JP2017223556A - 温度センサ - Google Patents

Abstract

【課題】金属チューブの先端側に好適に充填材を充填できる温度センサを提供すること。
【解決手段】温度センサ１は、金属チューブ９の内部の先端側に、サーミスタ素子２が配置されており、シース管５には、シース管５の外周側の空間Ｋと内周側の空間（内部空間）５５とを連通する側部開口部５１が形成されている。シース管５の先端の開口端面５３と絶縁材２３の先端面２３ａとの間で形成されるシース管５の内部空間５５には、セメント４７が充填されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、例えばサーミスタ素子や測温抵抗体素子等の感温素子を金属チューブ内に収容した温度センサに関する。

従来、例えば自動車の排ガスの温度等を測定する温度センサとして、金属チューブ内に、サーミスタ素子の一対の電極線とシース部材の一対の芯線とが接合された部材を収容するとともに、セメントにてこれらの部材を固定した温度センサが知られている。なお、シース部材とは、シース管内に絶縁材料が充填されるとともに、絶縁材料に芯線が貫挿された長尺の部材である。

この種の温度センサでは、サーミスタ素子を金属チューブに接触させないようにして、金属チューブ内の適切な位置に配置するために、位置決め用の構成が設けられている。具体的には、金属チューブの一部にテーパ部を設け、このテーパ部にシース管の先端を当接させることにより、サーミスタ素子の位置決めを行っている。

ところが、このようにシース管の先端がテーパ部に当たる構成の場合には、当接部分にて、サーミスタ素子の周囲の空間とシース管の周囲の空間とが閉塞されてしまうので、金属チューブの先端側にスラリー状のセメントを充填してサーミスタ素子を固定する作業に不具合が生じることがあった。

具体的には、セメントにてサーミスタ素子を固定する場合には、まず、金属チューブの先端側にスラリー状のセメントを充填し、次に、そのセメント中にシース部材に取り付けられたサーミスタ素子を入れ、次に、遠心力を利用して、スラリー中のセメント成分（固体成分）を金属チューブの先端側に充填するとともに、水分等を後端側（シース管の外周側）に排出する等の作業が行われるが、サーミスタ素子の周囲の空間とシース管の周囲の空間とが閉塞されている場合には、セメント成分（固体成分）を先端側に十分に充填できないことがあった。

この対策として、近年では、シース管を角形等に変形したり、その先端側を切り欠いたり、或いは、金属チューブを角形や凸状等に変形させたりして、テーパ部とシース管の当接部分に隙間を設けるようにした技術が提案されている（特許文献１参照）。

特開２００７−１５５７０２号公報

しかしながら、上述した従来技術では必ずしも十分ではなく、一層の改善が望まれている。
例えば、圧延等によってシース部材を製造する場合には、断面が円形のシース部材を作製した後に、例えばプレス成型によって角形等に加工するが、この方法では、導線である芯線を変形させる恐れがある。

また、シース部材（詳しくはシース管）の先端を切り欠く場合には、芯線の変形は生じにくいが、テーパ部とシース管との接触位置に関わる寸法精度が悪化することで、温度センサの特性が変化する恐れがある。

さらに、金属チューブを角形や凸状等に変形する場合には、外形形状によっては、温度を測定する際に、金属チューブの周方向において温度の分布状態が変化し、温度測定における方向性が発生するという恐れがある。

つまり、上述したような問題を生じさせないようにして、金属チューブの先端側にセメント等の充填材を充填することは容易ではないという問題があった。
本発明は、かかる背景に鑑みてなされたものであり、その目的は、金属チューブの先端側に好適に充填材を充填できる温度センサを提供することである。

（１）本発明の第１局面は、温度によって電気的特性が変化する感温部と、感温部に接続された電極線と、を有する感温素子と、シース管と、シース管内に充填された電気絶縁性を有する絶縁材と、絶縁材を貫いて配置されると共に先端側が電極線に接続された芯線と、を有するシース部材と、先端側が閉塞されると共に、内部に感温素子とシース部材の少なくとも先端側とが収容された金属チューブと、を備えた温度センサに関するものである。

この温度センサでは、金属チューブは、先端側の小径部と、小径部より大径の後端側の大径部と、小径部と大径部とを接続する中間部と、を有し、感温素子が小径部の内部の空間に配置され、感温素子と金属チューブとの間に電気絶縁性を有する充填材が充填されている。

