JP2017190513A - 蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 自公転駆動機構
3 抵抗加熱蒸発源
4 水晶モニタ
5 真空容器
6 制御部
7 プラネタリ基板回転駆動部
8 加熱部移動機構
9 蒸発源回転駆動部
10 シャッタ
31,32 加熱部
81 回転軸
Claims (5)
- 蒸着対象の複数の水晶音叉が取り付けられる複数のプラネタリ基板と、
前記複数のプラネタリ基板を1つの公転軸の周りに回転させると共に、前記複数のプラネタリ基板の各々をその自転軸の周りに回転させる自公転駆動機構と、
抵抗加熱によりAuを蒸発させる抵抗加熱蒸発源と、
Auの蒸発量を監視する水晶モニタと
を備え、
前記抵抗加熱蒸発源は、それぞれがAuを蒸発させる複数の加熱部を有し、
前記複数の加熱部を順次所定の蒸発実行位置に移動させる加熱部移動機構と、
前記水晶モニタの出力に応じて、前記蒸発実行位置でひとつの加熱部からのAuの蒸発が終了した後に、次の加熱部を前記蒸発実行位置に移動させるように、前記加熱部移動機構を駆動制御する駆動部と
を備える
蒸着装置。 - 請求項1に記載の蒸着装置において、前記加熱部移動機構は、前記複数の加熱部が配置された面で、その面と垂直な軸の周りに前記複数の加熱部を回転させる構造である蒸着装置。
- 請求項1または2に記載の蒸着装置において、前記蒸発実行位置以外の位置で前記加熱部から蒸発するAuを遮断するシャッタを備える蒸着装置。
- 請求項3に記載の蒸着装置において、前記加熱部移動機構は、蒸発するAuが前記シャッタにより遮断される位置への前記複数の加熱部の移動も行う蒸着装置。
- 請求項4または5に記載の蒸着装置において、前記抵抗加熱蒸発源は、前記蒸発するAuが前記シャッタにより遮断される位置で、前記複数の加熱部に置かれたAuの溶かし込みを行う蒸着装置。
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JP2016081971A JP2017190513A (ja) | 2016-04-15 | 2016-04-15 | 蒸着装置 |
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2016
- 2016-04-15 JP JP2016081971A patent/JP2017190513A/ja active Pending
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