JP2017223806A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供する。【解決手段】１又は２以上の延長ユニット３の基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニット４と、１又は２以上の延長ユニット３の先端部に接続可能に構成され照明部を含む先端ユニット２と、接眼レンズユニット４に設けられ可視光を透過しかつ照明部の光量を調整する光量調整信号を含む赤外光を各延長ユニットのリレーレンズ系の光軸に沿って反射するように構成されたミラー５８と、ミラー５８に向けて赤外光を出射する発光部６１と、先端ユニット２に設けられ可視光を透過しかつ各延長ユニット３のリレーレンズ系からの赤外光を反射するように構成されたミラー４２と、ミラー４２において反射された赤外光を受光する受光部４５と、を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、検査装置に関し、特に、長さを変更可能な検査装置に関する。

従来より、工業用内視鏡等の検査装置が広く利用されている。例えば、タービンロータの中心穴の表面検査のための穴内表面検査装置が、特開平１−１９６５４５号公報に提案されている。

その提案の装置では、先端部に設けられたCCDテレビカメラにより検査部位の画像が取得され、検査者は、モニタに表示されたその画像を見て検査を行うことができる。このような装置は、各種検査対象に穿設された穴等の内表面の検査に用いることができる。

また、リレーレンズを有する複数の筒部を連結して構成された硬性鏡も知られている。筒部の数を調整することにより、検査対象に応じて硬性鏡の挿入部の長さを調整することができる。その硬性鏡では、手元側に照明用の電源が配置され、電源からの電力は、各筒部に設けられた配線を介して、先端部の照明部に供給される。

特開平０１−１９６５４５号公報

しかし、上述した特開平１−１９６５４５号公報に提案の装置の場合、検査対象をCCDカメラによる画像ではなく、光学系を通った検査対象の反射光を目で見て観察したいという要求に対しては、対応できない。

さらに、上述した特開平１−１９６５４５号公報に提案の装置の場合、検査装置本体を牽引する牽引ケーブルを巻き取り及び送り出すためのプーリ、電動ウインチ等の移動装置、CCDカメラの画像を処理する画像処理部、さらに画像を表示するテレビモニタも必要となり、検査システムが大がかりになるという問題がある。

また、上述したリレーレンズを有する複数の筒部が連結された硬性鏡の場合、硬性鏡の挿入部の長さを調整することはできるが、各筒部に設けられた配線は、接続された隣接する筒部の配線と、筒部に設けられた接点同士の接触により、手元側の電源からの電力が先端部の照明部に供給される。そのため、接点の劣化、接触不良などにより照明が点灯しない場合があるという問題がある。また、手元に電源を設けた場合、挿入部の長さが変化すると、配線の抵抗も変化して明るさが変わるので、照明部の光量調整が必要になり、面倒である。

そこで、本発明は、CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供することを目的とする。

本発明の一態様の検査装置は、互いに連結可能に構成された１又は２以上の延長ユニットと、前記１又は２以上の延長ユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、前記１又は２以上の延長ユニットの先端部に接続可能に構成され、対物レンズ及び照明部を含む先端ユニットと、前記接眼レンズユニットに設けられ、可視光を透過し、かつ前記照明部の光量を調整する光量調整信号を含む所定の波長帯域の光を前記１又は２以上の延長ユニットのリレーレンズ系の光軸に沿って反射するように構成された第１のミラーと、前記第１のミラーに向けて、前記所定の波長帯域の光を出射する発光部と、前記先端ユニットに設けられ、前記可視光を透過し、かつ前記１又は２以上の延長ユニットの前記リレーレンズ系からの前記所定の波長帯域の光を反射するように構成された第２のミラーと、前記第２のミラーにおいて反射された前記所定の波長帯域の光を受光する受光部と、を有する。

本発明によれば、CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供することができる。

本発明の実施の形態に係わる検査装置の構成を示す断面図である。 本発明の実施の形態に係わる先端ユニット２の先端部分の断面図である。 本発明の実施の形態に係わる、観察ユニット１４が装着された先端ユニット２の先端部分の斜め上方からの斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、観察ユニット１４が装着されていない先端ユニット２の先端部分の斜め前方からの斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる先端硬質部１１を先端側から見た図である。 本発明の実施の形態に係わる観察ユニット１４の斜め前方から見た斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる観察ユニット１４の斜め後方から見た斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる観察ユニット１４の基端側から見た図である。 本発明の実施の形態に係わる直視用の観察ユニットの断面図である。 本発明の実施の形態に係わる斜視用の観察ユニットの断面図である。 本発明の実施の形態に係わる、連結部１２と基端接続部１３との接続を説明するための斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、延長ユニット３の前側筒体１６ａを前方斜め方向から見た斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、延長ユニット３の後側筒体１６ｂを後方斜め方向から見た斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる接眼レンズユニット４の光軸方向に沿った断面図である。 本発明の実施の形態に係わる、アダプタによりユーザが上から覗き込むようにして内視鏡画像を見ることができる検査装置の例を示す構成図である。 本発明の実施の形態に係わる、分岐ユニットにより連結される延長ユニット３の延出方向が種々の方向に変更された検査装置の例を示す構成図である。 本発明の実施の形態に係わる、自動化された検査装置の例の構成図である。 本発明の実施の形態に係わる接眼レンズユニット４の斜め前方から見た接眼レンズユニット４の先端部の斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、発光部６１の構成を示す先端ユニット２の部分断面図である。 本発明の実施の形態に係わる、板状の拡散部材を有する発光部６１の構成を示す先端ユニット２の部分断面図である。 本発明の実施の形態に係わる、接眼レンズユニット４の斜め後方から見た接眼レンズユニット４の基端部の斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、接眼レンズユニット４の斜め後方から見た接眼レンズユニット４の基端部の斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる電池収容部５４ａの蓋部材の斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための斜視図である。 本発明の実施の形態に係わる、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための平面図である。 本発明の実施の形態に係わる、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための断面図である。 本発明の実施の形態に係わる、観察ユニット１４が先端ユニット２へ途中まで装着された状態を示す斜視図である。 本発明の実施の形態の変形例１に係わる先端ユニット２の先端部分の部分断面図である。 本発明の実施の形態の変形例１に係わる、拡散部材を通る光が複数の受光素子により受光されている先端ユニット２の先端部分の部分断面図である。 本発明の実施の形態の変形例２に係わる先端ユニット２の先端部分の模式的な部分断面図である。 本発明の実施の形態の変形例２に係わる、複数の受光部４５ａが密着して設けられた透明部材１０６の斜視図である。 本発明の実施の形態の変形例３に係わる拡散部材の可動構造を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態の変形例４に係わる発光部の可動構造を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態の変形例５に係わる拡散部の可動構造を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態の変形例６に係わる拡散部の可動構造を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態の変形例７に係わるミラー５８の可動構造を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態の変形例９に係わる接眼レンズユニット４Aの光軸方向に沿った断面図である。 本発明の実施の形態の変形例１０の検査装置の先端ユニット２Aと接眼レンズユニット４Bの外観図である。 本発明の実施の形態の本変形例１１に係わる延長ユニットの構成を説明するための分解組立図である。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
なお、以下の説明に用いる各図においては、各構成要素を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各構成要素毎に縮尺を異ならせてあるものであり、本発明は、これらの図に記載された構成要素の数量、構成要素の形状、構成要素の大きさの比率、及び各構成要素の相対的な位置関係のみに限定されるものではない。
（実施の形態）
（構成）
図１は、本実施の形態に係わる検査装置の構成を示す断面図である。

本実施の形態の検査装置１は、対物レンズを含む先端ユニット２と、リレーレンズを含む１又は２以上の延長ユニット３と、接眼レンズユニット４とを含んで構成されるであるボアスコープである。延長ユニット３は、２点鎖線で示すように、複数個が連設可能となっている。

先端ユニット２は、対物レンズユニットであり、延長ユニット３の先端に接続可能となっている。延長ユニット３の基端に、接眼レンズユニット４は接続可能となっている。すなわち、検査装置１は、互いに連結可能に構成された１又は２以上の延長ユニット３と、１又は２以上の延長ユニット３の基端部の延長ユニット３に接続可能に構成された接眼レンズユニット４と、１又は２以上の延長ユニット３の先端部の延長ユニット３に接続可能に構成され、対物レンズ及び照明部を含む先端ユニット２とを有して構成された硬性鏡である。

図２は、先端ユニット２の先端部分の断面図である。
先端ユニット２は、細長の形状を有し、先端硬質部１１と、連結部１２と、基端接続部１３とを有している。先端硬質部１１の基端部に、連結部１２の先端部が接続されて固定され、連結部１２の基端部に、基端接続部１３の先端部が接続されて固定されている。

先端硬質部１１は、円柱形状を有する。先端硬質部１１には、観察ユニット１４が着脱可能となっている。
連結部１２は、アルミニウムなどの金属製で、円筒形状を有する。連結部１２の先端部が、先端硬質部１１の基端部に外挿され、螺子１２ａにより、先端硬質部１１と連結部１２は固定される。

基端接続部１３は、円筒形状を有し、外周部分は、炭素繊維又は炭素繊維を含む複合材料からなる。基端接続部１３の先端部が、連結部１２の基端部に外挿され、接着剤により、連結部１２と基端接続部１３は固定される。基端接続部１３は、内部に複数のレンズL1を有している。図１に示すように、基端接続部１３の基端部には、固定用リング１５が設けられている。

