JP2017503256A - 感圧式ディスプレイタッチユニット、タッチスクリーン及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、感圧式ディスプレイタッチユニット、タッチスクリーン及びその製造方法を提供し、該タッチユニットは主に駆動電極、下部電極、及び前記駆動電極と下部電極との間にある誘電体層を含み、前記駆動電極と下部電極との間に圧力を印加するとき、トンネル電流ITが形成され、前記駆動電極と下部電極との間には電圧VTが存在する。本発明のタッチユニットにより、外部圧力を電流信号に変換して、圧力を情報入力方式の一種にすることができ、さらに、それを従来の容量性タッチスクリーン又は抵抗性タッチスクリーンと組み合わせて、該タッチユニットは従来技術のマルチタッチ機能と互換性があるとともに、圧力大きさの変化を鋭く感知することができ、かつ、従来のタッチスクリーンの機能を強化させることもでき、タッチスクリーンのためにより豊富な操作応用を提供している。【選択図】図1
Description
本発明は、タッチ及びディスプレイ技術に関し、特に、タッチスクリーンの基本センサユニットに用いられる感圧式ディスプレイタッチユニット、タッチスクリーン及びその製造方法に関する。
従来のタッチスクリーンは、主に、容量、抵抗、弾性表面波及び光学などの方式でタッチ動作のセンシングを行う。ただし、弾性表面波タッチスクリーン(弾性表面波技術)は、従来のタッチスクリーン技術のうち、タッチ圧力をセンシングし得る唯一の技術であり、しかし、この技術は大きなサイズのものに応用できず、表面汚れに過敏であり、音声に妨害されやすく、マルチタッチの実現が困難であり、静圧への感知が困難であるなどの多くの欠点を有しているため、現在では、携帯電話及びタブレットコンピューターなどのような主流の応用には参入していないため、主流になることが困難である。容量性タッチスクリーンは、マルチタッチを実現することができ、かつ、位置感度が高く、現在の主流となるタッチスクリーン技術である。
タッチスクリーンは、マン−マシンインタラクションの重要でかつ直接な入出力ツールの一種として、いまだにほとんどが二次元に基づくものであり、すなわち、スクリーンに平行するx−y平面上の利用者の動作を感知可能なものである。電子機器がよりスマート化ないしヒューマニゼーション化になるにつれて、例えば、機器に人間の感情を感知させ、適切に応答できるように、より多くのマン−マシンインタラクション方式を開発する必要がある。物体又は他人にタッチ圧を印加すること、例えば、楽器を演奏する力の度合い、絵画時の筆触の加減、及び他人に対して身体タッチ圧の方式で明示又は暗示するなどのことは、人間が情報又は感情を伝える方式の一種である。この考慮に基づき、圧力をマン−マシンインタラクションのもう1つの次元の技術として研究し、圧力センシングを真新しいマン−マシンインタラクション方式にすることは、広く応用される見込みがある。
このことに鑑みて、本発明の主な目的は、感圧式ディスプレイタッチユニット、タッチスクリーン及びその製造方法を提供し、このタッチユニットを利用して外部圧力を電流信号に変換し、圧力を情報入力方式の一種とすることにある。さらに、それを従来の容量性タッチスクリーン又は抵抗性タッチスクリーンと組み合わせて、該タッチユニットが従来技術のマルチタッチ機能と互換性があるとともに、圧力大きさの変化を鋭く感知することができ、さらに、従来のタッチスクリーンの機能を強化させることもでき、タッチスクリーンのためにより豊富な操作応用を提供している。
上記の目的を達成するために、本発明の技術的解決手段は次のように実現される。感圧式ディスプレイタッチユニットであって、駆動電極、下部電極、及び前記駆動電極と下部電極との間にあり、厚さ0.5nm〜5nmの誘電体層、を含む。
ただし、前記駆動電極と下部電極との間に圧力を印加すると、トンネル電流ITが形成され、前記駆動電極と下部電極との間には電圧VTが存在し、前記トンネル電流ITと、駆動電極、下部電極間の電圧VTとの関係は下式で示される。
IT=CVTexp(−AU0d);
(ただし、CとAは比例定数であり、U0は駆動電極と下部電極のエスケープバリアの算術平均値であり、dは誘電体層の厚さである。)
IT=CVTexp(−AU0d);
(ただし、CとAは比例定数であり、U0は駆動電極と下部電極のエスケープバリアの算術平均値であり、dは誘電体層の厚さである。)
