JP2017223618A - 洗浄液の汚染度判定装置及び汚染度判定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】洗浄液の汚染度の判定が容易である洗浄液の汚染度判定装置及び汚染度判定方法を提供することを目的とする。【解決手段】被洗浄物の洗浄に用いる洗浄液の汚染度を判定する判定装置であって，洗浄液の濁度Ｔを測定する濁度測定部と，洗浄液の電導度σを測定する電導度測定部と，洗浄液のｐＨを測定するｐＨ測定部と，各測定値を保存する保存部と，前記測定値を用いて汚染度を算出する演算部と，を備える，洗浄液の汚染度判定装置。【選択図】図１

Description

本発明は，洗浄液の汚染度判定装置及び汚染度判定方法に関する。

機械加工部品などの洗浄機に用いる洗浄液は，洗浄機の稼働に伴い，洗浄液が汚染される。洗浄の過程において，機械加工部品などに付着した油分やコンタミが洗浄液に混じるためである。洗浄液が汚染されると洗浄能力が低下し，洗浄精度が確保できない。

図１０は，代表的な洗浄機であり，洗浄機に使用する洗浄液の汚染度管理は，洗浄機にオイルスキマーを用いた浮上油の回収機構やバッグフィルターなどのろ過機構を設置して，洗浄液の汚染度を目視などにより判断していた。そして，一定期間使用した洗浄液を定期的に交換していた。

また，この種の洗浄機に用いられる洗浄液は，界面活性剤を主成分とした弱アルカリ系の洗浄剤を水で希釈したものが多く，このような洗浄液の汚染度を次の項目を測定して化学的に分析し，洗浄液を管理しようとする例もある（例えば，特許文献１又は２参照）。

特開平９−１９６８７７号公報 特開平１０−７３５８３号公報

しかし，いずれの測定因子も化学的な分析の慣れと手間を要すること，及び個々の測定因子の分析数値に対する評価についても，化学分析の経験と見識を必要とするため，現実的にはこれらの測定及び分析を用いた洗浄液の管理はされていない。そのため，上記したように，定期的に洗浄液を交換することが行われているのが現状である。

また，例えば上記した因子の１つについて測定管理することも可能であるが，洗浄液の汚染具合の進行は複雑であり，洗浄液の使用回数が増えても，必ずしもその因子における汚染度の数値が増加するとは限らない（表２，表３，表４参照）。

また，洗浄する部品の種類によって洗浄性能に大きく影響を与える因子が油分濃度であったり，あるいは濁度であったりと，洗浄される部品の種類に応じて，洗浄液の汚染度管理の内容は一様でない。また，洗浄液に用いる洗浄剤の品種も多く，洗浄液を汚染させる１つの因子のみを測定管理して，洗浄性能を維持管理することには限界がある。一方，複数の因子を測定して汚染度を判定することは，それぞれについての経験や見識を必要とするなど，非常に複雑で困難である。

本発明は，上記の課題に鑑みてなされたもので，複数の被洗浄物に対応した洗浄液の汚染度管理が可能であり，洗浄液の汚染度の判定が容易である洗浄液の汚染度判定装置及び汚染度判定方法を提供することを目的としている。

上記の課題を解決するために本発明に係る洗浄液の汚染度判定装置は，被洗浄物の洗浄に用いる洗浄液の汚染度を判定する判定装置であって，洗浄液の濁度Ｔを測定する濁度測定部と，洗浄液の電導度σを測定する電導度測定部と，洗浄液のｐＨを測定するｐＨ測定部と，各測定値を保存する保存部と，前記測定値を用いて汚染度を算出する演算部と，を備えることを特徴とする。

本発明の発明者は，多数の試験研究と多大な時間とを費やし，まず洗浄液の汚染度にかかる因子として，油分濃度，濁度，電導度，ｐＨ，因子が洗浄液の汚染度の判定において，重要な因子であることを見いだした。しかしながら，油分濃度の測定については，界面活性剤等の作用により油分がエマルジョン化している場合が多く，様々な抽出溶媒が必要であり，測定が複雑で時間もかかる。そのため，短時間での洗浄液の汚染度判定に，油分濃度の因子を用いることは適さない。そこで，発明者はさらに試験研究を行うことで，油分濃度と濁度の間で，ある相関があることを見出し，洗浄液の汚染度にかかる因子として，油分濃度を代用できる濁度と電導度とｐＨの３つの因子を組み合わせて用いることで，短時間で定量的かつ安定した洗浄液の汚染度判定が可能であることを見いだした。