図１に戻り、各延長ユニット３は、細長の形状を有し、筒体１６と、筒体１６の基端部設けられた固定用リング１７とを有している。各延長ユニット３は、内部に複数のレンズL2を有している。筒体１６は、前側筒体１６ａと、後側筒体１６ｂとを有し、前側筒体１６ａと後側筒体１６ｂは接続用筒体１６ｃにより接続されて固定されている。

接眼レンズユニット４は、筐体１８と、接続用口金１９とを有している。接続用口金１９は、筐体１８の先端側に設けられている。筐体１８は、内部に複数のレンズL3を有している。筐体１８には、フォーカスリング１８ａが設けられている。

ユーザは、検査部位までの距離に応じて、必要な数の複数の延長ユニット３同士を連結し、最先端の延長ユニット３の先端部に、先端ユニット２を接続し、最基端の延長ユニット３の基端部に、接眼レンズユニット４を接続する。

ユーザは、接眼レンズユニット４の基端側の開口部に目を近づけて、先端側を覗くことによって、検査対象を観察することができる。図１に示す観察ユニット１４は、側視用のアダプタであり、先端ユニット２の挿入方向に対して直交する方向を、ユーザは観察することができる。
（先端ユニット及び観察ユニットの構成）
図２を用いて、先端ユニット２の先端部分の構成についてさらに説明する。図３は、観察ユニット１４が装着された先端ユニット２の先端部分の斜め上方からの斜視図である。図４は、観察ユニット１４が装着されていない先端ユニット２の先端部分の斜め前方からの斜視図である。図５は、先端硬質部１１を先端側から見た図である。

先端硬質部１１は、円筒形状を有し、例えばアルミニウムの金属製の各種部材から構成される。先端硬質部１１の表面は、硬質アルマイト処理が施されている。
先端硬質部１１は、対物光学系を構成する複数のレンズ２１を内部で保持する枠体１１ａを有する。複数のレンズ２１の光軸は、先端ユニット２の中心軸と一致する。

先端硬質部１１は、前側硬質部材１１ｂと後側硬質部材１１ｃを有し、枠体１１ａは、後側硬質部材１１ｃに複数の螺子２２ａにより固定されている。前側硬質部材１１ｂと後側硬質部材１１ｃも、図示しない螺子等の固定手段により固定されている。

先端硬質部１１の先端面には、円形の凹部１１ｄが形成されている。さらに、凹部１１ｄには、円形の開口部１１ｅが形成されている。
先端硬質部１１の先端側には、観察ユニット１４を着脱可能に取り付けるための取付部１１ｆを有している。ここでは、取付部１１ｆは、先端側に突出した前側硬質部材１１ｂの一部であり、部分円筒形状を有している。ここでは、断面の円周部分（円弧）の中心角が１８０度よりも大きくなるよう形成されている。

部分円筒形状の取付部１１ｆの内周面１１ｇは、上述した硬質アルマイト処理が施された上に、フッ素コート（ドライルーブ（登録商標）フッソ）が施されている。
取付部１１ｆの先端面には、電池収納用の開口部１１ｈが形成されている。開口部１１ｈの奥には、すなわち取付部１１ｆの内部には、電源としての複数（ここでは４本）の電池B（点線で示す）を収納する空間１１ｉが形成されている。空間１１ｉは、取付部１１ｆの部分円筒部内に配置され、複数の電池を収容する電池収容部を構成する。

以上のように、取付部１１ｆは、電源を収容する電源収容部としての電池収容部を有し、その電源収容部は、各電池Bは、内周面１１ｇに沿って配置される。そして、電源収容部としての空間１１ｉは、各電池Bが、先端ユニット２の部分円筒部の軸方向に沿って収容されるように、形成されている。なお、ここでは、電池Bは、対物レンズの周辺に４本設けられている。対物レンズの周辺に設けることで先端の長さを短くして、突き当てた場合のぎりぎりまでの検査が可能となる。ここでは４本の電池であるが、ＬＥＤの明るさ、寿命を考慮してレンズの周辺部に配置可能である本数を選択すればよい。たとえば、１本、２本、３本あるいは５本以上でもよい。

さらに、取付部１１ｆの側面には、２つの螺子２２ｂが設けられており、各螺子２２ｂの先端部２２ｂｔは、各螺子２２ｂを回すことによって、内周面１１ｇからの、各螺子２２ｂの先端部２２ｂｔの突出量は、調整される。また、先端部２２ｂｔは先端がボール形状でバネで付勢されており、先端部２２ｂｔは、押されると、内側に引っ込む構造を有している。

また、先端硬質部１１の先端面には、２つの照明部用電極部２３が設けられている。
図６は、観察ユニット１４の斜め前方から見た斜視図である。図７は、観察ユニット１４の斜め後方から見た斜視図である。図８は、観察ユニット１４の基端側から見た図である。

観察ユニット１４は、本体部３１と、蓋部３２と、側壁部３３とを有している。
本体部３１は、先端硬質部１１の取付部１１ｆの内周面１１ｇに嵌合する形状を有している。本体部３１の外形は、部分円柱形状を有する。本体部３１の基端部には、リング状部材３４が２つの螺子２２ｃにより螺子止めされている。観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着されたとき、リング状部材３４は、凹部１１ｄに入り込む。本体部３１の表面は、硬質アルマイト処理が施された上に、フッ素コートが施されている。

本体部３１の側面には、２つの溝部３１ａが形成されている。観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着されたとき、２つの螺子２２ｂの先端部２２ｂｔが内側に引っ込んだ後、完全に取り付けられると突出して、２つの溝部３１ａに入り込むように、２つの溝部３１ａは、本体部３１の側面に形成されている。２つの先端部２２ｂｔが２つの溝部３１ａに入り込むときに、ユーザは、いわゆるクリック感を持って観察ユニット１４が先端硬質部１１の所定の位置に装着されたことを認識できる。

つまり、先端部２２ｂｔと溝部３１ａとの位置が正確に合うことで適切な観察性能をと持つことが出来る。また観察ユニット１４と先端ユニット２との間に異物を挟んで適切に装着できなかったり、変形等の不具合でと装着できないことを確認しやすいという効果がある。その上で、適切な位置であることを確認してから固定用螺子３６で固定することで、確実に固定を行うことが可能となる。

蓋部３２は、本体部３１に複数の螺子３５により、螺子止めされている。さらに、蓋部３２は、先端側から見たときに、取付部１１ｆの部分円筒形状の外周形状に一致する部分円形状を有している。

蓋部３２の先端側には、２つの固定用螺子３６が設けられている。観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着された後、２つの固定用螺子３６を回すことによって、取付部１１ｆの先端面に形成された２つの螺子穴１１ｊに２つの固定用螺子３６が螺合して、観察ユニット１４は、先端硬質部１１に固定される。

蓋部３２の後側面には、複数の電池用電極部材３７が設けられている。電池用電極部材３７は、バネ部材あるいは板部材である。観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着されたとき、電池用電極部材３７は、取付部１１ｆの空間１１ｉに収納された複数の電池Bと接触する。

側壁部３３は、本体部３１に、図示しない螺子により螺子止めされている。
側壁部３３は、複数のレンズ２１の光軸に直交する方向を視野方向とする観察窓３３ａと、視野方向へ照明光を出射する２つの照明部３３ｂを有している。観察窓３３ａと２つの照明部３３ｂは、側壁部３３に形成された凹部３３ｃの底面部に設けられている。２つの照明部３３ｂは、観察窓３３ａを挟むように配置されている。すなわち、観察ユニット１４は、先端ユニット２の先端側から、先端ユニットに着脱可能に装着され、観察窓３３ａと２つの照明部３３ｂを有する。

照明光の出射方向を側壁部３３の上側とすると、側壁部３３の下側には、平面部３３ｄが形成されている。取付部１１ｆの上側には、平面部３１ｂが形成されている。観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着されたとき、平面部３３ｄは、取付部１１ｆの平面部３１ｂに密着する。

以上のように、検査装置１は、観察ユニット１４が先端ユニット２に装着されたときに、観察ユニット１４から出射される被写体像の光を１又は２以上の延長ユニット３の光軸COの方向へ出射するように、先端ユニット２に対する観察ユニット１４の位置を規定する位置決め機構を有する。

その位置決め機構は、観察ユニット１４を前記先端ユニット２の先端側から基端側へ向けて装着するための嵌合構造であり、観察ユニット１４の本体部３１と、先端硬質部１１の取付部１１ｆとにより構成される。具体的には、嵌合構造は、観察ユニット１４に設けられた本体部３１の凸部と、先端ユニット２の先端部分に設けられた取付部１１ｆの凹部とを含む。取付部１１ｆの部分円筒状の凹部は、部分円筒形状を有する先端ユニット２の部分円筒部の内周面により形成され、本体部３１の凸部は、内周面１１ｇに嵌合する形状を有する。

そして、複数の電池Bは、先端ユニット２に、設けられ、照明部３３ｂへの電力を供給する電源である。
図２に示すように、観察窓３３ａの後側であって、本体部３１の内側には、プリズム３８が配置されている。プリズム３８は、観察光学系としての直角プリズムである。観察窓３３ａに入射した被写体からの反射光は、プリズム３８の１つの面に入射して、他の第１の面で全反射して、他の第２の面から出射する。プリズム３８から出射した光は、延長ユニット３の光軸COに沿って先端ユニット２の基端方向へ出射され、複数のレンズ２１へ入射する。よって、プリズム３８及び複数のレンズ２１により、側視用の対物光学系は構成される。

