JP2017507479A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 計測システムであって、
   一つあるいは複数の計測ターゲットに対しある量の照明光を供給するように構成された照明光源；
   前記ある量の照明光に応答して前記一つあるいは複数の計測ターゲットからある量の集められた光を受け入れるように構成された検出器；
   前記ある量の集められた光に関連するある量の計測データを受け入れると共に、前記ある量の計測データに対する計測モデルのフィッティングに基づいて前記一つあるいは複数の計測ターゲットの前記計測モデルの一つあるいは複数のパラメータを決定するように構成された一つあるいは複数のコンピュータシステム；及び、
   非一時的でコンピュータ可読な媒体に格納されたコンピュータ可読命令を含む計測モデル構築ツール、
   を備え、
   前記計測モデルは、前記一つあるいは複数の計測ターゲットの第１の下位構造の第１の再利用可能なパラメトリックモデルを含み、
   前記コンピュータ可読命令は：
   前記一つあるいは複数の計測ターゲットの少なくとも一部を記述すべく第１のユーザによりなされた前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコードであり、
   前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルが、多数の幾何学的な要素を含むと共に、独立したパラメータ値の第１のセットによって完全に定義される、コード；及び、前記独立したパラメータ値の第１のセットの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータが受け入れるようにするコード、を含んでいる、計測システム。
2. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記一つあるいは複数の計測ターゲットの計測モデルは、前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルによって完全に記述される、計測システム。
3. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記コンピュータ可読命令は：
   前記一つあるいは複数の計測ターゲットの第２の下位構造を記述すべく前記第１のユーザによりなされた第２の再利用可能なパラメトリックモデルの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコードであり、その第２の再利用可能なパラメトリックモデルは、多数の幾何学的な要素を含むと共に、独立したパラメータ値の第２のセットによって完全に定義される、コード；
   前記独立したパラメータ値の第２のセットの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード；
   前記第１及び第２の再利用可能なパラメトリックモデルの組合せの少なくとも一部に基づいて、前記一つあるいは複数の計測ターゲットの第１の計測モデルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが決定するようにするコード；及び、
   前記第１の計測モデルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムがメモリ内に格納するようにするコード、
   を更に含んでいる、計測システム。
4. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルを定義する前記独立したパラメータ値の第１のセットの選択が前記第１のユーザによりなされる、計測システム。
5. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記コンピュータ可読命令は：
   プロセスシミュレーションツールにより生成される出力ファイルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード；及び、
   前記独立したパラメータ値の第１のセットを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが前記出力ファイルから決定するようにするコード、
   を更に含んでいる、計測システム。
6. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記第１の下位構造の前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルの複数の離散化点は、前記一つあるいは複数の計測ターゲットの第２の下位構造の第２の再利用可能なパラメトリックモデルの複数の離散化点と、前記一つあるいは複数のコンピュータシステムの浮動小数点精度の範囲内で一致する、計測システム。
7. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記コンピュータ可読命令は：
   第２の半導体デバイスの第１の下位構造を記述すべく、第２のユーザによりなされた前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード；
   前記第２の半導体デバイスの第２の下位構造を記述すべく、前記第２のユーザによりなされた第３の再利用可能なパラメトリックモデルの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコードであり、前記第３の再利用可能なパラメトリックモデルが独立したパラメータ値の第３のセットによって完全に定義されるコード；
   前記第１及び第３の再利用可能なパラメトリックモデルの組合せの少なくとも一部に基づいて前記一つあるいは複数のコンピュータが第２の計測モデルを決定するようにするコード；及び、
   前記第２の計測モデルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムがメモリ内に格納するようにするコード、
   を更に含む、計測システム。
8. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記コンピュータ可読命令は：
   前記一つあるいは複数の計測ターゲットの前記第１の計測モデルの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード、
   第３の再利用可能なパラメトリックモデルの選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコードであり、前記第３の再利用可能なパラメトリックモデルは独立したパラメータ値の第３のセットによって完全に定義されるコード；
   前記第１の計測モデルと前記第３の再利用可能なパラメトリックモデルの組合せの少なくとも一部に基づいて、前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが第２の計測モデルを決定するようにするコード；及び、
   前記第２の計測モデルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムがメモリ内に格納するようにするコード、
   を含んでいる、計測システム。
9. 請求項１に記載の計測システムであって、
   前記コンピュータ可読命令は：
   前記一つあるいは複数の計測ターゲットの下位構造の一部を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが前記第１のユーザに対しディスプレイから隠すようにするコード、を更に含んでいる計測システム。
10. 請求項１に記載の計測システムであって、
