JP2017538102A - 電子工学、光学または光電子工学用の透明ウェハを検査する方法およびシステム - Google Patents
電子工学、光学または光電子工学用の透明ウェハを検査する方法およびシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017538102A JP2017538102A JP2017518136A JP2017518136A JP2017538102A JP 2017538102 A JP2017538102 A JP 2017538102A JP 2017518136 A JP2017518136 A JP 2017518136A JP 2017518136 A JP2017518136 A JP 2017518136A JP 2017538102 A JP2017538102 A JP 2017538102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- measurement volume
- light
- defect
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02034—Interferometers characterised by particularly shaped beams or wavefronts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/30—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides
- G01M11/33—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face
- G01M11/331—Testing of optical devices, constituted by fibre optics or optical waveguides with a light emitter being disposed at one fibre or waveguide end-face, and a light receiver at the other end-face by using interferometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9501—Semiconductor wafers
- G01N21/9503—Wafer edge inspection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/56—Measuring geometric parameters of semiconductor structures, e.g. profile, critical dimensions or trench depth
Abstract
Description
ウェハを前記ウェハの主表面に垂直な対称軸線を中心に回転させること、
干渉計装置に結合された光源から2つの準平行入射光ビームを放射し、それによって、2つビームが交差するところに、ウェハの回転経路に対して横方向に延びかつ測定体積内に可変フリンジ間距離を有する干渉縞の入った測定体積を形成することであって、測定体積を欠陥が通過する時間シグネチャが、その欠陥が測定体積を通過する場所でのフリンジ間距離の値に依存し、前記ウェハが光源の波長で少なくとも部分的に透明であること、
干渉計装置およびウェハは、測定体積がウェハの領域内にまで延びるように互いに関連して配置され、前記領域の厚さがウェハの厚さより薄いこと、
ウェハの前記領域によって散乱された光の少なくとも一部を収集すること、
収集光を取り込み、収集光の光強度の変化を時間の関数として表す電気信号を放出すること、
前記信号で、前記収集光の強度の変化の周波数成分を検出することであって、前記周波数が、測定体積を欠陥が通過する時間シグネチャであること、および
欠陥が通過する場所でのフリンジ間距離の値に基づいて、ウェハの半径方向および/または厚さの中の前記欠陥の位置を決定すること
を含む。
ウェハを前記ウェハの主表面に垂直な対称軸線を中心に回転駆動するための装置と、
準平行光ビームを放射するのに適した光源であって、準平行光ビームの波長は、前記ビームの少なくとも一部がウェハに透過されるように選択される、光源と、
前記光源によって放射されたビームを2つのビームに分割し、2つのビームが交差するところに、干渉縞の入った当該測定体積を形成するために光源に結合される干渉計装置であって、フリンジ間距離が前記測定体積内で可変である、干渉計装置と、
ウェハによって散乱された光を収集するための装置と、
収集光の光強度の変化を時間の関数として表す電気信号を放出するために構成された、収集光を取り込むための装置と、
前記信号で、前記収集光の強度の変化の周波数成分を検出するために構成された処理装置であって、前記周波数が、当該測定体積を欠陥が通過する時間シグネチャであり、時間シグネチャは、その欠陥が測定体積を通過する場所でのフリンジ間距離の値に依存し、前記周波数に基づいて、フリンジ間距離に対する前記値とウェハの半径方向および/または厚さの中の欠陥の位置とを決定するために構成される、処理装置と、
を備える。
ガラス基板を準備すること、
前記ガラス基板上に金属マスキング層を堆積させること、
金属層上にポリマー層を堆積させること、
ポリマー層上に光導波路の形状を画定するパターンをフォトリソグラフィで転写すること、
ポリマーマスクによって露光されて残ったゾーンにおいて化学プロセスを用いて金属マスキング層を化学エッチングすること、
ポリマーマスクを除去すること、
エッチングされた金属マスキング層で覆われた基板をイオン槽(例えば、硝酸カリウム槽)に浸すこと、
槽内に存在するイオン(例えばカリウムイオン)とガラスに含まれるイオン(例えばナトリウムイオン)を、基板の金属マスキング層で覆われていないゾーンを通じて交換して、金属マスキング層がイオンの通過を阻止すること、
を含む。
r:測定体積によって掃引される表面の点の半径方向位置、
φ:測定体積によって掃引される表面の点の接線位置、
F:検出されるドップラー周波数(検出された欠陥のドップラーシグネチャ)、
Fd:半径方向距離rでの、ウェハの表面上に存在する欠陥の論理ドップラー周波数、
x:測定されたドップラー周波数と論理ドップラー周波数の比率(x=F/Fd)、
T:ウェハの厚さ、
D:推定深さ、
θ:測定体積とウェハの垂線との間の角度、
R:ウェハの厚さの中の検出された欠陥の実際の半径方向位置。
R=r+D*tan(θ)
を有することになる。
REFERENCES
WO 2009/112704
WO 02/39099
Integrated Laser Doppler Velocimeter for Fluid Velocity and Wall Friction Measurements, P. Lemaitre-Auger, A. Cartellier, P. Benech and Schanen Duport, Sensors, 2002, Proceedings of IEEE (Vol:1), pp. 78-82.