更に、この温度センサでは、シース管の先端が中間部の内周面に当接しており、シース管には、シース管の外周側の空間と内周側の空間とを連通する側部開口部を備えると共に、シース管の先端の開口端面と絶縁材の先端面との間で形成されるシース管の内部空間に、充填材が充填されている。

このように、本第１局面では、シース管の外周側の空間と内周側の空間とを連通する側部開口部を備えており、シース管の先端の開口端面と絶縁材の先端面との間で形成されるシース管の内部空間には、充填材が充填されている。

従って、このような構造の温度センサを製造する時に、金属チューブの先端側に充填材を充填する場合には、充填材は、側部開口部を介してシース管の外周側の空間と内周側の空間との間を容易に移動可能であるとともに、シース管の開口端面を介してシース管の内部空間と小径部の内部との間を容易に移動可能である。よって、金属チューブの先端側に容易に充填材を充填できる。

詳しくは、温度センサの製造時には、例えばスラリー状のセメント等の充填材（詳しくは例えばスラリー中の固体成分）は、シース管の側部開口部及び内部空間を介して、シース管の外周と金属チューブの内周との間の空間から小径部の内部の空間に容易に移動できる。また、例えばスラリー中の水分等は、シース管の側部開口部及び内部空間を介して、小径部の内部の空間からシース管の外周と金属チューブの内周との間の空間に容易に移動できる（即ち排出される）。よって、金属チューブの先端側（特に小径部の内部）に充填材（例えばスラリー中の固体成分）を充填する作業が容易であるので、感温素子を固定する作業が容易である。

また、本第１局面では、従来のように、例えばシール部材をプレス成形によって角形等に加工する必要がないので、導線である芯線を変形させる恐れがない。また、シース管の先端を切り欠く必要がないので、温度センサの特性が変化する恐れがない。更に、金属チューブを角形や凸状等をする必要がないので、温度測定の方向性が生じる恐れがないという利点がある。

ここで、「シース管の先端の開口端面」とは、シース管の端面を含む平面のうち、シース管の内部に面する部分の端面である。
（２）本発明の第２局面では、金属チューブの大径部には、軸中心側に突出した形状の加締め部が形成されており、シース管の先端から側部開口部の先端側に到る最短の距離Ｌ１と、側部開口部の後端側から加締め部の先端側に到る最短の距離Ｌ２とが、Ｌ１＜Ｌ２の関係を有する。

本第２局面では、前記距離Ｌ１と前記距離Ｌ２とが、Ｌ１＜Ｌ２の関係を有しており、側部開口部の後端側から加締め部の先端側までの距離が十分に確保されているので、（金属チューブを加締める際に）外部からシース管に大きな力が加わっても、シース管の側部開口部の周囲が変形しにくいという効果がある。

（３）本発明の第３局面では、シース管の先端から側部開口部の先端側に到る最短の距離Ｌ１は、シース管の厚みより大である。
本第３局面では、前記距離Ｌ１はシース管の厚みより大であるので、シース管の先端側に側部開口部を設けても、シース管の先端側の強度が高く変形しにくいという効果がある。

（４）本発明の第４局面では、側部開口部は、軸方向よりも周方向に長い短冊形状である。
本第４局面では、側部開口部は、軸方向よりも周方向に長い短冊形状であるので、例えばスラリー状のセメント状の充填材が周方向に広がり易く、シース管の外周側のような円筒形状に空間も容易に充填できるという利点がある。

＜以下に、本発明の構成について説明する＞
・感温部としては、例えばサーミスタ、白金抵抗体等の測温抵抗体等が挙げられる。従って感温素子としては、サーミスタ素子、測温抵抗体素子等が挙げられる。

・電極線としては、例えばＰｔ又はＰｔ−Ｒｈ合金、Ｐｔ−Ｉｒ合金、Ｐｔ又はＰｔ合金にアルカリ土類金属元素（例えばＳｒ）を微量添加した線材が挙げられる。
・シース管とは、金属製の筒状部材であり、その材料としては、例えばステンレスが挙げられる。

