JP2017220578A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の半導体発光素子を含む半導体発光装置において生じうるダークラインおよびクロストーク光を抑制する。【解決手段】当該半導体発光装置は、基板上に、一定の方向に並んで配列する複数の半導体発光素子と、前記複数の半導体発光素子の上方に配置され、該半導体発光素子の配列方向と交差する方向に延伸し、該半導体発光素子の配列方向に沿う方向に、該半導体発光素子の各々の間隔よりも狭い間隔で配列する複数の遮光壁と、を有する。【選択図】 図3
Description
本発明は、複数の半導体発光素子を含む半導体発光装置に関する。
GaN等の窒化物半導体を用いた半導体発光素子は、紫外光ないし青色光を発光することができ、さらに蛍光体を利用することにより白色光を発光することができる(たとえば特許文献1,2)。このような半導体発光素子は、照明器具、より具体的には、車両用灯具などに利用することができる。
近年、車両用前照灯(ヘッドライト)において、前方の状況、すなわち対向車や前走車などの有無およびその位置に応じて、リアルタイムに配光形状を制御する技術が注目されている。このような技術は、一般に、ADB(アダプティブ・ドライビング・ビーム)ないしAFS(アダプティブ・フロントライティング・システム)などと呼ばれる。ADBないしAFSには、たとえば、それぞれ独立にON/OFF制御することができる複数の半導体発光素子が用いられる。
本発明の主な目的は、複数の半導体発光素子を含む半導体発光装置において生じうる暗線(ダークライン)およびクロストーク光を抑制することにある。
本発明の主な観点によれば、基板上に、一定の方向に並んで配列する複数の半導体発光素子と、前記複数の半導体発光素子の上方に配置され、該半導体発光素子の配列方向と交差する方向に延伸し、該半導体発光素子の配列方向に沿う方向に、該半導体発光素子の各々の間隔よりも狭い間隔で配列する複数の遮光壁と、を有する半導体発光装置、が提供される。
半導体発光装置で生じうるダークラインおよびクロストーク光を抑制する。
最初に、図1を参照して、本発明者らが検討を行った参考例による半導体発光装置(LED装置)について説明する。便宜のため、水平面を構成するX軸およびY軸、ならびに、それらX軸,Y軸と直交するZ軸からなるXYZ直交座標系を設定する。
図1Aおよび図1Bは、参考例によるLED装置99を示す断面図(XZ断面)および平面図である。なお、図中に示される各構成要素の相対的なサイズ・位置関係などは、実際のものとは異なっている。
図1Aに示すように、LED装置99は、マウント基板10と、マウント基板10上にマウントされる複数の半導体発光素子(LED素子)20と、LED素子20上に載置される波長変換プレート30と、を含む。LED装置99は、たとえば、特願2015−209510に記載されるLED装置(特にLED素子の構造・配置)が想定される。
マウント基板10は、シリコン基板などの支持基板12と、支持基板12表面に設けられた配線層14と、を含む。配線層14は、LED素子20の各々に電気的に接続する複数の配線を含む。
複数のLED素子20は、たとえばGaN(窒化ガリウム)を含む。LED素子20の各々には、配線層14を介して、外部電源から電力が供給される。
波長変換プレート30は、蛍光体材料を含有する樹脂部材からなる。蛍光体材料には、たとえばYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)が用いられる。
図1Bに示すように、LED装置99は、たとえば6つのLED素子20a〜20fを具備する。LED素子20a〜20fは、たとえば、それぞれ一辺300μmの正方形の平面形状を有し、2×3の行列状に配列する。X軸方向(行方向)に配列するLED素子20の間隔Bxは、たとえば80μmであり、Y軸方向(列方向)に配列するLED素子20の間隔Byは、たとえば60μmである。
配線層14を介して、LED素子20に電力を供給すると、その上面から、たとえば青色光が放出される。その光の一部は、波長変換プレート30を透過して、その上面から出射される。また、その他の一部は、波長変換プレート30中の蛍光体材料により、たとえば黄色光に変換されて、波長変換プレート30の上面から出射される。結果的に、LED装置99は、青色光および黄色光の合成として、白色光を出射する。