Claims (11)
- 電子工学、光学または光電子工学用のウェハ(2)を検査する方法であって、
前記ウェハ(2)を前記ウェハの主表面(S)に垂直な対称軸線(X)を中心に回転させること、
干渉計装置(30)に結合された光源(20)から2つの準平行入射光ビームを放射し、それによって、前記2つビームが交差するところに、前記ウェハの回転経路に対して横方向に延びかつ測定体積内に可変フリンジ間距離を有する干渉縞の入った前記測定体積を形成することであって、前記測定体積を欠陥が通過する時間シグネチャが、前記欠陥が前記測定体積を通過する場所での前記フリンジ間距離の値に依存し、前記ウェハが前記光源の波長で少なくとも部分的に透明であること、
前記干渉計装置(30)および前記ウェハ(2)は、前記測定体積がウェハの領域内にまで延びるように互いに関連して配置され、前記領域の厚さが前記ウェハの厚さより薄いこと、
前記ウェハの前記領域によって散乱された光の少なくとも一部を収集すること、
前記収集光を取り込み、前記収集光の光強度の変化を時間の関数として表す電気信号を放出すること、
前記信号で、前記収集光の強度の変化の周波数成分を検出することであって、前記周波数が、前記測定体積を欠陥が通過する時間シグネチャであること、および
前記欠陥が通過する場所での前記フリンジ間距離の値に基づいて、前記ウェハの半径方向および/または厚さの中の前記欠陥の位置を決定すること
を含む、方法。 - 前記干渉計装置(30)が光ガイドを備える集積光学装置であり、前記光ガイドの入力部が前記光源に結合され、前記光ガイドが2つの分岐に分割され、前記光ガイドの出力部が、前記2つのビームの交差点に前記測定体積を形成するために方向付けられる、請求項1に記載の方法。
- 前記フリンジ間距離が前記ウェハの半径方向に変化する、請求項1または2のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フリンジ間距離が、前記ウェハの回転軸線から前記測定体積の最も遠い端部での最小距離と前記ウェハの回転軸線に前記測定体積の最も近い端部での最大距離との間で変化する、請求項1〜3の一項に記載方法。
- 前記測定体積において、前記フリンジ間距離が、公称値の±50%の間隔以内で変化する、請求項1〜4の一項に記載の方法。
- 前記測定体積が、前記ウェハの前記主表面(S)の垂線に対して10°〜80°に含まれる角度だけ傾けられる、請求項1〜5の一項に記載の方法。
- 前記測定体積が、前記ウェハの前記主表面(S)の垂線に対して0°〜40°に含まれる角度だけ傾けられる、請求項1〜5の一項に記載の方法。
- 前記信号の帯域通過フィルタリングの利用も含み、前記フィルタの前記帯域通過が、前記ウェハの厚さの中の所定の位置に関連するドップラー周波数を有する前記信号の一部だけを送るように選択される、請求項7に記載の方法。
- 電子工学、光学または光電子工学用のウェハ(2)を検査するシステム(1)であって、
ウェハを前記ウェハの主表面(S)に垂直な対称軸線(X)を中心に回転駆動するための装置(10)と、
準平行光ビームを放射するのに適した光源(20)であって、前記準平行光ビームの波長が、前記ビームの少なくとも一部が前記ウェハ(2)に透過されるように選択される、光源(20)と、
前記光源(20)によって放射された前記ビームを2つのビームに分割し、前記2つのビームが交差するところに、干渉縞の入った当該測定体積を形成するために前記光源に結合される干渉計装置(30)であって、前記フリンジ間距離が前記測定体積内で可変である、干渉計装置(30)と、
前記ウェハによって散乱された光を収集するための装置(40)と、
収集光の光強度の変化を時間の関数として表す電気信号を放出するために構成された、収集光を取り込むための装置(50)と、
前記信号で、前記収集光の強度の変化の周波数成分を検出するために構成された処理装置(60)であって、前記周波数が、当該測定体積を欠陥が通過する時間シグネチャであり、前記時間シグネチャは、前記欠陥が前記測定体積を通過する場所での前記フリンジ間距離の値に依存し、前記周波数に基づいて、前記フリンジ間距離に対する前記値と前記ウェハの半径方向および/または厚さの中の前記欠陥の位置とを決定するため構成される、処理装置(60)と、
を備えるシステム(1)。 - 前記干渉計装置が集積光学装置である、請求項9に記載のシステム(1)。
- 前記干渉計装置(30)および前記散乱光を収集するための装置(40)を半径方向に並進運動で移動させるためのアームも備える、請求項9または10の一項に記載のシステム(1)。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR1459170A FR3026484B1 (fr) | 2014-09-29 | 2014-09-29 | Procede et systeme d'inspection de plaquettes transparentes pour l'electronique, l'optique ou l'optoelectronique |
FR1459170 | 2014-09-29 | ||
PCT/EP2015/072368 WO2016050738A1 (fr) | 2014-09-29 | 2015-09-29 | Procede et systeme d'inspection de plaquettes transparentes pour l'electronique, l'optique ou l'optoelectronique |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017538102A true JP2017538102A (ja) | 2017-12-21 |
