JP2018006603A - システム、および試験決定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】試験時間の短縮化を図ること。【解決手段】システム１００は、各被試験体のシリアルＮｏ．について、シリアルＮｏ．と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部１０１を有する。システム１００は、各被試験体のうちのいずれかの被試験体のシリアルＮｏ．が通知されると、記憶部１０１を参照して、通知されたシリアルＮｏ．に対応付けられたスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、取得した情報がスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置１０３へ通知し、取得した情報がスクリーニング試験が必要でないことを示す場合に、スクリーニング試験の実行指示を試験装置１０３へ通知しない。【選択図】図１

Description

本発明は、システム、および試験決定方法に関する。

従来、半導体部品には特性のバラツキがあり、ある特性を持つ半導体部品で同様の不良が集中する場合がある。このような不良を半導体部品の傾向性障害とも称する。半導体部品の傾向性障害に対してスクリーニング試験が行われることにより、不良品を排除して工場出荷後の半導体部品の稼働品質保証が行われる。スクリーニング試験とは、潜在的な欠陥または不良を抱えている被試験体を選別、除去するための試験である。

先行技術としては、テストが、生産された被試験体を検査し、検査結果データを収集および解析し、解析結果に基づき試験項目の削除または試験項目の順番の入れ替えを行う技術がある（例えば、以下特許文献１参照。）。また、先行技術としては、半導体試験プログラムを用いて、被試験体を試験するために、試験項目であるイベントに対応したフラグを設定しておき、フラグを検出する処理においてフラグが検出されなかった場合、イベント監視命令をバイパスさせる技術がある（例えば、以下特許文献２参照。）。

特開平１１−２４３１２５号公報 特開２００３−３１５４１８号公報

しかしながら、半導体部品の回路規模の増大に伴う傾向性障害が増加し、スクリーニング試験の数が増加したため、半導体部品に対する全体の試験時間が長くなるという問題点がある。

１つの側面では、本発明は、試験時間の短縮化を図ることができるシステム、および試験決定方法を提供することを目的とする。

本発明の一側面によれば、各被試験体の識別情報について、前記識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部と、前記各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報が通知されると、前記記憶部を参照して、通知された前記識別情報に対応付けられた前記所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、取得した前記要否を示す情報が前記所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、前記所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置へ通知する要否判断部と、を有するシステム、および試験決定方法が提案される。

本発明の一態様によれば、試験時間の短縮化を図ることができる。

図１は、システムの一動作例を示す説明図である。 図２は、システム例を示す説明図である。 図３は、装置のハードウェア構成例を示す説明図である。 図４は、システムの機能的構成例を示す説明図である。 図５は、試験条件テーブル例を示す説明図である。 図６は、試験結果ＤＢの試験結果テーブル例を示す説明図である。 図７は、部品ＤＢの特性データテーブル例を示す説明図である。 図８は、試験要否規格ＤＢの試験要否規格テーブル例を示す説明図である。 図９は、試験要否識別ＤＢの試験項目決定テーブル例を示す説明図である。 図１０は、試験要否判断手順例を示すシーケンス図である。 図１１は、特性分布と不良分布と規格範囲例を示す説明図である。 図１２は、スクリーニング試験の要否の決定例を示す説明図である。 図１３は、不良発生分布が複数ある例を示す説明図である。 図１４は、試験制御部が行う処理手順例を示すフローチャートである。 図１５は、試験装置が行う処理手順例を示すフローチャート（その１）である。 図１６は、試験装置が行う処理手順例を示すフローチャート（その２）である。 図１７は、要否判断部による試験規格算出処理手順例を示すフローチャートである。 図１８は、要否判断部による試験項目決定処理手順例を示すフローチャートである。 図１９は、要否判断部による試験要否選択処理手順例を示すフローチャートである。

以下に添付図面を参照して、本発明にかかるシステム、および試験決定方法の実施の形態を詳細に説明する。

図１は、システムの一動作例を示す説明図である。システム１００は、被試験体ごとにスクリーニング試験の実行を制御する。スクリーニング試験とは、潜在的な欠陥または不良を抱えている被試験体を選別、除去するための試験である。

工場出荷前の半導体部品の試験は、基本試験に加えて、スクリーニング試験が行われる。基本試験は、工場出荷後の稼働品質を保証するためすべての被試験体を対象とする。基本試験は、製造性確認、機能確認、電圧、周波数や温度などに対してマージンを持たせて行われる。例えば、基本試験において高温度にマージンを持たせた試験が障害検出に効果的であった場合、更に高温度環境での試験がスクリーニング試験として選ばれる。そして、選ばれたスクリーニング試験がすべての被試験体に対して行われる。

しかしながら、近年、半導体部品の回路規模の増大に伴い傾向性障害が増加し、スクリーニング試験の数が増加したため、試験時間が長くなるという問題点がある。従来技術では、スクリーニング試験が試験の流れの一部として組み込まれ、基本試験とスクリーニング試験とはすべての被試験体に対して行われる。このため、スクリーニング試験が追加されると、試験時間が長くなる。例えば、追加されるスクリーニング試験の内容によっては試験時間が１時間から１日程度長くなる。試験時間が長くなることは、試験に要する費用の増加や被試験体の納期の遅延などの要因にもなる。

本実施の形態では、システム１００が、上記のような被試験体の識別情報ごとにスクリーニング試験の要否情報を記憶しておき、通知された被試験体の識別情報の要否情報を基に、試験要の場合に試験実行を指示し、試験不要の場合に試験実行をスキップする。これにより、試験時間を短縮させることができる。ひいては、試験に要する費用の増加の抑制を図り、被試験体の納期遅延の抑制を図ることができる。

システム１００は、例えば、記憶部１０１と、要否判断部１０２と、試験装置１０３と、を有する。記憶部１０１は、例えば、試験装置１０３によって基本試験が行われる各被試験体の識別情報について、識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報１１１を記憶する。被試験体としては、例えば、半導体部品などが挙げられる。ここでの複数の被試験体は、例えば、同一部品であってもよいし、同じ基本試験やスクリーニング試験を実施可能な部品であれば、同一の部品でなくてもよい。被試験体の識別情報は、例えば、被試験体のシリアルＮｏ．とも称する。図１の例では、被試験体のシリアルＮｏ．は「ｓ０１」から「ｓ０３」などである。また、要否を示す情報としては、例えば、数値や漢字、記号などによって試験要と試験不要とが区別可能な情報が挙げられる。図１の例では、試験項目決定情報１１１において、試験ＴＢについて試験要の場合に「要」がシリアルＮｏ．に対応付けられ、試験ＴＢについて試験不要の場合に「不要」がシリアルＮｏ．に対応付けられる。

試験装置１０３は、各被試験体に対して基本試験を行う。また、試験装置１０３は、要否判断部１０２からの実行指示に基づいて所定のスクリーニング試験を行う。

要否判断部１０２は、試験装置１０３によって基本試験が行われる各被試験体のうちのいずれかの被試験体のシリアルＮｏ．が通知されると、記憶部１０１を参照して、通知されたシリアルＮｏ．に対応付けられた所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得する。シリアルＮｏ．の通知元の装置は、例えば、試験装置１０３である。

そして、要否判断部１０２は、取得した情報が所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置１０３へ通知する。試験装置１０３は、試験装置１０３に装着済みの被試験体に対する基本試験の終了後に、当該被試験体のシリアルＮｏ．を要否判断部１０２へ通知する。