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，前記濁度測定部，前記電導度測定部，前記ｐＨ測定部が接続される配管と，前記配管に接続され，各測定部を校正する各校正液を貯留する複数の容器と，各液体を前記配管への流通を制御する複数の弁と，前記濁度測定部，前記ｐＨ測定部への洗浄液や校正液の流通を制御する三方弁と，前記洗浄液や前記各校正液を前記配管に流通させるための複数のポンプと，を備える。この構成によれば，洗浄液の測定後，各測定部の校正を行うことで，測定及び汚染度判定の精度が向上する。また，配管にポンプや弁を配することで，洗浄液の汚染度判定を自動化する構成とすることが容易となる。

好ましくは，この洗浄液の汚染度判定装置は，ｐＨを水素イオン濃度比Ｐに変換する手段をさらに備える。この構成によれば，洗浄液の汚染によるｐＨの変化は微少であるところ，ｐＨを水素イオン濃度比に変換することで，この変化を増幅することができ，洗浄液の汚染度の変化が認識しやすくなる。ここで，水素イオン濃度比は，例えば洗浄液の新液に交換後の洗浄液の水素イオン濃度を１とする。

好ましくは，この洗浄液の汚染度判定装置は，測定された濁度Ｔを，０−１００％の数値Ｋａに変換する手段と，測定された電導度σを，０−１００％の数値Ｋｂに変換する手段と，測定された水素イオン濃度比Ｐを，０−１００％の数値Ｋｃに変換する手段と，を備える。この構成によれば，各因子の汚染度を表す複雑な数値が，０−１００％で表され，各因子における汚染度の判定が容易となる。

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，下記式１により算出される数値を０−１００％の数値に変換する手段を備える。この構成によれば，３つの因子を組み合わせることで，被洗浄物の種類に対応し，安定した洗浄液の汚染度判定が容易となる。
（式１）
Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×Ｋｃ

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，Ａ＝Ｂ＝Ｃである。この構成によれば，濁度，電導度，水素イオン濃度比の３つの因子を平均的に用いることで，複数の被洗浄物に応じた汎用的な洗浄液の汚染度判定が可能となる。

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，Ａ，Ｂ，Ｃの１つ又は２つの数値が，他の数値よりも大きい。この構成によれば，濁度，電導度，水素イオン濃度比のいずれかの因子が重要となるような特殊な場合においても，洗浄液の汚染度判定が可能となる。

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，下記式２により算出される数値を０−１００％の数値に変換する手段を備えてもよい。濁度Ｔ，電導度σ，水素イオン濃度比Ｐのそれぞれの数値を必要とせず，洗浄液の汚染度のみが必要な場合は，この構成とすることもできる。
（式２）
Ｄ×Ｔ＋Ｅ×σ＋Ｆ×Ｐ

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，下記式３により算出される数値を０−１００％の数値に変換する手段を備えてもよい。ｐＨを水素イオン濃度比とせず，また濁度Ｔ，電導度σ，ｐＨのそれぞれの数値を必要とせず，洗浄液の汚染度のみが必要な場合，この構成とすることもできる。
（式３）
Ｇ×Ｔ＋Ｈ×σ＋Ｉ×ｐＨ

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，前記濁度測定部が，光源と受光部とを有し，所定の測定部容器に入れた洗浄液に光をあてて濁度を測定する。

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，前記電導度測定部が，所定の間隔で配された２つの電極を有し，所定の測定部容器に入れた洗浄液に電流を流して電導度を測定する。

