JP2017195184A - 物体を走査するための方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
DC1=Tact1/Tperiod1
Tact1=T1−Tringing1−Tretrace1
X走査信号130は、X走査信号振幅A2 42を有する。Y走査信号150は、Y走査信号振幅B2 72を有する。
15 Tretrace1
20 理想的なX走査信号
30 X走査信号
31 発振
41 X走査信号振幅A1
42 X走査信号振幅A2
50 走査信号
51 発振
60 理想的なY走査信号
71 Y走査信号振幅B1
72 Y走査信号振幅B2
81 走査部分
82 帰線部分
83 バック走査部分
84 アイドル部分
100 物体
113 X発信周期
120 理想的なX走査信号
130 X走査信号
131 発振
150 Y走査信号
151 発振
160 理想的なY走査信号
181 従来技術のX走査信号
182 本発明の実施形態によるX走査信号
191 従来技術のX走査信号のスペクトル成分
192 本発明の実施形態によるX走査信号スペクトル成分
300 システム
310 電源
320 電子銃
330 アノード
333 コントローラ
340 開口
351 第1の偏向コイル
352 第2の偏向コイル
361 インレンズ検出器
362 内部レンズ検出器
370 対物レンズ
380 電極
390 メカニカルステージ
400 一次電子ビーム
401 方法
Claims (12)
- 荷電粒子ビームによって物体を走査するための方法であって、
複数対の走査線の各対の走査線に対して、
前記荷電粒子ビームを第1の方向に沿って偏向させ、それによって前記物体を前記対の走査線の第1の走査線に沿って走査する段階と、
前記物体を前記第1の走査線の大部分に沿って前記走査する間に前記物体から放出された電子を収集する段階と、
前記荷電粒子ビームを前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に沿って偏向させる段階と、
前記荷電粒子ビームを前記第1の方向とは反対の第3の方向に沿って偏向させ、それによって前記物体を前記対の走査線の第2の走査線に沿って走査する段階と、
前記物体を前記第2の走査線の大部分に沿って前記走査する間に前記物体から放出された電子を収集する段階と、
前記荷電粒子ビームを前記第3の方向に対して垂直な前記第2の方向に沿って偏向させる段階と、
を繰り返すことを含む、方法。 - 前記荷電粒子ビームを前記第1の方向に沿って前記偏向させる段階の開始時に始まる第1の発信周期中に前記物体から放出された電子を無視することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを前記第3の方向に沿って前記偏向させる段階の開始時に始まる第2の発信周期中に前記物体から放出された電子を無視することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の走査線の前記大部分が、前記第1の走査線の90パーセントを超える、請求項1に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを前記第1の方向に沿って前記偏向させる段階が、第1の走査速度で行われ、前記荷電粒子ビームを前記第3の方向に沿って前記偏向させる段階が、前記第1の走査速度と等しい第2の走査速度で行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームを前記第1の方向に沿って前記偏向させる段階が、第1の走査速度で行われ、前記荷電粒子ビームを前記第3の方向に沿って前記偏向させる段階が、前記第1の走査速度と異なる第2の走査速度で行われる、請求項1に記載の方法。
- 物体を走査するためのシステムであって、
荷電粒子ビームを生成するように構成された荷電粒子源と、
前記荷電粒子ビームを偏向させるように構成された偏向コイルと、
前記荷電粒子ビームを前記物体上に集束させるように構成された対物レンズと、
前記物体から放出された電子を検出するように構成された検出器と、
前記荷電粒子ビームを第1の方向に沿って偏向させ、それによって前記物体を前記対の走査線の第1の走査線に沿って走査し、
前記物体を前記第1の走査線の大部分に沿って前記走査する間に前記物体から放出された電子を収集し
前記荷電粒子ビームを前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に沿って偏向させ、
前記荷電粒子ビームを前記第1の方向とは反対の第3の方向に沿って偏向させ、それによって前記物体を前記対の走査線の第2の走査線に沿って走査し、
前記物体を前記第2の走査線の大部分に沿って前記走査する間に前記物体から放出された電子を収集し、
前記荷電粒子ビームを前記第3の方向に対して垂直な前記第2の方向に沿って偏向させること
によって前記物体を走査するように構成されたコントローラと、
備える、システム。 - 前記コントローラが、前記荷電粒子ビームを前記第1の方向に沿って前記偏向させることの開始時に始まる第1の発信周期中に前記物体から放出された電子を無視するように構成されている、請求項7に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記荷電粒子ビームを前記第3の方向に沿って前記偏向させることの開始時に始まる第2の発信周期中に前記物体から放出された電子を無視するように構成されている、請求項7に記載のシステム。
- 前記第1の走査線の前記大部分が、前記第1の走査線の90パーセントを超える、請求項7に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記荷電粒子ビームを第1の走査速度で前記第1の方向に沿って偏向させ、前記荷電粒子ビームを前記第1の走査速度と等しい第2の走査速度で前記第3の方向に沿って偏向させるように構成されている、請求項7に記載のシステム。
- 前記コントローラが、前記荷電粒子ビームを第1の走査速度で前記第1の方向に沿って偏向させ、前記荷電粒子ビームを前記第1の走査速度と異なる第2の走査速度で前記第3の方向に沿って偏向させるように構成されている、請求項7に記載のシステム。
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