JP2017538102A5 JP2017538102A5 (ja) | 2018-09-06 |
JP6530062B2 JP6530062B2 (ja) | 2019-06-12 |
Family
ID=51866249
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017518136A Active JP6530062B2 (ja) | 2014-09-29 | 2015-09-29 | 電子工学、光学または光電子工学用の透明ウェハを検査する方法およびシステム |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10260868B2 (ja) |
EP (1) | EP3201610B1 (ja) |
JP (1) | JP6530062B2 (ja) |
KR (1) | KR20170066375A (ja) |
CN (1) | CN106716112B (ja) |
FR (1) | FR3026484B1 (ja) |
SG (1) | SG11201702300PA (ja) |
WO (1) | WO2016050738A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160343140A1 (en) * | 2015-05-24 | 2016-11-24 | Pointivo, Inc. | Surveying and measurement methods and devices |
FR3049710B1 (fr) * | 2016-03-31 | 2020-06-19 | Unity Semiconductor | Procede et systeme d'inspection par effet doppler laser de plaquettes pour la microelectronique ou l'optique |
FR3076618B1 (fr) | 2018-01-05 | 2023-11-24 | Unity Semiconductor | Procede et systeme d'inspection optique d'un substrat |
CN109543720B (zh) * | 2018-10-30 | 2023-10-27 | 东华大学 | 一种基于对抗生成网络的晶圆图缺陷模式识别方法 |
EP4202423A1 (en) | 2021-12-23 | 2023-06-28 | Unity Semiconductor | A method and system for discriminating defects present on a frontside from defects present on a backside of a transparent substrate |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4030830A (en) * | 1976-01-05 | 1977-06-21 | Atlantic Research Corporation | Process and apparatus for sensing defects on a smooth surface |
IL125964A (en) * | 1998-08-27 | 2003-10-31 | Tevet Process Control Technolo | Method and apparatus for measuring the thickness of a transparent film, particularly of a photoresist film on a semiconductor substrate |
TW500920B (en) * | 2000-03-24 | 2002-09-01 | Olympus Optical Co | Defect detecting apparatus |
US6891610B2 (en) * | 2000-09-20 | 2005-05-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for determining an implant characteristic and a presence of defects on a specimen |
JP2004513364A (ja) | 2000-11-13 | 2004-04-30 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 表面欠陥の測定 |
US7106454B2 (en) * | 2003-03-06 | 2006-09-12 | Zygo Corporation | Profiling complex surface structures using scanning interferometry |