前記駆動電極及び下部電極は、透明または半透明の導体であり、その材料は、インジウムスズ酸化物ITO、アルミニウムドープ酸化亜鉛AZO、フッ素ドープ酸化スズFTO、ガリウムドープ酸化亜鉛GZO、グラフェン又は金属ナノワイヤアレイからなる群より選択されるいずれか一種である。
前記誘電体層の材料は、ポリアミド、ポリイミド、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリ尿素、アルミナ、ジルコニア、酸化ハフニウム、シリカ、アルミニウムアルコキシド又はZincone(亜鉛の一つの金属と有機化合物のハイブリッド材料)である。
前記誘電体層は、原子層成長又は分子層成長法により作製される。
前記感圧式ディスプレイタッチユニットを含む容量性タッチスクリーンであって、ガラス又はポリマーのフロントパネル上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイが作製されている。
前記感圧式ディスプレイタッチユニットを含む抵抗性タッチスクリーンであって、前記抵抗性タッチスクリーンのフレキシブル基板上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイが作製され、かつ、絶縁膜で前記アレイが覆われている。
感圧式ディスプレイタッチユニットの製造方法であって、原子層成長又は分子層成長法によって作製され、厚さが0.5nm〜5nm間である1つの誘電体層を駆動電極と下部電極との間に設けることを含む方法である。
前記感圧式ディスプレイタッチユニットの製造方法を含む容量性タッチスクリーンの製造方法であって、ガラス又はポリマーのフロントパネル上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイを作製する方法である。
前記感圧式ディスプレイタッチユニットの製造方法を含む抵抗性タッチスクリーンの製造方法であって、前記抵抗性タッチスクリーンのフレキシブル基板上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイを作製し、かつ、絶縁膜で前記アレイを覆う方法である。
本発明にかかる感圧式ディスプレイタッチユニット、タッチスクリーン及びその製造方法は、次のような利点を有する。
1)該ディスプレイタッチユニットは、外部圧力を電流信号に変換することができ、該電流信号の変化を検知することによってタッチ圧力の大きさを感知することができ、このように、タッチ圧力信号を受信することだけで、接触力の大きさを鋭く感知することができ、これにより、圧力を情報入力方式として利用することが実現される。
1)該ディスプレイタッチユニットは、外部圧力を電流信号に変換することができ、該電流信号の変化を検知することによってタッチ圧力の大きさを感知することができ、このように、タッチ圧力信号を受信することだけで、接触力の大きさを鋭く感知することができ、これにより、圧力を情報入力方式として利用することが実現される。
2)該ディスプレイタッチユニットは、さらに従来の容量性タッチスクリーン及び抵抗性タッチスクリーンと互換性があり、かつ、マルチタッチと互換性があり、前記タッチユニットを容量性タッチスクリーン又は抵抗性タッチスクリーンと組み合わせることで、マルチタッチの機能が実現できるとともに、圧力を鋭く感知することもでき、高感度で多機能(例えば、力フィードバック機能付き)のタッチ/タッチディスプレイの設計及び実現に有利である。
以下、図面及び本発明の実施例を参照しながら、本発明のディスプレイタッチユニット及びその製造方法についてさらに詳しく説明する。
図1は、本発明の感圧式ディスプレイタッチユニットの構造模式図である。図1は、タッチ圧力センサの1つの最も基本的なユニットを示し、主に上部電極(駆動電極)101と、下部電極102と、中間にある超薄型の誘電体層103と、からなる。ただし、前記上部電極101と下部電極102は、いずれも透明または半透明の導体であり、その材料は、インジウムスズ酸化物(ITO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)、グラフェン、金属ナノワイヤアレイなどであってもよいが、これらに限られない。その通常の膜厚及び製造方法は業界に公知されている。
前記中間にある超薄型の誘電体層103は、厚さ範囲が0.5nm〜5nmであり、かつ、緻密性が非常に優れている。その緻密性及び無欠陥の特性を実現するために、該誘電体層103(薄膜である)は、原子層成長(ALD)又は分子層成長(MLD)の方式により作製される。その材料は、ポリアミド、ポリイミド、ポリパラフェニレンテレフタルアミド(PPTA)、ポリ尿素、アルミナ、ジルコニア、酸化ハフニウム、シリカ、アルミニウムアルコキシド(Alucone)又はZinconeなどであってもよいが、これらに限られない。