各照明部３３ｂは、図３に示すように基板３３ｂ１上に搭載された複数の発光ダイオード（以下、LEDという）３９を有する。LED３９への電源を供給するための複数の配線３９ａが、LED３９から延出している。

図７に示すように、側壁部３３の基端部には、２つの照明部用接点ピン４０が突出するように設けられている。各照明部用接点ピン４０は、図示しないコイルバネによって、基端側へ付勢されている。観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着されたとき、２つの照明部用接点ピン４０は、先端硬質部１１の先端面に設けられた２つの照明部用電極部２３に接触する。

複数本の電池Bが取付部１１ｆの空間１１ｉ内に挿入されて、観察ユニット１４が先端硬質部１１に装着されると、蓋部３２の電池用電極部材３７により複数本の電池Bが電気的に接続され、電力が２つの照明部用電極部２３、２つの照明部用接点ピン４０及び複数の配線３９ａを介して、各照明部３３ｂの基板へ供給され、２つの照明部３３ｂは照明光を出射する。

また、観察ユニット１４が先端ユニット１２から外されたときに、各電池Bの交換が可能となる。観察ユニット１４の先端ユニット１２への着脱面は、複数の電池Bの取り出し口となっている。すなわち、観察ユニット１４が先端ユニット１２から外されたときに、各電池Bの交換が可能となる位置に、観察ユニット１４と先端ユニット１２の着脱面が形成されている。

以上のように、側視用の観察ユニット１４は、先端ユニット２の複数のレンズ２１の光軸に対して直交する方向に照明光を出射する。その照明光の出射方向にある被写体からの反射光は、観察窓３３ａを通して受けて、プリズム３８において反射されて複数のレンズ２１へ向けて出射される。

図２に戻り、後側硬質部材１１ｃの基端部には、円筒状の枠体４１が内挿するように接続されて、螺子４１ｘにより螺子止めされて固定されている。枠体４１の基端部には、板状部材であるミラー４２が、光軸COに直交する面に対して傾いた状態で固定されている。ここでは、ミラー４２は、光軸COに対して、４５度〜６０度の範囲のある角度で傾いている。

ミラー４２は、可視光を透過し、かつ所定の波長帯域の光、ここでは赤外光を反射する光学部材である。ミラー４２が、光軸COに対して、４５度未満の角度で傾いていないのは、色収差による被写体像の色ズレを抑制するためである。

枠体４１の基端部には、円筒状の枠体４３が外挿するように接続されて、螺子４３ａにより螺子止めされて固定されている。枠体４３の基端部には、内向フランジ部４３ｂが形成されている。先端硬質部１１及び枠体４１，４３のユニットは、連結部１２に対して螺子１２ａで固定されている。内向フランジ部４３ｂには、光検出器を有する受光部４５が設けられている。受光部４５の光検出器は、ミラー４２からの赤外光を検出する。

以上のように、ミラー４２は、先端ユニット２に設けられ、可視光を透過し、かつ１又は２以上の延長ユニット３のリレーレンズ系からの所定の波長帯域の光を反射するように構成されている。受光部４５は、ミラー４２において反射された所定の波長帯域の光を受光する。

ミラー４２は、光軸COに沿った接眼レンズユニット４からの赤外光を反射して、受光部４５に向けて出射するように、光軸COに直交する面に対して傾いた状態で固定されている。ミラー４２からの赤外光が受光部４５の受光面で受光されるように、受光部４５は、枠体４３に固定される。

図５に示すように、円筒形状の先端硬質部１１の中心軸C1を通り、かつ平面部３１ｂに平行な仮想平面VPを想定したとき、取付部１１ｆの中心軸C1に直交する断面形状は、円周の半分以上の長さを有する円弧形状である。

言い換えれば、図５において、嵌合部の断面となる円周部分（円弧）１１ｇについて中心角が１８０度より大きくなるよう形成されており、部分円筒形状を有する取付部１１ｆの上側の開口幅LL1は、図６から図８に示した本体部３１の直径LL2よりも小さい。
よって、観察ユニット１４の本体部３１が取付部１１ｆに嵌合したときに、観察ユニット１４が取付部１１ｆから、中心軸C1に直交する方向に抜け落ちることがない。加えて、光軸のズレまたはチルトが生じることもない。

連結部１２の基端部には、基端接続部１３の先端部が外挿される円筒状の段差部１２ｂが形成されている。段差部１２ｂには、周状凹部１２ｃ（接着だまり）が形成されている。周状凹部１２ｃは、基端接続部１３に対して連結部１２を接着固定するときに、接着剤がたまる部分となり、強固に固定することができる。
観察ユニット１４は、先端ユニット２の先端部分に着脱可能に装着できるので、他の観察ユニットも、先端ユニット２の先端部分に装着できる。

図９は、直視用の観察ユニットの断面図である。図１０は、斜視用の観察ユニットの断面図である。
図９に示す直視用の観察ユニット１４Aは、本体部３１Aと、蓋部３２Aと、側壁部３３Aを有して構成されている。本体部３１A、蓋部３２A及び側壁部３３Aは、それぞれ、観察ユニット１４の本体部３１、蓋部３２及び側壁部３３に対応する。

本体部３１Aは、内側に、観察光学系としてのロッドレンズ３８Aが設けられている。ロッドレンズ３８Aの光軸は、複数のレンズ２１の光軸COと一致している。
ロッドレンズ３８Aは、側壁部３３Aに設けられた螺子孔を介して、螺子７１により本体部３１Aに固定される。
側壁部３３Aの先端面には、２つの照明部７２が複数設けられている。

側壁部３３Aの基端部には、観察ユニット１４と同様に、２つの照明部用接点ピン４０が設けられており、観察ユニット１４Aを先端ユニット２の先端部分に装着すると、各照明部７２は、電力を受けて、先端ユニット２の先端方向に照明光を出射する。

蓋部３２Aを本体部３１Aに固定する方法は、観察ユニット１４と同様である。
図１０に示す斜視用の観察ユニット１４Bは、本体部３１Bと、蓋部３２Bと、側壁部３３Bを有して構成されている。本体部３１B、蓋部３２B及び側壁部３３Bは、それぞれ、観察ユニット１４の本体部３１、蓋部３２及び側壁部３３に対応する。

本体部３１Bは、内側に、観察光学系としてのプリズム３８Bが設けられている。プリズム３８Bは、複数のレンズ２１からの光を、所定の角度θだけ偏向して、複数のレンズ２１の光軸COに平行に出射する光学部材である。

プリズム３８Bは、図示しない螺子等により本体部３１Bに固定される。
側壁部３３Bは、光軸COに対して所定の角度θの方向へ照明光を出射する２つの照明部７３が複数設けられている。
側壁部３３Bの基端部には、観察ユニット１４と同様に、２つの照明部用接点ピン４０が設けられており、観察ユニット１４Bを先端ユニット２の先端部分に装着すると、各照明部７３は、電力を受けて光軸COに対して所定の角度θの方向に照明光を出射する。

蓋部３２Bを本体部３１Bに固定する方法は、観察ユニット１４と同様である。
以上のように、先端ユニット２の先端部は、側視用、直視用及び斜視用の３つの観察ユニットのいずれもが装着可能な共通な形状及び機構を有している。よって、ユーザは、検査部位に応じた必要な観察ユニットを、先端ユニット２の先端部分に装着して、検査対象を所望の方向から観察して検査することができる。

図１１は、連結部１２と基端接続部１３との接続を説明するための斜視図である。
連結部１２の基端部と基端接続部１３の先端部は、接着剤により固定される。接着剤は、例えばエポシキ系の接着剤であり、連結部１２の基端部の外周部に塗布され、特に、接着剤が、接着剤の溜まり部となる周状凹部１２ｃとその周辺部分に塗布される。そして、基端接続部１３の先端部が連結部１２の基端部に外挿されると、接着剤により連結部１２と基端接続部１３は強固に固定される。
（延長ユニットの構成）
次に、延長ユニット３の構成について説明する。

図１２は、延長ユニット３の前側筒体１６ａを前方斜め方向から見た斜視図である。図１３は、延長ユニット３の後側筒体１６ｂを後方斜め方向から見た斜視図である。前側筒体１６ａ及び後側筒体１６ｂは、検査装置１の軽量化のために、炭素繊維又は炭素繊維を含む複合材料などの材料からなる。

図１２に示すように、前側筒体１６ａの先端部には、アルミニウムなどの金属製の口金４４が設けられている。口金４４の表面は、硬質アルマイト処理の上、さらにフッ素コート（ドライルーブ（登録商標）フッソ）されている。口金を出来る限り軽くするためにアルミニウムを選択したが、アルミはやわらかいため削れ易いことから硬質アルマイト処理が施されている。さらに口金同士を接続する場合、噛み合ってすべりが悪くなることが予想されることからフッ素コートをして滑りやすくした構造となっている。口金４４の先端側の外周部には、雄螺子部４４ａが形成されている。口金４４の先端側開口から奥の部分に、内側に突出した当てつけ部４４ｂが設けられている。さらに、口金４４の内周面４４ｃには、先端側開口から所定の距離だけ離れた位置に、凸部４４ｄが設けられている。

