JP2017215273A - 蛍光センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】より低コストでより高感度に蛍光が検出できるようにする。
【解決手段】基板101の上に形成された光導波路102と、光導波路102の下の基板101の上に形成されたフォトダイオード104とを備える。光導波路102は、対象とする蛍光物質の励起光が導波される。また、検出領域では、光導波路102を構成するクラッド層108の上のコア103が露出して蛍光物質が接触可能とされている。フォトダイオード104は、半導体より構成された光吸収部141と、基板101の平面方向に光吸収部141を挟んで形成されたn型の半導体からなるn型領域142およびp型の半導体からなるp型領域143とを備える。
【選択図】 図1A
【解決手段】基板101の上に形成された光導波路102と、光導波路102の下の基板101の上に形成されたフォトダイオード104とを備える。光導波路102は、対象とする蛍光物質の励起光が導波される。また、検出領域では、光導波路102を構成するクラッド層108の上のコア103が露出して蛍光物質が接触可能とされている。フォトダイオード104は、半導体より構成された光吸収部141と、基板101の平面方向に光吸収部141を挟んで形成されたn型の半導体からなるn型領域142およびp型の半導体からなるp型領域143とを備える。
【選択図】 図1A
Description
本発明は、光導波路型の蛍光センサに関する。
光を媒体とした生体物質内の構造変化や化学反応の検知技術は、簡便さと反応速度に優れていることにより、多くの研究や医療分野に求められている。中でも、蛍光による発光現象は古くから利用され、利便性が高い汎用的な検知技術である。3次元のイメージングをはじめ、量子収率の良い蛍光物質をマーカーとして用いることで、手軽に、かつ高感度に対象を観測できることが利点である。ここで、蛍光が発する原理を簡単に説明する。蛍光物質に対して吸収端波長以下(例:可視光、紫外線、X線など)の励起光を照射すると、照射した蛍光物質の原子に含まれる電子が基底状態から励起状態に遷移する。励起状態に遷移した後、再び基底状態に至る時にエネルギーを光として放出することが、蛍光と呼ばれている。
一方、シリコン・ゲルマニウムなどに代表されるIV族半導体材料を用いた光応用技術(通称:シリコンフォトニクス技術)が、2000年代から著しく注目されている。この技術を用いることにより、大量生産が可能かつ小型・集積化など優れた利点を有することから、チップ間光インターコネクションに代表される極短距離光通信から、中・長距離光通信まで幅広い応用が検討されている。シリコンフォトニクス技術では、過去数十年に亘り培ってきた電子回路集積技術が応用でき、大量生産による低コスト化および小型・集積化が容易に実現できる。
広義のシリコンフォトニクス技術では、元素としてのSiに限らず、Si3N4、SiOxNy、SiOx、Geなどの高屈折率材料を用いることも含まれる。これら材料を適宜に用いることで、光導波路におけるコア材料とクラッド材料の屈折率差を十分に大きくすることから、曲げ半径の縮小や高密度集積化に寄与する。
上述した広義のシリコンフォトニクス技術を、光通信のみならずバイオセンシングの領域へ展開する試みが近年増加している。これは、屈折率差を大きく取れる上記技術を活用することで、クラッド周囲へのエバネッセント波(漏れ出し電界)を強めることが可能であるためである。この技術では、高感度で周囲の屈折率変化を捉えることが可能となる。代表的な応用例として、シリコンのリング共振器型屈折率センサが知られている。
サブミクロンオーダの微細加工によって光導波路を形成した後、選択的にサンプル溶液をリング共振器周囲に流れるようにし、バイオセンサとして活用している(非特許文献1参照)。このセンサの測定対象物としては、ナトリウムイオン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン(APTMS)、ペルオキシダーゼ(HRP)、オリゴヌクレオチド(DNA)など多岐に亘っている。
M. Iqbal et al., "Label-Free Biosensor Arrays Based on Silicon Ring Resonators and High-Speed Optical Scanning Instrumentation", IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, vol.16, no.3, pp.654-661, 2010.
