JP2017504555A - 流体及び真空を気密供給するための同心管を備えたモールド組立体 - Google Patents
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Abstract
Description
モールド組立体において、
三次元形状を有するモールド表面によって画成された型穴、及び該型穴に流体又は真空を連通させるための少なくとも1つの開口部を有するモールドと、
前記モールドとの間に、該モールドの少なくとも1つの開口部と連通するチャンバーが画成されるように、前記モールドに取り付けられたプレナムベースと、
前記チャンバー内に配置された冷却プレートと、
各々が前記プレナムベースの近傍に第1の端部及び該プレナムベースの遠方に第2の端部を有し、間に流路が画成されるように、同心に配置された外管及び内管と、
前記内管及び前記プレナムベースの第1の開口部を介して、前記チャンバーに延びる第1の流体管路と、
前記流路から、前記外管のポート及び前記プレナムベースの第2の開口部を介して、前記冷却プレートに延びる第2の流体管路と、
を備えたモールド組立体。
前記外管の端部と、前記第1の開口部近傍の前記プレナムベースとの間に、金属封止接合部が形成されている、実施形態1記載のモールド組立体。
前記流路の先端が、前記外管及び内管の前記第1の端部間に形成された金属封止接合部、及び前記外管及び内管の前記第2の端部間に形成された金属封止接合部によって封止されている、実施形態1又は2記載のモールド組立体。
前記外管が、軸方向に離隔した第1の溝及び第2の溝を備えた異形外面を有する、実施形態1〜3のいずれかに記載のモールド組立体。
前記第1の溝に保持された第1の封止部材、及び前記第2の溝に保持された第2の封止部材を更に備えた、実施例4記載のモールド組立体。
前記第1及び第2の封止部材が、Oリング封止材である、実施例5記載のモールド組立体。
前記異形外面が、前記第1及び第2の溝間に陥凹表面を更に備えている、実施例5記載のモールド組立体。
前記第1及び第2の溝、並びに前記陥凹表面が、前記外管の前記第2の端部の近傍に配置されている、実施例7記載のモールド組立体。
前記第2の流体経路が、前記外管の前記ポートから、前記プレナムベースの前記第2の開口部に延びる第1の管を含んでいる、実施例7記載のモールド組立体。
前記第2の流体経路が、前記第1の管と前記プレナムベースの前記第2の開口部との間に形成された第1の金属封止接合部、及び前記第1の管と前記外管の前記ポートとの間に形成された第2の金属封止接合部を更に含んでいる、実施例9記載のモールド組立体。
前記第2の流体経路が、前記プレナムベースの前記第2の開口部から、前記冷却プレートの開口部に延びる第2の管を更に含んでいる、実施例10記載のモールド組立体。
前記第2の管と前記プレナムベースの前記第2の開口部との間に形成された、第3の金属封止接合部、及び前記第2の管と前記冷却プレートの前記開口部との間に形成された、第4の金属封止接合部を更に含んでいる、実施例11記載のモールド組立体。
前記流路から、前記外管の別のポート及び前記プレナムベースの第3の開口部を介し、前記冷却プレートに延びる、第3の流体経路を更に備えた、実施例1〜12のいずれかに記載のモールド組立体。
前記外管及び内管の前記第2の端部が収容される貫通孔を有する収容部、流体を貫通孔に連通させるための第1のポート、及び流体を貫通孔に連通させるための第2のポートを更に含むと共に、前記第1のポートと前記流路との間に、第1の流体経路、及び前記第2のポートと前記内管との間に、第2の流体経路を更に備えた、実施例1〜13のいずれかに記載のモールド組立体。
前記第1の流体管路が、前記外管に、前記流路に接続された開口部、及び前記外管と該外管の前記開口部の近傍の収容部との間に形成された流体スペースを含んでいる、実施例14記載のモールド組立体。
前記外管の封止材が、前記流体スペースの先端の近傍の収容部に噛合している、実施例15記載のモールド組立体。