図１３に示すように、後側筒体１６ｂの基端部には、アルミニウムなどの金属製の嵌合部４２ｘが基端側へ突出するように設けられている。嵌合部４２ｘの表面は、硬質アルマイト処理されている。円筒状の嵌合部４２ｘの外周部には、後側筒体１６ｂの軸方向に沿った溝４２ａが形成されている。

後側筒体１６ｂの基端部には、さらに例えば真鍮でできた固定用リング１７が設けられている。固定用リング１７の基端側の内周面には、雌螺子部１７ａが形成されている。固定用リング１７の内周面と嵌合部４２ｘの外周面との間には、前側筒体１６ａの先端部が入り込めるだけの隙間１７ｂが形成されている。

嵌合部４２ｘは、前側筒体１６ａの先端部に嵌合する形状を有している。嵌合部４２ｘの外径は、口金４４の内径よりも小さい。
延長ユニット３を連設するとき、延長ユニット３の前側筒体１６ａの先端部は、他の延長ユニット３の後側筒体１６ｂの基端部に装着される。凸部４４ｄが溝４２ａに入り込む位置に合わせた上で、後側筒体１６ｂの嵌合部４２ｘが前側筒体１６ａの先端部に内挿される。後側筒体１６ｂの嵌合部４２ｘが前側筒体１６ａの先端部に内に押し込んでいくと、凸部４４ｄが溝４２ａに入り込み、さらに、嵌合部４２ｘの基端面４２ｂが、前側筒体１６ａの当てつけ部４４ｂに当接する。

凸部４４ｄが溝４２ａに入り込み、さらに、基端面４２ｂが当て付け部４４ｂに当接した状態で、固定用リング１７を所定方向に回動させると、固定用リング１７の雌螺子部１７ａと、前側筒体１６ａの雄螺子部４４ａが螺合して、延長ユニット３の前側筒体１６ａと他の延長ユニット３の後側筒体１６ｂとが固定される。基端面４２ｂと当てつけ部４４ｂが当接した状態で螺子でしっかりと固定されることで、前側筒体１６ａと他の延長ユニット３の後側筒体１６ｂは、接続部が曲がることなく、互いに確実に固定される。

なお、口金４４の内側表面及び嵌合部４２ｘの外側表面は、摺動性を高めるために、硬質アルマイト処理が施された上に、フッ素コートが施されている。
また、延長ユニット３の前側筒体１６ａの先端部は、先端ユニット２の基端部にも装着可能となっている。そのため、図１に示すように、先端ユニット２の基端接続部１３の基端部も、延長ユニット３の後側筒体１６ｂと同様の構成を有しており、基端接続部１３の固定用リング１５を回動することにより、延長ユニット３の前側筒体１６ａと先端ユニット２の基端接続部１３とが固定される。
（接眼レンズユニットの構成）
次に、接眼レンズユニット４の構成について説明する。

図１４は、接眼レンズユニット４の光軸方向に沿った断面図である。図１５は、接眼レンズユニット４の斜め前方から見た接眼レンズユニット４の先端部の斜視図である。
接眼レンズユニット４の筐体１８は、外筒部材５１と内筒部材５２とを有して構成される。外筒部材５１の先端部分に内筒部材５２の基端部分が光軸CO方向に沿って、フォーカスリング１８ａを回転させることで摺動可能に内挿されている。内筒部材５２の先端部分が、接続用口金１９を形成している。

外筒部材５１の基端部には、複数のレンズL3を保持する枠体５３が固定されている。枠体５３の基端側には、筒状部材５４が外挿されて螺子などにより固定されている。
筒状部材５４は、複数の電池B（点線で示す）を収容する電池収容部５４ａと、光量調整用の基板６５を収容する基板収容部５４ｂを有している。電池収容部５４ａの開口部には、蓋部材５５が着脱可能に設けられている。円筒部材５３ａが筒状部材５４の前側部分を覆うように、筒状部材５４に螺子などにより固定されている。
内筒部材５２には、内筒部材５２の軸に対して直交する方向であって、互いに反対方向に延出する２つの取っ手５６が取付されている。

また、内筒部材５２の先端側には、延長ユニット３の後側筒体１６ｂの基端部が挿入されて固定できるように、図１２の前側筒体１６ａの先端部と同じ形状であり、内筒部材５２の内周面には、凸部１９ａが設けられ、かつ内筒部材５２の先端側外周面には、雄螺子部１９ｂが形成されている。よって、凸部１９ａが溝４２ａに入り込む位置に合わせた上で、延長ユニット３の後側筒体１６ｂの基端部を内筒部材５２の先端側に装着して、固定用リング１７を回動させると、延長ユニット３は、接眼レンズユニット４に対して固定される。

さらに、フォーカスリング１８ａは、先端側内周面に周状凸部１８ａ１が形成されており、周状凸部１８ａ１は、内筒部材５２の周溝５２ａに摺動可能に係合している。
外筒部材５１の外周面には、雄螺子部（図示せず）が形成されており、フォーカスリング１８ａの内周面には、外筒部材５１の雄螺子部に螺合するように、雌螺子部（図示せず）が形成されている。よって、フォーカスリング１８ａを回動すると、フォーカスリング１８ａと共に内筒部材５２も一緒に光軸COに沿って移動する。

枠体５３の先端側には、円筒状の枠体５７が内挿されて、螺子等により螺子止めされて固定されている。枠体５７の先端部には、板状部材であるミラー５８が、光軸COに直交する面に対して傾いた状態で固定されている。ここでは、ミラー５８は、光軸COに対して、４５度〜６０度の範囲のある角度で傾いている。

すなわち、枠体５７の先端部には、ミラー５８が、光軸COに直交する面に対して傾いた状態で固定されている。
枠体５７の基端部には、レチクル部材５９が、光軸COに直交する面に対して平行な状態で固定されている。レチクル部材５９は、図示しない操作部材を操作することによって、光軸CO回りに回動させることができる。ミラー５８は、可視光を透過し、かつ所定の波長帯域の光、ここでは赤外光を反射する光学部材である。
また外筒部材５１は、先端部５１ａと基端部５１ｂとを有しており、先端部５１ａの外周面の周方向に溝５１ａａを設け、基端部５１ｂから接続するネジ５１ｂａにより回動可能に支持されている。これにより、取っ手５６を使って全体を回動させる先端側に接続されている延長ユニット３、その前の先端ユニット２、観察ユニット１４が回動する。この時、接眼部を覗きながら接眼レンズユニットの手前の円筒部材５３ａを持ちながら取っ手５６で全体を回動させると取っ手５６、接続口金１９、外筒部材５１の先端部５１ａ、内筒部材５２、フォーカスリング１８ａが一緒に回動する。先端側の観察ユニット１４を含む延長ユニット３、先端ユニット２が回動し、観察する方向を変えることができる。また、接眼ユニットを含む手前の円筒部材５３ａ、外筒部材５１の基端部５１ｂを回動させると、内部のレンズL3、レチクル部材５９、ミラー５８、発光部６１が一緒に回動する。先端ユニット２に設けたミラー４２及び受光部４５と、接眼ユニット４に設けられているミラー５８及び発光部６１との位置関係は常に使用状況で変化することが考えられる。発光部６１からの赤外光をミラー５８で反射させてリレーレンズ系の中心を通り、先端のミラー４２で反射させ受光部４５に入射させる。リレーレンズの中心位置を通すことで発光部６１、受光部４５の位置は変化しても通信しやすくなる。
さらに、図１４Ａのように接眼ユニットとして手元にプリズムを含む分岐ユニット４ａを介して上方にて観察可能なアダプタ４ｂと撮影用カメラ４ｃを接続し、床の上に設置されたカメラ保持台４ｄで固定することで上から覗き込む構成とするようにしてもよい。図１４Ａは、アダプタによりユーザが上から覗き込むようにして内視鏡画像を見ることができる検査装置の例を示す構成図である。図１４Ａに示すように、先端ユニット２および複数の延長ユニット３がセンタリング治具４ｅによって検査対象５内に支持されている。この場合も前側の観察ユニット１４、先端ユニット２、延長ユニット３を回転させることでも赤外線通信が可能となる。
さらに、図１４Ｂのように延長ユニット３を連結するときに直線状ではなく、プリズムを含む分岐ユニットで連結して方向を変えて、かつ矢印で示すように、分岐ユニットの位置で回動させるようにしてもよい。図１４Ｂは、分岐ユニットにより連結される延長ユニット３の延出方向が種々の方向に変更された検査装置の例を示す構成図である。図１４Ｂの分岐ユニット４ｆは、直交する方向に延長ユニット３の接続方向を変更する。図１４Ｂでは、２つの分岐ユニット４ｆにより延長ユニット３の延出方向が２回変更されている。
さらに、図１４Ｃのように接眼レンズユニット４にハーフミラーを含む分岐ユニット４ｇに、直接覗く部分とＣＣＤカメラ６を接続して観察可能にして、自動化するようにしてもよい。ＣＣＤカメラ６には、記録装置（あるいはモニタ）７が接続される。図１４Ｃは、自動化された検査装置の例の構成図である。図１４Ｃでは、延長ユニット３を配管に送るために、延長ユニット３に密着したローラ８ａが接続された送り用モータ８を設け、また回動させるために接眼レンズユニット４の先端側の取っ手の位置にギア９を設ける。ギア９は、回転用モータ１０に接続されたギア１０ａと螺合し、接眼レンズユニット４は、回転用モータ１０により回転する。この場合も先端の受光部と手元の発光部の位置関係は常に変わるため、赤外光をリレーレンズ系の中心を通すことで通信しやすくなるメリットがある。

