JP2017223614A - 時間領域解析を用いた誘電率評価法 - Google Patents
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Abstract
Description
反射伝送法では試料に入射した電磁波の反射・伝送特性(Sパラメータ)から誘電率を導出する(非特許文献1)。
この測定方法を利用すると、反射波を測定した信号に冶具に由来する不要な反射成分が含まれるので、時間領域解析におけるゲーティング(特許文献1)を用いてその影響を除去することができる。
ゲーティングを行わないで誘電率を求めると、治具の接続における多重反射の影響により、評価する誘電率にリップルがあらわれて試料の誘電率を正しく評価できない(図1)。
直接波と反射波を明確に分離し、時間領域解析を適用するためには長い試料治具を用いることが必要だが、30cm長の同軸線路に封入した試料に従来のゲーティング方法を用いると、ゲーティングの境界でSパラメータの時間領域波形が不連続に変化するため、逆FFT変換して得られる周波数領域波形にリップルが現れ、さらに評価する誘電率にもリップルがあらわれて試料の誘電率を正しく評価できない(図4、波波形)。
従ってゲーティング手法を用いて試料の直接波と冶具の端面の反射波を区別して直接波のみ利用できるようにする、あるいは、不連続点における冶具による反射波の影響を抑え、または除去し、直接波のみに基づいて逆FFTを行って得られる周波数領域の波形に基づいて精度よく誘電率を評価することが課題となる。
この解析により誘電率測定の主に低周波領域における高精度化が達成できる。
以下に開発した時間領域解析法を、図3に示した処理フローチャートを参照しながら説明する。
長さ2Lの同軸線路治具の中央に長さdの被測定試料が封入されている(図13(B))場合、伝送線路理論からSパラメータは次式で表される。
Γはγとγ0の関数であり、γ0は試料に依らない定数であり、γは試料の誘電率の関数なので、測定されたSパラメータを式(1)から(3)に代入し、誘電率について解くことで、試料の誘電率を求めることができる。
しかし、式(1)から(3)の導出では反射がゼロと仮定されているため、多重反射はSパラメータから誘電率を解析する際の誤差となり、その結果として誘電率の周波数特性にリップルが表れる。
多重反射の影響を除去するために、既存の時間領域解析法(ゲーティング法)では以下のように解析する。
例えば測定される反射量をFFTで時間領域波形にすると図8のRaw dataとなり、試料面における反射に起因するピーク(図8のまる2、以下同じ)のほかに、その両端に治具の接続部における反射に起因するピークが表れる(まる1、まる3)。
ゲーティング法では、ピーク(まる2)のまわりの有限の幅の時間領域波形だけ残し、その外側をゼロとすることで、治具の接続部における反射の影響を除去する(ステップS2)。
多重反射の影響は除去されたものの、ゲーティングを行うことで時間領域波形に不連続な変化が生じることに由来するリップルが誘電率の周波数特性に表れている。
まず、ゲーティング法で得られた振動する誘電率の中央値を誘電率の初期推定値とする(図4)(ステップS4)。
誘電率の初期推定値を式(1)から(3)に代入すると、治具の接続部で反射がゼロである理想的な同軸線路治具(長さ2L)の中央に長さdの被測定試料が封入された場合のSパラメータが計算される。
すなわち、Sパラメータの時間領域波形として、ゲーティング領域では測定値のFFTとして得られるデータを用い、ゲーティング領域の外側では誘電率の初期推定値に基づく計算の結果として得られるデータを用いる。
両者を連結することで、ゲーティングされた時間領域波形の連続的な延伸を行うことができる。
図5(B)をみるとどの初期推定値を用いた場合でも、高精度に誘電率を決定できることがわかり、本発明の解析が初期推定値の選び方に敏感でないことを確認した。
したがって、たとえ初期推定値の決定精度が悪くても、最終的な結果としては高精度な誘電率の推定が可能である。
また、ミリ波帯においても、従来のゲーティング法の測定精度を上まわることが確認できた。
これにより、ゲーティング法が広い帯域で測定精度よく活用できるようになった。
測定周波数は1〜18GHzであり、試料長は約5mmである。
図中Replacingが本解析方法、Gatingが既存の時間領域解析方法(ゲーティング)、Raw dataが時間領域解析を用いない場合に対応している。
Replacingはリップルのない単調な変化を示し、試料の誘電率特性を最も正確に反映していると考えられる。
X帯導波管の周波数帯域が8〜13GHzであることに合わせて、図12もその周波数範囲で比較している。
測定したSパラメータから試料の誘電率を算出する時にアンテナ間のレンズアンテナによる多重反射を除去するのに時間領域解析が利用できる。
ここで、ピーク1(図8ではまる1、以下同じ)と3がアンテナにおける反射を示し、ピーク2が試料における反射を示す。
Replaceが本解析方法、Gateが通常の時間領域解析法(ゲーティング)、Rawが時間領域解析を用いない場合にそれぞれ対応している。
本解析方法を用いた場合の推定結果が最も精度が高いことが確認できる。
2 試料
3 受信アンテナ
4 レンズアンテナ
5 冶具
Claims (12)
- マイクロ波帯電磁波を用いて所定の長さと接続部両端を有する同軸線路または導波管冶具に試料を封入しゲーティング法を利用した反射伝送法により誘電率特性を評価する誘電率測定装置であって、
所定の電磁波を前記同軸線路または導波管冶具に放出する手段と、
該放出された電磁波の反射波・透過波を測定しSパラメータを取得する手段と、
前記Sパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性を評価する手段を有し、
前記取得したSパラメータの時間領域波形から前記ゲーティング法を適用して前記同軸線路または導波管治具の接続部の多重反射を除去した時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形から得られた当該試料の誘電率特性に基づいて当該試料の誘電率特性の初期推定値を設定し、