・絶縁材の材料としては、例えばシリカが挙げられる。
・芯線の材料（導電材料）としては、例えばステンレス又はインコネル（登録商標）が挙げられる。

・金属チューブは筒状の部材であり、その材料としては、例えばステンレスが挙げられる。
・充填材の材料としては、例えばセメントが挙げられる。

第１実施形態の温度センサを軸線方向に破断して示す断面図である。 温度センサの先端側を（芯線の配置された平面に沿って）軸線方向に破断し拡大して示す断面図である。 温度センサの先端側を（図２の平面と垂直な平面に沿って）軸線方向に破断し拡大して示す断面図である。 図２において側部連通口及びその周囲を拡大して示す断面図である。 温度センサの先端側を軸線方向沿って破断して示す斜視図である。 金属チューブを軸線方向に対して垂直に破断した断面（図２のＡ−Ａ断面）を示す断面図である。 金属チューブの側面を示すとともにＬ１とＬ２との関係を示す説明図である。 温度センサの製造工程を説明する説明図である。 第２実施形態の温度センサを軸線方向に破断して示す断面図である。 温度センサの先端側を（芯線の配置された平面に沿って）軸線方向に破断し拡大して示す断面図である。

以下、本発明が適用された温度センサの実施形態について、図面を用いて説明する。
［１．第１実施形態］
［１−１．温度センサの全体構成］
図１に示すように、第１実施形態の温度センサ１は、感温素子であるサーミスタ素子２と、一対の金属製の芯線３をシース管５の内側にて絶縁保持したシース部材７と、先端側が閉塞し軸線Ｏ方向（軸方向）に延びる筒状の金属チューブ（ハウジング）９と、金属チューブ９を支持する取付部材１１と、六角ナット部１３及びネジ部１５を有するナット部材１７と、取付部材１１の後端側に内嵌する外筒１９とを備えている。

なお、軸線Ｏ方向とは、温度センサ１の長手方向（軸線Ｏの延びる方向）であり、図１においては上下方向に相当する。また、温度センサ１における先端側は図１における下側であり、後端側は図１における上側である（以下同様）。

前記温度センサ１は、金属チューブ９の先端側の内部に、温度を測定するために前記サーミスタ素子２を収納したセンサである。この温度センサ１は、例えば内燃機関の排気管などの流通管に装着され、温度センサ１の先端側が、測定対象ガス（排ガス）が流れる流通管内に配置されることにより、測定対象ガスの温度を検出する。

以下、各構成について詳細に説明する。
図２及び図３に拡大して示す様に、シース部材７は、円筒形状の金属製（例えばステンレス合金製）のシース管５と、導電性金属（例えばステンレス合金：例えばＳＵＳ３１０Ｓ）からなる一対の芯線３と、シース管５と２本の芯線３との間を電気的に絶縁して芯線３を保持するシリカ等の（絶縁粉末である）絶縁材２３（図４参照）とから構成される。

芯線３は、その先端側が、例えばレーザ溶接によりサーミスタ素子２の電極線２５と接続されており、その後端側が、例えば抵抗溶接により加締め端子２７（図１参照）と接続されている。

図１に示すように前記芯線３は、自身の後端側が加締め端子２７を介して外部回路（例えば、車両の電子制御装置（ＥＣＵ）等）接続用のリード線２９と接続されている。
なお、一対の芯線３および一対の加締め端子２７は、絶縁チューブ３１により互いに絶縁され、リード線２９は、導線を絶縁性の被覆材にて被覆され耐熱ゴム製の補助リング３３の内部を貫通する状態で配置される。

取付部材１１は、径方向外側に突出する円筒状の突出部３５と、突出部３５から後端側に延びる円筒状の後端側鞘部３７とを有している。後端側鞘部３７は、後端側に延びる円筒状のスリーブ３９を有しており、このスリーブ３９に金属チューブ９が接合されている。つまり、この取付部材１１は、金属チューブ９の後端側の外周面を取り囲んで金属チューブ９を支持する。

金属チューブ９は、耐腐食性金属（例えば、耐熱性金属でもあるＳＵＳ３１０Ｓなどのステンレス合金）からなる。この金属チューブ９は、鋼板の深絞り加工によりチューブ先端側が閉塞した軸線Ｏ方向に延びる筒状をなし、筒状のチューブ後端側が開放した形態である。