枠体５７の先端側には、円筒状の枠体６０が外挿されて、螺子等により螺子止めされて固定されている。
枠体６０の先端部には、内向フランジ部６０ａが形成されている。内向フランジ部６０ａは、絞りを形成する。内向フランジ部６０ａには、発光部６１が設けられている。発光部６１は、赤外光を出射する発光素子を有し、ミラー５８へ向けて赤外光を出射するように内向フランジ部６０ａに設けられている。発光部６１の発光素子６１ｂは、例えば赤外光を出射する発光ダイオード（LED）である。発光部６１は、光量調整信号である赤外線信号の赤外光を出射する。

以上のように、ミラー５８は、接眼レンズユニット４に設けられ、可視光を透過し、かつ２つの照明部３３ｂの光量を調整する光量調整信号を含む所定の波長帯域の光を１又は２以上の延長ユニット３のリレーレンズ系の光軸COに沿って反射するように構成されている。そして、発光部６１は、ミラー５８に向けて、所定の波長帯域の光を出射する。

さらに、発光部６１の出射側には、透過する光を拡散する拡散部材８１を有している。拡散部材８１は、発光素子６１ｂから出射される光、ここでは赤外光を、ミラー５８へ向けて拡散させる。拡散部材８１は、発光素子を囲むドーム形状を有する、表面に微細な凹凸が付けられたガラス製である。よって、発光部６１から出射される光は、拡がりを持って出射される。
すなわち、拡散部材８１は、ミラー５８と発光部６１の間に配設されている。

図１６は、発光部６１の構成を示す先端ユニット２の部分断面図である。発光部６１は、基板６１ａと、基板６１ａに搭載された発光素子６１ｂと、基板６１ａ上に固定された拡散部材８１を有する。基板６１ａが、内向フランジ部６０ａに接着あるいは螺子などの固定手段により固定されることにより、発光部６１は、枠体６０に固定される。

なお、図１６では拡散部材８１は、ドーム形状を有しているが、板状でもよい。図１７は、板状の拡散部材を有する発光部６１の構成を示す先端ユニット２の部分断面図である。

図１７に示すように、枠体６０に、拡散部材８１ａを固定するための固定部６０ｂが形成されている。板状の拡散部材８１ａは、拡散部材８１ａの平面部が、発光素子６１ｂからの赤外光の出射方向に略直交する面に平行になるように配設される。

図１７のような構成によっても、発光部６１から出射される光は、拡がりを持って出射される。
また、ミラー５８は、発光部６１からの赤外光を、光軸COに沿った方向に反射して、接眼レンズユニット４の接続用口金１９の開口に向けて出射するように、光軸COに直交する面に対して傾いた状態で枠体５７に固定されている。
図１８及び図１９は、接眼レンズユニット４の斜め後方から見た接眼レンズユニット４の基端部の斜視図である。図２０は、電池収容部５４ａの蓋部材の斜視図である。図１８及び図１９は、電池収容部に蓋部材を取り付けていない状態を示す。

筒状部材５４は、点線で示す電池Bが、接眼レンズユニット４の基端側から電池収容部５４ａ内へ挿入できるように開口部５４ｃを有している。開口部５４ｃは、蓋部材５５により塞ぐことができる。

蓋部材５５の裏面には、複数の電池用電極部材６２が設けられている。電池用電極部材６２は、バネ部材あるいは板部材である。蓋部材５５が開口部５４ｃに装着されたとき、電池用電極部材６２は、電池収容部５４ａに収納された複数の電池Bと接触する。

蓋部材５５には、爪部６３が設けられている。円筒部材５３ａには、爪部６３に係合可能なパッチン錠６４が固定されている。蓋部材５５は、爪部６３とパッチン錠６４により、筒状部材５４に対して着脱自在となっている。

図１４に戻り、基板収容部５４ｂ内には、基板６５が固定されている。基板６５には、調整つまみ６６が搭載されている。基板６５は、発光部６１と電気的に接続されている。基板６５には、電池Bからの電源を受けて動作する光量調整各種回路が設けられており、調整つまみ６６を操作することによって、先端ユニット２の照明部３３ｂの出射光量を調整するための赤外線信号である光量調整信号を発光部６１から出射させることができる。

例えば、ユーザは、調整つまみ６６を回転させることによって、所望の光量を指定し、調整つまみ６６を押下することによって、指定された光量に応じた光量調整信号を含む赤外光が発光部６１から出射させることができる。
（作用）
図２１から図２４は、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための図である。図２１は、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための斜視図である。図２２は、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための平面図である。図２３は、観察ユニット１４の先端ユニット２への装着を説明するための断面図である。図２４は、観察ユニット１４が先端ユニット２へ途中まで装着された状態を示す斜視図である。

ユーザが観察ユニット１４を先端ユニット２に取り付けるとき、図２１〜図２４において二点鎖線の矢印A1で示す方向から、本体部３１が先端硬質部１１の取付部１１ｆの内周面に嵌合するようにして、ユーザは、観察ユニット１４の本体部３１の基端部を取付部１１ｆに装着する。

各螺子２２ｂの先端部２２ｂｔが溝部３１ａに入り込むときに、ユーザは、クリック感を感じながら観察ユニット１４の本体部３１の基端部を取付部１１ｆに装着を感じることができる。２つの螺子２２ｂを回動することによって、クリック感を調整することができる。さらに、観察ユニット１４は、２つの固定用螺子３６により先端ユニット２にしっかりと取り付けられる。

観察ユニット１４の交換は、２つの固定用螺子３６を緩めることによって、ユーザは、観察ユニット１４の本体部３１の基端部を取付部１１ｆから外して他の観察ユニットに交換することができる。

そして、ユーザが、調整つまみ６６を操作することによって、発光部６１から赤外線信号である光量調整信号を出射させると、発光部６１から赤外光が出射され、赤外光は、拡散部材８１によって拡散される。拡散された赤外光は、ミラー５８において反射されて、１又は２以上の延長ユニット３内を通って、先端ユニット２へ到達する。赤外線信号は、先端ユニット２のミラー４２において反射されて、受光部４５に照射される。

発光部６１の出射側には、拡散部材８１が設けられているため、赤外光は、拡散部材８１により拡散して広がって出射される。ミラー５８で反射された赤外光は、１又は２以上のリレーレンズユニット３内の複数のレンズL2を通って、先端ユニット２のミラー４２に照射される。

図１４において二点鎖線DLで示すように、赤外光は、拡散部材８１により拡散されることにより、発光点が増えて、ミラー５８で反射される。
その結果、ミラー４２で反射された赤外光は、受光部４５において、受光され易くなるので、検査装置１全体が自重によって若干曲がったとしても、光量調整信号である赤外線信号は、先端ユニット２の受光部４５において確実に受光される。

よって、上述した実施の形態によれば、CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供することができる。

また、先端ユニット２が電源を有し、ユーザは、手元において照明部の光量を調整して、延長ユニット３を複数本接続しても照明の明るさを所望の明るさにすることができる。通常の検査では同じサイズのパイプの検査を行うので被検体画像の明るさが一定になることは検査効率の向上に繋がる。

特に、検査を行うパイプに押し込みながら延長ユニット３を継ぎ足すことで奥まで検査を行う場合、明るさを変えること無く、常に同じ光量下で検査が可能であるメリットがある。そして、パイプ内面にキズ等を発見した場合、手元からの光量調整の信号を送ることで、光量を微調整して、キズを見やすくして、より検査しやすくすることが可能となる。

さらに、上述した実施の形態によれば、長さを変更可能な検査装置において、複数の先端ユニットを用意する必要がないようにして装置全体のコストを低減し、かつ照明部への電源の供給を確実に行うことが可能である。
ユーザは、検査装置において、観察ユニットを交換するだけで、検査装置の先端ユニットの視野方向を、所望の視野方向にすることができる。

さらに、拡散部材８１が発光部６１の出射側に設けられているので、LED等の発光部６１から出射する光は、複数の点光源が存在するようにして出射するので、受光部４５において確実に受光される。

次に、上述した実施の形態の変形例について説明する。
（変形例１）
上述した実施の形態では、拡散部材は、接眼レンズユニット４の発光部６１の近傍に設けられているが、先端ユニット２のミラー４２と受光部４５の間に設けるようにしてもよい。

図２５は、変形例１に係わる先端ユニット２の先端部分の部分断面図である。
受光部１０１は、基板１０２と、受光素子１０３とを有して構成されている。拡散部材１０４が、受光部１０１の受光面側に設けられている。

受光素子１０３が搭載された基板１０２は、枠体４３の内周面に接着剤あるいは螺子などにより固定されている。板状の拡散部材１０４は、ミラー４２から受光素子１０３への赤外光の光路上に配置されるように、受光素子１０３上に接着剤あるいは螺子などにより固定されている。

拡散部材１０４は、上述した拡散部材８１と同様の材料からなる。
このような構成によっても、光量調整信号である赤外線信号は、先端ユニット２の受光部１０１において確実に受光される。