J. W Lichtman and J. A. Conchello, "Fluorescence microscopy", NATURE Methods, vol.2, no.12, pp.910-919, 2005.
蛍光物質を用いたセンシングでは、蛍光顕微鏡下によるイメージング観察作業であることから、スループットが著しく低い。これは、ラベルと呼ばれる観察対象の生体標本に対して蛍光物質による染色手順が必要である上、蛍光顕微鏡観察操作の並列化処理が困難であることに起因する。従来の蛍光によるセンシング原理では、水銀灯、ハロゲンランプ、レーザなどの光源、接眼レンズ、ダイクロイックミラー、虹彩、波長フィルタ、対物レンズ、サンプルステージ、画像解析装置などから構成される複雑な蛍光顕微システムが必要となっている(非特許文献2参照)。このため、初期段階のスクリーニング検査では用いられず、比較的高度な医療や研究機関でのみで利用されるセンシング手法として知られている。
また、顕微鏡においては、高出力強度光源、大口径・非球面レンズ、大口径イメージセンサ、精密機械駆動系などが用いられることから、設備装置に掛かるコストについても問題となる。同時に、空間光学系を有することから、反射ミラーやレンズ、フィルタによる光学損失の影響で蛍光検出効率や感度に関しては改善が困難であった。
通常、染色された標本物質内の蛍光発光を観察する場合、イメージング化による形や場所を把握したい場合と、単位面積当たりの蛍光強度や蛍光発生の有無を把握したい場合との2種類に大別される。後者の場合、本来高精度な動作機構や装置を必要としておらず、前述した通り簡略化や低コスト化が求められている。また、光学的な機構を抜本的に改善することにより、例えば散乱光による信号雑音比率(SNR)などの検出感度向上も期待されている。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、より低コストでより高感度に蛍光が検出できるようにすることを目的とする。
本発明に係る蛍光センサは、基板の上に形成されて対象とする蛍光物質の励起光が導波される光導波路と、光導波路のコアが露出して蛍光物質が接触可能とされた検出領域と、検出領域における光導波路の下の基板の上に形成されて蛍光物質が発した蛍光が検出可能とされたフォトダイオードとを備え、フォトダイオードは、半導体より構成された光吸収部と、基板の平面方向に光吸収部を挟んで形成されたn型の半導体からなるn型領域およびp型の半導体からなるp型領域とを備える。
上記蛍光センサにおいて、フォトダイオードとコアとの間に配置されて励起光を減光するフィルタ層を備えるようにしてもよい。
上記蛍光センサにおいて、光導波路の上に形成されて蛍光物質を含む流体が検出領域を通過可能とされた流路を備えるようにしてもよい。
以上説明したことにより、本発明によれば、より低コストでより高感度に蛍光が検出できるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。図1Aは、本発明の実施の形態における蛍光センサの構成を示す断面図である。また、図1Bは、本発明の実施の形態における蛍光センサの構成を示す斜視図である。
この蛍光センサは、まず、基板101の上に形成された光導波路102と、光導波路102の下の基板101の上に形成されたフォトダイオード104とを備える。光導波路102は、対象とする蛍光物質の励起光が導波される。また、光導波路102は、検出領域を備え、検出領域では、光導波路102を構成するクラッド層108の上のコア103が露出して蛍光物質が接触可能とされている。図1A,図1Bは、検出領域を示している。また、図1Aは、光導波路102の導波方向に垂直な断面を示している。
フォトダイオード104は、半導体より構成された光吸収部141と、基板101の平面方向に光吸収部141を挟んで形成されたn型の半導体からなるn型領域142およびp型の半導体からなるp型領域143とを備える。これらは、例えば、基板101上の半導体層107に一体に形成されている。フォトダイオード104は、検出領域において、光導波路102を導波してコア103より漏れ出した励起光により励起した蛍光物質より発せられた蛍光が検出可能とされている。
光吸収部141は、例えば、導電型不純物が導入されていないi型の半導体から構成すればよい。フォトダイオード104は、いわゆるp−i−n構造とされている。フォトダイオード104を構成する半導体は、検出対象とする蛍光の波長にあわせて適宜に選択すればよい。例えば、可視光域の波長の蛍光を対象とする場合、シリコンやGaNなどから構成すればよい。
なお、コア103とフォトダイオード104とは、絶縁材料から構成されているクラッド層108により絶縁分離されている。クラッド層108は、フォトダイオード104のパッシベーションとしても機能する。また、n型領域142にはクラッド層108を貫通する電極105が電気的に接続(オーミックコンタクト)している。p型領域143にはクラッド層108を貫通する電極106が電気的に接続(オーミックコンタクト)している。フォトダイオード104の光吸収部141で吸収された光は光電変換され、電極105,電極106により電流として取り出される。
