JP2017500758A - 複数のフィン高を有するフィン電界効果トランジスタを製造するシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、その内容全体が参照により本明細書に明白に組み込まれる、2013年12月9日出願の、同一出願人が所有する米国非仮特許出願第14/100489号の優先権を主張する。
104 第1のFinFET
106 第2のFinFET
108 第1のエッチングストップ層
110 基板
112 第1のフィン
114 第1の酸化物層
116 第1の金属ゲート
118 第1のフィン層
120 第2のフィン層
122 中間層
124 第2のフィン
126 第2の酸化物層
128 第2の金属ゲート
130 領域
132 領域
134 容量性被膜層
136 層間誘電体(ILD)層
208 第1の化合物層
210 第2のエッチングストップ層
212 第2の化合物層
214 第1のダミーポリゲート
216 第2のダミーポリゲート
500 ワイヤレス通信デバイス
510 プロセッサ
522 システムオンチップデバイス
526 ディスプレイコントローラ
528 ディスプレイ
530 入力デバイス
532 メモリ
534 コーダ/デコーダ(コーデック)
536 スピーカ
538 マイクロフォン
540 ワイヤレスインターフェース
542 アンテナ
544 電源
564 デバイス
568 命令
602 物理デバイス情報
604 ユーザインターフェース
606 研究コンピュータ
608 プロセッサ
610 メモリ
612 ライブラリファイル
614 設計コンピュータ
616 プロセッサ
618 メモリ
620 電子設計自動化(EDA)ツール
622 回路設計情報
624 ユーザインターフェース
626 GDSIIファイル
632 代表的マスク
634 ウェハ
636 ダイ
638 パッケージングプロセス
640 代表的パッケージ
642 PCB設計情報
644 ユーザインターフェース
646 コンピュータ
648 プロセッサ
650 メモリ
652 GERBERファイル
656 代表的PCB
658 PCA
662 第1の代表的電子デバイス
664 第2の代表的電子デバイス
Claims (29)
- 第1のエッチングストップ層の表面から延びる第1のフィン電界効果トランジスタ(FinFET)デバイスと、
第2のエッチングストップ層の表面から延びる第2のFinFETデバイスであって、第1の化合物層が、前記第1のエッチングストップ層と前記第2のエッチングストップ層との間に置かれる、第2のFinFETデバイスと
を備える装置。 - 前記第1のFinFETデバイスが、
第1の金属ゲートと、
第1の酸化物層と、
第1のフィンであって、第1のフィン層、第2のフィン層、および前記第1のフィン層と前記第2のフィン層との間に置かれる中間層を含む、第1のフィンとを含み、
前記第2のFinFETデバイスが、
第2の金属ゲートと、
第2の酸化物層と、
第2のフィンとを含む請求項1に記載の装置。 - 前記中間層が、第1のバンドギャップエネルギーを有する第1の材料を使用して形成され、前記第2のフィン層が、前記第1のバンドギャップエネルギーよりも低い第2のバンドギャップエネルギーを有する第2の材料を使用して形成される請求項2に記載の装置。
- 前記第1のエッチングストップ層と前記第2のエッチングストップ層が、同一の材料を使用して形成される請求項2に記載の装置。
- 前記中間層が、第1のIII−V族化合物を使用して形成され、前記第1のフィン層および前記第2のフィン層が、前記第1のIII−V族化合物よりも低いバンドギャップエネルギーを有する第2のIII−V族化合物を使用して形成される請求項2に記載の装置。
- 前記第1のIII−V族化合物がアルミニウムヒ素を含み、前記第2のIII−V族化合物がガリウムヒ素を含む請求項5に記載の装置。
- 前記第1のIII−V族化合物がインジウムアルミニウムヒ素を含み、前記第2のIII−V族化合物がインジウムガリウムヒ素を含む請求項5に記載の装置。
- 前記中間層が、第1のII−VI族化合物を使用して形成され、前記第1のフィン層および前記第2のフィン層が、前記第1のII−VI族化合物(ZnTeなど)よりも低いバンドギャップエネルギーを有する第2のII−VI族化合物(CdTeなど)を使用して形成される請求項2に記載の装置。
- 前記第1のFinFETデバイスが、前記第1のフィン層および前記第2のフィン層によって画定される第1のフィン高を有し、前記第2のFinFETデバイスが、前記第2のフィンによって画定される第2のフィン高を有する請求項2に記載の装置。
- 前記第1のフィン高が前記第2のフィン高とは異なる請求項9に記載の装置。
- 前記中間層が、前記第2のエッチングストップ層の第2の領域に対応する請求項2に記載の装置。
- 前記第1のフィン層が、第2の化合物層の第1の領域に対応し、前記第2のフィン層が、前記第1の化合物層の第1の領域に対応し、前記第2のフィンが、前記第2の化合物層の第2の領域に対応する請求項2に記載の装置。
- 第1のエッチングストップ層の表面から延びる第1のフィン電界効果トランジスタ(FinFET)デバイスを形成するステップと、
第2のエッチングストップ層の表面から延びる第2のFinFETデバイスを形成するステップであって、第1の化合物層が、前記第1のエッチングストップ層と前記第2のエッチングストップ層との間に置かれる、ステップと
を含む方法。 - 基板の表面上に前記第1のエッチングストップ層を形成するステップと、
前記第1のエッチングストップ層の表面上に前記第1の化合物層を形成するステップと、
前記第1の化合物層の表面上に前記第2のエッチングストップ層を形成するステップと、
前記第2のエッチングストップ層の表面上に第2の化合物層を形成するステップと
をさらに含む請求項13に記載の方法。 - 前記第2の化合物層をパターニングして、前記第1のFinFETデバイスの第1のフィンの第1のフィン層を形成し、前記第2のFinFETデバイスの第2のフィンを形成するステップと、
前記第2のエッチングストップ層をパターニングして、前記第1のフィンの中間層を形成するステップと、
前記第1の化合物層をパターニングして、前記第1のフィンの第2のフィン層を形成するステップと
をさらに含む請求項14に記載の方法。 - 前記第1のFinFETデバイスが、
第1の金属ゲートと、
第1の酸化物層と、
第1のフィンであって、第1のフィン層、第2のフィン層、および前記第1のフィン層と前記第2のフィン層との間に置かれる中間層を含む、第1のフィンとを含み、
前記第2のFinFETデバイスが、
第2の金属ゲートと、
第2の酸化物層と、
第2のフィンとを含む請求項15に記載の方法。 - 前記中間層が、第1のバンドギャップエネルギーを有する第1の材料を使用して形成され、前記第2のフィン層が、前記第1のバンドギャップエネルギーよりも低い第2のバンドギャップエネルギーを有する第2の材料を使用して形成される請求項16に記載の方法。
- 前記第1のエッチングストップ層と前記第2のエッチングストップ層が、同一の材料を使用して形成される請求項16に記載の方法。
- 前記中間層が、第1のIII−V族化合物を使用して形成され、前記第1のフィン層および前記第2のフィン層が、前記第1のIII−V族化合物よりも低いバンドギャップエネルギーを有する第2のIII−V族化合物を使用して形成される請求項16に記載の方法。
- 前記第1のIII−V族化合物がアルミニウムヒ素を含み、前記第2のIII−V族化合物がガリウムヒ素を含む請求項19に記載の方法。
- 前記第1のIII−V族化合物がインジウムアルミニウムヒ素を含み、前記第2のIII−VI族化合物がインジウムガリウムヒ素を含む請求項19に記載の方法。
- 前記中間層が、第1のII−VI族化合物を使用して形成され、前記第1のフィン層および前記第2のフィン層が、第1のII−VI族化合物よりも低いバンドギャップエネルギーを有する第2のII−VI族化合物を使用して形成される請求項16に記載の方法。
- 前記第1のII−VI族化合物がテルル化亜鉛であり、前記第2のII−VI族化合物がテルル化カドミウムである請求項22に記載の方法。
- 前記第1のFinFETデバイスが、前記第1のフィン層および前記第2のフィン層によって画定される第1のフィン高を有し、前記第2のFinFETデバイスが、前記第2のフィンによって画定される第2のフィン高を有する請求項16に記載の方法。
- 前記第1のフィン高が前記第2のフィン高とは異なる請求項24に記載の方法。
- 基板と、
前記基板から延びるフィン型半導体デバイスであって、
第1のフィン型伝導チャネルを設けるための手段であって、第1のエッチングストップ層の表面から延びる第1のフィン電界効果トランジスタ(FinFET)デバイスを備える手段と、
第2のフィン型伝導チャネルを設けるための手段であって、第2のエッチングストップ層の表面から延びる第2のFinFETデバイスを備え、第1の化合物層が、前記第1のエッチングストップ層と前記第2のエッチングストップ層との間に置かれる手段と
を備えるフィン型半導体デバイスと
を備える装置。 - 命令を記憶するコンピュータ可読記憶デバイスであって、前記命令が、
第1のエッチングストップ層の表面から延びる第1のフィン電界効果トランジスタ(FinFET)デバイスの形成を開始すること、および
第2のエッチングストップ層の表面から延びる第2のFinFETデバイスの形成を開始することであって、第1の化合物層が、前記第1のエッチングストップ層と前記第2のエッチングストップ層との間に置かれる、開始すること
を含む動作を実施するようにプロセッサによって実行可能であるコンピュータ可読記憶デバイス。 - 前記動作が、
基板の表面上の前記第1のエッチングストップ層の形成を開始すること、
前記第1のエッチングストップ層の表面上の前記第1の化合物層の形成を開始すること、
前記第1の化合物層の表面上の前記第2のエッチングストップ層の形成を開始すること、および
前記第2のエッチングストップ層の表面上の第2の化合物層の形成を開始すること
をさらに含む請求項27に記載のコンピュータ可読記憶デバイス。 - 前記動作が、
前記第2の化合物層のパターニングを開始して、前記第1のFinFETデバイスの第1のフィンの第1のフィン層を形成し、前記第2のFinFETデバイスの第2のフィンを形成すること、
前記第2のエッチングストップ層のパターニングを開始して、前記第1のフィンの中間層を形成すること、および
前記第1の化合物層のパターニングを開始して、前記第1のフィンの第2のフィン層を形成すること
をさらに含む請求項28に記載のコンピュータ可読記憶デバイス。
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US9466690B1 (en) | 2016-01-13 | 2016-10-11 | International Business Machines Corporation | Precisely controlling III-V height |
US9679887B1 (en) * | 2016-06-02 | 2017-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Over-voltage protection circuit |
CN109478566B (zh) | 2016-06-17 | 2022-09-02 | 英特尔公司 | 一种场效应晶体管及其制作方法、cmos集成电路、移动计算机平台 |
US20180033789A1 (en) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | Globalfoundries Inc. | Method, apparatus, and system for reducing dopant concentrations in channel regions of finfet devices |
US10886408B2 (en) * | 2016-09-29 | 2021-01-05 | Intel Corporation | Group III-V material transistors employing nitride-based dopant diffusion barrier layer |
US11075119B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-07-27 | Intel Corporation | Vertically stacked transistors in a pin |
WO2019066885A1 (en) * | 2017-09-29 | 2019-04-04 | Intel Corporation | ENHANCED CHANNEL LAYER FORMED IN TRENCHING TECHNIQUE |
US10535529B2 (en) | 2018-06-05 | 2020-01-14 | International Business Machines Corporation | Semiconductor fin length variability control |
US10636791B1 (en) * | 2018-10-16 | 2020-04-28 | International Business Machines Corporation | Vertical field-effect transistors for monolithic three-dimensional semiconductor integrated circuit devices |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050239242A1 (en) * | 2004-04-23 | 2005-10-27 | International Business Machines Corporation | structure and method of manufacturing a finFet device having stacked fins |
US20070218628A1 (en) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Freescale Semiconductor, Inc. | Electronic device including a semiconductor fin and a process for forming the electronic device |
US20080122013A1 (en) * | 2006-11-06 | 2008-05-29 | International Business Machines Corporation | Semiconductor structure with multiple fins having different channel region heights and method of forming the semiconductor structure |
JP2009200471A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-09-03 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | 改良されたキャリア移動度を有するマルチゲート半導体デバイスの製造方法 |
US20130062672A1 (en) * | 2011-09-08 | 2013-03-14 | Huilong Zhu | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US20130062699A1 (en) * | 2011-09-08 | 2013-03-14 | Huilong Zhu | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US20130069112A1 (en) * | 2011-09-21 | 2013-03-21 | Huilong Zhu | Sram cell and method for manufacturing the same |
US20130175618A1 (en) * | 2012-01-05 | 2013-07-11 | International Business Machines Corporation | Finfet device |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7285807B2 (en) * | 2005-08-25 | 2007-10-23 | Coldwatt, Inc. | Semiconductor device having substrate-driven field-effect transistor and Schottky diode and method of forming the same |
US7564074B2 (en) * | 2005-08-25 | 2009-07-21 | Flextronics International Usa, Inc. | Semiconductor device including a lateral field-effect transistor and Schottky diode |
US20080128797A1 (en) | 2006-11-30 | 2008-06-05 | International Business Machines Corporation | Structure and method for multiple height finfet devices |
US20090057780A1 (en) * | 2007-08-27 | 2009-03-05 | International Business Machines Corporation | Finfet structure including multiple semiconductor fin channel heights |