図１（１）の場合、シリアルＮｏ．「ｓ０３」が通知され、要否判断部１０２は、シリアルＮｏ．「ｓ０３」に対応付けられた情報が、試験ＴＢが必要であることを示すため、シリアルＮｏ．「ｓ０３」について試験ＴＢの実行指示を試験装置１０３へ通知する。

一方、要否判断部１０２は、取得した情報が所定のスクリーニング試験が必要でないことを示す場合に、所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置１０３へ通知しない。図１（２）の場合、シリアルＮｏ．「ｓ０２」が通知され、要否判断部１０２は、シリアルＮｏ．「ｓ０２」に対応付けられた情報が、試験ＴＢが不要であることを示すため、シリアルＮｏ．「ｓ０２」について試験ＴＢの実行指示を試験装置１０３へ通知しない。

このように、被試験体によってスクリーニング試験の実行の有無を制御できるため、すべての被試験体をスクリーニング試験の実行対象とする場合と比較して試験時間の短縮化を図ることができる。

図２は、システム例を示す説明図である。システム１００は、試験装置１０３と、判断装置２０２と、試験制御サーバ２０３と、試験操作端末装置２０４と、を有する。試験装置１０３と、判断装置２０２と、試験制御サーバ２０３と、試験操作端末装置２０４とは、ネットワーク２１０を介して接続される。試験装置１０３は、半導体部品の試験を行う装置である。判断装置２０２は、被試験体の各々について、スクリーニング試験の要否を判断する装置である。

試験制御サーバ２０３は、試験全体を制御する装置である。試験操作端末装置２０４は、利用者による試験に関する情報を表示したり、試験に関する情報の入力を受け付ける装置である。

ここで、判断装置２０２と、試験制御サーバ２０３と、試験操作端末装置２０４と、のいずれかを表す場合に装置２０ｉ（ｉ＝２〜４）とする。

（装置２０ｉのハードウェア構成例）
図３は、装置のハードウェア構成例を示す説明図である。装置２０ｉは、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）３０１と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）３０２と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）３０３と、ディスクドライブ３０４と、ディスク３０５と、を有する。装置２０ｉは、Ｉ／Ｆ（Ｉｎｔｅｒ／Ｆａｃｅ）３０６と、キーボード３０７と、マウス３０８と、ディスプレイ３０９と、を有する。また、ＣＰＵ３０１と、ＲＯＭ３０２と、ＲＡＭ３０３と、ディスクドライブ３０４と、Ｉ／Ｆ３０６と、キーボード３０７と、マウス３０８と、ディスプレイ３０９とは、バス３００によってそれぞれ接続される。

ここで、ＣＰＵ３０１は、装置２０ｉの全体の制御を司る。ＲＯＭ３０２は、ブートプログラムなどのプログラムを記憶する。ＲＡＭ３０３は、ＣＰＵ３０１のワークエリアとして使用される。ディスクドライブ３０４は、ＣＰＵ３０１の制御にしたがってディスク３０５に対するデータのリード／ライトを制御する。ディスク３０５は、ディスクドライブ３０４の制御で書き込まれたデータを記憶する。ディスク３０５としては、磁気ディスク、光ディスクなどが挙げられる。

Ｉ／Ｆ３０６は、通信回線を通じてＬＡＮ（Ｌｏｃａｌ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、ＷＡＮ（Ｗｉｄｅ Ａｒｅａ Ｎｅｔｗｏｒｋ）、インターネットなどのネットワーク２１０に接続され、このネットワーク２１０を介して他の装置に接続される。そして、Ｉ／Ｆ３０６は、ネットワーク２１０と内部のインターフェースを司り、外部装置からのデータの入出力を制御する。Ｉ／Ｆ３０６には、例えばモデムやＬＡＮアダプタなどを採用することができる。

キーボード３０７やマウス３０８は、利用者の操作により、各種データの入力を受け付けるインターフェースである。ディスプレイ３０９は、ＣＰＵ３０１の指示により、データを出力するインターフェースである。

また、装置２０ｉのハードウェア構成は、図３に挙げられたものに限定されるものではない。図示を省略するが、装置２０ｉには、カメラから画像や動画を取り込む入力装置やマイクから音声を取り込む入力装置が設けられていてもよい。また、図示を省略するが、装置２０ｉには、プリンタなどの出力装置が設けられていてもよい。

また、本実施の形態では、装置２０ｉのハードウェア構成として、パーソナル・コンピュータを例に挙げているが、これに限らず、サーバなどであってもよい。装置２０ｉがサーバである場合、装置２０ｉと利用者の操作可能な装置やディスプレイ３０９などがネットワーク２１０を介して接続されてもよい。

（システム１００の機能的構成例）
図４は、システムの機能的構成例を示す説明図である。システム１００は、試験実働部４０１と、試験ＤＢ（Ｄａｔａｂａｓｅ）４１３と、要否判断部１０２と、を有する。試験実働部４０１は、基本試験やスクリーニング試験を実際に行う機能を有する。要否判断部１０２は、スクリーニング試験の要否を決定する機能を有する。

試験実働部４０１は、例えば、試験装置１０３と、試験制御部４１１と、を有する。試験制御部４１１は、図２に示した試験制御サーバ２０３や試験操作端末装置２０４などによって実現される。試験操作端末装置２０４は、受付部４３１と、表示部４３２と、を有する。受付部４３１は、利用者の操作による入力を受け付ける。表示部４３２は、試験制御サーバ２０３や試験装置１０３などの指示に応じた情報を表示する。

試験制御サーバ２０３は、制御部４９１を有する。制御部４９１は、試験装置１０３に対して各種試験の試験条件などを設定する。制御部４９１の処理は、例えば、図３に示すＣＰＵ３０１がアクセス可能なＲＯＭ３０２、ＲＡＭ３０３、ディスク３０５などの記憶装置に記憶されたプログラムにコーディングされている。そして、ＣＰＵ３０１が記憶装置から該プログラムを読み出して、プログラムにコーディングされている処理を実行する。これにより、制御部４９１の処理が実現される。また、制御部４９１の処理結果は、例えば、ＲＡＭ３０３、ＲＯＭ３０２、ディスク３０５などの記憶装置に記憶される。

また、試験装置１０３は、試験実行部４２１と、試験監視部４２２と、試験結果格納部４２３と、を有する。試験監視部４２２は、試験制御サーバ２０３とのインターフェースとして試験操作端末装置２０４を介して試験条件を取得する。また、試験監視部４２２は、試験実行部４２１に対して試験条件を設定する。そして、試験監視部４２２は、試験開始や試験終了の指示や試験状態を監視する。

試験実行部４２１は、基本試験やスクリーニング試験を実行する。試験結果格納部４２３は、試験実行部４２１によって行われた試験結果を一時的に格納する。また、試験結果格納部４２３は、試験終了後に、試験結果ＤＢ４４２へ格納する。

試験ＤＢ４１３は、各種データを記憶する記憶部１０１である。試験ＤＢ４１３は、図２において図示を省略するが、データベースサーバによって実現されてもよい。また、試験ＤＢ４１３は、試験制御サーバ２０３、判断装置２０２などのディスク３０５などの記憶装置によって実現されてもよい。また、試験ＤＢ４１３は、例えばディスク３０５や不揮発メモリなどによって実現される。試験ＤＢ４１３は、例えば、部品ＤＢ４４１、試験結果ＤＢ４４２、試験要否規格ＤＢ４４３、試験要否識別ＤＢ４４４などを記憶する。