このようなLED装置99は、光学レンズ等の光学系と組み合わせて、たとえば車両用前照灯(ヘッドライト)に用いることができる。
図1C〜図1Eは、LED装置99から出射される光を、所定の光学系を介して、スクリーン上に投影した際の投影像22を示す平面図である。投影像22a〜22fは、それぞれLED素子20a〜20fから放出された光の像に対応する。
LED装置99を車両用前照灯に用いた場合、LED装置99から出射される光の投影像22a〜22fは、図1Cに示すように、相互に離れず、また、重ならないことが好ましい。
LED素子20a〜20f各々の間隔Bx,By(図1B参照)が広すぎると、図1Dに示すように、投影像22a〜22f各々の間隔も広くなってしまい、結果として、投影像22の間隙に格子状の暗線(ダークライン)Lが視認されうる。LED装置99を車両用前照灯に用いる場合、このようなダークラインは抑制されることが望ましい。したがって、LED素子20a〜20f各々の間隔Bx,By(図1B参照)は、比較的狭くすることが好ましい。
一方で、LED素子20a〜20f各々の間隔Bx,By(図1B参照)が狭すぎると、図1Eに示すように、投影像22a〜22fが相互に重なる(クロストーク光Cが生じる)可能性がある。LED装置99を車両用前照灯に用いる場合、このようなクロストーク光も抑制されることが望ましい。
図1Fは、LED装置99の変形例を示す断面図である。クロストーク光を抑制する方法として、LED素子20各々の間隙に遮光壁40を配置する方法が考えられる。この遮光壁40により、LED素子20各々から放出される光の、水平方向(X軸方向およびY軸方向)への広がりが抑制され、その結果、投影像22各々の相互の重なり(クロストーク光)も抑制される。
しかし、μmオーダーのLED素子20各々の間隙に、その間隙よりも狭い幅を有する遮光壁40を正確に配置することは、一般に、容易であるとは言い難い。LED素子20各々の間隔がたとえば100μm以下になると、その困難性はさらに増大するであろう。LED素子20各々から放出される光の、水平方向への広がりを、より容易に抑制する手段が望まれる。
以下、図2および図3を参照して、実施例によるLED装置について説明する。
図2Aは、実施例によるLED装置90を示す平面図である。参考例によるLED装置99と同様に、実施例によるLED装置90も、マウント基板10、マウント基板10上にマウントされる複数のLED素子20、および、LED素子20上に載置される波長変換部プレート30、を含む。実施例によるLED装置90は、さらに、波長変換プレート(波長変換部材)30に埋設される光学部材32を含む。波長変換部材30および光学部材32を、まとめて、光学プレート39と呼ぶこととする。
図2Bは、波長変換部材30に埋め込まれる光学部材32を示す平面図である。光学部材32は、Y軸方向に延伸し、X軸方向に配列する光反射壁32xと、X軸方向に延伸し、Y軸方向に配列する光反射壁32yと、を含み、全体として、格子状の平面形状を有する。光学部材32(光反射壁32x,32y)は、たとえばAl(アルミニウム)からなる。
光反射壁32xは、X軸方向のLED素子の配列方向と交差する方向(ここではY軸方向)に延伸し、X軸方向のLED素子の配列方向に沿う方向(ここではX軸方向)に、当該LED素子の間隔Bxよりも狭い間隔Gxで配列する。一方、光反射壁32yは、Y軸方向のLED素子の配列方向と交差する方向(ここではX軸方向)に延伸し、Y軸方向のLED素子の配列方向に沿う方向(ここではY軸方向)に、当該LED素子の間隔Byよりも狭い間隔Gyで配列する。
光学部材32は、全体として、たとえば、厚み・高さ(Z軸方向)が20μm程度であり、X軸方向の長さ・幅が1140μm程度であり、Y軸方向の長さ・幅が1020μm程度である。光反射壁32xの幅Wxは、たとえば5μm程度であり、間隔Gxは、たとえば20μm程度である。同様に、光反射壁32yの幅Wyは、たとえば5μm程度であり、間隔Gyは、たとえば20μm程度である。
図3Aおよび図3Bは、LED装置90を示す断面図(XZ断面)である。上述したように、LED装置90は、マウント基板10、マウント基板10上にマウントされる複数のLED素子20、および、LED素子20上に載置される光学プレート39(波長変換部材30および光学部材32)、を含む。光学部材32は、波長変換部材30中に埋設されている。言い換えれば、光学部材32を構成する光反射壁の間隙に、波長変換部材30が充填されている。