また、図２及び図３に示すように、金属チューブ９は、径が小さく設定された先端側の小径部４１と、径が小径部４１よりも大きく設定された後端側の大径部４３と、小径部４１と大径部４３との間の中間部４５とを備えている。

なお、小径部４１は先端側が閉塞された円筒形状であり、中間部４５は円錐台形状であり、大径部４３は円筒形状であり、それぞれ軸線Ｏに対して同軸となっている。
また、金属チューブ９の内部に、サーミスタ素子２およびセメント４７が収納されており、セメント４７は、サーミスタ素子２の周囲に充填されることで、サーミスタ素子２の揺動を防止している。

このセメント４７（図２、図３では灰色にて示す）は、後に詳述するように、小径部４１の内部と中間部４５の内部と大径部４３の内部の先端部分とに加え、シース管５の内部の先端部分にも充填されている。なお、セメント４７は、非晶質のシリカにアルミナ骨材を含有した絶縁材よりなる。

サーミスタ素子２は、温度によって電気的特性（電気抵抗値）が変化するサーミスタ焼結体（感温部）４９と、このサーミスタ焼結体４９の電気的特性の変化を取り出すための一対の電極線２５とから構成される。

サーミスタ焼結体４９は、六角柱形状のセラミック焼結体であり、例えば、（Ｓｒ、Ｙ）（Ａｌ、Ｍｎ、Ｆｅ）Ｏ_３をベース組成としたペロブスカイト型酸化物で形成されている。電極線２５は、例えば白金（Ｐｔ）から構成されている。

［１−２．シース部材の先端側の構成］
次に、本第１実施形態の要部であるシース部材７の先端側の構成について説明する。
図２及び図３に示すように、シース管５の先端は、中間部４５のテーパ形状の内周面４５ａに全周にわたって当接しており、このシース管５には、シース管５の外周面５ａと金属チューブ９の内周面９ａとの間の空間Ｋと、シース管５の内周側の空間（内部空間）５５とを連通する側部開口部５１が形成されている。

つまり、図４及び図５に示すように、シース管５の内部には、シース管５の先端側の円形の開口端面５３と絶縁材２３の先端面２３ａとの間には、内部空間５５が設けられており、この内部空間５５は、開口端面５３から側部開口部５１に到る連通路となっている。この先端面２３ａは、側部開口部５１の後端の位置における軸線Ｏに対して垂直な平面である。

なお、内部空間５５にはセメント４７が充填されている。また、図５ではサーミスタ素子２及びセメント４７を省略してある。
また、前記図２に示すように、側部開口部５１は、一対の芯線３を含む平面に垂直の方向から見た場合（即ち平面視で）、軸方向よりも周方向に長い短冊形状である。つまり、側部開口部５１は、シース管５の先端と平行に（図２の上下方向に長い）短冊形状に設けられている。

詳しくは、前記平面視で、側部開口部５１の形状（即ちシース管５の外周面５ａの開口端における形状）は、軸方向における長さ（即ち短手方向の長さ）Ｌ０が例えば０．５ｍｍであり、軸方向と垂直の長手方向の長さ（即ち図２の上下方向の長さ）ＬＳが例えば１ｍｍである。また、シース管５の先端から側部開口部５１の先端側に到る最短の距離Ｌ１（例えば０．５ｍｍ）は、シース管５の厚みｔ（例えば０．３ｍｍ）より大である。

なお、シース管５の外径は例えばφ２．５ｍｍであり、金属チューブ９の厚みは例えば０．３ｍｍである。また、金属チューブ９の大径部４３の内径は例えばφ２．７ｍｍ、小径部４１の内径は例えばφ２．１ｍｍである。

また、図６に示すように、側部開口部５１は、シース管５の側面において、その周方向に沿って湾曲するように開口しており、側部開口部５１の前記長手方向における長さＬＳは、シース管５の外径（例えばφ２．５ｍｍ）の２０〜９６％の範囲内（例えば４０％）である。つまり、側部開口部５１は、上述した開口の範囲内（例えば４０％）となるように、軸線Ｏを中心とした開度（角度θ）が設定されている。

さらに、図７に示すように、シース管５は、金属チューブ９の大径部４３にて、その一部が径方向の両側から加締められて固定されている。
この加締められている部分（加締め部）６１は、その先端と側部開口部５１の後端との距離Ｌ２（例えば７ｍｍ）が、シース管５の先端と側部開口部５１の先端との距離Ｌ１よりも大であるように設定されている。

