JP2017502500A5 - - Google Patents

Claims (37)

1. ウエハ上で検出された欠陥を分類するための方法であって、
   ウエハ上で検出された欠陥の分類のための決定木を、前記決定木の中の１つ以上の浮動木を変更することによって作成することであって、前記１つ以上の浮動木は、個別の単位として操作される部分木である、作成することと、
   前記ウエハ上で検出された前記欠陥を、前記決定木を前記欠陥に適用することによって分類することと、を含み、前記作成及び前記分類は、１つ以上のコンピュータシステムによって行われる、方法。
2. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木を前記決定木の１つのノードから前記決定木の別のノードに切り取り、コピーし、貼り付け、または移動させることを含む、請求項１に記載の方法。
3. 前記作成中に前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを少なくとも１つの集約ノードに折り畳むことを更に含む、請求項１に記載の方法。
4. 前記作成中に前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを少なくとも１つの集約ノードに折り畳むことを更に含み、前記折り畳みは、前記少なくとも１つの浮動木の中に含まれる全ての葉ノードを前記少なくとも１つの集約ノードに折り畳むことを含む、請求項１に記載の方法。
5. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを、前記少なくとも１つの浮動木が保存されている少なくとも１つのファイルから取り込むことを含む、請求項１に記載の方法。
6. 前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つは、単一の欠陥クラスのためのビンナーである、請求項１に記載の方法。
7. 前記１つ以上の浮動木のうちの第１の浮動木は、第１の欠陥クラスのみのためのビンナーであり、前記１つ以上の浮動木のうちの第２の浮動木は、第２の欠陥クラスのみのためのビンナーであり、前記決定木は、少なくとも前記第１及び第２の欠陥クラスの分類のために作成される、請求項１に記載の方法。
8. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを取り込むことと、前記少なくとも１つの取り込まれた浮動木の１つ以上のパラメータを前記ウエハ上で検出された前記欠陥のデータに適合させるように調整することとを含む、請求項１に記載の方法。
9. 前記少なくとも１つの取り込まれた浮動木の前記１つ以上のパラメータの調整は、前記少なくとも１つの取り込まれた浮動木を前記欠陥の前記データに適用した結果の不純度及びマージンを最適化することを含む、請求項８に記載の方法。
10. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項１に記載の方法。
11. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木によってビンニングされた欠陥クラスの重大度に基づいて、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項１に記載の方法。
12. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木によってビンニングされた欠陥クラスの純度に基づいて、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項１に記載の方法。
13. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木の精度に基づいて、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項１に記載の方法。
14. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木を並列状に配置することを含む、請求項１に記載の方法。
15. 前記欠陥の分類は、前記欠陥の各々が２つ以上のクラスにビンニングされているかを判定することと、ある欠陥が２つ以上のクラスにビンニングされている場合に、前記欠陥がビンニングされているクラス間で調停を行って、前記欠陥の最終分類を判定することと、を含む、請求項１４に記載の方法。
16. 前記調停は、前記クラスの重大性、前記クラスの純度、前記クラスの精度、それらの訓練セット中の前記クラスのビンのサイズ、前記欠陥が分類されたクラスの数及び種類の統計的尺度、またはそれらの組み合わせに基づいて行われる、請求項１５に記載の方法。
17. 前記調停は、前記クラスの優先順位に基づいて行われる、請求項１５に記載の方法。
18. 前記分類は、自動的に行われる、請求項１に記載の方法。
19. ウエハ上で検出された欠陥を分類するためのコンピュータ実装方法を実行するためのコンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令を記憶する、非一時的コンピュータ可読媒体であって、前記コンピュータ実装方法は、
    ウエハ上で検出された欠陥の分類のための決定木を、前記決定木の中の１つ以上の浮動木を変更することによって作成することであって、前記１つ以上の浮動木は、個別の単位として操作される部分木である、作成することと、
    前記ウエハ上で検出された前記欠陥を、前記決定木を前記欠陥に適用することによって分類することと、を含み、前記作成及び前記分類は、１つ以上のコンピュータシステムによって行われる、方法。
20. ウエハの少なくとも一部を走査し、それにより前記ウエハの前記少なくとも一部からの光に応答して出力を生成するように構成された光学サブシステムと、
    コンピュータサブシステムであって、
    前記出力に基づいて前記ウエハ上の欠陥を検出することと、
    前記欠陥の分類のための決定木を、前記決定木の中の１つ以上の浮動木を変更することによって作成することであって、前記１つ以上の浮動木は、個別の単位として操作される部分木である、作成することと、
    前記ウエハ上で検出された前記欠陥を、前記決定木を前記欠陥に適用することによって分類することと、を行うように構成される、コンピュータサブシステムと、を備える、ウエハ検査ツール。
21. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木を前記決定木の１つのノードから前記決定木の別のノードに切り取り、コピーし、貼り付け、または移動させることを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
22. 前記コンピュータサブシステムは、前記作成中に前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを少なくとも１つの集約ノードに折り畳むことを行うように更に構成される、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
23. 前記コンピュータサブシステムは、前記作成中に前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを少なくとも１つの集約ノードに折り畳むことを行うように更に構成され、前記折り畳みは、前記少なくとも１つの浮動木の中に含まれる全ての葉ノードを前記少なくとも１つの集約ノードに折り畳むことを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
24. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを、前記少なくとも１つの浮動木が保存されている少なくとも１つのファイルから取り込むことを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
25. 前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つは、単一の欠陥クラスのためのビンナーである、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
26. 前記１つ以上の浮動木のうちの第１の浮動木は、第１の欠陥クラスのみのためのビンナーであり、前記１つ以上の浮動木のうちの第２の浮動木は、第２の欠陥クラスのみのためのビンナーであり、前記決定木は、少なくとも前記第１及び第２の欠陥クラスの分類のために作成される、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
27. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木のうちの少なくとも１つを取り込むことと、前記少なくとも１つの取り込まれた浮動木の１つ以上のパラメータを前記ウエハ上で検出された前記欠陥のデータに適合させるように調整することとを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
28. 前記少なくとも１つの取り込まれた浮動木の前記１つ以上のパラメータの調整は、前記少なくとも１つの取り込まれた浮動木を前記欠陥の前記データに適用した結果の不純度及びマージンを最適化することを含む、請求項２７に記載のウエハ検査ツール。
29. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
30. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木によってビンニングされた欠陥クラスの重大度に基づいて、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
31. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木によってビンニングされた欠陥クラスの純度に基づいて、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
32. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木の精度に基づいて、前記１つ以上の浮動木をカスケード状に配置することを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
33. 前記１つ以上の浮動木の変更は、前記１つ以上の浮動木を並列状に配置することを含む、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。
34. 前記欠陥の分類は、前記欠陥の各々が２つ以上のクラスにビンニングされているかを判定することと、ある欠陥が２つ以上のクラスにビンニングされている場合に、前記欠陥がビンニングされているクラス間で調停を行って、前記欠陥の最終分類を判定することと、を含む、請求項３３に記載のウエハ検査ツール。
35. 前記調停は、前記クラスの重大性、前記クラスの純度、前記クラスの精度、それらの訓練セット中の前記クラスのビンのサイズ、前記欠陥が分類されたクラスの数及び種類の統計的尺度、またはそれらの組み合わせに基づいて行われる、請求項３４に記載のウエハ検査ツール。
36. 前記調停は、前記クラスの優先順位に基づいて行われる、請求項３４に記載のウエハ検査ツール。
37. 前記分類は、自動的に行われる、請求項２０に記載のウエハ検査ツール。