また，この洗浄液の汚染度判定装置は，前記ｐＨ測定部が，基準内部液と被検液とに接触する２つの電極を有し，所定の測定部容器に入れた洗浄液によって発生する電位でｐＨを測定する。ここで，基準内部液とはｐＨが予め判明している基準の液体をいう。被検液とはｐＨを測定する測定対象の液体をいい，この汚染度判定装置においては測定対象の洗浄液である。そして，２液の電位差により，測定対象の洗浄液のｐＨを算出する。

本発明に係る洗浄液の汚染度判定方法は，被洗浄物の洗浄に用いる洗浄液の汚染度を判定する判定方法であって，洗浄液の濁度Ｔを測定する濁度測定工程と，洗浄液の電導度σを測定する電導度測定工程と，洗浄液のｐＨを測定するｐＨ測定工程と，測定された濁度Ｔ，電導度σ，ｐＨの測定値を保存する保存工程と，前記測定値を用いて汚染度を算出する演算工程と，ｐＨを水素イオン濃度比Ｐに変換する工程と，測定された濁度Ｔを，０−１００％の数値Ｋａに変換する工程と，測定された電導度σを，０−１００％の数値Ｋｂに変換する工程と，測定された水素イオン濃度比Ｐを，０−１００％の数値Ｋｃに変換する工程と，下記式４により算出される数値を０−１００％の数値に変換する工程と，を備える。
（式４）
Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×Ｋｃ

以上のように，本発明に係る洗浄液の汚染度判定装置及び汚染度判定方法によれば，複数の被洗浄物に対応し，安定した洗浄液の汚染度判定が可能となる。また，経験や見識によらず，容易に洗浄液の汚染度を判定することができる。

本発明の一実施形態に係る汚染度判定装置の構成を示す図である。 汚染度判定装置の正面図である。 汚染度判定装置の背面図である。 汚染度判定装置における測定対象の洗浄液の流れを示す図である。 汚染度判定装置における各測定部の校正液の流れを示す図である。 洗浄液の電導度，濁度，ｐＨ，水素イオン濃度比の測定結果を示す表である。 洗浄液の電導度，濁度，水素イオン濃度比を０−１００％に変換した表である。 図７の表に，洗浄液の汚染度を示す数値を追加した表である。 洗浄液の電導度，濁度，水素イオン濃度比と，経過日数との関係を示すグラフである。 洗浄液の汚染度と，経過日数との関係を示すグラフである。 各変形例における洗浄液の汚染度と，経過日数との関係を示すグラフである。 従来の洗浄装置を示す図である。

以下，本発明に係る実施形態を図面に基づき説明するが，本発明は下記実施形態に限定されるものではない。

＜実施形態＞
［汚染度判定装置の構成］
図１は，本発明の一実施形態に係る汚染度判定装置の構成を示す図である。図２は同汚染度判定装置の正面図である，図３は，同汚染度判定装置の背面図である。

図１に示すように，汚染度判定装置１は，コンピュータ２と，表示部３と，電導度測定部４と，ｐＨ・濁度測定部５と，を主要な構成として備える。また，汚染度判定装置１は，測定対象の試料となる洗浄液や，電導度測定部４，ｐＨ・濁度測定部５，に使用される校正液，各測定部や配管を洗浄する機内洗浄液，純水，エアなどが流通する配管１００を備えている。

配管１００には，校正液などの流体を吸い上げるポンプや電磁弁が接続されている。ポンプには，洗浄液を吸い上げるポンプ８Ａ，各溶液などを吸い上げるポンプ８Ｂ，測定後の洗浄液を排出するポンプ８Ｃがある。電磁弁には各溶液などの液体やエアの流量を制御する電磁弁６１―７１があり，これら電磁弁を介して各溶液などを貯留する容器９１―９７と，測定前及び測定後の洗浄液を貯留する容器９８と，測定後の各溶液が排出される廃液用の容器９９が配されている。

なお，配管１００の一部と，各溶液などを貯留する容器９１―９７は，汚染度判定装置１の背面に配置されていて，各溶液の補充などが容易に行えるよう構成されている（図３参照）。