なお、上述した例では、拡散部材１０４を通る光は、１つの受光素子１０３により受光されているが、複数の受光素子により受光されるようにしてもよい。
図２６は、変形例１に係わる、拡散部材を通る光が複数の受光素子により受光されている先端ユニット２の先端部分の部分断面図である。

受光部１０１Aは、基板１０２ａと、複数の受光素子１０３ａとを有して構成されている。拡散部材１０４ａが、受光部１０１Aの受光面側に設けられている。
複数の受光素子１０３ａが搭載された基板１０２ａは、枠体４３の内周面の凹部に接着剤あるいは螺子などにより固定されている。板状の拡散部材１０４ａが、ミラー４２から複数の受光素子１０３ａへの赤外光の光路上に配置されるように、複数の受光素子１０３ａ上に接着剤あるいは螺子などにより固定されている。

拡散部材１０４ａは、上述した拡散部材８１と同様の材料からなる。
このような構成によれば、図２５の受光部１０１よりも、光量調整信号である赤外線信号は、先端ユニット２の受光部１０１Aにおいて確実に受光される。
（変形例２）
上述した実施の形態では、受光部４５は、ミラー４２で反射された赤外光を直接受光しているが、本変形例２では、赤外光は、先端ユニット２において、導光部材を介して赤外光を受光している。すなわち、本変形例２では、導光部材がミラー４２と受光部の間に設けられる。
図２７は、変形例２に係わる先端ユニット２の先端部分の模式的な部分断面図である。

先端ユニット２内では、ミラー４２が、枠体４１Aに固定されている。枠体４１Aに固定された枠体４３Aには、円筒形状の透明部材１０６が固定されている。透明部材１０６の材質は、ガラス、アクリルあるいはポリカーボネートなどである。

透明部材１０６の円筒形状の軸と先端ユニット２の中心軸C1とが一致するように、透明部材１０６は、枠体４３Aに固定される。透明部材１０６の基端面には、隣り合う受光部同士が等間隔で配置されるように、複数の受光部４５ａが円形に配置されている。複数の受光部４５ａは、円形の基板１０７上に搭載されている。

図２８は、複数の受光部４５ａが密着して設けられた透明部材１０６の斜視図である。 複数の受光部４５ａが基板１０７に搭載され、複数の受光部４５ａは、透明部材１０６からの光を受光できるように、透明部材１０６の基端面に密着している。

透明部材１０６は、先端方向へ突出した突出部１０６ａを有し、突出部１０６ａには、光軸COに対して所定の角度で傾斜した傾斜面１０６ａ１が形成されている。接眼レンズユニット４からの赤外光は、ミラー４２で反射される。ミラー４２からの赤外光が、傾斜面１０６ａ１において受光されて、透明部材１０６内に入射されるように、傾斜面１０６ａ１は、形成されている。

接眼レンズユニット４からの赤外光は、傾斜面１０６ａ１から透明部材１０６内に入射する。入射した赤外光が透明部材１０６内で内面反射し、複数の受光部４５ａによって受光されるように、透明部材１０６は構成されている。ここでは、円筒形状の透明部材１０６の基端面から赤外光は出射して、複数の受光部４５ａにより受光される。

このように、接眼レンズユニット４からの光量調整信号の赤外線信号は、複数の受光部４５ａにより受信されるので、先端ユニット２において、光量調整信号を確実に受信できる。
（変形例３）
上述した実施の形態では、拡散部材８１、８１ａは、発光部の出射側に固定されているが、本変形例３では、拡散部材の姿勢あるいは拡散部材の光が透過する部分の位置を調整できるようにしている。
図２９は、変形例３に係わる拡散部材の可動構造を説明するための模式図である。

本変形例３の発光部１１１は、図２９に示すように、発光素子６１ｂが搭載された基板６１ａを有し、基板６１ａは、枠体６０に固定されている。
円筒部材５２ｘと枠体６０には、モータ１１２の軸１１３が固定されており、モータ１１２の軸１１３の先端には、円板状の拡散部材８１ｂが設けられている。拡散部材８１ｂの一方の面１１４ａに対して、他方の面１１４ｂは、平行でなく、所定の角度を持って形成されている。

発光素子６１ｂからの光は、拡散部材８１ｂを通してミラー５８に照射されるように、発光素子６１ｂと拡散部材８１ｂは配置される。モータ１１２が回転すると、円板状の拡散部材８１ｂは、モータ１１２の軸１１３の軸回りに回転し、拡散部材の光が透過する部分の位置が変わり、回転に応じて光が透過する拡散部材８１ｂの部分の厚さが変化するため、拡散部材８１ｂの一方の面１１４ａに入射した光が他方の面１１４ｂから出射するときの出射方向が変化する。すなわち、拡散部材の拡散部材の姿勢あるいは拡散部材の光が透過する部分の位置が、調整可能である。

モータ１１２の回転は、図示しない制御部により制御可能となっている。よって、制御部によりモータ１１２を回転させると、拡散部材８１ｂからの光の出射方向は変化する。LEDなどの発光素子は、指向性が高いため、１又は２以上の延長ユニット３を通った発光部６１からの光が受光部４５に正確に当たらず、受光部４５において十分な光量が得られない場合がある。そのような場合に、モータ１１２を回転させて、発光部１１１から出射される光を種々の方向に向けて出射させると、拡散部材の姿勢、あるいは発光部６１の光が透過する拡散部材の領域の位置が変わり、どこかの姿勢あるいは位置で、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。よって、モータ１１２及び軸１１３が、拡散部材の姿勢、あるいは発光部６１の光が透過する拡散部材の領域の位置を調整する調整機構を構成する。

その結果、拡散部材８１ｂの最適な回転位置で拡散部材８１ｂの姿勢を固定すれば、受光部４５は、十分な光量で赤外光を受光することができる。
本変形例３によれば、発光部１１１からの光の出射方向を変更して調整できるため、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。

なお、ここでは、拡散部材の拡散部材の姿勢あるいは拡散部材の光が透過する部分の位置は、モータ１１２の回転によって調整されるが、軸１１３を手動で回転させて調整するようにしてもよい。
（変形例４）
上述した実施の形態では、拡散部材８１、８１ａは、発光部の光出射側に固定されているが、本変形例４では、拡散部材を用いずに、発光部から出射される光の出射方向を変更できるように動かせるようにした。

図３０は、変形例４に係わる発光部の可動構造を説明するための模式図である。
本変形例４の発光部１１６は、発光素子６１ｂが搭載された基板６１ａ上が、ヒンジ部１１７を介して固定部材１１８に固定されている。固定部材１１８は、枠体６０に固定されている。基板６１ａのヒンジ部１１７とは反対側の部分は、バネ１１９によって、枠体６０側に引っ張られている。バネ１１９の一端は、基板６１ａに固定され、他端は、枠体６０に固定されている。

枠体６０には、モータ１２０が固定されており、モータ１２０の軸の先端には、非円形の、例えば楕円の先端部材１２０ａが設けられており、基板６１ａの下面に当接している。バネ１１９により、基板６１ａは、先端部材１２０ａ側に付勢されている。モータ１２０が回転すると、非円形の先端部材１２０ａにより、基板６１ａの矢印で示すように揺動する。

モータ１２０の回転は、図示しない制御部により制御可能となっている。モータ１２０の回転により、発光素子６１ｂからの光の出射方向は、変化する。すなわち、モータ１２０の軸及び先端部材１２０ａは、発光部１１１からの赤外光の出射方向を変更する出射方向変更機構を構成する。

よって、制御部によりモータ１２０を回転させると、拡散部材８１ｂからの光の出射方向は、連続的に変化する。LEDなどの発光素子は、指向性が高いため、受光部４５において適切に十分な光量が得られない場合がある。そのような場合に、モータ１２０を回転させて、発光部１１６から出射される光を種々の方向に向けて出射させると、どこかの位置で、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。

よって、本変形例３によれば、発光部１１６からの光の出射方向を変更できるため、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。
（変形例５）
上述した実施の形態では、拡散部材８１、８１ａは、発光部の光出射側に固定されているが、本変形例５も、変形例４と同様に、発光部から出射される光の出射方向を変更できるようになっている。
図３１は、変形例５に係わる拡散部の可動構造を説明するための模式図である。

本変形例５の発光部１２１は、発光素子６１ｂが搭載された基板６１ａ上が、枠体６０に固定されている。
枠体６０には、モータ１２２が固定されており、モータ１２２の軸の先端には、端面が傾斜したミラー部材１２３が設けられている。

発光素子６１ｂからの赤外光がミラー部材１２３の鏡面に照射されるように、ミラー部材１２３は、配置される。モータ１２２が回転すると、ミラー部材１２３の鏡面で反射した光は、一点鎖線で示すように種々の方向へ出射する。すなわち、モータ１２２の軸及びミラー部材１２３は、発光部１２１からの赤外光の出射方向を変更する出射方向変更機構を構成する。

モータ１２２の回転は、図示しない制御部により制御可能となっている。モータ１２２の回転により、発光素子６１ｂからの光の出射方向は、変化する。
よって、制御部によりモータ１２２を回転させると、ミラー部材１２３において反射した光の出射方向は、変化する。LEDなどの発光素子は、指向性が高いため、受光部４５において適切に十分な光量が得られない場合がある。そのような場合に、モータ１２２を回転させて、発光部１２１から出射される光を種々の方向に向けて出射させると、どこかの位置で、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。