FR2927175B1 (fr) * | 2008-02-05 | 2011-02-18 | Altatech Semiconductor | Dispositif d'inspection de plaquettes semi-conductrices |
CN102171000A (zh) * | 2008-10-01 | 2011-08-31 | 彼特沃尔特斯有限公司 | 用于测量片状工件的厚度的方法 |
-
2014
- 2014-09-29 FR FR1459170A patent/FR3026484B1/fr active Active
-
2015
- 2015-09-29 CN CN201580052315.3A patent/CN106716112B/zh active Active
- 2015-09-29 JP JP2017518136A patent/JP6530062B2/ja active Active
- 2015-09-29 WO PCT/EP2015/072368 patent/WO2016050738A1/fr active Application Filing
- 2015-09-29 US US15/515,407 patent/US10260868B2/en active Active
- 2015-09-29 EP EP15774574.6A patent/EP3201610B1/fr active Active
- 2015-09-29 KR KR1020177008603A patent/KR20170066375A/ko unknown
- 2015-09-29 SG SG11201702300PA patent/SG11201702300PA/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10260868B2 (en) | 2019-04-16 |
FR3026484B1 (fr) | 2018-06-15 |
US20180231370A1 (en) | 2018-08-16 |
WO2016050738A1 (fr) | 2016-04-07 |
FR3026484A1 (fr) | 2016-04-01 |
SG11201702300PA (en) | 2017-04-27 |
EP3201610A1 (fr) | 2017-08-09 |
KR20170066375A (ko) | 2017-06-14 |
CN106716112A (zh) | 2017-05-24 |
CN106716112B (zh) | 2019-08-06 |
EP3201610B1 (fr) | 2018-11-07 |
JP6530062B2 (ja) | 2019-06-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6530063B2 (ja) | 電子工学、光学または光電子工学用のウェハを検査する方法およびシステム | |
JP6530062B2 (ja) | 電子工学、光学または光電子工学用の透明ウェハを検査する方法およびシステム | |
KR101815325B1 (ko) | 웨이퍼 상에서 고 종횡비의 에칭된 피처의 깊이를 직접 측정하기 위한 시스템 | |
US20100103409A1 (en) | Method and apparatus for detecting defects | |
JP5862433B2 (ja) | 表面処理状況モニタリング装置 | |
US20170023410A1 (en) | Photodetection apparatus including optical filter and optical detector | |
CN109073566B (zh) | 用于通过激光多普勒效应检测用于微电子或光学的板的方法和系统 | |
CN105277131B (zh) | 三维孔结构的测量装置与测量方法 | |
JP2015232450A (ja) | 膜厚の測定方法及び膜厚測定装置 | |
JP2013048183A (ja) | エッチングモニタリング装置 | |
TW202331239A (zh) | 一種用於區分透明底材正面缺陷和背面缺陷的方法和系統 | |
US20090153882A1 (en) | Measuring Dimensional Parameters of Structures | |
JPH0744206B2 (ja) | 微細溝の検査方法 | |
Xue et al. | Testing the MEMS Device’s Internal Structure Topography Based on Transmission and Interference Technique | |
JPS62206408A (ja) | 表面微細形状測定装置 | |
JPH0299804A (ja) | レジストパターンの形状測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180726 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180726 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190515 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6530062 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |