JP2017228736A - 半導体装置、半導体装置の製造方法および固有情報の生成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
仮に、集積回路部110のトランジスタとPUF用回路132のトランジスタのチャンネル長Lが等しい場合、チャンネル幅W2は、チャンネル幅W1よりも小さく設計されるようにしてもよい。
110:集積回路部
120:入出力部
130:固有情報生成部
132:PUF用回路
134:コード発生部
140:符号化部
150:差動増幅器
200、200A:集積回路部のトランジスタ
300、300A:PUF用回路のトランジスタ
Claims (17)
- 第1の設計条件に従い設計された第1の回路と、第1の設計条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の設計条件に従い設計された第2の回路を製造する工程を含み、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成する機能を備えた半導体装置の製造方法。 - 第1の製造条件に従い第1の回路を製造し、第1の製造条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の製造条件に従い第2の回路を製造する工程を含み、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成する機能を備えた半導体装置の製造方法。 - 第1の設計条件に従い設計された第1の回路を第1の製造条件で製造し、第1の設計条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の設計条件に従い設計された第2の回路を、第1の製造条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の製造条件で製造する工程を含み、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成する機能を備えた半導体装置の製造方法。 - 第1の設計条件は、トランジスタのチャンネル幅をW1にすることを含み、第2の設計条件は、トランジスタのチャンネル幅をW1よりも小さいW2にすることを含む、請求項1または3に記載の半導体装置の製造方法。
- チャンネル幅W1は、設計上許容される値であり、チャンネル幅W2は、設計上許容される値よりも小さい値である、請求項1、3または4に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の製造条件は、チャネル長が一定以下であるときトランジスタの拡散領域をLDD構造にすることを含み、第2の製造条件は、チャネル長が一定以下であるときトランジスタの拡散領域をLDD構造にしないことを含む、請求項2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の製造条件は、基板表面に第1の不純物濃度が形成されるようにチャンネルイオン注入を行うことを含み、第2の製造条件は、基板表面よりも深い位置に第1の不純物濃度が形成されるようにチャンネルイオン注入を行うことを含む、請求項2または3に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の製造条件は、基板表面よりも深い位置に第1の不純物濃度よりも高い第2の不純物濃度が形成されるようにチャンネルイオン注入を行うことを含み、第2の製造条件は、基板表面に第2の不純物濃度が形成されるようにチャンネルイオン注入を行うことを含む、請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1の設計条件に従い設計された第1の回路と、第1の設計条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の設計条件に従い設計された第2の回路とを含み、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成するステップを含む、半導体装置の固有情報の生成方法。 - 第1の製造条件に従い第1の回路を製造し、第1の製造条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の製造条件に従い第2の回路とを含み、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成するステップを含む、半導体装置の固有情報の生成方法。 - 第1の設計条件は、トランジスタのチャンネル幅をW1にすることを含み、第2の設計条件は、トランジスタのチャンネル幅をW1よりも小さいW2にすることを含む、請求項9に記載の固有情報の生成方法。
- 第1の製造条件は、チャネル長が一定以下であるときトランジスタの拡散領域をLDD構造にすることを含み、第2の製造条件は、チャネル長が一定以下であるときトランジスタの拡散領域をLDD構造にしないことを含む、請求項10に記載の固有情報の生成方法。
- 第1の製造条件は、基板表面に第1の不純物濃度が形成されるようにチャンネルイオン注入を行うことを含み、第2の製造条件は、基板表面よりも深い位置に第1の不純物濃度が形成されるようにチャンネルイオン注入を行うことを含む、請求項10に記載の固有情報の生成方法。
- 第1の設計条件によって構成されている第1の回路と、
第1の設計条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の設計条件によって構成されている第2の回路と、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成する生成回路と、
を含む半導体装置。 - 第1の製造条件によって構成されている第1の回路と、
第1の製造条件よりも回路素子のバラツキが大きくなる要因を含む第2の製造条件によって構成されている第2の回路と、
第2の回路の回路素子の出力に基づき固有情報を生成する生成回路と、
を含む半導体装置。 - 第2の回路は、並列に接続された複数のトランジスタを含み、前記生成回路は、複数のトランジスタがオンされたときのドレイン電流を検出する検出回路と、当該検知回路の出力に基づき符号化情報を生成する符号化部とを含む、請求項15に記載の半導体装置。
- 第2の回路は、2つのインバータを1組とする複数組のインバータを含み、前記生成回路は、各組のインバータにリーク電流がながれるときの差電圧を比較する比較し、比較結果に基づき符号化情報を生成する回路とを含む、請求項15に記載の半導体装置。
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