なお、前記加締め部６１よりも後端側にも他の一対の加締め部６３（図１参照）が設けられており、この他の一対の加締め部６３は前記一対の加締め部６１と垂直の方向にて加締められている。

［１−３．温度センサの製造方法］
次に、温度センサ１の製造方法について説明する。
本第１実施形態の温度センサ１を製造するには、金属チューブ９、取付部材１１、サーミスタ素子２等の部品を公知の手法により準備する。

＜シース部材の製造工程＞
シース部材７については、下記の方法により製造する。
まず、従来と同様に、シース管５内に、絶縁材２３が配置し且つ絶縁材２３を貫通するように芯線３を配置し、このシース管５を圧延することにより、シース部材７を作製する。

次に、シース管５に対して、側部開口部５１を形成するために、軸線Ｏ方向と垂直にグラインダーの砥石によって切り込みを入れる。これによって、側部開口部５１が形成される。なお、このとき、砥石により絶縁材２３にも一部切り込みが形成される。

次に、シース管５の側部開口部５１の先端より先端側に、超音波振動工具（図示せず）を当てて、シース管５内の絶縁材２３に超音波振動を与える。これによって、絶縁材２３のうち、側部開口部５１の内側部分及び側部開口部５１より先端側の絶縁材２３、即ち絶縁材２３の先端面２３ａより先端側の部分が、後端側の部分より分離するので、絶縁材２３の先端面２３ａより先端側の絶縁材２３を外部に取り除くことができる。

これにより、側部開口部５１と内部空間５５とを有するシース部材７を作製することができる。
その後、サーミスタ素子２の一対の電極線２５の後端を、各々一対の芯線３の先端に当接させて配置し、例えばレーザ溶接により接合する。

＜組み付け工程＞
レーザ溶接後の製造工程は従来と同様であるので簡単に説明する。
例えば前記図１に示す様に、取付部材１１の内部に金属チューブ９を圧入し、スリーブ３９に対して溶接作業を行うことで、金属チューブ９と取付部材１１とを一体化する。

続いて、サーミスタ素子２が溶接されたシース部材７と取付部材１１が溶接された金属チューブ９とからなる先端部品７１（図８参照）を組み立てる。
この作業については、図８を用いて説明する。

先端部品７１を製造するにあたっては、まず、取付部材１１が溶接された金属チューブ９の先端部分の中にノズル７３を挿入し、スラリー状（ペースト状）のセメント４７を注入する。なお、この段階では、金属チューブ９にサーミスタ素子２等は挿入されていない。

次に、サーミスタ素子２が溶接されたシース部材７を、セメント４７が注入された金属チューブ９の内部に挿入する。このとき、小径部４１、大径部４３、中間部４５の各内部や、側部開口部５１、内部空間５５に、セメント４７が充填される。

そして、シース部材７を金属チューブ９の内部に挿入した状態で、金属チューブ９に径方向外側から金型７５を対向させた状態で押し当てる長孔加締を行う。この長孔加締により、金属チューブ９とシース部材７とは完全に位置決め固定される。

このようにして、先端部品７１ができあがる。
＜遠心脱泡処理＞
そして、この先端部品７１に対して、周知の遠心脱泡処理を実施する。

この処理により、スラリー状のセメント４７中の固体成分が、側部開口部５１及び内部空間５５を介して、大径部４３側から小径部４１側に移動するので、金属チューブ９の先端側に、セメント４７の固体成分が十分に充填される（即ち小径部４１内に隙間なく充填される）。また、水分や気泡は、小径部４１側から大径部４３側に移動する。

そして、遠心脱泡処理が終了すると、この先端部品７１を熱処理し、セメント４７を乾燥（硬化）させる。
このようにして、熱処理後の先端部品７１が得られる。

なお、先端部品７１とその他の部品との組み付け工程は、従来と同様であるので、その説明は省略する。
［１−４．効果］
（１）第１実施形態の温度センサ１は、シース管５の外周側の空間Ｋと内周側の空間（内部空間）５５とを連通する側部開口部５１を備えており、シース管５の先端の開口端面５３と絶縁材２３の先端面２３ａとの間で形成されるシース管５の内部空間５５には、セメント４７が充填されている構造を有している。