コンピュータ２は，演算を行うＣＰＵ２１と，データを記憶するメモリ２２とを備える。コンピュータ２は，表示部３と，電導度測定部４と，ｐＨ・濁度測定部５と，それぞれ接続されている。本実施形態のコンピュータ２には，一例としてマイコンを用いているが，これに限られずＰＣなどを用いてもよい。

ＣＰＵ２１は，電導度測定部４，ｐＨ・濁度測定部５などで測定された数値を用いて洗浄液の汚染度を算出するなど演算に用いられる。メモリ２２は，前記の演算などのプログラムや，各測定値や算出された汚染度のデータやグラフなどが保存される。表示部３には，これらのデータやグラフが表示される（図２参照）。

電導度測定部４は，電導度センサ４１を備える。電導度センサ４１は，所定距離離間して配された２つの電極を備え，これに電流を流してインピーダンスを測定し，電導度を算出する。ｐＨ・濁度測定部５は，ｐＨセンサ５１と濁度センサ５２と攪拌機５３とを備える。ｐＨセンサ５１は，所定距離離間して配された２つの電極を備え，これに電流を流して電位差を測定して，基準溶液のｐＨとの差異から，ｐＨを算出する。

濁度センサ５２は，光を照射する光源と，光を受ける受光部とを備える。光源からの光が測定対象の洗浄液に照射され，平行のままの透過光と，洗浄液中の濁質におる散乱で角度が変わった光を，受光部（積分球）により検出する。透過光と散乱光の強度比を演算することで洗浄液の濁度を測定する。攪拌機５３は，測定部内の洗浄液を攪拌するために用いられ，また測定部内を校正，洗浄する際にこれら溶液を攪拌する際に用いられる。

［汚染度判定装置の動作］
次に，汚染度判定装置を用いた洗浄液の汚染度判定方法について説明する。図４は，汚染度判定装置における測定対象の洗浄液の流れを示す図である。図５は，汚染度判定装置における各測定部の校正液の流れを示す図である。汚染度判定装置１は，洗浄装置で使用される又は使用された洗浄液の汚染度を判定する。

図４に示すように，汚染度判定装置１を作動させると，洗浄液が貯留された容器９８から，洗浄液をポンプ８Ａで吸い上げ，配管を通じて電導度測定部４に流入する。そして，電導度測定部４において，電導度センサ４１が洗浄液の電導度を測定する。測定された電導度のデータは，コンピュータ２に送信され，メモリ２２に保存される。また，電導度測定後の洗浄液は，ポンプ８Ａによって容器９８に戻される。

次に，洗浄液のｐＨ及び濁度を測定する。電磁弁６１及び電磁弁７０の上方を開き，ポンプ８Ａ及びポンプ８Ｂを作動させると，容器９８より洗浄液がｐＨ・濁度測定部５に送られる。ｐＨ・濁度測定部５において，洗浄液のｐＨがｐＨセンサ５１により測定される。測定されたｐＨのデータは，コンピュータ２に送信され，メモリ２２に保存される。そして，ＣＰＵ２１が，ｐＨデータを水素イオン濃度比の数値データに変換し，メモリ２２に保存する。また，水素イオン濃度比は，使用前の洗浄液の水素イオン濃度を１として算出する。

一方，ｐＨ・濁度測定部５において，洗浄液の濁度も濁度センサ５２により測定される。このとき，適宜攪拌機５３を作動させ洗浄液を攪拌する。測定された濁度のデータは，コンピュータ２に送信され，メモリ２２に保存される。また，ｐＨ及び濁度測定後の洗浄液は，電磁弁７１の下方を開き，ポンプ８Ｃを作動させて容器９８に戻される。

なお，これら電導度測定，ｐＨ測定，濁度測定において，適宜電磁弁６８や６９を開いて純水やエアを用いる。純水は，希釈測定する場合に，洗浄液の希釈に用いる。エアは，配管１００内の液流れをよくするために用いる。

以上の工程により，コンピュータ２のメモリ２２に，洗浄液の電導度データ，水素イオン濃度比データ，濁度データが保存される。そして，ＣＰＵ２１が，これらの各数値データを０−１００％に変換して，それらの数値データがメモリ２２に保存される。具体的には，電導度データは，０−２．０ｍＳ／ｃｍを０−１００％に変換する。濁度データは，０−１０，０００ＦＮＵを０−１００％に変換する。水素イオン濃度比０−１０を０−１００％に変換する。