部品ＤＢ４４１には、部品の製造元の会社などによって作成された被試験体ごとの特性データが格納される。試験結果ＤＢ４４２には、試験結果格納部４２３からの試験結果が格納される。試験要否規格ＤＢ４４３には、スクリーニング試験要否規格を表す情報が格納される。試験要否識別ＤＢ４４４には、部品ＤＢ４４１に格納される特性データとスクリーニング試験要否規格によってスクリーニング試験の各々について被試験体ごとに試験対象であるか否かの判定結果が格納される。

図５は、試験条件テーブル例を示す説明図である。試験条件テーブル５００は、試験ごとの試験条件を表す情報である。試験条件とは、試験を行う際の条件であり、電圧、クロックの周波数、温度などの条件である。

試験条件テーブル５００には、試験、対象品図番、テストパターン、プログラム、電圧、周波数、温度Ａ、温度Ｂ、試験時間、試験時回数のフィールドを有する。各フィールドに情報が設定されることによりレコード（５０１−１〜５０１−５など）として記憶される。

試験のフィールドには、試験を識別するための試験名が設定される。対象品図番のフィールドには、試験の対象となりうる被試験体の名称が設定される。テストパターンのフィールドには、試験の種別を表す情報が設定される。試験の種別としては、例えば、基本試験、スクリーニング試験などが挙げられる。

プログラムのフィールドには、試験に対応するプログラム名が設定される。電圧のフィールドには、被試験体に与える電源電圧の値が設定される。周波数のフィールドには、被試験体に与えるクロックの周波数が設定される。温度Ａのフィールドには、試験環境として外気の温度が設定される。温度Ｂのフィールドには、試験環境として部品の温度が設定される。試験時間のフィールドには、試験に要する時間が設定される。試験時回数のフィールドには、テストパターンを実行する回数が設定される。

図６は、試験結果ＤＢの試験結果テーブル例を示す説明図である。試験結果テーブル６００には、被試験体ごとに各試験の試験結果が設定される。試験結果テーブル６００には、例えば、被試験体の識別情報であるシリアルナンバー（省略してシリアルＮｏ．）、試験の試験結果のフィールドを有する。試験の試験結果としては、例えば、試験をパスした場合「ＯＫ」が設定され、試験をパスしなかった場合「ＮＧ」が設定される。

また、図示を省略するが、試験結果テーブル６００には、被試験体ごとに各試験の試験結果に関連付けて試験日、試験条件などが設定されてもよい。試験条件としては、例えば、温度、試験時の電源電圧、クロックの周波数、試験に要した時間などが挙げられる。

図７は、部品ＤＢの特性データテーブル例を示す説明図である。特性データテーブル７００は、被試験体ごとに、製造履歴を表す履歴情報と、特性を表す特性情報と、が含まれる。特性データテーブル７００は、シリアルＮｏ．、ウェハロット、アセンブリロット、ウェハ、Ｘ−ｌｏｃ、Ｙ−ｌｏｃのフィールドを有する。シリアルＮｏ．、ウェハロット、アセンブリロット、ウェハ、Ｘ−ｌｏｃ、Ｙ−ｌｏｃのフィールドに設定される情報は、製造履歴を表す履歴情報である。

また、特性データテーブル７００は、電流値Ａ、電流値Ｂ、電流値Ｃ、ＴｒスピードＡ、ＴｒスピードＢ、ＴｒスピードＣ、電圧のフィールドを有する。電流値Ａ、電流値Ｂ、電流値Ｃ、ＴｒスピードＡ、ＴｒスピードＢ、ＴｒスピードＣ、電圧のフィールドに設定される情報は、特性を表す特性情報である。各フィールドに情報が設定されることによりレコード（７０１−１〜７０１−１０など）として特性データテーブル７００に記憶される。

シリアルＮｏ．のフィールドには、被試験体の識別情報が設定される。図７の例では、シリアルＮｏ．のフィールドには、シリアルＮｏ．「０００１」〜「００１０」が設定される。ウェハロットのフィールドには、被試験体の製造時の製品単位であるウェハロットの識別情報が設定される。アセンブリロットには、被試験体の組立時の製品単位であるアセンブリの識別情報が設定される。ウェハのフィールドには、被試験体を含むウェハの識別情報が設定される。Ｘ−ｌｏｃのフィールドには、ウェハ上のＸ軸の位置情報が設定される。Ｙ−ｌｏｃのフィールドには、ウェハ上のＹ軸の位置情報が設定される。ここで、ウェハには、Ｘ軸とＹ軸との直交する２軸が定義されてある。

電流値Ａ、電流値Ｂ、電流値Ｃのフィールドには、試験によって測定された各電流の値が設定される。例えば、各電流としては、消費電流、リーク電流、いずれかの端子の電流などが挙げられる。ＴｒスピードＡ、ＴｒスピードＢ、ＴｒスピードＣのフィールドには、試験によって測定された、被試験体に含まれるいずれかのトランジスタの動作速度である。電圧のフィールドには、電圧の値が設定される。電圧としては、例えば、電源電圧、いずれかの端子の電圧などが挙げられる。

図８は、試験要否規格ＤＢの試験要否規格テーブル例を示す説明図である。試験要否規格テーブル８００は、試験の要否を判定するための各特性の規格範囲を示す情報である。試験要否規格テーブル８００は、試験、ウェハロット、アセンブリロット、ウェハ、Ｘ−ｌｏｃ、Ｙ−ｌｏｃ、電流値Ａ、電流値Ｂ、電流値Ｃ、ＴｒスピードＡ、ＴｒスピードＢ、ＴｒスピードＣ、電圧のフィールドを有する。試験のフィールドには、試験名が設定される。各フィールドに情報が設定されることによりレコード（８０１−１〜８０１−４など）として記憶される。

ウェハロット、アセンブリロット、ウェハ、Ｘ−ｌｏｃ、Ｙ−ｌｏｃ、電流値Ａ、電流値Ｂ、電流値Ｃ、ＴｒスピードＡ、ＴｒスピードＢ、ＴｒスピードＣ、電圧のフィールドには、各種要否判定の規格が設定される。要否判定の規格として用いられない内容のフィールドには、「−」が設定される。

図９は、試験要否識別ＤＢの試験項目決定テーブル例を示す説明図である。試験項目決定テーブル９００は、被試験体ごとに各試験が必要か否かを示す情報である。試験項目決定テーブル９００は、シリアルＮｏ．、試験ＴＢ〜試験ＴＥのように各スクリーニング試験のフィールドを有する。各フィールドに情報が設定されることによりレコード（９０１−１〜９０１−１０）として記憶される。シリアルＮｏ．のフィールドには、被試験体の識別情報が設定される。各スクリーニング試験のフィールドには、試験の要否判断フラグが設定される。例えば、各スクリーニング試験のフィールドに「０」が設定された場合、スクリーニング試験の試験要を示し、各スクリーニング試験のフィールドに「１」が設定された場合、スクリーニング試験の試験不要を示す。

図４の説明に戻って、要否判断部１０２は、被試験体ごとに各スクリーニング試験の要否を判定する機能を有する。要否判断部１０２は、例えば、規格算出部４５１と、要否決定部４５２と、実行選択部４５３と、を有する。