前記ゲーティング法が適用されたSパラメータの時間領域波形を前記誘電率特性の初期推定値に対応する時間領域波形により当該ゲートの両側に延伸して得た時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形に基づいて当該試料の誘電率特性を評価することを特徴とする反射伝送法誘電率測定装置。 - 前記初期推定値は前記ゲーティング法を適用して得た当該試料の誘電率曲線の中央値(中央軸)とすることを特徴とする請求項1に記載の反射伝送法誘電率測定装置。
- 前記マイクロ波帯は1〜18GHzであることを特徴とする請求項2に記載の反射伝送法誘電率測定装置。
- 前記所定の長さは略30cmであることを特徴とする請求項3記載の反射伝送法誘電率測定装置。
- ミリ波帯電磁波を用いて2つのレンズアンテナ間の中央に試料を置いてゲーティング法を利用したフリースペース法により誘電率特性を評価する誘電率測定装置であって、
所定の電磁波を前レンズアンテナに放出する手段と、
該放出された電磁波の反射波・透過波を測定しSパラメータを取得する手段と、
前記Sパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性を評価する手段を有し、
前記取得したSパラメータの時間領域波形から前記ゲーティング法を適用して前記2つのレンズアンテナ間の多重反射を除去して逆FFTして得られた周波数領域波形から得られた当該試料の誘電率特性に基づいて当該試料の誘電率特性の初期推定値を設定し、
前記ゲーティング法が適用されたSパラメータの時間領域波形を前記誘電率特性の初期推定値に対応する時間領域波形により当該ゲートの両側に延伸して得た時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形に基づいて当該試料の誘電率特性を評価することを特徴とする反射伝送法誘電率測定装置。 - 前記初期推定値は前記ゲーティング法を適用して得た当該試料の誘電率曲線の中央値(中央軸)とすることを特徴とする請求項5に記載の反射伝送法誘電率測定装置。
- マイクロ波帯電磁波を用いて所定の長さと接続部両端を有する同軸線路または導波管冶具に試料を封入しゲーティング法を利用した反射伝送法により誘電率特性を評価する誘電率測定方法であって、
所定の電磁波を前記同軸線路または導波管冶具に放出するステップと、
該放出された電磁波の反射波・透過波を測定しSパラメータを取得するステップと、
前記Sパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性を評価するステップと、
前記取得したSパラメータの時間領域波形から前記ゲーティング法を適用して前記同軸線路治具の接続部の多重反射を除去した時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形から当該試料の誘電率特性を得るステップを有し、
さらに前記ゲーティング法を適用して得られた当該試料の誘電率特性に基づいて当該試料の誘電率特性の初期推定値を設定するステップと、
前記ゲーティング法が適用されたSパラメータの時間領域波形を前記誘電率特性の初期推定値に対応する時間領域波形により当該ゲートの両側に延伸して得た時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形に基づいて当該試料の誘電率特性を評価するステップを有することを特徴とする反射伝送法誘電率測定方法。 - 前記初期推定値は前記ゲーティング法を適用して得た当該試料の誘電率曲線の中央値(中央軸)とすることを特徴とする請求項7に記載の反射伝送法誘電率測定方法。
- 前記マイクロ波帯は1〜18GHzであることを特徴とする請求項8に記載の反射伝送法誘電率測定方法。
- ミリ波帯電磁波を用いて2つのレンズアンテナ間の中央に試料を置いてゲーティング法を利用したフリースペース法により誘電率特性を評価する誘電率測定方法であって、
所定の電磁波を前レンズアンテナに放出するステップと、
該放出された電磁波の反射波・透過波を測定しSパラメータを取得するステップと、
前記Sパラメータに基づいて当該試料の誘電率特性を評価するステップと
前記取得したSパラメータの時間領域波形から前記ゲーティング法を適用して前記2つのレンズアンテナ間の多重反射を除去した逆FFTして得られた周波数領域波形から得られた当該試料の誘電率特性を得るステップを有し、
さらに前記ゲーティング法を適用して得られた当該試料の誘電率特性の初期推定値を設定し、
前記ゲーティング法が適用されたSパラメータの時間領域波形を前記誘電率特性の初期推定値に対応する時間領域波形により当該ゲートの両側に延伸して得た時間領域波形から逆FFTして得られた周波数領域波形に基づいて当該試料の誘電率特性を評価することを特徴とする反射伝送法誘電率測定方法。 - 前記初期推定値は前記ゲーティング法を適用して得た当該試料の誘電率曲線の中央値(中央軸)とすることを特徴とする請求項10に記載の反射伝送法誘電率測定方法。
- 請求項7乃至請求項11のいずれか1項に記載された反射伝送法誘電率測定方法の各ステップにおいて該放出された電磁波の反射波・透過波を測定して取得されたSパラメータの演算処理を実行する事を特徴とするプログラムおよびプログラムを記録した記憶媒体。
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加藤他: "導波管反射伝送法による誘電率測定の不確かさ評価", 電気学会研究会資料:計測研究会IM−14−017〜024, JPN6019034212, 13 June 2014 (2014-06-13), JP, pages 13 - 17, ISSN: 0004109405 * |
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