従って、温度センサ１の製造時において、その遠心脱泡の際に、スラリー状のセメント４７の固体成分を、側部開口部５１及び内部空間５５を介して、シース管５の外周側と金属チューブ９の内周側との間の空間Ｋから小径部４１の内部の空間に容易に充填することができる。よって、サーミスタ素子２の固定作業が容易である。

（２）第１実施形態では、従来のように、例えばプレス成形によって角形等に加工する必要がないので、導線である芯線３を変形させる恐れがない。また、シース管５の先端を切り欠く必要がないので、温度センサ１の特性が変化する恐れがない。さらに、金属チューブ９を角形や凸状等をする必要がないので、温度測定の方向性が生じる恐れがないという利点がある、
（３）第１実施形態では、前記距離Ｌ１と前記距離Ｌ２とが、Ｌ１＜Ｌ２の関係を有しており、側部開口部５１の後端側から加締め部６１の先端側までの距離が十分に確保されているので、（金属チューブ９を加締める際に）外部からシース管５に大きな力が加わっても、シース管５の側部開口部５１の周囲が変形しにくいという効果がある。

（４）第１実施形態では、前記距離Ｌ１はシース管５の厚みより大であるので、シース管５の先端側に側部開口部５１を設けても、シース管５の先端側の強度が高く、変形しにくいという効果がある。

（５）第１実施形態では、側部開口部５１は、軸方向よりも周方向に長い短冊形状であるので、ペースト状のセメント４７が周方向に広がり易く、シース管５の外周側のような円筒形状に空間も容易に充填できるという利点がある。

［１−５．特許請求の範囲との対応関係］
ここで、特許請求の範囲と第１実施形態とにおける文言の対応関係について説明する。
第１実施形態の、サーミスタ焼結体４９、電極線２５、サーミスタ素子２、シース管５、絶縁材２３、芯線３、シース部材７、金属チューブ９、小径部４１、大径部４３、中間部４５、セメント４７、温度センサ１、開口端面５３、先端面２３ａ、内部空間５５、加締め部６１が、それぞれ、本発明の、感温部、電極線、感温素子、シース管、絶縁材、芯線、シース部材、金属チューブ、小径部、大径部、中間部、充填材、温度センサ、開口端面、（絶縁材の）先端面、内部空間、加締め部の一例に該当する。

［２．第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明するが、前記第１実施形態と同様な構成については、その説明は省略する。

なお、第２実施形態は、第１実施形態とは感温素子の種類が異なる。
［２−１．温度センサの全体構成］
図９に示すように、第２実施形態の温度センサ８１は、温度を測定する感温素子である抵抗体素子８２と、一対の金属製の芯線８３をシース管８５の内側にて絶縁保持したシース部材８７と、先端側が閉塞し軸線Ｏ方向に延びる筒状の金属チューブ８９と、金属チューブ８９を支持する取付部材９１と、六角ナット部９３及びネジ部９５を有するナット部材９７と、取付部材９１の後端側に内嵌する外筒９９等とを備えている。

なお、抵抗体素子９２以外は、第１実施形態と同様な構成であるので、その説明は省略する。
［２−２．抵抗体素子］
図１０に示すように、抵抗体素子８２は、温度に応じて電気的特性が変化する先端感温部１０１と、先端感温部１０１に接続された一対の電極線１０３とを備えている。

先端感温部１０１は、セラミック基体１０５と、金属抵抗体１０７と、接合層１０９と、セラミック被覆層１１１と、電極パッド１１３とを有する。
セラミック基体１０５は、アルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。

金属抵抗体１０７は、白金（Ｐｔ）を主体に構成され、温度に応じて電気的特性（電気抵抗値）が変化する測温抵抗体である。金属抵抗体１０７は、セラミック基体１０５の表面に所定のパターン形状で形成されている。

セラミック被覆層１１１は、アルミナからなり、セラミックグリーンシートを予め焼成してなる焼成済みシートである。セラミック被覆層１１１は、金属抵抗体１０７のうち、セラミック基体１０５と接する面とは反対側の面において、金属抵抗体１０７の先端側を被覆している。