その動作原理については、前記誘電体層103は、電極における自由電子の障壁であり、障壁の厚さが極めて薄いため、上部電極101と、下部電極102との間に圧力が印加された後、量子力学原理により、電子が障壁を透過して、トンネル電流ITを形成する確率がある。前記トンネル電流ITと、上部、下部電極間の圧力VTとの関係を次のように示す。
IT=CVTexp(−AU0d);
ただし、CとAは比例定数であり、U0は両電極のエスケープバリアの算術平均値であり、dは誘電体層103の厚さである。表現式からわかるように、指でタッチすることにより、超薄型の誘電体層103に変形が発生し、すなわち、厚さdの微小な変化により、トンネル電流ITが指数関数的に影響される。トンネル電流ITの変化を検知することで、タッチ圧力の大きさの変化を検知することができる。
IT=CVTexp(−AU0d);
ただし、CとAは比例定数であり、U0は両電極のエスケープバリアの算術平均値であり、dは誘電体層103の厚さである。表現式からわかるように、指でタッチすることにより、超薄型の誘電体層103に変形が発生し、すなわち、厚さdの微小な変化により、トンネル電流ITが指数関数的に影響される。トンネル電流ITの変化を検知することで、タッチ圧力の大きさの変化を検知することができる。
図2は本発明の1つの実施例に示す、容量性タッチスクリーンと互換性があるタッチ圧力センサの模式図である。図2に示すように、ガラス又はポリマーのフロントパネル205上に、従来の容量性スクリーンの駆動電極201と受信電極202とが形成されている。
ただし、前記駆動電極201と受信電極202の材料は、ITO、AZOなどであってもよいが、これらに限られない。該実施例では、ITOであることが好ましく、その製造方法及びパラメータは容量性タッチスクリーン業界に公知されている。
図2に示すように、駆動パルス信号207は、駆動バッファー206によって駆動電極201に印加され、その後、受信回路209を用いて電荷を受信電極202を介して収集し、x−y平面のタッチ動作及び位置を感知する。
駆動電極201の下方に、超薄型の誘電体層203を設けて、下部電極204とともに感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイを構成する。該誘電体層203は、原子層成長(ALD)又は分子層成長(MLD)により作製することができ、その材料は、ポリアミド、ポリイミド、ポリパラフェニレンテレフタルアミド(PPTA)、ポリ尿素、アルミナ、ジルコニア、酸化ハフニウム、シリカなど、アルミニウムアルコキシド(Alucone)、Zinconeなどであってもよいが、これらに限られない。該実施例では、MLD成長されたポリ尿素であることが好ましく、その膜厚は0.5〜3nmであり、好ましくは1nmである。
誘電体層203上に圧力を印加して前記下部電極204をタッチする。前記下部電極204の一部が、圧力感知回路208と接続されるように伸び出し、駆動パルス信号207の下部電極204上で発生する電流を感知して、圧力の大きさを感知するためである。前記下部電極204の材料は、ITO、AZOなどであってもよいが、これらに限られず、好ましくはITOであり、膜厚が50〜1000nmであり、好ましくは100nmである。
図3は本発明のもう1つの実施例に記載の抵抗性タッチスクリーンと互換性があるタッチ圧力センサの模式図である。図3に示すように、本発明のタッチセンサ基本ユニットは、従来の抵抗性タッチスクリーンと組み合わせ、タッチスクリーン硬質基板301上には、絶縁支点303とタッチスクリーンの他方のフレキシブル基板302とが連結されるように、第1の抵抗膜304が形成されている。前記フレキシブル基板302の最下端には第2の抵抗膜305が形成されている。上記硬質基板301、フレキシブル基板302、絶縁支点303、第1の抵抗膜304及び第2の抵抗膜305のいずれも公知の抵抗性タッチスクリーンの製造方法により形成された。第2の抵抗膜305を形成する前に、まずフレキシブル基板302上に第2の電極(すなわち、駆動電極)308及び超薄型の誘電体層309のアレイを形成してから、第1の電極(すなわち、下部電極)307を形成し、最後に1つの絶縁膜306で該アレイを覆うという点より、従来の抵抗性タッチスクリーンと相違している。