JP2010016353A (ja) * | 2008-06-03 | 2010-01-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | AlxGa(1−x)As基板、赤外LED用のエピタキシャルウエハ、赤外LED、AlxGa(1−x)As基板の製造方法、赤外LED用のエピタキシャルウエハの製造方法および赤外LEDの製造方法 |
US8281262B2 (en) * | 2008-12-30 | 2012-10-02 | Texas Instruments Incorporated | Partitioning features of a single IC layer onto multiple photolithographic masks |
US8796777B2 (en) | 2009-09-02 | 2014-08-05 | Qualcomm Incorporated | Fin-type device system and method |
JP5166458B2 (ja) | 2010-01-22 | 2013-03-21 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
CN103000686B (zh) * | 2011-09-08 | 2016-02-24 | 中国科学院微电子研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
US9159823B2 (en) * | 2011-12-09 | 2015-10-13 | Intel Corporation | Strain compensation in transistors |
US8445334B1 (en) * | 2011-12-20 | 2013-05-21 | International Business Machines Corporation | SOI FinFET with recessed merged Fins and liner for enhanced stress coupling |
US9012284B2 (en) * | 2011-12-23 | 2015-04-21 | Intel Corporation | Nanowire transistor devices and forming techniques |
WO2013101003A1 (en) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | Intel Corporation | Techniques and configurations for stacking transistors of an integrated circuit device |
US8361894B1 (en) | 2012-04-04 | 2013-01-29 | Globalfoundries Inc. | Methods of forming FinFET semiconductor devices with different fin heights |
-
2013
- 2013-12-09 US US14/100,489 patent/US9412818B2/en active Active
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050239242A1 (en) * | 2004-04-23 | 2005-10-27 | International Business Machines Corporation | structure and method of manufacturing a finFet device having stacked fins |
US20070218628A1 (en) * | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Freescale Semiconductor, Inc. | Electronic device including a semiconductor fin and a process for forming the electronic device |
US20080122013A1 (en) * | 2006-11-06 | 2008-05-29 | International Business Machines Corporation | Semiconductor structure with multiple fins having different channel region heights and method of forming the semiconductor structure |
JP2009200471A (ja) * | 2007-12-19 | 2009-09-03 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | 改良されたキャリア移動度を有するマルチゲート半導体デバイスの製造方法 |
US20130062672A1 (en) * | 2011-09-08 | 2013-03-14 | Huilong Zhu | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US20130062699A1 (en) * | 2011-09-08 | 2013-03-14 | Huilong Zhu | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US20130069112A1 (en) * | 2011-09-21 | 2013-03-21 | Huilong Zhu | Sram cell and method for manufacturing the same |
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