そして，これらを用いてＣＰＵ２１が洗浄液の汚染度を判定する。ここで，０−１００％に変換された電導度の数値を電導度データＫａと称し，同濁度の数値を濁度データＫｂと称し，同水素イオン濃度の数値を水素イオン濃度データＫｃと称する。

ＣＰＵ２１は，これらＫａ，Ｋｂ，Ｋｃを用いて，下記式１から汚染度を算出し，その数値を０−１００％に変換して汚染度データＫをメモリ２２に保存する。なお，本実施形態においては，Ａ＝Ｂ＝Ｃ＝１としている。
（式１）
Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×Ｋｃ

以上により，洗浄液の汚染度が数値化され，その数値が表示部３に表示される。この数値により，汚染度の判定ができる。なお，本実施形態の汚染度判定装置１は，印刷部を備えており，これらの結果を印刷することもできる。

一方，洗浄液の測定及び汚染度判定を１回行う毎に，電導度測定部４，ｐＨ・濁度測定部５，配管１００の校正及び洗浄を行う。残留物等を排除して，各数値の測定及び汚染度の判定を正確に行うためである。

図５に示すように，洗浄液の測定及び汚染度判定が終了後，電導度測定部４を校正する。まず，電磁弁６３を開き，ポンプ８Ｂを作動させて，電磁弁６３から電磁弁７０までの間で電導度校正液を貯めおく。このとき電磁弁７０は閉じた状態である。そして，この状態で電磁弁６１を開いて電導度校正液を電導度測定部４に流入させ，電導度測定部４の内部を校正する。この工程を複数行い，電導度測定部４に送液を複数度行う。また，校正後の電導度校正液は，容器９９に排出される。なお，電導度校正液は，一例として塩化ナトリウムや塩化カリウムなどを用いる。

次に，ｐＨ・濁度測定部５を校正する。まず，電磁弁６３，６４，７０の上方を開き，ポンプ８Ｂを作動させて，ｐＨ・濁度測定部５に濁度校正液の２液を流入させて，ｐＨ・濁度測定部５の内部を校正する。そして，ｐＨ・濁度測定部５の内部の濁度校正後，ポンプ８Ｃを作動させて，濁度校正液を容器９９が排出される。なお，濁度校正液は，一例としてホルマジン標準液やカオリン標準液，混和ポリスチレン標準液などを用いる。

また，同様に，電磁弁６６，６７，７０の上方を開き，ポンプ８Ｂを作動させて，ｐＨ・濁度測定部５にｐＨ校正液の２液を流入させて，ｐＨ・濁度測定部５の内部を校正する。そして，ｐＨ・濁度測定部５の内部のｐＨ校正後，ポンプ８Ｃを作動させて，ｐＨ校正液を容器９９が排出される。なお，ｐＨ校正液は，一例としてｐＨ４．０とｐＨ７．０の校正液を用いる。

また，電磁弁６２を開けて，機内洗浄液を配管や各測定部に流通させて，洗浄度判定装置１の内部全体を洗浄する。このとき，適宜電磁弁６８，６９を開けて，純水やエアを用いてもよい。

また，上記の洗浄液の各測定及び汚染度の算出，校正及び洗浄の一連の工程を，経過日数に応じて複数回おこなう。複数回とは，一例として洗浄液の使用開始日から経過日数ごとに測定を行う。そして，経過日数に応じた洗浄液の汚染度を数値化し，グラフ化する。これにより，経過日数に応じた洗浄液の汚染度を容易に判定することができる。

なお，あらかじめ汚染度の数値に所定のしきい値を設定し，これをメモリ２２に保存しておくこともできる。例えば，しきい値を汚染度５０％に設定するなど。そして，洗浄液の汚染度がしきい値を超えた場合，数値やグラフを赤字や赤線で表示したり，音声により通知することとしてもよい。