規格算出部４５１と要否決定部４５２と実行選択部４５３との各処理は、例えば、図３に示すＣＰＵ３０１がアクセス可能なＲＯＭ３０２、ＲＡＭ３０３、ディスク３０５などの記憶装置に記憶されたプログラムにコーディングされている。そして、ＣＰＵ３０１が記憶装置から該プログラムを読み出して、プログラムにコーディングされている処理を実行する。これにより、制御部の処理が実現される。また、各処理結果は、例えば、ＲＡＭ３０３、ＲＯＭ３０２、ディスク３０５などの記憶装置に記憶される。

規格算出部４５１は、スクリーニング試験の要否の判定基準を決定する。ここで、判定基準を算出するタイミングとしては、例えば、試験結果ＤＢ４４２が更新されたタイミングや部品ＤＢ４４１が更新されたタイミングなどが挙げられる。これにより、最新の情報により最適な判定基準を設けることができる。

規格算出部４５１は、制御部４６１と、算出部４６２と、を有する。制御部４６１は、部品ＤＢ４４１から特性データテーブル７００と、試験結果ＤＢ４４２から試験結果テーブル６００と、を取得する。

算出部４６２は、特性データテーブル７００に基づく各被試験体の特性の第１分布を特定する。ここでの特性とは、電流、Ｔｒスピード、電圧などが挙げられる。また、各被試験体の特性は、複数の特性の組み合わせであってもよい。後述する図１１には、電流とＴｒスピードの組み合わせの分布例を示す。

算出部４６２は、試験結果に基づく各被試験体のうちの不良と判定された被試験体の特性の第２分布を特定する。不良と判定された被試験体とは、基本試験や過去のスクリーニング試験において試験で障害が発生していると検出された被試験体である。

つぎに、算出部４６２は、特定した第１分布と、特定した第２分布と、に基づいて、所定のスクリーニング試験の要否の判定基準を決定する。ここで、いずれの特性についての第１分布および第２分布を特定するかについては、予め決められていてもよいし、各分布を表示して利用者に指定させてもよい。

ここで、利用者にいずれの特性を用いて判定基準を決定するかを指定させる場合について説明する。算出部４６２は、各被試験体の各特性について、第１分布と、第２分布と、を特定する。そして、算出部４６２は、各特性について、特定した第１分布と、特定した第２分布と、を表示する。算出部４６２は、例えば、特性ごとに各分布をディスプレイ３０９に表示させる。

そして、算出部４６２は、キーボード３０７やマウス３０８などの利用者の操作入力によって指定された特性についての第１分布および第２分布に基づいて、判定基準を決定する。判定基準の詳細な決定方法は、後述する図１１に示す。

また、制御部４６１は、各被試験体の製造履歴を表す履歴情報を取得する。ここでの履歴情報は、特性データテーブル７００に含まれる。被試験体の製造履歴としては、特性データテーブル７００に示したように、被試験体が製造されたウェハロットの識別情報、被試験体が組み立てられたアセンブリの識別情報などが挙げられる。また、被試験体の製造履歴としては、被試験体が製造されたウェハの識別情報、被試験体が製造されたウェハ上の位置などが挙げられる。

算出部４６２は、履歴情報に基づく各被試験体の製造履歴の第３分布と、試験結果に基づく各被試験体のうちの不良と判定された被試験体の製造履歴の第４分布と、を特定する。算出部４６２は、第３分布と、第４分布と、に基づいて、所定のスクリーニング試験の要否の判定基準を決定する。

また、いずれの製造履歴によって第３分布および第４分布を用いて判定基準を決定するかについては、予め決められていてもよいし、各分布を表示して利用者に指定させてもよい。また、特性と製造履歴とについての各分布を表示して利用者に特性の種類または製造履歴の種類を指定させてもよい。

例えば、試験ＴＢは電流値ＡやＴｒスピードＣの障害に対して効果のある試験であれば、算出部４６２は、電流値ＡおよびＴｒスピードＣの第１分布内のうちの不良が発生した第２分布によって試験ＴＢの要否の判定基準を決定する。また、試験ＴＤがウェハ上の特定の位置による障害に対して効果のある試験であれば、算出部４６２は、Ｘ−ｌｏｃおよびＹ−ｌｏｃの第３分布内の不良のうちの不良が発生した第４分布によって試験ＴＣの要否の判定基準を決定する。そして、算出部４６２は、決定した判定基準を、試験要否規格ＤＢ４４３に格納する。

つぎに、要否決定部４５２は、各被試験体について、所定のスクリーニング試験の要否を決定する。要否決定部４５２は、例えば、制御部４７１と決定部４７２とを有する。

制御部４７１は、試験要否規格ＤＢ４４３から試験要否規格テーブル８００と、各被試験体の特性データテーブル７００と、を取得する。

判定基準が特性の場合、決定部４７２は、各被試験体の特性と、決定した判定基準との比較により、スクリーニング試験の要否を決定する。また、判定基準が製造履歴の場合、決定部４７２は、各被試験体の製造履歴と決定した判定基準との比較により、スクリーニング試験の要否を決定する。

そして、決定部４７２は、各被試験体について、識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否の決定結果を示す情報と、を対応付けて試験要否識別ＤＢ４４４内の試験項目決定テーブル９００に格納する。

実行選択部４５３は、制御部４８１と、選択部４８２と、を有する。制御部４８１は、各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報が通知されると、試験要否識別ＤＢ４４４を参照して、通知された識別情報に対応付けられた所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得する。被試験体の識別情報は、上述したシリアルＮｏ．である。そして、選択部４８２は、取得した要否を示す情報が所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置１０３へ通知する。ここでは、選択部４８２は、実行指示を試験装置１０３へ直接通知してもよいし、実行指示を試験制御部４１１を介して試験装置１０３へ通知してもよい。一方、選択部４８２は、取得した要否を示す情報が所定のスクリーニング試験が必要でないことを示す場合に、所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置１０３へ通知しない。

以上を踏まえて、図１０から図１３を用いてスクリーニング試験の要否判断についての詳細な説明を行う。

図１０は、試験要否判断手順例を示すシーケンス図である。試験装置１０３は、被試験体が搭載されると、被試験体が搭載されたことを試験制御部４１１へ通知する（ステップＳ１００１）。

つぎに、試験制御部４１１は、被試験体が搭載されたことが通知されると、被試験体のシリアルＮｏ．の選択を受け付ける（ステップＳ１０１１）。そして、試験制御部４１１は、基本試験に関する試験条件を確認する（ステップＳ１０１２）。

つぎに、試験装置１０３は、試験装置１０３電源をＯＮにする（ステップＳ１００２）。そして、試験装置１０３は、試験条件となった場合に基本試験を行う（ステップＳ１００３）。

試験装置１０３によるステップＳ１００１からステップＳ１００３と、要否判断部１０２によるスクリーニング試験要否規格の算出およびスクリーニング試験の要否の決定と、については、並列に行われてもよい。また、要否判断部１０２によるスクリーニング試験要否規格の算出およびスクリーニング試験の要否の決定との処理のタイミングについては、例えば、試験装置１０３による基本試験に含まれる各試験が終了する都度行われてもよいし、特に限定しない。

要否判断部１０２は、特性データテーブル７００、試験結果テーブル６００の取り込みを行う（ステップＳ１０２１）。要否判断部１０２は、試験要否規格を算出する（ステップＳ１０２２）。要否判断部１０２は、試験要否規格を登録する（ステップＳ１０２３）。ここで、試験要否規格の算出について図１１を用いて説明する。

