬化させる。これにより、第１樹脂層１３および接続樹脂層１５を形成する。

（７）第１樹脂層１３の上、および光ファイバ１２における第１樹脂層１３の上に位置する部分の上であって、光学素子１１の第１端面１１ｄ付近に、第２樹脂層１４の樹脂１４ａを注入（塗布）する。

（８）第２樹脂層１４の樹脂１４ａにＵＶ光源２１からＵＶ光２１ａを照射して樹脂１４ａを硬化させる。これにより、第２樹脂層１４を形成する。

なお、樹脂１５ａが熱硬化型の樹脂である場合には、（６）の工程においてＵＶ光２１ａを樹脂１５ａに照射する必要がなく、下記の（９）の工程を行う。

（９）樹脂１５ａに熱を加えて硬化させ、接続樹脂層１５を形成する。

（光モジュールおよび光モジュールの製造方法の利点）
本実施形態の光モジュール２は、光導波路１１ｃの光入射部の端面と光ファイバ１２の先端部とが接続樹脂層１５によって接続され、光ファイバ１２の先端部が光導波路１１ｃに対して位置決めされた位置に固定されている。したがって、光ファイバ１２が光導波路１１ｃに対する位置決め位置からずれることがない。これにより、光モジュール２は、光ファイバ１２が光導波路１１ｃに対して高精度に位置決めされた状態を維持することができる。

また、光モジュール２の第２の製造方法では、光ファイバ１２の先端部に接続樹脂層１５を形成する樹脂１５ａを塗布した後に光導波路１１ｃに対する光ファイバ１２の位置決めを行うので、樹脂１５ａを塗布することによって光ファイバ１２が位置決め位置からずれる事態を回避することができる。また、接続樹脂層１５の屈折率を光ファイバ１２や光導波路１１ｃの屈折率に近づけることにより、接続樹脂層１５と光ファイバ１２や光導波路１１ｃの材料境界面における光の反射による光減衰を抑制することができる。

光モジュール２および光モジュール２の製造方法のその他の利点は、光モジュール１および光モジュール１の製造方法の利点と同様である。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

１，２ 光モジュール
１１ 光学素子
１１ａ 上面
１１ｂ 凹部
１１ｃ 光導波路
１１ｄ 第１端面
１１ｅ 第２端面
１２ 光ファイバ
１３ 第１樹脂層
１３ａ 樹脂
１４ 第２樹脂層
１４ａ 樹脂
１５ 接続樹脂層
１５ 樹脂
２１ ＵＶ光源
２１ａ ＵＶ光

Claims (11)

1. 凹部が表面に形成されるとともに、該凹部の内側面から前記表面に沿って伸びる光導波路が内部に形成された光学素子と、
   先端部が前記光導波路の端面と対向するように、少なくとも一部が前記凹部に配置された光ファイバと、を備え、
   前記光ファイバは、前記凹部内の幅方向に偏りなく濡れ広がった第１樹脂層によって、前記光学素子に固定されている、
   ことを特徴とする光モジュール。
2. 前記光ファイバは、その一部が前記第１樹脂層に埋設されることなく前記凹部外に突出している、
   ことを特徴とする請求項１に記載の光モジュール。
3. 前記第１樹脂層は、前記光ファイバの光軸に直交する各断面において、前記表面に直交する軸に対して対称に濡れ広がっている、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の光モジュール。
4. 前記第１樹脂層は、前記光ファイバの前記先端部を含む第１の区間に接触しないように濡れ広がっている、
   ことを特徴とする請求項１から３の何れか１項に記載の光モジュール。
5. 前記光ファイバは、前記第１樹脂層に加え、前記光ファイバの前記先端部を含む第２の区間に接触しないように前記光ファイバの一部に覆い被さった第２樹脂層によって、前記光学素子に固定されている、
   ことを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の光モジュール。
6. 前記光導波路の前記光ファイバと対向する端面と前記光ファイバの先端部との間に、前記光ファイバの先端部を前記光導波路に対して固定する透光性の接続樹脂層が設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の光モジュール。
7. 前記光ファイバの側面は、前記凹部の底面および内側面から離間している、
   ことを特徴とする請求項１から６の何れか１項に記載の光モジュール。
8. 前記第１樹脂層は、前記第２樹脂層よりも硬化する際の収縮率が小さい樹脂にて形成されていることを特徴とする請求項５に記載の光モジュール。
9. 前記第１樹脂層は、前記第２樹脂層よりもフィラーを多く含んでいることを特徴とする請求項８に記載の光モジュール。
10. 凹部が表面に形成されるとともに、該凹部の内側面から前記表面に沿って伸びる光導波路が内部に形成された光学素子と、
    先端部が前記光導波路の端面と対向するように前記凹部に配置された光ファイバと、
    前記凹部に設けられ、前記光ファイバの側面の上側に位置する部分を露出させた状態にて前記光ファイバを覆い固定する第１樹脂層と、
    前記第１樹脂層の上、および前記光ファイバにおける前記第１樹脂層の上に位置する部分の上に設けられた第２樹脂層と、を備えていることを特徴とする光モジュール。
11. 凹部が表面に形成されるとともに、該凹部の内側面から前記表面に沿って伸びる光導波路が内部に形成された光学素子と、先端部が前記光導波路の端面と対向するように、少なくとも一部が前記凹部に配置された光ファイバと、を備えた光モジュールを製造する製造方法において、
    前記凹部に未硬化樹脂を注入する注入工程と、
    前記注入工程の後、前記未硬化樹脂が前記凹部内に偏りなく濡れ広がるまで待機する待機工程と、
    前記待機工程の後、前記先端部が前記光導波路の端面と対向するように、前記光ファイバの少なくとも一部を前記凹部に配置する配置工程と、
    前記配置工程の後、前記未硬化樹脂を硬化することによって、前記光ファイバを前記光学素子に固定する硬化工程と、を含んでいる、
    ことを特徴とする製造方法。

Images