前記第2の流体管路と、前記外管、プレナムベース、及び冷却プレートの各々との界面が、金属封止接合部を備えた、実施例1〜16のいずれかに記載のモールド組立体。
前記外管が、前記プレナムベースに接続され、前記外管と前記プレナムベースとの界面が、金属封止接合部を含んでいる、実施例1〜17のいずれかに記載のモールド組立体。
前記内管及び外管の前記第1の端部が、金属封止接合部によって接続されていると共に、前記内管及び外管の前記第2の端部が、金属封止接合部によって接続されている、実施例1〜18のいずれかに記載のモールド組立体。
16 モールド
18 型穴
21 開口部
24 プレナムベース
28 ベースプレート
32 チャンバー
38 冷却プレート
40、42、44 孤立管
40a、42a、44a 金属封止接合部
40b、42b、44b 金属封止接合部
46、48、50 開口部
60 外管
62 内管
64 流路
74、76 サイドポート
78、80 供給管
86、88 溝
94 陥凹表面
98 貫通孔
100 収容部
Claims (10)
- モールド組立体であって、
三次元形状を有するモールド表面によって画成された型穴、及び該型穴に流体又は真空を連通させるための少なくとも1つの開口部を有するモールドと、
プレナムベースであって、前記モールドの少なくとも1つの開口部と連通するチャンバーが前記プレナムベースと前記モールドとの間に画成されるように、前記モールドに取り付けられたプレナムベースと、
前記チャンバー内に配置された冷却プレートと、
各々が前記プレナムベースの近傍に第1の端部及び前記プレナムベースの遠方に第2の端部を有する外管及び内管であって、前記外管と前記内管との間に流路が画成されるように同心に配置された外管及び内管と、
前記内管及び前記プレナムベースの第1の開口部を介して、前記チャンバーに延びる第1の流体管路と、
前記流路から、前記外管のポート及び前記プレナムベースの第2の開口部を介して、前記冷却プレートに延びる第2の流体管路と、
を備えたことを特徴とするモールド組立体。 - 前記外管の端部と、前記プレナムベースの前記第1の開口部近傍の前記プレナムベースとの間に、金属封止接合部が形成されることを特徴とする、請求項1記載のモールド組立体。
- 前記流路が、前記外管及び内管の前記第1の端部間に形成された第1の金属封止接合部、及び前記外管及び内管の前記第2の端部間に形成された第2の金属封止接合部によって、遠位端において封止されることを特徴とする、請求項1又は2記載のモールド組立体。
- 前記外管が、軸方向に離隔した第1の溝及び第2の溝を備えた異形外面を有することを特徴とする、請求項1〜3いずれか1項記載のモールド組立体。
- 前記第1の溝に保持された第1の封止部材、及び前記第2の溝に保持された第2の封止部材を更に備えたことを特徴とする、請求項4記載のモールド組立体。
- 前記第1及び第2の封止部材が、Oリング封止材であることを特徴とする、請求項5記載のモールド組立体。
- 前記異形外面が、前記第1及び第2の溝間に陥凹表面を更に備えたことを特徴とする、請求項5記載のモールド組立体。
- 前記流路から、前記外管の別のポート及び前記プレナムベースの第3の開口部を介し、前記冷却プレートに延びる、第3の流体経路を更に備えることを特徴とする、請求項1〜7いずれか1項記載のモールド組立体。
- 前記外管及び内管の前記第2の端部が収容される貫通孔を有する収容部、該貫通孔に流体を連通させるための第1のポート、及び前記貫通孔に流体を連通させるための第2のポートを更に含むと共に、前記第1のポートと前記流路との間に第1の流体経路、及び前記第2のポートと前記内管との間に第2の流体経路を更に備えたことを特徴とする、請求項1〜8いずれか1項記載のモールド組立体。
- 前記第2の流体管路と、前記外管、プレナムベース、及び冷却プレートの各々との間の界面が、金属封止接合部を備えたことを特徴とする、請求項1〜9いずれか1項記載のモールド組立体。
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