図１１は、特性分布と不良分布と規格範囲例を示す説明図である。要否判断部１０２は、特性データテーブル７００に基づいて、各特性についての被試験体の分布１１００を特定する。図１１の特性値は、電流値とトランジスタスピードである。

つぎに、要否判断部１０２は、試験結果テーブル６００に基づいて、分布１１００のうちの不良の発生分布１１０１を特定する。要否判断部１０２は、不良の発生分布１１０１の各特性の最大値および最小値と、所定のマージンと、に基づいて、スクリーニング試験の要否を判定するための範囲規格を決定する。所定のマージンについては、予め特性に応じて定められる。

図１１の例では、不良分布の電流値の最小値−αを規格値（ａ）とする。αは電流値のマージンである。不良分布の電流値の最大値＋αを規格値（ｂ）とする。不良分布のＴｒスピード最小値−βを規格値（ｃ）とする。βがＴｒスピードのマージンである。不良分布のＴｒスピード最大値＋βを規格値（ｄ）とする。

例えば、所定のスクリーニング試験の要否を判定するための電流値についての規格範囲は、規格値（ａ）≦電流値≦規格値（ｂ）である。例えば、所定のスクリーニング試験の要否を判定するためのＴｒスピードについての規格範囲は、規格値（ｃ）≦Ｔｒスピード≦規格値（ｄ）である。そして、図１０に説明したステップＳ１０２３のように、要否判断部１０２は試験要否規格を試験要否規格ＤＢ４４３へ登録する。

図１１の例では、電流値とトランジスタスピードとについて規格値を決定したが、これに限らない。例えば、試験項目に応じて特性の種類を決定して特性分布が特定されてもよい。

図１０の説明に戻って、要否判断部１０２は、特性データテーブル７００、試験要否規格テーブル８００の取り込みを行う（ステップＳ１０２４）。そして、要否判断部１０２は、被試験体ごとに試験要否を決定する（ステップＳ１０２５）。要否判断部１０２は、試験要否結果を登録する（ステップＳ１０２６）。

図１２は、スクリーニング試験の要否の決定例を示す説明図である。図１２の例では、スクリーニング試験として、試験ＴＢを例に挙げる。要否判断部１０２は、被試験体のシリアルＮｏ．の各々について、被試験体についての特性データが試験ＴＢの規格範囲内であるか否かを判断する。試験ＴＢについての電流の規格範囲は、９．０≦電流値＜１２．０である。試験ＴＢについてのＴｒスピードの規格範囲は、２４≦Ｔｒスピード＜３１である。

要否判断部１０２は、例えば、被試験体についての特性データが試験ＴＢの規格範囲内である場合に、試験ＴＢが必要であると判断する。そして、要否判断部１０２は、被試験体のシリアルＮｏ．と試験ＴＢが必要であることを示す情報と、を対応付けて試験項目決定テーブル９００へ格納する。ここでは、試験ＴＢが必要であることを示す情報として、「０」が用いられる。また、試験ＴＢが必要でないことを示す情報として、「１」が用いられる。図１２に示すようにシリアルＮｏ．「０００１」の被試験体については、電流およびＴｒスピードの特性が試験ＴＢの規格範囲内である。このため、要否判断部１０２は、シリアルＮｏ．「０００１」と、試験ＴＢが必要であることを示す情報「０」とを対応付けて試験項目決定テーブル９００へ格納する。

一方、要否判断部１０２は、例えば、被試験体についての特性データが試験ＴＢの規格範囲内でない場合に、試験ＴＢが不要であると判断する。そして、要否判断部１０２は、被試験体のシリアルＮｏ．と試験ＴＢが不要であることを示す情報と、を対応付けて試験項目決定テーブル９００へ格納する。

つぎに、図１０の説明に戻って、試験装置１０３は、基本試験が終了すると、被試験体のシリアルＮｏ．を要否判断部１０２へ通知する。そして、要否判断部１０２は、被試験体のシリアルＮｏ．の通知を受け付けると、試験項目決定テーブル９００の取り込みを行う（ステップＳ１０２７）。

そして、要否判断部１０２は、被試験体のシリアルＮｏ．に基づいてスクリーニング試験の要否を判断する。そして、要否判断部１０２は、スクリーニング試験が必要である場合に、スクリーニング試験の実行指示を試験制御部４１１へ通知する（ステップＳ１０２８）。試験制御部４１１は、要否判断部１０２からの指示を受け付けて、スクリーニング試験を試験装置１０３へ指示する（ステップＳ１０１３）。

そして、試験装置１０３は、指示を受け付けると、スクリーニング試験を実行する（ステップＳ１００４）。試験装置１０３は、試験結果を、試験結果ＤＢ４４２へ蓄積する。また、試験項目が完了するまで、ステップＳ１０２７とステップＳ１０２８とステップＳ１０１３とステップＳ１００４の処理を繰り返し、すべての試験項目について処理が終了すると、試験制御部４１１が、試験完了とする。

図１１に示したように、スクリーニング試験の対象となる被試験体の特性分布は全体の被試験体の特性分布の一部である。半導体部品の特性が全体の被試験体の特性分布内に均等に分布している場合に、例えば約７０［％］程度の被試験体に対しては対象のスクリーニング試験を行わなくてよいとする。例えば、１ヶ月あたり１００個出荷される半導体部品に対して３時間／個のスクリーニング試験を行う場合、７０個×３時間で２１０時間／月の試験時間短縮を図ることができる。

図１３は、不良発生分布が複数ある例を示す説明図である。分布１１００には、点線の楕円枠内の試験条件Ａにおいて障害が発生する分布と、点線の楕円枠内の試験条件Ｂにおいて障害が発生する分布とがある。

障害が発生する分布が同一の特性分布に複数あっても、スクリーニング試験が複数あれば、障害が発生する分布の各々について異なるスクリーニング試験が割り当てられ、各障害を検出可能となる。例えば、試験条件Ａにおいて障害が発生する分布に対してスクリーニング試験Ａが割り当てられる。例えば、試験条件Ｂにおいて障害が発生する分布に対してスクリーニング試験Ｂが割り当てられる。

（試験制御部４１１が行う処理手順例）
図１４は、試験制御部が行う処理手順例を示すフローチャートである。試験制御部４１１は、被試験体の型名を受け付ける（ステップＳ１４０１）。ここでの型名は、被試験体の部品種などであってもよい。例えば、被試験体がＣＰＵである場合、部品種は、ＣＰＵの種類名などである。ここでは、試験制御部４１１は、試験操作端末装置２０４に対する利用者の操作入力を受け付ける。試験制御部４１１は、型名に基づき試験条件を読み出す（ステップＳ１４０２）。試験制御部４１１は、試験条件を試験操作端末装置２０４に表示する（ステップＳ１４０３）。

試験制御部４１１は、選択された型名は正しいか否かを判断する（ステップＳ１４０４）。正しくないと判断された場合（ステップＳ１４０４：Ｎｏ）、試験制御部４１１は、ステップＳ１４０１へ戻る。正しいと判断された場合（ステップＳ１４０４：Ｙｅｓ）、試験制御部４１１は、試験開始を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１４０５）。