なお、図示していないが、検出領域以外においては、コア103を覆う上部クラッド層が形成されている。なお、上部クラッド層は、空気としてもよい。
上述した構成の蛍光センサを、例えば、図2に示すように、蛍光物質を含む流体が検出領域を通過可能とされたマイクロ流路201を備える流路基板200を組み合わせて用いればよい。図2は、流路基板200を組み合わせた蛍光センサの構成を示す断面図である。図2は、光導波路102の導波方向(コア103の延在方向)に平行な平面の断面を示している。流路基板200には、マイクロ流路201およびマイクロ流路201の一端に接続する導入口202、マイクロ流路201の他端に接続する排出口203が形成されている。
マイクロ流路201は、流路基板200に形成した溝である。また、導入口202および排出口203は、流路基板200に形成した貫通孔である。例えば、ポリジメチルシロキサン(PDMS)などの高分子材料から流路基板200を構成し、この流路基板200に溝を形成してマイクロ流路201とし、貫通孔を形成して導入口202および排出口203とすればよい。
上述した蛍光センサにおいて、例えば、染色された特異的な細胞やDNAなどの生体標本を含む水溶液を、導入口202からマイクロ流路201に導入し、光導波路102の検出領域へ導く。光導波路102を導波している励起光は、検出領域のコア103の上面および側面より周囲の水溶液に大きく染み出し、エバネッセント光電界を形成する。これにより、水溶液中の蛍光物質に対して光伝搬方向において非常に長い相互作用長の励起工程が実現できる。また、上述したように、マイクロ流路201に検体溶液を流すことで、標本を含む溶液の流速(流量)を制御できる上、温度などによる外乱要因を除去することができる。
ところで、光導波路102より漏れ出した励起光が、散乱光などとなってフォトダイオード104に検出(吸収)される場合もある。この場合、蛍光以外の光がフォトダイオード104に検出されることになり、信号雑音比率(SNR)の劣化が懸念される。これに対し、図3に示すように、フォトダイオード104とコア103との間に、励起光を減光するフィルタ層301を配置すればよい。フィルタ層301は、吸収型フィルタから構成するとよい。誘電体多層構造によるフィルタでは、様々な角度から侵入する散乱光に対しては、所期のフィルタ効果が得られないためである。
以下、フィルタ層301を備える蛍光センサの構成について、より詳細に説明する。例えば、よく知られたSOI(Silicon on Insulator)基板を用いることで、フォトダイオード104が製造できる。SOI基板は、シリコンからなる基部の上に、埋め込み絶縁層を介して表面シリコン層を備える。例えば、厚さ10μm程度の表面シリコン層、厚さ10μm程度の埋め込み絶縁層を備える直径4インチ程度のSOI基板(板厚525μm)が利用できる。表面シリコン層にフォトダイオード104を形成する。埋め込み絶縁層は、素子分離のための絶縁層となる。
例えば、半導体装置製造技術として公知のリソグラフィー技術およびエッチング技術により表面シリコン層(半導体層107)をパターニングすることで、平面視で幅3μm、長さ50μmの光吸収部141を形成する。光吸収部141は、断面視で厚さ10μm、幅3μmとされ、長さ50μmとされたコア形状となる。厚さ10μmとしたシリコンからなる光吸収部141は、シリコンの可視域短波長における吸収係数より見積もった場合、垂直入射された光はほぼ100%近く吸収される。
また、光吸収部141に接続するスラブ層を、上述同様にパターニングして形成する。スラブ層にn型領域142およびp型領域143を形成する。スラブ層に、例えば、イオン注入法などによりn型不純物、p型不純物を領域選択的に導入することで、n型領域142およびp型領域143を形成すればよい。n型領域142およびp型領域143は、例えば、1020(1/cm3)程度のキャリア密度とすればよい。
非常に厚いSOI層に対して薄く形成しているスラブ層にn型領域142およびp型領域143を形成するため、深さ数100nm程度の浅いp−i−n接合となるが、μm単位の光吸収部141の幅を設けることで、電界の回り込みにより深い領域に発生した光吸収によるキャリアを引き抜くことも可能である。
上述したように、SOI基板を利用してフォトダイオード104を形成した後、厚さ1μm程度にSiO2を堆積し、次いで、この上に、フィルタ層301を形成する。測定対象の標本染色マーカーとする蛍光物質として、例えば、コロイド状量子ドット(商品名:Q−dot 655、材質:CdSxSe1-x/ZnS)を用いる場合、波長488nmの励起光により、波長650nm前後の蛍光が放出される。一般的な有機色素と比較し、コロイド状量子ドットは、励起波長が広範囲に亘り、光源選択性が低いことが特徴である。また、蛍光発生効率(量子収率)が高いことも利点の1つである。
上述したように、波長488nmの励起光に対し、カットオフ波長が550nm近辺の有機色素を含む材料を、例えばスピンコート法などにより塗布することで、フィルタ層301を形成すればよい。フィルタ層301は、厚さ1μm程度とすればよい。この後、フィルタ層301の上に、厚さ1μm程度にSiO2を堆積する。これらのことにより、フォトダイオード104の上にクラッド層108が形成され、クラッド層108の中にフィルタ層301が埋め込まれた状態が得られる。