ここで、前記第2の電極308と超薄型の誘電体層309と第1の電極307とは共に、前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイを構成する。
第2の電極308と第1の電極307の材料は、ITO、銀ナノワイヤアレイ、ポリ3,4−エチレンジオキシチオフェン:ポリスチレンスルホネート(PEDOT:PSS)などであってもよいが、これらに限られず、ここでは、PEDOT:PSSであることが好ましく、その製造方法は、インクジェット印刷、プラズマ重合、スピンコート、気相真空成長などであってもよいが、これらに限られず、ここではインクジェット印刷であることが好ましく、その膜厚は500nmである。前記絶縁膜306を製造する材料は、ポリ尿素、ポリイミド、アルミニウムアルコキシドなどであってもよいが、これらに限られず、ここではポリ尿素であることが好ましく、その膜厚は0.8nmであることが好ましく、成長方法はMLDである。
使用時に、第1の電極307によって電圧を印加し、第2の電極308アレイ上の各々の検出ポイントでの電流を感知することで、圧力を感知する。
以上の説明は、本発明の好適な実施例に過ぎず、本発明の保護範囲を制限するためではない。
Claims (10)
- 駆動電極、下部電極、及び前記駆動電極と下部電極との間にあり、厚さ0.5nm〜5nmの誘電体層、を含むことを特徴とする感圧式ディスプレイタッチユニット。
- 前記駆動電極と下部電極との間に圧力を印加すると、トンネル電流ITが形成され、前記駆動電極と下部電極との間には電圧VTが存在し、前記トンネル電流ITと、駆動電極、下部電極間の電圧VTとの関係は下式で示されることを特徴とする請求項1に記載の感圧式ディスプレイタッチユニット。
IT=CVTexp(−AU0d);
(ただし、CとAは比例定数であり、U0は駆動電極と下部電極のエスケープバリアの算術平均値であり、dは誘電体層の厚さである。) - 前記駆動電極及び下部電極は、透明または半透明の導体であり、その材料は、インジウムスズ酸化物ITO、アルミニウムドープ酸化亜鉛AZO、フッ素ドープ酸化スズFTO、ガリウムドープ酸化亜鉛GZO、グラフェン又は金属ナノワイヤアレイからなる群より選択されるいずれか一種であることを特徴とする請求項1又は2に記載の感圧式ディスプレイタッチユニット。
- 前記誘電体層の材料は、ポリアミド、ポリイミド、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリ尿素、アルミナ、ジルコニア、酸化ハフニウム、シリカ、アルミニウムアルコキシド又はZinconeであることを特徴とする請求項2に記載の感圧式ディスプレイタッチユニット。
- 前記誘電体層は、原子層成長又は分子層成長法により作製されることを特徴とする請求項2又は4に記載の感圧式ディスプレイタッチユニット。
- ガラス又はポリマーのフロントパネル上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイが作製されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の感圧式ディスプレイタッチユニットを含む容量性タッチスクリーン。
- 抵抗性タッチスクリーンのフレキシブル基板上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイが作製され、かつ、絶縁膜で前記アレイが覆われていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の感圧式ディスプレイタッチユニットを含む抵抗性タッチスクリーン。
- 原子層成長又は分子層成長法によって作製され、厚さが0.5nm〜5nm間である1つの誘電体層を駆動電極と下部電極との間に設けることを含むことを特徴とする感圧式ディスプレイタッチユニットの製造方法。
- ガラス又はポリマーのフロントパネル上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイを作製する方法であることを特徴とする請求項8に記載の感圧式ディスプレイタッチユニットの製造方法を含む容量性タッチスクリーンの製造方法。
- 前記抵抗性タッチスクリーンのフレキシブル基板上に前記感圧式ディスプレイタッチユニットのアレイを作製し、かつ、絶縁膜で前記アレイを覆うことを特徴とする請求項8に記載の感圧式ディスプレイタッチユニットの製造方法を含む抵抗性タッチスクリーンの製造方法。
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