試験開始を受け付けていないと判断された場合（ステップＳ１４０５：Ｎｏ）、試験制御部４１１は、ステップＳ１４０５へ戻る。試験開始を受け付けたと判断された場合（ステップＳ１４０５：Ｙｅｓ）、試験制御部４１１は、基本試験の開始を試験装置１０３へ指示する（ステップＳ１４０６）。

試験制御部４１１は、要否判断部１０２からスクリーニング試験の選択を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１４０７）。スクリーニング試験の選択を受け付けたと判断された場合（ステップＳ１４０７：Ｙｅｓ）、試験制御部４１１は、スクリーニング試験を指示する（ステップＳ１４０８）。試験制御部４１１は、スクリーニング試験の完了を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１４０９）。スクリーニング試験の完了を受け付けていないと判断された場合（ステップＳ１４０９：Ｎｏ）、試験制御部４１１は、ステップＳ１４０９へ戻る。スクリーニング試験の完了を受け付けたと判断された場合（ステップＳ１４０９：Ｙｅｓ）、試験制御部４１１は、ステップＳ１４０７へ戻る。

また、ステップＳ１４０７において、スクリーニング試験の選択を受け付けていないと判断された場合（ステップＳ１４０７：Ｎｏ）、試験制御部４１１は、全試験の終了を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１４１０）。全試験の終了を受け付けていないと判断された場合（ステップＳ１４１０：Ｎｏ）、試験制御部４１１は、ステップＳ１４０７へ戻る。

全試験の終了を受け付けたと判断された場合（ステップＳ１４１０：Ｙｅｓ）、試験制御部４１１は、未試験の被試験体があるか否かを判断する（ステップＳ１４１１）。未試験の被試験体がないと判断された場合（ステップＳ１４１１：Ｎｏ）、試験制御部４１１は、一連の処理を終了する。未試験の被試験体があると判断された場合（ステップＳ１４１１：Ｙｅｓ）、試験制御部４１１は、ステップＳ１４０１へ戻る。

（試験装置１０３が行う処理手順例）
図１５および図１６は、試験装置が行う処理手順例を示すフローチャートである。試験装置１０３は、試験開始指示を受け付ける（ステップＳ１５０１）。そして、試験装置１０３は、被試験体が取り付けられた試験機の電源を投入する（ステップＳ１５０２）。つぎに、試験装置１０３は、現在の温度／電圧／周波数を読み込む（ステップＳ１５０３）。温度は、例えば、試験環境における温度である。読み込まれる電圧は、例えば、被試験体に供給される電源電圧の値である。周波数は、被試験体に供給されるクロック信号の周波数である。そして、試験装置１０３は、温度／電圧／周波数の表示指示を試験操作端末装置２０４へ通知する（ステップＳ１５０４）。

つぎに、試験装置１０３は、設定した条件に到達したか否かを判断する（ステップＳ１５０５）。設定した条件に到達していないと判断された場合（ステップＳ１５０５：Ｎｏ）、試験装置１０３は、ステップＳ１５０３へ戻る。設定した条件に到達したと判断された場合（ステップＳ１５０５：Ｙｅｓ）、試験装置１０３は、基本試験を開始する（ステップＳ１５０６）。そして、試験装置１０３は、基本試験を終了する（ステップＳ１５０７）。つぎに、試験装置１０３は、基本試験結果を試験結果ＤＢ４４２へ格納する（ステップＳ１５０８）。

試験装置１０３は、試験にパスしたか否かを判断する（ステップＳ１５０９）。試験にパスしたと判断された場合（ステップＳ１５０９：Ｙｅｓ）、試験装置１０３は、ステップＳ１６０１へ移行する。一方、試験にパスしていないと判断された場合（ステップＳ１５０９：Ｎｏ）、試験装置１０３は、ステップＳ１６１１へ移行する。

試験装置１０３は、被試験体のシリアルＮｏ．を要否判断部１０２へ通知する（ステップＳ１６０１）。試験装置１０３は、スクリーニング試験の実行指示を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１６０２）。スクリーニング試験の実行指示を受け付けていないと判断された場合（ステップＳ１６０２：Ｎｏ）、試験装置１０３は、ステップＳ１６１１へ移行する。スクリーニング試験の実行指示を受け付けたと判断された場合（ステップＳ１６０２：Ｙｅｓ）、試験装置１０３は、現在の温度／電圧／周波数を読み込む（ステップＳ１６０３）。そして、試験装置１０３は、温度／電圧／周波数の表示指示を試験操作端末装置２０４へ通知する（ステップＳ１６０４）。

試験装置１０３は、条件に到達したか否かを判断する（ステップＳ１６０５）。条件に到達していないと判断された場合（ステップＳ１６０５：Ｎｏ）、試験装置１０３は、ステップＳ１６０３へ戻る。一方、条件に到達したと判断された場合（ステップＳ１６０５：Ｙｅｓ）、試験装置１０３は、指示されたスクリーニング試験を開始する（ステップＳ１６０６）。

つぎに、試験装置１０３は、スクリーニング試験を終了する（ステップＳ１６０７）。試験装置１０３は、スクリーニング試験結果を格納する（ステップＳ１６０８）。試験装置１０３は、試験にパスしたか否かを判断する（ステップＳ１６０９）。試験にパスしたと判断された場合（ステップＳ１６０９：Ｙｅｓ）、試験装置１０３は、スクリーニング試験完了を要否判断部１０２へ通知し（ステップＳ１６１０）、ステップＳ１６０２へ移行する。

試験にパスしなかったと判断された場合（ステップＳ１６０９：Ｎｏ）、試験装置１０３は、試験結果ＤＢ４４２へ試験結果を送信する（ステップＳ１６１１）。試験装置１０３は、試験装置１０３の電源をＯＦＦする（ステップＳ１６１２）。そして、試験装置１０３は、試験の終了を試験制御部４１１へ通知し（ステップＳ１６１３）、一連の処理を終了する。

（要否判断部１０２が行う処理手順例）
図１７は、要否判断部による試験規格算出処理手順例を示すフローチャートである。ここで、上述したように、要否判断部１０２によるスクリーニング試験要否規格の算出処理については、例えば、試験装置１０３による基本試験に含まれる各試験が終了するタイミングなどで行われてもよいし、特に限定しない。要否判断部１０２は、試験結果データと部品データとを読み込む（ステップＳ１７０１）。要否判断部１０２は、スクリーニング試験に関する複数の試験項目のうち、規格値を未算出の試験項目があるか否かを判断する（ステップＳ１７０２）。

未算出の試験項目があると判断された場合（ステップＳ１７０２：Ｙｅｓ）、要否判断部１０２は、未算出の試験項目からいずれかの試験項目を規格算出対象の選択項目として選択する（ステップＳ１７０３）。要否判断部１０２は、特性データテーブル７００に基づき各特性の分布および各製造履歴の分布を特定する（ステップＳ１７０４）。つぎに、要否判断部１０２は、試験結果データに基づき、各分布内の不良分布を特定する（ステップＳ１７０５）。

そして、要否判断部１０２は、各特性の分布および不良分布と各製造履歴の分布および不良分布を表示する（ステップＳ１７０６）。つぎに、要否判断部１０２は、選択した試験項目についての規格範囲とする分布の指定を受け付ける（ステップＳ１７０７）。要否判断部１０２は、指定された分布とマージン値とに基づいて各規格値を算出する（ステップＳ１７０８）。要否判断部１０２は、各規格値に基づくスクリーニング要否の規格範囲を特定する（ステップＳ１７０９）。要否判断部１０２は、規格範囲を格納し（ステップＳ１７１０）、ステップＳ１７０２へ戻る。ステップＳ１７０２において、未算出の試験項目がないと判断された場合（ステップＳ１７０２：Ｎｏ）、要否判断部１０２は、一連の処理を終了する。