よって、本変形例５によれば、発光部１２１からの光の出射方向を変更できるため、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。
（変形例６）
上述した実施の形態では、拡散部材８１、８１ａは、発光部の光出射側に固定されているが、本変形例６も、変形例４及び変形例５と同様に、発光部から出射される光の出射方向を変更できるようになっている。

図３２は、変形例６に係わる拡散部の可動構造を説明するための模式図である。
本変形例６の発光部１２６は、円筒部材１２７内に配置された、複数の電池１２８と、モータ１２９と、モータ１２９の軸部の先端に設けられた基板６１ａに搭載された発光素子６１ｂとを有する。

円筒部材１２７は、円筒部材５２ｘ及び枠体６０に設けられた孔１３０に挿入して固定可能となっている。
赤外光の出射方向がモータ１２９の軸の軸方向に対して所定の角度だけ曲がった方向となるように、発光素子６１ｂを搭載した基板６１ａは、モータ１２９の軸の先端に固定されている。

モータ１２９が回転すると、発光素子６１ｂからの光は、種々の方向へ出射する。
モータ１２９の回転は、図示しない制御部により制御可能となっている。モータ１２９の回転により、発光素子６１ｂからの光の出射方向は、変化する。すなわち、モータ１２９は、発光部１２６からの赤外光の出射方向を変更する出射方向変更機構を構成する。

よって、制御部によりモータ１２９を回転させると、発光素子６１ｂからの光の出射方向は、変化する。LEDなどの発光素子は、指向性が高いため、受光部４５において適切に十分な光量が得られない場合がある。そのような場合に、モータ１２９を回転させて、発光部１２６から出射される光を種々の方向に向けて出射させると、どこかの位置で、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。

よって、本変形例７によれば、発光部１２６からの光の出射方向を変更できるため、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。
（変形例７）
上述した実施の形態では、拡散部材８１、８１ａは、発光部の光出射側に固定されているが、本変形例７では、ミラー５８の姿勢が変更できるようになっている。

図３３は、変形例７に係わるミラー５８の可動構造を説明するための模式図である。
本変形例７の発光部１１６の発光素子６１ｂが搭載された基板６１ａが、枠体６０に固定されている。

モータ１３１が、枠体６０に固定されており、モータ１３１の軸の先端には、ギア１３２が設けられている。枠体５７の先端部には、リング状の傘歯車１３３が、傘歯車１３３の軸中心に回動可能に設けられており、抜け止め部材１３３ａにより、円筒部材５７から抜け落ちないようになっている。

ギア１３２と傘歯車１３３は噛合しており、モータ１３１の回転により傘歯車１３３は、中心軸CC回りに回転する。リング状の傘歯車１３３の中央部には、円形のミラー１３４が固定されている。

ミラー１３４は、上述したミラー５８と同様の材質からなるが、一方の平面部１３４ａは、他方の平面部１３４ｂに対して平行ではなく、所定の角度を持って傾いて形成されている。すなわち、ミラー１３４は、厚さが一様ではない。

モータ１３１が回転すると、ギア１３２の回転に伴って、リング状の傘歯車１３３が回転し、同時に円形のミラー１３４も中心軸回りに回転する。
発光素子６１ｂからの光は、ミラー１３４に照射されるように配置される。

モータ１３１が回転すると、円板状のミラー１３４も回転する。そして、モータ１３１の回転に応じて、発光素子６１ｂからの赤外光を反射する平面部１３４ｂの向きが変化する。

モータ１３１の回転は、図示しない制御部により制御可能となっている。モータ１３１の回転により、ミラー１３４で反射した光の出射方向は、変化する。すなわち、モータ１３１、ギア１３２及び傘歯車１３３は、ミラー１３４の反射面の向きを調整する向き調整機構を構成する。

よって、制御部によりモータ１３１を回転させると、ミラー１３４からの光の出射方向は、変化する。LEDなどの発光素子は、指向性が高いため、受光部４５において適切に十分な光量が得られない場合がある。そのような場合に、モータ１３１を回転させて、ミラー１３４から出射される光を種々の方向に向けて出射させると、どこかの位置で、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。

よって、本変形例７によれば、発光部１１１からの光の出射方向を変更できるため、受光部４５において光量調整信号である赤外線信号を適切に受光することができる。
（変形例８）
上述した実施の形態及び上述した各変形例では、拡散部材が発光部側に設けられるか、拡散部材若しくは導光部材が受光部側に設けられるか、あるいは発光部からの光の出射方向が変化させるかの構成が、検査装置１において採用されるが、これらの構成を組み合わせてもよい。

例えば、拡散部材が発光部側と受光部側の両方に設けるようにしてもよく、あるいは発光部からの光の出射方向が変化させると共に、拡散部材を受光部側に設けるようにしてもよい。あるいは、拡散部材が発光部側と受光部側の両方に設けると共に、発光部からの光の出射方向が変化させるようにしてもよい。

このような組合せによれば、より、光量調整信号が先端ユニット２の受光部において確実に受光することができる。
（変形例９）
上述した実施の形態では、発光部用の電池は、筒状部材５４の電池収容部に配設されているが、本変形例８では、接眼レンズユニットにおける発光部用の電池は、取っ手内に設けるようにした。

図３４は、変形例９に係わる接眼レンズユニット４Aの光軸方向に沿った断面図である。接眼レンズユニット４Aの筐体１８A内には、複数のレンズL3と、ミラー５８と、発光部６１が配設されている。発光部６１は、基板６１ａと、基板６１ａに搭載された発光素子６１ｂとを含む。基板６１ａは、筐体１８A内の１つの枠体に固定されている。基板６１ａは、筐体１８Aに設けられた２つの取っ手５６、５６Aの根元の近傍に固定されている。

２本の取っ手５６、５６Aが筐体１８Aの軸に直交する方向に延出するように設けられているが、１つの取っ手５６A内には、発光素子６１ｂ用の電池Bが配設されている。取っ手５６Aは、円筒形状を有し、円筒形状の内側に複数の電池Bが収納可能となっている。

取っ手５６Aの先端部には、開閉可能な蓋５６Bが設けられており、蓋５６Bをあけることにより、内部の電池Bの格納及び取り出しが可能となっている。
取っ手５６A内に収納された電池Bからの電力は、配線５６Cを介して基板６１ａに供給され、発光素子６１ｂが発光可能となっている。

電池Bが取っ手内に配設されるので、接眼レンズユニット４Aの小型化を図ることができ、さらに、電池交換も容易である。
（変形例１０）
上述した実施の形態では、照明部の光量調整は、接眼レンズユニットにおけるつまみの操作により可能であるが、接眼レンズユニットにおいて赤外光の送信が不可能となった場合、あるいは接眼レンズユニットからの赤外光が先端ユニットにおいて受信できなくなった場合に、照明部の照明光の光量を一定の値で出射させるようにした。

図３５は、変形例１０の検査装置の先端ユニット２Aと接眼レンズユニット４Bの外観図である。先端ユニット２Aに切替スイッチ１４１が設けられている。
切替スイッチ１４１は、照明部の出射光量を一定にするように、照明部３３ｂのLEDに一定の電流を流すように電池Bからの電力を一定にするためのスイッチである。切替スイッチ１４１に所定の操作（例えばオン操作）をすると、照明用LEDに一定の電流を流すように照明部３３ｂは制御される。切替スイッチ１４１に対する上記の所定の操作とは逆の操作（例えばオフ操作）をすると、照明用LEDに光量調整信号に応じた電流を流すように照明部３３ｂは制御される。

よって、ユーザは、例えば、何らかの故障により、接眼レンズユニットにおいて赤外光の送信が不可能となった場合、あるいは接眼レンズユニットからの赤外光が先端ユニットにおいて受信できなくなった場合にこの切替スイッチ１４１を操作することにより、一定の光量下での検査が可能となる。

なお、接眼レンズユニットにおいて赤外光の送信が不可能でない場合、あるいは接眼レンズユニットからの赤外光が先端ユニットにおいて受信が可能である場合に、先端ユニット２Aの照明光の光量を一定にすることができるように、接眼レンズユニット４Bにスイッチ１４１ａを設けるようにしてもよい。

例えば、ユーザがスイッチ１４１ａをオンにすると、そのときの照明部３３ｂの照明光の光量を維持するように、照明部３３ｂは動作する。その結果、ユーザは、スイッチ１４１ａをオンしたときの固定の光量で、被写体を観察することができる。
（変形例１１）
上述した実施の形態では、延長ユニット３は、炭素繊維あるいは炭素繊維を含む複合材料からなり、非導電性であるが、本変形例１１では、延長ユニット３が導電性を有するようにした。

図３６は、本変形例１１に係わる延長ユニットの構成を説明するための分解組立図である。
延長ユニット３は、各々が炭素繊維あるいは炭素繊維を含む複合材料からなる、前側筒体１６ａAと、後側筒体１６ｂAと、接続用筒体１６ｃAとから構成されている。前側筒体１６ａAと後側筒体１６ｂAは、接続用筒体１６ｃAにより接続されている。接続用筒体１６ｃAは、筒状部材１５０とリング状部材１５０ａとから構成される。

前側筒体１６ａAの内周面１５１と外周面１５２、及び後側筒体１６ｂAの内周面１５３と外周面１５４には、導電性塗料が塗布されている。前側筒体１６ａAの外周面１５２、及び後側筒体１６ｂAの外周面１５４には、導電性塗料上に絶縁性塗料も塗布されている。