接合層１０９は、アルミナからなる。接合層１０９は、接合前はアルミナ粉末を含むペーストであり、焼成済みのセラミック基体１０５とセラミック被覆層１１１とを上記ペーストで貼り合わせた後、熱処理されることで、最終的に接合層１０９となる。

金属抵抗体１０７のうち後端側（図１０の右側）は、セラミック被覆層１１１によって被覆される導体パターンより幅広に形成された電極パッド１１３を介して、一対の電極線１０３が電気的に接続される。

電極パッド１１３と一対の電極線１０３とは、抵抗溶接、レーザ溶接等の溶接により、溶接点１１５において接合されている。
電極パッド１１３と一対の電極線１０３との接合部分は、被覆部材１１７によって被覆されている。被覆部材１１７は、アルミノケイ酸塩ガラスを主体とするガラス材料により構成されている。

一対の電極線１０３は、金属抵抗体１０７の後端側から、シース部材８７側（後端側）に向かって延びるように配置されている。
そして、一対の電極線１０３の後端と一対の芯線８３の先端とは、レーザ溶接により接合されている。

本第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、シース管８５には側部開口部１２１や内部空間１２３が設けられており、その内部空間１２３に加え、金属チューブ８９の小径部１２５の内部、中間部１２７の内部、大径部１２９の内部（シース管８５の外周側）には、セメント１３１が充填されている。

上述した第２実施形態の構成によって、前記第１実施形態と同様な効果を奏する。
［３．他の実施形態］
本発明は前記実施形態になんら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。

（１）例えば、感温素子、絶縁材、充填材等については、上述した実施形態に限定されるものではない。
（２）また、側部開口部の形状や位置や大きさは、本発明の効果が得られる限り、前記実施形態に限定されるものではない。

（３）さらに、温度センサの製造方法は、前記実施形態に限定されるものではない。
（４）また、温度センサによって測定される対象は、ガスや液体等の流体が挙げられる。

（５）上述した実施形態等の構成要素を適宜組み合わせることも可能である。

１、８１…温度センサ
２…サーミスタ素子
３、８３…芯線
５、８５…シース管
７、８７…シース部材
９、８９…金属チューブ
２３…絶縁材
２５、１０３…電極線
４１、１２５…小径部
４３、１２９…大径部
４５、１２７…中間部
４７、１３１…セメント
４９…サーミスタ焼結体
５１、１２１…側部開口部
５５、１２３…内部空間
８２…抵抗体素子
１０１…先端感温部

Claims (4)

1. 温度によって電気的特性が変化する感温部と、該感温部に接続された電極線と、を有する感温素子と、
   シース管と、該シース管内に充填された電気絶縁性を有する絶縁材と、該絶縁材を貫いて配置されると共に先端側が前記電極線に接続された芯線と、を有するシース部材と、
   前記先端側が閉塞されると共に、内部に前記感温素子と前記シース部材の少なくとも先端側とが収容された金属チューブと、
   を備え、
   前記金属チューブは、前記先端側の小径部と、該小径部より大径の後端側の大径部と、前記小径部と前記大径部とを接続する中間部と、を有し、
   前記感温素子が前記小径部の内部の空間に配置され、前記感温素子と前記金属チューブとの間に電気絶縁性を有する充填材が充填された温度センサにおいて、
   前記シース管の先端が前記中間部の内周面に当接しており、
   前記シース管には、該シース管の外周側の空間と内周側の空間とを連通する側部開口部を備えると共に、
   前記シース管の先端の開口端面と前記絶縁材の先端面との間で形成される前記シース管の内部空間に、前記充填材が充填されてなることを特徴とする温度センサ。
2. 前記金属チューブの大径部には、軸中心側に突出した形状の加締め部が形成されており、
   前記シース管の先端から前記側部開口部の先端側に到る最短の距離Ｌ１と、前記側部開口部の後端側から前記加締め部の先端側に到る最短の距離Ｌ２とが、Ｌ１＜Ｌ２の関係を有することを特徴とする請求項１に温度センサ。
3. 前記シース管の先端から前記側部開口部の先端側に到る最短の距離Ｌ１は、前記シース管の厚みより大であることを特徴とする請求項１又は２に記載の温度センサ。
4. 前記側部開口部は、軸方向よりも周方向に長い短冊形状であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の温度センサ。