図１８は、要否判断部による試験項目決定処理手順例を示すフローチャートである。要否判断部１０２は、特性データテーブル７００および試験要否規格テーブル８００を取得する（ステップＳ１８０１）。要否判断部１０２は、特性データテーブル７００内の被試験体のシリアルＮｏ．の選択を受け付ける（ステップＳ１８０２）。

要否判断部１０２は、スクリーニング試験に関する複数の試験項目のうち、要否を未決定の試験項目があるか否かを判断する（ステップＳ１８０３）。未決定の試験項目があると判断された場合（ステップＳ１８０３：Ｙｅｓ）、要否判断部１０２は、未決定の試験項目からいずれかの試験項目を決定対象の試験項目として選択する（ステップＳ１８０４）。

要否判断部１０２は、選択した試験項目についての規格範囲を取得する（ステップＳ１８０５）。要否判断部１０２は、受け付けたシリアルＮｏ．についての特性または製造履歴が規格範囲を満たすか否かを判断する（ステップＳ１８０６）。受け付けたシリアルＮｏ．についての特性または製造履歴は、上述したように、特性データテーブル７００を参照することにより得られる情報である。受け付けたシリアルＮｏ．についての特性または製造履歴が規格範囲を満たさないと判断された場合（ステップＳ１８０６：Ｎｏ）、要否判断部１０２は、試験項目の試験不要（１）に決定して、試験項目について試験不要（１）を試験要否識別ＤＢ４４４に格納する（ステップＳ１８０７）。そして、要否判断部１０２は、ステップＳ１８０３へ戻る。一方、受け付けたシリアルＮｏ．についての特性または製造履歴が規格範囲を満たすと判断された場合（ステップＳ１８０６：Ｙｅｓ）、要否判断部１０２は、試験項目の試験要（０）に決定して、試験項目について試験要（０）を試験要否識別ＤＢ４４４に格納する（ステップＳ１８０８）。そして、要否判断部１０２は、ステップＳ１８０３へ戻る。

ステップＳ１８０３において、未決定の試験項目がないと判断された場合（ステップＳ１８０３：Ｎｏ）、要否判断部１０２は、一連の処理を終了する。

図１９は、要否判断部による試験要否選択処理手順例を示すフローチャートである。要否判断部１０２は、被試験体のシリアルＮｏ．の通知を受け付ける（ステップＳ１９０１）。つぎに、要否判断部１０２は、試験要否ＤＢから試験項目決定テーブル９００を読み出す（ステップＳ１９０２）。つぎに、要否判断部１０２は、受け付けたシリアルＮｏ．について未選択な試験項目からいずれかの試験項目を選択する（ステップＳ１９０３）。

そして、要否判断部１０２は、試験項目決定テーブル９００において選択した試験項目のスクリーニング試験が必要か否かを判断する（ステップＳ１９０４）。試験項目決定テーブル９００において選択した試験項目のスクリーニング試験が不要であると判断された場合（ステップＳ１９０４：不要）、要否判断部１０２は、ステップＳ１９０７へ移行する。試験項目決定テーブル９００において選択した試験項目のスクリーニング試験が必要であると判断された場合（ステップＳ１９０４：必要）、要否判断部１０２は、試験制御サーバ２０３へスクリーニング試験の実行を指示する（ステップＳ１９０５）。

そして、要否判断部１０２は、スクリーニング試験完了通知を受け付けたか否かを判断する（ステップＳ１９０６）。スクリーニング試験完了通知を受け付けていないと判断された場合（ステップＳ１９０６：Ｎｏ）、要否判断部１０２は、ステップＳ１９０６へ戻る。スクリーニング試験完了通知を受け付けたと判断された場合（ステップＳ１９０６：Ｙｅｓ）、要否判断部１０２は、未選択の試験項目があるか否かを判断する（ステップＳ１９０７）。

未選択の試験項目があると判断された場合（ステップＳ１９０７：Ｙｅｓ）、要否判断部１０２は、ステップＳ１９０３へ戻る。未選択の試験項目がないと判断された場合（ステップＳ１９０７：Ｎｏ）、要否判断部１０２は、一連の処理を終了する。

以上説明したように、システム１００は、被試験体のシリアルＮｏ．ごとにスクリーニング試験の要否情報を記憶し、通知されたシリアルＮｏ．の要否情報を基に、試験要の場合に試験の実行を指示し、試験不要の場合に試験の実行を省略する。これにより、被試験体ごとにスクリーニング試験の実行を制御することができ、試験時間の短縮を図ることができる。

また、システム１００は、各被試験体の特性の分布と、不良の分布と、に基づきスクリーニング試験の要否の判定基準を決定し、被試験体ごとに、被試験体の特性と判定基準との比較の結果に基づいてスクリーニング試験の要否情報を格納する。これにより、特性に応じた傾向性障害の検出精度の向上を図り、試験時間の短縮化を図ることができる。

また、システム１００は、各被試験体の各特性について特定した分布および不良の分布を表示し、指定された特性についての特性分布および不良分布に基づいて、判定基準を決定する。これにより、各特性に起因する不良に最適なスクリーニング試験を実施することができる。

また、システム１００は、各試験の試験結果が記憶されるたびに、判定基準を決定する処理を行う。これにより、最新の試験結果によって最適な判定基準が得られる。

また、製造ロット、ウェハ、ウェハ上の位置などによっては半導体部品の特性傾向が変化する可能性がある。そこで、システム１００は、各被試験体の製造履歴の第３分布と、不良と判定された被試験体の製造履歴の第４分布と、に基づいて、スクリーニング試験の要否の判定基準を決定する。これにより、不良が多い製造ロットに含まれる被試験体だけにスクリーニング試験を実施する等の対応が可能となる。したがって、製造履歴に応じた傾向性障害の検出精度の向上を図り、試験時間の短縮化を図ることができる。

また、システム１００は、決定した判定基準と、各被試験体について、識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否の決定結果を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶部に格納する。

また、試験装置１０３は、いずれかの被試験体に対して基本試験を実行後に、いずれかの被試験体の識別情報を通知し、スクリーニング試験の実行指示を受け付けた場合に、いずれかの被試験体に対して所定のスクリーニング試験を実行する。これにより、試験装置に取り付けられた被試験体に対して基本試験の後につづけて最適なスクリーニング試験を行う。このため、被試験体の取り換えなどを行わなくてよいため、試験時間の短縮を図ることができる。

なお、本実施の形態で説明した試験決定方法は、予め用意されたプログラムをパーソナル・コンピュータやワークステーション等のコンピュータで実行することにより実現することができる。本プログラムは、磁気ディスク、光ディスク、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）フラッシュメモリなどのコンピュータで読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータによって記録媒体から読み出されることによって実行される。また、プログラムは、インターネット等のネットワークを介して配布してもよい。

上述した実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。

（付記１）各被試験体の識別情報について、前記識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部と、
前記各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報が通知されると、前記記憶部を参照して、通知された前記識別情報に対応付けられた前記所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、取得した前記要否を示す情報が前記所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、前記所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置へ通知する要否判断部と、
を有することを特徴とするシステム。