    前記一つあるいは複数の計測ターゲットの少なくとも一部の前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルは、幾何学的な特徴と、特定の計測アプリケーションに特有な幾何学的な特徴の間の相対関係とを含んでいる、計測システム。
11. 計測システムであって、
    一つあるいは複数の計測ターゲットに対しある量の照明光を供給するように構成された照明光源；
    前記ある量の照明光に応答して前記一つあるいは複数の計測ターゲットからある量の集められた光を受け入れるように構成された検出器；
    前記ある量の集められた光に関連するある量の計測データを受け入れると共に、前記ある量の計測データに対する計測モデルのフィッティングに基づいて前記一つあるいは複数の計測ターゲットの前記計測モデルの一つあるいは複数のパラメータを決定するように構成された一つあるいは複数のコンピュータシステム；及び、
    非一時的でコンピュータ可読な媒体に格納されたコンピュータ可読命令を含む計測モデル構築ツール、
    を備え、
    前記計測モデルは、前記一つあるいは複数の計測ターゲットの少なくとも一部分の第１の再利用可能なパラメトリックモデルを含み、
    前記コンピュータ可読命令は：
    複数のプリミティブな幾何学的モデリング要素のユーザによる選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード；
    複数のプリミティブな幾何学的モデリング要素のそれぞれの、他のプリミティブな幾何学的モデリング要素に関する所望の位置を示す指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが前記ユーザから受け入れるようにするコード；
    複数のプリミティブな幾何学的モデリング要素の所望のパラメータ表示を示す指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが前記ユーザから受け入れるようにするコード；
    前記複数のプリミティブな幾何学的要素の組合せに基づいて、前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが決定するようにするコードであり、前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルが、前記所望のパラメータ表示に関連する独立したパラメータ値のセットによって完全に定義される、コード；及び、
    前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルを前記一つあるいは複数のコンピュータシステムがメモリ内に格納するようにするコード、
    を含んでいる、計測システム。
12. 請求項１１に記載の計測システムであって、
    前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルを決定することは、前記独立したパラメータのセットにより完全に定義される前記再利用可能なパラメトリックモデルに複数のプリミティブな幾何学的モデリング要素を完全に統合する一組の拘束関係を生成することを含む、計測システム。
13. 請求項１１に記載の計測システムであって、
    前記コンピュータ可読命令は：
    前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルの前記ユーザによる選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード；
    前記一つあるいは複数の計測ターゲットの別の部分の第２の再利用可能なパラメトリックモデルの前記ユーザによりなされた選択の指標を前記一つあるいは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコードであり、前記第２の再利用可能なパラメトリックモデルが、多数の幾何学的な要素を含むと共に、独立したパラメータ値の第２のセットによって完全に定義されるコード；
    前記第１及び第２の再利用可能なパラメトリックモデルの組合せの少なくとも一部に基づいて、前記一つもしくは複数のコンピュータシステムが前記一つもしくは複数の計測ターゲットの計測モデルを決定するようにするコード；及び、
    前記第１の計測モデルを前記一つもしくは複数のコンピュータシステムがメモリ内に格納するようにするコード、
    を更に含んでいる、計測システム。
14. 請求項１３に記載の計測システムであって、
    前記コンピュータ可読命令は：
    前記独立したパラメータ値の第１のセットの指標を前記一つもしくは複数のコンピュータシステムが前記ユーザから受け入れるようにするコード、及び、前記独立したパラメータ値の第２のセットの指標を前記一つもしくは複数のコンピュータシステムが前記ユーザから受け入れるようにするコード、
    を更に含んでいる、計測システム。
15. 請求項１３に記載の計測システムであって、
    前記コンピュータ可読命令は：
    プロセスシミュレーションツールにより生成された出力ファイルを前記一つもしくは複数のコンピュータシステムが受け入れるようにするコード；及び、
    前記独立したパラメータ値の第１のセットを前記一つもしくは複数のコンピュータシステムが前記出力ファイルから決定するようにするコード、
    を更に含んでいる、計測システム。
16. 請求項１３に記載の計測システムであって、
    前記計測モデルは、独立したパラメータ値の第１のセットと独立したパラメータ値の第２のセットの少なくとも一部を含む独立したパラメータ値の第３のセットにより完全に定義される、計測システム。
17. 請求項１１に記載の計測システムであって、
    前記コンピュータ可読命令は、前記一つもしくは複数の計測ターゲットの下位構造の一部を前記一つもしくは複数のコンピュータシステムが前記ユーザに対しディスプレイから隠すようにするコードを更に含んでいる、計測システム。
18. 計測システムであって、
    一つあるいは複数の計測ターゲットに対しある量の照明光を供給するように構成された照明光源；
    前記ある量の照明光に応答して前記一つあるいは複数の計測ターゲットからある量の集められた光を受け入れるように構成された検出器；及び、
    前記ある量の集められた光に関連するある量の計測データを受け入れると共に、前記ある量の計測データに対する計測モデルのフィッティングに基づいて前記一つあるいは複数の計測ターゲットの前記計測モデルの一つあるいは複数のパラメータを決定するように構成された一つあるいは複数のコンピュータシステム、
    を備え、
    前記計測モデルは、前記一つあるいは複数の計測ターゲットの第１の下位構造の第１の再利用可能なパラメトリックモデルを含み、
    前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルは、多数の幾何学的な要素を含むと共に、独立したパラメータ値の第１のセットによって完全に定義される、計測システム。
19. 請求項１８に記載の計測システムであって、
    前記計測モデルはまた、前記一つあるいは複数の計測ターゲットの第２の下位構造の第２の再利用可能なパラメトリックモデルを含み、
    かつ前記第２の再利用可能なパラメトリックモデルは、多数の幾何学的な要素を含むと共に、独立したパラメータ値の第２のセットによって完全に定義される、計測システム。
20. 請求項１９に記載の計測システムであって、
    前記第１の下位構造の前記第１の再利用可能なパラメトリックモデルの複数の離散化点は、前記第２の下位構造の前記第２の再利用可能なパラメトリックモデルの複数の離散化点と、前記一つあるいは複数のコンピュータシステムの浮動小数点精度の範囲内において一致する、計測システム。