図3Aに示すように、光反射壁32x(光学部材32)は、波長変換部材30中において、X軸方向に周期的に配列している。光反射壁32x各々の間隔Gxは、X軸方向に周期配列するLED素子20の間隔Bxよりも狭い。このため、X軸方向に配列するLED素子20の間隙に対応する位置には、少なくとも1つの光反射壁32xが配置される。
光反射壁32xは、LED素子20の上面から放出される光の、水平方向(ここではX軸方向)への広がりを抑制する。特に、LED素子20の間隙に位置する光反射壁32xは、隣接するLED素子(LED素子20a,20bないしLED素子20b,20c、ならびに、LED素子20d,20eないしLED素子20e,20f、図2A参照)から放出される光の重畳(クロストーク光)を抑制する。
図3Bに示すように、光学プレート39がX軸方向において偏って(ずれて)配置されたとしても、光反射壁32x各々の間隔GxがLED素子20の間隔Bxよりも狭いため、LED素子20の間隙に対応する位置には少なくとも1つの光反射壁32xが配置される。この間隙に位置する光反射壁32xにより、隣接するLED素子から放出される光の重畳は抑制される。
同様に、Y軸方向に周期配列する光反射壁32yの間隔Gyも、Y軸方向に周期配列するLED素子20の間隔Byよりも狭い。このため、光学プレート39がY軸方向において偏って(ずれて)配置されたとしても、Y軸方向に配列するLED素子20の間隙に対応する位置には、少なくとも1つの光反射壁32yが配置される。この間隙に位置する光反射壁32yにより、隣接するLED素子(LED素子20a,20d、および、LED素子20b,20e、および、LED素子20c,20f、図2A参照)から放出される光の重畳は抑制される。
このような光反射壁32x,32yを含む光学プレート39を用いれば、LED素子20上に光学プレート39を偏って配置したとしても、LED素子20から放出される光の、水平方向(X軸方向およびY軸方向)への広がりを抑制することができる。つまり、より容易に、LED素子から放出される、水平方向に広がる光を抑制することができ、隣接するLED素子から放出される光の重畳(クロストーク光)を抑制することができる。
光反射壁32x,32yは、光学プレート39の光出射面にまで達しないように設けられている。これにより、光反射壁の上部にも光が一部伝播するため、光反射壁上方がダークラインとなるのを防止する。光反射壁の上面と光学プレート39(ないし波長変換部材30)の光出射面とのギャップ(距離)は、光学プレート39(ないし波長変換部材30)に含有される蛍光体粒子の平均サイズよりも大きい。
なお、LED素子20が、たとえばX軸方向に一列に(一次元的に)配列する場合、つまりLED素子20a〜20cのみ(ないしLED素子20d〜20fのみ)が配列する場合には、光反射壁32yは不要であり、光反射壁32xのみ備えていればよい(図2B参照)。この場合、光学部材32は、全体として、縞状の平面形状となる。また、光学部材の全体的平面形状は、(四角)格子状や縞状に限らず、三角格子状や蜂の巣状(ハニカム状)などでもよい。
さらに、光学部材32は、遮光性を有する部材であれば、どのような部材を用いてもかまわない。ただし、光取出し効率(LED素子から放出される光に対するLED装置から出射される光の割合)向上の観点から、吸光性を有する部材よりも、光反射性を有する部材を用いることが好ましいであろう。
LED装置から白色光を出射させる必要がない場合、たとえばLED素子から放出される光(青色光)をそのまま出射させる場合には、波長変換部材を、蛍光体材料を含有しない透光性樹脂部材に代替してもよい。
以下、図4を参照して、実施例によるLED装置(特に光学プレート)の製造方法について簡単に説明する。LED素子については、市販されているものを用いてもよいし、一般に知られた方法により製造してもかまわない。また、上述した特願2015−209510に基づいて準備することもできる。
図4Aおよび図4Bは、光学プレート39を構成する光学部材32を作製する様子を示す断面図である。まず、サファイア基板50を用意する。
図4Aに示すように、フォトリソグラフィ法により、基板50上に、所望形状のレジストパターン52を形成する。続いて、真空蒸着法などにより、レジストパターン52上およびレジストパターン52が設けられていない基板50上に、Al薄膜32aを形成する。