次に，これらの工程を行った実施例について説明する。本実施例は，一例として，洗浄液の使用開始日から経過日数０日目，４日目，９日目，１４日目に汚染度判定を行った例である。図６乃至図１０は，これら経過日数について各２回ずつ洗浄液の測定と汚染度の判定を行い，電導度，濁度，ｐＨ（水素イオン濃度比），洗浄液の汚染度を数値化した表，グラフである。

図６は，経過日数ごとの洗浄液の電導度，濁度，ＰＨ，水素イオン濃度比の表である。また，図７は，電導度，濁度，水素イオン濃度比を０−１００％に変換した表である。これらを見るとわかる通り，それぞれの数値が経過日数に応じて変化していることがわかり，また，必ずしも経過日数が増えでも全ての数値が一定に増加又は減少していないこともわかる。

図８は，図７の表に，０−１００％に変換した電導度Ｋａ，水素イオン濃度比Ｋｂ，濁度Ｋｃを，上記した式１：Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×Ｋｃ（Ａ＝Ｂ＝Ｃ＝１）より算出した数値を０−１００％にした汚染度の数値を追加したものである。また，図９は，電導度Ｋａ，水素イオン濃度比Ｋｂ，濁度Ｋｃをグラフ化したもので，図１０は，洗浄液の汚染度の数値をグラフ化したものである。

図８の表，図１０のグラフに示すように，洗浄液の汚染度が，０日目：１３．０／１３．０，４日目：４３．３／２１．５，９日目：５０．１／３６．０，１４日目：５２．４／４１．５となり，いずれの判定においても経過日数に応じて洗浄液の汚染度が増加していることがわかる。

以上から，本実施形態の洗浄液の汚染度判定を用いることで，必ずしも経過日数によらない電導度，ｐＨ（水素イオン濃度比），濁度の因子を，経過日数に応じた洗浄液の汚染度として安定した判定を行うことができる。また，汚染度の数値を０−１００％で表示することで，使用者の経験や見識によらず，容易に洗浄液の汚染度を認識することができる。

（変形例）

さらに，本実施形態の汚染度判定装置１は，上記の式１：Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×ＫｃにおけるＡ，Ｂ，Ｃの係数を変更することもできる。これは，特殊な部品や洗浄液を用いて洗浄する際に，所定の因子が極めて大きく影響する場合に対応するためである。なお，図１１にＡ＝２．０／Ｂ＝１．０／Ｃ＝０．２の場合，Ａ＝０．５／Ｂ＝２．０／Ｃ＝０．５の場合，Ａ＝０．２／Ｂ＝１．０／Ｃ＝２．０の場合のグラフを示す。

＜本実施形態の効果＞
以上した本実施形態の洗浄液の汚染度判定装置は次の効果を奏する。
洗浄液の電導度，ＰＨ（水素イオン濃度比），濁度の因子を組み合わせて汚染度を判定することで，容易かつ安定して洗浄液の汚染度を判定することができる。

また，汚染度を表す数値を０−１００％で表示することで，使用者の経験や見識によらず，汚染度の評価を容易にできる。

また，因子に油分濃度を用いないことで，短時間での汚染度の判定ができる。洗浄液の汚染度に油分濃度の影響は比較的大きく従来から多く用いられてきたが，油分濃度を測定する場合，測定試薬や油分抽出溶媒が必要となり，測定に多大な時間と労力が必要であるためである。同理由により，装置を小型化できる。

以上のとおり，図面を参照しながら本発明の実施形態を説明したが，本発明の趣旨を逸脱しない範囲で，種々の追加，変更または削除が可能である。例えば，本実施形態においては，電導度，水素イオン濃度比，濁度をそれぞれ０−１００％の数値として確認可能な構成としているが，これに限られず，０−１００％にすることなく，洗浄液の汚染度のみを０−１００％で表示する構成とすることもできる。また，水素イオン濃度比を用いず，ｐＨの数値を用いてこれを実現する構成とすることもできる。したがって，そのようなものも本発明の範囲内に含まれる。