接続用筒体１６ｃAの筒状部材１５０の外周面１５５とリング状部材１５０ａの外周面１５６にも、導電性塗料が塗布されている。リング状部材１５０ａの外周面１５６には、導電性塗料上に絶縁性塗料も塗布されている。

また、図３６に示すように、前側筒体１６ａAは、先端側段差部と基端側段差部を有し、先端側段差部の端面ES1と基端側段差部の端面ES2にも導電性塗料が塗布されている。端面ES1とES2に塗布された導電性塗料上には、絶縁性塗料は塗布されていない。同様に、後側筒体１６ｂAも、先端側段差部と基端側段差部を有し、先端側段差部の端面ES3と基端側段差部の端面ES4にも導電性塗料が塗布されている。端面ES3とES4に塗布された導電性塗料上には、絶縁性塗料は塗布されていない。

さらに、接続用筒体１６ｃAのリング状部材１５０ａの先端側の端面ES5と基端側の端面ES6にも導電性塗料が塗布されている。端面ES5とES6に塗布された導電性塗料上には、絶縁性塗料は塗布されていない。

接続用筒体１６ｃAの外周面１５５に導電性の接着剤（図示せず）を塗布して、前側筒体１６ａAと後側筒体１６ｂAを接続用筒体１６ｃAの両側に外挿することによって、前側筒体１６ａAと後側筒体１６ｂAは、接続用筒体１６ｃAにより接続されて固定される。

その結果、端面ES2とES5が接触し、端面ES6とES3も接触するので、前側筒体１６ａAの外周面１５２の表面と後側筒体１６ｂAの外周面１５４の表面は導通状態となる。さらに、導電性の接着剤により、前側筒体１６ａAの内周面１５１と後側筒体１６ｂAの内周面１５３も導通状態となる。

よって、各延長ユニット３は、２つの独立した導電路を有する。
このような構成の延長ユニット３を連設すると、２つの導電路を繋げた電気的経路が形成される。

このような２つの導電路を用いることによって、連接した複数の延長ユニット３Aの一部の接続状態が緩むと、電気的経路が途切れるため、延長ユニット３Aあるいは先端ユニット２の接続が緩んで、外れかかっていることが検知可能となる。
あるいは、このような２つの導電路を用いることによって、先端ユニット２への赤外光の送信が不能になったときに、光量調整信号を先端ユニット２に送信することができる。

以上説明したように、上述した実施の形態及び各変形例によれば、CCDカメラなどの撮像装置による画像でなく検査対象の反射光を目で観察でき、照明の光量調節を確実に行うことができかつ所望の長さに調整可能な検査装置を提供することができる。

本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を変えない範囲において、種々の変更、改変等が可能である。

１ 検査装置、２ 先端ユニット、３、３A 延長ユニット、４、４A、４B 接眼レンズユニット、４ａ 分岐ユニット、４ｂ アダプタ、撮影用カメラ、４ｄ カメラ保持台、４ｅ センタリング治具、４ｆ、４ｇ 分岐ユニット、５ 検査対象、６ ＣＣＤカメラ、７ 記録装置、８ モータ、８ａ ローラ、９ ギア、１０ 回転用モータ、１０ａ ギア、１１ 先端硬質部、１１ａ 枠体、１１ｂ 前側硬質部材、１１ｃ 後側硬質部材、１１ｄ 凹部、１１ｅ 開口部、１１ｆ 取付部、１１ｇ 内周面、１１ｈ 開口部、１１ｉ 空間、１１ｊ 螺子穴、１２ 連結部、１２ 先端ユニット、１２ 連結部、１２ａ 螺子、１２ｂ 段差部、１２ｃ 周状凹部、１３ 基端接続部、１４、１４A、１４B 観察ユニット、１５ 固定用リング、１６ 筒体、１６ａ、１６ａA 前側筒体、１６ｂ、１６ｂA 後側筒体、１６ｃ 接続用筒体、１６ｃA 接続用筒体、１７ 固定用リング、１７ａ 雌螺子部、１７ｂ 隙間、１８、１８A 筐体、１８ａ フォーカスリング、１８ａ１ 周状凸部、１９ 接続用口金、１９ａ 凸部、１９ｂ 雄螺子部、２１ レンズ、２２ａ、２２ｂ 螺子、２２ｂｔ 先端部、２２ｃ 螺子、２３ 照明部用電極部、３１、３１A、３１B 本体部、３１ａ 溝部、３１ｂ 平面部、３２、３２A、３２B 蓋部、３３、３３A、３３B 側壁部、３３ａ 観察窓、３３ｂ 照明部、３３ｂ１ 基板、３３ｃ 凹部、３３ｄ 平面部、３４ リング状部材、３５ 螺子、３６ 固定用螺子、３７ 電池用電極部材、３８ プリズム、３８A ロッドレンズ、３８B プリズム、３９ａ 配線、４０ 照明部用接点ピン、４１、４１A、４３ 枠体、４１ｘ 螺子、４２ ミラー、４２ｘ 嵌合部、４２ａ 溝、４２ｂ 基端面、４３、４３A 枠体、４３ａ 螺子、４３ｂ 内向フランジ部、４４ 口金、４４ａ 雄螺子部、４４ｂ 当てつけ部、４４ｃ 内周面、４４ｄ 凸部、４５、４５ａ 受光部、５１ 外筒部材、５２ 内筒部材、５２ａ 周溝、５２ｘ 円筒部材、５３ 枠体、５３ａ 円筒部材、５４ 筒状部材、５４ａ 電池収容部、５４ｂ 基板収容部、５４ｃ 開口部、５５ 蓋部材、５６、５６A 取っ手、５６B 蓋、５６C 配線、５７ 枠体、５８ ミラー、５９ レチクル部材、６０ 枠体、６０ａ 内向フランジ部、６０ｂ 固定部、６１ 発光部、６１ａ 基板、６１ｂ 発光素子、６２ 電池用電極部材、６３ 爪部、６４ パッチン錠、６５ 基板、７１ 螺子、７２、７３ 照明部、８１、８１ａ、８１ｂ 拡散部材、１０１、１０１A 受光部、１０２、１０２ａ 基板、１０３、１０３ａ 受光素子、１０４、１０４ａ 拡散部材、１０６ 透明部材、１０６ａ 突出部、１０６ａ１ 傾斜面、１０７ 基板、１１１ 発光部、１１２ モータ、１１３ 軸、１１４ａ、１１４ｂ 面、１１６ 発光部、１１７ ヒンジ部、１１８ 固定部材、１１９ バネ、１２０ モータ、１２０ａ 先端部材、１２１ 発光部、１２２ モータ、１２３ ミラー部材、１２６ 発光部、１２７ 円筒部材、１２８ 電池、１２９ モータ、１３０ 孔、１３１ モータ、１３２ ギア、１３３ 傘歯車、１３３ａ 抜け止め部材、１３４ ミラー、１３４ａ 平面部、１３４ｂ 平面部、１４１ 切替スイッチ、１４１ａ スイッチ、１５０ 筒状部材、１５０ａ リング状部材、１５１、１５３ 内周面、１５２、１５４、１５５、１５６ 外周面。

Claims (9)

1. 互いに連結可能に構成された１又は２以上の延長ユニットと、
   前記１又は２以上の延長ユニットの基端部に接続可能に構成された接眼レンズユニットと、
   前記１又は２以上の延長ユニットの先端部に接続可能に構成され、対物レンズ及び照明部を含む先端ユニットと、
   前記接眼レンズユニットに設けられ、可視光を透過し、かつ前記照明部の光量を調整する光量調整信号を含む所定の波長帯域の光を前記１又は２以上の延長ユニットのリレーレンズ系の光軸に沿って反射するように構成された第１のミラーと、
   前記第１のミラーに向けて、前記所定の波長帯域の光を出射する発光部と、
   前記先端ユニットに設けられ、前記可視光を透過し、かつ前記１又は２以上の延長ユニットの前記リレーレンズ系からの前記所定の波長帯域の光を反射するように構成された第２のミラーと、
   前記第２のミラーにおいて反射された前記所定の波長帯域の光を受光する受光部と、
   を有することを特徴とする検査装置。
2. 前記第１のミラーと前記発光部の間に配設された拡散部材を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記拡散部材の姿勢、あるいは前記発光部の前記所定の波長帯域の光が透過する前記拡散部材の領域の位置を調整する調整機構を有することを特徴とする請求項２に記載の検査装置。
4. 前記第１のミラー及び前記第２のミラーの各々は、板状部材であり、
   前記板状部材の平面部は、前記１又は２以上の延長ユニットの光軸に直交する面に対する角度は、４５度〜６０度の範囲のある角度であることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
5. 前記第２のミラーと前記受光部の間に配設された拡散部材を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
6. 前記第２のミラーと前記受光部の間に配設された導光部材を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
7. 前記発光部からの前記所定の波長帯域の光の出射方向を変更する出射方向変更機構を有することを特徴とする請求項１から６のいずれか１つに記載の検査装置。
8. 前記所定の波長帯域の光を反射する前記第１のミラーの反射面の向きを調整する向き調整機構を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１つに記載の検査装置。
9. 前記所定の波長帯域の光は、赤外光であることを特徴とする請求項１から８のいずれか１つに記載の検査装置。

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