（付記２）前記記憶部は、前記各被試験体の特性を表す特性情報と、前記試験装置による各被試験体の各試験の試験結果と、を記憶し、
前記要否判断部は、
前記特性情報に基づく前記各被試験体の特性の第１分布と、前記試験結果に基づく前記各被試験体のうちの不良と判定された被試験体の特性の第２分布と、を特定し、
特定した前記第１分布と、特定した前記第２分布と、に基づいて、前記所定のスクリーニング試験の要否の判定基準を決定し、
前記各被試験体について、前記各被試験体の特性と決定した前記判定基準との比較により、前記所定のスクリーニング試験の要否を決定し、
前記各被試験体について、前記識別情報と、前記所定のスクリーニング試験の要否の決定結果を示す情報と、を対応付けた前記試験項目決定情報を前記記憶部に格納する、
ことを特徴とする付記１に記載のシステム。

（付記３）前記要否判断部は、
前記各被試験体の各特性について、前記第１分布と、前記第２分布と、を特定し、
前記各特性について、特定した前記第１分布と、特定した前記第２分布と、を表示し、
前記各特性のうち、特定した前記第１分布と特定した前記第２分布との表示に応じて指定された特性についての前記第１分布および前記第２分布に基づいて、前記判定基準を決定する、
ことを特徴とする付記２に記載のシステム。

（付記４）前記要否判断部は、
前記記憶部に前記各試験の試験結果が記憶されるたびに、前記第１分布と前記第２分布とを特定する、
ことを特徴とする付記２または３に記載のシステム。

（付記５）前記記憶部は、前記各被試験体の製造履歴を表す履歴情報と、前記試験装置による各被試験体の各試験の試験結果と、を記憶し、
前記要否判断部は、
前記履歴情報に基づく前記各被試験体の製造履歴の第３分布と、前記試験結果に基づく前記各被試験体のうちの不良と判定された被試験体の製造履歴の第４分布と、を特定し、
特定した前記第３分布と、特定した前記第４分布と、に基づいて、前記所定のスクリーニング試験の要否の判定基準を決定し、
前記各被試験体について、前記各被試験体の製造履歴と決定した前記判定基準との比較により、前記所定のスクリーニング試験の要否を決定し、
前記各被試験体について、前記識別情報と、前記所定のスクリーニング試験の要否の決定結果を示す情報と、を対応付けた前記試験項目決定情報を前記記憶部に格納する、
ことを特徴とする付記１〜４のいずれか一つに記載のシステム。

（付記６）前記試験装置を有し、
前記試験装置は、
前記いずれかの被試験体に対して所定の試験を実行し、
前記所定の試験の終了後に、前記いずれかの被試験体の識別情報を前記要否判断部へ通知し、
前記所定のスクリーニング試験の実行指示を受け付けると、前記いずれかの被試験体に対して前記所定のスクリーニング試験を実行する、
ことを特徴とする付記１〜５のいずれか一つに記載のシステム。

（付記７）コンピュータが、
各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報の通知を受け付け、
前記各被試験体の識別情報について前記識別情報と所定のスクリーニング試験の要否を示す情報とが対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部を参照して、通知された前記識別情報に対応付けられた前記所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、
取得した前記要否を示す情報が前記所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、前記所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置へ通知する、
処理を実行することを特徴とする試験決定方法。

１００ システム
１０１ 記憶部
１０２ 要否判断部
１０３ 試験装置
１１１ 試験項目決定情報
２０２ 判断装置
２０３ 試験制御サーバ
２０４ 試験操作端末装置
４０１ 試験実働部
４１１ 試験制御部
４１３ 試験ＤＢ
４２１ 試験実行部
４２２ 試験監視部
４２３ 試験結果格納部
４３１ 受付部
４３２ 表示部
４４１ 部品ＤＢ
４４２ 試験結果ＤＢ
４４３ 試験要否規格ＤＢ
４４４ 試験要否識別ＤＢ
４５１ 規格算出部
４５２ 要否決定部
４５３ 実行選択部
４６１，４７１，４８１，４９１ 制御部
４６２ 算出部
４７２ 決定部
４８２ 選択部
５００ 試験条件テーブル
６００ 試験結果テーブル
７００ 特性データテーブル
８００ 試験要否規格テーブル
９００ 試験項目決定テーブル
１１００ 分布
１１０１ 発生分布

Claims (5)

1. 各被試験体の識別情報について、前記識別情報と、所定のスクリーニング試験の要否を示す情報と、が対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部と、
   前記各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報が通知されると、前記記憶部を参照して、通知された前記識別情報に対応付けられた前記所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、取得した前記要否を示す情報が前記所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、前記所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置へ通知する要否判断部と、
   を有することを特徴とするシステム。
2. 前記記憶部は、前記各被試験体の特性を表す特性情報と、前記試験装置による各被試験体の各試験の試験結果と、を記憶し、
   前記要否判断部は、
   前記特性情報に基づく前記各被試験体の特性の第１分布と、前記試験結果に基づく前記各被試験体のうちの不良と判定された被試験体の特性の第２分布と、を特定し、
   特定した前記第１分布と、特定した前記第２分布と、に基づいて、前記所定のスクリーニング試験の要否の判定基準を決定し、
   前記各被試験体について、前記各被試験体の特性と決定した前記判定基準との比較により、前記所定のスクリーニング試験の要否を決定し、
   前記各被試験体について、前記識別情報と、前記所定のスクリーニング試験の要否の決定結果を示す情報と、を対応付けた前記試験項目決定情報を前記記憶部に格納する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
3. 前記記憶部は、前記各被試験体の製造履歴を表す履歴情報と、前記試験装置による各被試験体の各試験の試験結果と、を記憶し、
   前記要否判断部は、
   前記履歴情報に基づく前記各被試験体の製造履歴の第３分布と、前記試験結果に基づく前記各被試験体のうちの不良と判定された被試験体の製造履歴の第４分布と、を特定し、
   特定した前記第３分布と、特定した前記第４分布と、に基づいて、前記所定のスクリーニング試験の要否の判定基準を決定し、
   前記各被試験体について、前記各被試験体の製造履歴と決定した前記判定基準との比較により、前記所定のスクリーニング試験の要否を決定し、
   前記各被試験体について、前記識別情報と、前記所定のスクリーニング試験の要否の決定結果を示す情報と、を対応付けた前記試験項目決定情報を前記記憶部に格納する、
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のシステム。
4. 前記試験装置を有し、
   前記試験装置は、
   前記いずれかの被試験体に対して所定の試験を実行し、
   前記所定の試験の終了後に、前記いずれかの被試験体の識別情報を前記要否判断部へ通知し、
   前記所定のスクリーニング試験の実行指示を受け付けると、前記いずれかの被試験体に対して前記所定のスクリーニング試験を実行する、
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載のシステム。
5. コンピュータが、
   各被試験体のうちのいずれかの被試験体の識別情報の通知を受け付け、
   前記各被試験体の識別情報について前記識別情報と所定のスクリーニング試験の要否を示す情報とが対応付けられた試験項目決定情報を記憶する記憶部を参照して、通知された前記識別情報に対応付けられた前記所定のスクリーニング試験の要否を示す情報を取得し、
   取得した前記要否を示す情報が前記所定のスクリーニング試験が必要であることを示す場合に、前記所定のスクリーニング試験の実行指示を試験装置へ通知する、
   処理を実行することを特徴とする試験決定方法。

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