１ 汚染度判定装置
２ コンピュータ
２１ ＣＰＵ
２２ メモリ
３ 表示部
４ 電導度測定部
４１ 電導度センサ
５ ｐＨ・濁度測定部
５１ ｐＨセンサ
５２ 濁度センサ
５３ 攪拌機
６１−７１ 電磁弁
８Ａ，８Ｂ，８Ｃ ポンプ
９１−９９ 容器
１００ 配管

Claims (13)

1. 被洗浄物の洗浄に用いる洗浄液の汚染度を判定する判定装置であって，
   洗浄液の濁度Ｔを測定する濁度測定部と，
   洗浄液の電導度σを測定する電導度測定部と，
   洗浄液のｐＨを測定するｐＨ測定部と，
   各測定値を保存する保存部と，
   前記測定値を用いて汚染度を算出する演算部と，
   を備える，
   洗浄液の汚染度判定装置。
2. 前記濁度測定部，前記電導度測定部，前記ｐＨ測定部が接続される配管と，
   前記配管に接続され，各測定部を校正する各校正液を貯留する複数の容器と，
   各液体を前記配管への流通を制御する複数の弁と，
   前記濁度測定部，前記ｐＨ測定部への洗浄液や校正液の流通を制御する三方弁と，
   前記洗浄液や前記各校正液を前記配管に流通させるための複数のポンプと，
   を備える，
   請求項１に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
3. ｐＨを水素イオン濃度比Ｐに変換する手段を備える，
   請求項１又は２に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
4. 測定された濁度Ｔを，０−１００％の数値Ｋａに変換する手段と，
   測定された電導度σを，０−１００％の数値Ｋｂに変換する手段と，
   測定された水素イオン濃度比Ｐを，０−１００％の数値Ｋｃに変換する手段と，
   を備える，
   請求項３に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
5. 下記式１により算出される数値を０−１００％の数値に変換する手段を備える，
   請求項４に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
   （式１）
   Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×Ｋｃ
6. Ａ＝Ｂ＝Ｃである，
   請求項５に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
7. Ａ，Ｂ，Ｃの１つ又は２つの数値が，他の数値よりも大きい，
   請求項５に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
8. 下記式２により算出される数値を０−１００％の数値に変換する手段を備える，
   請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
   （式２）
   Ｄ×Ｔ＋Ｅ×σ＋Ｆ×Ｐ
9. 下記式３により算出される数値を０−１００％の数値に変換する手段を備える，
   請求項１又は２に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
   （式３）
   Ｇ×Ｔ＋Ｈ×σ＋Ｉ×ｐＨ
10. 前記濁度測定部は，
    光源と受光部とを有し，
    所定の測定部容器に入れた洗浄液に光をあてて濁度を測定する，
    請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
11. 前記電導度測定部は，
    所定の間隔で配された２つの電極を有し，
    所定の測定部容器に入れた洗浄液に電流を流して電導度を測定する，
    請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
12. 前記ｐＨ測定部は，
    基準内部液と被検液とに接触する２つの電極を有し，
    所定の測定部容器に入れた洗浄液によって発生する電位でｐＨを測定する，
    請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の洗浄液の汚染度判定装置。
13. 被洗浄物の洗浄に用いる洗浄液の汚染度を判定する判定方法であって，
    洗浄液の濁度Ｔを測定する濁度測定工程と，
    洗浄液の電導度σを測定する電導度測定工程と，
    洗浄液のｐＨを測定するｐＨ測定工程と，
    測定された濁度Ｔ，電導度σ，ｐＨの測定値を保存する保存工程と，
    前記測定値を用いて汚染度を算出する演算工程と，
    ｐＨを水素イオン濃度比Ｐに変換する工程と，
    測定された濁度Ｔを，０−１００％の数値Ｋａに変換する工程と，
    測定された電導度σを，０−１００％の数値Ｋｂに変換する工程と，
    測定された水素イオン濃度比Ｐを，０−１００％の数値Ｋｃに変換する工程と，
    下記式４により算出される数値を０−１００％の数値に変換する工程と，
    を備える，
    洗浄液の汚染度判定方法。
    （式４）
    Ａ×Ｋａ＋Ｂ×Ｋｂ＋Ｃ×Ｋｃ