次に、クラッド層108の上に、例えば、酸窒化シリコンからなるコア103を形成する。検出領域においては、平面視で光吸収部141と重なる状態に延在するコア103を形成する。例えば、クラッド層108の上に、よく知られたスパッタ法やプラズマアシストCVD(Chemical Vapor Deposition)法などにより酸窒化シリコンを堆積して酸窒化シリコン膜を形成する。次いで、形成した酸窒化シリコン膜を、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によりパターニングすることで、コア103とすればよい。
ところで、フィルタ層301やフォトダイオード104は、各々吸収媒質であり、励起光伝搬の過剰損失が生じる。このため、これら上部に配置される光導波路102を構成する材料や構造、並びにクラッド層108の厚さには注意を要する。上述したように、酸窒化シリコンからコア103を構成し、コア103の屈折率を1.7−1.8程度とした場合、コア幅400−500nm、コア高さ200−250nm程度が、光導波路102におけるシングルモード伝搬条件である。
上述したシングルモード伝搬条件に併せて下層材料による吸収が生じない構造をシミュレーションにより計算した結果、コア103とフォトダイオード104との間隔は、最低でも2.5μm以上とした方がよいことが判明している。従って、SiO2から構成するクラッド層108は、厚さ3μm程度に形成する。
上述した蛍光センサにおいて、光導波路102(コア103)に波長488nmの励起光を伝搬させている状態で、検出領域におけるコア103の上面,側面には、マイクロ流路201を流れる溶液中に浮遊している蛍光物質が付着する。付着した蛍光物質(コロイド状量子ドット)には、コア103を導波している励起光が結合し、蛍光を放出する。放出された蛍光は、フィルタ層301を透過してフォトダイオード104の光吸収部141に吸収される。吸収により光吸収部141で発生したフォトキャリアによる光電流を、電極105および電極106を介して計測することで、蛍光強度が計測できる。
上述したように、本発明によれば、蛍光物質の励起光が導波される光導波路の下の基板の上にフォトダイオードを設けるようにしたので、より低コストでより高感度に蛍光が検出できるようになる。本発明によれば、広く一般に用いられている半導体装置を構成する材料および半導体装置の製造技術を用いており、また、光導波路の形状としており、容易に製造することが可能である。また、高精度な動作機構や装置を必要とせずに計測が実施できる。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。例えば、図4に示すように、複数の蛍光センサ100を直列に接続し、非常に小さい領域に集積化してもよい。各々の蛍光センサ100同士は、光導波路およびフォトダイオードが直列に接続している。図4では、2列に複数の蛍光センサ100を配列しているが、これらは光導波路401で接続すればよい。
このように、複数の蛍光センサ100を接続して集積することで、励起光源をそれぞれの蛍光センサ100に対して準備する必要がない。また、これらの上に流路構成を適切に設計することで、独立した染色標本402,403,404,405,406,407を励起して検出(測定)することが可能となる。また、検出領域に露出するコアの表面に、特定の検出対象(DNA、RNAなどの生体物質)を吸着する機能層を設けるようにしてもよい。基板の形状を工夫することでレンズ形状を作製し、より高密度化することで超解像度イメージングの実現も可能である。
101…基板、102…光導波路、103…コア、104…フォトダイオード、105…電極、106…電極、107…半導体層、108…クラッド層、141…光吸収部、142…n型領域、143…p型領域。
Claims (3)
- 基板の上に形成されて対象とする蛍光物質の励起光が導波される光導波路と、
前記光導波路のコアが露出して前記蛍光物質が接触可能とされた検出領域と、
前記検出領域における前記光導波路の下の前記基板の上に形成されて前記蛍光物質が発した蛍光が検出可能とされたフォトダイオードと
を備え、
前記フォトダイオードは、
半導体より構成された光吸収部と、
前記基板の平面方向に前記光吸収部を挟んで形成されたn型の半導体からなるn型領域およびp型の半導体からなるp型領域と
を備えることを特徴とする蛍光センサ。 - 請求項1記載の蛍光センサにおいて、
前記フォトダイオードと前記コアとの間に配置されて前記励起光を減光するフィルタ層を備えることを特徴とする蛍光センサ。 - 請求項1または2記載の蛍光センサにおいて、
前記光導波路の上に形成されて前記蛍光物質を含む流体が前記検出領域を通過可能とされた流路を備えることを特徴とする蛍光センサ。
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JP2016110631A JP2017215273A (ja) | 2016-06-02 | 2016-06-02 | 蛍光センサ |
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