図4Bに示すように、レジスト剥離液などを用いて、レジストパターン52を除去する(リフトオフ法)。このとき、レジストパターン52とともに、その上に設けられた薄膜32aも除去され、基板50上に、薄膜32aの一部、つまり光学部材32が残される。光学部材32は、たとえば格子状の平面形状を有する(図2B参照)。
その後、基板50側からレーザ光を照射して、基板50と接触する光学部材32の一部を除去(溶融・蒸発)し、光学部材32と基板50とを分離する(レーザリフトオフ法)。これにより、光学部材32が得られる。
なお、このような光学部材は、微細加工用ドリルを用いて、1枚板から削り出しによって作製することもできる。幅10μm程度の光反射壁が、間隔65μm程度で配列する光学部材であれば、1枚のAl板(板厚20μm程度)から、削り出しなどの機械加工によって作製することもできる。
図4Cおよび図4Dは、作製した光学部材32を波長変換部材30に埋設する様子を示す断面図である。図4Cに示すように、予め用意した波長変換部材(蛍光体シートなど)30に熱を加えながら、光学部材32を当該波長変換部材30内に押し込んで、光学部材32を波長変換部材30中に埋設することができる。また、図4Dに示すように、光学部材32が収められた容器56内に、蛍光体材料(YAG)が混合した樹脂を流し込み、その後、当該樹脂を硬化させることでも光学プレート39を作製することができる。
このように作製された光学プレート39を、LED素子20に載置することにより、実施例によるLED装置90が得られる。
以上、実施例に基づいて本発明を説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者には自明であろう。
10…マウント基板、12…支持基板、14…配線層、20(20a〜20f)…半導体発光素子、22…投影像、22(22a〜22f)…n型半導体層、30…波長変換部材(プレート)、32…光学部材(光反射壁)、39…光学プレート、40…遮光壁、60…導電層、50…サファイア基板、52…レジストパターン、56…容器、90…半導体発光装置(実施例)、99…半導体発光装置(参考例)。
Claims (5)
- 基板上に、一定の方向に並んで配列する複数の半導体発光素子と、
前記複数の半導体発光素子の上方に配置され、該半導体発光素子の配列方向と交差する方向に延伸し、該半導体発光素子の配列方向に沿う方向に、該半導体発光素子の各々の間隔よりも狭い間隔で配列する複数の遮光壁と、
を有する半導体発光装置。 - さらに、前記遮光壁の各々の間隙に充填される樹脂部材と、を有する請求項1記載の半導体発光装置。
- 前記樹脂部材は、蛍光体材料を含有する請求項2記載の半導体発光装置。
- 前記遮光壁は、光反射性を有する請求項1〜3いずれか1項記載の半導体発光装置。
- 前記半導体発光素子の各々の間隔は、100μm以下である請求項1〜4いずれか1項記載の半導体発光装置。
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JP2021533566A (ja) * | 2018-08-06 | 2021-12-02 | ソウル バイオシス カンパニー リミテッドSeoul Viosys Co., Ltd. | 発光装置、及びこれを含む光照射器 |
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Cited By (3)
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JP2021533566A (ja) * | 2018-08-06 | 2021-12-02 | ソウル バイオシス カンパニー リミテッドSeoul Viosys Co., Ltd. | 発光装置、及びこれを含む光照射器 |
US11761592B2 (en) | 2018-08-06 | 2023-09-19 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Light emitting apparatus and light radiator including the same |
JP7478134B2 (ja) | 2018-08-06 | 2024-05-02 | ソウル バイオシス カンパニー リミテッド | 発光装置、及びこれを含む光照射器 |
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